KR100552914B1 - Color resist resin composition - Google Patents
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Abstract
본 발명의 칼러 레지스트 수지 조성물은 (A) 하기 구조식 Ⅰ, Ⅱ 및 Ⅲ의 단량체가 1 : 2-4 : 2-8의 몰비로 공중합되고 하기 구조식 Ⅳ의 산무수물로 처리되어 제조되고, 3,000∼6,000의 중량 평균 분자량을 갖는 카도계 바인더 수지 1∼40 중량부, (B) 아크릴계 광중합성 단량체 1∼20 중량부, (C) 광중합 개시제 0.1∼10 중량부, (D) 안료 1∼40 중량부 및 (E) 용매 20∼80 중량부로 이루어지며, 필요에 따라 첨가제가 부가될 수 있다. The color resist resin composition of the present invention is prepared by (A) monomers of the following structural formulas (I), (II) and (III) copolymerized in a molar ratio of 1: 2-4: 2-8 and treated with an acid anhydride of the following structural formula (IV), and 3,000 to 6,000. 1 to 40 parts by weight of cardo binder resin having a weight average molecular weight of (B) 1 to 20 parts by weight of the acrylic photopolymerizable monomer, (C) 0.1 to 10 parts by weight of the photopolymerization initiator, (D) 1 to 40 parts by weight of the pigment, and (E) It consists of 20-80 weight part of solvents, and an additive can be added as needed.
상기 구조식에서 R은 수소원자, 탄소수 1∼10의 알킬기, 알릴기, 페닐기, 벤질기 또는 탄소수 1∼8의 에톡시기이고, X는 할로겐 원자이고 R1과 R2는 상기 R과 같다.R is a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, an allyl group, a phenyl group, a benzyl group or an ethoxy group having 1 to 8 carbon atoms, X is a halogen atom and R 1 and R 2 are the same as R.
Description
발명의 분야Field of invention
본 발명은 내화학성, 내열성, 현상성, 패턴표면 평활성 등이 우수한 감광성 수지 조성물에 관한 것이다. 보다 구체적으로 본 발명은 카도계 바인더 수지, 아크릴계 광중합성 단량체, 광중합성 개시제, 안료 및 용매로 이루어지는 칼러필터용 알칼리수용액 현상형의 포토레지스트 수지 조성물에 관한 것이다. The present invention relates to a photosensitive resin composition having excellent chemical resistance, heat resistance, developability, pattern surface smoothness, and the like. More specifically, the present invention relates to an alkaline aqueous solution developing type photoresist resin composition for color filters comprising a cardo binder resin, an acrylic photopolymerizable monomer, a photopolymerization initiator, a pigment, and a solvent.
발명의 배경Background of the Invention
칼러 레지스트는 포토레지스트(photoresist)에 안료 또는 염료를 혼합한 것으로 칼러 포토레지스트(color photoresist)라고도 한다.Color resist is a mixture of pigments or dyes in a photoresist (also called color photoresist).
칼러필터는 액정표시장치, 캠코더의 뷰파인더(view finder) 등에 사용되는 것으로서, 고체 촬영 소자 또는 투명 기판 위에 포토레지스트로 박막 코팅하여 3종 이상의 색상으로 착색된 미세한 영역을 형성시켜 제조된다. 칼러필터의 착색 박막코팅은 염색법, 인쇄법, 안료분산법 또는 전착법에 의하여 형성된다.The color filter is used in a liquid crystal display, a view finder of a camcorder, and the like, and is manufactured by coating a thin film with a photoresist on a solid state imaging device or a transparent substrate to form fine regions colored in three or more colors. The colored thin film coating of the color filter is formed by a dyeing method, a printing method, a pigment dispersion method or an electrodeposition method.
염색법의 경우 기판상에 미리 젤라틴 등의 천연 감광성 수지, 아민 변성 폴리비닐 알코올, 아민 변성 아크릴 수지 등의 염색기재를 가진 화상을 형성시킨 후 직접염료 등의 염료로 염색하여 작성하지만, 다색을 동일 기판상에 형성시킬 필요가 있기 때문에 색상을 변화시킬 때마다 방염가공을 하여야 하고, 공정이 매우 복잡하고 공정시간이 긴 문제점을 갖고 있다. 또한 일반적으로 사용하는 염료 및 수지 자체의 선명성과 분산성은 좋으나 내광성, 내습성 및 칼러필터로서 가장 중요한 성질인 내열성이 나쁘다는 단점이 있다.In the dyeing method, an image having a dyeing base material such as natural photosensitive resin such as gelatin, amine-modified polyvinyl alcohol, amine-modified acrylic resin, etc. is formed on the substrate before dyeing with dyes such as direct dyes. Because it needs to be formed on the phase, every time the color is changed, it must be flameproofed, and the process is very complicated and the process time is long. In addition, although the clarity and dispersibility of commonly used dyes and resins are good, there are disadvantages in that light resistance, moisture resistance, and heat resistance, which are the most important properties as color filters, are bad.
예컨대 대한민국 특허공보 제91-4717호와 대한민국 특허공보 제94-7778호에는 염료로서 아조 화합물과 아지드 화합물을 사용하고 있지만 안료분산법에 비하여 내열성과 내구성이 떨어지는 단점을 가지고 있다.For example, although Korean Patent Publication No. 91-4717 and Korean Patent Publication No. 94-7778 use azo compounds and azide compounds as dyes, they have disadvantages of poor heat resistance and durability compared to pigment dispersion methods.
