[go: up one dir, main page]
More Web Proxy on the site http://driver.im/

KR100646905B1 - Resin seal mold - Google Patents

Resin seal mold Download PDF

Info

Publication number
KR100646905B1
KR100646905B1 KR1020050072580A KR20050072580A KR100646905B1 KR 100646905 B1 KR100646905 B1 KR 100646905B1 KR 1020050072580 A KR1020050072580 A KR 1020050072580A KR 20050072580 A KR20050072580 A KR 20050072580A KR 100646905 B1 KR100646905 B1 KR 100646905B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
mold
substrate
resin
absorbing layer
pressure
Prior art date
Application number
KR1020050072580A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20060050312A (en
Inventor
유키토모 타네
마사후미 시마노우치
사토시 니헤이
Original Assignee
토와 가부시기가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 토와 가부시기가이샤 filed Critical 토와 가부시기가이샤
Publication of KR20060050312A publication Critical patent/KR20060050312A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR100646905B1 publication Critical patent/KR100646905B1/en

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/73Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
    • H01L2224/732Location after the connecting process
    • H01L2224/73251Location after the connecting process on different surfaces
    • H01L2224/73265Layer and wire connectors

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Casting Or Compression Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
  • Injection Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
  • Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)

Abstract

수지 밀봉 형에는, 서로 대향하는 하형과 상형이 마련되어 있다. 하형의 형면상에는 압력 흡수층을 사이에 두고 기판이 재치되어 있다. 기판의 칩 장착면에는 칩이 장착되어 있다. 형면상에는, 평면으로 보아 기판이 내포되도록 압력 흡수층이 설치되어 있다. 압력 흡수층은 유동성 수지를 경화시킬 때의 온도에 견딜 수 있는 내열성과, 일정한 두께, 일정한 경도, 일정한 탄성 및 일정한 압축 강도를 갖는다. 칩이 수지 밀봉될 때에는, 하형과 상형이 클로징된 상태에서 상형의 캐비티로 유동성 수지가 주입된다. 이때, 압력 흡수층이 국소적으로 변형함에 의해, 기판에 가하여지는 클램프압과 수지 압이 저감된다. 그 결과, 얇은 기판 또는 취성을 갖는 기판이 이용되더라도, 수지 밀봉할 때에 기판에 압흔 및 크랙 등의 손상이 생기거나, 기판상의 배선 패턴의 단선이 생기거나 하는 것이 방지된다.The lower mold | type and upper mold which mutually oppose are provided in the resin sealing mold. On the lower surface of the mold, the substrate is placed with the pressure absorbing layer interposed therebetween. A chip is mounted on the chip mounting surface of the substrate. On the surface, the pressure absorbing layer is provided so that a board | substrate may be contained in planar view. The pressure absorbing layer has heat resistance, constant thickness, constant hardness, constant elasticity, and constant compressive strength that can withstand the temperature when curing the flowable resin. When the chip is resin-sealed, the fluid resin is injected into the cavity of the upper mold in a state where the lower mold and the upper mold are closed. At this time, by locally deforming the pressure absorbing layer, the clamp pressure and the resin pressure applied to the substrate are reduced. As a result, even when a thin substrate or a substrate having brittleness is used, damage such as indentation and cracks, or disconnection of the wiring pattern on the substrate is prevented when the resin is sealed.

수지, 밀봉, 형, 몰드 Resin, sealing, mold, mold

Description

수지 밀봉 형{RESIN SEAL MOLD}Resin Sealed Type {RESIN SEAL MOLD}

도 1은 실시의 형태 1의 수지 밀봉 형의 클로징 직전의 상태를 도시한 부분 단면도.1 is a partial cross-sectional view showing a state immediately before closing of the resin-sealed mold according to the first embodiment.

도 2는 실시의 형태 1의 수지 밀봉 형의 클로징 직후의 상태를 도시한 부분 단면도.FIG. 2 is a partial cross-sectional view showing a state immediately after closing of the resin-sealed mold of Embodiment 1. FIG.

도 3은 종래의 수지 밀봉 형의 클로징 직전의 상태를 도시한 부분 단면도.3 is a partial cross-sectional view showing a state immediately before closing of a conventional resin sealing type.

도 4는 종래의 수지 밀봉형의 클로징 직후의 상태를 도시한 부분 단면도.4 is a partial cross-sectional view showing a state immediately after closing of a conventional resin encapsulation type.

♠도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명♠♠ Explanation of the symbols for the main parts of the drawings.

