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KR100475318B1 - Multiplex bucket brigade circuit - Google Patents

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Publication number
KR100475318B1
KR100475318B1 KR10-2002-7013537A KR20027013537A KR100475318B1 KR 100475318 B1 KR100475318 B1 KR 100475318B1 KR 20027013537 A KR20027013537 A KR 20027013537A KR 100475318 B1 KR100475318 B1 KR 100475318B1
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KR
South Korea
Prior art keywords
charge
capacitor
path
coupled
capacitors
Prior art date
Application number
KR10-2002-7013537A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20030005272A (en
Inventor
메리 제이. 헤윗트
존 엘 밤폴라
레오나르드 피. 첸
Original Assignee
레이티언 캄파니
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 레이티언 캄파니 filed Critical 레이티언 캄파니
Priority to KR10-2002-7013537A priority Critical patent/KR100475318B1/en
Publication of KR20030005272A publication Critical patent/KR20030005272A/en
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Publication of KR100475318B1 publication Critical patent/KR100475318B1/en

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    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N25/00Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
    • H04N25/70SSIS architectures; Circuits associated therewith
    • H04N25/71Charge-coupled device [CCD] sensors; Charge-transfer registers specially adapted for CCD sensors

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Multimedia (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
  • Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)

Abstract

이미지 센싱 어레이와 함께 유용한 센서 칩 어셈블리 시간 지연 적분 회로는, 2이상의 전하 전송 경로를 구비하는 듀플렉스 버킷 브리게이드 회로(120), 전하 전송 경로에 공통인 복수의 커패시터(130, 133, 136), 및 각각의 전하 전송 경로에 특정된 복수의 커패시터(131, 132, 134, 135)를 이용한다. 각각의 전하 전송 경로는 직렬로 결합되어 있는 복수의 MOSFET 전송 게이트(122, 124, 126, 128; 123, 125, 127, 129)를 가지며, 공통 커패시터와 경로 특정의 커패시터는 교대로 경로에 결합되어 있다. 각각의 공통 커패시터는 단위 셀 입력 회로(113, 116, 119), 리세트 노드(111, 114, 117), 또는 개방회로에 제어가능하게 결합되어 있다(112, 115, 118). 경로 특정의 커패시터에, 교대로 있는 센서 라인으로부터 축적된 이미지 센서 전하를 저장함으로써 회로가 동작한다. 공통 커패시터는 리세트되고 그 후 단위 셀 입력 회로에 결합되어 있는 제1 세트의 이미지 센서 전하를 획득한다. 예를 들면, 특정 경로의 커패시터에 저장된 전하는, 그 후 전송 게이트를 통하여 공통 커패시터로 전송되고, 실질적으로 공통 커패시터에 전하를 축적시킨다. 그 후, 전하가 공통 커패시터로부터 동일한 특정 경로의 커패시터로 전송되어 다시 전하를 저장한다. 리세트, 전하획득, 합산전송, 및 저장전송의 시퀀스는 각각의 전하 전송 경로에 대하여 반복된다.Sensor chip assembly time delay integration circuits useful with image sensing arrays include duplex bucket brigade circuits 120 having two or more charge transfer paths, a plurality of capacitors 130, 133, and 136 common to the charge transfer paths, and A plurality of capacitors 131, 132, 134, 135 specified in each charge transfer path is used. Each charge transfer path has a plurality of MOSFET transfer gates 122, 124, 126, 128; 123, 125, 127, 129 coupled in series, with a common capacitor and path specific capacitors alternately coupled to the path. have. Each common capacitor is controllably coupled to unit cell input circuits 113, 116, 119, reset nodes 111, 114, 117, or open circuits 112, 115, 118. The circuit operates by storing the image sensor charge accumulated from the alternating sensor lines in the path specific capacitor. The common capacitor is reset and then acquires a first set of image sensor charges that are coupled to the unit cell input circuitry. For example, charge stored in a capacitor in a particular path is then transferred through a transfer gate to a common capacitor, substantially accumulating charge in the common capacitor. Thereafter, charge is transferred from the common capacitor to the capacitor of the same specific path to store the charge again. The sequence of reset, charge acquisition, summation transfer, and store transfer is repeated for each charge transfer path.

