KR100590072B1 - 라미네이션 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명의 라미네이션 장치는, 필름이 감긴 공급롤러, 상기 공급롤러로부터 공급되는 일정 길이의 필름을 절단하는 커터 어셈블리, 상기 필름이 소정 시간 차를 두고 공급롤러에서 풀려져 주행 경로를 통해 이송되도록 지지하는 흡착부재 및 상기 흡착부재를 통해서 투입되는 필름을 압착해서 주행 경로를 따라 공급되는 기판에 부착하고 그 표면을 따라서 돌기부를 복수개 구비하고 있는 전사롤러를 포함해서 이루어진다.

플라즈마, 라미네이션, 시트, 전사 롤러, 돌기부

Description

라미네이션 장치{LAMINATION APPARATUS}

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 라미네이션 장치의 구성을 개략적으로 보여주는 구성도이다.

도 2는 전사롤러의 모습을 도시한 개략적인 사시도이다.

도 3은 전사롤러의 단면을 보여주는 개략적인 단면도이다.

도 4는 도 1에 도시한 커터 어셈블리의 일 실시예를 보여주는 사시도이다.

도 5는 도 1에 도시한 흡착 부재를 설명하는 구성도이다.

도 6은 전사롤러에 구비된 돌기부가 작용해서 전극의 모서리 부분을 라미네이션하는 방법을 설명하는 모식도이다.

본 발명은 라미네이션 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 필름을 가압해서 기판 위로 부착하는 전사 롤러의 구조를 개선한 라미네이션 장치에 관한 것이다.

일반적인 반도체 제조 공정에서는 상이한 성질을 가진 층들을 적층하여 복합적인 성질을 가진 반도체 소자를 제조하기 위하여 기판상에 다수의 적층물을 순차 적으로 적층하여 반도체를 제조하고 있다. 이러한 반도체 제조 공정에서는 포토리소그래피법(photolithography), 리프트오프법(lift-off) 및 스크린 인쇄법(screen printing) 등 여러가지 적층 방법이 사용되고 있다.

이 중에서 특히 제조 공정이 간편한 포토리소그래피법이 널리 사용되고 있다. 포토리소그래피법은 반도체 집적 회로를 구성하는 부품, 배선, 박막들을 구현하기 위하여 사진 인쇄 기술을 이용한다. 즉, 포토리소그래피법은 반도체 웨이퍼상에 감광 성질을 가지는 포토레지스트(photoresist, PR)를 얇게 바른 후, 원하는 마크스 패턴을 올려놓고 빛을 가하여 사진을 찍는 것과 동일한 방법으로 회로를 구성한다.

여기서, 포토레지스트는 설계된 반도체 회로를 웨이퍼에 전사시킬 때, 빛의 조사 여부에 따라 다르게 감응함으로써 미세 회로 패턴을 형성할 수 있도록 하는 노광 공정용 감광 재료로서, 노광에 의하여 방식성의 피막을 형성하는 물질을 말하며, 사진 제판용 감광액 이외에 각종 금속판의 정밀 가공을 행하는 포토에칭과 IC(integrated circuit), LSI(large scale integration) 등 반도체의 미세 가공시에 이용된다.

상기한 포토레지스트는 특히 라미네이션 시트(이하, '필름') 형태로 많이 사용되고 있는데, 두께의 균일성 및 공정 단순화의 이점으로 인하여 액정 디스플레이 패널(liquid display panel, LCD) 및 플라즈마 디스플레이 패널(plasma display panel, PDP)에 다량으로 사용되고 있다. 플라즈마 디스플레이 패널의 경우, 상기한 필름 형태로는 전극 뿐만 아니라, 유전체에도 주로 사용되고 있다.

그런데, 상기한 바와 같은 필름을 사용하여 전극들(예, 표시전극, 어드레스전극)을 덮고있는 유전체층을 제조하는 경우 공정상의 문제점이 존재한다. 예를 들면, 기판의 단변 방향으로 전극을 일정 간격으로 형성하고, 그 위로 유전체층을 형성하기 위해서 전사 롤러가 놓인 방향에 대해서 전극이 평행하게 기판을 전사 롤러로 투입하는 경우에, 전극의 단부 및 기판을 잇는 모서리 부분에 대해서 필름이 제대로 라미네이션되지 않는 문제가 있다. 즉, 필름의 라미네이션은 그 외주면이 평탄하게 이루어진 전사 롤러 사이로 기판이 투입되면서 필름이 기판 위로 같이 공급되어 전사 롤러에서 가해지는 압착력으로 필름을 라미네이션(lamination)한다. 그런데, 전극에 의해서 물리적으로 기판과 전극의 단부 사이에 단차가 형성되어 있기 때문에 전사 롤러에서 전달되는 압착력이 모서리에 제대로 전달되지 않아 라미네이션 불량이 발생한다.

