KR100579322B1

KR100579322B1 - 유리기판의 커팅면 검사장치

Info

Publication number: KR100579322B1
Application number: KR1020030085620A
Authority: KR
Inventors: 김영택; 문상호; 김창훈; 이두현; 이병현
Original assignee: 삼성코닝정밀유리 주식회사
Priority date: 2003-11-28
Filing date: 2003-11-28
Publication date: 2006-05-12
Anticipated expiration: 2023-11-28
Also published as: TW200517637A; KR20050051934A; CN100516846C; JP5198535B2; JP2011047948A; JP2005162588A; CN1621818A; TWI291546B; JP4934268B2

Abstract

본 발명은 유리기판(1)의 커팅면(1a)이 일측으로 돌출되도록 유리기판(1)을 고정하는 고정플레이트(110)와, 유리기판(1)의 커팅면(1a) 일측에 각각 위치하며, 커팅면(1a)의 일측을 향해서 커팅면(1a)에 수평되게 촬영하여 영상을 얻는 제 1 카메라(121)와 제 1 카메라(121)의 촬영부위에 광을 조사하는 제 1 조명(122)으로 이루어지는 제 1 촬영수단(120)과, 유리기판(1)의 커팅면(1a) 타측에 각각 위치하며, 커팅면(1a)의 타측을 향해서 커팅면(1a)에 수평되게 촬영하여 영상을 얻는 제 2 카메라(131)와 제 2 카메라(131)의 촬영부위에 광을 조사하는 제 2 조명(132)으로 이루어지는 제 2 촬영수단(133)과, 유리기판(1)의 커팅면(1a)을 향하도록 각각 위치하며, 커팅면(1a)에 수직되게 촬영하여 영상을 얻는 제 3 카메라(141)와 제 3 카메라(141)의 촬영부위에 광을 조사하는 제 3 조명(142)으로 이루어지는 제 3 촬영수단(140)과, 유리기판(1)의 커팅면(1a)에 인접하여 설치되며, 제 1 내지 제 3 촬영수단(120,....,140)이 커팅면(1a)을 따라 이동하면서 촬영하도록 제 1 내지 제 3 촬영수단(120,...,140)이 각각 결합됨과 아울러 커팅면(1a)을 따라 이동하는 프레임(151)이 구비되는 메인로봇(150)을 포함한다. 따라서, 본 발명은, 유리기판의 커팅면을 비젼 광학계를 이용하여 여러 방향에서 입체적으로 검사함으로써 유리기판의 커팅면에 대한 정보를 신속하고도 정확하게 검출하여 공정의 피이드백용 데이터로 활용하는 효과를 가지고 있다.

Description

유리기판의 커팅면 검사장치{APPARATUS FOR INSPECTING A CUTTING PLANE OF A GLASS SUBSTRATE}

도 1은 본 발명에 따른 유리기판의 커팅면 검사장치를 도시한 측면도이고,

도 2는 본 발명에 따른 유리기판의 커팅면 검사장치를 도시한 평면도이고,

도 3은 본 발명에 따른 유리기판의 커팅면 검사장치의 카메라 및 조명을 도시한 단면도이고,

도 4는 본 발명에 따른 유리기판의 커팅면 검사장치의 제 4 조명 및 제 4 반사미러를 도시한 측면도이고,

도 5는 본 발명에 따른 유리기판의 커팅면 검사장치에서 카메라의 포커싱을 설명하기 위한 평면도이고,

도 6은 본 발명에 따른 유리기판의 커팅면 검사장치의 카메라로 도 5에서 각 단계별로 촬영된 영상을 도시한 도면이다.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >

