KR100669463B1

KR100669463B1 - A plasma display panel

Info

Publication number: KR100669463B1
Application number: KR1020050017246A
Authority: KR
Inventors: 권재익; 강경두
Original assignee: 삼성에스디아이 주식회사
Priority date: 2005-03-02
Filing date: 2005-03-02
Publication date: 2007-01-15
Also published as: KR20060096594A

Abstract

본 발명은 습식 에칭에 적합하도록 전극 구조를 개선한 플라스마 표시 패널에 관한 것이다. 이를 위하여 본 발명에 따른 플라즈마 표시 패널은, 상호 대향 배치되는 제1 기판 및 제2 기판, 제2 기판에 형성되는 어드레스 전극들, 제1 기판과 제2 기판 사이의 공간에 배치되어 방전 셀들을 구획하는 격벽, 각각의 방전셀내에 형성되는 형광체층, 그리고 버스 전극들과, 상호 이격되어 각 버스 전극에 다수 형성되는 확대 전극들을 포함하면서 제1 기판에 형성된 표시 전극들을 포함한다. 각 확대 전극은 방전을 일으키는 전극 방전부, 전극 방전부와 연결된 전극 연결부, 및 전극 연결부와 연결되고 버스 전극과 중첩 형성된 전극 중첩부를 포함한다. 버스 전극의 길이 방향에 따른 전극 중첩부의 폭은 버스 전극의 길이 방향에 따른 전극 연결부의 폭보다 크다.The present invention relates to a plasma display panel having an improved electrode structure to be suitable for wet etching. To this end, the plasma display panel according to the present invention includes a first substrate and a second substrate that are disposed to face each other, address electrodes formed on the second substrate, and spaced between the first substrate and the second substrate to partition discharge cells. And a display electrode formed on the first substrate, including a partition wall, a phosphor layer formed in each discharge cell, and bus electrodes, and enlarged electrodes spaced apart from each other and formed in each bus electrode. Each enlarged electrode includes an electrode discharge portion that causes discharge, an electrode connection portion connected to the electrode discharge portion, and an electrode overlap portion connected to the electrode connection portion and overlapped with the bus electrode. The width of the electrode overlapping portion along the longitudinal direction of the bus electrode is larger than the width of the electrode connecting portion along the longitudinal direction of the bus electrode.

플라스마 표시 패널, 방전, 습식 에칭, 면적 Plasma display panel, discharge, wet etching, area

Description

Plasma Display Panel {A PLASMA DISPLAY PANEL}

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 플라스마 표시 패널의 부분 분해 사시도이다.1 is a partially exploded perspective view of a plasma display panel according to a first embodiment of the present invention.

도 2는 도 1의 평면도이다.2 is a plan view of FIG. 1.

도 3은 본 발명의 제2 실시예에 따른 플라스마 표시 패널의 평면도이다.3 is a plan view of a plasma display panel according to a second exemplary embodiment of the present invention.

도 4는 본 발명의 제3 실시예에 따른 플라스마 표시 패널의 평면도이다.4 is a plan view of a plasma display panel according to a third exemplary embodiment of the present invention.

도 5는 본 발명의 제4 실시예에 따른 플라스마 표시 패널의 부분 분해 사시도이다.5 is a partially exploded perspective view of a plasma display panel according to a fourth exemplary embodiment of the present invention.

도 6은 도 5의 평면도이다.6 is a plan view of FIG. 5.

도 7은 본 발명의 제5 실시예에 따른 플라스마 표시 패널의 평면도이다.7 is a plan view of a plasma display panel according to a fifth exemplary embodiment of the present invention.

도 8은 본 발명의 제6 실시예에 따른 플라스마 표시 패널의 평면도이다.8 is a plan view of a plasma display panel according to a sixth exemplary embodiment of the present invention.

본 발명은 플라스마 표시 패널에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 습식 에칭에 적합하도록 전극 구조를 개선한 플라스마 표시 패널에 관한 것이다.The present invention relates to a plasma display panel, and more particularly, to a plasma display panel having an improved electrode structure to be suitable for wet etching.

일반적인 플라스마 디스플레이 패널(plasma display panel)(이하 'PDP'라 한 다)은 방전셀 내에서 일어나는 기체 방전에 의한 진공 자외선으로 형광체층을 여기시켜 화상을 구현하는 표시장치로서, 고해상도의 대화면 구성이 가능하여 차세대 표시장치로 각광을 받고 있다. PDP는 교류형과 직류형 및 혼합형으로 대별되며, 교류형의 3전극 면방전 구조를 사용하는 것이 일반화되어 있다.A typical plasma display panel (hereinafter referred to as 'PDP') is a display device that realizes an image by exciting a phosphor layer by vacuum ultraviolet rays caused by gas discharge occurring in a discharge cell, and enables a large screen with high resolution. It is attracting attention as the next generation display device. PDPs are classified into alternating current, direct current, and mixed types, and it is common to use an alternating current three-electrode surface discharge structure.

상기 교류형의 3전극 면방전 구조에서는 각 방전 셀에 대응하여 후면 기판에 어드레스 전극과 격벽 및 형광체층이 형성되고, 전면 기판에 주사 전극과 표시 전극으로 이루어지는 방전유지전극이 형성되며, 격벽에 의해 구획되는 방전셀 내부는 방전 가스로 채워져 있다.In the three-electrode surface discharge structure of the AC type, an address electrode, a partition wall, and a phosphor layer are formed on a rear substrate corresponding to each discharge cell, and a discharge sustain electrode consisting of a scan electrode and a display electrode is formed on a front substrate. The discharge cell partitioned inside is filled with discharge gas.