본 발명은 상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 전극의 형상에 대응해서 쉽게 필름을 전극 위로 라미네이션 할 수 있도록 전사 롤러의 구조를 개선한 본 발명의 라미네이션 장치를 제공하는데 있다.

이 같은 목적을 달성하기 위해서 본 발명에서 제공하는 라미네이션 장치는,

필름이 감긴 공급롤러, 상기 공급롤러로부터 공급되는 일정 길이의 필름을 절단하는 커터 어셈블리, 상기 필름이 소정 시간 차를 두고 공급롤러에서 풀려져 주행 경로를 통해 이송되도록 지지하는 흡착부재 및 상기 흡착부재를 통해서 투입 되는 필름을 압착해서 주행 경로를 따라 공급되는 기판에 부착하고 그 표면을 따라서 돌기부를 복수개 구비하고 있는 전사롤러를 포함해서 이루어진다.

본 발명에서, 상기 기판 위로는 전극이 형성되어 있고, 상기 돌기부가 상기 전극 사이로 위치해서 필름을 기판 위로 부착하게 작용한다.

본 발명에서, 상기 돌기부는 전사롤러의 표면으로부터 소정의 높이로 돌출되어 형성되고, 전사롤러의 축 방향을 따르거나, 회전 방향을 따라 길게 이어져 형성될 수 있다.

이하, 첨부한 도면을 참조로 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 당업자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되는 것은 아니다.

도 1은 본 발명에 따른 라미네이션 장치의 구성을 개략적으로 도시한 정면 구성도이다.

도면을 참조하면, 본 발명에 따른 라미네이션 장치는 공급 롤러(30)에 묶여진 필름(10)이 자유 회전해서 전사롤러(70)측으로 공급되고, 이와 함께 이송 벨트(미도시)에 의해서 이동된 기판(1)이 전사롤러(70)측으로 투입되어서 전사롤러(70)에 의해 필름(10)이 기판(1) 위로 라미네이션되는 구조로 이루어진다.

본 발명의 라미네이션 장치는 다음과 같은 각종 구성요소로 구획되며, 이 구성요소들은 하나의 프레임(20)에 모두 설치될 수 있고, 분획된 각각의 프레임(20)이 결합된 형태일 수도 있다. 또한, 각각의 구성요소는 컨트롤 유니트(미도시)에 의해 제어된다.

상기 프레임(20)은 지면에 대해 장치를 지지할 수 있도록 구성되고, 본 장치를 구동하기 위한 각종 모터들과, 고압 에어 시스템, 진공 시스템, 전자 계측 시스템 등이 설비된다.

이하에서 설명되는 본 발명의 구성요소들은 모두 프레임(20)에 설비되는 것으로서, 각종 브라켓, 블록, 플레이트, 하우징, 커버, 칼라 등은 각각의 구성요소들을 프레임(20)에 설비하기 위한 부속 요소들이므로 예외적인 경우를 제외하고 프레임(20)으로 통칭하는 것을 원칙으로 한다.

본 발명에 따른 라미네이션 장치는 필름(10)이 감긴 공급롤러(30)와, 필름(10)에 부착된 커버 필름(11)을 회수하는 회수롤러(40)와, 필름(10)의 텐션을 유지하는 텐션부재(50)와, 공급롤러(30)로부터 공급되는 일정 길이의 필름(10)을 절단하는 커터 어셈블리(60)와, 절단된 필름(10)의 표면을 압착해서 주행 경로를 따라 공급되는 기판(1)의 상면에 부착하고 그 표면을 따라서 돌기부(71)를 복수개 구비하고 있는 전사롤러(70)와, 기판(1)이 필름(10)의 주행 경로를 따라 주행하도록 전사롤러(70)의 하측에 배치되는 지지롤러(80)와, 필름(10)이 소정 시간차를 두고 공급롤러(30)로부터 풀려 나가 주행 경로를 통해 주행하도록 지지하고 그 필름(10)을 전사롤러(70)에 공급하는 흡착부재(90)를 구비한다.