1 : 하형 2 : 상형1: Lower type 2: Upper type

3, 13; 수지 밀봉 형 4 : 형면(型面)3, 13; Resin Sealed Type 4: Shape Surface

5 : 기판 6 : 칩 장착면5 substrate 6 chip mounting surface

7 : 칩 8 : 와이어7: chip 8: wire

9 : 반사면 10 : 배선 패턴9: reflecting surface 10: wiring pattern

11 : 캐비티 12 : 압력 흡수층11: cavity 12: pressure absorbing layer

기술 분야Technical field

본 발명은, 기판에 장착된 전자 부품을 수지 밀봉하기 위한 수지 밀봉 형(型)에 관한 것이다.The present invention relates to a resin sealing mold for resin sealing an electronic component mounted on a substrate.

종래 기술의 설명Description of the prior art

우선, 도 3 및 도 4를 참조하여 종래의 수지 밀봉형이 설명된다. 또한 이하의 설명에서 사용되는 도면의 각각은, 설명의 간편을 위해 상세 구조가 적절히 생략되거나, 과장되거나 하여 모식적으로 그려져 있다.First, with reference to Figs. 3 and 4, a conventional resin encapsulation type will be described. In addition, each figure used by the following description is shown typically, detailed structure is abbreviate | omitted or exaggerated suitably for the convenience of description.

종래의 수지 밀봉 형(3)은, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 하형(1)과 하형(1)에 대향하는 상형(2)을 갖고 있다. 하형(1)의 형면(型面)(4)의 위에는 기판(5)이 재치되고, 기판(5)의 칩 장착면(6)에는 전자 부품으로서의 칩(7)이 장착되어 있다.The conventional resin sealing mold 3 has a lower mold 1 and an upper mold 2 facing the lower mold 1 as shown in Figs. 3 and 4. The board | substrate 5 is mounted on the mold surface 4 of the lower mold | type 1, and the chip | tip 7 as an electronic component is attached to the chip mounting surface 6 of the board | substrate 5. As shown in FIG.

기판(5) 및 칩(7)의 전극(모두 도시 생략)끼리는, 와이어(8)를 통하여 전기적으로 접속되어 있다. 기판(5)은 칩 장착면(6) 및 그 이측(裏側)에 위치한 반대면(9)을 갖고 있다. 반대면(9)상에는 구리 등의 도전성 재료로 이루어지는 배선 패턴(10)이 마련되어 있다. 배선 패턴(10)은 다른 전자 기기에 접속되는 박(箔) 형상 또는 돌기 형상의 외부 전극, 또는 그들의 외부 전극과 칩 장착면(6)에 마련된 전극을 접속하는 박 형상의 배선 등에 의해 구성되어 있다. 또한, 상형(2)에는, 유동성 수지(도시 생략)가 주입되는 캐비티(11)와, 캐비티(11)로 유동성 수지를 인도하는 수지 유로(도시 생략)가 마련되어 있다.Electrodes (both not shown) of the substrate 5 and the chip 7 are electrically connected through the wire 8. The board | substrate 5 has the chip mounting surface 6 and the opposite surface 9 located in the back side. On the opposite surface 9, a wiring pattern 10 made of a conductive material such as copper is provided. The wiring pattern 10 is comprised by the foil-shaped or protrusion-shaped external electrode connected to another electronic device, or the foil-shaped wiring which connects those external electrodes and the electrode provided in the chip mounting surface 6, etc. . Moreover, the upper mold | type 2 is provided with the cavity 11 in which fluid resin (not shown) is inject | poured, and the resin flow path (not shown) which guides fluid resin to the cavity 11 is provided.

도 3 및 도 4에 도시한 수지 밀봉형(3)은 다음과 같이 하여 동작한다. 우선, 도 3에 도시한 바와 같이 칩(7)이 장착된 기판(5)이 하형(1)의 형면(4)에 재치된 후에 상형(2)이 하강한다. 그 후, 도 4에 도시한 바와 같이 상형(2)의 형면이 기판(5)의 칩 장착면(6)에 접촉하여 상형(2)이 소정의 압력에 의해 기판(5)을 가압한다. 이로써, 하형(1)과 상형(2)은 클로징 상태로 됨과 함께, 기판(5)이 클램프된다. 다음에, 유동성 수지(도시 생략)가 도면의 안쪽으로부터 앞쪽을 향하여 수지 유로(도시 생략)를 경유하여 캐비티(11)에 주입된다. 그 유동성 수지가 경화하고, 경화 수지(도시 생략)가 형성된다.The resin sealing mold 3 shown in FIG. 3 and FIG. 4 operates as follows. First, as shown in FIG. 3, the upper mold 2 is lowered after the substrate 5 on which the chip 7 is mounted is placed on the mold surface 4 of the lower mold 1. Then, as shown in FIG. 4, the mold surface of the upper mold | type 2 contacts the chip mounting surface 6 of the board | substrate 5, and the upper mold | type 2 presses the board | substrate 5 by a predetermined pressure. Thereby, while the lower mold | type 1 and the upper mold | type 2 are closed, the board | substrate 5 is clamped. Next, a fluid resin (not shown) is injected into the cavity 11 via a resin flow path (not shown) from the inside of the figure to the front side. The fluid resin cures and a cured resin (not shown) is formed.

