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KR100728334B1 - The tilt angle measuring device of optical parts - Google Patents

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KR100728334B1
KR100728334B1 KR1020050095291A KR20050095291A KR100728334B1 KR 100728334 B1 KR100728334 B1 KR 100728334B1 KR 1020050095291 A KR1020050095291 A KR 1020050095291A KR 20050095291 A KR20050095291 A KR 20050095291A KR 100728334 B1 KR100728334 B1 KR 100728334B1
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South Korea
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optical component
light
inclination angle
diffuser screen
light source
Prior art date
Application number
KR1020050095291A
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전해남
임동술
고동익
김태경
Original Assignee
피에스아이 주식회사
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    • GPHYSICS
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Abstract

본 발명은 광학부품이 정확한 위치에 배치되었는지 여부를 측정하는 경사각측정장치에 관한 것으로서, 본 발명인 광학부품의 경사각 측정장치는 측방향에서 빛을 발산하는 광원과, 상기 광원으로부터 조사되는 빛을 반사 및 투과시키도록 상기 광원에 대해 경사지게 설치된 반투명성의 하프미러와, 광학부품으로부터 반사되어 상기 하프미러를 통과한 빛을 수광하여 점광원화하도록 상기 하프미러의 전방에 설치된 디퓨저스크린과, 상기 디퓨저스크린으로부터 나오는 빛을 일정배율로 포커싱(focusing)시키도록 상기 디퓨저스크린의 전방에 설치된 렌즈와, 상기 렌즈에 의해 포커싱된 빛을 받아 광학부품의 경사각을 산출하도록 상기 렌즈의 전방에 설치된 CCD(charge coupled device)카메라를 포함하여 이루어지는데, 위와 같이 구성된 본 발명의 일실시예에 의하면, 광학부품의 경사각을 측정할 때 종래의 측정장치보다 넓은 범위의 경사각 측정이 가능하고, 종래의 장치를 이용하면서도 비교적 간단하게 구성할 수 있으며, 디퓨저스크린상의 X-Y좌표값 측정에 의해서도 개략적인 경사도를 산출할 수 있는 효과가 있다.The present invention relates to an inclination angle measuring device for measuring whether or not the optical component is disposed in the correct position, the inclination angle measuring device of the optical component of the present invention is a light source that emits light in the lateral direction, and reflects light emitted from the light source and A semi-transparent half mirror inclined with respect to the light source to transmit, a diffuser screen installed in front of the half mirror to receive a point light source by receiving light reflected from an optical component and passing through the half mirror, and exiting from the diffuser screen. A charge coupled device (CCD) camera installed in front of the lens to calculate the inclination angle of the optical component by receiving the light focused by the lens and a lens installed in front of the diffuser screen to focus light at a constant magnification It includes, but in one embodiment of the present invention configured as described above When the inclination angle of the optical component is measured, it is possible to measure the inclination angle of a wider range than the conventional measuring apparatus, and it is possible to configure relatively simple while using the conventional apparatus, and also to measure the inclination of the XY coordinates on the diffuser screen. There is an effect that can be calculated.

광학부품, 경사각측정, CCD, 디퓨저스크린 Optical component, tilt angle measurement, CCD, diffuser screen

Description

광학부품의 경사각 측정장치{The tilt angle measuring device of optical parts}The tilt angle measuring device of optical parts

도 1은 종래의 광학부품의 경사각 측정장치를 개략적으로 도시한 평면도,1 is a plan view schematically showing a device for measuring an inclination angle of a conventional optical component;

도 2는 본 발명인 광학부품의 경사각 측정장치의 일실시예에 대한 구성을 개략적으로 도시한 개략평면도,Figure 2 is a schematic plan view schematically showing the configuration of an embodiment of the inclination angle measuring apparatus of the present invention optical component,

도 3은 구면형태의 디퓨저스크린의 단면을 도시한 개략단면도.Figure 3 is a schematic cross-sectional view showing a cross section of the spherical diffuser screen.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *    Explanation of symbols on the main parts of the drawings

10 : 광원 12 : 점광원10 light source 12 point light source

20 : 하프미러 30 : 디퓨저스크린20: half mirror 30: diffuser screen

40 : 렌즈 50 : CCD카메라40: Lens 50: CCD Camera

51 : 카메라스크린 100 : 광학부품51: camera screen 100: optical components

본 발명은 광학부품이 정확한 위치에 배치되었는지 여부를 측정하는 경사각 측정장치에 관한 것으로서, 더욱 자세하게는 보다 넓은 범위의 경사각 측정을 가능하게 한 광학부품의 경사각 측정장치에 관한 것이다.The present invention relates to an inclination angle measuring apparatus for measuring whether an optical component is disposed at an accurate position, and more particularly, to an inclination angle measuring apparatus for an optical component that enables a wider range of inclination angle measurement.

