KR100480482B1

KR100480482B1 - 제논 검사시스템의 유리 기판 로딩/언로딩장치

Info

Publication number: KR100480482B1
Application number: KR10-2003-0035065A
Authority: KR
Inventors: 이창하; 조기성; 김성철; 황정훈; 이영진
Original assignee: 삼성코닝정밀유리 주식회사
Priority date: 2003-05-31
Filing date: 2003-05-31
Publication date: 2005-04-07
Also published as: KR20040103142A

Abstract

본 발명은 제논 검사시스템의 유리 기판 로딩/언로딩장치에 관한 것으로서, 제논라이트와 스크린 사이의 지면에 회전 가능하게 설치되는 프레임(100)과, 프레임(100)과 함께 회전하도록 프레임(100)의 내부 하측에 설치되며, 복수의 유리 기판(1)이 장착된 카세트(2)가 상측면에 안착되는 카세트플레이트(200)와, 카세트플레이트(200)에 설치되며, 카세트(2)를 고정시키는 카세트고정수단(300)과, 카세트(2)가 제논라이트의 빔경로에 위치하도록 카세트플레이트(200)를 상승시키거나 하강시키는 카세트승강수단(400)과, 카세트승강수단(400)에 의해 상승된 후 하강하는 카세트(2)에 장착된 복수의 유리 기판(1)을 제논라이트의 빔경로에 위치하도록 지지하며, 검사후 복수의 유리 기판(1)을 하강시켜 카세트(2)에 장착시키는 유리기판승강수단(500)과, 프레임(100)에 설치되며, 유리기판승강수단(500)에 의해 제논라이트의 빔경로에 위치하는 복수의 유리 기판(1)을 지지하는 유리기판지지수단(600)을 포함한다. 따라서 본 발명은, 여러 장의 유리 기판을 동시에 검사할 수 있도록 함으로써 검사에 소요되는 시간과 인원을 단축함과 아울러 공정의 IN-LINE 추세를 반영함으로써 생산성을 증가시키고, 클린룸내에 차지하는 면적을 최소화하여 설치공간의 확보에 따른 비용을 절감할 수 있으며, 유리 기판이 대형이더라도 용이하게 검사할 수 있어 취급시 불량의 발생을 방지하는 효과를 가지고 있다.

Description

제논 검사시스템의 유리 기판 로딩/언로딩장치{APPARATUS FOR LOADING AND UNLOADING GLASS SUBSTRATES ON A XENON INSPECTION SYSTEM}

본 발명은 제논 검사시스템의 유리 기판 로딩/언로딩장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 여러 장의 유리 기판을 동시에 검사할 수 있도록 함으로써 검사에 소요되는 시간과 인원을 단축하는 제논 검사시스템의 유리 기판 로딩/언로딩장치에 관한 것이다.

일반적으로 TFT-LCD(Thin film transistor-liquid crystal display), PDP(Plasma display panel), EL(Electro luminescent) 등 평판디스플레이(Flat display)의 제조 분야에서 사용되는 유리 기판은 유리 용해로(Glass melting furnace)에서 용해된 유리물을 용해성형기에 공급하여 제조되어 일차 규격에 맞도록 절단되고, 표면에 부착된 이물질을 제거하기 위하여 세정공정을 실시한다.

세정공정을 마친 유리 기판은 내부에 마이크로 보이드(Micro void), 마이크로 크랙(Micro crack), 불순물 등과 같은 결함이 존재하는지를 판단하기 위하여 제논 검사를 실시하게 된다.

종래의 유리 기판의 제논 검사시스템에 대하여 첨부된 도면을 이용하여 설명하면 다음과 같다.

도 1은 종래의 기술에 따른 유리 기판의 제논 검사시스템을 도시한 개략도이다. 도시된 바와 같이, 종래의 유리 기판의 제논 검사시스템은 양측에 각각 제논라이트(10)와 스크린(20)을 설치한 후 제논라이트(10)와 스크린(20)사이에 작업자가 한 장의 유리 기판(1)을 파지하여 위치시킨 다음 제논라이트(10)로부터 유리 기판(1)을 향해 빔을 조사함으로써 유리 기판(1)을 통과한 빔에 의해 스크린(20)에 투영된 이미지로부터 결함을 나타내는 이미지가 존재하는지를 판단하여 유리 기판(1)의 결함을 검사하였다.

그러나, 이와 같은 종래의 유리 기판(1)의 제논 검사시스템은 유리 기판(1)을 한 장씩 검사함으로 인해 유리 기판(1)의 제논 검사를 실시하는데 많은 시간과 인원이 필요할 뿐만 아니라 공정의 IN-LINE 추세에 역행하게 되어 생산성을 저하시키는 문제점을 가지고 있었다.

또한, 유리 기판(1)을 한 장씩 검사시 시간 단축을 위해 여러 대의 유리 기판의 제논 검사시스템을 마련할 경우 한정된 클린룸내에 많은 공간을 차지하게 되는 문제점을 가지고 있었다.

특히, 유리 기판(1)이 대형화됨에 따라 수작업으로는 검사가 어려울 뿐만 아니라 수작업에 따른 취급시 불량의 발생 빈도를 증가시키는 원인이 되었다.

본 발명은 상술한 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명의 목적은 여러 장의 유리 기판을 동시에 검사할 수 있도록 함으로써 검사에 소요되는 시간과 인원을 단축함과 아울러 공정의 IN-LINE 추세를 반영함으로써 생산성을 증가시키고, 규격이 서로 다른 유리 기판이더라도 장착이 가능하도록 하여 서로 다른 규격의 유리 기판에 대한 검사를 용이하게 하며, 클린룸내에 차지하는 면적을 최소화하여 설치공간의 확보에 따른 비용을 절감할 수 있고, 유리 기판이 대형이더라도 용이하게 검사할 수 있어 취급시 불량의 발생을 방지하는 제논 검사시스템의 유리 기판 로딩/언로딩장치를 제공하는데 있다.

