[go: up one dir, main page]
More Web Proxy on the site http://driver.im/

KR100661161B1 - Organic electro luminescent emitting device and the method for manufacturing the same - Google Patents

Organic electro luminescent emitting device and the method for manufacturing the same Download PDF

Info

Publication number
KR100661161B1
KR100661161B1 KR1020060031163A KR20060031163A KR100661161B1 KR 100661161 B1 KR100661161 B1 KR 100661161B1 KR 1020060031163 A KR1020060031163 A KR 1020060031163A KR 20060031163 A KR20060031163 A KR 20060031163A KR 100661161 B1 KR100661161 B1 KR 100661161B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
forming
wiring pattern
electrode
positive electrode
light emitting
Prior art date
Application number
KR1020060031163A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
유재훈
Original Assignee
주식회사 대우일렉트로닉스
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 대우일렉트로닉스 filed Critical 주식회사 대우일렉트로닉스
Priority to PCT/KR2006/001518 priority Critical patent/WO2007114536A1/en
Priority to TW095124662A priority patent/TWI300996B/en
Priority to US11/494,557 priority patent/US7545097B2/en
Priority to SG200605081-9A priority patent/SG136020A1/en
Priority to EP06016165A priority patent/EP1843396A3/en
Priority to CNB200610110856XA priority patent/CN100477252C/en
Priority to JP2006233524A priority patent/JP2007280920A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR100661161B1 publication Critical patent/KR100661161B1/en
Priority to US12/320,458 priority patent/US7678590B2/en

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/10OLED displays
    • H10K59/12Active-matrix OLED [AMOLED] displays
    • H10K59/131Interconnections, e.g. wiring lines or terminals
    • H10K59/1315Interconnections, e.g. wiring lines or terminals comprising structures specially adapted for lowering the resistance
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/10OLED displays
    • H10K59/17Passive-matrix OLED displays
    • H10K59/179Interconnections, e.g. wiring lines or terminals
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/10OLED displays
    • H10K59/17Passive-matrix OLED displays
    • H10K59/179Interconnections, e.g. wiring lines or terminals
    • H10K59/1795Interconnections, e.g. wiring lines or terminals comprising structures specially adapted for lowering the resistance

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)

Abstract

An OLED and a manufacturing method thereof are provided to reduce power consumption and a driving voltage by reducing resistance of an electric wire by depositing a low-resistive material on a second wire pattern. A substrate(300) is divided into a light emitting portion and a pad portion. First electrodes(310) are arranged in one direction on the light emitting portion of the substrate. An insulation layer pattern(340) is formed in a lattice shape on the first electrode and the substrate, so that plural pixel openings are defined on the first electrode. A barrier rib layer(360) is formed on the insulation layer pattern, which orthogonally crosses the first electrode. An organic film layer is formed on temperature pixel opening. A second electrode(380) is arranged to be normal to the first electrode on the light emitting portion. A first electric wire pattern(320) is formed to be connected to the first electrode on the pad portion. A second electric wire pattern(390) is simultaneously deposited with the second electrode on the pad portion. A barrier film(365) is formed between the second electric wire patterns.

Description

유기 전계 발광 소자 및 그 제조방법{Organic electro luminescent emitting device and the method for manufacturing the same}Organic electroluminescent device and its manufacturing method {Organic electro luminescent emitting device and the method for manufacturing the same}

도 1은 종래 기술에 따른 유기 전계 발광 소자의 일부분을 나타내보인 도면이다.1 is a view showing a part of an organic EL device according to the prior art.

도 2는 본 발명에 따른 유기 전계 발광 소자의 일부를 나타내보인 도면이다. 2 is a view showing a part of an organic EL device according to the present invention.

도 3 내지 도 9는 본 발명의 제1 실시예에 따른 유기 전계 발광 소자의 제조방법을 설명하기 위해 나타내보인 도면들이다.3 to 9 are diagrams for explaining a method of manufacturing an organic EL device according to a first embodiment of the present invention.

도 10 내지 도 13은 본 발명의 제2 실시예에 따른 유기 전계 발광 소자의 제조방법을 나타내보인 도면들이다.10 to 13 illustrate a method of manufacturing an organic EL device according to a second embodiment of the present invention.

도 14 내지 도 20은 본 발명의 제3 실시예에 따른 유기 전계 발광 소자의 제조방법을 나타내보인 도면들이다.14 to 20 are views illustrating a method of manufacturing an organic electroluminescent device according to a third embodiment of the present invention.

도 21 내지 도 26은 본 발명의 제4 실시예에 따른 유기 전계 발광 소자의 제조방법을 나타내보인 도면들이다.21 to 26 illustrate a method of manufacturing an organic EL device according to a fourth embodiment of the present invention.

본 발명은 유기 전계 발광 소자에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 배선 패턴의 저항을 낮출 수 있는 유기 전계 발광 소자 및 그 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to an organic electroluminescent device, and more particularly, to an organic electroluminescent device capable of lowering the resistance of a wiring pattern and a method of manufacturing the same.

일반적으로, 유기 전계 발광 소자(OLED; Organic electro luminescent emitting device)는 평판 디스플레이 소자 중 하나로 웨이퍼 상의 양전극층(anode layer)과 음전극층(cathode layer) 사이에 유기전계 발광층인 유기 박막층을 개재하여 구성하며, 매우 얇은 두께의 매트릭스 형태를 이룬다.In general, an organic electroluminescent device (OLED) is one of the flat panel display devices, and is formed through an organic thin film layer, which is an organic electroluminescent layer, between an anode layer and a cathode layer on a wafer. It forms a very thin matrix.

이러한 유기 전계 발광 소자는 낮은 전압에서 구동이 가능하고, 박형 등의 장점이 있다. 또한, 좁은 광 시야각, 느린 응답 속도 등 종래에 LCD에서 문제로 지적되어 온 결점을 해결할 수 있으며, 다른 형태의 디스플레이와 비교하여, 특히, 중형 이하에서 다른 디스플레이, 예컨대'TFT LCD'와 동등하거나 그 이상의 화질을 가질 수 있을 뿐만 아니라, 제조 공정이 단순하다는 점에서 차세대 평판 디스플레이로 주목받고 있다.The organic EL device can be driven at a low voltage, and has advantages such as thinness. In addition, it is possible to solve the drawbacks that have been conventionally pointed out as problems with LCDs such as narrow viewing angles and slow response speeds, and compared with other types of displays, in particular, equal to or less than other displays such as 'TFT LCD' in the medium and below. In addition to having the above image quality, it is attracting attention as a next-generation flat panel display from the simple manufacturing process.

도 1은 종래 기술에 따른 유기 전계 발광 소자의 일부분을 나타내보인 도면이다. 1 is a view showing a part of an organic EL device according to the prior art.

도 1을 참조하면, 종래의 유기 전계 발광 소자에서는 우선 발광부(A)와 패드부(B)로 구분되어 있는 기판(100)의 발광부(A) 위에, 줄무늬 형태로 평행하게 배열되는 복수의 제1 전극(110)이 형성되어 있다. 또한, 이러한 제1 전극(110) 위에는 상기 제1 전극(110)과 직교하게 배열된 복수의 제2 전극(120)이 형성되어 있다. 이와 같이 서로 직교하는 제1 전극(110)과 제2 전극(120)이 서로 만나는 부분에서 유 기전계 발광소자의 화소(130)가 정의된다. 그리고 이러한 화소(130) 상에서 상기 제1 전극(110) 및 제2 전극(120)의 사이에는 유기 발광층 등을 포함하는 유기 박막층(140)이 형성되어 있다. Referring to FIG. 1, in a conventional organic electroluminescent device, a plurality of organic light emitting devices are arranged in parallel in a stripe shape on a light emitting portion A of a substrate 100 divided into a light emitting portion A and a pad portion B. FIG. The first electrode 110 is formed. In addition, on the first electrode 110, a plurality of second electrodes 120 arranged perpendicularly to the first electrode 110 are formed. As such, the pixel 130 of the organic light emitting diode is defined at a portion where the first electrode 110 and the second electrode 120 perpendicular to each other meet each other. An organic thin film layer 140 including an organic light emitting layer is formed between the first electrode 110 and the second electrode 120 on the pixel 130.

상기 기판(100)의 패드부(B) 위에는 상기 제1 전극(110) 및 제2 전극(120)에 연결된 복수의 배선 패턴(150, 160)이 형성되어 있다. 이러한 복수의 배선 패턴(150, 160)은 통상적으로 상기 제1 전극(110)과 함께 형성하게 되는 바, 제1 전극(110)과 마찬가지로 ITO(Indium tin oxide) 등의 투명 도전 물질로 이루어질 수 있다. 또한, 선택적으로 제1 전극(110)의 소정 영역 위에 이의 저항을 보다 낮추기 위한 크롬 등으로 이루어진 보조 전극(도시하지 않음)이 형성되는 경우에는, 배선 패턴(150, 160)은 상기 제1 전극(110) 및 보조 전극과 함께 형성하게 되며, 이에 따라, ITO 및 크롬(Cr) 등이 순차 적층되어 이루어질 수 있다. 그리고 비록 도면에 도시하지는 않았지만, 이렇게 형성된 유기 전계 발광 소자의 패드부(B) 상에 상기 제1 전극(110), 제2 전극(120) 및 배선 패턴(150, 160)과 전기적으로 연결되어 패드부(B)에 전기적 신호를 인가함으로서 유기 전계 발광 소자를 구동하기 위한 TCP(tape carrier package)를 장착한다.A plurality of wiring patterns 150 and 160 connected to the first electrode 110 and the second electrode 120 are formed on the pad part B of the substrate 100. The plurality of wiring patterns 150 and 160 are typically formed together with the first electrode 110, and may be made of a transparent conductive material such as indium tin oxide (ITO) like the first electrode 110. . In addition, when an auxiliary electrode (not shown) made of chromium or the like is formed on the predetermined region of the first electrode 110 to further lower its resistance, the wiring patterns 150 and 160 may be formed of the first electrode (not shown). 110 and the auxiliary electrode, and accordingly, ITO and chromium (Cr) may be sequentially stacked. Although not shown in the drawing, the pad is electrically connected to the first electrode 110, the second electrode 120, and the wiring patterns 150 and 160 on the pad portion B of the organic electroluminescent device thus formed. A tape carrier package (TCP) for driving an organic electroluminescent device by applying an electrical signal to the unit B is mounted.