미러 등과 같이 빛을 반사하는 광학부품들은 필요로 하는 기능을 얻기 위해서 정위치에서 빛을 반사해야 하므로, 조립시에 광학부품이 정확한 위치에 배치되었는지 확인하는 작업이 필요한데, 이러한 광학부품은 정지상태의 부품들뿐만 아니라 회전중심을 따라 일정하게 진동하는 부품들도 포함된다.Optical components reflecting light, such as mirrors, must reflect light at the correct position to obtain the required function. Therefore, it is necessary to confirm that the optical components are placed at the correct position during assembly. In addition to the components, they also include components that vibrate constantly along the center of rotation.

이러한 측정을 위한 장치로서 오토콜리메이터(auto collimator)가 이용될 수 있으나, 오토콜리메이터는 측정가능한 각이 ±1°정도에 불과하여 경사각이 큰 경우에는 이용할 수 없다는 문제점이 있었다.An auto collimator may be used as a device for such a measurement, but the auto collimator has a problem in that it cannot be used when the inclination angle is large because the measurable angle is only about ± 1 °.

이러한 문제점을 해결하기 위하여 이용된 종래의 광각측정장치가 도 1에 도시되어 있는데, 이는 광원(1), 하프미러(2), 렌즈(3) 및 CCD(charge coupled device)카메라(4)로 구성되어 있으며 다음과 같이 작동한다.A conventional wide-angle measuring device used to solve this problem is shown in FIG. 1, which is composed of a light source 1, a half mirror 2, a lens 3, and a charge coupled device (CCD) camera 4. It works as follows.

광원(1)으로부터 나온 빛이 반투명의 하프미러(2)에서 반사되어 광학부품(100)에 조사된다. 이 때 광학부품(100)이 수평면으로부터 θ만큼 기울어져 있으면 반사되는 광선은 입사광선과 2θ의 각을 이루며 반사된다. 상기 반사된 광선은 광로상에 설치된 반투명 미러(2)와 렌즈(3)를 통과하여 CCD카메라(4)의 스크린에 상을 맺는다. 상기 렌즈(3)는 일정배율을 가진 렌즈로서 입사된 빛을 상기 스크린상에 포커싱(focusing)시킨다.Light emitted from the light source 1 is reflected by the semi-transparent half mirror 2 and irradiated to the optical component 100. At this time, if the optical component 100 is inclined by θ from the horizontal plane, the reflected light is reflected at an angle of 2θ with the incident light. The reflected light beam passes through the translucent mirror 2 and the lens 3 installed on the optical path to form an image on the screen of the CCD camera 4. The lens 3 focuses the incident light on the screen as a lens having a constant magnification.

도면에서 알 수 있는 바와 같이 CCD카메라(4)는 광학부품의 경사각 θ와 스크린(5)상의 X-Y 좌표계간에 일정한 관계식을 갖도록 배치되어 있어서, 스크린(5)상 의 X-Y 좌표값을 측정함에 의해 경사각 θ를 도출할 수 있다. 즉, 경사각 θ와 X축상의 변위인 d 는

Figure 112005057313468-pat00001
의 관계식을 갖는데, 측정된 d와 F값을 이용하여 θ값을 산출할 수 있다.As can be seen from the figure, the CCD camera 4 is arranged to have a constant relation between the inclination angle θ of the optical component and the XY coordinate system on the screen 5, and thus the inclination angle θ by measuring the XY coordinate value on the screen 5. Can be derived. That is, the inclination angle θ and the displacement on the X axis d
Figure 112005057313468-pat00001
It has a relationship of, and the value of θ can be calculated using the measured values of d and F.