인쇄법은 열경화 또는 광경화 수지에 안료를 분산시킨 잉크를 사용하고, 인쇄를 행한 후 열 또는 광으로 경화시킴으로써 다른 방법에 비해 사용되는 재료비의 절감을 가져올 수는 있지만, 고도로 정밀하고 세밀한 화상형성이 곤란하고, 또한 형성되는 박막층이 균일하지 못한 단점이 있다.Printing method uses ink in which pigment is dispersed in thermosetting or photocuring resin, and after printing, curing with heat or light can reduce material cost compared to other methods, but highly precise and detailed image formation This is difficult and there is a disadvantage that the thin film layer formed is not uniform.
예컨대 대한민국 특허공개 제95-703746호 및 제96-11513호에서는 잉크젯 방식을 이용한 칼러필터의 제조방법을 개시하고 있다. 섬세하고 정확한 색소의 인쇄를 위하여 노즐에서 분산되는 칼러 레지스트 조성물이 염료형으로 되어 있기 때문에 염색법과 마찬가지로 내구성과 내열성이 떨어지게 된다.For example, Korean Patent Publication Nos. 95-703746 and 96-11513 disclose a method of manufacturing a color filter using an inkjet method. Since the color resist composition dispersed in the nozzle is dye-like for printing delicate and accurate pigments, durability and heat resistance are inferior as in the dyeing method.
대한민국 특허공개 제93-700858호 및 제96-29904호에서는 전기침전법을 이용한 전착법을 개시하고 있는데 전착법은 정밀한 착색망을 형성할 수 있고 안료를 사용하므로 내열성과 내광성이 우수한 특성을 가지고 있으나, 앞으로 화소크기가 정밀하게 되어 전극패턴이 세밀하게 되면 양쪽 끝에 전기저항으로 인한 착색 얼룩이 나타나거나 착색막 두께가 두꺼워져서 고도의 정밀성을 요구하는 칼러필터에 적용하기는 어렵다.Korean Patent Publication Nos. 93-700858 and 96-29904 disclose electrodeposition methods using an electroprecipitation method. Electrodeposition methods can form precise colored nets and use pigments, so they have excellent heat and light resistance. In the future, when the pixel size becomes precise and the electrode pattern becomes fine, it is difficult to apply color filters that require high precision because colored stains due to electrical resistance appear on both ends or the thickness of the colored film becomes thick.
안료분산법은 흑색 매트릭스가 제공된 투명한 기질 위에 착색제를 함유하는 광중합성 조성물의 코팅, 상 노출, 현상, 그리고 열경화시키는 일련의 단계를 반복함으로써 형성되는 방법이다. 이러한 안료분산법은 칼러필터의 가장 중요한 성질인 내열성과 내구성을 향상시키며 필름의 두께를 균일하게 유지시킬 수 있다는 장점을 가지고 있다. 예컨대 대한민국 특허공개 제92-702502호, 특허공고 제94-5617호, 특허공고 제95-11163호, 및 특허공개 제95-700359호에서는 안료분산을 이용한 칼러 레지스트 제조방법이 제안되고 있다.Pigment dispersion is a method formed by repeating a series of steps of coating, phase exposing, developing, and thermosetting a photopolymerizable composition containing a colorant on a transparent substrate provided with a black matrix. This pigment dispersion method has the advantage of improving the heat resistance and durability, which is the most important property of the color filter, and maintaining the thickness of the film uniformly. For example, Korean Patent Publication No. 92-702502, Patent Publication No. 94-5617, Patent Publication No. 95-11163, and Patent Publication No. 95-700359 have proposed a method for producing color resist using pigment dispersion.
안료분산법에 사용되는 감광성 수지조성물은 일반적으로 바인더 수지, 광중합성 단량체, 광중합 개시제, 에폭시 수지, 용매 및 기타 첨가제로 이루어지며, 이공정에서 가장 중요한 단계인 안료의 분산은 일종의 분산제의 역할을 하는 바인더 수지의 영향을 많이 받는다. 안료분산법에 쓰이는 바인더 수지로서 예컨대 일본 특허공개공보 제60-237403호에 개시된 감광성 폴리이미드 수지, 일본 특허공개공보 제1-200353호, 제4-7373호, 제4-91173호 등에 기재된 아크릴계 중합체와 아지드 화합물로 이루어진 감광성 수지, 일본 특허공개공보 제1-152449호에 기재된 아크릴레이트 단량체, 유기중합체 결합제, 및 광중합 개시제로 이루어진 라디칼 중합형의 감광성 수지, 일본 특허공개공보 제4-163552호와 대한민국 특허공보 제92-5780호에 개시된 페놀 수지, N-메틸올 구조를 갖는 가교제 및 광산 발생제로 이루어진 감광성 수지 등의 여러 가지가 제안되어 있다.The photosensitive resin composition used in the pigment dispersion method is generally composed of a binder resin, a photopolymerizable monomer, a photopolymerization initiator, an epoxy resin, a solvent, and other additives, and the dispersion of the pigment, which is the most important step in this process, serves as a kind of dispersant. It is greatly influenced by binder resin. As a binder resin used in the pigment dispersion method, for example, a photosensitive polyimide resin disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 60-237403, an acrylic polymer described in Japanese Patent Application Laid-Open Nos. 1-200353, 4-7373, 4-91173, and the like. And a photosensitive resin composed of an azide compound, a radically polymerized photosensitive resin composed of an acrylate monomer, an organic polymer binder, and a photopolymerization initiator described in Japanese Patent Laid-Open No. 1-152449, and Japanese Patent Laid-Open Publication No. 4-163552; Various types of phenol resins disclosed in Korean Patent Publication No. 92-5780, photosensitive resins composed of a crosslinking agent having an N-methylol structure, and a photoacid generator have been proposed.