이와 같은 목적을 실현하기 위한 본 발명은, 제논라이트로부터 조사되어 유리 기판을 통과시키는 빔에 의해 스크린에 투영되는 이미지로부터 결함을 검출하는 유리 기판의 제논 검사시스템에 있어서, 제논라이트와 스크린 사이의 지면에 회전 가능하게 설치되며, 제논라이트의 빔이 내부 상측을 통과하는 프레임과, 프레임과 함께 회전하도록 프레임의 내부 하측에 설치되며, 상측으로부터 복수의 유리 기판을 수직상태로 서로 이격되게 나란히 장착한 카세트가 상측면에 안착되는 카세트플레이트와, 카세트플레이트에 설치되며, 카세트플레이트상의 정렬위치로 이송된 카세트를 고정시키는 카세트고정수단과, 카세트가 제논라이트의 빔경로에 위치하도록 카세트플레이트를 상승시키거나 하강시키는 카세트승강수단과, 카세트승강수단에 의해 상승된 후 하강하는 카세트에 장착된 복수의 유리 기판을 제논라이트의 빔경로에 위치하도록 지지하며, 검사후 복수의 유리 기판을 하강시켜 카세트에 장착시키는 유리기판승강수단과, 프레임에 설치되며, 유리기판승강수단에 의해 제논라이트의 빔경로에 위치하는 복수의 유리 기판을 지지하는 유리기판지지수단을 포함한다.

이하, 본 발명의 가장 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 더욱 상세히 설명하기로 한다.

도 2는 본 발명에 따른 제논 검사시스템의 유리 기판 로딩/언로딩장치를 도시한 정면도이고, 도 3은 본 발명에 따른 제논 검사시스템의 유리 기판 로딩/언로딩장치의 카세트플레이트를 도시한 평면도이고, 도 4는 본 발명에 따른 제논 검사시스템의 유리 기판 로딩/언로딩장치의 플레이트고정수단을 도시한 측면도이고, 도 5는 본 발명에 따른 제논 검사시스템의 유리 기판 로딩/언로딩장치의 어퍼가이드를 도시한 정면도이고, 도 6a 및 도 6b는 본 발명에 따른 제논 검사시스템의 유리 기판 로딩/언로딩장치의 사이드가이드의 작동을 나타낸 정면도이고, 도 7a 및 도 7b는 본 발명에 따른 제논 검사시스템의 유리 기판 로딩/언로딩장치의 보조사이드가이드의 작동을 나타낸 정면도이고, 도 8은 본 발명에 따른 제논 검사시스템의 유리 기판 로딩/언로딩장치에서 카세트가 상승된 상태를 도시한 정면도이고, 도 9는 본 발명에 따른 제논 검사시스템의 유리 기판 로딩/언로딩장치에서 복수의 유리 기판이 상승된 상태를 도시한 정면도이다.

도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 제논 검사시스템의 유리 기판 로딩/언로딩장치는 제논라이트(10; 도 1에 도시)와 스크린(20; 도 1에 도시) 사이의 지면에 회전 가능하게 설치되는 프레임(100)과, 프레임(100)과 함께 회전하도록 프레임(100)의 내부 하측에 설치되는 카세트플레이트(200)와, 카세트플레이트(200)에 설치되어 카세트(2)를 고정시키는 카세트고정수단(300)과, 카세트플레이트(200)를 상승시키거나 하강시키는 카세트승강수단(400)과, 복수의 유리 기판(1)을 제논라이트(10; 도 1에 도시)의 빔경로에 위치하도록 지지함과 아울러 복수의 유리 기판(1)을 카세트(2)에 장착시키는 유리기판승강수단(500)과, 프레임(100)에 설치됨과 아울러 제논라이트(10; 도 1에 도시)의 빔경로에 위치하는 복수의 유리 기판(1)을 지지하는 유리기판지지수단(600)을 포함한다.

프레임(100)은 제논라이트(10; 도 1에 도시)와 스크린(20 ; 도 1에 도시) 사이의 지면에 회전 가능하게 설치되고, 상측에 카세트플레이트(200)가 결합되는 하부프레임(110)과 하부프레임(110)의 양측에 수직되게 결합되어 측부를 각각 이루는 한 쌍의 측부프레임(120)과 측부프레임(120)의 상단에 양단이 결합되는 상부프레임(130)으로 이루어지며, 제논라이트(10; 도 1에 도시)의 빔이 내부 상측을 통과한다.

카세트플레이트(200)는 프레임(110)과 함께 회전하도록 프레임(110)의 내부 하측, 즉 하부프레임(110)의 상측에 설치되며, 상측으로부터 복수의 유리 기판(1)을 수직상태로 서로 이격되게 나란히 장착한 카세트(2)가 상측면에 안착된다.

카세트플레이트(200)는 도 4에서 나타낸 바와 같이, 카세트(2)를 상측면의 일측으로부터 정렬위치로 구름운동에 의해 이동시키는 복수의 롤러(210)가 회전가능하게 설치된다. 따라서, 카세트(2)를 카트(Cart; 미도시)에 의해 카세트플레이트(200)의 일측으로 이동시킨후 작업자가 카세트(2)를 카세트플레이트(200)로 밀면 복수의 롤러(210)의 구름운동에 의해 카세트플레이트(200)의 후측에 수직되게 결합되는 수직플레이트(311)에 밀착되어 정렬위치에 위치한다.

카세트고정수단(300)은 카세트플레이트(200)에 설치되며, 카세트플레이트(200)상의 정렬위치로 이송된 카세트(2)를 고정시킨다.

카세트고정수단(300)은 카세트플레이트(200)의 후측에 결합되는 수직플레이트(311)의 전면에 일정 간격을 두고 각각 수평되게 설치되며, 수직플레이트(311)로부터 좌우로 이동하여 카세트(2)의 양측면을 고정시키는 한 쌍의 카세트그립퍼(Cassette griper; 310)이다.

카세트그립퍼(310)는 공압실린더(미도시) 또는 모터(미도시)에 의해 그 끝단이 전후좌우로 이동함으로써 사이에 위치하는 카세트(2)의 양측면과 전면의 모서리 부위를 지지하여 카세트(2)를 카세트플레이트(200)상에 고정시킨다.

카세트고정수단(300)은 카세트그립퍼(310)와 함께 카세트(2)를 고정시키기 위하여 카세트플레이트(200)에 복수의 카세트클램프(320)를 구비할 수 있다.

카세트클램프(320)는 카세트플레이트(200)의 상측면에 설치되고, 상측에 고정홈(321)이 형성되며, 상측으로 돌출되어 고정홈(321)에 카세트(2)의 하단이 끼워짐으로써 카세트플레이트(200)상에 카세트(2)를 고정시킨다.

카세트승강수단(400)은 카세트(2)가 제논라이트(10; 도 1에 도시)의 빔경로에 위치하도록 카세트플레이트(200)를 상승시키거나 하강시킨다.

카세트승강수단(400)은 제 1 승강축(410)이 카세트플레이트(200)의 하측에 수직되게 고정됨과 아울러 하부프레임(110) 하측에 상하로 이동가능하게 설치되고, 제 1 승강축(410)의 하부에 제 1 수직이동볼스크루(Ball screw; 420)가 연결되며, 제 1 수직리드스크루(430)가 제 1 수직이동볼스크루(420)에 나사결합되어 하부프레임(110) 하측에 회전가능하게 수직되게 설치되고, 제 1 승강모터(440)가 제 1 수직리드스크루(430)에 기계적으로 연결된다.