110 : 고정플레이트 120 : 제 1 촬영수단

121 : 제 1 카메라 122 : 제 1 조명

130 : 제 2 촬영수단 131 : 제 2 카메라

132 : 제 2 조명 140 : 제 3 촬영수단

141 : 제 3 카메라 142 : 제 3 조명

150 : 메인로봇 151 : 프레임

152 : 제 1 조정수단 153 : 제 2 조정수단

154 : 제 3 조정수단 160 : 가이드

171 : 제 4 조명 172 : 제 4 반사미러

180 : 에어노즐

본 발명은 유리기판의 커팅면 검사장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 유리기판의 커팅면을 비젼 광학계를 이용하여 여러 방향에서 입체적으로 검사함으로써 유리기판의 커팅면에 대한 정보를 신속하고도 정확하게 검출하여 공정의 피이드백용 데이터로 활용하도록 하는 유리기판의 커팅면 검사장치에 관한 것이다.

일반적으로, TFT-LCD(Thin film transistor-liquid crystal display), PDP(Plasma display panel), EL(Electro luminescent) 등 평판디스플레이(Flat display)의 제조 분야에서 사용되는 유리기판은 유리 용해로(Glass melting furnace)에서 용해된 유리물을 용해성형기에 공급하여 제조되어 다이아몬드 휠 등의 커팅기에 의해 일차 규격에 맞도록 절단되며, 표면에 보호용 필름을 코팅하여 가공라인으로 운반된다.

유리기판을 커팅시 커팅기의 상태에 따라 커팅의 정도가 달라지게 될 뿐만 아니라 유리기판의 커팅면에 결함이 발생하기 때문에 유리기판의 커팅면의 정보를 얻기 위해서 종래에는 작업자가 현미경을 사용하여 유리기판의 커팅면을 육안으로 관찰하였다.

이와 같이, 종래의 현미경을 이용한 유리기판의 커팅면 검사는 많은 시간이 소요될 뿐만 아니라 검사의 정확도가 낮아 제대로 된 유리기판의 커팅면 정보를 얻을 수 없는 문제점을 가지고 있었다.

특히, 유리기판의 커팅면에 대해서 시간의 제약으로 인해 일측면만의 검사가 진행되므로 유리기판의 커팅면에 대한 입체적인 관찰이 이루어지지 않아 유리기판의 커팅면에 대한 정확한 정보를 검출하기 어려워 공정 피이드백용의 데이터 활용도가 낮다는 문제점을 가지고 있었다.

본 발명은 상술한 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명의 목적은 유리기판의 커팅면을 비젼 광학계를 이용하여 여러 방향에서 입체적으로 검사함으로써 유리기판의 커팅면에 대한 결함의 검출, 유리기판의 두께, 유리기판의 커팅면의 직진성, 커팅기의 휠 깊이 등 유리기판의 커팅면에 대한 정보를 신속하고도 정확하게 검출하여 공정의 피이드백용 데이터로 활용함으로써 커팅기의 휠 교체시기 판단 등 공정 개선에 적극적으로 활용할 수 있도록 하여 유리기판의 생산성 향상과 품질의 향상에 기여하는 유리기판의 커팅면 검사장치를 제공하는데 있다.