그러나, 안료분산법에 따른 바인더 수지로서 감광성 폴리이미드나 페놀계의 수지를 사용하는 것은 내열성은 높지만 감도가 낮으며 유기용매로 현상하는 등의 결점이 있다. 또한 아지드 화합물을 감광제로 하는 종래의 시스템은 감도가 낮고 내열성이 떨어지거나 노출시에 산소의 영향을 받는 문제가 있다. 이를 피하기 위해 산소차단막을 설치하거나 불활성 가스중에 노출시키는 것이 필요하며 공정이 복잡해지고 장치가 비싸지는 등의 문제가 있다. 또한 노출로 인해 생성된 산을 이용하여 화상형성을 하는 감광성 수지는 고감도이며 노출될 때 산소의 영향을 받지 않는 이점이 있지만 노출과 현상하는 과정에서 가열공정이 필요하며 가열시간이 패턴 형성에 대해 민감한 반응을 보이므로 공정관리가 곤란하다는 문제점이 있다.However, the use of photosensitive polyimide or phenolic resins as binder resins according to the pigment dispersion method has disadvantages such as high heat resistance but low sensitivity and development with an organic solvent. In addition, conventional systems using azide compounds as photosensitizers have problems of low sensitivity, poor heat resistance, and effects of oxygen upon exposure. In order to avoid this, it is necessary to install an oxygen barrier film or expose it in an inert gas, and there are problems such as complicated process and expensive equipment. In addition, the photosensitive resin which forms the image using the acid generated by the exposure is highly sensitive and has the advantage of not being affected by oxygen when exposed. However, the heating process is required during the exposure and development, and the heating time is sensitive to the pattern formation. There is a problem that the process control is difficult because of the reaction.
이러한 문제를 해결하기 위해 일본 특허공개 제7-64281호, 제7-64282호, 제8-278630호, 제6-1938호, 제5-339356호 및 대한민국 특허공개 제95-702313호에는 카도기를 지닌 바인더 수지를 이용한 칼러필터의 제조방법에 대한 특허가 기술되어 있다. 일반적으로 카도기를 지닌 수지는 고감도이면서 산소의 영향을 받지 않고 내열성, 내수축성, 투명성 등이 우수하다. 그러나 카도계 바인더 수지 자체내에 알칼리 현상 수용액과 반응할 장소가 없기 때문에 현상성이 나빠져서 현상후 잔사가 남는 문제점이 있을 수 있다.To solve this problem, Japanese Patent Laid-Open Nos. 7-64281, 7-64282, 8-278630, 6-1938, 5-339356, and Korean Patent Publication No. 95-702313 disclose A patent for a method for producing a color filter using a binder resin is described. In general, a resin having a cardo group is highly sensitive and is not affected by oxygen, and is excellent in heat resistance, shrinkage resistance and transparency. However, since there is no place to react with the alkaline developing aqueous solution in the cardo-based binder resin itself, there may be a problem in that developability is deteriorated so that a residue after development remains.
이러한 문제점은 일본 특허공개 제4-363311호에 개시된 바와 같이 카도계 바인더 수지를 산무수물로 처리하여 알칼리 용해성 수지로 제조하여 현상성을 향상시킴으로써 해결될 수 있다. 그러나 이러한 처리를 하였다 하더라도 현상후 잔사가 많이 남아 있을 경우가 많은데 이것은 알칼리 수용액에 잘 녹지 않는 성분들에 기인한다. 에폭시 수지는 주로 내화학성을 증가시키기 위하여 첨가되는데, 알칼리 수용액에 잘 녹지 않는 대표적인 예이다.This problem can be solved by treating the cardo-based binder resin with an acid anhydride to produce an alkali-soluble resin and improving developability as disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 4-363311. However, even after such treatment, a lot of residues remain after development, which is attributable to components that are not easily dissolved in aqueous alkali solution. Epoxy resin is added mainly to increase chemical resistance, and is a representative example that is hardly soluble in aqueous alkali solution.
따라서 본 발명에서는 특정 범위의 분자량을 가지는 카도계 바인더 수지를 사용함으로써 현상성이 향상되어 잔사가 획기적으로 감소되고 에폭시 수지를 첨가하지 않아도 내화학성이 우수하게 유지되며 패턴표면이 균일하고 견고한 감광성 수지 조성물을 개발하기에 이른 것이다.Therefore, in the present invention, by using the cardo-based binder resin having a specific range of molecular weight, developability is improved, residues are drastically reduced, and chemical resistance is maintained even without adding an epoxy resin, and the pattern surface is uniform and solid photosensitive resin composition It is early to develop.
본 발명의 목적은 현상성을 향상시켜 잔사를 크게 감소시킬 수 있는 고감도의 감광성 수지 조성물을 제공하기 위한 것이다.An object of the present invention is to provide a high-sensitivity photosensitive resin composition that can improve developability and greatly reduce residues.
본 발명의 다른 목적은 내열성이 향상되어 도막의 색차를 현저히 감소시키는 감광성 수지 조성물을 제공하기 위한 것이다.Another object of the present invention is to provide a photosensitive resin composition in which heat resistance is improved to significantly reduce the color difference of the coating film.
본 발명의 또 다른 목적은 에폭시 수지를 함유하지 않아도 내화학성이 우수하게 유지되는 감광성 수지 조성물을 제공하기 위한 것이다.Still another object of the present invention is to provide a photosensitive resin composition which is excellent in chemical resistance even without containing an epoxy resin.
본 발명의 또 다른 목적은 패턴표면이 균일하고 견고한 감광성 수지 조성물을 제공하기 위한 것이다.Another object of the present invention is to provide a photosensitive resin composition having a uniform pattern surface.