전술한 바 있는 필름(10)은 커버 필름(11)과 커버 필름(11)에 부착된 전사 물질로 구성되며, 플라즈마 디스플레이 패널의 경우, 상기 전사 물질로는 전극용 재료, 유전체용 재료 등을 그 예로 들 수 있다. 전극용 재료로는 투명 전극의 경우 ITO(indium tin oxide) 및 SnO₂, 버스 전극의 경우 Cr-Cu-Cr 또는 Ag, 어드레스 전극의 경우 Ag가 널리 사용되고 있다. 또한, 유전체로는 저융점 유리 분말을 주성분으로 하는 페이스트, 즉 유리 페이스트(glass paste)가 사용되고 있다. 그리고 격벽으로는 저융점 유리 분말에 유기 용액(vehicle)(유기용제+수지)이나 각종 필러(filler)(알루미나 또는 각종 금속)를 첨가한 재료가 사용되고 있다.

상기 공급롤러(30)는 프레임(20)에 회전 가능하게 설치되고, 상술한 바와 같은 필름(10)이 롤 형상으로 감기고, 필름(10)을 풀어내어 주행 경로로 공급한다. 바람직하게, 공급롤러(30)는 소정의 구동원에 의해 구동되지 않고, 다음에 설명하는 흡착부재(90)에 의해 필름(10)이 자유로이 풀리면서 회전된다. 또한, 공급롤러(30)는 별도의 홀더(미도시)에 지지되어 프레임(20)에 회전 가능하게 장착될 수 있다.

회수롤러(40)는 공급롤러(30)에 근접되게 설치되며, 필름(10)에 부착된 커버 필름(11)을 감아 내도록 프레임(20)에 회전 가능하게 장착된다. 이 회수롤러(40)는 회전축이 공급롤러(30)의 회전축(미도시)과 벨트 또는 체인으로 연결되어 공급롤러(30)가 회전됨에 따라 함께 회전될 수 있는 구조를 가진다. 회수롤러(40)는 공급롤러(30)와 함께 별도의 홀더에 지지되어 프레임(20)에 회전 가능하게 장착될 수도 있다.

그리고, 텐션부재(50)는 필름의 진행 경로를 변화시켜 후술하는 흡착부재(90)와 작용해서 필름(10)에 일정한 텐션을 유지하도록 작용한다. 이에 대해서는 후술하는 흡착부재(90)를 설명하면서 같이 설명한다.

전사롤러(70)는 공급롤러(30)로부터 공급되는 필름(10)을 압착해서 그 필름(10)이 기판(1)의 상면에 용이하게 부착되도록 한다. 전사롤러(70)는 그 표면에 복수의 돌기부(71)를 형성하고 있으며, 이에 따라서 기판 위로 형성되어 있는 전극(11)에 의해서 단차진 모서리(11a)를 쉽게 압착해서 필름(10)이 밀착될 수 있도록 작용한다.

도 2는 본 실시에에 따른 전사롤러(70)의 돌기부(71)를 보여주는 개략적인 사시도이고, 도 3은 이의 단면도이다. 이를 참조하면, 본 실시예에서 전사롤러(71)는 원기둥 형상으로 그 표면을 따라서는 복수의 돌기부(71)를 구비하고 있다. 이 돌기부(71)는 전사롤러(70)의 축 방향을 따라서 그 표면을 따라 길게 형성되거나, 회전 방향을 따라서 형성될 수 있다. 이 돌기부(71)는 표면으로부터 소정의 크기로 돌출 형성되고, 돌기부(71) 사이의 피치(p)와 돌출 높이(h)는 전극(11)의 크기에 대응해서 이루어진다. 즉, 피치(p)는 전극(11) 폭(w)과 적어도 같거나 큰 것이 바람직하고, 그 높이(h)는 전극의 두께(d)보다 같거나 크게 형성된다. 그리고, 돌기부(71)는 테이퍼지게 형성된다. 이처럼 형성되는 전사롤러(70)의 돌기부(71)는 모서리(11a) 부분을 열 압착시켜 필름이 기판에 부착되도록 한다.