그런데 패드부(B) 배선 패턴(150, 160)의 저항이 낮을수록 유기 전계 발광 소자의 구동시 배선에 의한 전압강하가 줄어들고, 이에 따라 낮은 구동전압 및 소비전력을 가진 소자를 제조할 수 있다. 이에 따라 배선 패턴(150, 160)의 저항을 낮추는 방법이 필요하다.However, as the resistance of the pad portion B wiring patterns 150 and 160 is lower, the voltage drop due to the wiring during the driving of the organic light emitting diode is reduced, and thus a device having a low driving voltage and power consumption can be manufactured. Accordingly, a method of lowering the resistance of the wiring patterns 150 and 160 is required.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 저항이 낮은 배선을 구성하여 소비전력 및 구동전압을 낮춤으로써 소자의 전기적 특성을 향상시킬 수 있는 유기 전계 발광 소자 및 그 제조방법을 제공하는데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in an effort to provide an organic electroluminescent device and a method of manufacturing the same, which can improve electrical characteristics of a device by configuring a low resistance wiring to reduce power consumption and driving voltage.

상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 유기 전계 발광 소자는, 발광부와 패드부로 구분되어 있는 기판; 상기 발광부의 기판 위에 어느 한 방향으로 배열되어 있는 제1 전극; 상기 제1 전극 상에 복수의 화소 개구부를 정의하도록 상기 제1 전극 및 기판 위에 격자 형태로 형성되어 있는 절연층 패턴; 상기 제1 전극과 직교하는 절연층 패턴 위에 형성되어 있는 격벽층; 상기 화소 개구부 상에 형성되어 있는 유기 박막층; 상기 제1 전극과 직교하도록 상기 유기 박막층 위에 형성되어 있는 제2 전극; 상기 패드부의 기판 위에 상기 제1 전극과 연결되게 형성되는 제1 배선패턴; 상기 패드부의 기판 위에 상기 제2 전극과 연결되게 형성되어 있고, 제2 전극 형성물질을 포함하는 제2 배선패턴; 및 상기 제2 배선패턴 사이에 형성되어 있는 배리어막을 포함하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above technical problem, the organic electroluminescent device according to the present invention, the substrate is divided into a light emitting portion and a pad portion; A first electrode arranged in one direction on the substrate of the light emitting part; An insulating layer pattern formed in a lattice form on the first electrode and the substrate to define a plurality of pixel openings on the first electrode; A barrier layer formed on the insulating layer pattern orthogonal to the first electrode; An organic thin film layer formed on the pixel opening; A second electrode formed on the organic thin film layer to be orthogonal to the first electrode; A first wiring pattern formed on the pad unit to be connected to the first electrode; A second wiring pattern formed on the substrate of the pad part to be connected to the second electrode and including a second electrode forming material; And a barrier film formed between the second wiring patterns.

본 발명에 있어서, 상기 배리어막은 상기 제1 배선패턴의 사이 및 상기 제2 배선패턴 사이에 각각 형성되어 있는 것을 포함할 수 있다.In the present invention, the barrier layer may include a layer formed between the first wiring pattern and the second wiring pattern, respectively.

상기 제2 배선패턴 사이에 형성되어 있는 배리어막은 상기 격벽층과 연결되어 있는 것이 바람직하다.The barrier film formed between the second wiring patterns is preferably connected to the barrier layer.

상기 제1 배선 패턴은 ITO 또는 IZO의 단일층 구조나 ITO/크롬(Cr) 또는 IZO/크롬(Cr)의 적층구조를 포함하여 이루어질 수 있다.The first wiring pattern may include a single layer structure of ITO or IZO or a lamination structure of ITO / chromium (Cr) or IZO / chromium (Cr).

상기 제2 전극 형성용 물질은, 알루미늄(Al),구리(Cu) 또는 은(Ag)을 포함하는 금속물질 또는 이들의 합금을 포함하는 것이 바람직하다.The material for forming the second electrode preferably includes a metal material including aluminum (Al), copper (Cu), or silver (Ag) or an alloy thereof.

상기 제2 배선 패턴은 ITO 또는 IZO와 제2 전극 형성용 물질의 적층구조를 포함하는 것이 바람직하다.The second wiring pattern may include a laminated structure of ITO or IZO and a material for forming a second electrode.

상기 제2 배선 패턴은, ITO/크롬(Cr) 또는 IZO/크롬(Cr)과 제2 전극 형성용 물질의 적층구조를 포함하는 것이 바람직하다.The second wiring pattern may preferably include a laminated structure of ITO / chromium (Cr) or IZO / chromium (Cr) and a material for forming a second electrode.

상기 제2 배선 패턴은 상기 제2 전극 형성용 물질의 단일층 구조로 이루어질 수 있다.The second wiring pattern may have a single layer structure of the material for forming the second electrode.

상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명의 제1 실시예에 따른 유기 전계 발광 소자의 제조방법은, 발광부와 패드부로 구분되어 있는 기판의 발광부 상에 어느 한 방향으로 배열되는 제1 전극을 형성하는 단계; 상기 제1 전극을 형성하면서 상기 기판의 패드부 상에 상기 제1 전극과 연결되고, 제1 전극 형성물질을 포함하는 제1 배선패턴을 형성하는 단계; 상기 제1 전극을 형성하면서 상기 기판의 패드부 상에 제1 전극 형성물질을 포함하는 제2 배선패턴을 형성하는 단계; 상기 제1 전극 상에 복수의 화소 개구부를 정의하도록 상기 제1 전극 및 기판 위에 격자 형태로 절연층 패턴을 형성하는 단계; 상기 제1 전극과 직교하는 절연층 패턴 위에 격벽층을 형성하는 단계; 상기 격벽층을 형성하면서 상기 제2 배선패턴 사이에 배 리어막을 형성하는 단계; 상기 화소 개구부 상에 유기박막층을 형성하는 단계; 상기 유기박막층 위에 제1 전극과 직교하는 제2 전극을 형성하면서, 상기 제2 배선패턴 상에 제2 전극용 형성물질을 증착하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above technical problem, a method of manufacturing an organic electroluminescent device according to a first embodiment of the present invention, the first electrode arranged in either direction on the light emitting portion of the substrate divided into a light emitting portion and a pad portion Forming; Forming a first wiring pattern on the pad portion of the substrate while forming the first electrode, the first wiring pattern comprising a first electrode forming material; Forming a second wiring pattern including a first electrode forming material on a pad portion of the substrate while forming the first electrode; Forming an insulating layer pattern on the first electrode and the substrate in a lattice form to define a plurality of pixel openings on the first electrode; Forming a barrier layer on the insulating layer pattern orthogonal to the first electrode; Forming a barrier film between the second wiring patterns while forming the barrier layer; Forming an organic thin film layer on the pixel opening; And forming a second electrode formation material on the second wiring pattern while forming a second electrode orthogonal to the first electrode on the organic thin film layer.

상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명의 제2 실시예에 따른 유기 전계 발광 소자의 제조방법은, 발광부와 패드부로 구분되어 있는 기판의 발광부 상에 어느 한 방향으로 배열되는 제1 전극을 형성하는 단계; 상기 제1 전극을 형성하면서 상기 기판의 패드부 상에 상기 제1 전극과 연결되고, 제1 전극 형성물질을 포함하는 제1 배선패턴을 형성하는 단계; 상기 제1 전극을 형성하면서 상기 기판의 패드부 상에 제1 전극 형성물질을 포함하는 제2 배선패턴을 형성하는 단계; 상기 제1 전극 상에 복수의 화소 개구부를 정의하도록 상기 제1 전극 및 기판 위에 격자 형태로 절연층 패턴을 형성하는 단계; 상기 제1 전극과 직교하는 절연층 패턴 위에 격벽층을 형성하는 단계; 상기 격벽층을 형성하면서 상기 제1 배선패턴 사이 및 제2 배선패턴 사이에 배리어막을 형성하는 단계; 상기 화소 개구부 상에 유기박막층을 형성하는 단계; 상기 유기박막층 위에 제1 전극과 직교하는 제2 전극을 형성하면서, 상기 제1 배선패턴 및 제2 배선패턴 상에 제2 전극용 형성물질을 증착하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above technical problem, a method of manufacturing an organic EL device according to a second embodiment of the present invention, the first electrode arranged in one direction on the light emitting portion of the substrate divided into a light emitting portion and a pad portion Forming; Forming a first wiring pattern on the pad portion of the substrate while forming the first electrode, the first wiring pattern comprising a first electrode forming material; Forming a second wiring pattern including a first electrode forming material on a pad portion of the substrate while forming the first electrode; Forming an insulating layer pattern on the first electrode and the substrate in a lattice form to define a plurality of pixel openings on the first electrode; Forming a barrier layer on the insulating layer pattern orthogonal to the first electrode; Forming a barrier layer between the first wiring pattern and the second wiring pattern while forming the barrier layer; Forming an organic thin film layer on the pixel opening; And forming a second electrode forming material on the first wiring pattern and the second wiring pattern while forming a second electrode orthogonal to the first electrode on the organic thin film layer.

본 발명에 있어서, 상기 제2 배선패턴 사이의 배리어막은 상기 격벽층과 연결되어 있는 것이 바람직하다.In the present invention, the barrier film between the second wiring patterns is preferably connected to the barrier layer.

상기 제1 배선 패턴은 ITO 또는 IZO의 단일층 구조나 ITO/크롬(Cr) 또는 IZO/크롬(Cr)의 적층구조로 이루어질 수 있다.The first wiring pattern may be formed of a single layer structure of ITO or IZO or a stacked structure of ITO / chromium (Cr) or IZO / chromium (Cr).

상기 제2 전극 형성용 물질은, 알루미늄(Al),구리(Cu) 또는 은(Ag)을 포함하는 전극형성용 금속물질 또는 이들의 합금을 포함하는 것이 바람직하다.The second electrode forming material preferably includes an electrode forming metal material or an alloy thereof including aluminum (Al), copper (Cu) or silver (Ag).

상기 제2 배선 패턴은 ITO 또는 IZO와 제2 전극 형성용 물질의 적층구조를 포함할 수 있다.The second wiring pattern may include a stacked structure of ITO or IZO and a material for forming a second electrode.

상기 제2 배선 패턴은, ITO/크롬(Cr) 또는 IZO/크롬(Cr)과 제2 전극 형성용 물질의 적층구조를 포함할 수 있다.The second wiring pattern may include a stacked structure of ITO / chromium (Cr) or IZO / chromium (Cr) and a material for forming a second electrode.

