KR100492994B1 - Logic device test apparatus and method - Google Patents
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Abstract
논리 디바이스 테스트 장치 및 방법이 개시된다. 이 장치는, 전원 공급단과 기준 전압 사이에 연결되거나 전원 공급단과 디지탈 잡음 신호 사이에 연결되는 제1 커패시터와, 전원 공급단과 기준 전압 사이에 연결되거나 전원 공급단에만 연결되는 제2 커패시터 및 기준 전압을 공급하거나, 프로그램한 논리값을 디지탈 잡음 신호로서 공급하고, 소정 레벨의 공급 전압을 전원 공급단으로 공급하고, 논리 디바이스로부터 출력되는 데이타를 입력하여 논리 디바이스가 불량한가 양호한가를 결정하는 테스팅부를 구비하는 것을 특징으로 한다. An apparatus and method for testing a logic device is disclosed. The device includes a first capacitor connected between the power supply and the reference voltage or between the power supply and the digital noise signal, and a second capacitor and reference voltage connected between the power supply and the reference voltage or only connected to the power supply. Or a testing section for supplying a programmed logic value as a digital noise signal, supplying a predetermined level of supply voltage to a power supply terminal, and inputting data output from the logic device to determine whether the logic device is defective or not. It features.
Description
본 발명은 반도체 논리 디바이스를 테스트하는 것에 관한 것으로서, 특히, 논리 디바이스에 전원으로서 공급되는 공급 전압의 흔들림 또는 그 밖의 일반적인 조건들에 대한 논리 디바이스의 성능을 테스트하는 논리 디바이스 테스트 장치 및 방법에 관한 것이다.FIELD OF THE INVENTION The present invention relates to testing semiconductor logic devices, and more particularly, to a logic device test apparatus and method for testing the performance of a logic device against fluctuations in supply voltage or other general conditions supplied as power to the logic device. .
반도체 소자를 테스트하는 자동 테스트 장비(ATE:Automatic Test Equipment)는 전압, 전류등 각종 소스(source)를 논리 디바이스로 공급하고, 측정 장치들을 이용하여 논리 디바이스를 테스트한다.Automatic test equipment (ATE) for testing semiconductor devices supplies various sources such as voltage and current to the logic device, and tests the logic device using measurement devices.
즉, 전술한 ATE를 이용하여 테스트할 논리 디바이스에 전원 및 테스트용 신호들을 인가한 후, 논리 디바이스의 응답을 모니터링하여 논리 디바이스의 불량을 선별한다. 여기서, 가급적 응용 회로를 추가하지 않는 것이 정확한 논리 디바이스의 특성 검증, 테스트 프로그램 개발 및 양산 유지에 도움이 된다. That is, after applying power and test signals to the logic device to be tested by using the aforementioned ATE, the failure of the logic device is selected by monitoring the response of the logic device. Here, avoiding the addition of application circuitry helps to verify the correct characteristics of logic devices, develop test programs, and maintain production.
이하, 종래의 논리 디바이스 테스트 장치의 구성 및 동작을 첨부한 도면을 참조하여 다음과 같이 설명한다. Hereinafter, a configuration and an operation of a conventional logic device test apparatus will be described with reference to the accompanying drawings.