이와 같은 목적을 실현하기 위한 본 발명은, 유리기판의 커팅면을 검사하는 장치로서, 상기 유리기판의 커팅면이 일측으로 돌출되도록 상기 유리기판을 고정하는 고정플레이트와, 상기 유리기판의 커팅면 상측에 각각 위치하며, 상기 커팅면의 상측을 향해서 상기 커팅면에 수평되게 촬영하여 영상을 얻는 제 1 카메라와 제 1 카메라의 촬영부위에 광을 조사하는 제 1 조명으로 이루어지는 제 1 촬영수단과, 유리기판의 커팅면 하측에 각각 위치하며, 커팅면의 하측을 향해서 커팅면에 수평되게 촬영하여 영상을 얻는 제 2 카메라와 제 2 카메라의 촬영부위에 광을 조사하는 제 2 조명으로 이루어지는 제 2 촬영수단과, 유리기판의 커팅면을 향하도록 각각 위치하며, 커팅면에 수직되게 촬영하여 영상을 얻는 제 3 카메라와 제 3 카메라의 촬영부위에 광을 조사하는 제 3 조명으로 이루어지는 제 3 촬영수단과, 유리기판의 커팅면에 인접하도록 설치되는 프레임과, 프레임에 커팅면에 수직방향으로 이동하도록 제 1 위치조정용스테이지가 설치됨과 아울러 제 1 위치조정용스테이지로부터 커팅면에 수평방향으로 이동하도록 설치되는 제 1 포커싱용스테이지에 제 1 촬영수단이 고정되는 제 1 조정수단과, 프레임에 커팅면에 수직방향으로 이동하도록 제 2 위치조정용스테이지가 설치됨과 아울러 제 2 위치조정용스테이지로부터 커팅면에 수평방향으로 이동하도록 설치되는 제 2 포커싱용스테이지에 제 2 촬영수단이 고정되는 제 2 조정수단과, 프레임에 커팅면에 수평방향으로 이동하도록 제 3 위치조정용스테이지가 설치됨과 아울러 제 3 위치조정용스테이지로부터 커팅면에 수직방향으로 이동하도록 설치되는 제 3 포커싱용스테이지에 제 3 촬영수단이 고정되는 제 3 조정수단을 포함하는 메인로봇과, 유리기판의 커팅면 주변에 부착된 이물질을 에어의 분사로 제거하도록 유리기판의 커팅면의 상측과 하측에 각각 설치되는 복수의 에어노즐을 포함하는 것을 특징으로 한다.

이하, 본 발명의 가장 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 더욱 상세히 설명하기로 한다.

도 1은 본 발명에 따른 유리기판의 커팅면 검사장치를 도시한 측면도이고, 도 2는 본 발명에 따른 유리기판의 커팅면 검사장치를 도시한 평면도이고, 도 3은 본 발명에 따른 유리기판의 커팅면 검사장치의 카메라 및 조명을 도시한 단면도이고, 도 4는 본 발명에 따른 유리기판의 커팅면 검사장치의 제 4 조명 및 제 4 반사미러를 도시한 측면도이다.

도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 유리기판의 커팅면 검사장치는 크게, 유리기판(1)을 지지하는 고정플레이트(110)와, 유리기판(1)의 커팅면(1a)의 수평방향 양측과 수직방향에 설치되는 제 1 내지 제 3 촬영수단(120,...,140)과, 제 1 내지 제 3 촬영수단(120,...,140)을 유리기판(1)의 커팅면(1a)을 따라 이동시키는 메인로봇(150)을 포함한다.

고정플레이트(110)는 유리기판(1)의 커팅면(1a)이 일측으로 돌출되도록 유리기판(1)을 지지한다.

고정플레이트(110)는 유리기판(1)과 접하는 일측에 진공홀(미도시)이 형성됨으로써 외부의 진공공급부(미도시)로부터 진공을 공급받아 유리기판(1)을 흡착하며, 유리기판(1)이 휘어져 있는 경우에도 진공홀(미도시)로 이루어진 구간이 나뉘어져 있어 일측에서 타측으로 순차적으로 진공이 공급되어 유리기판(1)을 전체적으로 밀착시킨다.

유리기판(1)이 고정플레이트(110)에 고정시 커팅면(1a)이 후술하는 제 3 촬영수단(140)의 제 3 카메라(141)와의 거리를 일정하게 유지하도록 커팅면(1a)을 지지하는 가이드(160)가 적어도 하나 이상 고정플레이트(110)의 일측에 설치되는 것이 바람직하다. 따라서, 유리기판(1)을 고정플레이트(110)에 안착시 유리기판(1)의 커팅면(1a)이 제 3 촬영수단(140)의 제 3 카메라(141)와의 초점거리에 위치하도록 할 수 있어 제 3 카메라(141)의 포커싱을 용이하도록 한다.

제 1 내지 제 3 촬영수단(120,...,140)은 메인로봇(150)의 프레임(151)에 각각 설치된다.