위에서는 x축상의 변위만을 설명하였으나, 광학부품이 도면상의 수직방향에서 경사각을 갖는 경우 스크린상에서는 Y축방향으로 변위를 갖게 되므로, Y축방향에 대해서도 동일한 방법으로 측정 및 산출할 수 있다.Although only the displacement on the x-axis has been described above, when the optical component has an inclination angle in the vertical direction on the drawing, the displacement is in the Y-axis direction on the screen, and thus the measurement and calculation can be performed in the same way on the Y-axis direction.

그러나, 이와 같이 구성된 종래의 광각측정장치는 광학부품(100)과 렌즈(3)간의 거리(L)가 멀거나 광학부품(100)의 경사각(θ)이 클 경우 집광렌즈(3)의 지름이 그에 비례하여 커져야 하고, 직경이 큰 렌즈를 이용하여 집광을 하기 위해서는 렌즈의 곡률반경도 작아져야 한다. 그러나, 곡률반경이 작은 렌즈는 가공상의 문제로서 수차가 발생하므로 일정이상의 곡률반경을 가진 렌즈를 이용해야 하는데, 이럴 경우 d 값이 커질 수밖에 없으며 그에 따라 CCD카메라(4)의 스크린(5)의 크기도 커져야 한다.However, in the conventional wide-angle measuring device configured as described above, when the distance L between the optical component 100 and the lens 3 is far or the inclination angle θ of the optical component 100 is large, the diameter of the condenser lens 3 is increased. In order to condense by using a lens having a large diameter, the radius of curvature of the lens must be reduced. However, a lens with a small radius of curvature requires a lens having a radius of curvature greater than a certain amount because aberration occurs as a processing problem. In this case, the value of d must be large, and accordingly, the size of the screen 5 of the CCD camera 4 is increased. Should also be large.

그러나, 스크린(5)의 크기는 한정되어 있으므로 위와 같은 경우에는 측정이 불가능하다는 문제점이 있었다.However, since the size of the screen 5 is limited, there is a problem that the measurement is impossible in the above case.

즉 이를 구체적으로 설시하면, F값이 50mm 이고 스크린(5)의 크기가 4.8mm××3.6mm 일 때 최대로 측정가능한 각은 약 2.44°정도에 불과하여, 많은 경우에 있어서 그 이상의 각도로 경사진 광학부품(100)을 측정해야 하나 종래의 장치로는 그러한 경우 측정할 수 없는 문제점이 있었다.That is, when specifically described, when the F value is 50mm and the size of the screen 5 is 4.8mm × 3.6mm, the maximum measurable angle is only about 2.44 °, and in many cases, the angle is more than that. Photographic optical component 100 should be measured, but there was a problem that cannot be measured with such a conventional apparatus.

상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 본 발명의 목적은 광학부품의 경사각을 측정할 때, 보다 넓은 범위의 경사각 측정이 가능한 광학부품의 경사각 측정장치를 제공하는 데 있다.In order to solve the above problems, an object of the present invention is to provide an inclination angle measuring device of an optical component capable of measuring a wider inclination angle when measuring the inclination angle of the optical component.

본 발명의 다른 목적은 종래의 장치를 이용하면서도 비교적 간단하게 구성할 수 있는 광학부품의 경사각 측정장치를 제공하는데 있다.Another object of the present invention is to provide an inclination angle measuring apparatus for an optical component that can be configured relatively simply while using a conventional apparatus.