본 발명의 또 다른 목적은 액정디스플레이 또는 카메라 뷰파인더의 칼러필터 제조용 안료분산형 감광성 수지 조성물을 제공하기 위한 것이다.Still another object of the present invention is to provide a pigment dispersion type photosensitive resin composition for producing a color filter of a liquid crystal display or a camera viewfinder.
본 발명의 상기 및 기타 목적들은 하기에 설명되는 본 발명에 의하여 모두 달성될 수 있다.The above and other objects of the present invention can be achieved by the present invention described below.
본 발명의 칼러 레지스트 수지 조성물은 (A) 카도계 바인더 수지 1∼40 중량부, (B) 아크릴계 광중합성 단량체 1∼20 중량부, (C) 광중합 개시제 0.1∼10 중량부, (D) 안료 1∼40 중량부, 및 (E) 용매 20∼80 중량부로 이루어지며 필요에 따라 첨가제가 부가될 수 있다.The color resist resin composition of the present invention comprises (A) 1 to 40 parts by weight of cardo binder resin, (B) 1 to 20 parts by weight of acrylic photopolymerizable monomer, (C) 0.1 to 10 parts by weight of photopolymerization initiator, (D) Pigment 1 It consists of-40 parts by weight, and 20 to 80 parts by weight of the solvent (E), and additives can be added as necessary.
본 발명에 사용되는 카도계 바인더 수지는 하기 구조식 Ⅰ, Ⅱ 및 Ⅲ의 단량체로 공중합되고, 공중합체 내에서 상기 단량체 Ⅰ, Ⅱ 및 Ⅲ의 몰비가 1 : 2-4 : 2-8이다:The cardo-based binder resin used in the present invention is copolymerized with monomers of the following structural formulas I, II and III, and has a molar ratio of 1: 2-4: 2-8 in the copolymers of monomers I, II and III:
상기식에서 R은 수소원자, 탄소수 1∼10의 알킬기, 알릴기, 페닐기, 벤질기 또는 탄소수 1∼8의 에톡시기이고, X는 할로겐 원자이다.Wherein R is a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, an allyl group, a phenyl group, a benzyl group or an ethoxy group having 1 to 8 carbon atoms, and X is a halogen atom.
상기 바인더 수지는 3,000∼6,000의 중량 평균 분자량을 갖는 것이 바람직하게 사용될 수 있다. 바인더 수지는 알칼리 용해성 수지로 만들기 위하여 산무수물로 처리한다. 상기 산무수물은 하기 구조식 Ⅳ로 표시된다:The binder resin may preferably be used having a weight average molecular weight of 3,000 to 6,000. The binder resin is treated with an acid anhydride to make an alkali soluble resin. The acid anhydride is represented by the following structural formula IV:
상기식에서 R1 및 R2는 수소원자, 탄소수 1∼10의 알킬기, 알릴기, 페닐기, 벤질기 또는 탄소수 1∼8의 에톡시기이다. 바람직하게 사용될 수 있는 산무수물로는 초산무수물, 1,2,3,6-테트라히드로프탈산 무수물, 테트라프탈산 무수물, 비페닐테트라 카르복실산 이무수물, 3,4,9,10-페릴렌테트라카르복실산 무수물 등이 있다.In the above formula, R 1 and R 2 are a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, an allyl group, a phenyl group, a benzyl group or an ethoxy group having 1 to 8 carbon atoms. Acid anhydrides that may be preferably used include acetic anhydride, 1,2,3,6-tetrahydrophthalic anhydride, tetraphthalic anhydride, biphenyltetracarboxylic dianhydride, 3,4,9,10-perylenetetracarb Acid anhydrides and the like.
본 발명에서 사용되는 아크릴계 광중합성 단량체로는 에틸렌글리콜디아크릴레이트, 트리에틸렌글리콜디아크릴레이트, 1,4-부탄디올디아크릴레이트, 1,6-헥산디올디아크릴레이트, 네오펜틸글리콜디아크릴레이트, 펜타에리트리톨디아크릴레이트, 펜타에리트리톨트리아크릴레이트, 디펜타에리트리톨디아크릴레이트, 디펜타에리트리톨트리아크릴레이트, 디펜타에리트리톨펜타아크릴레이트, 펜타에리트리톨헥사아크릴레이트, 비스페놀 A 디아크릴레이트, 트리메틸롤프로판트리아크릴레이트, 노블락에폭시아크릴레이트, 에틸렌글리콜디메타크릴레이트, 디에틸렌글리콜디메타크릴레이트, 트리에틸렌글리콜디메타크릴레이트, 프로필렌글리콜디메타크릴레이트, 1,4-부탄디올디메타크릴레이트, 1,6-헥사디올디메타크릴레이트 단량체 등이 있다. 광중합성 단량체는 전체 수지 조성물에 대하여 1∼20 중량부의 양으로 사용된다.Acrylic photopolymerizable monomers used in the present invention include ethylene glycol diacrylate, triethylene glycol diacrylate, 1,4-butanediol diacrylate, 1,6-hexanediol diacrylate, neopentyl glycol diacrylate, Pentaerythritol diacrylate, pentaerythritol triacrylate, dipentaerythritol diacrylate, dipentaerythritol triacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, pentaerythritol hexaacrylate, bisphenol A diacrylate , Trimethylolpropane triacrylate, noblock epoxy acrylate, ethylene glycol dimethacrylate, diethylene glycol dimethacrylate, triethylene glycol dimethacrylate, propylene glycol dimethacrylate, 1,4-butanediol dimetha Acrylate, 1,6-hexadioldimethacrylate monomers, and the like. The photopolymerizable monomer is used in an amount of 1 to 20 parts by weight based on the total resin composition.