어드레스 전극과 주사 전극에 신호를 인가하여 발광을 위한 방전셀을 선택하고, 주사 전극과 표시 전극 사이에 150~200V의 전압을 인가하면 방전 가스가 플라스마 방전을 일으키면서 플라스마 방전시 만들어지는 Xe의 여기 원자로부터 진공 자외선이 방출된다. 이 진공 자외선이 형광체층을 여기시켜 가시광선이 출사되므로 화상을 표시할 수 있다.When a discharge cell for emitting light is selected by applying a signal to the address electrode and the scan electrode, and a voltage of 150 to 200 V is applied between the scan electrode and the display electrode, excitation of Xe generated during plasma discharge while the discharge gas causes plasma discharge. Vacuum ultraviolet light is emitted from the atom. Since the vacuum ultraviolet rays excite the phosphor layer to emit visible light, an image can be displayed.

면방전을 위하여 전도도가 우수하고 광의 투과도가 우수한 ITO(indium tin oxide, 인듐 틴 옥사이드) 방전 전극을 사용한다. 한 쌍의 ITO 방전 전극은 상호 마주하면서 상판에 형성된다. ITO 방전 전극은 포토 에칭법을 사용하여 형성할 수 있다. 감광성 필름을 이용한 포토 에칭법으로 ITO 방전 전극을 형성하는 방법을 설명하면 다음과 같다.For surface discharge, an ITO (indium tin oxide) discharge electrode having excellent conductivity and excellent light transmittance is used. A pair of ITO discharge electrodes are formed on the upper plate while facing each other. The ITO discharge electrode can be formed using the photo etching method. The method of forming an ITO discharge electrode by the photoetching method using the photosensitive film is as follows.

먼저, 기판상에 ITO를 증착한다. 이와 같이 증착된 ITO에 롤을 이용하여 감광성 필름(dry film photo resist, DFR)을 도포한다. ITO 방전 전극에 필요한 포 토마스크를 감광성 필름에 얹은 후에 자외선으로 노광한다. 자외선으로 감광된 감광성 필름 부분은 현상시에 제거된다. 노광되지 않은 감광성 필름은 하부의 ITO와 함께 습식 에칭에 따라 제거된다. 이와 같은 방법으로 원하는 형상의 ITO 방전 전극을 기판에 형성할 수 있다.First, ITO is deposited on a substrate. A dry film photoresist (DFR) is coated on the thus deposited ITO using a roll. The photomask required for the ITO discharge electrode is placed on the photosensitive film and then exposed to ultraviolet rays. The photosensitive film portion exposed to ultraviolet rays is removed at the time of development. The unexposed photosensitive film is removed by wet etching along with the underlying ITO. In this manner, an ITO discharge electrode having a desired shape can be formed on the substrate.

포토 에칭법의 최종 단계에서는 습식 에칭에 의하여 ITO 패턴을 형성하게 되는 데, 에칭에 의해 감광성 필름보다 ITO 전극의 형상이 더 작아지게 형성된다. 이는 감광성 필름이 아주 얇으므로, 그 가장자리 부근에서 기판 및 ITO 전극의 접촉 능력이 떨어지는 것에 기인한다. 즉, 액체인 에칭액이 접촉 능력이 약한 부분으로 스며들어 원하지 않던 ITO 전극의 가장자리까지 제거된다.In the final step of the photo etching method, the ITO pattern is formed by wet etching, and the etching forms the smaller ITO electrode than the photosensitive film. This is due to the fact that the photosensitive film is so thin that the contact ability of the substrate and the ITO electrode is inferior to its edge. That is, the liquid etchant penetrates into the weak contact capability and is removed to the edge of the ITO electrode which is not desired.

상하 좌우의 길이가 비교적 비슷한 원형이나 정사각형에 가까운 ITO 전극 부분의 경우, 에칭에 따라 모든 가장자리가 동일하게 줄어들므로 전극 형성에 있어서 별다른 문제점이 없다. 그러나 장방형으로 뻗은 ITO 전극 부분에서는 폭이 좁은 부분이 존재하므로, 에칭에 큰 영향을 받는다. 심한 경우에는 폭이 좁은 부분이 심하게 에칭되어 끊어질 위험성도 있다. 특히, ITO 전극의 연결부를 폭이 좁게 형성하므로, 안정적인 형상으로 제작하기가 어려운 문제점이 있다.In the case of an ITO electrode portion close to a circle or a square having relatively similar lengths of up, down, left and right, there is no problem in electrode formation because all edges are reduced equally by etching. However, in the rectangular ITO electrode portion, there is a narrow width portion, which is greatly affected by etching. In severe cases, there is a risk that the narrow part is severely etched and broken. In particular, since the connection part of the ITO electrode is formed to have a narrow width, it is difficult to produce a stable shape.

본 발명은 전술한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 습식 에칭에 적합하도록 전극 구조를 개선한 플라스마 표시 패널을 제공하고자 한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-described problems, and an object of the present invention is to provide a plasma display panel having an improved electrode structure suitable for wet etching.

본 발명에 따른 플라즈마 표시 패널은, 상호 대향 배치되는 제1 기판 및 제2 기판, 제2 기판에 형성되는 어드레스 전극들, 제1 기판과 제2 기판 사이의 공간에 배치되어 방전 셀들을 구획하는 격벽, 각각의 방전셀내에 형성되는 형광체층, 그리고 버스 전극들과, 상호 이격되어 각 버스 전극에 다수 형성되는 확대 전극들을 포함하면서 제1 기판에 형성된 표시 전극들을 포함한다. 각 확대 전극은 방전을 일으키는 전극 방전부, 전극 방전부와 연결된 전극 연결부, 및 전극 연결부와 연결되고 버스 전극과 중첩 형성된 전극 중첩부를 포함한다. 버스 전극의 길이 방향에 따른 전극 중첩부의 폭은 버스 전극의 길이 방향에 따른 전극 연결부의 폭보다 크다.The plasma display panel according to the present invention includes a partition wall which partitions discharge cells in a space between a first substrate and a second substrate disposed opposite to each other, address electrodes formed on the second substrate, and a space between the first substrate and the second substrate. And display electrodes formed on the first substrate, including phosphor layers formed in each discharge cell, and bus electrodes, and enlarged electrodes spaced apart from each other and formed on each bus electrode. Each enlarged electrode includes an electrode discharge portion that causes discharge, an electrode connection portion connected to the electrode discharge portion, and an electrode overlap portion connected to the electrode connection portion and overlapped with the bus electrode. The width of the electrode overlapping portion along the longitudinal direction of the bus electrode is larger than the width of the electrode connecting portion along the longitudinal direction of the bus electrode.