제 1 촬영수단(120)은 유리기판(1)의 커팅면(1a) 일측, 예컨대 상측에 각각 위치하는 제 1 카메라(121)와 제 1 조명(122)으로 이루어지며, 제 1 카메라(121)는 커팅면(1a)의 일측, 예컨대 커팅면(1a)의 상측을 향해서 커팅면(1a)에 수평되게 촬영하여 영상을 얻으며, 제 1 조명(122)은 제 1 카메라(121)의 촬영부위에 광을 조사한다.

제 2 촬영수단(130)은 유리기판(1)의 커팅면(1a)을 기준으로 제 1 촬영수단(120)에 대향되게 설치되도록 유리기판(1)의 커팅면(1a) 타측, 예컨대 하측에 각각 위치하는 제 2 카메라(131)와 제 2 조명(132)으로 이루어지고, 제 2 카메라(131)는 커팅면(1a)의 타측, 예컨대 커팅면(1a)의 하측을 향해서 커팅면(1a)에 수평되게 촬영하여 영상을 얻으며, 제 2 조명(132)은 제 2 카메라(131)의 촬영부위에 광을 조사한다.

제 3 촬영수단(140)은 유리기판(1)의 커팅면(1a)을 향하도록 각각 위치하는 제 3 카메라(141)와 제 3 조명(142)으로 이루어지고, 제 3 카메라(141)는 커팅면(1a)을 향해 커팅면(1a)에 수직되게 촬영하여 영상을 얻으며, 제 3 조명(142)은 제 3 카메라(141)의 촬영부위에 광을 조사한다.

제 1 내지 제 3 촬영수단(120,....,140)의 제 1 내지 제 3 조명(122,...,142)은 제 1 내지 제 3 카메라(121,...,141)의 렌즈(123,...,143)의 광축과 동일한 방향으로 광을 조사하는 것이 바람직하다. 이를 위해 제 1 내지 제 3 조명(122,...,142)은 도 3에서 나타낸 바와 같이, 제 1 내지 제 3 카메라(121,...,141)에 수직되게 광을 조사하도록 설치되며, 제 1 내지 제 3 조명(122,...,142)으로부터 조사된 광은 제 1 내지 제 3 반사미러(124,...,144)에 각각 반사되어 렌즈(123,...,143)의 광축과 동일한 방향으로 광을 조사한다. 따라서, 제 1 내지 제 3 카메라(121,...,141)는 제 1 내지 제 3 조명(122,...,142)으로부터 조사되는 광에 의해 간섭을 일으키지 않고 유리기판(1)의 커팅면(1a)을 정확하게 촬영할 수 있다.

메인로봇(150)은 유리기판(1)의 커팅면(1a)에 인접하여 설치되며, 제 1 내지 제 3 촬영수단(120,...,140)이 커팅면(1a)을 따라 이동하면서 촬영하도록 제 1 내지 제 3 촬영수단(120,...,140)이 각각 결합되는 프레임(151)이 커팅면(1a)을 따라 이동하게 구비된다.

프레임(151)은 메인로봇(150)으로부터 미도시된 모터의 구동에 의해 커팅면(1a)을 따라 왕복이동하며, 이에 한하지 않고 공압실린더의 압축과 팽창에 의해 왕복이동하도록 구성될 수 있다.

메인로봇(150)은 제 1 내지 제 3 촬영수단(120,...,140) 각각을 유리기판(1)의 커팅면(1a)에 대해 위치조정은 물론 제 1 내지 제 3 카메라(121,...,141)의 포커싱을 위하여 제 1 내지 제 3 조정수단(152,153,154)이 구비된다.