본 발명에서 사용되는 광중합 개시제는 일반적으로 사용되는 아세토페논계의 유도체로서 구체적인 예를 들자면 2,2'-디에톡시아세토페논, 2,2'-디부톡시아세토페논, 2-히드록시-2-메틸프로리오페논, p-t-부틸트리콜로로아세토페놀, p-t-부틸디클로로아세토페논, 벤조페논, 4-클로로아세토페논, 4,4'-디메틸아미노벤조페논, 4,4'-디클로로벤조페논, 3,3'-디메틸-2-메톡시벤조페논, 2,2'-디클로로-4-페녹시아세토페논, 2-메틸-1-(4-(메틸티오)페닐)-2-모폴리노프로판-1-온, 2-벤질-2-디메틸아미노-1-(4-모폴리노페닐)-부탄-1-온 등이 있다. 광중합 개시제는 전체 수지 조성물에 대하여 0.1∼10 중량부로 사용된다.The photopolymerization initiator used in the present invention is acetophenone-based derivatives commonly used. Examples thereof include 2,2'-diethoxyacetophenone, 2,2'-dibutoxyacetophenone, and 2-hydroxy-2-methyl. Proriophenone, pt-butyltricholoacetophenol, pt-butyldichloroacetophenone, benzophenone, 4-chloroacetophenone, 4,4'-dimethylaminobenzophenone, 4,4'-dichlorobenzophenone, 3, 3'-dimethyl-2-methoxybenzophenone, 2,2'-dichloro-4-phenoxyacetophenone, 2-methyl-1- (4- (methylthio) phenyl) -2-morpholinopropane-1 -One, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butan-1-one, and the like. The photoinitiator is used in 0.1-10 weight part with respect to the whole resin composition.
본 발명에서 사용되는 안료로는 예컨대, 안트라퀴논계 안료, 페릴렌계 등의 축합다환 안료, 프탈로시아닌 안료, 아조안료 등의 유기안료 이외에 카본블랙 등의 무기안료를 사용할 수 있으며, 이들은 단독 또는 둘 이상을 혼합하여 사용할 수 있다. 안료는 전체 수지 조성물에 대하여 1∼40 중량부로 사용된다.As the pigment used in the present invention, inorganic pigments, such as carbon black, may be used in addition to organic pigments such as anthraquinone pigments, perylene-based condensed polycyclic pigments, phthalocyanine pigments, and azo pigments. It can be mixed and used. The pigment is used in 1 to 40 parts by weight based on the total resin composition.
본 발명에서는 용매로서 에틸렌글리콜아세테이트, 에틸셀로솔브, 프로필렌글리콜메틸에테르아세테이트, 에틸락테이트, 폴리에틸렌글리콜, 시클로헥사논, 프로필렌글리콜메틸에테르 등이 단독 또는 혼합하여 사용될 수 있다. 용매는 전체 수지 조성물에 대하여 20∼80 중량부로 사용된다.In the present invention, ethylene glycol acetate, ethyl cellosolve, propylene glycol methyl ether acetate, ethyl lactate, polyethylene glycol, cyclohexanone, propylene glycol methyl ether and the like can be used alone or as a solvent. The solvent is used at 20 to 80 parts by weight based on the total resin composition.
또한 본 발명에서는 필요에 따라 분산제, 계면활성제, 산화방지제 등의 첨가제가 부가될 수 있다. 분산제는 미리 안료를 표면처리하는 형태로 안료에 내부첨가시켜 사용할 수 있거나 안료에 외부첨가하는 식으로 사용할 수 있다. 이러한 것으로써 비이온성, 음이온성 또는 양이온성 분산제를 사용할 수 있는데, 이러한 것으로써 폴리알킬렌글리콜 및 이의 에스테르, 폴리옥시알킬렌, 다가 알콜 에스테르 알킬렌 옥사이드 부가물, 알콕알킬렌옥사이드 부가물, 설폰산 에스테르, 설폰산염, 카르복실산에스테르, 카르복실산염, 알킬아미드알킬렌옥사이드 부가물, 알킬아민 등이 사용될 수 있다. 이들은 단독으로 첨가할 수 있으며 둘 이상 조합하여 첨가할 수 있다. 분산제의 첨가량은 바람직하게는 안료 1 중량부에 대해 0 내지 20 중량부이다. 상기 계면활성제 및 산화방지제는 이 분야의 통상의 지식을 가진 자에게 이미 잘 알려져 있는 것으로서, 종류 및 투입량은 본 발명이 속하는 기술분야의 당업자에 의해 용이하게 실시될 수 있다. 본 발명에서는 상기 계면활성제는 0.001 내지 0.1 중량부를, 산화방지제는 0.001 내지 0.1 중량부를 첨가한다.In the present invention, additives such as dispersants, surfactants, antioxidants, etc. may be added as necessary. The dispersant may be used by internal addition to the pigment in the form of surface treatment of the pigment in advance, or may be used in an external addition to the pigment. As such, nonionic, anionic or cationic dispersants can be used, such as polyalkylene glycols and their esters, polyoxyalkylenes, polyhydric alcohol ester alkylene oxide adducts, alkoxyalkylene oxide adducts, Phonic acid esters, sulfonates, carboxylic acid esters, carboxylates, alkylamide alkylene oxide adducts, alkylamines and the like can be used. These may be added alone or in combination of two or more. The amount of the dispersant added is preferably 0 to 20 parts by weight based on 1 part by weight of the pigment. The surfactants and antioxidants are well known to those skilled in the art, and the type and dosage can be easily carried out by those skilled in the art. In the present invention, the surfactant is added 0.001 to 0.1 parts by weight, the antioxidant is added 0.001 to 0.1 parts by weight.