여기서, 전극 방전부에는 오목부가 형성되고, 전극 방전부의 폭은 전극 연결부로 갈수록 점차 좁아지게 형성될 수 있다.Herein, a concave portion is formed in the electrode discharge portion, and the width of the electrode discharge portion may be gradually narrowed toward the electrode connection portion.

전극 중첩부의 면적은 전극 연결부의 면적보다 큰 것이 바람직하다.The area of the electrode overlapping portion is preferably larger than the area of the electrode connecting portion.

전극 중첩부는 전극 연결부와 교차하여 형성될 수 있다.The electrode overlap may be formed to intersect the electrode connection.

전극 중첩부는 버스 전극의 길이 방향을 따라 장방형으로 형성되는 것이 바람직하다.The electrode overlapping portion is preferably formed in a rectangle along the longitudinal direction of the bus electrode.

전극 중첩부는 버스 전극의 길이 방향을 따라 뻗어 있고, 버스 전극의 길이 방향으로 뻗은 양 에지가 곡선형으로 형성되는 것이 바람직하다.The electrode overlapping portion extends along the longitudinal direction of the bus electrode, and both edges extending in the longitudinal direction of the bus electrode are preferably formed in a curved shape.

전극 연결부의 폭이 전극 중첩부측을 향하여 점차 커지면서 전극 연결부가 전극 중첩부와 연속하여 이어지는 것이 바람직하다.It is preferable that the electrode connecting portion continues continuously with the electrode overlapping portion while the width of the electrode connecting portion gradually increases toward the electrode overlapping portion side.

버스 전극의 폭 방향으로 전극 중첩부가 버스 전극을 완전히 덮을 수 있다.The electrode overlap portion may completely cover the bus electrode in the width direction of the bus electrode.

확대 전극들은 에칭(etching)되어 형성되는 것이 바람직하다.The magnification electrodes are preferably formed by etching.

이하에서는 도 1 내지 도 8을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명한다. 이러한 본 발명의 실시예는 단지 본 발명을 예시하기 위한 것이며, 본 발명이 여기에 한정되는 것은 아니다.Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 8. These embodiments of the present invention are merely for illustrating the present invention, but the present invention is not limited thereto.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 PDP(100)의 부분 분해 사시도로서, 도 1의 확대원에는 습식 에칭에 적합하도록 구조를 변형시킨 확대 전극(163, 183)의 구조를 나타낸다.FIG. 1 is a partially exploded perspective view of the PDP 100 according to the first embodiment of the present invention, and the enlarged source of FIG. 1 shows the structures of the enlarged electrodes 163 and 183 modified to be suitable for wet etching.

도 1에는 방전유지전극들(12)을 도시하기 위하여 편의상 제1 기판(10)을 은선으로 도시한다. 또한, 방전유지전극들(12)을 보호하기 위하여 이들을 덮어서 형성된 유전층 및 보호막을 생략하여 도시한다. 이와 같은 PDP의 내부 구조는 단지 본 발명을 예시하기 위한 것이며, 본 발명이 여기에 한정되는 것은 아니다. 따라서 PDP의 내부 구조를 다른 형태로도 변형할 수 있다.In FIG. 1, the first substrate 10 is shown as a hidden line for convenience of showing the discharge sustaining electrodes 12. In addition, in order to protect the discharge sustaining electrodes 12, a dielectric layer and a protective film formed by covering them are omitted. The internal structure of such a PDP is merely to illustrate the present invention, but the present invention is not limited thereto. Therefore, the internal structure of the PDP can be modified in other forms.

도 1에 도시한 바와 같이, PDP(100)는 제1 기판(10)과 제2 기판(20)이 임의의 간격을 두고 상호 대향 배치되고, 양 기판(10, 20) 사이의 공간에는 격벽(26)에 의해 구획되는 방전셀들(25)이 마련되어, 각 방전셀들(25)의 독립적인 방전 메커니즘에 의한 가시광선 방출로 임의의 컬러 영상을 구현한다.As shown in FIG. 1, in the PDP 100, the first substrate 10 and the second substrate 20 are disposed to face each other at random intervals, and a partition wall is formed in the space between the substrates 10 and 20. Discharge cells 25 partitioned by 26 are provided to implement an arbitrary color image with visible light emission by an independent discharge mechanism of each discharge cells 25.

PDP(100)를 구체적으로 살펴보면, 제2 기판(20)의 내면에는 X축 방향을 따라 어드레스 전극들(22)이 형성되고, 어드레스 전극들(22)을 덮으면서 제2 기판(20)의 내면 전체에 유전층(24)이 형성된다. 어드레스 전극(22)은 스트라이프 패턴으로 이루어져 이웃한 어드레스 전극(22)과 소정의 간격을 두고 나란하게 형성된다.Looking at the PDP 100 in detail, the address electrodes 22 are formed on the inner surface of the second substrate 20 along the X-axis direction, and the inner surface of the second substrate 20 covering the address electrodes 22. A dielectric layer 24 is formed throughout. The address electrodes 22 are formed in a stripe pattern so as to be parallel to the adjacent address electrodes 22 at predetermined intervals.

유전층(24) 위에는 격벽(26), 특히 매트릭스 형태의 격벽(26)이 형성되고, 격벽(26)의 측면과 유전층(24) 상면에 걸쳐 각각 적색(R), 녹색(G), 및 청색(B)의 형광체층(28)이 형성된다. 방전셀(25) 내부는 Ne 및 Xe 등을 포함하는 방전 가스로 채워진다.On the dielectric layer 24 is formed a partition 26, in particular a matrix 26 in the form of a matrix, and the red (R), green (G), and blue (on the side of the partition 26 and the top surface of the dielectric layer 24, respectively) The phosphor layer 28 of B) is formed. The discharge cell 25 is filled with a discharge gas containing Ne, Xe and the like.