상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명의 제3 실시예에 따른 유기 전계 발광 소자의 제조방법은, 발광부와 패드부로 구분되어 있는 기판의 발광부 상에 어느 한 방향으로 배열되는 제1 전극을 형성하는 단계;In order to achieve the above technical problem, a method of manufacturing an organic electroluminescent device according to a third embodiment of the present invention, the first electrode arranged in one direction on the light emitting portion of the substrate divided into a light emitting portion and a pad portion Forming;

상기 제1 전극을 형성하면서 상기 기판의 패드부 상에 상기 제1 전극과 연결되고, 제1 전극 형성물질을 포함하는 제1 배선패턴을 형성하는 단계; 상기 제1 전극 상에 복수의 화소 개구부를 정의하도록 상기 제1 전극 및 기판 위에 격자 형태로 절연층 패턴을 형성하는 단계; 상기 제1 전극과 직교하는 절연층 패턴 위에 격벽층을 형성하는 단계; 상기 격벽층을 형성하면서 상기 패드부까지 확장하여 배리어막을 형성하는 단계; 상기 화소 개구부 상에 유기박막층을 형성하는 단계; 상기 제1 배선패턴을 차단하는 마스크막 패턴을 형성하는 단계; 상기 마스크막 패턴을 이용하여 상기 유기박막층 위에 제1 전극과 직교하는 제2 전극을 형성하면서, 상기 배리어막 사이로 제2 전극용 형성물질을 확장 증착하여 제2 배선패턴을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.Forming a first wiring pattern on the pad portion of the substrate while forming the first electrode, the first wiring pattern comprising a first electrode forming material; Forming an insulating layer pattern on the first electrode and the substrate in a lattice form to define a plurality of pixel openings on the first electrode; Forming a barrier layer on the insulating layer pattern orthogonal to the first electrode; Forming a barrier layer by expanding the pad part while forming the barrier layer; Forming an organic thin film layer on the pixel opening; Forming a mask layer pattern blocking the first wiring pattern; Forming a second wiring pattern by expanding and depositing a second electrode formation material between the barrier layers while forming a second electrode orthogonal to a first electrode on the organic thin film layer using the mask layer pattern. It features.

상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명의 제4 실시예에 따른 유기 전계 발광 소자의 제조방법은, 발광부와 패드부로 구분되어 있는 기판의 발광부 상에 어느 한 방향으로 배열되는 제1 전극을 형성하는 단계; 상기 제1 전극 상에 복수의 화소 개구부를 정의하도록 상기 제1 전극 및 기판 위에 격자 형태로 절연층 패턴을 형성하는 단계; 상기 제1 전극과 직교하는 절연층 패턴 위에 격벽층을 형성하는 단계; 상기 격벽층을 형성하면서 상기 패드부까지 확장하여 배리어막을 형성하는 단계; 상기 화소 개구부 상에 유기박막층을 형성하는 단계; 상기 유기박막층 위에 제1 전극과 직교하는 제2 전극을 형성하면서, 상기 배리어막 사이로 제2 전극용 형성물질을 확장 증착하여 제1 배선 패턴 및 제2 배선패턴을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above technical problem, the organic electroluminescent device manufacturing method according to the fourth embodiment of the present invention, the first electrode arranged in either direction on the light emitting portion of the substrate divided into a light emitting portion and a pad portion Forming; Forming an insulating layer pattern on the first electrode and the substrate in a lattice form to define a plurality of pixel openings on the first electrode; Forming a barrier layer on the insulating layer pattern orthogonal to the first electrode; Forming a barrier layer by expanding the pad part while forming the barrier layer; Forming an organic thin film layer on the pixel opening; Forming a first wiring pattern and a second wiring pattern by expanding and depositing a second electrode forming material between the barrier layers while forming a second electrode orthogonal to the first electrode on the organic thin film layer. do.

본 발명에 있어서, 상기 제2 배선패턴은 상기 제2 전극과 연결되며, 상기 제2 배선패턴 사이의 배리어막은 상기 격벽층과 연결되어 있는 것이 바람직하다.In the present invention, it is preferable that the second wiring pattern is connected to the second electrode, and the barrier film between the second wiring patterns is connected to the barrier layer.

상기 제2 전극 형성용 물질은, 알루미늄(Al),구리(Cu) 또는 은(Ag)을 포함하는 전극형성용 금속물질 또는 이들의 합금을 포함할 수 있다.The second electrode forming material may include an electrode forming metal material or alloy thereof including aluminum (Al), copper (Cu), or silver (Ag).

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 상세히 설명하고자 한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 도면에서 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었다. 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 동일한 도면 부호를 붙였다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. As those skilled in the art would realize, the described embodiments may be modified in various different ways, all without departing from the spirit or scope of the present invention. In the drawings, the thickness of layers, films, panels, regions, etc., are exaggerated for clarity. Like parts are designated by like reference numerals throughout the specification.

도 2는 본 발명에 따른 유기 전계 발광 소자의 일부를 나타내보인 도면이다. 그리고 도 3 내지 도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 전계 발광 소자의 제조방법을 설명하기 위해 나타내보인 도면들이다. 특히 도 9는 도 8을 I-I'축을 따라 잘라낸 부분을 나타내보인 도면이다.2 is a view showing a part of an organic EL device according to the present invention. 3 to 9 are diagrams for explaining a method of manufacturing an organic EL device according to an embodiment of the present invention. In particular, FIG. 9 is a view showing a portion taken along the line II ′ of FIG. 8.

도 2를 참조하면, 본 발명에 따른 유기 전계 발광 소자는, 발광부(A)와 패드부(B)로 구분되어 있는 기판(300)과, 발광부(A)의 기판(300) 위에 어느 한 방향으로 배열되어 있는 제1 전극(310)과, 제1 전극(310) 상에 복수의 화소 개구부를 정의하도록 상기 제1 전극(310) 및 기판 위에 격자 형태로 형성되어 있는 절연층 패턴(340)과, 제1 전극(310)과 직교하는 절연층 패턴(340) 위에 형성되어 있는 격벽층(360)과, 화소 개구부 상에 형성되어 있는 유기 박막층(미도시함)과, 발광부(A)의 기판(300) 위에 상기 제1 전극(310)과 직교하게 배열되어 있는 제2 전극(380)과, 패드부(B)의 기판(300) 위에 상기 제1 전극(310)과 연결되게 형성되어 있는 제1 배선패턴(320)과, 패드부(B)의 기판(300) 위에 상기 제2 전극(380)과 동시에 같은 물질로 증착되어 전기적으로 서로 연결되는 성질을 가지고 있는 제2 배선패턴(390) 및 제2 배선패턴(390) 사이에 형성되어 있는 배리어막(365)을 포함하여 이루어진다. 여기서 배리어막(365)은 기판(300)의 발광부(A)에 형성되어 있는 격벽층(360)과 연결되어 있다. Referring to FIG. 2, the organic electroluminescent device according to the present invention includes any one of a substrate 300 divided into a light emitting portion A and a pad portion B, and a substrate 300 of the light emitting portion A. FIG. A first electrode 310 arranged in a direction and an insulating layer pattern 340 formed in a lattice form on the first electrode 310 and the substrate to define a plurality of pixel openings on the first electrode 310. And the partition layer 360 formed on the insulating layer pattern 340 orthogonal to the first electrode 310, the organic thin film layer (not shown) formed on the pixel opening, and the light emitting portion A. The second electrode 380 is arranged on the substrate 300 to be orthogonal to the first electrode 310, and is formed on the substrate 300 of the pad part B so as to be connected to the first electrode 310. The first wiring pattern 320 and the substrate 300 of the pad portion B are simultaneously deposited with the same material as the second electrode 380 and electrically connected to each other. The second comprises a wiring pattern 390 and second wiring pattern 390, the barrier film 365 formed between. The barrier layer 365 is connected to the barrier layer 360 formed on the light emitting portion A of the substrate 300.

또한, 비록 도면에 도시하지는 않았지만, 배리어막(365)은 상기 제1 배선패 턴(320) 사이 및 상기 제2 배선패턴(330) 사이에 각각 형성되어 있는 구조를 더 포함하여 이루어질 수도 있다. In addition, although not shown in the drawings, the barrier layer 365 may further include a structure that is formed between the first wiring pattern 320 and the second wiring pattern 330, respectively.

이하 도 3 내지 도 9를 참조하여 본 발명의 제1 실시예에 따른 유기 전계 발광 소자의 제조방법을 설명하기로 한다. Hereinafter, a method of manufacturing an organic EL device according to a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 3 to 9.

먼저 도 3을 참조하면, 발광부(A)와 패드부(B)를 포함하는 기판(300) 상에 어느 한 방향으로 평행하게 배열되는 제1 전극(310)을 형성한다. 제1 전극(310)을 형성하면서 상기 기판(300)의 패드부(A)에 이후 외부 구동회로와 연결하기 위한 배선 패턴, 예를 들어 제1 배선패턴(320) 및 제2 배선패턴(330)을 형성한다. 여기서 제1 배선패턴(320)은 제1 전극(310)과 연결되며, 제2 배선패턴(330)은 이후 형성하는 제2 전극과 연결된다.First, referring to FIG. 3, a first electrode 310 is formed on the substrate 300 including the light emitting portion A and the pad portion B in parallel in one direction. Wiring patterns, for example, the first wiring pattern 320 and the second wiring pattern 330, for connecting to an external driving circuit to the pad portion A of the substrate 300 while forming the first electrode 310. To form. Here, the first wiring pattern 320 is connected to the first electrode 310, and the second wiring pattern 330 is connected to the second electrode formed thereafter.

기판(300)은 일반적으로 글래스(glass)를 사용하며, 제1 전극(310)은 ITO(Indium tin oxide) 또는 IZO(Indium zinc oxide)을 포함하는 투명 전도성 물질로 형성할 수 있다. 그리고 제1 및 제2 배선패턴(320,330)은 상기 제1 전극(310)과 함께 형성하게 되는 바, 제1 전극(310)과 마찬가지로 ITO 등의 투명 도전 물질로 이루어질 수 있다. 또한, 선택적으로 제1 전극(310)의 소정 영역 위에 상기 제1 전극(310)의 저항을 보다 낮추기 위해 저항 및 비저항이 낮은 물질, 예를 들어 크롬(Cr) 또는 몰리브덴(Mo) 등으로 이루어진 보조 전극(도시하지 않음)을 형성하는 경우에는, 상기 제1 및 제2 배선패턴(320,330)은 상기 제1 전극(310) 및 보조 전극과 함께 형성하게 되며, 이에 따라 ITO 와 크롬(Cr) 또는 IZO와 크롬이 순차적으로 적층된 구조로 형성할 수 있다. The substrate 300 generally uses glass, and the first electrode 310 may be formed of a transparent conductive material including indium tin oxide (ITO) or indium zinc oxide (IZO). The first and second wiring patterns 320 and 330 may be formed together with the first electrode 310, and may be made of a transparent conductive material such as ITO, like the first electrode 310. In addition, an auxiliary material made of a material having low resistance and specific resistance, for example, chromium (Cr) or molybdenum (Mo), to selectively lower the resistance of the first electrode 310 on a predetermined region of the first electrode 310. In the case of forming an electrode (not shown), the first and second wiring patterns 320 and 330 are formed together with the first electrode 310 and the auxiliary electrode, and thus, ITO and chromium (Cr) or IZO. And chromium may be formed in a stacked structure.