한편, 기판(1)은 다수의 플라즈마 디스플레이 패널을 제조하기 위한 기판으로서, 전사롤러(70)와 이 전사롤러(70)의 하측에 배치된 지지롤러(80) 사이를 통과하여 전사롤러(70)에 공급되는 필름(10)의 주행 방향과 동일한 방향으로 공급된다. 지지롤러(80)는 기판(1)의 하면을 지지하고, 별도의 구동원에 의해 회전된다. 따라 서, 기판(1)이 전사롤러(70)와 지지롤러(80) 사이로 공급되고 동시에 전사롤러(70)와 기판(1) 사이로 필름(10)이 공급됨에 따라 상기 필름(10)은 전사롤러(70)와 지지롤러(80)의 상보적인 압착력에 의해 기판(1)의 상면에 부착된다.

한편, 도 4는 도 1에 도시한 커터 어셈블리의 일 실시예를 보여주는 사시도이다.

이를 참조하면, 이 커터 어셈블리(60)는 필름(10)이 공급롤러(30)로부터 일정 길이 만큼 공급된 상태에서 그 필름(10)을 주행 경로에 수직하는 방향으로 절단할 수 있는 구조를 가진다. 이를 위해, 커터 어셈블리(60)는 필름(10)의 주행 경로에 수직하는 방향을 따라 프레임(20)에 회전 가능하게 설치된 리드스크류(61)와, 리드스크류(61)의 단부에 설치되어 소정 구동력에 의해 리드스크류(61)를 정역 회전시키는 구동모터(62)와, 리드스크류(61)에 결합되어 리드스크류(61)의 회전에 의해 수평 이동 가능한 마운트블록(63)과, 마운트블록(63)의 수평 이동을 가이드하도록 프레임(20)에 설치된 한 쌍의 가이드봉(64)과, 마운트블록(63)에 설치되어 그 마운트블록(63)의 수평 이동에 의해 필름(10)을 절단하는 커터(65)를 구비한다. 이후에서도 자세히 설명되겠지만, 커터(65)는 흡착부재(90)에 마련된 가이드홈을 따라서 필름을 수평하게 절단하도록 동작한다.

그리고, 도 5는 도 1에 도시한 흡착 부재를 설명하는 구성도이다.

본 발명의 실시예에 따른 흡착부재(90)는 커터 어셈블리(60)에 의해 일정 길이 만큼 절단된 필름(10)을 기판(1)의 상면에 일정 간격 이격되게 연속적으로 부착시키고 필름(10)의 텐션을 유지한다.

이 흡착부재(90)는 공급롤러(30)에 감긴 필름(10)을 소정 시간 차를 두고 흡착하여 주행 경로를 통해 공급하는 흡착롤러(91)와, 흡착롤러(91)에 의해 공급되는 필름(10)을 흡착하여 전사롤러(70)에 공급하는 흡착플레이트(92)를 구비한다.

상기 흡착롤러(91)는 공급롤러(30)에 감긴 필름(10)을 풀어내어 주행 경로를 따라 주행시키기 위한 것이다. 흡착롤러(91)는 커터 어셈블리(60)에 근접되게 위치하고, 필름(10)의 주행 경로를 따라 왕복 이동하도록 프레임(20)에 슬라이딩 가능하게 설치된다. 즉, 흡착롤러(91)는 소정 구동수단(93) 예컨대, 볼스크류에 나사식으로 결합되고 그 볼스크류가 서보모터에 의해 회전되면서 프레임(20)에 형성된 가이드레일을 따라 필름(10)의 주행 방향으로 슬라이딩된다. 대안으로서, 상기 구동수단(93)은 볼스크류와 서보모터를 구비하는 것에 한정되지 않고, 통상적으로 유, 공압에 의해 작동되는 실린더를 구비할 수도 있다.

또한, 흡착롤러(91)는 공급롤러(30)에 감긴 필름(10)을 풀어내어 주행 경로를 따라 주행시키도록 필름(10)을 선택적으로 흡착할 수 있는 구조를 가진다. 이를 위해 흡착롤러(91)에는 진공 펌프(94)로부터 발생하는 진공압에 의해 필름(10)을 흡착할 수 있는 흡입공(95)이 형성된다. 그리고, 이 흡착롤러(91)는 커터 어셈블리(60)의 진행 방향으로 가이드홈(97)이 더 형성되어 있다. 이 가이드홈(97)은 필름(10)을 절단할 때에 커터가 이 가이드홈(97)을 따라서 위치해서 필름(10)이 수평 방향의 일 직선으로 절단될 수 있도록 커터 어셈블리(60)를 안내하다.