그리고 제2 기판(20)에 대향하는 제1 기판(10)의 내면에는 어드레스 전극(22)과 직교하는 방향을 따라 주사 전극(16)과 표시 전극(18)으로 이루어진 방전유지전극들(12)이 형성된다.Discharge sustaining electrodes 12 including scan electrodes 16 and display electrodes 18 are formed on an inner surface of the first substrate 10 facing the second substrate 20 in a direction orthogonal to the address electrodes 22. Is formed.

일례로 방전유지전극(12)은 스트라이프 패턴으로 이루어져 각 방전 셀(25)에 한 쌍이 대응하는 버스 전극(161, 181)과, 버스 전극(161, 181)으로부터 각 방전셀(25) 내부를 향해 연장되어 한 쌍이 마주하도록 상호 이격되어 버스 전극(161, 181)에 다수 형성된 확대 전극(163, 183)들로 이루어진다. 각 확대 전극(163, 183)은 ITO 등을 소재로 한 투명 전극일 수 있으며, 버스 전극(161, 181)으로는 통상의 금속 전극을 사용할 수 있다. 주사 전극(16) 및 표시 전극(18) 모두가 이와 같은 구조를 가진다.For example, the discharge sustaining electrode 12 is formed in a stripe pattern, and a pair of bus electrodes 161 and 181 corresponding to each discharge cell 25 and from the bus electrodes 161 and 181 toward the inside of each discharge cell 25. The expansion electrodes 163 and 183 are formed in the bus electrodes 161 and 181 to be spaced apart from each other so as to face each other. Each of the enlarged electrodes 163 and 183 may be a transparent electrode made of ITO or the like, and a conventional metal electrode may be used as the bus electrodes 161 and 181. Both the scan electrode 16 and the display electrode 18 have such a structure.

이로써 어드레스 전극(22)과 주사 전극(16) 사이에 어드레스 전압(Va)을 인가하여 발광을 위한 방전셀을 선택하고, 주사 전극(16)과 표시 전극(18) 사이에 유지 전압(Vs)을 인가하면 방전셀(25)내의 방전 가스가 플라스마 방전을 일으키면서 진공 자외선이 방출되며, 진공 자외선이 형광체층(28)을 여기시켜 가시광선으로 변환시킴으로써 화상을 표시한다.As a result, an address voltage Va is applied between the address electrode 22 and the scan electrode 16 to select a discharge cell for emitting light, and a sustain voltage Vs is applied between the scan electrode 16 and the display electrode 18. When applied, the vacuum gas is emitted while the discharge gas in the discharge cell 25 causes plasma discharge, and the vacuum ultraviolet light excites the phosphor layer 28 to convert into visible light to display an image.

도 1의 확대원에는 확대 전극(163)의 형성 과정 중에 에칭에 의하여 제거되는 확대 전극(163)의 주위 부분(1630)을 나타낸다. 도 1의 확대원에는 주사 전극 (16)에 포함된 확대 전극(163)만을 도시하였지만, 표시 전극(18)에 포함된 확대 전극(183)에도 본 발명을 동일하게 적용할 수 있다. 1 shows a peripheral portion 1630 of the magnification electrode 163 that is removed by etching during formation of the magnification electrode 163. Although only the magnification electrode 163 included in the scan electrode 16 is illustrated in the magnification source of FIG. 1, the present invention may be similarly applied to the magnification electrode 183 included in the display electrode 18.

버스 전극(161)의 형성에 앞서, 확대 전극(163)을 형성하기 위하여 그 주위 부분(1630)을 에칭 과정 중에 제거한다. 본 발명에 따른 PDP(100)에서는 에칭에 의해 주위 부분(1630)을 제거하더라도 확대 전극(163)을 안정적으로 형성할 수 있다. 이는 확대 전극(163)의 특유한 형상으로 인하여 가능하다. 도 1의 확대원에 도시한 확대 전극(163)의 형상은 포토마스크를 사용하여 형성할 수 있다. 이하에서는 도 2를 참조하여 확대 전극(163)에 대해여 좀더 상세하게 설명한다.Prior to forming the bus electrode 161, the peripheral portion 1630 is removed during the etching process to form the enlarged electrode 163. In the PDP 100 according to the present invention, the enlarged electrode 163 can be stably formed even if the peripheral portion 1630 is removed by etching. This is possible due to the unique shape of the magnification electrode 163. The shape of the magnification electrode 163 shown in the magnification circle of FIG. 1 can be formed using a photomask. Hereinafter, the enlarged electrode 163 will be described in more detail with reference to FIG. 2.

도 2에는 방전셀(25)상에 주사 전극(16)과 표시 전극(18)이 위치한 상태를 나타내고, 도 2의 원에는 확대 전극(163)을 상세하게 나타낸다.2 shows a state where the scan electrode 16 and the display electrode 18 are positioned on the discharge cell 25, and the enlarged electrode 163 is shown in detail in the circle of FIG. 2.

확대 전극(163)은 전극 중첩부(163a), 전극 연결부(163b) 및 전극 방전부(163c)를 포함한다. 이외에 다른 부분을 포함하여 형성될 수도 있다. 전극 방전부(163c)는 표시 전극(18)의 확대 전극(183)과 함께 실제 방전을 일으킨다. 표시 전극(18)의 확대 전극(183)과 가까운 부분에서 방전이 잘 일어난다. 반대로, 주사 전극(16)의 확대 전극(163) 부분중에서 먼 쪽은 방전이 잘 일어나지 않는다. 따라서, 이 부분의 그 크기를 최소화하여 무효 방전에 소모되는 전력을 최소화시킨다. 전극 방전부(163c)에 연결된 전극 연결부(163b)를 전극 방전부(163c)에 비해 작게 형성한다. 전극 연결부(163b)는 X축 방향으로 뻗어 있다. 이와 같은 방법으로 무효 방전에 의한 전력 소모를 최소화할 수 있다. The magnification electrode 163 includes an electrode overlapping portion 163a, an electrode connecting portion 163b, and an electrode discharge portion 163c. It may be formed including other parts. The electrode discharge part 163c, together with the enlarged electrode 183 of the display electrode 18, causes actual discharge. The discharge occurs well in the portion close to the magnification electrode 183 of the display electrode 18. On the contrary, the farthest part of the magnification electrode 163 part of the scanning electrode 16 does not generate | occur | produce easily. Therefore, the size of this portion is minimized to minimize the power consumed for the reactive discharge. The electrode connection part 163b connected to the electrode discharge part 163c is formed smaller than the electrode discharge part 163c. The electrode connection part 163b extends in the X-axis direction. In this way, power consumption due to reactive discharge can be minimized.