다음에 도 4를 참조하면, 기판(300)의 제1 전극(310) 위에, 평면으로 보아 격자 형상을 나타냄으로써 제1 전극(310) 상에 화소 개구부(350)를 정의하는 절연층 패턴(340)을 형성한다. 여기서 절연층 패턴(340)이 이루는 화소 개구부(350)는 화소 형성영역을 정의한다.Referring next to FIG. 4, an insulating layer pattern 340 defining a pixel opening 350 on the first electrode 310 by showing a lattice shape on the first electrode 310 of the substrate 300 in plan view. ). Here, the pixel opening 350 formed by the insulating layer pattern 340 defines the pixel formation region.

다음에 도 5를 참조하면, 절연층 패턴(340)을 포함하는 기판(300) 전면에 네가티브 타입(negative type)의 감광막을 적층한 후, 노광 및 현상을 실시하여 역경사를 가지는 격벽층(360)을 형성한다. 격벽층(360)은 제1 전극(310)과 직교하여 일정 간격을 두고 평행하게 배열되며, 이후 공정에서 형성되는 제2 전극이 인접 구성 요소와 단락이 되지 않도록 오버행(overhang)구조를 가진다. Next, referring to FIG. 5, after the negative type photosensitive film is laminated on the entire surface of the substrate 300 including the insulating layer pattern 340, the barrier layer 360 having a reverse slope may be exposed and developed. ). The partition layer 360 is arranged parallel to the first electrode 310 at regular intervals orthogonal to each other, and has an overhang structure so that the second electrode formed in a subsequent process does not short-circuit with an adjacent component.

이와 같이 기판(300) 전면에 격벽층(360)을 형성하면서 제2 배선패턴(330) 사이에 배리어막(365)을 형성한다. 여기서 배리어막(365)은 격벽층(360)과 연결되어 있는 것이 바람직하다. 배리어막(365)은 패드부(B) 상에 형성되어 있는 제2 배선패턴(330) 사이에 위치하여 제2 배선패턴(330)을 분리하는 역할을 한다. 이때, 배리어막(365)은 격벽층(360)과 동일한 물질, 예를 들어 네거티브 타입의 감광막으로 형성할 수 있다.As such, the barrier layer 365 is formed between the second wiring patterns 330 while the barrier layer 360 is formed on the entire surface of the substrate 300. In this case, the barrier layer 365 is preferably connected to the barrier layer 360. The barrier layer 365 is positioned between the second wiring patterns 330 formed on the pad part B to separate the second wiring patterns 330. In this case, the barrier film 365 may be formed of the same material as the barrier layer 360, for example, a negative photosensitive film.

다음에 도 6을 참조하면, 화소 형성영역인 화소 개구부 상에 유기 발광층 등을 포함하는 유기 박막층(370)을 형성한다. 유기 박막층(370)은 제1 전극(310) 상에 절연층 패턴(340)으로 형성된 화소 개구부 상에 비록 도면에 도시하지는 않았지만, 정공주입층, 정공수송층, 유기 전계 발광층 및 전자 수송층이 적층된 구조로 형성할 수 있다. Next, referring to FIG. 6, an organic thin film layer 370 including an organic emission layer or the like is formed on the pixel opening which is a pixel formation region. The organic thin film layer 370 has a structure in which a hole injection layer, a hole transport layer, an organic electroluminescent layer, and an electron transport layer are stacked on the pixel opening formed as the insulating layer pattern 340 on the first electrode 310, although not shown in the drawing. It can be formed as.

다음에 도 7을 참조하면, 패드부(B) 상의 제1 배선패턴(320)이 형성된 영역을 차단하는 마스크막 패턴(375)을 형성한다. 여기서 마스크막 패턴(375)은 후속 공정에서 제2 전극을 증착시 제1 배선패턴(미도시함)을 차단하는 역할을 한다. Next, referring to FIG. 7, a mask film pattern 375 is formed to block an area where the first wiring pattern 320 is formed on the pad part B. Referring to FIG. The mask layer pattern 375 may block the first wiring pattern (not shown) when the second electrode is deposited in a subsequent process.

다음에 도 8 및 도 9를 참조하면, 유기 박막층(370) 상에 제1 전극(310)과 직교하는 제2 전극(380)을 형성한다. 제2 전극(380)은 알루미늄(Al),구리(Cu) 또는 은(Ag)을 포함하는 전극형성용 금속물질 또는 이들의 합금(alloy)으로 이루어질 수 있다. 8 and 9, a second electrode 380 orthogonal to the first electrode 310 is formed on the organic thin film layer 370. The second electrode 380 may be formed of an electrode forming metal material including aluminum (Al), copper (Cu), or silver (Ag) or an alloy thereof.

이때, 유기 박막층(370) 상에 상기 제2 전극(380)을 형성하면서 기판(300)의 패드부(B)에 제2 전극용 형성물질을 확장하여 증착한다. 여기서 제2 전극 형성용 물질은 알루미늄(Al), 구리(Cu) 또는 은(Ag)을 포함하는 전극형성용 금속물질 또는 이들의 합금(alloy)으로 이루어질 수 있다.In this case, the second electrode 380 is formed on the organic thin film layer 370, and the second electrode forming material is extended and deposited on the pad portion B of the substrate 300. The second electrode forming material may be formed of an electrode forming metal material including aluminum (Al), copper (Cu) or silver (Ag) or an alloy thereof.

그러면, 제2 배선패턴(390)은 ITO 또는 IZO 상에 제2 전극 형성용 물질이 적층된 구조로 이루어지거나 또는 ITO/크롬(Cr) 또는 IZO/크롬(Cr)이 순차적으로 적층된 구조 위에 제2 전극 형성용 물질이 증착된 구조로 이루어질 수 있다. Then, the second wiring pattern 390 is formed of a structure in which a material for forming a second electrode is stacked on ITO or IZO, or on a structure in which ITO / Cr or IZO / Cr are sequentially stacked. The material for forming the second electrode may be formed of a deposited structure.

이와 같이, ITO와 크롬(Cr) 또는 IZO와 크롬이 순차적으로 적층된 구조(330a, 330b)로 형성되어 있는 제2 배선패턴(330) 상에 제2 전극 형성용 물질, 예를 들어 알루미늄(Al)을 증착하면, 증착영역에 대하여 종래 기술보다 저항이 대략 8-10배 정도 낮아지면서 이후 외부 구동회로와 연결하여 유기 전계 발광 소자를 구동시 소비전력 및 구동전압이 낮아지게 되어 소자의 전기적 특성을 향상시킬 수 있다. As such, the material for forming the second electrode, for example, aluminum (Al) on the second wiring pattern 330 formed of the structures 330a and 330b in which ITO and chromium (Cr) or IZO and chromium are sequentially stacked. ), The resistance of the deposition region is about 8-10 times lower than that of the prior art, and the power consumption and driving voltage are lowered when the organic electroluminescent device is driven by connecting to an external driving circuit. Can be improved.

도 10 내지 도 13은 본 발명의 제2 실시예에 따른 유기 전계 발광 소자의 제조방법을 나타내보인 도면들이다. 특히 도 13은 도 12를 V-V'축을 따라 잘라낸 부분을 나타내보인 도면이다.10 to 13 illustrate a method of manufacturing an organic EL device according to a second embodiment of the present invention. In particular, FIG. 13 is a view showing a portion cut out along the V-V 'axis.

먼저 도 3 및 도 4에 도시한 바와 같이, 발광부(A)와 패드부(B)를 포함하는 기판(300) 상에 제1 전극(310) 및 제1 배선패턴(320) 및 제2 배선패턴(330)을 형성한다. 다음에 기판(300)의 제1 전극(310) 상에 화소 개구부(350)를 정의하는 격자 형상의 절연층 패턴(340)을 형성한다.First, as shown in FIGS. 3 and 4, the first electrode 310, the first wiring pattern 320, and the second wiring on the substrate 300 including the light emitting portion A and the pad portion B. Pattern 330 is formed. Next, a lattice-shaped insulating layer pattern 340 defining the pixel opening 350 is formed on the first electrode 310 of the substrate 300.

다음에 도 10을 참조하면, 기판(300) 전면에 감광막을 적층한 후, 노광 및 현상을 실시하여 역경사를 가지는 격벽층(360)을 형성한다. 격벽층(360)은 제1 전극(310)과 직교하여 일정 간격을 두고 평행하게 배열되며 오버행구조를 가진다.Next, referring to FIG. 10, after the photosensitive film is laminated on the entire surface of the substrate 300, the partition wall layer 360 having a reverse slope is formed by performing exposure and development. The partition layer 360 is arranged in parallel with a predetermined interval orthogonal to the first electrode 310 and has an overhang structure.

이러한 격벽층(360)을 형성하면서 제1 배선패턴(320) 사이 및 제2 배선패턴(330) 사이에 배리어막(365)을 형성한다. 배리어막(365)은 이후 제2 전극 형성용 물질 증착시 제1 배선패턴(320) 및 제2 배선패턴(330)간에 단락이 발생하는 것을 방지하는 역할을 한다. 여기서 제2 배선패턴(330) 사이의 배리어막(365)은 격벽층(360)과 연결되어 있는 것이 바람직하다. 또한 제1 배선패턴(320) 사이의 배리어막(365)은 격벽층(360)과 연결되어 있을 수도 있다.The barrier layer 365 is formed between the first wiring pattern 320 and the second wiring pattern 330 while forming the barrier layer 360. The barrier layer 365 prevents a short circuit between the first wiring pattern 320 and the second wiring pattern 330 when the material for forming the second electrode is subsequently deposited. In this case, the barrier layer 365 between the second wiring patterns 330 is preferably connected to the barrier layer 360. In addition, the barrier layer 365 between the first wiring patterns 320 may be connected to the barrier layer 360.

다음에 도 11을 참조하면, 화소 개구부 상에 유기 발광층 등을 포함하는 유기 박막층(370)을 형성한다.Next, referring to FIG. 11, an organic thin film layer 370 including an organic light emitting layer or the like is formed on the pixel opening.