Description

멀티플렉스 버킷 브리게이드 회로{MULTIPLEX BUCKET BRIGADE CIRCUIT}Multiplex Bucket Brigade Circuit {MULTIPLEX BUCKET BRIGADE CIRCUIT}

본 발명은 이미지 센싱 어레이의 출력을 처리하는데 유용한 회로에 관한 것이다. 특히, 본 발명은 이미지 센싱 어레이의 출력을 처리하는데 유용한 시간 지연 적분(TDI)회로에 관한 것이다.The present invention relates to circuitry useful for processing the output of an image sensing array. In particular, the present invention relates to a time delay integration (TDI) circuit useful for processing the output of an image sensing array.

TDI(Time Delay Integration) 아키텍처는 양호한 감도를 얻기 위한 CCD(Charge Coupled Device) 이미지 센서와 같은 고속 디지털 이미지 센싱 장치에서 장착되는 것이 통상적이지만, 예를 들면, 적외선, 가시광선, 및 X선 파장을 다양하게 감지하는 많은 다양한 형태의 이미지 센싱 어레이에 있어서도 유용하다. TDI 아키텍처에서, 이미지 센싱 어레이는 광학적으로 스캐닝됨에 있어서, 그 이미지의 각각의 부분이 어레이의 상이한 부분들(통상적으로는 라인들)에 의해 동기 및 지연 방식으로 감지된다. 이미지의 각각의 부분에 대한 이미지 센싱 어레이의 시간에 걸친 복수의 출력들이 합산됨으로써, 이미지 센싱 장치의 감도 및 공간 해상도를 향상시킨다. 이미지 센싱 장치 성능의 척도중의 하나는, 공간주파수-대-변조비(입력신호의 변조에 대한 출력신호의 변조의 비)로서 정의되는 MTF(Modulation Transfer Function)이다.Time Delay Integration (TDI) architectures are typically mounted in high-speed digital image sensing devices such as charge coupled device (CCD) image sensors to achieve good sensitivity, but can vary in wavelengths of infrared, visible and x-ray wavelengths, for example. It is also useful for many different types of image sensing arrays. In a TDI architecture, an image sensing array is optically scanned such that each portion of the image is sensed in a synchronous and delayed manner by different portions (typically lines) of the array. The plurality of outputs of the image sensing array over time for each portion of the image are summed up to improve the sensitivity and spatial resolution of the image sensing device. One measure of image sensing device performance is the Modulation Transfer Function (MTF), which is defined as the spatial frequency-to-modulation ratio (ratio of modulation of the output signal to modulation of the input signal).

전형적으로, TDI회로는 ROIC(Read-out Integrated Circuit)로 알려진 실리콘 기반 집적회로의 타입내에 구현되며, 이 타입의 회로는 센싱 어레이와 결합되어 SCA(Sensor Chip Assembly)를 형성한다. SCA는 예를 들면, 야간 비전 카메라, 감시 카메라, 원격 이미징 카메라, 및 제조라인 검사 카메라를 포함하는 다양한 디지털 이미징 시스템에서 이용되며, SADA(standard army dewar assembly)형 애플리케이션 및 삼색 액티비티(three color activity)에 대하여도 적절히 이용될 수 있다. 삼색 액티비티는 SCA에 하나 이상의 스펙트럼 밴드(즉, 색)을 구현하는 스캐닝 시스템이다. 각각의 색은 단일 스펙트럼 색이 입사하는 센싱 소자의 뱅크에 의해 정의된다. SCA는 센싱 어레이가 비실리콘 반도체 재료로 이루어지는 경우에 특히 유용한데, 이 비실리콘 반도체 재료는 전자기적 스펙트럼의 다양한 유용 부분들에 대하여 고유하게 민감하기 때문에 전형적으로 이용된다. 이미지 정보는 전하의 형태로 이미징 어레이에 생성된다. 전하는 전형적인 실리콘 기반 ROIC에 의해 수집되고 처리된다. SCA는 ROIC와는 별도로 센싱 어레이를 제조하고 보통의 기판 또는 보통의 인쇄 회로 기판상에 센싱 어레이 및 ROIC를 탑재하는 것으로부터, ROIC 기판상에 센싱 어레이 기판을 탑재하며 그 후 센싱 어레이를 제조하는 것에 이르기까지 다양한 공지기술을 이용하여 제조된다.Typically, TDI circuits are implemented within a type of silicon-based integrated circuit known as a read-out integrated circuit (ROIC), which is combined with a sensing array to form a sensor chip assembly (SCA). SCA is used in a variety of digital imaging systems, including, for example, night vision cameras, surveillance cameras, remote imaging cameras, and manufacturing line inspection cameras, as well as standard army dewar assembly (SADA) type applications and three color activities. It can also be used as appropriate. Tricolor activity is a scanning system that implements one or more spectral bands (ie, colors) in an SCA. Each color is defined by a bank of sensing elements into which a single spectral color is incident. SCA is particularly useful when the sensing array consists of non-silicon semiconductor material, which is typically used because it is inherently sensitive to various useful portions of the electromagnetic spectrum. Image information is generated in the imaging array in the form of charge. Charge is collected and processed by a typical silicon-based ROIC. SCA manufactures sensing arrays separately from ROICs and mounts the sensing arrays and ROICs on ordinary or ordinary printed circuit boards, mounting the sensing array substrates on ROIC substrates, and then manufacturing the sensing arrays. It is manufactured using a variety of known techniques.