제 1 조정수단(152)은 프레임(151)에서 제 1 촬영수단(120)이 결합되는 부분에 설치되어 유리기판(1)의 커팅면(1a)에 수직인 방향으로 이동하는 제 1 위치조정용스테이지(152a)와 제 1 위치조정용스테이지(152a)로부터 커팅면(1a)에 수평인 방향으로 이동함과 아울러 제 1 촬영수단(120)이 고정되는 제 1 포커싱용스테이지(152b)로 이루어진다.

제 1 조정수단(152)은 제 1 촬영수단(120)을 제 1 위치조정용스테이지(152a)의 이동에 의한 유리기판(1)의 커팅면(1a)에 대해 위치조정은 물론 제 1 포커싱용스테이지(152b)의 이동에 의한 포커싱을 용이하게 실시한다.

제 2 조정수단(153)은 프레임(151)에서 제 2 촬영수단(130)이 결합되는 부분에 설치되어 유리기판(1)의 커팅면(1a)에 수직인 방향으로 이동하는 제 2 위치조정용스테이지(153a)와 제 2 위치조정용스테이지(153a)로부터 커팅면(1a)에 수평인 방향으로 이동함과 아울러 제 2 촬영수단(130)이 고정되는 제 2 포커싱용스테이지(153b)로 이루어진다.

제 2 조정수단(153)은 제 2 촬영수단(130)을 제 2 위치조정용스테이지(153a)의 이동에 의한 유리기판(1)의 커팅면(1a)에 대해 위치조정은 물론 제 2 포커싱용스테이지(153b)의 이동에 의한 포커싱을 용이하게 실시한다.

제 3 조정수단(154)은 프레임(151)에서 제 3 촬영수단(140)이 결합되는 부분에 설치되어 유리기판(1)의 커팅면(1a)에 수평인 방향으로 이동하는 제 3 위치조정용스테이지(154a)와 제 3 위치조정용스테이지(154a)로부터 커팅면(1a)에 수직인 방향으로 이동함과 아울러 제 3 촬영수단(140)이 고정되는 제 3 포커싱용스테이지(154b)로 이루어진다.

제 3 조정수단(154)은 제 3 위치조정용스테이지(154a)의 이동에 의한 유리기판(1)의 커팅면(1a)에 대해 위치조정은 물론 제 3 포커싱용스테이지(154b)의 이동에 의한 포커싱을 용이하게 실시한다.

제 1 내지 제 3 조정수단(152,...,154)의 제 1 내지 제 3 위치조정용스테이 지(152a,....,154a)와 제 1 내지 제 3 포커싱용스테이지(152b,....,154b)는 프레임(151)에 각각 설치되는 모터(미도시)의 구동에 의해 왕복이동하며, 이에 한하지 않고 공압실린더(미도시)의 압축과 팽창에 의해 왕복이동하도록 구성될 수 있다.

한편, 제 1 내지 제 3 촬영수단(120,...,140)의 제 1 내지 제 3 카메라(121,...,141)로 촬영된 영상에서 유리기판(1)의 형상을 식별하기 위하여 유리기판(1)의 일측에 광을 조사하는 제 4 조명(171)과 제 4 조명(171)으로부터 조사된 광을 유리기판(1)의 커팅면(1a) 주변으로 반사하는 제 4 반사미러(172)가 구비된다. 따라서, 제 4 조명(171)으로부터 조사된 광은 제 4 반사미러(172)에 의해 반사되어 유리기판(1)의 커팅면(1a) 주변을 비춤으로써 제 1 내지 제 3 카메라(121,...,141)로 촬영된 영상에서 유리기판(1a)의 형상을 식별하도록 유리기판(1a)과 배경의 명암이나 색을 달리한다.

또한, 유리기판(1)의 커팅면(1a) 주변에 부착된 이물질을 에어의 분사로 제거하도록 유리기판(1)의 커팅면(1a)의 상측과 하측에 복수의 에어노즐(180)이 설치된다.