다음에, 상형(2)이 상승하여 오프닝이 행하여진다. 그때에, 이젝트 핀(도시 생략)에 의해 기판(5)과 경화 수지를 포함하는 성형품이 수지 밀봉 형(3)으로부터 돌출된다. 그 후, 성형품은 흡착 기구에 의해 지지된 상태로, 다음 공정이 행하여지는 유닛 내로 반송된다. 다음에, 경화 수지중 불필요한 부분이 성형품으로부터 제거되고, 패키지가 완성된다.Next, the upper die 2 is raised to open. In that case, the molded article containing the board | substrate 5 and cured resin protrudes from the resin sealing die 3 by an eject pin (not shown). Thereafter, the molded article is conveyed into the unit where the next step is performed in a state supported by the adsorption mechanism. Next, the unnecessary part of cured resin is removed from a molded article, and a package is completed.

여기까지는, 1장의 기판(5)에 장착된 1개의 칩(7)이 수지 밀봉되는 방법이 설명되어 있다. 그러나, 본 발명의 수지 밀봉 형에 의해 행하여지는 수지 밀봉 방법은, 전술한 방법으로 한정되지 않고, 기판상에 격자형상으로 복수의 칩이 장착된 상태에서, 복수의 칩이 일괄하고 수지 밀봉되는 방법이라도 좋다. 이 방법에 의하면, 성형품이 개개의 칩 단위로 절단되고, 복수의 패키지가 제조된다.Until now, the method by which one chip | tip 7 attached to one board | substrate 5 is resin-sealed is demonstrated. However, the resin sealing method performed by the resin sealing type of the present invention is not limited to the above-described method, but a method in which a plurality of chips are collectively resin-sealed in a state where a plurality of chips are mounted in a lattice shape on a substrate. It may be. According to this method, a molded article is cut | disconnected by an individual chip unit, and several packages are manufactured.

그런데, 근래, 패키지의 소형화 및 박형화의 요망이 높아지고 있기 때문에, 기판(5)도 박형화하고 싶다는 요망이 높아지고 있다. 또한, 기판(5)의 재료로서 비 교적 강도가 작은 세라믹스계의 재료가 사용되고 있다.By the way, in recent years, since the request of miniaturization and thickness reduction of a package is increasing, the desire to thin the board | substrate 5 is also increasing. As the material of the substrate 5, a ceramic material having a small comparative strength is used.

한편, 경판(5)의 두께가 얇게 되어 있는 것, 및 기판(5)의 강도가 작게 되어 있는 것과는 무관계로, 수지 버르의 발생을 방지하기 위해 소정의 압력으로 기판(5)을 클램프할 필요가 있다. 그 때문에, 기판(5)중 캐비티(11)의 주연(周緣)에 의해 가압되는 부분에 클램프압이 집중한다. 또한, 유동성 수지의 수지 압(壓)이 기판(5)에 가하여진다. 그로 인해, 압흔(壓痕) 및 크랙 등의 손상이 기판(5)에 생긴다. 이 문제는 기판(5)이 얇은 것, 및 기판(5)이 취성(脆性)을 갖는 재료(세라믹스계 재료)로 구성되어 있는 것에 기인하여, 더욱 발생하기 쉽게 된다. 또한, 면적이 작은 배선 패턴(10)의 부분에 압력이 집중함에 의해 배선 패턴(10)의 크랙, 변형 및 단선 등의 불량이 발생한다는 문제도 있다. 또한, 전술한 2개의 문제를 방지하기 위해 클램프압을 저하시키면, 캐비티(11)의 내부로부터 기판(5)의 위로 용융 수지가 누출하여, 기판(5) 위에 수지 버르가 형성된다. 전술한 문제는 패키지를 생산할 때의 수율을 저하시키는 원인이 된다.On the other hand, regardless of whether the thickness of the hard plate 5 is thin and the strength of the substrate 5 is small, it is necessary to clamp the substrate 5 at a predetermined pressure to prevent the occurrence of resin burrs. have. Therefore, the clamp pressure concentrates on the part of the board | substrate 5 which is pressed by the peripheral edge of the cavity 11. In addition, the resin pressure of the fluid resin is applied to the substrate 5. Therefore, damage, such as an indentation and a crack, arises in the board | substrate 5. This problem is more likely to occur due to the fact that the substrate 5 is thin and the substrate 5 is made of a brittle material (ceramic material). In addition, there is a problem that defects such as cracking, deformation, and disconnection of the wiring pattern 10 occur due to concentration of pressure on the portion of the wiring pattern 10 having a small area. In addition, when the clamp pressure is lowered in order to prevent the above two problems, molten resin leaks from the inside of the cavity 11 onto the substrate 5, and a resin burr is formed on the substrate 5. The above-mentioned problem is a cause of decreasing the yield at the time of producing a package.