한편, 전극 연결부(163b)와 연결된 전극 중첩부(163a)는 버스 전극(161)과 중첩 형성된다. 본 발명에서는 전극 중첩부(163a)가 다소 큰 면적을 가지면서 버스 전극(161)에 걸치도록 형성한다. 이에 따라 습식 에칭에 의해 전극 연결부(163b)의 면적이 크게 줄어들더라도, 이와 연결된 전극 중첩부(163c)의 면적이 크게 형성되어 전극 중첩부(163a)와 전극 방전부(163c)의 연결 상태를 안정적으로 유지할 수 있다.Meanwhile, the electrode overlapping portion 163a connected to the electrode connecting portion 163b overlaps with the bus electrode 161. In the present invention, the electrode overlap portion 163a is formed to span the bus electrode 161 while having a rather large area. Accordingly, even though the area of the electrode connecting portion 163b is greatly reduced by wet etching, the area of the electrode overlapping portion 163c connected thereto is largely formed to stabilize the connection state between the electrode overlapping portion 163a and the electrode discharge portion 163c. Can be maintained.

특히, 전극 중첩부(163a)는 전극 연결부(163c)와 교차하여 형성되므로, 상호 뻗은 방향을 달리하면서 연결된다. 이에 따라, 습식 에칭에 의해 전극 중첩부(163a)와 전극 연결부(163c)의 사이가 끊어질 가능성이 없다. 또한, 전극 중첩부(163a)가 버스 전극(161)의 길이 방향인 Y축 방향을 따라 장방형으로 형성되어 있으므로, 버스 전극(161)과의 접촉 면적이 넓어져서 구동 전압이 효율적으로 인가된다. 그리고 이러한 구조로 인하여 습식 에칭시에도 전극 연결부(163c)와의 연결 상태를 양호하게 유지할 수 있다.In particular, since the electrode overlap part 163a is formed to intersect the electrode connection part 163c, the electrode overlap part 163a is connected while varying the mutually extending direction. Thereby, there is no possibility that the electrode overlap part 163a and the electrode connection part 163c will be disconnected by wet etching. In addition, since the electrode overlapping portion 163a is formed in a rectangle along the Y-axis direction, which is the longitudinal direction of the bus electrode 161, the contact area with the bus electrode 161 is widened, so that the driving voltage is efficiently applied. Due to this structure, the connection state with the electrode connection part 163c can be well maintained even during wet etching.

버스 전극(161)의 길이 방향인 Y축 방향에 따른 전극 중첩부(163a)의 폭(W_163a)은 동일 방향에 따른 전극 연결부(163b)의 폭(W_163b)보다 크다. 이에 따라, 습식 에칭에 따라 사라지는 전극 연결부(163b)의 면적을 최소화할 수 있다. 좀더 바람직하게는, 전극 중첩부(163a)의 면적을 전극 연결부(163b)의 면적보다 크게 하여 습식 에칭시에도 전극 연결부(163b)를 안정적으로 형성할 수 있다. 그리고 버스 전극(161)의 폭 방향인 X축 방향으로 전극 중첩부(163a)가 버스 전극(161)을 완전히 덮도록 형성하여 전극 중첩부(163a)와 버스 전극(161)간의 전기 접속 관계를 양호하게 할 수 있다.The width W _163a of the electrode overlapping portion 163a in the Y-axis direction, which is the longitudinal direction of the bus electrode 161, is larger than the width W _163b of the electrode connecting portion 163b in the same direction. Accordingly, it is possible to minimize the area of the electrode connection portion 163b that disappears due to the wet etching. More preferably, the area of the electrode overlapping portion 163a is larger than the area of the electrode connecting portion 163b so that the electrode connecting portion 163b can be stably formed even during wet etching. In addition, the electrode overlap portion 163a is formed to completely cover the bus electrode 161 in the X-axis direction, which is the width direction of the bus electrode 161, so that the electrical connection relationship between the electrode overlap portion 163a and the bus electrode 161 is good. It can be done.

도 3은 본 발명의 제2 실시예에 따른 PDP(200)의 평면도로서, 주사 전극(16)의 확대 전극(165)과 표시 전극(18)의 확대 전극(185)를 변형하여 형성한 상태를 나타낸다.3 is a plan view of the PDP 200 according to the second embodiment of the present invention, in which the enlarged electrode 165 of the scan electrode 16 and the enlarged electrode 185 of the display electrode 18 are deformed. Indicates.

도 3에 도시한 본 발명의 제2 실시예에 따른 PDP(200)는, 확대 전극(165, 185)의 형상을 제외하고는 도 2에 도시한 본 발명의 제1 실시예에 따른 PDP와 동일하므로, 동일한 부분에는 동일한 도면 부호를 사용하여 나타내며, 그 자세한 설명을 생략한다. 이하에서는 확대 전극(165, 185)을 위주로 하여 설명한다.The PDP 200 according to the second embodiment of the present invention shown in FIG. 3 is the same as the PDP according to the first embodiment of the present invention shown in FIG. 2 except for the shapes of the enlarged electrodes 165 and 185. Therefore, the same parts are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted. Hereinafter, the enlarged electrodes 165 and 185 will be described mainly.