다음에 도 12 및 도 13을 참조하면, 유기 박막층(370) 상에 제1 전극(310)과 직교하는 제2 전극(380)을 형성한다. 유기 박막층(370) 상에 상기 제2 전극(380)을 형성하면서, 기판(300)의 패드부(B)로 제2 전극 형성용 물질을 확장하여 증착해 패드부(B)상에 제2 전극 형성용 물질이 적층된 제1 배선패턴(395) 및 제2 배선패턴(390)을 형성한다. 여기서 제1 배선패턴(395)은 ITO와 크롬(Cr) 또는 IZO와 크롬이 순차적으로 적층된 구조(320a, 320b)를 포함할 수 있다. 이때, 제2 전극 형성용 물질은 알루미늄(Al), 구리(Cu) 또는 은(Ag)을 포함하여 이루어진다. 또한, 제1 배선패턴(395) 및 제2 배선패턴(390)은 미리 형성되어 있는 배리어막(365)에 의해 분리되어있어 제2 전극 형성용 물질을 증착할 때 마스크를 이용하지 않고 증착할 수 있다. Next, referring to FIGS. 12 and 13, a second electrode 380 orthogonal to the first electrode 310 is formed on the organic thin film layer 370. While forming the second electrode 380 on the organic thin film layer 370, the second electrode forming material is expanded and deposited on the pad portion B of the substrate 300 to form the second electrode on the pad portion B. The first wiring pattern 395 and the second wiring pattern 390 on which the forming materials are stacked are formed. The first wiring pattern 395 may include structures 320a and 320b in which ITO and chromium (Cr) or IZO and chromium are sequentially stacked. In this case, the material for forming the second electrode includes aluminum (Al), copper (Cu), or silver (Ag). In addition, the first wiring pattern 395 and the second wiring pattern 390 are separated by a barrier film 365 that is formed in advance, so that the first wiring pattern 395 and the second wiring pattern 390 can be deposited without using a mask when depositing the material for forming the second electrode. have.

이와 같이, ITO와 크롬(Cr) 또는 IZO와 크롬이 순차적으로 적층된 구조로 형성되어 있는 배선패턴 상에 제2 전극 형성용 물질이 증착된 구조로 이루어진 제1 배선패턴(395) 및 제2 배선패턴(390)은 저항이 보다 더 낮아지면서 이후 외부 구동회로와 연결하여 유기 전계 발광 소자를 구동시 소비전력 및 구동전압이 낮아지게 되어 소자의 전기적 특성을 향상시킬 수 있다. As described above, the first wiring pattern 395 and the second wiring formed of a structure in which a material for forming a second electrode is deposited on a wiring pattern in which ITO and chromium (Cr) or IZO and chromium are sequentially stacked. The pattern 390 may have a lower resistance, thereby connecting to an external driving circuit, thereby lowering power consumption and driving voltage when driving the organic light emitting diode, thereby improving electrical characteristics of the device.

도 14 내지 도 20은 본 발명의 제3 실시예에 따른 유기 전계 발광 소자의 제조방법을 나타내보인 도면들이다. 특히 도 20은 도 19를 X-X'축을 따라 잘라낸 부분을 나타내보인 도면이다.14 to 20 are views illustrating a method of manufacturing an organic electroluminescent device according to a third embodiment of the present invention. In particular, FIG. 20 is a view illustrating a portion taken along the line X-X 'of FIG. 19.

먼저 도 14를 참조하면, 발광부(A)와 패드부(B)를 포함하는 기판(400) 상에 어느 한 방향으로 평행하게 배열되는 제1 전극(410)을 형성한다. 제1 전극(410)을 형성하면서 상기 기판(400)의 패드부(B)에 이후 외부 구동회로와 연결하기 위한 배선 패턴, 예를 들어 제1 배선패턴(420)을 형성한다. 제1 배선패턴(420)은 제1 전극(410)과 연결된다. First, referring to FIG. 14, a first electrode 410 is formed on the substrate 400 including the light emitting portion A and the pad portion B in parallel in one direction. While forming the first electrode 410, a wiring pattern, for example, a first wiring pattern 420, is formed on the pad portion B of the substrate 400 to be connected to an external driving circuit. The first wiring pattern 420 is connected to the first electrode 410.

여기서 제1 전극(410)은 ITO 또는 IZO을 포함하는 투명 전도성 물질로 형성할 수 있다. 그리고 제1 배선패턴(420)은 상기 제1 전극(410)과 함께 형성하게 되는 바, 제1 전극(410)과 마찬가지로 ITO 등의 투명 도전 물질로 이루어질 수 있다. 또한, 선택적으로 제1 전극(410)의 소정 영역 위에 상기 제1 전극(410)의 저항을 보다 낮추기 위해 저항 및 비저항이 낮은 물질, 예를 들어 크롬(Cr) 또는 몰리브덴(Mo) 등으로 이루어진 보조 전극(도시하지 않음)을 형성할 수도 있다. 이 경우, 제1 배선패턴(420)은 상기 제1 전극(410) 및 보조 전극과 함께 형성할 수도 있으며, 이에 따라 ITO 와 크롬(Cr) 또는 IZO와 크롬이 순차적으로 적층된 구조로도 형성할 수 있다. The first electrode 410 may be formed of a transparent conductive material including ITO or IZO. The first wiring pattern 420 is formed together with the first electrode 410, and may be made of a transparent conductive material such as ITO, like the first electrode 410. In addition, an auxiliary material made of a material having low resistance and specific resistance, for example, chromium (Cr) or molybdenum (Mo), to selectively lower the resistance of the first electrode 410 on a predetermined region of the first electrode 410. An electrode (not shown) may be formed. In this case, the first wiring pattern 420 may be formed together with the first electrode 410 and the auxiliary electrode, and thus may also have a structure in which ITO and chromium (Cr) or IZO and chromium are sequentially stacked. Can be.

한편, 패드부(B)에서 제1 배선패턴(420)이 형성된 영역을 제외한 나머지 영역, 예를 들어 제2 전극과 연결되는 제2 배선패턴이 형성될 영역은 이후 제2 전극 형성을 위한 전극물질 증착시 함께 형성할 수 있다. 이에 대한 설명한 추후 설명하기로 한다.Meanwhile, in the pad part B, except for the region where the first wiring pattern 420 is formed, for example, the region where the second wiring pattern to be connected to the second electrode is to be formed is an electrode material for forming the second electrode. It can be formed together during deposition. This will be described later.

다음에 도 15를 참조하면, 기판(400)의 발광부(A)상에 배치되어 있는 제1 전극(410) 위에, 평면으로 보아 격자 형상을 나타냄으로써 제1 전극(410) 상에 화소 개구부(450)를 정의하는 절연층 패턴(440)을 형성한다. 여기서 절연층 패턴(440)이 이루는 화소 개구부(450)는 화소 형성영역을 정의한다.Next, referring to FIG. 15, a pixel opening on the first electrode 410 may be formed on the first electrode 410 disposed on the light emitting portion A of the substrate 400 in a planar view. An insulating layer pattern 440 defining 450 is formed. The pixel opening 450 formed in the insulating layer pattern 440 defines the pixel formation region.

다음에 도 16을 참조하면, 절연층 패턴(440)을 포함하는 기판(400) 전면에 감광막을 적층한 후, 노광 및 현상을 실시하여 역경사를 가지는 격벽층(460)을 형성한다. 격벽층(460)은 제1 전극(410)과 직교하여 일정 간격을 두고 평행하게 배열되며, 이후 공정에서 형성되는 제2 전극이 인접 구성 요소와 단락이 되지 않도록 오버행구조를 가진다. Next, referring to FIG. 16, after the photosensitive film is stacked on the entire surface of the substrate 400 including the insulating layer pattern 440, the partition layer 460 having the reverse slope is formed by performing exposure and development. The partition layer 460 is arranged to be parallel to the first electrode 410 at regular intervals orthogonal to each other, and has an overhang structure so that the second electrode formed in a subsequent process is not short-circuited with adjacent components.

이때, 격벽층(460)을 형성하면서 패드부(B)까지 확장하여 배리어막(465)을 형성한다. 여기서 배리어막(465)은 격벽층(460)과 연결되어 있는 것이 바람직하다. 배리어막(465)은 이후 형성될 제2 배선패턴 사이에 배치되어 상기 제2 배선패턴을 분리하는 역할을 한다. 이때, 배리어막(465)은 격벽층(460)과 동일한 물질, 예를 들어 네거티브 타입의 감광막으로 형성할 수 있다.At this time, the barrier layer 465 is formed by extending the pad portion B while forming the barrier layer 460. In this case, the barrier layer 465 is preferably connected to the barrier layer 460. The barrier layer 465 is disposed between the second wiring patterns to be formed later, and serves to separate the second wiring patterns. In this case, the barrier layer 465 may be formed of the same material as the barrier layer 460, for example, a negative photosensitive layer.

다음에 도 17을 참조하면, 화소 개구부 상에 유기 발광층 등을 포함하는 유기 박막층(470)을 형성한다. 유기 박막층(470)은 상기 제1 전극(410) 상에 절연층 패턴(440)으로 형성된 개구부 상에 비록 도면에 도시하지는 않았지만, 정공주입층, 정공수송층, 유기 전계 발광층 및 전자 수송층이 적층된 구조로 형성할 수 있다. Next, referring to FIG. 17, an organic thin film layer 470 including an organic emission layer and the like is formed on the pixel opening. The organic thin film layer 470 has a structure in which a hole injection layer, a hole transport layer, an organic electroluminescent layer, and an electron transport layer are stacked on the opening formed as the insulating layer pattern 440 on the first electrode 410, although not shown in the drawing. It can be formed as.

다음에 도 18을 참조하면, 패드부(B) 상의 제1 배선패턴(420)이 형성된 영역을 차단하는 마스크막 패턴(480)을 형성한다. 여기서 마스크막 패턴(480)은 후속 공정에서 제2 전극용 형성물질을 증착할 때, 제1 배선패턴(420)을 차단하는 역할을 한다.Next, referring to FIG. 18, a mask film pattern 480 is formed to block an area where the first wiring pattern 420 is formed on the pad part B. Referring to FIG. The mask layer pattern 480 blocks the first wiring pattern 420 when the material for forming the second electrode is deposited in a subsequent process.

다음에 도 19 및 도 20을 참조하면, 유기 박막층(470) 상에 제1 전극(410)과 직교하는 제2 전극(490)을 형성한다. 제2 전극(490)은 알루미늄(Al), 구리(Cu) 또는 은(Ag)을 포함하는 금속물질로 단일층 또는 두개 이상의 층을 가지는 복수층으로 이루어질 수 있다. Next, referring to FIGS. 19 and 20, a second electrode 490 orthogonal to the first electrode 410 is formed on the organic thin film layer 470. The second electrode 490 is a metal material including aluminum (Al), copper (Cu), or silver (Ag), and may be formed of a single layer or a plurality of layers having two or more layers.