본 발명의 상기 구성성분들로 이루어진 포토레지스트 수지 조성물은 칼러필터용 유리기판위에 스핀 도포, 롤러 도포, 스프레이 도포 등의 적당한 방법을 이용하여 알맞은 두께로(예를 들면 0.5 내지 10㎛) 도포된다. 그런 다음 칼러필터에 필요한 패턴을 형성하도록 활성선을 조사한다. 조사에 사용되는 광원으로서 190 ㎚ 내지 450 ㎚, 바람직하게는 200 ㎚ 내지 400 ㎚ 영역의 UV 조사를 사용하며 전자선 및 X선 조사도 적당하다. 활성선 조사 후, 도포층을 현상액으로 처리하면 도포층의 미조사 부분이 용해되고 칼러필터에 필요한 패턴이 형성된다. 이러한 공정을 필요한 색의 수에 따라 반복함으로써 원하는 패턴을 갖는 칼러필터를 수득할 수 있다. 또한 상기 공정에서 현상에 의해 수득된 화상 패턴을 다시 가열하거나 활성선 조사등에 의해 경화시키고 내크랙성, 내용제성 등을 향상시킬 수 있다.The photoresist resin composition composed of the above components of the present invention is applied on the glass substrate for the color filter to a suitable thickness (for example, 0.5 to 10 mu m) by a suitable method such as spin coating, roller coating or spray coating. The active line is then irradiated to form the pattern required for the color filter. As a light source used for irradiation, UV irradiation in the region of 190 nm to 450 nm, preferably 200 nm to 400 nm is used, and electron beam and X-ray irradiation are also suitable. After the actinic radiation is applied, the coating layer is treated with a developer to dissolve the unirradiated portion of the coating layer and form a pattern necessary for the color filter. By repeating this process in accordance with the required number of colors, a color filter having a desired pattern can be obtained. In addition, the image pattern obtained by the development in the above process can be heated again or cured by actinic radiation, and the crack resistance, solvent resistance and the like can be improved.
본 발명의 칼러 레지스트는 알칼리 수용액에서 현상되는 수지 조성물이다. 본 발명의 칼러 레지스트 수지 조성물은 칼러필터의 패턴을 형성하기 위하여 사용되는 조성물이고, 패턴 표면위에는 보호막을 도포한다. 이 보호막 조성물은 칼러 레지스트 수지 조성물의 성분중 안료를 제외시킨 것이다. 칼러필터용 보호막 조성물도 알칼리 수용액에서 현상되는 수지 조성물이다. The color resist of this invention is a resin composition developed in aqueous alkali solution. The color resist resin composition of this invention is a composition used in order to form the pattern of a color filter, and a protective film is apply | coated on the pattern surface. This protective film composition removes the pigment from the component of a color resist resin composition. The protective film composition for color filters is also a resin composition developed in aqueous alkali solution.
본 발명은 하기의 실시예에 의하여 보다 더 잘 이해될 수 있으며, 하기의 실시예는 본 발명의 예시 목적을 위한 것이며 첨부된 특허청구범위에 의하여 한정되는 보호범위를 제한하고자 하는 것은 아니다.The invention can be better understood by the following examples, which are intended for the purpose of illustration of the invention and are not intended to limit the scope of protection defined by the appended claims.
실시예Example
실시예 1Example 1
실시예 1의 칼러 레지스트 수지 조성물에 사용된 각 성분 및 함량은 다음과 같다.Each component and content used for the color resist resin composition of Example 1 are as follows.
(A) 카도계 바인더 수지(A) Cardo binder resin
Ⅰ: 9,9'-비스(4-히드록시페닐)플루오렌I: 9,9'-bis (4-hydroxyphenyl) fluorene
Ⅱ: 에피클로로히드린II: epichlorohydrin
Ⅲ: 아크릴산III: acrylic acid
Ⅰ : Ⅱ : Ⅲ = 1 : 2 : 2의 몰비로 공중합한 후, 1,2,3,6-테트라히드로프탈산 무수물 110g을 첨가하여 120℃에서 1시간 동안 반응시켜 바인더 수지를 제조하였다. 공중합체의 분자량은 4,000이었다.After copolymerizing at a molar ratio of I: II: III = 1: 2: 2, 110 g of 1,2,3,6-tetrahydrophthalic anhydride was added thereto and reacted at 120 ° C. for 1 hour to prepare a binder resin. The molecular weight of the copolymer was 4,000.
상기 용매에 광중합 개시제를 용해시키고 2시간 동안 상온에서 교반하였다. 광중합성 단량체와 바인더 수지를 부가시키고 2시간 동안 상온에서 교반한 후 안료 및 기타 첨가제를 부가하고 1시간 동안 상온에서 교반하였다. 3회에 걸친 여과를 행하여 불순물을 제거하고, 본 발명에 따른 칼러 레지스트 수지 조성물을 제조하였다. The photopolymerization initiator was dissolved in the solvent and stirred at room temperature for 2 hours. The photopolymerizable monomer and the binder resin were added and stirred at room temperature for 2 hours, and then pigments and other additives were added and stirred at room temperature for 1 hour. Filtration was carried out three times to remove impurities, to prepare a color resist resin composition according to the present invention.
실시예 2Example 2
바인더 수지의 분자량이 6,000인 것을 제외하고, 상기 실시예 1과 동일한 방법으로 수지 조성물을 제조하였다.Except that the molecular weight of the binder resin is 6,000, a resin composition was prepared in the same manner as in Example 1.