도 3에 도시한 바와 같이 확대 전극(165)의 전극 중첩부(165a)는 버스 전극(161)의 길이 방향인 Y축 방향을 따라 뻗어 있다. 버스 전극(161)의 길이 방향으로 뻗은 전극 중첩부(165a)의 양 에지가 곡선형으로 형성되어 있으므로, 버스 전극(161)과 확대 전극(165)간의 구동 전압 전송이 효율적으로 이루어진다.As shown in FIG. 3, the electrode overlapping portion 165a of the enlarged electrode 165 extends along the Y-axis direction, which is the longitudinal direction of the bus electrode 161. Since both edges of the electrode overlapping portion 165a extending in the longitudinal direction of the bus electrode 161 are curved, the drive voltage transmission between the bus electrode 161 and the expansion electrode 165 is efficiently performed.

도 4는 본 발명의 제3 실시예에 따른 PDP(300)의 평면도로서, 주사 전극(16)의 확대 전극(167)과 표시 전극(18)의 확대 전극(187)를 변형하여 형성한 상태를 나타낸다.4 is a plan view of the PDP 300 according to the third embodiment of the present invention, in which the enlarged electrode 167 of the scan electrode 16 and the enlarged electrode 187 of the display electrode 18 are deformed. Indicates.

도 4에 도시한 본 발명의 제3 실시예에 따른 PDP(300)는, 확대 전극(167, 187)의 형상을 제외하고는 도 2에 도시한 본 발명의 제1 실시예에 따른 PDP와 동일하므로, 동일한 부분에는 동일한 도면 부호를 사용하여 나타내며, 그 자세한 설명을 생략한다. 이하에서는 확대 전극(167, 187)을 위주로 하여 설명한다.The PDP 300 according to the third embodiment of the present invention shown in FIG. 4 is identical to the PDP according to the first embodiment of the present invention shown in FIG. 2 except for the shapes of the enlarged electrodes 167 and 187. Therefore, the same parts are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted. The following description focuses on the enlarged electrodes 167 and 187.

도 4에 도시한 바와 같이, 전극 연결부(167b)의 폭은 전극 중첩부(167a)측인 X축 방향을 향하여 점차 커진다. 이와 함께, 전극 연결부(167b)가 전극 중첩부(167a)와 연속하여 이어지므로, 전극 연결부(167b) 및 전극 중첩부(167a)를 일체로 형성할 수 있다. 이와 같이 전극 연결부(167b) 및 전극 중첩부(156a)를 삼각형 형태로 일체 형성함으로써, 전극 형성을 위한 포토 마스크의 제조가 용이하다.As shown in FIG. 4, the width of the electrode connecting portion 167b gradually increases toward the X-axis direction on the electrode overlapping portion 167a side. In addition, since the electrode connecting portion 167b is continuously connected to the electrode overlapping portion 167a, the electrode connecting portion 167b and the electrode overlapping portion 167a may be integrally formed. In this way, the electrode connecting portion 167b and the electrode overlapping portion 156a are integrally formed in a triangular shape, thereby easily manufacturing a photomask for forming an electrode.

도 5는 본 발명의 제4 실시예에 따른 PDP(400)의 부분 분해 사시도로서, 방전셀(25)과 비방전셀(27)로 이루어진 PDP(400)를 나타낸다.5 is a partially exploded perspective view of the PDP 400 according to the fourth embodiment of the present invention, which shows a PDP 400 composed of a discharge cell 25 and a non-discharge cell 27.

도 5에 도시한 PDP(400)의 구조는 단지 본 발명을 예시하기 위한 것이며, 본 발명이 여기에 한정되는 것은 아니다. 따라서, PDP(400)의 구조를 다른 형태로 변형할 수 있다.The structure of the PDP 400 shown in FIG. 5 is merely for illustrating the present invention, and the present invention is not limited thereto. Therefore, the structure of the PDP 400 can be modified in other forms.

방전셀(25)과 비방전셀(27)은 격벽(26)에 의해 구획되고, 방전셀(25)에는 형광체층(28)이 도포되어 있다. 어드레스 전극(22)과 입체 교차하는 Y축 방향을 따라 방전유지전극(16, 18)이 형성된다. 방전유지전극(16, 18)은 각각 버스전극(161, 181)과 확대 전극(162, 182)으로 이루어진다. 방전유지전극(16, 18)은 그 역할에 따라 주사 전극(16)과 표시 전극(18)으로 구분되어 각 방전셀(25)에 대응한다. 주사 전극(16)과 표시 전극(18)은 상호 대향하는 면적을 넓혀서 방전셀(25)을 통해 유효 방전이 더욱 잘 일어나도록 한다.The discharge cell 25 and the non-discharge cell 27 are partitioned off by the partition wall 26, and the phosphor layer 28 is coated on the discharge cell 25. Discharge sustaining electrodes 16 and 18 are formed along the Y-axis direction three-dimensionally intersecting with the address electrodes 22. The discharge sustain electrodes 16 and 18 are made up of bus electrodes 161 and 181 and enlarged electrodes 162 and 182, respectively. The discharge sustain electrodes 16 and 18 are divided into the scan electrode 16 and the display electrode 18 according to their roles, and correspond to the respective discharge cells 25. The scan electrode 16 and the display electrode 18 increase the mutually opposing area so that the effective discharge is more likely to occur through the discharge cell 25.

어드레스 전극(22)과 주사 전극(16) 사이에 어드레스 전압(Va)을 인가하여 발광을 위한 방전셀을 선택하고, 주사 전극(16)과 표시 전극(18) 사이에 유지 전압(Vs)을 인가하면 방전셀(25)내의 방전 가스가 플라스마 방전을 일으키면서 진공 자외선이 방출되며, 진공 자외선이 형광체층(28)을 여기시켜 가시광선으로 변환시킴 으로써 화상을 표시한다. 이하에서는 도 6을 참조하여 확대 전극(162)에 대하여 좀더 상세하게 설명한다.An address voltage Va is applied between the address electrode 22 and the scan electrode 16 to select a discharge cell for emitting light, and a sustain voltage Vs is applied between the scan electrode 16 and the display electrode 18. When the discharge gas in the discharge cell 25 causes plasma discharge, vacuum ultraviolet rays are emitted, and the vacuum ultraviolet rays excite the phosphor layer 28 to convert into visible light to display an image. Hereinafter, the enlarged electrode 162 will be described in more detail with reference to FIG. 6.