에어노즐(180)은 외부의 에어공급부(미도시)로부터 에어를 공급받아 유리기판(1)의 커팅면(1a) 주변에 분사하여 이물질을 제거함으로써 제 1 내지 제 3 촬영수단(120,...,140)의 제 1 내지 제 3 카메라(121,...,141)로 촬영된 영상에 이물질이 촬영되는 것을 방지함으로써 유리기판(1)의 커팅면(1a) 자체의 결함에 대한 선명한 영상을 얻도록 한다.

한편, 메인로봇(150)과 프레임(151) 각각에는 메인로봇(150)으로부터 프레임(151)의 위치를 알기 위해 리니어 스케일러(192)와 데이터를 읽기 위한 헤드(191)가 각각 설치된다.

이와 같은 구조로 이루어진 유리기판의 커팅면 검사장치(100)의 동작은 다음과 같이 이루어진다.

유리기판(1)을 고정플레이트(110)상에 안착시 가이드(160)에 커팅면(1a)이 밀착되도록 위치시킨다. 따라서, 커팅면(1a)은 기준위치에 놓이게 됨으로써 제 3 촬영수단(140)의 제 3 카메라(141)의 렌즈(143)와 일정 거리를 유지하게 되어 제 3 카메라(141)의 포커싱을 용이하도록 한다.

고정플레이트(110)에 안착된 유리기판(1)은 고정플레이트(110)의 진공홀(미도시)을 통해 공급되는 진공에 의해 흡착되어 고정된다. 이때, 유리기판(1)이 휘어진 경우에도 고정플레이트(110)상에 진공홀(미도시)이 형성되는 구간이 나뉘어져 있어 고정플레이트(110)상에서 일측으로부터 타측으로 진공이 순차적으로 공급됨으로써 유리기판(1)을 전체적으로 밀착시킨다.

고정플레이트(110)상에 유리기판(1)이 진공 흡착되면 검사하고자 하는 커팅면(1a)의 최초 위치에 제 1 내지 제 3 촬영수단(120,...,140)이 메인로봇(150)으로부터 커팅면(1a)을 따라 이동하는 프레임(151)에 의해 놓이게 된다.

제 1 내지 제 3 촬영수단(120,....,140)이 검사하고자 하는 커팅면(1a)의 최초 위치에 위치하면 제 1 내지 제 3 조정수단(152,...,154)에 의해 제 1 내지 제 3 카메라(121,...,141)의 위치조정 및 포커싱을 실시한다. 즉, 제 1 내지 제 3 촬영 수단(120,....,140)은 제 1 내지 제 3 위치조정용스테이지(152a,...,154a)의 이동에 의한 유리기판(1)의 커팅면(1a)에 대해 위치조정은 물론 제 1 내지 제 3 포커싱용스테이지(152b,...,154b)의 이동에 의한 포커싱을 용이하게 실시한다.

한편, 유리기판(1)의 커팅면(1a)이 직선으로 커팅되지 않고 곡선으로 커팅됨으로써 커팅면(1a)을 향하여 촬영하는 제 3 카메라(141)는 커팅면(1a)과의 초점이 맞지 않기 때문에 영상이 희미하게 얻어진다.

그러므로, 도 5에서 나타낸 바와 같이, 유리기판(1)의 커팅면(1a)이 곡선을 이루더라도 초점이 맞는 제 1 카메라(121)로부터 i 단계에서 얻은 영상과 i+1 단계에서 얻은 영상을 비교하여 이들 영상에서 커팅면(1a)간의 위치 차인 △d의 값을 계산한다.

△d는 커팅면(1a)을 향하여 촬영하는 제 3 카메라(141)의 렌즈(143)와 커팅면(1a)과의 거리 변화량이므로 △d만큼 제 3 포커싱용스테이지(154b)를 커팅면(1a)에 수직방향으로 이동시킴으로써 제 3 카메라(141)의 포커싱을 실시한다. 이와 동시에 제 1 및 제 2 카메라(121,131)를 제 1 및 제 2 위치조정용스테이지(152a,153a)를 각각 이동시켜서 도 6에서의 교정 후 영상을 획득하도록 한다.