제 1 승강축(410)은 복수로 이루어지며, 제 1 수직이동볼스크루(420)가 고정되는 제 1 고정플레이트(421)에 의해 복수의 제 1 승강축(410) 하부는 서로 연결되어 제 1 수직이동볼스크루(420)와 함께 제 1 승강축(410)은 수직이동된다.

제 1 수직리드스크루(430)는 하단에 결합되는 타이밍풀리(Timing pulley: 431)와 제 1 승강모터(440)의 회전축(미도시)에 결합되는 타이밍풀리(441)가 타이밍벨트(Timing belt: 미도시)에 의해 연결됨으로써 제 1 승강모터(440)의 구동에 의해 회전한다.

유리기판승강수단(500)은 카세트승강수단(400)에 의해 상승된 후 하강하는 카세트(2)에 장착된 복수의 유리 기판(1)을 제논라이트(10; 도 1에 도시)의 빔경로에 위치하도록 지지하며, 검사후 복수의 유리 기판(1)을 하강시켜 카세트(2)에 장착시킨다.

유리기판승강수단(500)은 유리기판지지플레이트(510)가 카세트플레이트(200)의 정렬위치에 위치하는 카세트(2)의 하단에 형성된 개구(2a)를 통과할 수 있도록 카세트플레이트(200)의 중심부에 삽입되고, 복수의 유리 기판(1)의 하단이 각각 삽입되어 고정되는 복수의 고정홈(521)이 일정 간격으로 전후로 형성되는 한 쌍의 고정홈어레이(520)가 유리기판지지플레이트(510)의 상측면 양측에 각각 설치되며, 제 2 승강축(530)이 유리기판승강플레이트(510)의 하측에 수직되게 고정됨과 아울러 하부프레임(110)의 하측에 상하로 이동가능하게 설치되고, 제 2 수직이동볼스크루(540)가 제 2 승강축(530)의 하부에 연결되며, 제 2 수직리드스크루(550)가 제 2 수직이동볼스크루(540)에 나사결합되어 회전가능하도록 수직되게 설치되며, 제 2 승강모터(560) 제 2 수직리드스크루(550)에 기계적으로 연결된다.

제 2 승강축(530)은 복수로 이루어지며, 제 2 수직이동볼스크루(540)가 고정되는 제 2 고정플레이트(541)에 의해 복수의 제 2 승강축(530) 하부는 서로 연결되어 제 2 수직이동볼스크루(540)와 함께 제 2 승강축(530)은 수직이동된다.

제 2 수직리드스크루(550)는 하단에 결합되는 타이밍풀리(Timing pulley: 551)와 제 2 승강모터(560)의 회전축(미도시)에 결합되는 타이밍풀리(561)가 타이밍벨트(Timing belt: 미도시)에 의해 연결됨으로써 제 2 승강모터(560)의 구동에 의해 회전한다.

유리기판지지수단(600)은 프레임(100)에 설치되어 유리기판승강수단(500)에 의해 제논라이트(10; 도 1에 도시)의 빔경로에 위치하는 복수의 유리 기판(1)을 지지한다.

유리기판지지수단(600)은 유리기판승강수단(500)에 의해 제논라이트(10; 도 1에 도시)의 빔경로상에 위치하는 복수의 유리 기판(1) 상단을 지지하도록 프레임(100)의 상단, 즉 상부프레임(130)의 양측에 각각 설치되는 한 쌍의 어퍼가이드(Upper guide; 610)이다.

어퍼가이드(610)는 도 6에 도시된 바와 같이, 복수의 유리 기판(1)의 상단이 각각 삽입되도록 전후 일정 간격으로 복수의 지지홈(611a)이 형성되는 제 1 지지홈어레이(611)가 고정브라켓(612)에 의해 상부프레임(130)에 결합된다.

어퍼가이드(610)의 제 1 지지홈어레이(611)의 전후 길이방향의 양단에 각각 한 쌍의 제 1 기판감지센서(710)가 제 1 센서브라켓(711)에 의해 장착되어 제 1 지지홈어레이(611)에 지지되는 복수의 유리 기판(1)을 감지한다.

한 쌍의 제 1 기판감지센서(710)는 일정한 파장의 빔을 출력하는 발광소자와 발광소자로부터 출력되는 빛을 수신받아 유리 기판(1)을 감지하여 감지신호를 장비의 제어부(미도시)로 출력하는 수광소자로 이루어지며, 발광소자는 발광다이오드를 수광소자는 포토다이오드를 사용함이 바람직하다.

유리기판지지수단(600)은 상부프레임(130)의 양측에 각각 설치되며, 유리기판승강수단(500)에 의해 제논라이트(10; 도 1에 도시)의 빔경로상에 위치함과 아울러 어퍼가이드(610)가 지지하는 복수의 유리 기판(1)의 규격, 예컨대 1000mm × 1200mm와 다른 규격, 예컨대 730mm × 920mm을 가지는 복수의 유리 기판(3)의 상단을 지지하는 한 쌍의 보조어퍼가이드(640)를 포함할 수 있다.

보조어퍼가이드(640)는 도 5에서 나타낸 바와 같이, 복수의 유리 기판(3) 상단이 각각 삽입되도록 전후 일정 간격으로 복수의 지지홈(641a)이 형성되는 제 2 지지홈어레이(641)가 회전고정브라켓(642)의 일단에 결합되며, 회전고정브라켓(642)은 제 2 지지홈어레이(641)를 상부프레임(130)을 기준으로 상측에 고정시키거나 하측으로 이동시켜 복수의 유리 기판(3) 상단을 지지하도록 타단이 상부프레임(130)에 회전가능하게 고정된다. 따라서, 회전고정브라켓(642)의 일단을 하방으로 회전시켜 고정시킴으로써 제 2 지지홈어레이(641)가 어퍼가이드(610)의 제 1 지지홈어레이(611)를 대신하여 규격이 다른 복수의 유리 기판(3) 상단을 각각 지지한다.

유리기판지지수단(600)은 유리기판승강수단(500)에 의해 제논라이트(10; 도 1에 도시)의 빔경로상에 위치하는 복수의 유리 기판(1)의 양측단을 각각 가이드하도록 프레임(100)의 양측부, 즉 측부프레임(120)마다 각각 설치되는 한 쌍의 사이드가이드(Side guide; 620)를 구비할 수 있다.