시간 지연 적분은 사이드 라이더(side rider) 구성에서 CCD 어레이를 이용하는 SCA TDI 아키텍처에서 수행될 수 있다. 불행히도, 이 집적회로에 대한 설계규칙은 큰 저장 웰(storage well) 및 그 밖의 다른 회로 소자들이 작은 단위 셀 영역에의 단위 셀에 배치되는 것을 허용하지 않으므로, CCD 센싱 장치의 최대 해상도를 제한하게 되어 버린다. 또한, 시간 지연 적분은 CCD대신에 표준적인 버킷 브리게이드(BBD) 회로를 이용하여 실시될 수 있지만, 이미지 센싱 어레이의 출력을 처리하는데 유용한 TDI 회로로서, MTF를 유지 또는 향상시키면서 사이드 라이더 CCD 구현에 요구되는 ROIC 회로에 비하여 감소된 ROIC 회로를 구비하는 TDI 회로가 필요하게 된다.Time delay integration can be performed in an SCA TDI architecture using a CCD array in a side rider configuration. Unfortunately, the design rules for this integrated circuit do not allow large storage wells and other circuit elements to be placed in a unit cell in a small unit cell area, thereby limiting the maximum resolution of the CCD sensing device. Throw it away. In addition, the time delay integration can be performed using a standard bucket brigade (BBD) circuit instead of the CCD, but is a useful TDI circuit for processing the output of an image sensing array, which is useful for implementing side rider CCDs while maintaining or improving the MTF. There is a need for a TDI circuit with a reduced ROIC circuit compared to the required ROIC circuit.

도 1은 CCD 기반의 사이드 라이더 SCA 아키텍처의 개략적 블록도.1 is a schematic block diagram of a CCD based side rider SCA architecture.

도 2는 버킷 브리게이드 회로의 회로도.2 is a circuit diagram of a bucket brigade circuit.

도 3은 본 발명에 따르는, 드웰당 2샘플의 SCA TDI를 위한 듀플렉스 버킷 브리게이드 회로의 회로도.3 is a circuit diagram of a duplex bucket brigade circuit for two samples of SCA TDI per dwell in accordance with the present invention.

도 4는 단위 셀 전하가 회로내로 전송되는 방법을 도시하는 도 3의 듀플렉스 버킷 브리게이드 회로의 회로도.4 is a circuit diagram of the duplex bucket brigade circuit of FIG. 3 showing how unit cell charge is transferred into the circuit.

도 5는 단위 셀 전하가 이전의 짝수 샘플들에 더해지는 방법을 도시하는 도 3의 듀플렉스 버킷 브리게이드 회로의 회로도.5 is a circuit diagram of the duplex bucket brigade circuit of FIG. 3 showing how unit cell charge is added to previous even samples.

도 6은 공통 커패시터 전하가 짝수 경로 커패시터로 이동되는 방법을 도시하는 도 3의 듀플렉스 버킷 브리게이드 회로의 회로도.6 is a circuit diagram of the duplex bucket brigade circuit of FIG. 3 illustrating how common capacitor charge is transferred to an even path capacitor.

도 7은 공통 커패시터가 리세트되는 방법을 도시하는 도 3의 듀플렉스 버킷 브리게이드 회로의 회로도.7 is a circuit diagram of the duplex bucket brigade circuit of FIG. 3 showing how the common capacitor is reset.

도 8은 단위 셀 전하가 회로내로 전송되는 방법을 도시하는 도 3의 듀플렉스 버킷 브리게이드 회로의 회로도.8 is a circuit diagram of the duplex bucket brigade circuit of FIG. 3 showing how unit cell charge is transferred into the circuit.