상기 흡착 플레이트(92)는 흡착롤러(91)에 흡착된 필름(10)을 흡착하여 전사롤러(70)에 공급하기 위한 것이다. 흡착 플레이트(92)는 흡착롤러(91)보다는 아래 쪽으로 소정 거리로 이격되어 있고, 흡착롤러(91)에 비해서 상대적으로 뒤쪽으로 위치하고 있다. 즉, 기판(1)의 진행 방향을 기준으로 해서 흡착 플레이트(92)가 흡착롤러(91)에 비해서 상대적으로 뒤에 위치하고 있다.

그리고, 이 흡착 플레이트(92)는 '??' 모양으로 절곡되어 있어서 필름의 진행경로를 수직방향에서 수평방향으로 방향 전환함과 동시에 텐션부재(50)와 작용해서 필름(10)의 텐션을 일정하게 유지한다. 즉, 텐션부재(50)도 필름(10)의 진행 경로를 수평 방향에서 수직 방향으로 전환함으로 필름(10)은 각각 텐션부재(50)와 흡착 플레이트(92) 부분을 변곡점으로 해서 텐션을 유지하게 된다.

이 흡착 플레이트(92)는 프레임(20)에 고정되어 있고, 흡착롤러(91)에 흡착된 필름(10)을 전달받아 전사롤러(70)에 공급하도록 필름(10)을 선택적으로 흡착할 수 있는 구조를 가진다. 이를 위해 흡착 플레이트(92)에는 진공 펌프(94)로부터 발생하는 진공압에 의해 필름(10)을 흡착할 수 있는 흡입공(95)이 형성된다.

이처럼 구성된 본 발명의 실시예에 따른 라미네이션 장치의 동작을 상세히 설명하면 다음과 같다.

우선, 공급롤러(30)에 감겨 있는 필름(10)을 흡착롤러(91)의 위치까지 풀어 내어 이 흡착롤러(91)에 필름(10)을 흡착시킨다. 그리고, 이 흡착롤러(91)를 필름(10)의 주행 경로를 따라 제2흡착 플레이트(92) 측으로 이동시킨다.

이에 따라서, 흡착롤러(91)가 수직방향으로 진행해서 그 아래에 위치하고 있는 기판(10)으로 근접하게 된다. 이때, 기판(1)은 이송 벨트의 이송 동작에 의해서 흡착롤러(91)의 수직 하 방향에 그 선단이 위치한다.

흡착롤러(91)는 계속해서 필름을 수직방향으로 이송해서 기판(1)의 선단에 접착시키고 난 다음에 필름(10)의 흡착을 중지하고 원래의 위치로 되돌아간다.

다음, 기판(1)에 필름(10)이 부착된 상태에서, 이 기판(1)을 이송하는 이송 벨트가 기판(1)을 필름(10)의 주행 경로를 따라 전사롤러(70) 측으로 이송시킨다.

이어서, 필름(10)이 전사롤러(70) 측으로 근접하게 되면, 흡착 플레이트(92)가 동작해 필름(10)을 흡착하고 텐션부재(50)와 작용해 필름(10)의 텐션을 유지한 상태로 필름(10)과 기판(1)을 동시에 전사롤러(70) 측으로 투입하게 된다.

다음, 커터 어셈블리(60)를 가동시킨다. 그러면, 구동모터(62)의 회전에 의해 리드스크류(61)가 회전되고, 리드스크류(61)의 회전에 의해 마운트블록(63)이 가이드봉(64)을 따라 가이드되면서 필름(10)의 폭 방향으로 수평 이동된다. 이때, 커터 어셈블리(60)의 커터(65)는 흡착롤러(91)의 가이드홈(97)에 안착되어 회동하게 되고, 이로서 필름(10)은 마운트블록(63)에 설치된 커터(65)에 의해 절단된다.