도 1은 종래의 논리 디바이스 테스트 장치의 회로도로서, 테스터(10), 제1, 제2, 제3 및 제4 릴레이들(16, 18, 20 및 22), 인덕터(12), 제1, 제2 및 제3 커패시터들(C1, C2 및 C3), 저항(14) 및 논리 디바이스(24)로 구성된다.1 is a circuit diagram of a conventional logic device test apparatus, the
도 1에 도시된 테스터(10)는 논리 디바이스(24)를 두가지의 모드로 테스트한다. 즉, 논리 디바이스(24)의 전원 공급단(26)으로 인가되는 공급 전압을 변화시켜 논리 디바이스(24)의 동작을 테스트하는 공급 전압 변화(이하, V-BUMP) 테스트 모드와 V-BUMP 테스트를 제외한 테스트를 수행하는 정상 테스트 모드가 있다. The
정상 테스트 모드에서 제3 및 제4 릴레이들(20 및 22)이 온되고 제1 및 제2 릴레이들(16 및 18)은 오프되며, V-BUMP 테스트 모드에서 제1 및 제2 릴레이들(16 및 18)은 온되고 제3 및 제4 릴레이들(20 및 22)은 오프된다. 또한, 테스터(10)는 핀 채널(PC:Pin Channel)을 통해 후술되는 잡음 신호를 공급하고, 논리 디바이스(24)의 전원 공급단(26)으로 공급 전압을 공급한다. In the normal test mode, the third and
전술한 도 1에 도시된 종래의 논리 디바이스 테스트 장치는 정상 테스트 모드를 위한 소자들 이외에 V-BUMP 테스트 모드를 위한 응용 소자들이 별도로 필요하므로, 양산 적용에 무리가 있는 문제점이 있었다. 즉, 종래의 논리 디바이스 테스트 장치는 전원 공급단(26)에 입력되는 공급 전압의 잡음에 의한 논리 디바이스(24)의 데이타 유지 불량 검출을 위해서 다소 복잡한 V-BUMP용 회로를 적용하여야 한다. The conventional logic device test apparatus shown in FIG. 1 described above requires a separate application element for the V-BUMP test mode in addition to the elements for the normal test mode. That is, the conventional logic device test apparatus must apply a somewhat complicated circuit for V-BUMP to detect data retention failure of the
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 별도의 응용 회로를 추가하지 않고, 정상 테스트 모드에서 사용되는 소자들을 이용하여 공급 전압 변화 테스트 모드를 수행할 수 있는 논리 디바이스 테스트 장치를 제공하는 데 있다.An object of the present invention is to provide a logic device test apparatus capable of performing a supply voltage change test mode using elements used in a normal test mode without adding a separate application circuit.
본 발명이 이루고자 하는 다른 기술적 과제는, 상기 논리 디바이스 테스트 장치에서 수행되는 논리 디바이스 테스트 방법을 제공하는 데 있다. Another object of the present invention is to provide a logic device test method performed in the logic device test apparatus.
상기 과제를 이루기 위해, 디지탈 논리 동작을 수행하며 전원 공급단으로 입력되는 전압을 전원으로 하여 동작하는 논리 디바이스를 테스트하기 위한 본 발명에 의한 논리 디바이스 테스트 장치는, 상기 전원 공급단과 기준 전압 사이에 연결되거나 상기 전원 공급단과 디지탈 잡음 신호 사이에 연결되는 제1 커패시터와, 상기 전원 공급단과 상기 기준 전압 사이에 연결되거나 상기 전원 공급단에만 연결되는 제2 커패시터 및 상기 기준 전압을 공급하거나, 프로그램한 논리값을 상기 디지탈 잡음 신호로서 공급하고, 소정 레벨의 공급 전압을 상기 전원 공급단으로 공급하고, 상기 논리 디바이스로부터 출력되는 데이타를 입력하여 상기 논리 디바이스가 불량한가 양호한가를 결정하는 테스팅부로 구성되는 것이 바람직하다. In order to achieve the above object, a logic device test apparatus according to the present invention for testing a logic device performing a digital logic operation and operating by using a voltage input to a power supply terminal is connected between the power supply terminal and a reference voltage. A logic value programmed or supplied with a first capacitor connected to the power supply terminal and the digital noise signal, a second capacitor connected between the power supply terminal and the reference voltage, or connected only to the power supply terminal, or programmed Is supplied as the digital noise signal, a supply voltage of a predetermined level is supplied to the power supply terminal, and a testing section for determining whether the logic device is defective or not by inputting data output from the logic device.