도 9는 단위 셀 전하가 이전의 홀수 샘플들에 더해지는 방법을 도시하는 도 3의 듀플렉스 버킷 브리게이드 회로의 회로도.9 is a circuit diagram of the duplex bucket brigade circuit of FIG. 3 showing how unit cell charge is added to previous odd samples.

도 10은 공통 커패시터 전하가 홀수 경로 커패시터로 이동되는 방법을 도시하는 도 3의 듀플렉스 버킷 브리게이드 회로의 회로도.10 is a circuit diagram of the duplex bucket brigade circuit of FIG. 3 showing how common capacitor charge is transferred to an odd path capacitor.

도 11은 상향 전송 처리(transfer up process)에 이용되는 다양한 클럭 및 제어 신호의 파형도.11 is a waveform diagram of various clock and control signals used in a transfer up process.

도 12는 하향 전송 처리(transfer down process)에 이용되는 다양한 클럭 및 제어 신호의 파형도.12 is a waveform diagram of various clock and control signals used in a transfer down process.

[발명의 개요][Overview of invention]

당해 기술 분야의 상술한 필요성은 본 발명에 의해 다루어지며, 본 발명의 일 실시예는, 드웰당 n개의 샘플을 획득하는 시간 지연 적분 회로이다. 시간 지연 적분 회로는, 복수의 제1 커패시터; 제1 커패시터에 각각 제어가능하게 결합되어 있는 복수의 이미징 센서 단위 셀 입력; n개의 제2 커패시터의 복수의 그룹; 및 제1 커패시터중 하나와 제2 커패시터 그룹중 하나 그룹내의 각각의 제2 커패시터에 교대로 연속하여 결합되어 있는 경로 세그먼트를 통하여 직렬로 결합되어 있는 전송 게이트를 포함하는 복수 n개의 전하 전송 경로를 포함한다.The foregoing need in the art is addressed by the present invention, and one embodiment of the present invention is a time delay integration circuit that obtains n samples per dwell. The time delay integration circuit includes a plurality of first capacitors; A plurality of imaging sensor unit cell inputs controllably coupled to the first capacitor, respectively; a plurality of groups of n second capacitors; And a plurality of charge transfer paths including a transfer gate coupled in series through a path segment that is alternately coupled to each second capacitor in one of the first and second groups of capacitors in series. do.

본 발명의 또 다른 실시예는, 복수의 제1 커패시터; 제1 커패시터에 각각 제어가능하게 결합되어 있는 복수의 이미징 센서 단위 셀 입력; 제1 커패시터에 각각 제어가능하게 결합되어 있는 복수의 리세트 입력; 복수의 제2 커패시터; 복수의 제3 커패시터; 제1 및 제2 커패시터의 각각의 하나에 교대로 결합되어 있는 복수의 제1 경로 세그먼트를 통하여 직렬로 결합되어 있는 복수의 제1 전송 경로를 포함하는 제1 전하 전송 경로; 및 제1 및 제3 커패시터의 각각의 하나에 교대로 결합되어 있는 복수의 제2 경로 세그먼트를 통하여 직렬로 결합되어 있는 복수의 제2 전송 게이트를 포함하는 제2 전하 전송 경로를 포함하는 시간 지연 적분 회로이다.Another embodiment of the present invention, a plurality of first capacitors; A plurality of imaging sensor unit cell inputs controllably coupled to the first capacitor, respectively; A plurality of reset inputs controllably coupled to the first capacitor, respectively; A plurality of second capacitors; A plurality of third capacitors; A first charge transfer path comprising a plurality of first transfer paths coupled in series through a plurality of first path segments alternately coupled to each one of the first and second capacitors; And a second charge transfer path comprising a plurality of second transfer gates coupled in series through a plurality of second path segments alternately coupled to each one of the first and third capacitors. Circuit.