또한, 복수의 칩(7)을 일괄하여 수지 밀봉하는 경우에는, 기판(5)의 면적이 커진다. 그 때문에, 캐비티 내로 주입되는 유동성 수지의 양이 증가한다. 그에 수반하여, 클램프압과 수지 압이 증대한다. 그 결과, 전술한 문제가 보다 더 심각한 것으로 된다.In addition, when the several chips 7 are collectively resin-sealed, the area of the board | substrate 5 becomes large. Therefore, the amount of flowable resin injected into the cavity increases. In connection with this, clamp pressure and resin pressure increase. As a result, the problem described above becomes more serious.

본 발명의 목적은, 얇은 기판 또는 취성(脆性)을 갖는 기판을 이용하는 경우에 있어서도, 성형품에 압흔 및 크랙 등의 손상의 발생 및 기판상에 형성된 배선 패턴의 크랙, 변형 및 단선 등의 발생을 방지하는 것이 가능한 수지 밀봉형을 제공하는 것이다.An object of the present invention is to prevent the occurrence of damage such as indentation and cracks in molded articles and the occurrence of cracks, deformations, and disconnections of wiring patterns formed on the substrate even when using a thin substrate or a substrate having brittleness. It is to provide a resin encapsulation type that can be done.

상술한 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 수지 밀봉 형은, 전자 부품이 장착된 기판이 재치되는 하나의 형과, 하나의 형에 대향하고, 하나의 형과 함께 기판을 클램프하면서, 전자 부품을 캐비티 내에 포함하는 다른 형과, 하나의 형 및 다른 형 중 적어도 어느 한쪽에 마련되고, 하나의 형과 다른 형이 클로징된 때에, 기판에 가하여지는 압력을 흡수하도록 변형하는 압력 흡수층을 구비하고 있다.In order to achieve the above object, the resin encapsulation mold of the present invention is one mold on which a substrate on which an electronic component is mounted is mounted, and one mold is opposed to one mold and the electronic component is clamped together with one mold. Another type | mold contained in a cavity, and a pressure absorbing layer provided in at least one of one type | mold and another type | mold, and deform | transform so as to absorb the pressure applied to a board | substrate when one type | mold and another type | mold are closed is provided.

상기한 구성에 의하면, 기판이 얇아도, 하나의 형과 다른 형과의 클램프압에 의해 기판이 손상되는 것이 방지된다. 또한, 수지압에 의해 기판상의 전자 부품 및 그것에 관한 배선 패턴 등이 손상되는 것도 방지된다. 그 결과, 수지 성형품의 수율이 향상된다.According to the above structure, even if the substrate is thin, the substrate is prevented from being damaged by the clamp pressure between one mold and the other mold. In addition, damage to the electronic components on the substrate, wiring patterns related thereto, etc., by the resin pressure is also prevented. As a result, the yield of a resin molded article improves.

또한, 압력 흡수층이 엔지니어링 플라스틱을 가지고 있으면, 그 내구성이 향상된다. 또한, 압력 흡수층이 하나의 형 및 다른 형 중 적어도 어느 한쪽의 형면에 코팅되는 것이라면, 그 형성 방법이 용이해진다.In addition, if the pressure absorbing layer has an engineering plastic, its durability is improved. In addition, as long as the pressure absorbing layer is coated on at least one of the mold surfaces of one mold and the other mold, the formation method thereof becomes easy.

본 발명의 상기 및 다른 목적, 특징 국면 및 이점은 첨부한 도면과 관련하여 이해되는 본 발명에 관한 다음의 상세한 설명으로부터 분명해질 것이다.These and other objects, features and advantages of the present invention will become apparent from the following detailed description of the invention which is understood in conjunction with the accompanying drawings.

발명의 보다 바람직한 실시의 형태More preferred embodiment of the invention

도 1 및 도 2를 참조하여, 본 발명의 실시의 형태 1의 수지 밀봉 형(13)을 설명한다. 도 1 및 도 2에 도시한 동일한 구성 요소에는, 동일한 부호가 부여되어 있다.With reference to FIG. 1 and FIG. 2, the resin sealing mold 13 of Embodiment 1 of this invention is demonstrated. The same code | symbol is attached | subjected to the same component shown in FIG.1 and FIG.2.