사이드가이드(620)는 도 6a 및 도 6b에서 나타낸 바와 같이, 측부프레임(120)에 결합되는 제 1 가이드블럭(621)에 제 1 수평리드스크루(622)가 수평방향으로 관통하여 양단이 회전가능하게 고정되고, 제 1 수평리드스크루(622)를 회전시키기 위하여 제 1 수평리드스크루(622)의 일단에 제 1 가이드구동모터(미도시)의 모터축(미도시)이 기계적으로 연결되며, 제 1 수평리드스크루(622)에 제 1 수평이동볼스크루(623)가 나사결합되고, 제 1 수평이동볼스크루(623)에 일단이 연결되는 복수의 제 1 가이드축(624)이 제 1 가이드블럭(621)에 제 1 수평리드스크루(622)와 나란하게 슬라이딩 가능하게 삽입되며, 복수의 제 1 가이드축(624)의 타단에 가이드홈어레이(625)가 결합된다.

제 1 가이드블럭(621)은 양단에 제 1 수평리드스크루(622)를 회전가능하게 고정시키기 위하여 제 1 회전지지부(621a,621b)가 각각 구비된다.

제 1 수평이동볼스크루(623)와 복수의 제 1 가이드축(624)의 일단이 연결되도록 제 1 수평이동볼스크루(623)가 고정되는 제 1 연결부재(623a)가 복수의 제 1 가이드축(624)의 일단에 결합된다. 따라서, 제 1 수평이동볼스크루(623)와 복수의 제 1 가이드축(624)은 함께 수평이동된다.

가이드홈어레이(625)는 일측면에 복수의 유리 기판(1)의 측단이 각각 삽입되도록 전후 일정 간격으로 복수의 가이드홈(625a)이 형성된다.

사이드가이드(620)는 측부프레임(120)에서 높이 조절이 가능하도록 측부프레임(120)에 일정 간격을 두고 수직되게 상단과 하단이 고정브라켓(626)에 의해 각각 고정되는 제 1 수직가이드바(627)에 제 1 가이드블럭(621)이 상하로 슬라이딩 가능하게 결합되어 고정된다. 이 때, 제 1 가이드블럭(621) 내측에는 제 1 수직가이드바(627)를 따라 수직으로 이동하여 원하는 위치에서 고정되도록 공압에 의해 작동하는 공압실린더(미도시)를 구비함이 바람직하다.

사이드가이드(620)에는 어퍼가이드(610) 대신에 보조어퍼가이드(640)에 의해 지지되는 복수의 유리 기판(3)을 감지하는 제 2 기판감지센서(720)가 구비됨이 바람직하다..

제 2 기판감지센서(720)는 한 쌍으로 이루어지며, 사이드가이드(620)의 가이드홈어레이(625)의 전후 길이방향의 양단에 제 2 센서브라켓(721)에 의해 각각 장착되어 가이드홈어레이(625)에 지지되는 복수의 유리 기판(3)을 감지한다.

한 쌍의 제 2 기판감지센서(720)는 일정한 파장의 빔을 출력하는 발광소자와 발광소자로부터 출력되는 빛을 수신받아 유리 기판(3)을 감지하여 감지신호를 장비의 제어부(미도시)로 출력하는 수광소자로 이루어지며, 발광소자는 발광다이오드를 수광소자는 포토다이오드를 사용함이 바람직하다.

유리기판지지수단(600)은 유리기판승강수단(500)에 의해 하강하여 카세트(2)에 장착되는 복수의 유리 기판(1)의 양측단을 각각 가이드하여 유리 기판(1)이 카세트(2) 내측에 형성된 유리기판장착홈(미도시)에 정확하게 끼워지도록 측부프레임(120)마다 각각 설치되는 한 쌍의 보조사이드가이드(630)를 더 구비할 수 있다.

보조사이드가이드(630)는 도 7a 및 도 7b에서 나타낸 바와 같이, 측부프레임(120)에 결합되는 제 2 가이드블럭(631)에 제 2 수평리드스크루(632)가 수평방향으로 관통하여 양단이 회전가능하게 고정되고, 제 2 수평리드스크루(632)를 회전시키기 위하여 제 2 수평리드스크루(632)의 일단에 제 2 가이드구동모터(미도시)의 모터축(미도시)이 기계적으로 연결되며, 제 2 수평리드스크루(632)에 제 2 수평이동볼스크루(633)가 나사결합되고, 제 2 수평이동볼스크루(633)에 일단이 연결되는 복수의 제 2 가이드축(634)이 제 2 가이드블럭(631)에 제 2 수평리드스크루(632)와 나란하게 슬라이딩 가능하게 삽입되며, 복수의 제 2 가이드축(634)의 타단에 복수의 유리 기판(1)의 측단 각각을 가이드하는 가이드부(635)가 결합된다.

제 2 가이드블럭(631)은 양단에 제 2 수평리드스크루(632)를 회전가능하게 고정시키기 위하여 제 2 회전지지부(631a,631b)가 각각 구비된다.

제 2 수평이동볼스크루(633)와 복수의 제 2 가이드축(634)의 일단이 연결되도록 제 2 수평이동볼스크루(633)가 고정되는 제 2 연결부재(633a)가 복수의 제 2 가이드축(634)의 일단에 결합된다. 따라서, 제 2 수평이동볼스크루(633)와 복수의 제 2 가이드축(634)은 함께 수평이동된다.

가이드부(635)는 복수의 제 2 가이드축(634)의 타단에 결합되는 결합부재(635a)에 단면이 "ㄴ"자 형상으로 형성되는 가이드부재(635b)의 중심이 상하로 회전가능하게 힌지결합되고, 가이드부재(635b)의 상단과 하단에 복수의 가이드롤러(635c)가 복수의 유리 기판(1)의 측단을 각각 지지하도록 전후 길이방향으로 일정 간격으로 회전가능하게 결합되며, 복수의 가이드롤러(635c)중 상측에 위치하는 복수의 가이드롤러(635c)가 하측에 위치하는 복수의 가이드롤러(635c)에 비해 유리 기판(1)의 측단을 향해 돌출되도록 결합부재(635a)와 가이드부재(635b)사이에 코일스프링 등의 탄성부재(635d)가 설치된다.

보조사이드가이드(630)는 측부프레임(120)에서 높이 조절이 가능하도록 측부프레임(120)에 일정 간격을 두고 수직되게 상단과 하단이 고정브라켓(636)에 의해 각각 고정되는 제 2 수직가이드바(637)에 제 2 가이드블럭(631)이 상하로 슬라이딩 가능하게 결합되어 고정된다. 이 때, 제 2 가이드블럭(631) 내측에는 제 2 수직가이드바(637)를 따라 수직으로 이동하여 원하는 위치에서 고정되도록 공압에 의해 작동하는 공압실린더(미도시)를 구비함이 바람직하다.