유기 박막층(470) 상에 상기 제2 전극(490)을 형성하면서 기판(400)의 패드부(B)로 제2 전극 형성용 물질을 확장하여 증착해 패드부(B)상에 제2 배선패턴(500)을 형성한다. 여기서 제2 전극 형성용 물질은 알루미늄(Al), 구리(Cu) 또는 은(Ag)을 포함하여 이루어진다. 이때, 제2 배선패턴(490b)은 미리 형성되어 있는 배리어막(465)에 의해 분리되어진다.While forming the second electrode 490 on the organic thin film layer 470, the second electrode pattern is formed by expanding and depositing the second electrode forming material onto the pad portion B of the substrate 400. Form 500. The material for forming the second electrode may include aluminum (Al), copper (Cu), or silver (Ag). At this time, the second wiring pattern 490b is separated by the barrier film 465 formed in advance.

이와 같이, 제2 배선패턴(500)을 제2 전극 형성용 물질, 예를 들어 알루미늄(Al)을 확장 증착하면, 제2 배선패턴이 ITO와 크롬(Cr) 또는 IZO와 크롬이 순차적으로 적층된 구조로 형성된 경우보다 증착영역에 대하여 저항이 보다 더 낮아질 수 있다. 이에 따라 이후 외부 구동회로와 연결하여 유기 전계 발광 소자를 구동시, 소비전력 및 구동전압이 낮아지게 되어 소자의 전기적 특성을 향상시킬 수 있다. 또한, 제2 전극 형성용 물질을 포함하는 단일층으로 형성함으로써 ITO와 크롬(Cr) 또는 IZO와 크롬이 순차적으로 적층된 구조로 형성된 경우보다 불량이 발생하는 경우가 감소하여 소자의 신뢰성을 향상시킬 수 있다. As such, when the second wiring pattern 500 is expanded and deposited with a material for forming a second electrode, for example, aluminum (Al), the second wiring pattern is formed by sequentially stacking ITO and chromium (Cr) or IZO and chromium. The resistance may be lower for the deposition region than in the case of the structure. Accordingly, when the organic electroluminescent device is driven by connecting to an external driving circuit, power consumption and driving voltage are lowered, thereby improving the electrical characteristics of the device. In addition, by forming a single layer including the material for forming the second electrode, defects are less likely to occur than those formed by sequentially stacking ITO and chromium (Cr) or IZO and chromium, thereby improving device reliability. Can be.

도 21 내지 도 26은 본 발명의 제4 실시예에 따른 유기 전계 발광 소자의 제조방법을 나타내보인 도면들이다. 특히 도 26은 도 25를 Y-Y'축을 따라 잘라낸 부분을 나타내 보인 도면이다.21 to 26 illustrate a method of manufacturing an organic EL device according to a fourth embodiment of the present invention. In particular, FIG. 26 is a view showing a portion cut out along the line Y-Y '.

도 21을 참조하면, 발광부(A)와 패드부(B)를 포함하는 기판(400) 상에 어느 한 방향으로 평행하게 배열되는 제1 전극(410)을 형성한다. 여기서 제1 전극(410)은 ITO 또는 IZO을 포함하는 투명 전도성 물질로 형성할 수 있다. Referring to FIG. 21, a first electrode 410 is formed on the substrate 400 including the light emitting portion A and the pad portion B in parallel in one direction. The first electrode 410 may be formed of a transparent conductive material including ITO or IZO.

한편, 패드부(B)에서 배선패턴, 예를 들어 제1 전극과 연결되는 제1 배선패턴 및 제2 전극과 연결되는 제2 배선패턴이 형성될 영역은 이후 제2 전극 형성을 위한 전극물질 증착시 함께 형성할 수 있다. 이에 대한 설명한 추후 설명하기로 한다.Meanwhile, an area in which the wiring pattern, for example, the first wiring pattern connected to the first electrode and the second wiring pattern connected to the second electrode, is to be formed in the pad part B, is then deposited with the electrode material for forming the second electrode. Can be formed together. This will be described later.

다음에 도 22를 참조하면, 기판(400)의 발광부(A)상에 배치되어 있는 제1 전극(410) 위에 화소 개구부(450)를 정의하는 격자 형상의 절연층 패턴(440)을 형성한다. Next, referring to FIG. 22, a lattice-shaped insulating layer pattern 440 defining the pixel opening 450 is formed on the first electrode 410 disposed on the light emitting portion A of the substrate 400. .

다음에 도 23을 참조하면, 절연층 패턴(440)을 포함하는 기판(400) 전면에 감광막을 적층한 후, 노광 및 현상을 실시하여 역경사를 가지는 격벽층(460)을 형성한다. 격벽층(460)은 제1 전극(410)과 직교하여 일정 간격을 두고 평행하게 배열되며, 이후 공정에서 형성되는 제2 전극이 인접 구성 요소와 단락이 되지 않도록 오버행(overhang)구조를 가진다. Next, referring to FIG. 23, after the photoresist layer is stacked on the entire surface of the substrate 400 including the insulating layer pattern 440, the barrier layer 460 having the reverse slope is formed by performing exposure and development. The partition layer 460 is arranged parallel to the first electrode 410 at regular intervals orthogonal to each other, and has an overhang structure so that the second electrode formed in a subsequent process is not short-circuited with adjacent components.

이러한 격벽층(460)을 형성하면서 패드부(B)까지 확장하여 배리어막(465)을 형성한다. 배리어막(465)은 이후 제2 전극 형성용 물질 증착시 배선패턴들 간에 단락이 발생하는 것을 방지하는 역할을 한다. The barrier layer 465 is formed by extending the pad portion B while forming the barrier layer 460. The barrier layer 465 serves to prevent a short circuit between wiring patterns when the material for forming the second electrode is subsequently deposited.

다음에 도 24를 참조하면, 화소 개구부 상에 유기 발광층 등을 포함하는 유기 박막층(470)을 형성한다. 유기 박막층(470)은 상기 제1 전극(410) 상에 절연층 패턴(440)으로 형성된 개구부 상에 비록 도면에 도시하지는 않았지만, 정공주입층, 정공수송층, 유기 전계 발광층 및 전자 수송층이 적층된 구조로 형성할 수 있다. Next, referring to FIG. 24, an organic thin film layer 470 including an organic emission layer and the like is formed on the pixel opening. The organic thin film layer 470 has a structure in which a hole injection layer, a hole transport layer, an organic electroluminescent layer, and an electron transport layer are stacked on the opening formed as the insulating layer pattern 440 on the first electrode 410, although not shown in the drawing. It can be formed as.

다음에 도 25 및 도 26을 참조하면, 유기 박막층(470) 상에 제1 전극(410)과 직교하는 제2 전극(490)을 형성한다. 제2 전극(490)은 알루미늄(Al), 구리(Cu) 또는 은(Ag)을 포함하는 금속물질로 단일층 또는 두개 이상의 층을 가지는 복수층으로 이루어질 수 있다. Next, referring to FIGS. 25 and 26, a second electrode 490 orthogonal to the first electrode 410 is formed on the organic thin film layer 470. The second electrode 490 is a metal material including aluminum (Al), copper (Cu), or silver (Ag), and may be formed of a single layer or a plurality of layers having two or more layers.

유기 박막층(470) 상에 상기 제2 전극(490)을 형성하면서 기판(400)의 패드부(B)로 제2 전극 형성용 물질을 확장하여 증착해 패드부(B)상에 제1 배선패턴(500) 및 제2 배선패턴(510)을 형성한다. 여기서 제2 전극 형성용 물질은 알루미늄(Al), 구리(Cu) 또는 은(Ag)을 포함하여 이루어진다. 이때, 제1 배선패턴(500) 및 제2 배선패턴(510)은 미리 형성되어 있는 배리어막(465)에 의해 분리되어있어 제2 전극 형성용 물질을 증착할 때 마스크를 이용하지 않고 증착할 수 있다. 또한, 상기 제2 배선패턴(510)은 제2 전극(490)과 연결되며, 제2 배선패턴(510) 사이의 배리어막(465)은 격벽층(460)과 연결되어 있는 것이 바람직하다. While forming the second electrode 490 on the organic thin film layer 470, the second electrode forming material is extended and deposited by the pad portion B of the substrate 400 to form a first wiring pattern on the pad portion B. 500 and the second wiring pattern 510 are formed. The material for forming the second electrode may include aluminum (Al), copper (Cu), or silver (Ag). In this case, the first wiring pattern 500 and the second wiring pattern 510 are separated by a barrier film 465 that is formed in advance, so that the first wiring pattern 500 and the second wiring pattern 510 can be deposited without using a mask when depositing the material for forming the second electrode. have. In addition, the second wiring pattern 510 is connected to the second electrode 490, and the barrier layer 465 between the second wiring pattern 510 is preferably connected to the barrier layer 460.

이와 같이, 제1 배선패턴(500) 및 제2 배선패턴(510)을 제2 전극 형성용 물질, 예를 들어 알루미늄(Al)을 확장 증착하면, 제1 배선패턴(500) 및 제2 배선패턴(510)이 ITO와 크롬(Cr) 또는 IZO와 크롬이 순차적으로 적층된 구조로 형성된 경우보다 증착영역에 대하여 저항이 보다 더 낮아질 수 있다. As such, when the first wiring pattern 500 and the second wiring pattern 510 are expanded and deposited with a material for forming a second electrode, for example, aluminum (Al), the first wiring pattern 500 and the second wiring pattern 500 are formed. The resistance of the deposition region may be lower than that when the 510 is formed of a structure in which ITO and chromium (Cr) or IZO and chromium are sequentially stacked.

이에 따라 이후 외부 구동회로와 연결하여 유기 전계 발광 소자를 구동시, 소비전력 및 구동전압이 낮아지게 되어 소자의 전기적 특성을 향상시킬 수 있다. 또한, 제2 전극 형성용 물질을 포함하는 단일층으로 형성함으로써 ITO와 크롬(Cr) 또는 IZO와 크롬이 순차적으로 적층된 구조로 형성된 경우보다 불량이 발생하는 경우가 감소하여 소자의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.Accordingly, when the organic electroluminescent device is driven by connecting to an external driving circuit, power consumption and driving voltage are lowered, thereby improving the electrical characteristics of the device. In addition, by forming a single layer including the material for forming the second electrode, defects are less likely to occur than those formed by sequentially stacking ITO and chromium (Cr) or IZO and chromium, thereby improving device reliability. Can be.