도 1에 도시된 바와 같이, 수지 밀봉형(13)에는 서로 대향하는 하형(1)과 상형(2)이 마련되어 있다. 하형(1)의 형면(4)상에는 압력 흡수층(12)을 사이에 두고 기판(5)이 재치되어 있다. 기판(5)의 칩 장착면(6) 상에는 칩(7)이 장착되어 있다.As shown in FIG. 1, the resin sealing mold 13 is provided with the lower mold | type 1 and the upper mold | type 2 which oppose each other. The substrate 5 is placed on the mold surface 4 of the lower mold 1 with the pressure absorbing layer 12 interposed therebetween. On the chip mounting surface 6 of the board | substrate 5, the chip 7 is mounted.

압력 흡수층(12)은, 평면에서 보았을 때 기판(5)을 내포하고 있다. 또한, 압력 흡수층(12)은 유동성 수지를 경화시킬 때의 경화 온도에 견딜 수 있는 정도의 내열성을 갖고 있음과 함께 일정한 두께, 일정한 경도, 일정한 탄성 및 일정한 압축 강도를 갖고 있다. 압력 흡수층(12)의 재료는 엔지니어링 플라스틱인 것이 바람직하다.The pressure absorbing layer 12 contains the substrate 5 in plan view. In addition, the pressure absorbing layer 12 has heat resistance that can withstand the curing temperature at the time of curing the fluid resin, and has a constant thickness, a constant hardness, a constant elasticity, and a constant compressive strength. It is preferable that the material of the pressure absorbing layer 12 is engineering plastic.

다만, 경화 온도에 따라, 압력 흡수층(12)의 재료로서 폴리에테르에테르케톤(PEEK) 또는 폴리테트라플루오로에틸렌(PTFE) 등으로 대표되는 슈퍼 엔지니어링 플라스틱이 사용되는 것이 바람직하다. 또한, 압력 흡수층(12)은 코팅에 의해 형면(4)상에 도포막으로서 형성되어 있어도 좋다. 또한 압력 흡수층(12)은 PTFE와 같은 불소 수지 또는 PEEK 등의 단일의 재료에 의해 구성되어 있어도 좋음과 함께, 그들의 재료가 복합된 복합 재료의 도포막이라도 좋다.However, depending on the curing temperature, it is preferable to use a super engineering plastic represented by polyether ether ketone (PEEK), polytetrafluoroethylene (PTFE), or the like as the material of the pressure absorbing layer 12. In addition, the pressure absorbing layer 12 may be formed as a coating film on the mold surface 4 by coating. The pressure absorbing layer 12 may be made of a single material such as fluororesin such as PTFE or PEEK, and may be a coating film of a composite material in which these materials are composited.

수지 밀봉이 행하여질 때에, 압력 흡수층(12)은 다음과 같이 하여 기능한다. 도 2에 도시된 바와 같이 상형(2)과 압력 흡수층(12) 부착 하형(1)이 클로징된다. 이때, 기판(5)에는 클램프압이 가하여진다. 그 후에, 캐비티(11)에 유동성 수지가 주입되면, 기판(5)에는 또한 유동성 수지에 의한 수지 압도 가하여진다. 이 상태에서, 압력 흡수층(12)은 배선 패턴(10)의 하측 부분에서, 국소적으로 약간 변형하여 움푹 들어간다.When resin sealing is performed, the pressure absorbing layer 12 functions as follows. As shown in FIG. 2, the upper mold 2 and the lower mold 1 with the pressure absorbing layer 12 are closed. At this time, a clamp pressure is applied to the substrate 5. Thereafter, when the flowable resin is injected into the cavity 11, the substrate 5 is further subjected to the resin pressure by the flowable resin. In this state, the pressure absorbing layer 12 slightly deforms locally in the lower portion of the wiring pattern 10.

이로써, 기판(5)의 전체 및 배선 패턴(10)에 가하여지는 압력은, 압력 흡수층(12)에 의해 흡수되어 저감된다. 따라서 얇은 기판(5) 또는 취성을 갖는 기판(5)의 압흔 및 크랙 등의 손상의 발생 및 기판(5) 위에 형성된 배선 패턴(10)의 크랙 변형 및 단선 등의 발생이 방지된다.Thereby, the pressure applied to the whole board | substrate 5 and the wiring pattern 10 is absorbed by the pressure absorbing layer 12, and it reduces. Therefore, the occurrence of damage such as indentation and cracks in the thin substrate 5 or the brittle substrate 5 and the occurrence of crack deformation and disconnection of the wiring pattern 10 formed on the substrate 5 are prevented.