이어서, 필름(10)의 절단이 완료되면, 마운트블록(63)은 구동모터(62)의 구동에 의해 원래의 위치로 되돌아오게 된다. 이 때, 흡착 롤러(91)는 커터(65)가 필름(10)을 절단하는 동안 필름(10)의 흡착을 중지한 상태이고, 전사롤러(70)와 지지롤러(80)가 지지롤러(80)의 구동에 의해 회전하면서 이들 사이에 기판(1)이 인입하는 상태가 된다.

이와 같이, 필름(10)의 절단이 완료되면, 흡착 플레이트(92)는 상기 절단된 필름(10)을 흡착하고, 필름의 진행경로를 수평방향에서 수직방향으로 변환해서 필름(10)을 전사롤러(70)에 공급한다.

이에 따라서, 기판(1)의 상면으로는 필름(10)이 입혀진 상태로 전사롤러(70) 및 지지롤러(80) 사이로 기판(1)이 투입된다. 이때, 전사롤러(70)의 돌기부(71)는 기판(1) 위에 형성되어 있는 전극(11)들 사이로 위치해서 모서리(11a)에 대응하게 배치된다. 이 상태에서 기판(1)이 주행 경로를 따라 이동하면서 전사롤러(70)를 통과하게 되는데, 전사롤러(7)는 회전하면서 돌기부(71)를 연속적으로 전극(11) 사이로 위치시키게 된다. 따라서, 돌기부(71)가 모서리(11a) 부분을 연속적으로 가압해서 전사롤러(70) 및 지지롤러(80)의 상보적인 압착력이 모서리(11a)로 전달되어 이 부분에 필름(10)을 부착하게 된다(도 6 참조).

이상을 통해 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것은 당연하다.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명의 라미네이션 장치에 의하면, 기판 위로 전극이 형성된 상태에서 필름을 코팅할 때 전극에 의해서 형성된 모서리 부분에 대해서 쉽게 라미네이팅할 수 있는 장점이 있다.

또한, 본 발명에 따르면 필름의 연속 도포가 가능하여 라미네이팅 설비를 대폭적으로 감소시킬 수 있으므로, 비용측면에서 경쟁적 우위를 확보할 수 있다.

Claims (9)

1. 필름이 감긴 공급롤러;

   상기 공급롤러로부터 공급되는 일정 길이의 필름을 절단하는 커터 어셈블리;

   상기 필름이 소정 시간 차를 두고 공급롤러에서 풀려져 주행 경로를 통해 이송되도록 지지하는 흡착부재; 및,

   상기 흡착부재를 통해서 투입되는 필름을 압착해서 주행 경로를 따라 공급되는 기판에 부착하고 그 표면을 따라서 돌기부를 복수개 구비하고 있는 전사롤러;를 포함하는 라미네이션 장치
2. 제1항에 있어서,

   상기 기판 위로는 전극이 형성되어 있고, 상기 돌기부가 상기 전극 사이로 위치해서 필름을 기판 위로 부착하는 라미네이션 장치.
3. 제1항에 있어서,

   상기 돌기부가 전사롤러의 표면으로부터 소정의 높이로 돌출되어 형성되는 라미네이션 장치.
4. 제1항에 있어서,

   상기 돌기부가 상기 전사롤러의 축 방향을 따라서 그 표면으로 길게 이어져 형성되는 라미네이션 장치.
5. 제1항에 있어서,

   상기 돌기부가 상기 전사롤러의 회전 방향을 따라서 그 표면으로 길게 이어져 형성되는 라미네이션 장치.
6. 제2항에 있어서,

   상기 돌기부 사이의 피치가 상기 전극의 폭과 같거나 크게 형성되는 라미네이션 장치.
7. 제2항에 있어서,

   상기 돌기부의 높이가 상기 전극의 두께보다 같거나 크게 형성되는 라미네이션 장치.
8. 제1항에 있어서,

   상기 필름에 부착된 커버 필름을 회수하는 회수롤러가 상기 공급롤러와 쌍을 이루면서 더 구비되는 라미네이션 장치.
9. 제1항에 있어서,

   상기 지지부재가,

   상기 공급롤러에 감긴 필름을 소정 시간차를 두고 흡착하여 수직방향으로 이송시켜 기판의 선단에 부착시키는 흡착롤러; 및,

   상기 흡착롤러에서 공급되는 필름을 흡착해서 수직방향의 진행경로를 수평방향으로 변환해서 상기 전사롤러로 투입하는 흡착 플레이트;를 포함하는 라미네이션 장치.

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