본 발명의 또 다른 실시예는 복수의 연속하여 결합된 회로 그룹을 포함하는 센서 칩 어셈블리 시간 지연 적분 회로이다. 각각의 회로 그룹은 제1 위상 클럭 노드; 제2 위상 클럭 노드; 리세트 노드; 단위 셀 입력 회로; 제2 위상 클럭 노드에 결합되어 있는 제1 플레이트 및 제2 플레이트를 구비하는 제1 커패시터; 리세트 노드에 결합되어 있는 제1 단자, 단위 셀 입력 회로에 결합되어 있는 제2 단자, 및 제1 커패시터의 제2 플레이트에 결합되어 있는 극(pole) 단자를 구비하는 스위치; 제1 커패시터의 제2 플레이트에 결합되어 있는 제1 단자 및 제2 단자를 구비하는 제1 전송 게이트; 제1 커패시터의 제2 플레이트에 결합되어 있는 제1 단자 및 제2 단자를 구비하는 제2 전송 게이트; 제1 커패시터의 제2 플레이트에 결합되어 있는 제1 단자 및 제2 단자를 구비하는 제3 전송 게이트; 제1 커패시터의 제2 플레이트에 결합되어 있는 제1 단자 및 제2 단자를 구비하는 제4 전송 게이트; 제1 위상 클럭 노드에 결합되어 있는 제1 플레이트 및 제4 전송 게이트의 제2 단자에 결합되어 있는 제2 플레이트를 구비하는 제2 커패시터; 및 제1 위상 클럭 노드에 결합되어 있는 제1 플레이트 및 제3 전송 게이트의 제2 단자에 결합되어 있는 제2 플레이트를 구비하는 제3 커패시터를 포함한다. 회로 그룹중 각각의 이웃하는 그룹들의 제1 전송 게이트의 제2 단자 및 제3 전송 게이트의 제2 단자는 함께 접속되어 있으며, 회로 그룹중 각각의 이웃하는 그룹들의 제2 전송 게이트의 제2 단자 및 제4 전송 게이트의 제2 단자는 함께 접속되어 있다.Yet another embodiment of the present invention is a sensor chip assembly time delay integration circuit comprising a plurality of consecutively coupled circuit groups. Each circuit group comprises a first phase clock node; A second phase clock node; Reset node; Unit cell input circuits; A first capacitor having a first plate and a second plate coupled to a second phase clock node; A switch having a first terminal coupled to the reset node, a second terminal coupled to the unit cell input circuit, and a pole terminal coupled to the second plate of the first capacitor; A first transfer gate having a first terminal and a second terminal coupled to a second plate of the first capacitor; A second transfer gate having a first terminal and a second terminal coupled to a second plate of the first capacitor; A third transfer gate having a first terminal and a second terminal coupled to the second plate of the first capacitor; A fourth transfer gate having a first terminal and a second terminal coupled to the second plate of the first capacitor; A second capacitor having a first plate coupled to a first phase clock node and a second plate coupled to a second terminal of a fourth transfer gate; And a third capacitor having a first plate coupled to the first phase clock node and a second plate coupled to the second terminal of the third transfer gate. The second terminal of the first transfer gate of each neighboring group of the circuit group and the second terminal of the third transfer gate are connected together, the second terminal of the second transfer gate of each neighboring group of the circuit group, and The second terminal of the fourth transfer gate is connected together.

본 발명의 또 다른 실시예는 이미지 센서 전하의 시간 지연 적분 방법으로서, 복수의 제1 커패시터 및 복수의 제2 커패시터 각각에 교대로 있는 센서 라인으로부터 축적된 이미지 센서 전하를 저장하는 단계; 복수의 제3 커패시터를 리세트하는 단계; 제3 커패시터에의 이미지 센서 전하의 제1 세트를 수신하는 단계; 일 세트의 제1 전송 게이트를 통하여 제1 커패시터로부터 각각의 제3 커패시터로 전하를 전송하여 제3 커패시터들에 축적시키는 단계; 일 세트의 제2 전송 게이트를 통하여 제3 커패시터로부터 각각 제1 커패시터로 전하를 전송하는 단계; 제3 커패시터를 리세트하는 단계; 제3 커패시터에의 제2 세트의 이미지 센서 전하를 수신하는 단계; 일 세트의 제3 전송 게이트를 통하여 제2 커패시터로부터 각각의 제3 커패시터로 전하를 전송하여 제3 커패시터들에 축적시키는 단계; 및 일 세트의 제4 전송 게이트를 통하여 제3 커패시터로부터 각각 제2 커패시터로 전하를 전송하는 단계를 포함하는 이미지 센서 전하의 시간 지연 적분 방법이다.Still another embodiment of the present invention provides a method of time delay integration of an image sensor charge, the method comprising: storing image sensor charge accumulated from sensor lines alternately in each of a plurality of first capacitors and a plurality of second capacitors; Resetting a plurality of third capacitors; Receiving a first set of image sensor charges to a third capacitor; Transferring charge from the first capacitor to each third capacitor through a set of first transfer gates to accumulate in the third capacitors; Transferring charge from the third capacitor to the first capacitor through the set of second transfer gates, respectively; Resetting the third capacitor; Receiving a second set of image sensor charges to a third capacitor; Transferring charge from the second capacitor to each third capacitor through a set of third transfer gates to accumulate in the third capacitors; And transferring charge from the third capacitor to the second capacitor through the set of fourth transfer gates, respectively.