즉, 기준위치와의 차를 계산하여 제 3 카메라(141)는 포커싱을 하며, 제 1 및 제 2 카메라(121,131)는 위치를 교정한다.

제 1 내지 제 3 촬영수단(120,....,140)의 제 1 내지 제 3 조명(122,...,142)은 제 1 내지 제 3 카메라(121,...,141)의 렌즈(123,...,143)의 광축과 동일한 방향으로 광을 조사함으로써 제 1 내지 제 3 카메라(121,...,141)가 촬영시 제 1 내지 제 3 조명(122,...,142)으로부터 조사되는 광에 의해 간섭을 일으키지 않고 유리기판(1)의 커팅면(1a)을 정확하게 촬영할 수 있다.

한편, 도 4에서 나타낸 바와 같이, 제 4 반사미러(172)는 고정플레이트(110)상에 안착되는 유리기판(1)과의 간섭을 피하기 위해 제 3 촬영수단(140)쪽으로 이동한 상태에서 고정플레이트(110)상에 유리기판(1)이 안착되어 고정되면 유기기판(1)의 상측에 위치하도록 이동시킨다.

유리기판(1)의 상측으로 이동한 제 4 반사미러(172)는 제 4 조명(171)으로부터 조사된 광을 유리기판(1)의 커팅면(1a) 주변으로 반사함으로써 제 1 내지 제 3 촬영수단(120,...,140)의 제 1 내지 제 3 카메라(121,...,141)가 촬영시 획득한 영상에서 유리기판(1)의 형상을 식별하도록 한다.

즉, 제 4 반사미러(172)가 위치하는 측에 위치하는 유리기판(1)의 배경은 제 4 반사미러(172)로부터 반사되는 광에 의하여 밝게 되며, 제 4 반사미러(172)가 위치하는 측의 반대측에 위치하는 유리기판(1)의 배경은 제 4 조명(171)으로부터 조사되는 광이 고정플레이트(110)에 반사됨으로써 제 4 반사미러(172)의 효과를 얻을 수 있다.

에어노즐(180)은 외부의 에어공급부(미도시)로부터 에어를 공급받아 유리기판(1)의 커팅면(1a) 주변에 분사하여 이물질을 제거함으로써 제 1 내지 제 3 촬영수단(120,...,140)의 제 1 내지 제 3 카메라(121,...,141)로 촬영된 영상에 이물질이 촬영되는 것을 방지함으로써 유리기판(1)의 커팅면(1a) 자체의 결함에 대한 선 명한 영상을 얻도록 한다.

이상과 같이 본 발명의 바람직한 실시예에 따르면, 유리기판의 커팅면을 비젼 광학계를 이용하여 여러 방향에서 입체적으로 검사함으로써 유리기판의 커팅면에 대한 결함의 검출, 유리기판의 두께, 유리기판의 커팅면의 직진성, 커팅기의 휠 깊이 등 유리기판의 커팅면에 대한 정보를 신속하고도 정확하게 검출하여 공정의 피이드백용 데이터로 활용함으로써 커팅기의 휠 교체시기 판단 등 공정 개선에 적극적으로 활용할 수 있도록 하여 유리기판의 생산성 향상과 품질의 향상에 기여한다.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 유리기판의 커팅면 검사장치는 유리기판의 커팅면을 비젼 광학계를 이용하여 여러 방향에서 입체적으로 검사함으로써 유리기판의 커팅면에 대한 결함의 검출, 유리기판의 두께, 유리기판의 커팅면의 직진성, 커팅기의 휠 깊이 등 유리기판의 커팅면에 대한 정보를 신속하고도 정확하게 검출하여 공정의 피이드백용 데이터로 활용함으로써 커팅기의 휠 교체시기 판단 등 공정 개선에 적극적으로 활용할 수 있도록 하여 유리기판의 생산성 향상과 품질의 향상에 기여하는 효과를 가지고 있다.