도 6에는 방전셀(25)상에 주사 전극(16)과 표시 전극(18)이 위치한 상태를 나타낸다. 본 발명의 제4 실시예에 따른 PDP(400)의 구조는 확대 전극(162, 182) 각각의 전극 방전부(162c, 182c)의 형상을 제외하고는 도 2에 도시한 본 발명의 제2 실시예에 따른 PDP의 구조와 동일하므로, 동일한 부분에는 동일한 도면 부호를 사용하며 그 자세한 설명을 생략한다. 6 shows a state where the scan electrode 16 and the display electrode 18 are positioned on the discharge cell 25. The structure of the PDP 400 according to the fourth embodiment of the present invention is the second embodiment of the present invention shown in FIG. 2 except for the shape of the electrode discharge portions 162c and 182c of the enlarged electrodes 162 and 182. Since it is the same as the structure of the PDP according to the example, the same reference numerals are used for the same parts and detailed description thereof will be omitted.

도 6에 도시한 각 확대 전극(162, 182)의 전극 방전부(162c, 182c)에는 오목부가 형성되어 있다. 또한, 전극 방전부(162c, 182c)의 폭은 X축 방향을 따라 전극 연결부(162b, 182b)측으로 갈수록 점차 좁아지게 형성된다. 전극 방전부(162c, 182c)가 상호 대향하므로, 유효 방전을 늘리면서 무효 방전을 줄여 방전에 따라 선명한 컬러를 구현할 수 있다.Concave portions are formed in the electrode discharge portions 162c and 182c of the enlarged electrodes 162 and 182 shown in FIG. In addition, the widths of the electrode discharge parts 162c and 182c become gradually narrower toward the electrode connection parts 162b and 182b along the X-axis direction. Since the electrode discharge parts 162c and 182c face each other, it is possible to realize a vivid color according to the discharge by reducing the reactive discharge while increasing the effective discharge.

또한, 확대 전극(400)을 제조시, Y축 방향에 따른 각 전극 중첩부(162a, 182a)의 폭을 전극 연결부(162b, 182b)의 폭보다 넓게 형성하고, 전극 중첩부(162a, 182a)가 버스 전극(161, 181)의 길이 방향인 Y축 방향으로 뻗도록 형성한다. 이에 따라 습식 에칭에도 불구하고 폭이 좁은 전극 연결부(162b, 182b)를 안정적으로 형성할 수 있다.In addition, when manufacturing the enlarged electrode 400, the width of each electrode overlapping portion 162a, 182a along the Y-axis direction is formed to be wider than the width of the electrode connecting portions 162b, 182b, and the electrode overlapping portions 162a, 182a. Is formed to extend in the Y-axis direction, which is the longitudinal direction of the bus electrodes 161 and 181. Accordingly, despite the wet etching, narrow electrode connection portions 162b and 182b may be stably formed.

도 7은 본 발명의 제5 실시예에 따른 PDP(500)의 평면도로서, 본 발명의 제2 시예에 따른 PDP의 확대 전극과 본 발명의 제4 실시예에 따른 PDP의 확대 전극을 혼합한 상태를 나타낸다.7 is a plan view of a PDP 500 according to a fifth embodiment of the present invention, in which a magnified electrode of a PDP according to a second embodiment of the present invention and an enlarged electrode of a PDP according to a fourth embodiment of the present invention are mixed. Indicates.

즉, 확대 전극(164, 184)의 전극 방전부(164c, 184c)는 본 발명의 제4 실시예에서의 전극 방전부와 동일하게 형성하고, 확대 전극(164, 184)의 전극 중첩부(164a, 184a)는 본 발명의 제2 실시예에서의 전극 방전부와 동일한 형태로 형성한다. 이에 따라 방전 효율이 우수하면서도 습식 에칭에 강한 확대 전극(164, 184)을 안정적으로 형성할 수 있다.That is, the electrode discharge portions 164c and 184c of the enlarged electrodes 164 and 184 are formed in the same manner as the electrode discharge portions in the fourth embodiment of the present invention, and the electrode overlap portions 164a of the enlarged electrodes 164 and 184 are formed. And 184a are formed in the same form as the electrode discharge portion in the second embodiment of the present invention. Accordingly, the enlarged electrodes 164 and 184 which are excellent in discharge efficiency and resistant to wet etching can be stably formed.

도 8은 본 발명의 제6 실시예에 따른 PDP(600)의 평면도로서, 본 발명의 제3 시예에 따른 PDP의 확대 전극과 본 발명의 제4 실시예에 따른 PDP의 확대 전극을 혼합한 상태를 나타낸다.8 is a plan view of a PDP 600 according to a sixth embodiment of the present invention, in which an enlarged electrode of the PDP according to a third embodiment of the present invention is mixed with an enlarged electrode of the PDP according to the fourth embodiment of the present invention. Indicates.