이상 설명한 바와 같이, 본 실시의 형태의 수지 밀봉 형(3)에 의하면, 수지 밀봉이 행하여질 때에, 기판(5)의 전체 및 배선 패턴(10)에 가하여지는 압력이 저감되기 때문에, 불량한 성형품의 형성이 방지된다. 따라서 성형품을 생산할 때의 수율이 향상된다. 또한, 압력 흡수층(12)으로서 엔지니어링 플라스틱이 사용되기 때문에, 고무제 등의 시트형상 부재가 사용되는 경우와 비교하여, 압력 흡수층(12)의 내구성이 향상된다.As described above, according to the resin encapsulation type 3 of the present embodiment, when the resin encapsulation is performed, the pressure applied to the entirety of the substrate 5 and the wiring pattern 10 is reduced. Formation is prevented. Therefore, the yield at the time of producing a molded article improves. In addition, since engineering plastic is used as the pressure absorbing layer 12, durability of the pressure absorbing layer 12 is improved compared with the case where the sheet-like member, such as rubber | gum, is used.

또한, 압력 흡수층(12)은 하형(1)에 나사 고정되어도 좋음과 함께, 하형(1)에 마련된 세트용 핀 등에 끼워져도 좋다. 이들의 방법에 의해서도 전술한 도 1에 도시한 수지 밀봉형에 의해 얻어지는 효과와 같은 효과를 얻을 수 있다. 또한, 이러한 부착 방법에 의하면, 어떠한 이유로 압력 흡수층(12)에 손상이 발생한 경우에 압력 흡수층(12)을 용이하게 교환할 수 있다.The pressure absorbing layer 12 may be screwed to the lower mold 1 and may be fitted to a set pin or the like provided on the lower mold 1. Also by these methods, the same effect as the effect obtained with the resin sealing type shown in FIG. 1 mentioned above can be acquired. According to this attachment method, the pressure absorbing layer 12 can be easily replaced when the pressure absorbing layer 12 is damaged for some reason.

또한, 본 실시의 형태에서는 1장의 기판(5)에 장착된 1개의 칩(7)이 수지 밀봉되는 수지 성형 방법이 설명되어 있다. 그러나, 수지 성형 형(型)을 이용한 수지 성형 방법은, 전술한 것으로 한정되지 않고, 1장의 기판에 장착된 복수의 칩을 일괄하여 밀봉한 방법에 이용되어도 좋다. 이 방법에서는 기판(5)이 면적이 커지고, 캐비티 내로 주입되는 유동성 수지의 양이 증가하는 것에 수반하여, 클램프압 및 수지 압이 증가하지만, 압력 흡수층(12)이 사용되면, 기판의 압흔 및 크랙 등의 손상의 발생 및 배선 패턴의 크랙, 변형 및 단선 등의 발생이, 보다 효과적으로 방지된다. 이 경우에는, 기판의 사이즈 및 수지 압의 크기 등에 따라 압력 흡수층(12)의 재질, 두께, 경도, 탄성 및 압축 강도를 결정하면 좋다.In addition, in this embodiment, the resin shaping | molding method by which one chip | tip 7 attached to one board | substrate 5 is resin-sealed is demonstrated. However, the resin shaping | molding method using a resin shaping | molding die is not limited to what was mentioned above, You may be used for the method which enclosed and sealed several chip | tips mounted in one board | substrate. In this method, the clamp pressure and the resin pressure increase as the area of the substrate 5 increases and the amount of the flowable resin injected into the cavity increases. However, when the pressure absorbing layer 12 is used, indentation and cracking of the substrate The occurrence of damage and the like and the occurrence of cracks, deformations, and disconnections in the wiring patterns are more effectively prevented. In this case, the material, thickness, hardness, elasticity, and compressive strength of the pressure absorbing layer 12 may be determined in accordance with the size of the substrate, the size of the resin pressure, and the like.