이상에서 설명한 것은 본 발명에 따른 유리기판의 커팅면 검사장치를 실시하기 위한 하나의 실시예에 불과한 것으로서, 본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 않고, 이하의 특허청구범위에서 청구하는 바와 같이 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변경 실시가 가능한 범위까지 본 발명의 기술적 정신이 있다고 할 것이다.

Claims

유리기판의 커팅면을 검사하는 장치로서,

상기 유리기판의 커팅면이 일측으로 돌출되도록 상기 유리기판을 고정하는 고정플레이트와,

상기 유리기판의 커팅면 상측에 각각 위치하며, 상기 커팅면의 상측을 향해서 상기 커팅면에 수평되게 촬영하여 영상을 얻는 제 1 카메라와 상기 제 1 카메라의 촬영부위에 광을 조사하는 제 1 조명으로 이루어지는 제 1 촬영수단과,

상기 유리기판의 커팅면 하측에 각각 위치하며, 상기 커팅면의 하측을 향해서 상기 커팅면에 수평되게 촬영하여 영상을 얻는 제 2 카메라와 상기 제 2 카메라의 촬영부위에 광을 조사하는 제 2 조명으로 이루어지는 제 2 촬영수단과,

상기 유리기판의 커팅면을 향하도록 각각 위치하며, 상기 커팅면에 수직되게 촬영하여 영상을 얻는 제 3 카메라와 상기 제 3 카메라의 촬영부위에 광을 조사하는 제 3 조명으로 이루어지는 제 3 촬영수단과,

상기 유리기판의 커팅면에 인접하도록 설치되는 프레임과, 상기 프레임에 상기 커팅면에 수직방향으로 이동하도록 제 1 위치조정용스테이지가 설치됨과 아울러 상기 제 1 위치조정용스테이지로부터 상기 커팅면에 수평방향으로 이동하도록 설치되는 제 1 포커싱용스테이지에 상기 제 1 촬영수단이 고정되는 제 1 조정수단과, 상기 프레임에 상기 커팅면에 수직방향으로 이동하도록 제 2 위치조정용스테이지가 설치됨과 아울러 상기 제 2 위치조정용스테이지로부터 상기 커팅면에 수평방향으로 이동하도록 설치되는 제 2 포커싱용스테이지에 상기 제 2 촬영수단이 고정되는 제 2 조정수단과, 상기 프레임에 상기 커팅면에 수평방향으로 이동하도록 제 3 위치조정용스테이지가 설치됨과 아울러 상기 제 3 위치조정용스테이지로부터 상기 커팅면에 수직방향으로 이동하도록 설치되는 제 3 포커싱용스테이지에 상기 제 3 촬영수단이 고정되는 제 3 조정수단을 포함하는 메인로봇과,

상기 유리기판의 커팅면 주변에 부착된 이물질을 에어의 분사로 제거하도록 상기 유리기판의 커팅면의 상측과 하측에 각각 설치되는 복수의 에어노즐

을 포함하는 유리기판의 커팅면 검사장치.
제 1 항에 있어서,

상기 유리기판이 고정플레이트에 고정시 상기 커팅면이 상기 제 3 촬영수단의 제 3 카메라와의 거리를 일정하게 유지하도록 상기 커팅면을 지지하는 가이드가 적어도 하나 이상 상기 고정플레이트의 일측에 설치되는 것

을 특징으로 하는 유리기판의 커팅면 검사장치.
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제 1 항에 있어서,

상기 제 1 내지 제 3 촬영수단의 제 1 내지 제 3 카메라로 촬영된 영상에서 상기 유리기판의 형상을 식별하기 위하여 상기 유리기판의 일측에 광을 조사하는 제 4 조명과 상기 제 4 조명으로부터 조사된 광을 상기 유리기판의 커팅면 주변으로 반사하는 제 4 반사미러

를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판의 커팅면 검사장치.
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