지금까지 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 유기 전계 발광 소자 및 그 제조방법에 의하면, 기판의 패드부 상에 배리어막으로 제2 전극과 연결되는 제2 배선패턴을 분리하고, 제2 배선패턴 상에 저항이 낮은 물질을 증착함으로써 저항이 낮은 배선을 구성하여 소비전력 및 구동전압이 낮아지게 되어 전기적 특성을 향상시킬 수 있다.As described above, according to the organic electroluminescent device and the manufacturing method thereof according to the present invention, the second wiring pattern connected to the second electrode is separated on the pad portion of the substrate by a barrier film, and the second wiring pattern is separated on the second wiring pattern. By depositing a low-resistance material, low-resistance wires can be constructed, resulting in lower power consumption and driving voltage, thereby improving electrical characteristics.

또한, 기판의 패드부 상에 배리어막으로 제2 전극과 연결되는 제2 배선패턴을 분리하고, 제2 배선패턴을 저항이 낮은 물질로만 형성할 수 있음으로써 저항이 낮은 배선을 구성하여 소비전력 및 구동전압이 낮아지게 되어 전기적 특성을 향상시킬 수 있다.In addition, the second wiring pattern connected to the second electrode may be separated on the pad portion of the substrate by the barrier layer, and the second wiring pattern may be formed only of a material having a low resistance, thereby forming a wiring having low resistance, thereby reducing power consumption and power consumption. As the driving voltage is lowered, the electrical characteristics can be improved.

Claims (19)

발광부와 패드부로 구분되어 있는 기판;A substrate divided into a light emitting part and a pad part; 상기 발광부의 기판 위에 어느 한 방향으로 배열되어 있는 양전극;A positive electrode arranged in one direction on the substrate of the light emitting unit; 상기 발광부의 양전극 상에 복수의 화소 개구부를 정의하도록, 상기 패드부를 제외하고 발광부의 상기 양전극 및 기판 위에 격자 형태로 형성되어 있는 절연층 패턴;An insulating layer pattern formed in a lattice form on the positive electrode and the substrate of the light emitting unit, except for the pad portion, to define a plurality of pixel openings on the positive electrode of the light emitting unit; 상기 양전극과 직교하는 절연층 패턴 위에 형성되어 있는 격벽층;A barrier layer formed on the insulating layer pattern orthogonal to the positive electrode; 상기 화소 개구부 상에 형성되어 있는 유기 박막층;An organic thin film layer formed on the pixel opening; 상기 양전극과 직교하도록 상기 유기 박막층 위에 형성되어 있는 음전극;A negative electrode formed on the organic thin film layer to be orthogonal to the positive electrode; 상기 패드부의 기판 위에 상기 양전극과 연결되게 형성되어 있는 제1 배선패턴;A first wiring pattern formed on the substrate of the pad part to be connected to the positive electrode; 상기 패드부의 기판 위에 상기 음전극과 연결되게 형성되어 있고, 음전극 형성용 물질을 포함하는 제2 배선패턴; 및A second wiring pattern formed on the substrate of the pad part to be connected to the negative electrode and including a material for forming a negative electrode; And 상기 제2 배선패턴 사이에 형성되어 있는 배리어막을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자.And a barrier film formed between the second wiring patterns. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 배리어막은 상기 제1 배선패턴의 사이 및 상기 제2 배선패턴 사이에 각 각 형성되어 있는 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자.And the barrier film is formed between the first wiring pattern and the second wiring pattern, respectively. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 제2 배선패턴 사이에 형성되어 있는 배리어막은 상기 격벽층과 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자.The barrier film formed between the second wiring pattern is connected to the partition layer. 제1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 제1 배선패턴은 ITO 또는 IZO의 단일층 구조나 ITO/크롬(Cr) 또는 IZO/크롬(Cr)의 적층구조를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자.The first wiring pattern includes a single layer structure of ITO or IZO or a lamination structure of ITO / chromium (Cr) or IZO / chromium (Cr). 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 음전극 형성용 물질은, 알루미늄(Al),구리(Cu) 또는 은(Ag)으로 이루어진 그룹에서 선택된 어느 하나의 금속 물질 또는 둘 이상의 합금을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자.The material for forming a negative electrode may include any one metal material selected from the group consisting of aluminum (Al), copper (Cu), or silver (Ag) or two or more alloys. 제5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 제2 배선패턴은, The second wiring pattern is, ITO 또는 IZO와, With ITO or IZO, 알루미늄(Al),구리(Cu) 또는 은(Ag)으로 이루어진 그룹에서 선택된 어느 하나의 금속 물질 또는 둘 이상의 합금의 적층구조를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자.An organic electroluminescent device comprising a laminated structure of any one metal material or two or more alloys selected from the group consisting of aluminum (Al), copper (Cu) or silver (Ag). 제5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 제2 배선패턴은, The second wiring pattern is, ITO/크롬(Cr) 또는 IZO/크롬(Cr)과, ITO / Chrome (Cr) or IZO / Chrome (Cr), 알루미늄(Al),구리(Cu) 또는 은(Ag)으로 이루어진 그룹에서 선택된 어느 하나의 금속 물질 또는 둘 이상의 합금의 적층구조를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자.An organic electroluminescent device comprising a laminated structure of any one metal material or two or more alloys selected from the group consisting of aluminum (Al), copper (Cu) or silver (Ag). 제5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 제2 배선패턴은,The second wiring pattern is, 알루미늄(Al),구리(Cu) 또는 은(Ag)으로 이루어진 그룹에서 선택된 어느 하나의 금속 물질 또는 둘 이상의 합금의 단일층 구조로 이루어지는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자.An organic electroluminescent device comprising a single layer structure of any one metal material or two or more alloys selected from the group consisting of aluminum (Al), copper (Cu) or silver (Ag). 발광부와 패드부로 구분되어 있는 기판의 발광부 상에 어느 한 방향으로 배열되는 양전극을 형성하는 단계;Forming a positive electrode arranged in one direction on a light emitting part of the substrate divided into a light emitting part and a pad part; 상기 양전극을 형성하면서 상기 기판의 패드부 상에 상기 양전극과 연결되고, 양전극 형성물질을 포함하는 제1 배선패턴을 형성하는 단계;Forming a first wiring pattern on the pad portion of the substrate while forming the positive electrode, the first wiring pattern comprising a positive electrode forming material; 상기 양전극을 형성하면서 상기 기판의 패드부 상에 양전극 형성물질을 포함하는 제2 배선패턴을 형성하는 단계;Forming a second wiring pattern including a positive electrode forming material on a pad of the substrate while forming the positive electrode; 상기 발광부의 양전극 상에 복수의 화소 개구부를 정의하도록, 상기 패드부를 제외하고 발광부의 양전극 및 기판 위에 격자 형태로 절연층 패턴을 형성하는 단계;Forming an insulating layer pattern in a lattice form on the positive electrode of the light emitting unit and the substrate to define a plurality of pixel openings on the positive electrode of the light emitting unit; 상기 양전극과 직교하는 절연층 패턴 위에 격벽층을 형성하는 단계;Forming a barrier layer on the insulating layer pattern orthogonal to the positive electrode; 상기 격벽층을 형성하면서 상기 제2 배선패턴 사이에 배리어막을 형성하는 단계;Forming a barrier layer between the second wiring patterns while forming the barrier layer; 상기 화소 개구부 상에 유기박막층을 형성하는 단계;Forming an organic thin film layer on the pixel opening; 상기 유기박막층 위에 양전극과 직교하는 음전극을 형성하면서, 상기 제2 배선패턴 상에 음전극 형성용 물질을 증착하는 단계를 포함하는 유기 전계 발광 소자의 제조방법.Forming a negative electrode orthogonal to the positive electrode on the organic thin film layer, and depositing a material for forming a negative electrode on the second wiring pattern. 발광부와 패드부로 구분되어 있는 기판의 발광부 상에 어느 한 방향으로 배열되는 양전극을 형성하는 단계;Forming a positive electrode arranged in one direction on a light emitting part of the substrate divided into a light emitting part and a pad part; 상기 양전극을 형성하면서 상기 기판의 패드부 상에 상기 양전극과 연결되고, 양전극 형성물질을 포함하는 제1 배선패턴을 형성하는 단계;Forming a first wiring pattern on the pad portion of the substrate while forming the positive electrode, the first wiring pattern comprising a positive electrode forming material; 상기 양전극을 형성하면서 상기 기판의 패드부 상에 양전극 형성물질을 포함하는 제2 배선패턴을 형성하는 단계;Forming a second wiring pattern including a positive electrode forming material on a pad of the substrate while forming the positive electrode; 상기 발광부의 양전극 상에 복수의 화소 개구부를 정의하도록, 상기 패드부를 제외하고 발광부의 양전극 및 기판 위에 격자 형태로 절연층 패턴을 형성하는 단계;Forming an insulating layer pattern in a lattice form on the positive electrode of the light emitting unit and the substrate to define a plurality of pixel openings on the positive electrode of the light emitting unit; 상기 양전극과 직교하는 절연층 패턴 위에 격벽층을 형성하는 단계;Forming a barrier layer on the insulating layer pattern orthogonal to the positive electrode; 상기 격벽층을 형성하면서 상기 제1 배선패턴 사이 및 제2 배선패턴 사이에 배리어막을 형성하는 단계;Forming a barrier layer between the first wiring pattern and the second wiring pattern while forming the barrier layer; 상기 화소 개구부 상에 유기박막층을 형성하는 단계;Forming an organic thin film layer on the pixel opening; 상기 유기박막층 위에 양전극과 직교하는 음전극을 형성하면서, 상기 제1 배선패턴 및 제2 배선패턴 상에 음전극 형성용 물질을 증착하는 단계를 포함하는 유기 전계 발광 소자의 제조방법.Forming a negative electrode orthogonal to the positive electrode on the organic thin film layer, and depositing a material for forming a negative electrode on the first wiring pattern and the second wiring pattern. 제9항 또는 제10항에 있어서,The method of claim 9 or 10, 상기 제2 배선패턴 사이의 배리어막은 상기 격벽층과 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자의 제조방법.The barrier film between the second wiring patterns is connected to the barrier layer. 제9항에 있어서,The method of claim 9, 상기 제1 배선패턴은 ITO 또는 IZO의 단일층 구조나 ITO/크롬(Cr) 또는 IZO/크롬(Cr)의 적층구조를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자의 제조방법.The first wiring pattern includes a single layer structure of ITO or IZO or a lamination structure of ITO / chromium (Cr) or IZO / chromium (Cr). 제9항 또는 제10항에 있어서,The method of claim 9 or 10, 상기 음전극 형성용 물질은, 알루미늄(Al),구리(Cu) 또는 은(Ag)으로 이루어진 그룹에서 선택된 어느 하나의 금속 물질 또는 둘 이상의 합금을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자의 제조방법.The negative electrode forming material is any one of a metal material selected from the group consisting of aluminum (Al), copper (Cu) or silver (Ag) or a method of manufacturing an organic electroluminescent device, characterized in that it comprises two or more alloys. 제 9 항 또는 제 10 항에 있어서, The method according to claim 9 or 10, 상기 양전극 형성 물질은 ITO 또는 IZO인 유기 전계 발광 소자의 제조 방법. The positive electrode forming material is ITO or IZO manufacturing method of an organic EL device. 제 14 항에 있어서, 상기 제 2 배선 패턴 형성 단계와 상기 절연층 패턴 형성 단계 사이에, 상기 제 2 배선 패턴 위에 크롬을 증착하는 단계를 더 포함하는 유기 전계 발광 소자의 제조 방법. 15. The method of claim 14, further comprising depositing chromium on the second wiring pattern between the second wiring pattern forming step and the insulating layer pattern forming step. 발광부와 패드부로 구분되어 있는 기판의 발광부 상에 어느 한 방향으로 배열되는 양전극을 형성하는 단계;Forming a positive electrode arranged in one direction on a light emitting part of the substrate divided into a light emitting part and a pad part; 상기 양전극을 형성하면서 상기 기판의 패드부 상에 상기 양전극과 연결되고, 양전극 형성물질을 포함하는 제1 배선패턴을 형성하는 단계;Forming a first wiring pattern on the pad portion of the substrate while forming the positive electrode, the first wiring pattern comprising a positive electrode forming material; 상기 발광부의 양전극 상에 복수의 화소 개구부를 정의하도록, 상기 패드부를 제외하고 발광부의 양전극 및 기판 위에 격자 형태로 절연층 패턴을 형성하는 단계;Forming an insulating layer pattern in a lattice form on the positive electrode of the light emitting unit and the substrate to define a plurality of pixel openings on the positive electrode of the light emitting unit; 상기 양전극과 직교하는 절연층 패턴 위에 격벽층을 형성하는 단계;Forming a barrier layer on the insulating layer pattern orthogonal to the positive electrode; 상기 격벽층을 형성하면서 상기 패드부까지 확장하여 배리어막을 형성하는 단계;Forming a barrier layer by expanding the pad part while forming the barrier layer; 상기 화소 개구부 상에 유기박막층을 형성하는 단계;Forming an organic thin film layer on the pixel opening; 상기 제1 배선패턴을 차단하는 마스크막 패턴을 형성하는 단계;Forming a mask layer pattern blocking the first wiring pattern; 상기 마스크막 패턴을 이용하여 상기 유기박막층 위에 양전극과 직교하는 음전극을 형성하면서, 상기 배리어막 사이로 음전극 형성용 물질을 확장 증착하여 제2 배선패턴을 형성하는 단계를 포함하는 유기 전계 발광 소자의 제조방법.Forming a second wiring pattern by expanding and depositing a negative electrode forming material between the barrier layers while forming a negative electrode orthogonal to the positive electrode on the organic thin film layer using the mask layer pattern. . 발광부와 패드부로 구분되어 있는 기판의 발광부 상에 어느 한 방향으로 배열되는 양전극을 형성하는 단계;Forming a positive electrode arranged in one direction on a light emitting part of the substrate divided into a light emitting part and a pad part; 상기 발광부의 양전극 상에 복수의 화소 개구부를 정의하도록, 상기 패드부를 제외하고 발광부의 양전극 및 기판 위에 격자 형태로 절연층 패턴을 형성하는 단계;Forming an insulating layer pattern in a lattice form on the positive electrode of the light emitting unit and the substrate to define a plurality of pixel openings on the positive electrode of the light emitting unit; 상기 양전극과 직교하는 절연층 패턴 위에 격벽층을 형성하는 단계;Forming a barrier layer on the insulating layer pattern orthogonal to the positive electrode; 상기 격벽층을 형성하면서 상기 패드부까지 확장하여 배리어막을 형성하는 단계;Forming a barrier layer by expanding the pad part while forming the barrier layer; 상기 화소 개구부 상에 유기박막층을 형성하는 단계;Forming an organic thin film layer on the pixel opening; 상기 유기박막층 위에 양전극과 직교하는 음전극을 형성하면서, 상기 배리어막 사이로 음전극 형성용 물질을 확장 증착하여 제1 배선 패턴 및 제2 배선패턴을 형성하는 단계를 포함하는 유기 전계 발광 소자의 제조방법.Forming a first wiring pattern and a second wiring pattern by expanding and depositing a negative electrode forming material between the barrier layers while forming a negative electrode orthogonal to the positive electrode on the organic thin film layer. 제16항 또는 제17항에 있어서,The method according to claim 16 or 17, 상기 제2 배선패턴은 상기 음전극과 연결되며, 상기 제2 배선패턴 사이의 배리어막은 상기 격벽층과 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자의 제조방법.And the second wiring pattern is connected to the negative electrode, and the barrier film between the second wiring patterns is connected to the barrier layer. 제16항 또는 제17항에 있어서,The method according to claim 16 or 17, 상기 음전극 형성용 물질은, 알루미늄(Al),구리(Cu) 또는 은(Ag)으로 이루어진 그룹에서 선택된 어느 하나의 금속 물질 또는 둘 이상의 합금을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자의 제조방법.The negative electrode forming material is any one of a metal material selected from the group consisting of aluminum (Al), copper (Cu) or silver (Ag) or a method of manufacturing an organic electroluminescent device, characterized in that it comprises two or more alloys.
KR1020060031163A 2005-12-19 2006-04-05 Organic electro luminescent emitting device and the method for manufacturing the same KR100661161B1 (en)