본 발명의 또 다른 목적은 디퓨저스크린상의 X-Y좌표값 측정에 의해서도 광학부품의 개략적인 경사도를 산출할 수 있는 광학부품의 경사각 측정장치를 제공하는데 있다.Still another object of the present invention is to provide an inclination angle measuring apparatus of an optical component capable of calculating a schematic inclination of the optical component even by measuring the X-Y coordinate value on the diffuser screen.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명인 광학부품의 경사각 측정장치는, 측방향에서 빛을 발산하는 광원과, 상기 광원으로부터 조사되는 빛을 반사 및 투과시키도록 상기 광원에 대해 경사지게 설치된 반투명성의 하프미러와, 광학부품으로부터 반사되어 상기 하프미러를 통과한 빛을 수광하여 점광원화하도록 상기 하프미러의 전방에 설치된 디퓨저스크린과, 상기 디퓨저스크린으로부터 나오는 빛을 일정배율로 포커싱(focusing)시키도록 상기 디퓨저스크린의 전방에 설치된 렌즈와, 상기 렌즈에 의해 포커싱된 빛을 받아 광학부품의 경사각을 산출하도록 상기 렌즈의 전방에 설치된 CCD(charge coupled device)카메라를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the inclination angle measuring device of the optical component of the present invention, a light source that emits light in the lateral direction, and a semi-transparent half mirror installed to be inclined with respect to the light source to reflect and transmit light emitted from the light source And a diffuser screen installed in front of the half mirror to receive light reflected from the optical component and passing through the half mirror to form a point light source, and the diffuser to focus light emitted from the diffuser screen at a constant magnification. And a charge coupled device (CCD) camera installed in front of the lens to calculate an inclination angle of the optical component by receiving the lens focused in front of the screen and the light focused by the lens.

이하 본 발명에 의한 광학부품의 경사각 측정장치의 일실시예에 의한 구성을 예시도면에 의거하여 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the configuration according to an embodiment of the inclination angle measuring apparatus for an optical component according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명인 광학부품의 경사각 측정장치의 일실시예에 대한 구성을 개략적으로 도시한 개략평면도이고, 도 3은 구면형태의 디퓨저스크린의 단면을 도시한 개략단면도이다.Figure 2 is a schematic plan view schematically showing the configuration of an embodiment of the device for measuring the inclination angle of the optical component of the present invention, Figure 3 is a schematic cross-sectional view showing a cross section of the spherical diffuser screen.

도 2에 도시된 바와 같이 본 발명의 장치는 측방향에서 빛을 발산하는 광원(10)과, 상기 광원(10)으로부터 조사되는 빛을 반사 및 투과시키도록 상기 광원(10)에 대해 경사지게 설치된 반투명성의 하프미러(20)와, 광학부품(100)로부터 반사되어 상기 하프미러(20)를 통과한 빛을 수광하여 점광원화하도록 상기 하프미러(20)의 전방에 설치된 디퓨저스크린(30)과, 상기 디퓨저스크린(30)으로부터 나오는 빛을 일정배율로 포커싱(focusing)시키도록 상기 디퓨저스크린(30)의 전방에 설치된 렌즈(40)와, 상기 렌즈(40)에 의해 포커싱된 빛을 받아 광학부품(100)의 경사각을 산출하도록 상기 렌즈(40)의 전방에 설치된 CCD(charge coupled device)카메라(50)를 포함하여 이루어진다.As shown in FIG. 2, the apparatus of the present invention has a light source 10 that emits light in a lateral direction, and a translucent inclination with respect to the light source 10 so as to reflect and transmit light emitted from the light source 10. A half mirror 20 of the castle, a diffuser screen 30 installed in front of the half mirror 20 to receive the light reflected from the optical component 100 and passed through the half mirror 20 to be a point light source; An optical component receiving the lens 40 installed in front of the diffuser screen 30 and the light focused by the lens 40 so as to focus the light emitted from the diffuser screen 30 at a predetermined magnification. And a charge coupled device (CCD) camera 50 installed in front of the lens 40 to calculate the inclination angle of the lens 100.

상기 하프미러(20)는 입사된 빛의 일부는 반사하고 일부는 통과시키는 반투명성의 미러로서, 광원(10)으로부터 발산되는 평행광(11)과 일정각을 이루게 설치되어, 상기 빛의 일부를 광학부품(100)쪽으로 반사시키며, 또한 상기 광학부품(100)에 의해 반사된 빛을 통과시킨다.The half mirror 20 is a semi-transparent mirror that reflects a part of the incident light and passes a part thereof. The half mirror 20 is installed at a predetermined angle with the parallel light 11 emitted from the light source 10, and the part of the light It reflects toward the component 100 and also passes the light reflected by the optical component 100.