이하, 본 발명을 교시하기 위하여 예시적인 실시예 및 전형적인 응용예를 첨부한 도면을 참조하며 설명한다. DETAILED DESCRIPTION Hereinafter, exemplary embodiments and typical applications will be described with reference to the accompanying drawings in order to teach the present invention.

도 1은 사이드 라이더 구성으로 CCD 어레이를 이용하여 시간 지연 적분이 수행되는 SCA TDI 아키텍처를 도시하고 있다(참조문헌, High Performance InSb Scanning Sensor Chip with 26 In TDI, IRIS 회보, 1992년 8월). 사이드 라이더 CCD 구현은 멀티플렉스된 단위 셀 출력으로부터 CCD 회로의 버킷의 하나 걸러서 하나씩에 전하를 주입함으로써 동작한다. 노이즈를 감소시키기 위한 도 1의 CCD 회로에 필요한 저장 웰의 크기에 기인하여, 통상적으로 저장 웰의 영역은 크게 되어 있다. 불행히도, 집적회로에 대한 설계규칙은 약 32㎛×64㎛ 보다 작은 단위 셀 영역에 대하여, BBD 회로(10)의 큰 저장 웰 및 그밖의 다른 소자들이 단위 셀에 배치되는 것을 허용하지 않으므로, CCD 센싱 장치의 최대 해상도를 제한하게 된다.1 illustrates an SCA TDI architecture in which time delay integration is performed using a CCD array in a side rider configuration (Ref., High Performance InSb Scanning Sensor Chip with 26 In TDI, IRIS Bulletin, August 1992). Side rider CCD implementations work by injecting charge into every other bucket of the CCD circuit from the multiplexed unit cell output. Due to the size of the storage well required for the CCD circuit of FIG. 1 for reducing noise, the area of the storage well is typically large. Unfortunately, the design rules for integrated circuits do not allow large storage wells and other elements of the BBD circuit 10 to be placed in the unit cell for a unit cell area smaller than about 32 μm × 64 μm, thus providing CCD sensing. It will limit the maximum resolution of the device.

도 2는 시간 지연 적분을 실시하는데 유용한 일 타입의 버킷 브리게이드(BBD) 회로의 일 예이다.2 is an example of one type of bucket brigade (BBD) circuit useful for performing time delay integration.

도 3은 축소된 ROIC 회로로 SCA TDI를 수행하여, 단위 셀에 TDI 기능이 배치되는 것을 허용하는 듀플렉스 BBD 회로(120)의 대표적인 세그먼트를 도시하고 있다. 종래의 레이아웃 기술 및 제조공정만으로도, 사이드 라이더 CCD 구현에 비하여 최대로 약 70%의 ROIC 영역의 축소가 이루어질 수 있으므로, 따라서 약 10㎛×64㎛의 영역에 듀플렉스 BBD 회로(120)가 배치될 수 있어, TDI는 여전히 입력 회로에 이용가능한 여유를 가지고 단위 셀에서 수행될 수 있다. 따라서, 사이드 라이더 CCD 구현에 비하여 ROIC 수율의 향상, ROIC 비용의 향상, 및 해상도의 향상이 이루어질 수 있다. 더욱이, 사이드 라이더 CCD 구현에 이용되는 2 레벨 폴리실리콘 구조에 사용되는 특정한 공정이 필요하지 않게 된다.3 shows a representative segment of a duplex BBD circuit 120 that performs SCA TDI with a reduced ROIC circuit, allowing the TDI function to be placed in a unit cell. In the conventional layout technology and manufacturing process alone, the maximum reduction of the ROIC area by about 70% can be achieved as compared to the side rider CCD implementation, and thus the duplex BBD circuit 120 can be disposed in the area of about 10 μm × 64 μm. TDI can still be performed in the unit cell with the margin available for input circuitry. Accordingly, the ROIC yield, the ROIC cost, and the resolution can be improved compared to the side rider CCD implementation. Moreover, the specific process used for the two-level polysilicon structures used to implement side rider CCDs is eliminated.