이와 같은 구조로 이루어진 제논 검사시스템의 유리 기판 로딩/언로딩장치의 동작은 다음과 같이 이루어진다.

개방된 상측을 통해 세정공정을 마친 복수의 유리 기판(1)을 수직상태로 서로 이격되게 나란히 장착한 카세트(2)를 카트(미도시)에 의해 카세트플레이트(200)의 일측으로 이동시킨 다음 카세트(2)를 밀어서 카세트플레이트(200)의 상측면에 구비된 롤러(210)의 구름운동에 의해 카세트플레이트(200)상의 정렬위치에 위치시킨다.

카세트플레이트(200)상의 정렬위치에 카세트(2)가 위치되면 한 쌍의 카세트그립퍼(310)가 공압실린더(미도시) 또는 모터(미도시) 등의 구동수단에 의해 전진 및 좌우로 이동하여 카세트(2)의 양측면 및 전면 모서리를 지지함과 아울러 복수의 카세트클램프(320)가 상방으로 돌출되어 카세트클램프(320)의 고정홈(321)에 카세트(2)의 하단이 각각 끼워짐으로써 카세트(2)는 카세트플레이트(200)상에 고정된다.

카세트플레이트(200)상에 카세트(2)가 고정되면 제 1 및 제 2 승강모터(440,560)의 구동에 의해 제 1 및 제 2 수직리드스크루(430,550)가 각각 회전하여 제 1 및 제 2 수직이동볼스크루(420,540)가 상방으로 각각 이동함으로써 제 1 및 제 2 승강축(410,530)이 카세트플레이트(200)와 유리기판지지플레이트(510)를 상승시켜 카세트(2)를 복수의 유리 기판(1)과 함께 제논라이트(10; 도 1에 도시)의 빔이동경로상에 위치하도록 이동시킨다.

카세트승강수단(400)과 유리기판승강수단(500)에 의해 카세트(2)가 복수의 유리 기판(1)과 함께 제논라이트(10; 도 1에 도시)의 빔이동경로상으로 이동하여 카세트(2)에 장착된 복수의 유리 기판(1) 각각의 상단은 한 쌍의 어퍼가이드(610)의 제 1 지지홈어레이(611)의 지지홈(611a)에 각각 끼워져 고정됨과 동시에 제 1 기판감지센서(710)에 의해 복수의 유리 기판(1)이 한 쌍의 어퍼가이드(610)에 도달됨을 감지함으로써 카세트승강수단(400)과 유리기판승강수단(500)의 제 1 및 제 2 승강모터(440,560)의 구동을 정지시킨다.

도 5에 나타낸 바와 같이, 어퍼가이드(610) 대신에 보조어퍼가이드(640)를 사용하여 규격이 서로 다른 복수의 유리 기판(3)의 상단을 지지하도록 할 수 있으며, 이 때, 유리 기판(3)의 감지는 사이드가이드(620)에 설치된 제 2 기판감지센서(720)에 의해 수행된다.

카세트(2)가 복수의 유리 기판(1)과 함께 제논라이트(10; 도 1에 도시)의 빔이동경로상에 위치하면 카세트승강수단(400)의 제 1 승강모터(440)가 구동하여 제 1 수직리드스크루(430)를 회전시킴으로써 제 1 수직이동볼스크루(420)와 제 1 승강축(410)이 카세트플레이트(200)와 함께 하측으로 이동하여 카세트(2)를 원위치시킨다.

이 때, 유리기판승강수단(500)의 유리기판지지플레이트(510)가 하강하는 카세트(2)의 하측에 형성된 개구(2a)를 통하여 고정홈어레이(520)가 복수의 유리 기판(1)의 하단을 지지함과 아울러 한 쌍의 어퍼가이드(610) 및 한 쌍의 사이드가이드(620)가 복수의 유리 기판(1) 상단 및 양측단을 지지함으로써 복수의 유리 기판(1)은 일정한 간격을 유지하는 수직상태로 배열되어 제논라이트(10; 도 1에 도시)의 빔이동경로상에 위치한다.

사이드가이드(620)는 복수의 유리 기판(1)의 측단을 지지하기 위하여 도 6b에서 도시된 바와 같이, 미도시된 제 1 가이드구동모터의 구동에 의해 제 1 수평리드스크루(622)가 회전함으로써 제 1 수평이동볼스크루(623)가 복수의 제 1 가이드축(624)을 수평이동시킴으로써 복수의 제 1 가이드축(624)의 타단에 결합된 가이드홈어레이(625)가 복수의 유리 기판(1) 각각의 측단을 지지한다.

사이드가이드(620)는 지지하고자 하는 유리 기판(2)의 규격에 따라 높이를 조절하기 위하여 제 1 가이드블럭(621) 내측에 설치되는 공압실린더(미도시)를 작동시켜서 제 1 가이드블럭(621)을 제 1 수직가이드바(627)를 따라 수직으로 이동시켜 원하는 위치에 고정시킬 수 있다.

복수의 유리 기판(1)이 제논라이트(10; 도 1에 도시)의 빔이동경로상에 위치하면 제논라이트(10; 도 1에 도시)로부터 복수의 유리 기판(1)을 향해 빔이 조사되도록 하며, 조사된 빔은 복수의 유리 기판(1)을 통과하여 스크린(20 ; 도 1에 도시)에 이미지를 투영한다.

스크린(20 ; 도 1에 도시)에 투영된 이미지에 결함의 이미지가 존재하는지를 검사자가 육안으로 검사하여 판단하며, 이 때, 검사자는 프레임(100)을 회전시킴으로써 유리 기판(1)에 위치하는 결함이 스크린(20 ; 도 1에 도시)에 보다 선명하게 투영되도록 한다.

스크린(20 ; 도 1에 도시)에 투영된 이미지에 결함의 이미지가 존재하면 복수의 유리 기판(1)을 하나씩 움직여서 결함의 이미지가 움직일 때 움직였던 유리 기판에 결함이 있는 것으로 결정하게 되며, 스크린(20 ; 도 1에 도시)에 투영된 이미지에 결함의 이미지가 존재하지 않으면 복수의 유리 기판(1)을 카세트(2)에 장착시킨다.