상기 디퓨저스크린(30)은 산광식 투과성 막으로서, 입사된 평행광(11)이 스크린을 통과한 후에 점광원(12)으로 변경되도록 하며, 스크린(30)상에 입사광의 각도변위를 X-Y 좌표의 변위로 나타내어 준다.The diffuser screen 30 is a diffused light transmissive film, which causes the incident parallel light 11 to be changed into a point light source 12 after passing through the screen, and the angular displacement of the incident light on the screen 30 in the XY coordinates. This is represented by the displacement.

또한, 상기 디퓨저스크린(30)은 구면중심이 광학부품(100)을 향하는 구형태인 경우에 더욱 정확한 값을 제공한다.In addition, the diffuser screen 30 provides more accurate values when the spherical center is spherical toward the optical component 100.

상기 렌즈(40)는 일정배율을 가져서 상기 디퓨저스크린(30)에서 산광되는 빛(13)에 대하여 배율을 바꾸어 CCD카메라(50)의 스크린(51)상에 포커싱(focusing)한다. The lens 40 has a constant magnification and focuses on the screen 51 of the CCD camera 50 by changing the magnification with respect to the light 13 scattered from the diffuser screen 30.

상기 CCD(charge coupled device)카메라는 빛을 전기적 신호로 변환하는 장치로서, 상기 렌즈(40)에 의해 포커싱된 빛을 수광하는 스크린(51)을 구비하여 스크린(51)상의 X-Y 좌표값을 경사각(θ)으로 산출할 수 있도록 한다.The charge coupled device (CCD) camera is a device for converting light into an electrical signal. The CCD has a screen 51 for receiving light focused by the lens 40, and the XY coordinate value on the screen 51 is tilted ( θ).

도면중 L은 광학부품(100)과 디퓨저스크린(30)사이의 거리이고, a는 디퓨저스크린(30)과 렌즈(40)사이의 거리이며, b는 렌즈(40)와 CCD카메라의 스크린(51)사이의 거리이다.In the drawing, L is the distance between the optical component 100 and the diffuser screen 30, a is the distance between the diffuser screen 30 and the lens 40, b is a screen 51 of the lens 40 and the CCD camera Distance between

상기와 같이 구성된 본 발명의 일실시예에 의한 작용을 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.Referring to the operation of the embodiment of the present invention configured as described above with reference to the drawings as follows.

본 일실시예에서 사용한 디퓨저스크린(30)의 크기는 32mm×32mm이고, 렌즈(40)의 배율은 F=50mm이며, CCD카메라(50)는 1/3 " CCD카메라로서 640×480의 해상도를 가지고 있다. 또한, 본 일실시예에서의 L은 36mm이고, a는 413mm이며, b는 58mm이다.The diffuser screen 30 used in this embodiment has a size of 32 mm x 32 mm, the magnification of the lens 40 is F = 50 mm, and the CCD camera 50 is a 1/3 "CCD camera and has a resolution of 640 x 480. In this embodiment, L is 36 mm, a is 413 mm, and b is 58 mm.

먼저, 광원(10)으로부터 나온 평행광(11)이 하프미러(20)에서 반사되어 광학부품(100)에 조사되고, 반사된 평행광(11)은 상기 하프미러(20)를 통과하여 디퓨저스크린(30)에 입사되는데, 광학부품(100)이 θ=12°로 기울어져 있다면 반사각은 입사각의 2배가 되므로 상기 부품(100)으로부터 디퓨저스크린(30) 쪽으로 반사되는 빛은 2θ=24°의 각도를 가지게 된다.First, the parallel light 11 from the light source 10 is reflected by the half mirror 20 and irradiated to the optical component 100, and the reflected parallel light 11 passes through the half mirror 20 to diffuse the screen. When the optical component 100 is inclined at θ = 12 °, the reflection angle is twice the angle of incidence, so that the light reflected from the component 100 toward the diffuser screen 30 is 2θ = 24 °. Will have

따라서, 평행광(11)은 식 d=Ltan2θ 로부터 d를 계산하면 디퓨저스크린(30) 중심으로부터 약 16mm 지점에 도달하여 점광원(12)이 된다. 이 점광원(12)은 2θ의 각도변위를 갖는 평행광(11)이 디퓨저스크린(30)상에서 X-Y 좌표값의 위치변위로 바뀐 상태가 된다.Accordingly, when the parallel light 11 calculates d from the equation d = Ltan2θ, the parallel light 11 reaches about 16 mm from the center of the diffuser screen 30 to become the point light source 12. The point light source 12 is in a state where the parallel light 11 having an angular displacement of 2θ is changed to the positional displacement of the X-Y coordinate value on the diffuser screen 30.