듀플렉스 BBD 회로(120)에서의 크기 축소는 많은 이유에서 실현 가능하다. 예를 들면, 듀플렉스 BBD 회로(120)는 TDI를 수행하는데 필요한 전송의 수를 2배 이상 감소시킴으로써, 표준적 BBD 구현에 비교하여 동일한 노이즈 성능에 대하여 커패시터 크기를 2의 제곱근(전송의 수의 감소의 제곱근)배 만큼 감소되도록 한다. CCD 또는 표준적 BBD 구현에 비하여 필요한 전하 전송 효율은 2배만큼 감소된다. 또 다른 예는 단위 셀 레벨에서 구현되는 병렬신호 경로를 사용하는 것이며, 이것은 저장 커패시터의 공유를 허용하여(정보의 두 샘플을 저장하는데 세 개의 저장 커패시터만 필요함) 사실상 드웰당 2샘플 시스템에 대하여 약 25%의 커패시터수의 감소 및 전체 커패시터 영역의 감소를 얻을 수 있게 된다. 따라서, 더 낮은 ROIC 복잡도로 성능이 향상된다. 또한, 공통 커패시터는 전하가 더해지기 전에 용이하게 리세트되어, 종합적인 전송 효율(composite transfer efficiency)을 향상시키고, 스캔 방향에서의 크로스토크를 감소시키며, 이것은 스캐닝 SCA에서 양호한 MTF를 달성하는데 유용하게 된다. 일반적으로, TDI 회로에서 이용되는 멀티플렉스 BBD 구조는 TDI 샘플의 전송의 수를 드웰당 샘플의 수와 무관하게 센싱 소자의 수까지 감소시키고, BBD 커패시터중 일부의 리세트를 통하여 MTF를 증가시킨다. 전송의 수를 감소시킴으로써, 커패시터의 수와 커패시터 크기를 감소시키고, 또한 MTF를 향상시키게 된다Size reduction in the duplex BBD circuit 120 is feasible for many reasons. For example, the duplex BBD circuit 120 reduces the number of transmissions required to perform TDI by more than two times, thereby reducing the capacitor size by two square roots (reducing the number of transmissions) for the same noise performance compared to a standard BBD implementation. Square root of The charge transfer efficiency required is reduced by 2 times compared to CCD or standard BBD implementations. Another example is the use of parallel signal paths implemented at the unit cell level, which allows for the sharing of storage capacitors (only three storage capacitors are needed to store two samples of information), in fact about two sample systems per dwell. A 25% reduction in the number of capacitors and a reduction in the overall capacitor area can be obtained. Thus, performance is improved with lower ROIC complexity. In addition, common capacitors are easily reset before charge is added, improving overall transfer efficiency and reducing crosstalk in the scan direction, which is useful for achieving good MTF in scanning SCA. do. In general, the multiplex BBD structure used in TDI circuits reduces the number of transmissions of TDI samples to the number of sensing elements, regardless of the number of samples per dwell, and increases the MTF through the reset of some of the BBD capacitors. Reducing the number of transmissions reduces the number of capacitors and capacitor size, and also improves the MTF.

양방향성은, 예로서, 본 출원인에게 함께 양도된 미국특허출원(발명의 명칭: Bi-directional Bucket Brigade Circuit, 발명자: Chen 등, 미국대리인 사건번호 PDR98190, 본 명세서는 이 출원 내용 전체를 참고로서 인용함)에 기재된 기술을 이용하여 실현될 수 있다.Bidirectional, for example, US patent application (inventive name: Bi-directional Bucket Brigade Circuit, inventor: Chen et al., US Representative Case No. PDR98190, hereby incorporated by reference in its entirety) It can be realized using the technique described in the).