Priority Applications (8)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/KR2006/001518 WO2007114536A1 (en) 2006-04-05 2006-04-21 Organic electroluminescence device and method for manufacturing same
TW095124662A TWI300996B (en) 2006-04-05 2006-07-06 Organic electroluminescence device and method for manufacturing same
US11/494,557 US7545097B2 (en) 2006-04-05 2006-07-28 Organic electroluminescence device and method for manufacturing same
SG200605081-9A SG136020A1 (en) 2006-04-05 2006-08-01 Organic electroluminescence device and method for manufacturing same
EP06016165A EP1843396A3 (en) 2006-04-05 2006-08-02 Organic electroluminscence device and method for manufacturing the same
CNB200610110856XA CN100477252C (en) 2006-04-05 2006-08-15 Organic electroluminescent device and manufacture method thereof
JP2006233524A JP2007280920A (en) 2006-04-05 2006-08-30 Organic electroluminescence element and manufacturing method thereof
US12/320,458 US7678590B2 (en) 2005-12-19 2009-01-27 Organic electroluminescence device and method for manufacturing same

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020050125778 2005-12-19
KR20050125778 2005-12-19

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR100661161B1 true KR100661161B1 (en) 2006-12-26

Family

ID=37815495

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020060031163A KR100661161B1 (en) 2005-12-19 2006-04-05 Organic electro luminescent emitting device and the method for manufacturing the same

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100661161B1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101670659B1 (en) 2013-09-30 2016-10-31 엘지디스플레이 주식회사 Method for preparing organic light emitting device

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000243558A (en) * 1999-02-16 2000-09-08 Tohoku Pioneer Corp Light emitting display panel and manufacture thereof
KR20030081968A (en) * 2002-04-15 2003-10-22 엘지전자 주식회사 Organic Electro Luminescence Device And Fabricating Method Thereof
KR20040015655A (en) * 2002-08-13 2004-02-19 씨엘디 주식회사 Method of making organic electroluminescent display
KR20050014379A (en) * 2003-07-31 2005-02-07 엘지전자 주식회사 Organic Electro Luminescence Display Device And Fabricating Method Thereof
KR20050106137A (en) * 2004-05-03 2005-11-09 엘지전자 주식회사 Organic electro-luminescence display device and fabricating method thereof

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000243558A (en) * 1999-02-16 2000-09-08 Tohoku Pioneer Corp Light emitting display panel and manufacture thereof
KR20030081968A (en) * 2002-04-15 2003-10-22 엘지전자 주식회사 Organic Electro Luminescence Device And Fabricating Method Thereof
KR20040015655A (en) * 2002-08-13 2004-02-19 씨엘디 주식회사 Method of making organic electroluminescent display
KR20050014379A (en) * 2003-07-31 2005-02-07 엘지전자 주식회사 Organic Electro Luminescence Display Device And Fabricating Method Thereof
KR20050106137A (en) * 2004-05-03 2005-11-09 엘지전자 주식회사 Organic electro-luminescence display device and fabricating method thereof

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101670659B1 (en) 2013-09-30 2016-10-31 엘지디스플레이 주식회사 Method for preparing organic light emitting device

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7545097B2 (en) Organic electroluminescence device and method for manufacturing same
US10186562B2 (en) Thin film transistor and manufacturing method thereof, array substrate and organic light emitting display panel
KR100472854B1 (en) Dual Panel Type Organic Electroluminescent Device and Method for Fabricating the same
JP2004200167A (en) Organic electroluminescent element and its manufacturing method
KR20100049427A (en) Dual panel type organic electroluminescent device and method of fabricating the same
US20050046341A1 (en) OLED display and method for manufacturing thereof
JP2005056846A (en) Organic electroluminescence device and its manufacturing method
WO2018049891A1 (en) Oled package substrate, manufacturing method thereof, and oled display panel utilizing same
US20220254847A1 (en) Display substrate and method of manufacturing the same, display panel, and display apparatus
JP3736179B2 (en) Organic thin film light emitting device
US7786519B2 (en) Light emitting device and method for manufacturing the same
JPH1187052A (en) Organic electroluminescence element
JPH11135257A (en) Manufacture of organic electroluminescent element
JPH11144877A (en) Organic electroluminescent element
KR100661161B1 (en) Organic electro luminescent emitting device and the method for manufacturing the same
KR20070050796A (en) Organic light emitting diode display device and method for manufacturing the same
KR100768715B1 (en) Organic electro luminescent display device and the method for manufacturing the same
KR100768711B1 (en) Organic electro luminescent emitting device and the method for manufacturing the same
US8390188B2 (en) Light emitting unit of electroluminescence device capable of increasing aperture rate manufacturing method thereof
KR100866886B1 (en) Method for manufacturing organic light emitting diode device
KR20070037093A (en) Organic light emitting display and fabrication method for the same
JP4673579B2 (en) Display device
KR100488428B1 (en) Organic Electro Luminescent Display Device, and Method for Manufacturing the same
JP2003092190A (en) Organic electroluminescent element and method for manufacturing the same
KR100779947B1 (en) Organic electro luminescent display device

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
A302 Request for accelerated examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20111201

Year of fee payment: 6

LAPS Lapse due to unpaid annual fee