복수의 유리 기판(1)을 카세트(2)에 장착시키기 위하여 제 1 가이드구동모터(미도시)가 구동함으로써 제 1 지지홈어레이(611)가 복수의 유리 기판(1)의 측단으로부터 이격됨과 아울러 유리기판승강수단(500)의 제 2 승강모터(560)가 구동하여 제 2 수직리드스크루(550)가 회전함으로써 제 2 수직이동볼스크루(540)가 복수의 제 2 승강축(530)과 함께 하측으로 이동하여 유리기판지지플레이트(510)를 하강시킨다.

유리기판지지플레이트(510)가 하강함으로써 상측면에 위치하는 복수의 유리 기판(1)을 카세트(2)내의 유리기판장착홈(미도시)을 따라 카세트(2) 내측에 장착되도록 한다.

한편, 복수의 유리 기판(1)이 하강되어 카세트(2) 내측으로 장착시 보조사이드가이드(630)에 의해 복수의 유리 기판(1)이 카세트(2)내의 유리기판장착홈(미도시)에 정확하게 장착되도록 가이드된다.

보조사이드가이드(630)는 도 7b에서 도시된 바와 같이, 미도시된 제 2 가이드구동모터의 구동에 의해 제 2 수평리드스크루(632)가 회전함으로써 제 2 수평이동볼스크루(633)가 복수의 제 2 가이드축(634)을 수평이동시킴으로써 복수의 제 2 가이드축(634)의 타단에 결합된 가이드부(635)가 복수의 유리 기판(1) 각각의 측단을 가이드하여 복수의 유리 기판(1)이 카세트(2)내의 장착홈(미도시)에 정확하게 장착되도록 한다.

가이드부(635)는 탄성부재(635d)의 탄성력에 의해 가이드부재(635b)의 상측에 위치하는 가이드롤러(635c)가 먼저 복수의 유리 기판(1) 측단을 가이드한 후 하측에 위치하는 가이드롤러(635c)가 복수의 유리 기판(1) 측단을 가이드함으로써 복수의 유리 기판(1)의 측단을 안정적으로 지지하여 하강시 진동을 최소화한다.

보조사이드가이드(630)는 지지하고자 하는 유리 기판(2)의 규격에 따라 높이를 조절하기 위하여 제 2 가이드블럭(631) 내측에 설치되는 공압실린더(미도시)를 작동시켜서 제 2 가이드블럭(631)을 제 2 수직가이드바(637)를 따라 수직으로 이동시켜 원하는 위치에 고정시킬 수 있다.

카세트(2)에 복수의 유리 기판(1)이 장착되면 카세트그립퍼(310)가 서로 좌우로 이동하여 그 간격을 최대로 하며, 카세트클램프(320)가 카세트플레이트(200)로 삽입됨으로써 카세트(2)를 롤러(210)의 구름운동에 의해 카트(미도시)에 적재하여 후속공정을 위해 이동시킬 수 있도록 한다.

한편, 카세트(2)를 카세트플레이트(200)로 이동시 또는 카세트플레이트(200)로부터 카트(미도시)로 이동시 카세트플레이트(200)가 원하지 않게 회전하는 것을 방지하기 위하여 도 4에서 나타낸 바와 같이, 플레이트고정수단(220)의 제 1 고정부재(221)에 제 2 고정부재(222)의 스톱퍼(222a)가 돌출하여 결합됨으로써 카세트플레이트(200)의 회전은 억제된다.

이상과 같이 본 발명의 바람직한 실시예에 따르면, 여러 장의 유리 기판을 동시에 검사할 수 있도록 함으로써 검사에 소요되는 시간과 인원을 단축함과 아울러 공정의 IN-LINE 추세를 반영함으로써 생산성을 증가시키고, 규격이 서로 다른 유리 기판이더라도 장착이 가능하도록 하여 서로 다른 규격의 유리 기판에 대한 검사를 용이하게 하며, 클린룸내에 차지하는 면적을 최소화하여 설치공간의 확보에 따른 비용을 절감할 수 있고, 유리 기판이 대형, 예컨대 1900mm × 2200mm의 규격을 가지더라도 용이하게 검사할 수 있어 취급시 불량의 발생을 방지한다.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 제논 검사시스템의 유리 기판 로딩/언로딩장치는 여러 장의 유리 기판을 동시에 검사할 수 있도록 함으로써 검사에 소요되는 시간과 인원을 단축함과 아울러 공정의 IN-LINE 추세를 반영함으로써 생산성을 증가시키고, 규격이 서로 다른 유리 기판이더라도 장착이 가능하도록 하여 서로 다른 규격의 유리 기판에 대한 검사를 용이하게 하며, 클린룸내에 차지하는 면적을 최소화하여 설치공간의 확보에 따른 비용을 절감할 수 있고, 유리 기판이 대형이더라도 용이하게 검사할 수 있어 취급시 불량의 발생을 방지하는 효과를 가지고 있다.

이상에서 설명한 것은 본 발명에 따른 제논 검사시스템의 유리 기판 로딩/언로딩장치를 실시하기 위한 하나의 실시예에 불과한 것으로서, 본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 않고, 이하의 특허청구범위에서 청구하는 바와 같이 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변경 실시가 가능한 범위까지 본 발명의 기술적 정신이 있다고 할 것이다.

도 1은 종래의 기술에 따른 유리 기판의 제논 검사시스템을 도시한 개략도이고,

도 2는 본 발명에 따른 제논 검사시스템의 유리 기판 로딩/언로딩장치를 도시한 정면도이고,

도 3은 본 발명에 따른 제논 검사시스템의 유리 기판 로딩/언로딩장치의 카세트플레이트를 도시한 평면도이고,

도 4는 본 발명에 따른 제논 검사시스템의 유리 기판 로딩/언로딩장치의 플레이트고정수단을 도시한 측면도이고,

도 5는 본 발명에 따른 제논 검사시스템의 유리 기판 로딩/언로딩장치의 어퍼가이드를 도시한 정면도이고,

도 6a 및 도 6b는 본 발명에 따른 제논 검사시스템의 유리 기판 로딩/언로딩장치의 사이드가이드의 작동을 나타낸 정면도이고,

도 7a 및 도 7b는 본 발명에 따른 제논 검사시스템의 유리 기판 로딩/언로딩장치의 보조사이드가이드의 작동을 나타낸 정면도이고,

도 8은 본 발명에 따른 제논 검사시스템의 유리 기판 로딩/언로딩장치에서 카세트가 상승된 상태를 도시한 정면도이고,

도 9는 본 발명에 따른 제논 검사시스템의 유리 기판 로딩/언로딩장치에서 복수의 유리 기판이 상승된 상태를 도시한 정면도이다.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >

100 : 프레임 110 : 하부프레임

120 : 측부프레임 130 : 상부프레임

200 : 카세트플레이트 210 : 롤러

220 : 플레이트고정수단 221 : 제 1 고정부재

222 : 제 2 고정부재 222a : 스톱퍼

300 : 카세트고정수단 310 : 카세트그립퍼

311 : 수직플레이트 320 : 카세트클램프

321 : 고정홈 400 : 카세트승강수단

410 : 제 1 승강축 420 : 제 1 수직이동볼스크루

421 : 제 1 고정플레이트 430 : 제 1 수직리드스크루

431 : 타이밍풀리 440 : 제 1 승강모터

441 : 타이밍풀리 500 : 유리기판승강수단

510 : 유리기판지지플레이트 520 : 고정홈어레이

521 : 고정홈 530 : 제 2 승강축

540 : 제 2 수직이동볼스크루 541 : 제 2 고정플레이트

550 : 제 2 수직리드스크루 551 : 타이밍풀리

560 : 제 2 승강모터 561 : 타이밍풀리

600 : 유리기판지지수단 610 : 어퍼가이드

611 : 제 1 지지홈어레이 611a : 지지홈

612 : 고정브라켓 620 : 사이드가이드

621 : 제 1 가이드블럭 621a : 회전지지부

622 : 제 1 수평리드스크루 623 : 제 1 수평이동볼스크루

623a : 제 1 연결부재 624 : 제 1 가이드축

625 : 가이드홈어레이 625a : 가이드홈

626 : 고정브라켓 627 : 제 1 수직가이드바

630 : 보조사이드가이드 631 : 제 2 가이드블럭

632 : 제 2 수평리드스크루 633 : 제 2 수평이동볼스크루

633a : 제 2 연결부재 634 : 제 2 가이드축

635 : 가이드부 635a : 결합부재

635b : 가이드부재 635c : 가이드롤러

635d : 탄성부재 636 : 고정브라켓

637 : 제 2 수직가이드바 640 : 보조어퍼가이드

641 : 제 2 지지홈어레이 641a : 지지홈

642 : 회전고정브라켓 710 : 제 1 기판감지센서

711 : 제 1 센서브라켓 720 : 제 2 기판감지센서

721 : 제 2 센서브라켓

Claims

제논라이트로부터 조사되어 유리 기판을 통과시키는 빔에 의해 스크린에 투영되는 이미지로부터 결함을 검출하는 유리 기판의 제논 검사시스템에 있어서,

상기 제논라이트와 상기 스크린 사이의 지면에 회전 가능하게 설치되며, 상기 제논라이트의 빔이 내부 상측을 통과하는 프레임과,

상기 프레임과 함께 회전하도록 상기 프레임의 내부 하측에 설치되며, 상측으로부터 상기 복수의 유리 기판을 수직상태로 서로 이격되게 나란히 장착한 카세트가 상측면에 안착되는 카세트플레이트와,

상기 카세트플레이트에 설치되며, 상기 카세트플레이트상의 정렬위치로 이송된 상기 카세트를 고정시키는 카세트고정수단과,

상기 카세트가 상기 제논라이트의 빔경로에 위치하도록 상기 카세트플레이트를 상승시키거나 하강시키는 카세트승강수단과,

상기 카세트승강수단에 의해 상승된 후 하강하는 상기 카세트에 장착된 상기 복수의 유리 기판을 상기 제논라이트의 빔경로에 위치하도록 지지하며, 검사후 상기 복수의 유리 기판을 하강시켜 상기 카세트에 장착시키는 유리기판승강수단과,

상기 프레임에 설치되며, 상기 유리기판승강수단에 의해 상기 제논라이트의 빔경로에 위치하는 상기 복수의 유리 기판을 지지하는 유리기판지지수단

을 포함하는 제논 검사시스템의 유리 기판 로딩/언로딩장치.
제 1 항에 있어서, 상기 카세트플레이트는,

상기 카세트를 상측면의 일측으로부터 정렬위치로 구름운동에 의해 이동시키는 복수의 롤러가 회전가능하게 설치되는 것을 특징으로 하는 제논 검사시스템의 유리 기판 로딩/언로딩장치.
제 1 항에 있어서, 상기 카세트고정수단은,

상기 카세트플레이트의 후측에 결합되는 수직플레이트의 전면에 일정 간격을 두고 각각 수평되게 설치되며, 상기 수직플레이트로부터 좌우로 이동하여 상기 카세트의 양측면을 고정시키는 한 쌍의 카세트그립퍼인 것을 특징으로 하는 제논 검사시스템의 유리 기판 로딩/언로딩장치.
제 3 항에 있어서, 상기 카세트고정수단은,

상기 카세트플레이트의 상측면에 설치되고, 상측에 고정홈이 형성되며, 상기 카세트플레이트로부터 상측으로 돌출되어 상기 고정홈에 상기 카세트의 하단이 끼워짐으로써 상기 카세트를 고정시키는 복수의 카세트클램프를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 제논 검사시스템의 유리 기판 로딩/언로딩장치.
제 1 항에 있어서, 상기 카세트승강수단은,

상기 카세트플레이트의 하측에 수직되게 고정되며, 상하로 이동가능하게 설치되는 제 1 승강축과,

상기 제 1 승강축의 하부에 연결되는 제 1 수직이동볼스크루와,

상기 제 1 수직이동볼스크루에 나사결합되며, 수직상태로 회전가능하게 설치되는 제 1 수직리드스크루와,

상기 제 1 수직리드스크루를 회전시키는 제 1 승강모터

를 포함하는 것을 특징으로 하는 제논 검사시스템의 유리 기판 로딩/언로딩장치.
제 1 항에 있어서, 상기 유리기판승강수단은,

상기 카세트플레이트의 정렬위치에 위치하는 상기 카세트의 개구를 통과할 수 있도록 상기 카세트플레이트의 중심부에 삽입되는 유리기판지지플레이트와,

상기 복수의 유리 기판의 하단이 각각 삽입되어 고정되는 복수의 지지홈이 일정 간격으로 전후로 형성되며, 상기 유리기판지지플레이트의 상측면 양측에 각각 설치되는 한 쌍의 제 1 지지홈어레이와,