비교실시예 1Comparative Example 1
바인더 수지의 분자량이 2,000인 것을 제외하고, 상기 실시예 1과 동일한 방법으로 수지 조성물을 제조하였다.A resin composition was prepared in the same manner as in Example 1, except that the molecular weight of the binder resin was 2,000.
비교실시예 2Comparative Example 2
바인더 수지의 분자량이 10,000인 것을 제외하고 상기 실시예 1과 동일한 방법으로 수지 조성물을 제조하였다.A resin composition was prepared in the same manner as in Example 1, except that the binder resin had a molecular weight of 10,000.
비교실시예 3Comparative Example 3
바인더 수지의 분자량이 2,000이고 에폭시 수지(페놀 노블락형 에폭시 수지, EPPN-201, 일본화약 제품)를 첨가시킨 것 이외에는 상기 실시예 1과 동일한 방법으로 수지 조성물을 제조하였다.A resin composition was prepared in the same manner as in Example 1, except that the binder resin had a molecular weight of 2,000 and an epoxy resin (phenolic noblock type epoxy resin, EPPN-201, manufactured by Nippon Kayaku) was added.
패턴형성 평가:Patterning Assessment:
상기 실시예 1 및 비교실시예 1∼3에 따라 제조된 수지 조성물로 착색박막을 형성하고 다음과 같이 현상성, 패턴표면 평활성, 내열성, 내화학성, 및 패턴성을 측정하였고, 그 결과를 표 2에 나타내었다.A colored thin film was formed from the resin composition prepared according to Example 1 and Comparative Examples 1 to 3, and the developability, pattern surface smoothness, heat resistance, chemical resistance, and pattern resistance were measured as follows. Shown in
(1) 현상성(1) developability
크롬이 코팅된 두께 1㎜의 유리기판상에 1∼2㎛의 두께로 감광성 수지 조성물을 도포하고, 열풍순환식 건조로 안에서 80℃의 온도에서 1분 30초동안 건조시켜 도막을 수득하였다. 계속해서 도막위에 포토마스크를 대고 365㎚의 파장을 가진 고압수은램프를 사용하여 노광한 후 1% KOH 수용액을 사용하여 30℃, 1 기압하에서 80초동안 현상을 행하였다. 현상후 열풍순환식 건조로 안에서 220℃에서 40분동안 건조시켜 패턴을 수득하여 잔사와 패턴성을 광학현미경 및 전자현미경을 통하여 평가하였다.The photosensitive resin composition was applied to a glass substrate having a chromium coated thickness of 1 mm to a thickness of 1 to 2 μm, and dried in a hot air circulation drying furnace at a temperature of 80 ° C. for 1 minute and 30 seconds to obtain a coating film. Subsequently, a photomask was placed on the coating film, followed by exposure using a high pressure mercury lamp having a wavelength of 365 nm, followed by development for 80 seconds at 30 ° C. and 1 atmosphere using a 1% KOH aqueous solution. After development, the resultant was dried in a hot air circulation drying furnace at 220 ° C. for 40 minutes to obtain a pattern, and the residue and the patternability were evaluated through an optical microscope and an electron microscope.
○ 현상성 우수: 패턴상에 잔사가 전혀 남지 않음.○ Excellent developability: No residue is left on the pattern.
△ 현상성 양호: 패턴상에 잔사가 조금 남음.△ Good developability: Some residue remains on the pattern.
× 현상성 불량: 패턴상에 잔사가 많이 남음.X Poor developability: Many residues remain on a pattern.
(2) 패턴 표면 평활성(2) pattern surface smoothness
크롬이 코팅된 두께 1㎜의 유리기판상에 1∼2㎛의 두께로 감광성 수지 조성물을 도포하고, 열풍순환식 건조로 안에서 80℃에서 1분 30초동안 건조시켜 도막을 수득하였다. 계속해서 도막 위에 포토마스크를 대고 365㎚의 파장을 가진 고압수은램프를 사용하여 노광한 후 1% KOH 수용액을 이용하여 30℃, 1기압하에서 80초동안 현상을 행하였다. 현상후 열풍순환식 건조로안에서 220℃의 온도에서 40분동안 건조시켜 패턴을 수득하여 TENCO사에서 나온 P-10를 이용하여 100㎛ 크기의 패턴의 모양을 관찰하였다.The photosensitive resin composition was applied to a glass substrate having a thickness of 1 mm coated with chromium at a thickness of 1 to 2 μm, and dried in a hot air circulation drying furnace at 80 ° C. for 1 minute and 30 seconds to obtain a coating film. Subsequently, a photomask was placed on the coating film and exposed using a high-pressure mercury lamp having a wavelength of 365 nm, and then developed for 30 seconds at 30 ° C. and 1 atmosphere using a 1% aqueous KOH solution. After development, a pattern was obtained by drying for 40 minutes at a temperature of 220 ° C. in a hot air circulation drying furnace, and the shape of the pattern having a size of 100 μm was observed using P-10 from TENCO.
○: 패턴표면의 거칠기(roughness)가 60Å미만○: roughness of pattern surface is less than 60 °
△: 패턴표면의 거칠기가 60∼80Å(Triangle | delta): Roughness of a pattern surface is 60-80 GPa
×: 패턴표면의 거칠기가 80Å이상X: roughness of the pattern surface is 80 kPa or more
(3) 내열성(3) heat resistance
크롬이 코팅된 두께 1㎜의 유리기판상에 1∼2㎛의 두께로 감광성 수지 조성물을 도포하고, 열풍순환식 건조로안에서 80℃에서 1분 30초 동안 건조시킨 후, 365㎚의 파장을 가진 초고압 수은 램프로 조사하고, 계속해서 열풍순환식 건조로안에서 220℃에서 40분동안 가열하여 도막을 수득하였다. 이것을 다시 열풍순환식 건조로안에서 250℃의 온도에서 1시간동안 가열하여 열처리한 후, 도막의 색차(ΔΕ)를 측정하여 내열성을 평가하였다.The photosensitive resin composition was applied to a glass substrate having a thickness of 1 mm coated with chromium to a thickness of 1 to 2 μm, dried in a hot air circulation drying furnace at 80 ° C. for 1 minute and 30 seconds, and then ultrahigh pressure mercury having a wavelength of 365 nm. It was irradiated with a lamp and then heated in a hot air circulation drying furnace at 220 ° C. for 40 minutes to obtain a coating film. This was again heated in a hot air circulation drying furnace at a temperature of 250 ° C. for 1 hour, followed by heat treatment, and the color difference (ΔΕ) of the coating film was measured to evaluate heat resistance.