또한, 전술한 실시의 형태에서는, 하형(1)의 형면(4)상에 압력 흡수층(12)이 형성되어 있지만, 본 발명의 수지 밀봉 형은 이 구성으로 한정되지 않고, 상형(2)의 형면상에 기판(5)이 재치되고, 그 형면에 압력 흡수층(12)이 형성되어 있어도 좋다. 또한, 서로 대향하는 수지 밀봉 형(3)(하형(1)과 상형(2)으로 한하지 않는다)중, 그 수지 밀봉 형(3)이 클로징되고, 기판(5)이 클램프될 때에 기판(5)에 접촉한 형면(형면(4)으로 한하지 않는다)의 일부 또는 전부에, 압력 흡수층(12)이 형성되어 있어도 좋다. 예를 들면, 도 1에서, 하형(1)의 형면(4)에 형성된 압력 흡수층(12)을 대신하여, 상형(2)의 형면중 기판(5)에 접하는 부분, 즉 캐비티(11) 주변의 부분에, 압력 흡수층(12)이 형성되어 있어도 좋다.In addition, in the above-mentioned embodiment, although the pressure absorbing layer 12 is formed on the mold surface 4 of the lower mold | type 1, the resin sealing mold of this invention is not limited to this structure, The mold of the upper mold | type 2 is carried out. The substrate 5 may be placed on the surface, and the pressure absorbing layer 12 may be formed on the mold surface. Moreover, in the resin sealing mold 3 (but not limited to the lower mold 1 and the upper mold 2) which oppose each other, when the resin sealing mold 3 is closed and the board | substrate 5 is clamped, the board | substrate 5 ), The pressure absorbing layer 12 may be formed on part or all of the mold surface (not limited to the mold surface 4). For example, in FIG. 1, instead of the pressure absorbing layer 12 formed on the mold surface 4 of the lower mold 1, a portion of the mold surface of the upper mold 2 which contacts the substrate 5, that is, around the cavity 11. The pressure absorbing layer 12 may be formed in the part.

또한, 하형(1)의 형면(4)에 형성된 압력 흡수층(12)에 더하여, 상형(2)의 형면중 캐비티(11)의 주변의 부분에, 압력 흡수층(12)이 형성되어도 좋다. 이 경우에는, 하형(1)과 상형(2)이 클로징된 상태에서, 기판(5)에 접하는 형면의 전부에, 압력 흡수층(12)이 형성되어 있는 것으로 된다.In addition to the pressure absorbing layer 12 formed on the mold surface 4 of the lower mold 1, the pressure absorbing layer 12 may be formed in a portion around the cavity 11 among the mold surfaces of the upper mold 2. In this case, in the state in which the lower mold | type 1 and the upper mold | type 2 were closed, the pressure absorbing layer 12 is formed in all the mold surfaces which contact | connect the board | substrate 5.

전술한 수지 밀봉 형의 압력 흡수층(12)의 구체적 구성은, 기판의 재질 및 사이즈, 배선의 재질, 폭, 두께 및 배치 및 수지 압의 크기 등에 따라, 적절히 선 택될 수 있는 것이다. 어떠한 구성에 의해서도, 기판(5)의 압흔 및 크랙 등의 손상의 발생 및 배선 패턴(10)의 크랙, 변형 및 단선 등의 발생이 방지된다.The specific structure of the above-mentioned resin sealing type pressure absorbing layer 12 may be appropriately selected depending on the material and size of the substrate, the material, width, thickness and arrangement of the wiring, the size of the resin pressure, and the like. By any configuration, occurrence of damage such as indentation and cracks in the substrate 5 and crack, deformation and disconnection of the wiring pattern 10 are prevented.

또한, 본 발명의 수지 밀봉 형은 일반적인 강계(鋼系) 재료에 의해 구성되어 있지만, 본 발명은 이것으로 한정되지 않고, 수지 밀봉형은 세라믹계의 재료에 의해 구성되어 있어도 좋다.In addition, although the resin sealing type of this invention is comprised by the general steel type material, this invention is not limited to this, The resin sealing type may be comprised by the ceramic material.

본 발명을 상세히 설명하여 나타냈지만, 이것은 예시를 위한 것일 뿐, 한정으로 취해야 하고, 발명의 정신과 범위는 첨부한 청구의 범위에 의해서만 한정되는 것이 분명히 이해되어야 할 것이다.While the invention has been shown and described in detail, it is to be understood that this is by way of illustration only and should be taken in a limiting sense, the spirit and scope of the invention being limited only by the appended claims.

본 발명에 의하면, 기판이 얇아도, 하나의 형과 다른 형과의 클램프압에 의해 기판이 손상되는 것이 방지된다. 또한, 수지압에 의해 기판상의 전자 부품 및 그것에 관한 배선 패턴 등이 손상되는 것도 방지된다. 그 결과, 수지 성형품의 수율이 향상된다.According to the present invention, even if the substrate is thin, the substrate is prevented from being damaged by the clamp pressure between one mold and the other mold. In addition, damage to the electronic components on the substrate, wiring patterns related thereto, etc., by the resin pressure is also prevented. As a result, the yield of a resin molded article improves.

또한, 압력 흡수층이 엔지니어링 플라스틱을 가지고 있으면, 그 내구성이 향상된다. 또한, 압력 흡수층이 하나의 형 및 다른 형 중 적어도 어느 한쪽의 형면에 코팅되는 것이라면, 그 형성 방법이 용이해진다.In addition, if the pressure absorbing layer has an engineering plastic, its durability is improved. In addition, as long as the pressure absorbing layer is coated on at least one of the mold surfaces of one mold and the other mold, the formation method thereof becomes easy.