이와 같이 평행광(11)은 디퓨저스크린(30)을 통과하며 점광원(12)으로 변경되어 그 표면에서 산광되며, 이렇게 산광된 빛 중 렌즈(40)에 입사되는 빛(13)은 상기 렌즈(40)의 배율(F=50mm)에 의해 축소상이 되어 CCD카메라(50)의 스크린(51)상에 맺히게 된다.As described above, the parallel light 11 passes through the diffuser screen 30 and is converted into a point light source 12 and scattered on the surface thereof. Among the scattered light, the light 13 incident on the lens 40 is the lens ( The image is reduced by the magnification (F = 50 mm) of 40 and is formed on the screen 51 of the CCD camera 50.

본 실시예에서의 실험에 의하면, 상기에 기재한 각 거리와 F=50mm의 렌즈 및 1/3 " CCD카메라의 규격에 의한 반사각의 측정한계는 24°이다. 따라서, CCD카메라의 해상도가 640×480인 본 실시예에서 한 셀(cell)당 측정각은 0.037°가 된다.According to the experiments in this embodiment, the measurement limits of the angles of reflection described above according to the above-described angular distances and lenses of F = 50mm and 1/3 "CCD camera are 24 °. Thus, the resolution of the CCD camera is 640x. In this embodiment, which is 480, the measurement angle per cell is 0.037 °.

즉, 종래의 장치에 의한 경사각 측정한계인 약 2.44°에 비해서 10배정도까지 측정이 가능하므로, 종래의 경우에 평행광이 직접 렌즈에 입사됨에 따라 한계를 가졌던 입사각의 범위가 훨씬 넓어지게 되어 경사각이 큰 경우에도 측정가능하게 된다.That is, the measurement can be made up to 10 times as much as about 2.44 °, which is a limit of the inclination angle measured by the conventional apparatus. In the conventional case, as the parallel light is directly incident on the lens, the range of incidence angle, which had a limit, becomes much wider. Even when large, it becomes measurable.

위에서와 같이 광학부품(100)이 경사진 경우가 아니라 광원이 경사각을 갖는 경우에는 입사각(θ)과 반사각(θ)이 같게 되므로 측정한계값은 48°가 된다.As described above, when the light source has an inclination angle rather than when the optical component 100 is inclined, the measurement angle is 48 ° because the incident angle θ and the reflection angle θ are the same.

한편, 상기 디퓨저스크린(30)의 형상이 구형태를 갖는 경우에는 경사각에 따 른 스크린상의 X,Y 좌표값이 더욱 정확한 값을 갖게 된다.On the other hand, when the shape of the diffuser screen 30 has a spherical shape, the X, Y coordinate values on the screen according to the inclination angle have a more accurate value.

도 3을 참조하여 이를 상세히 설명하면 다음과 같다. θ2가 θ1의 2배인 θ1과 θ2 두개의 평행광이 디퓨저스크린(30)에 입사될 때 상기 디퓨저스크린(30)이 평면형태인 경우 스크린에 맺히는 빛은 d1=Ltanθ1 과 d2=Ltanθ2 의 변위값을 갖게 되어 θ2가 θ1의 2배인 것과 달리 d2는 d1의 2배가 넘는데, 이는 기하학적인 특성에 기인하는 것으로서 X-Y 좌표값을 부정확하게 하는 원인이 된다.This will be described in detail with reference to FIG. 3 as follows. When two parallel lights θ1 and θ2 having θ2 equal to θ1 are incident on the diffuser screen 30, when the diffuser screen 30 is in a planar shape, the light formed on the screen may have a displacement value of d1 = Ltanθ1 and d2 = Ltanθ2. Unlike θ2, which is twice that of θ1, d2 is more than twice that of d1, which is due to geometrical characteristics and causes inaccurate XY coordinate values.