상기 다른 과제를 이루기 위해, 디지탈 논리 동작을 수행하며 전원 공급단으로 입력되는 전압을 전원으로 하여 동작하는 논리 디바이스를 테스트하기 위한 본 발명에 의한 논리 디바이스 테스트 방법은, 상기 공급 전압 변화 테스트를 수행할 것인가 판단하는 (a) 단계, 상기 공급 전압 변화 테스트를 수행하고자 하는 경우, 논리값을 프로그램하여 디지탈 잡음 신호를 구하는 (b) 단계, 상기 디지탈 잡음 신호를 충전하는 (c) 단계, 충전된 상기 디지탈 잡음 신호와 소정 레벨의 공급 전압을 믹싱하여 상기 전원 공급단으로 공급하는 (d) 단계, 상기 공급 전압 변화 테스트가 아닌 다른 테스트를 수행하고자 하는 경우, 상기 소정 레벨의 공급 전압을 충전하는 (e) 단계, 충전된 상기 소정 레벨의 공급 전압을 상기 전원 공급단으로 공급하는 (f) 단계 및 상기 (d)단계 또는 상기 (f) 단계후에, 상기 논리 디바이스의 동작결과인 데이타에 상응하여 상기 논리 디바이스가 양호한가 불량한가를 결정하는 (g) 단계로 이루어지는 것이 바람직하다. In accordance with another aspect of the present invention, a logic device test method according to the present invention for testing a logic device performing a digital logic operation and operating by using a voltage input to a power supply terminal may perform the supply voltage change test. (A) determining whether to perform the supply voltage change test, programming a logic value to obtain a digital noise signal, (b) charging the digital noise signal, and (c) charging the digital charged signal. (D) mixing a noise signal and a supply voltage of a predetermined level to supply the power supply stage, and charging a supply voltage of the predetermined level when a test other than the supply voltage change test is to be performed; (F) and (d) supplying the charged supply voltage of the predetermined level to the power supply stage. After the step (f) or the step (f), it is preferable that the step (g) determines whether the logical device is good or bad corresponding to the data that is the result of the operation of the logical device.
이하, 본 발명에 의한 논리 디바이스 테스트 장치의 구성 및 동작을 첨부한 도면들을 참조하여 다음과 같이 설명한다.Hereinafter, the configuration and operation of a logic device test apparatus according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
도 2는 본 발명에 의한 논리 디바이스 테스트 장치의 바람직한 일실시예의 회로도로서, 테스팅부(40), 전원 공급단(44)을 갖는 논리 디바이스(42), 저항(R), 제4 및 제5 커패시터들(C4 및 C5)로 구성된다.FIG. 2 is a circuit diagram of a preferred embodiment of a logic device test apparatus according to the present invention, which includes a
도 2에 도시된 논리 디바이스(42)는 디지탈 논리 동작을 수행하며 전원 공급단(44)으로 입력되는 공급 전압을 전원으로 사용하여 해당하는 고유의 동작을 수행한다. 제4 커패시터(C4)는 전술한 정상 테스트 모드에서 전원 공급단(44)과 기준 전압 사이에 연결되고, 전술한 V-BUMP 테스트 모드에서 전원 공급단(44)과 디지탈 잡음 신호 사이에 연결된다. 제5 커패시터(C5)는 정상 테스트 모드에서 전원 공급단(44)과 기준 전압 사이에 연결되고, V-BUMP 테스트 모드에서 양극은 전원 공급단(44)에 연결되고 음극은 플로팅(floating)된다. 이 때, 제4 커패시터(C4)는 고주파 잡음을 제거하는 역할을 하며 이를 위해 0.01㎌ 정도의 세라믹 콘덴서나 탄탈(tantalum) 콘덴서등으로 구현될 수 있다. 또한, 제5 커패시터(C5)는 저주파 잡음을 제거하는 역할을 하며 이를 위해 수 ㎌이상의 전해 콘덴서로 구현될 수 있다. The