즉, 확대 전극(166, 186)의 전극 방전부(166c, 186c)는 본 발명의 제4 실시예에서의 전극 방전부와 동일하게 형성하고, 확대 전극(166, 186)의 전극 연결부(166b, 186b)와 전극 중첩부(166a, 186a)는 본 발명의 제3 실시예에서의 전극 방전부와 동일한 형태로 형성한다. 이에 따라 방전 효율이 우수하면서도 습식 에칭에 강한 확대 전극(164, 184)을 안정적으로 형성할 수 있다.That is, the electrode discharge portions 166c and 186c of the enlarged electrodes 166 and 186 are formed in the same manner as the electrode discharge portions in the fourth embodiment of the present invention, and the electrode connection portions 166b of the enlarged electrodes 166 and 186 are formed. 186b and the electrode overlap portions 166a and 186a are formed in the same form as the electrode discharge portions in the third embodiment of the present invention. Accordingly, the enlarged electrodes 164 and 184 which are excellent in discharge efficiency and resistant to wet etching can be stably formed.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 PDP의 확대 전극에서, 버스 전극의 길이 방향에 따른 전극 중첩부의 폭은 전극 연결부의 폭보다 크므로, 습식 에칭시 전극 연결부가 끊어지지 않고 안정적으로 형성될 수 있다.As described above, in the enlarged electrode of the PDP according to the present invention, since the width of the electrode overlapping portion in the longitudinal direction of the bus electrode is larger than the width of the electrode connecting portion, the electrode connecting portion may be stably formed without wet during wet etching. have.

확대 전극의 전극 방전부에는 오목부가 형성되고, 전극 방전부의 폭은 이와 연결된 전극 연결부로 갈수록 점차 좁아지게 형성되므로, 방전 효율이 우수하다.A concave portion is formed in the electrode discharge portion of the enlarged electrode, and the width of the electrode discharge portion is gradually narrowed toward the electrode connection portion connected thereto, so that the discharge efficiency is excellent.

전극 중첩부의 면적은 전극 연결부의 면적보다 크므로, 에칭시 전극 연결부 가 안정적으로 형성될 수 있다.Since the area of the electrode overlap part is larger than the area of the electrode connection part, the electrode connection part may be stably formed during etching.

전극 중첩부는 전극 연결부와 교차하여 형성되므로, 습식 에칭시 전극 연결부를 안정적으로 형성할 수 있다.Since the electrode overlap part is formed to cross the electrode connection part, the electrode connection part may be stably formed during the wet etching.

전극 중첩부는 버스 전극의 길이 방향을 따라 장방형으로 형성되므로, 버스 전극과의 중첩 영역이 넓어서 버스 전극으로부터 전극 중첩부로 구동 전압을 전송하기가 용이하다.Since the electrode overlapping portion is formed in a rectangle along the longitudinal direction of the bus electrode, the overlapping area with the bus electrode is wide, so that it is easy to transfer the driving voltage from the bus electrode to the electrode overlapping portion.

전극 중첩부는 버스 전극의 길이 방향을 따라 뻗어 있고, 버스 전극의 길이 방향으로 뻗은 양 에지가 곡선형으로 형성되므로 구동 전압의 전송에 효율적이다.The electrode overlapping portion extends in the longitudinal direction of the bus electrode, and both edges extending in the longitudinal direction of the bus electrode are formed in a curved shape, which is effective for transmission of a driving voltage.

전극 연결부의 폭이 전극 중첩부측을 향하여 점차 커지면서 전극 연결부가 전극 중첩부와 연속하여 이어지므로, 전극 연결부 및 전극 중첩부를 일체로 형성할 수 있어서 제조 공정이 간단해지는 이점이 있다.Since the electrode connecting portion is continuously connected with the electrode overlapping portion while the width of the electrode connecting portion gradually increases toward the electrode overlapping portion side, the electrode connecting portion and the electrode overlapping portion can be formed integrally, so that the manufacturing process is simplified.

버스 전극의 폭 방향으로 전극 중첩부가 버스 전극을 완전히 덮으므로, 양자간의 전기 접속 상태가 양호한 이점이 있다.Since the electrode overlap part completely covers the bus electrode in the width direction of the bus electrode, there is an advantage that the electrical connection state between the two is good.

확대 전극들은 에칭되어 형성되므로, 확대 전극을 용이하게 형성할 수 있다.Since the magnification electrodes are formed by etching, the magnification electrodes can be easily formed.

본 발명을 앞서 기재한 바에 따라 설명하였지만, 다음에 기재하는 특허청구범위의 개념과 범위를 벗어나지 않는 한, 다양한 수정 및 변형이 가능하다는 것을 본 발명이 속하는 기술 분야에 종사하는 자들은 쉽게 이해할 것이다.Although the present invention has been described above, it will be readily understood by those skilled in the art that various modifications and variations are possible without departing from the spirit and scope of the claims set out below.

Claims

A first substrate and a second substrate disposed opposite to each other,

Address electrodes formed on the second substrate,

A partition wall disposed in a space between the first substrate and the second substrate to partition discharge cells;

Phosphor layers formed in the respective discharge cells, and

Display electrodes formed on the first substrate while including bus electrodes and magnified electrodes spaced apart from each other and formed on the bus electrodes;

Including,

Each of the enlarged electrodes includes an electrode discharge part for generating a discharge, an electrode connection part connected to the electrode discharge part, and an electrode overlap part connected to the electrode connection part and overlapped with the bus electrode,

The width of the electrode overlapping portion in the longitudinal direction of the bus electrode is greater than the width of the electrode connecting portion in the longitudinal direction of the bus electrode, and the plasma display panel in which the electrode overlapping portion covers all the bus electrodes in the width direction of the bus electrode. (plasma display panel, PDP).

In claim 1,

A concave portion is formed in the electrode discharge portion, and a width of the electrode discharge portion is gradually narrowed toward the electrode connection portion.

The method of claim 1 or 2,

A plasma display panel (PDP) having an area of the electrode overlapping portion greater than that of the electrode connecting portion.

The method of claim 1 or 2,

And the electrode overlapping portion is formed to cross the electrode connecting portion.

The method of claim 1 or 2,

And the electrode overlapping portion is formed in a rectangular shape along the longitudinal direction of the bus electrode.

The method of claim 1 or 2,

And the electrode overlapping portion extends along the length direction of the bus electrode, and both edges extending in the length direction of the bus electrode are curved.

The method of claim 1 or 2,

And a width of the electrode connecting portion gradually increasing toward the electrode overlapping portion, and the electrode connecting portion continuously connected to the electrode overlapping portion.

delete

In claim 1,

And the enlarged electrodes are formed by etching.