따라서, 도 3에서와 같이 디퓨저스크린(30)이 구형태를 갖게 되면 구면상에 맺히는 평행광(11)의 X-Y 좌표값은 거의 두배에 근사하게 되는데, 특히 실험치에 의하면 구의 반경 R이 L의 1.50 내지 1.55배일 때 2S1≒S2가 되어 θ에 따른 X-Y 좌표값이 비례하게 되므로, 디퓨저스크린(30)상에서의 X,Y 좌표값 뿐만 아니라 CCD카메라의 스크린(51)상에서도 거의 정확한 X-Y 좌표값을 얻을 수 있다.Therefore, as shown in FIG. 3, when the diffuser screen 30 has a spherical shape, the XY coordinate value of the parallel light 11 formed on the spherical surface is nearly doubled. Particularly, the experimental value shows that the radius R of the sphere is 1.50 of L To 1.55 times 2S1 ≒ S2, and the XY coordinate values according to θ are proportional to each other, so that almost accurate XY coordinate values can be obtained not only on the diffuser screen 30 but also on the screen 51 of the CCD camera. have.

상술한 바와 같이 본 발명의 일실시예에 의한 광학부품의 경사각 측정장치에 의하면, 광학부품의 경사각을 측정할 때 종래의 측정장치보다 넓은 범위의 경사각 측정이 가능한 효과가 있고, 종래의 장치를 이용하면서도 비교적 간단하게 구성할 수 있는 효과가 있다.As described above, according to the inclination angle measuring apparatus of an optical component according to an embodiment of the present invention, when measuring the inclination angle of the optical component, the inclination angle of a wider range can be measured than the conventional measuring apparatus. Yet relatively simple to configure.

또한, 디퓨저스크린상의 X-Y좌표값 측정에 의해서도 개략적인 경사도를 산출할 수 있는 효과가 있다.In addition, there is an effect that can calculate the rough slope also by measuring the X-Y coordinate value on the diffuser screen.

Claims (5)

삭제delete 삭제delete 삭제delete 광학부품의 경사각을 측정하는 장치에 있어서, 측방향에서 빛을 발산하는 광원과, 상기 광원으로부터 조사되는 빛을 반사 및 투과시키도록 상기 광원에 대해 경사지게 설치된 반투명성의 하프미러와, 광학부품으로부터 반사되어 상기 하프미러를 통과한 빛을 수광하여 점광원화하도록 상기 하프미러의 전방에 설치된 디퓨저스크린과, 상기 디퓨저스크린으로부터 나오는 빛을 일정배율로 포커싱(focusing)시키도록 상기 디퓨저스크린의 전방에 설치된 렌즈와, 상기 렌즈에 의해 포커싱된 빛을 받아 광학부품의 경사각을 산출하도록 상기 렌즈의 전방에 설치된 CCD(charge coupled device)카메라를 포함하여 이루어지며, 상기 디퓨저스크린은 구면중심이 광학부품을 향하는 구면형태이고 상기 디퓨저스크린의 구면반경(R)은 광학부품과 디퓨저스크린간의 거리(L)의 1.50 내지 1.55배인 것을 특징으로 하는 광학부품의 경사각 측정장치.An apparatus for measuring the inclination angle of an optical component, comprising: a light source emitting light in a lateral direction, a semi-transparent half mirror disposed obliquely with respect to the light source to reflect and transmit light emitted from the light source, and reflected from the optical component A diffuser screen installed in front of the half mirror to receive the light passing through the half mirror and to provide a point light source, and a lens installed in front of the diffuser screen to focus light emitted from the diffuser screen at a predetermined magnification; And a charge coupled device (CCD) camera installed in front of the lens to receive the light focused by the lens to calculate an inclination angle of the optical component. The diffuser screen has a spherical center shape of a spherical surface facing the optical component. The spherical radius (R) of the diffuser screen is the distance (L) between the optical component and the diffuser screen. Inclination angle measuring device of the optical component, characterized in that 1.50 to 1.55 times. 제4항에 있어서, 상기 디퓨저스크린은 스크린상의 입사광의 각도변위를 X-Y 좌표의 변위값으로 나타낼 수 있는 것을 특징으로 하는 광학부품의 경사각 측정장치.The inclination angle measuring apparatus of claim 4, wherein the diffuser screen may represent an angle displacement of incident light on the screen as a displacement value of an X-Y coordinate.
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