여기서, 기준 전압은 정상 테스트 모드에서 테스팅부(40)의 제1 및 제2 핀 채널(PC1 및 PC2)을 통해 제공하는 '0'볼트의 전압을 나타내고, 디지탈 잡음 신호는 V-BUMP 테스트 모드시 테스팅부(40)에서 프로그램된 논리값이다. 즉, 디지탈 잡음 신호는 "고" 논리 레벨과 "저" 논리 레벨의 조합으로 구성된다. 또한, 테스팅부(40)는 소정 레벨의 공급 전압을 논리 디바이스(42)의 전원 공급단(44)으로 공급하고, 전원 공급단(44)으로 입력한 공급 전압에 따라 논리 디바이스(42)가 동작한 후 발생한 데이타를 입력하여 논리 디바이스(42)가 불량한가 양호한가를 결정한다.Here, the reference voltage represents a voltage of '0' volts provided through the first and second pin channels PC1 and PC2 of the
한편, 도 2에 도시된 테스팅부(40)는 강하선(force line)(46)을 통해 논리 디바이스(42)의 전원 공급단(44)으로 공급하는 공급 전원의 레벨을 감지선(sence line)(48)을 통해 감지하고, 감지된 공급 전압의 레벨의 정확한 레벨인가를 모니터링하여 정확한 공급 전압이 논리 디바이스(42)로 공급될 수 있도록 한다. 하지만, 공급 전압 변화에 따른 반응 시간이 존재하므로, 반응 시간보다 디지탈 잡음 신호의 주파수가 빠르도록 해야 한다.Meanwhile, the
도 3은 도 2에 도시된 전원 공급단(44)으로 인가되는 전압의 파형도로서, 횡축은 시간을 나타내고, 종축은 전압을 각각 나타낸다. 도 3에 도시된 파형의 오버슈트(overshoot)의 크기는 논리 디바이스(40)의 내부 임피던스에 따라 약간의 변화가 있을 수 있다.FIG. 3 is a waveform diagram of voltages applied to the
도 4는 도 2에 도시된 제4 커패시터(C4)로부터 출력되는 디지탈 잡음 신호의 파형도로서, 횡축은 시간을 나타내고, 종축은 전압을 각각 나타낸다.4 is a waveform diagram of a digital noise signal output from the fourth capacitor C4 shown in FIG. 2, where the horizontal axis represents time and the vertical axis represents voltage.
만일, 테스팅부(40)로부터 출력되는 공급 전압의 레벨이 5.25볼트이고, 디지탈 잡음 신호의 피크간 레벨이 0.8볼트라고 할 때, 도 3에 도시된 바와 같이 논리 디바이스(42)의 전원 공급단(44)으로 입력된 전압의 주파수는 39.990㎒이고, 최대 레벨은 5.64볼트이며, 최소 레벨은 4.88볼트이다. 또한, 테스팅부(40)에서 발생된 0볼트의 최저 레벨과 0.8볼트의 최고 레벨을 갖는 클럭 신호는 제4 커패시터(C4)로 제1 핀 채널(PC1)을 통해 공급된다. 이 때, 제4 커패시터(C4)에서 출력되는 디지탈 잡음 신호는 도 4에 도시된 바와 같이 주파수는 39.979㎒이고, 최대 레벨은 420㎷이고, 최소 레벨은 440㎷가 된다.If the level of the supply voltage output from the
이하, 본 발명에 의한 논리 디바이스 테스트 방법을 첨부한 도면을 참조하여 다음과 같이 설명한다.Hereinafter, a logic device test method according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
도 5는 본 발명에 의한 논리 디바이스 테스트 방법을 설명하기 위한 플로우차트로서, 공급 전압의 변화를 테스트할 것인가에 따라 해당하는 신호를 논리 디바이스(42)에 인가하는 단계(제80 ∼ 제90단계) 및 인가된 신호에 따라 동작하는 논리 디바이스(42)를 테스트하는 단계(제92단계)로 이루어진다.5 is a flowchart for explaining a logic device test method according to the present invention, in which a corresponding signal is applied to the
도 5를 참조하면, 도 2에 도시된 테스팅부(40)는 논리 디바이스(42)를 V-BUMP 테스트 모드에서 테스트할 것인가 혹은 정상 테스트 모드에서 테스트할 것인가를 판단한다(제80단계). Referring to FIG. 5, the
논리 디바이스(42)를 정상 테스트 모드에서 테스트하고자 하는 경우, 테스팅부(40)로부터 출력되는 소정 레벨의 공급 전압은 제4 커패시터(C4)에 충전된다(제82단계). 제82단계후에, 제4 커패시터(C4)에 충전된 소정 레벨의 공급 전압은 논리 디바이스(42)의 전원 공급단(44)으로 공급된다(제84단계). 즉, 전술한 바와 같이, 제82 및 제84단계에서 테스팅부(40)는 제4 및 제5 커패시터들(C4 및 C5)에 '0'볼트를 공급하고, 제4 및 제5 커패시터들(C4 및 C5)이 전원 공급단(44)에 병렬로 연결된다. When the