Claims (3)

전자 부품이 장착된 기판이 재치되는 하나의 형과,One type on which a board on which electronic components are mounted is mounted, 상기 하나의 형에 대향하고, 상기 하나의 형과 함께 상기 기판을 클램프하면서, 상기 전자 부품을 캐비티 내에 포함하는 다른 형과,Another mold that faces the one mold and includes the electronic component in a cavity while clamping the substrate with the one mold, 상기 하나의 형 및 상기 다른 형 중 적어도 어느 한쪽에 마련되고, 상기 하나의 형과 상기 다른 형이 클로징된 때에, 상기 기판에 가하여지는 압력을 흡수하도록 변형하는 압력 흡수층을 구비하는 것을 특징으로 하는 수지 밀봉 형.And a pressure absorbing layer provided on at least one of the one mold and the other mold, and deformed to absorb the pressure applied to the substrate when the one mold and the other mold are closed. Sealed type. 제 1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 압력 흡수층은, 엔지니어링 플라스틱을 갖고 있는 것을 특징으로 하는 수지 밀봉형.The said pressure absorbing layer has engineering plastics, The resin sealing type characterized by the above-mentioned. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 압력 흡수층은, 상기 하나의 형 및 상기 다른 형 중 적어도 어느 한쪽의 형면에 코팅되어 있는 것을 특징으로 하는 수지 밀봉 형.The pressure-absorbing layer is coated on at least one of the mold surfaces of the one mold and the other mold.
KR1020050072580A 2004-08-25 2005-08-09 Resin seal mold KR100646905B1 (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JPJP-P-2004-00244802 2004-08-25
JP2004244802A JP2006066486A (en) 2004-08-25 2004-08-25 Resin sealing mold

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20060050312A KR20060050312A (en) 2006-05-19
KR100646905B1 true KR100646905B1 (en) 2006-11-23

Family

ID=36112720

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020050072580A KR100646905B1 (en) 2004-08-25 2005-08-09 Resin seal mold

Country Status (3)

Country Link
JP (1) JP2006066486A (en)
KR (1) KR100646905B1 (en)
TW (1) TW200610634A (en)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100726724B1 (en) * 2006-02-09 2007-06-11 한국생산기술연구원 Multi-layer mold structure for hot embossing
WO2011105640A1 (en) * 2010-02-25 2011-09-01 한미반도체 주식회사 Compression molding device and method
WO2011105639A1 (en) * 2010-02-25 2011-09-01 한미반도체 주식회사 Compression molding device and method
JP6495368B2 (en) * 2017-04-19 2019-04-03 立山科学工業株式会社 Electronic module

Also Published As

Publication number Publication date
TW200610634A (en) 2006-04-01
KR20060050312A (en) 2006-05-19
JP2006066486A (en) 2006-03-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4519398B2 (en) Resin sealing method and semiconductor device manufacturing method
CN102386110B (en) The manufacture method of resin-seal molding product and the manufacture device of resin-seal molding product
US8020289B2 (en) Method of producing electronic device
TWI645952B (en) Resin molding metal mold and resin molding method
JP6598642B2 (en) Resin sealing device and resin sealing method
JP3423912B2 (en) Electronic component, resin sealing method for electronic component, and resin sealing device
US7355278B2 (en) Mold die for a semiconductor device
CN101983419B (en) Semiconductor device and method for manufacturing the same
KR20010082113A (en) Resin-molding method, molding dies and circuit board
KR100646905B1 (en) Resin seal mold
JP4017480B2 (en) Resin sealing mold
JP2005260026A (en) Resin seal device and resin seal method
JPH0379317A (en) Plastic molded product
JP2002343819A (en) Resin sealing method and substrate clamping mechanism
JP4020533B2 (en) Resin sealing device and resin sealing method
TWI482251B (en) Lead frame and method of manufacturing
JP3951656B2 (en) Injection mold and method for producing molded product using this mold
KR101835787B1 (en) A moulding apparatus for manufacturing semiconductor package
JP2939096B2 (en) Semiconductor device sealing method
KR100491221B1 (en) Resin forming mold for manufacturing of semiconductor package
JPH0745663A (en) Semiconductor device with heat sink and its manufacture
JP3790488B2 (en) Resin sealing mold
KR200461351Y1 (en) Mold apparatus for molding semiconductor device
JPH07314492A (en) Resin molding method
JP2009146929A (en) Resin sealing device for semiconductor device, and method of manufacturing semiconductor device

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20121023

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20131022

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20141021

Year of fee payment: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20151016

Year of fee payment: 10

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20161019

Year of fee payment: 11

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20171018

Year of fee payment: 12

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20181018

Year of fee payment: 13

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20191016

Year of fee payment: 14