상기 유리기판지지플레이트의 하측에 수직되게 고정되며, 상하로 이동가능하게 설치되는 형성되는 제 2 승강축과,

상기 제 2 승강축의 하부에 연결되는 제 2 수직이동볼스크루와,

상기 제 2 수직이동볼스크루에 나사결합되어 회전가능하게 수직되게 설치되는 제 2 수직리드스크루와,

상기 제 2 수직리드스크루를 회전시키는 제 2 승강모터

를 포함하는 것을 특징으로 하는 제논 검사시스템의 유리 기판 로딩/언로딩장치.
제 1 항에 있어서, 상기 유리기판지지수단은,

상기 복수의 유리 기판 상단이 각각 삽입되도록 전후 일정 간격으로 복수의 지지홈이 형성되는 제 1 지지홈어레이와,

상기 제 1 지지홈어레이를 상기 프레임의 상단에 결합시키는 고정브라켓으로 각각 이루어지며,

상기 프레임의 상단 양측에 각각 설치됨으로써 상기 유리기판승강수단에 의해 상기 제논라이트의 빔경로상에 위치하는 상기 복수의 유리 기판 상단을 지지하는 한 쌍의 어퍼가이드인 것을 특징으로 하는 제논 검사시스템의 유리 기판 로딩/언로딩장치.
제 7 항에 있어서, 상기 유리기판지지수단은,

상기 복수의 유리 기판 상단이 각각 삽입되도록 전후 일정 간격으로 복수의 지지홈이 형성되는 제 2 지지홈어레이와,

상기 제 2 지지홈어레이에 일단이 결합되며, 상기 제 2 지지홈어레이를 상기 프레임의 상단을 기준으로 상측에 고정시키거나 하측으로 이동시켜 상기 복수의 유리 기판 상단을 지지할 수 있도록 타단이 상기 프레임의 상단에 회전가능하게 고정되는 회전고정브라켓으로 각각 이루어지며,

상기 프레임의 상단 양측에 각각 설치되며, 상기 회전고정브라켓의 일단을 하방으로 회전시켜 고정시킴으로써 상기 제 2 지지홈어레이가 상기 유리기판승강수단에 의해 상기 제논라이트의 빔경로상에 위치함과 아울러 상기 어퍼가이드가 지지하는 상기 복수의 유리 기판과 다른 규격을 가지는 복수의 유리 기판의 상단을 지지하는 한 쌍의 보조어퍼가이드인 것을 특징으로 하는 제논 검사시스템의 유리 기판 로딩/언로딩장치.
제 7 항에 있어서, 상기 유리기판지지수단은,

상기 프레임의 측부에 결합되는 제 1 가이드블럭과,

상기 제 1 가이드블럭에 수평방향으로 관통하여 양단이 회전가능하게 고정되는 제 1 수평리드스크루와,

상기 제 1 수평리드스크루의 일단과 모터축이 기계적으로 연결되어 상기 제 1 수평리드스크루를 회전시키는 제 1 가이드구동모터와,

상기 제 1 수평리드스크루에 나사결합되는 제 1 수평이동볼스크루와,

상기 제 1 수평이동볼스크루에 일단이 연결되며, 상기 제 1 가이드블럭에 상기 제 1 수평리드스크루와 나란하게 슬라이딩 가능하게 삽입되는 복수의 제 1 가이드축과,

상기 복수의 제 1 가이드축의 타단에 결합됨과 아울러 일측면에 상기 복수의 유리 기판의 측단이 각각 삽입되도록 전후 일정 간격으로 복수의 가이드홈이 형성되는 가이드홈어레이로 각각 이루어져,

상기 프레임의 양측부에 서로 마주보도록 각각 설치되며, 상기 유리기판승강수단에 의해 상기 제논라이트의 빔경로상에 위치하는 상기 복수의 유리 기판의 양측단을 각각 가이드하는 한 쌍의 사이드가이드

를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 제논 검사시스템의 유리 기판 로딩/언로딩장치.
제 9 항에 있어서, 상기 사이드가이드는,

상기 프레임의 측부에서 높이 조절이 가능하도록 상기 프레임의 측부에 일정 간격을 두고 수직되게 상단과 하단이 고정브라켓에 의해 고정되는 제 1 수직가이드바에 상기 제 1 가이드블럭이 상하로 슬라이딩 가능하게 결합되어 고정되는 것을 특징으로 하는 제논 검사시스템의 유리 기판 로딩/언로딩장치.
제 7 항에 있어서, 상기 유리기판지지수단은,

상기 프레임의 측부에 결합되는 제 2 가이드블럭과,

상기 제 2 가이드블럭에 수평방향으로 관통하여 양단이 회전가능하게 고정되는 제 2 수평리드스크루와,

상기 제 2 수평리드스크루의 일단과 모터축이 기계적으로 연결되어 상기 제 2 수평리드스크루를 회전시키는 제 2 가이드구동모터와,

상기 제 2 수평리드스크루에 나사결합되는 제 2 수평이동볼스크루와,

상기 제 2 수평이동볼스크루에 일단이 연결되며, 상기 제 2 가이드블럭에 상기 제 2 수평리드스크루와 나란하게 슬라이딩 가능하게 삽입되는 복수의 제 2 가이드축과,

상기 복수의 제 2 가이드축의 타단에 결합됨과 아울러 상기 복수의 유리 기판의 측단 각각을 가이드하는 가이드부로 각각 이루어져,

상기 프레임의 양측부에 서로 마주보도록 각각 설치되며, 상기 유리기판승강수단에 의해 하강하여 상기 카세트에 장착되는 상기 복수의 유리 기판의 양측단을 각각 가이드하는 한 쌍의 보조사이드가이드

를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 제논 검사시스템의 유리 기판 로딩/언로딩장치.
제 11 항에 있어서, 상기 가이드부는,

상기 복수의 제 2 가이드축의 타단에 결합되는 결합부재와,

단면이 "ㄴ"자 형상으로 형성되며, 중심이 상기 결합부재에 상하로 회전가능하게 힌지결합되는 가이드부재와,

상기 가이드부재의 상단과 하단에 상기 복수의 유리기판의 측단을 각각 지지하도록 전후 길이방향으로 일정 간격으로 회전가능하게 결합되는 복수의 가이드롤러와,

상기 복수의 가이드롤러중 상측에 위치하는 복수의 가이드롤러가 하측에 위치하는 복수의 가이드롤러에 비해 상기 유리 기판의 측단을 향해 돌출되도록 상기 결합부재와 상기 가이드부재 사이에 설치되는 탄성부재

를 포함하는 것을 특징으로 하는 제논 검사시스템의 유리 기판 로딩/언로딩장치.
제 11 항에 있어서, 상기 보조사이드가이드는,

상기 프레임의 측부에서 높이 조절이 가능하도록 상기 프레임의 측부에 일정 간격을 두고 수직되게 상단과 하단이 고정브라켓에 의해 고정되는 제 2 수직가이드바에 상기 제 2 가이드블럭이 상하로 슬라이딩 가능하게 결합되어 고정되는 것을 특징으로 하는 제논 검사시스템의 유리 기판 로딩/언로딩장치.