그러나, 공급 전압 변화 테스트를 수행하고자 하는 경우, 즉, 논리 디바이스(40)내 데이타 유지 결함을 선별하고자 하는 V-BUMP 테스트 모드에서, 테스팅부(40)는 논리값을 프로그램하여 디지탈 잡음 신호를 구한다(제86단계). 즉, 제1 핀채널(PC1)의 논리 파형을 프로그램하여 디지탈 잡음 신호를 구한다. 제86단계후에, 테스팅부(40)에서 구해진 디지탈 잡음 신호는 제4 커패시터(C4)에 충전된다(제88단계). 즉, 제4 커패시터(C4)는 디지탈 잡음 신호를 바이패스시키는 바이패스 커패시터로서 사용된다. 이 때, 제5 커패시터(C5)는 제2 핀 채널(PC2)의 드라이브 오프에 의해 전류 경로가 차단된다. 제88단계후에, 제4 커패시터(C4)에 충전된 디지탈 잡음 신호는 테스팅부(40)로부터 공급되는 소정 레벨의 공급 전압과 믹싱되고, 믹싱된 전압은 논리 디바이스(90)의 전원 공급단(44)으로 공급된다(제90단계). However, when a supply voltage change test is to be performed, that is, in a V-BUMP test mode in which data retention defects are to be selected in the
제90단계후에 또는 제84단계후에, 논리 디바이스(42)는 전원에 따라 해당하는 동작을 수행하고, 동작 수행 결과인 데이타를 테스팅부(40)로 출력하며, 테스팅부(40)는 입력한 데이타로부터 논리 디바이스(42)가 양호한가 불량한가를 결정한다(제92단계). After
결국, 제4 커패시터(C4)는 정상 테스트 모드에서 전원 공급단(44)에 공급되는 공급 전압의 잡음을 제거하는 역할을 하고, V-BUMP 테스트 모드에서 역으로 잡음을 발생시키는 잡음원의 경로로 이용된다. As a result, the fourth capacitor C4 serves to remove noise of the supply voltage supplied to the
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 의한 논리 디바이스 테스트 장치 및 방법은 정상 테스트 모드에서 사용되는 소자들을 이용하여 V-BUMP 테스트 모드를 수행할 수 있으므로, 정확한 논리 디바이스의 특성을 검증할 수 있고, 테스트 프로그램 개발 및 양상 유지를 유리하게 하는 효과가 있다. As described above, the logic device test apparatus and method according to the present invention can perform the V-BUMP test mode by using the devices used in the normal test mode, so that the characteristics of the correct logic device can be verified and tested. It has the effect of facilitating program development and aspect maintenance.
도 1은 종래의 논리 디바이스 테스트 장치의 회로도이다.1 is a circuit diagram of a conventional logic device test apparatus.
도 2는 본 발명에 의한 논리 디바이스 테스트 장치의 바람직한 일실시예의 회로도이다.2 is a circuit diagram of a preferred embodiment of a logic device test apparatus according to the present invention.
도 3은 도 2에 도시된 전원 공급단으로 인가되는 전압의 파형도이다.3 is a waveform diagram of a voltage applied to the power supply terminal shown in FIG. 2.
도 4는 도 2에 도시된 제4 커패시터로부터 출력되는 디지탈 잡음 신호의 파형도이다.FIG. 4 is a waveform diagram of a digital noise signal output from the fourth capacitor shown in FIG. 2.
도 5는 본 발명에 의한 논리 디바이스 테스트 방법을 설명하기 위한 플로우차트이다.5 is a flowchart for explaining a logic device test method according to the present invention.
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Comment text: Notification of reason for refusal Patent event date: 20041030 Patent event code: PE09021S01D |
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