○: 색차(ΔΕ)가 3 이하○: color difference (ΔΕ) is 3 or less
△: 색차(ΔΕ)가 3∼5Δ: color difference ΔΕ is 3 to 5
×: 색차(ΔΕ)가 5 이상×: color difference (ΔΕ) is 5 or more
(4) 내화학성(4) chemical resistance
크롬이 코팅된 두께 1㎜의 유리기판상에 1∼2㎛의 두께로 감광성수지조성물을 도포하고, 열풍순환식 건조로안에서 80℃, 1분 30초동안 건조시켜 도막을 수득하였다. 계속해서 365㎚의 파장을 가진 초고압 수은 램프로 조사하고, 1% KOH 수용액을 사용하여 30℃, 상압하에서 80초동안 현상을 행하고, 다시 열풍순환식 건조로안에서 220℃, 40분 동안 건조하여 패턴을 수득하였다. 이 패턴을 5%의 HCl 수용액, NaOH 수용액, 크실렌, NMP, IPA 및 아세톤 용액에 각각 30분간 침지시킨 후 침지전의 샘플과 색차(ΔΕ)를 관찰하였다.A photosensitive resin composition was applied on a glass substrate having a thickness of 1 mm coated with chromium to a thickness of 1 to 2 μm, and dried in a hot air circulation drying furnace for 80 minutes at 1 minute 30 seconds to obtain a coating film. Subsequently, irradiated with an ultra-high pressure mercury lamp having a wavelength of 365 nm, developing at 30 ° C. and atmospheric pressure for 80 seconds using a 1% KOH aqueous solution, and drying at 220 ° C. for 40 minutes in a hot air circulating drying furnace. Obtained. This pattern was immersed in 5% aqueous HCl, aqueous NaOH solution, xylene, NMP, IPA and acetone solution for 30 minutes, and the sample and color difference (ΔΕ) before immersion were observed.
○ : 색차가 3이하○: 3 or less color difference
△ : 색차가 3∼5△: color difference is 3 to 5
× : 색차가 5이상×: color difference is 5 or more
(5) 패턴성(5) patternability
두께 1㎜의 유리기판상에 1∼2㎛의 두께로 감광성 수지 조성물을 도포하고, 열풍순환식 건조로 안에서 80℃, 1분 30초 동안 건조시켜 도막을 수득하였다. 계속해서 365㎚의 파장을 가진 초고압 수은 램프로 조사하고, 1% KOH수용액을 사용하여 30℃, 상압하에서 80초 동안 현상을 행하고, 다시 열풍순환식 건조로 안에서 220℃, 40분 동안 건조하여 패턴을 수득하였다. 이렇게 만들어진 패턴을 광학현미경과 SEM을 이용하여 패턴의 가장자리 부분을 관찰하였다.The photosensitive resin composition was apply | coated in the thickness of 1-2 micrometers on the glass substrate of thickness 1mm, and it dried in 80 degreeC for 1 minute and 30 second in a hot air circulation drying furnace, and obtained the coating film. Subsequently, it was irradiated with an ultra-high pressure mercury lamp having a wavelength of 365 nm, and developed for 1 second at 80 ° C. under 30 ° C. and atmospheric pressure using a 1% KOH aqueous solution. Obtained. The edge of the pattern was observed using the optical microscope and SEM.
○ : 가장자리 패턴굴곡의 편차 2㎛ 이하○: 2 μm or less of deviation of edge pattern bending
△ : 가장자리 패턴굴곡의 편차 2∼4㎛ (Triangle | delta): 2-4 micrometers of deviation of edge pattern bending
× : 가장자리 패턴굴곡의 편차 4㎛ 이상X: 4 micrometers or more of deviation of edge pattern bending
본 발명의 칼러 레지스트 수지조성물은 노출시 산소의 영향을 받지 않으며 현상성을 우수하여 잔사를 크게 감소시킬 수 있고 내열성 또한 양호하며, 에폭시 수지를 함유하지 않으면서도 내화학성이 저하되지 않고 우수하게 유지되는 발명의 효과를 가진다. 또한 본 발명의 수지 조성물을 이용하여 패턴을 형성할 경우 표면이 균일하고 견고한 패턴특성을 나타낸다.The color resist resin composition of the present invention is not affected by oxygen upon exposure, and is excellent in developability, thereby greatly reducing residues, and having good heat resistance, and having excellent chemical resistance without deterioration without containing epoxy resin. Has the effect of the invention. In addition, when the pattern is formed using the resin composition of the present invention, the surface shows uniform and solid pattern characteristics.
본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 이 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의하여 용이하게 실시될 수 있으며, 이러한 변형이나 변경은 모두 본 발명의 영역에 포함되는 것으로 볼 수 있다.Simple modifications or changes of the present invention can be easily carried out by those skilled in the art, and all such modifications or changes can be seen to be included in the scope of the present invention.
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