도 3은 각각의 단위 셀 입력(113, 116, 119)을 구비하는 부분 셀(140), 완전 셀(150), 및 부분 셀(160)의 대표적인 3개의 단위 셀을 예시적으로 도시하고 있다. 듀플렉스 BBD 회로(120)의 짝수 경로는 직렬로 연결되어 있는 MOSFET 트랜지스터(122, 124, 126, 128)와 같은 전송 게이트를 구비하며, 듀플렉스 BBD 회로(120)의 홀수 경로는 직렬로 연결되어 있는 MOSFET 트랜지스터(123, 125, 127, 129)와 같은 전송 게이트를 구비한다. 적절한 MOSFET 트랜지스터는 당해기술분야에 공지되어 있다. 클럭 위상 2에 의해 제어되는 공통 커패시터(130, 133, 136), 및 클럭 위상 1에 의해 제어되는 짝수-홀수 커패시터 쌍(132-131, 134-135)는 듀플렉스 BBD 회로(120)의 짝수 경로와 홀수 경로 사이에 교대로 결합되어 있다. 적절한 반도체 커패시터는 당해기술분야에 공지되어 있다. 트랜지스터 스위치(112)는 공통 커패시터(130)를 단위 셀 입력(113), 리세트(111), 또는 개방회로에 제어가능하게 결합시킨다. 마찬가지로, 트랜지스터 스위치(115)는 공통 커패시터(133)를 단위 셀 입력(116), 리세트(114), 또는 개방회로에 제어가능하게 결합시키고, 트랜지스터 스위치(118)는 공통 커패시터(136)를 단위 셀 입력(119), 리세트(117), 또는 개방회로에 제어가능하게 결합시킨다. 적절한 MOSFET 트랜지스터 스위치는 당해기술분야에 공지되어 있다.3 exemplarily shows three representative unit cells of a partial cell 140, a full cell 150, and a partial cell 160 with respective unit cell inputs 113, 116, 119. The even path of the duplex BBD circuit 120 has the same transfer gate as the MOSFET transistors 122, 124, 126, 128 connected in series, and the odd path of the duplex BBD circuit 120 is connected in series with the MOSFET. And a transfer gate such as transistors 123, 125, 127, 129. Suitable MOSFET transistors are known in the art. Clock phase Common capacitors 130, 133, 136, and clock phase controlled by two The even-odd capacitor pairs 132-131 and 134-135 controlled by 1 are alternately coupled between the even and odd paths of the duplex BBD circuit 120. Suitable semiconductor capacitors are known in the art. Transistor switch 112 controllably couples common capacitor 130 to unit cell input 113, reset 111, or open circuit. Similarly, transistor switch 115 controllably couples common capacitor 133 to unit cell input 116, reset 114, or open circuit, and transistor switch 118 unites common capacitor 136. Controllably couple to cell input 119, reset 117, or open circuit. Suitable MOSFET transistor switches are known in the art.

회로(120)가 예시적으로 홀수 및 짝수로 지정되는 2개의 전하 전송 경로를 구비하는 듀플렉스 회로로서 도시되지만, 회로(120)는 2, 3, 또는 그 이상의 전하 전송 경로를 구비하여 드웰당 2, 3, 또는 그 이상의 샘플을 얻는 멀티플렉스 BBD 회로를 나타내는 것으로 고려되어야 하는 점이 이해될 것이다. '드웰'은 유효하게 전하가 적분되는 시간이다. 회로가 더 필요하게 되더라도, 드웰당 더 높은 배수의 샘플들을 필요로 하는 시스템은 그 크기를 감소시키면서도 감도를 향상시키는 것이 바람직하다.Although circuit 120 is illustratively shown as a duplex circuit with two charge transfer paths designated odd and even, circuit 120 has two, three, or more charge transfer paths at two, per dwell. It will be appreciated that it should be considered to represent a multiplex BBD circuit that obtains three or more samples. 'Dwell' is the time when the charge is effectively integrated. Although more circuitry is needed, systems that require higher multiples of samples per dwell are desirable to improve sensitivity while reducing their size.

듀플렉스 BBD 회로(120)의 동작을 도 4 내지 도 10을 참조하며 설명한다. 이 도면들에서, 일 노드에서의 전위는, 검출기가 시작하는 접지 위치를 가리키는 문자, 및 TDI 번호를 가리키는 숫자첨자를 포함하는 박스로 표시된다. 상향 전송 처리시 및 하향 전송 처리시에 이용되는 다양한 클럭 및 제어 신호들은 각각 도 11 및 12에 도시된다.The operation of the duplex BBD circuit 120 will be described with reference to FIGS. 4 to 10. In these figures, the potential at one node is represented by a box containing a letter indicating the ground position at which the detector starts, and a numeric subscript indicating the TDI number. Various clock and control signals used in the uplink transmission process and the downlink transmission process are shown in FIGS. 11 and 12, respectively.

도 4는 단위 셀 전하가 듀플렉스 BBD 회로(120)내로 전송되어 짝수 경로를 따라 전파되는 방법을 도시하는 도 3의 듀플렉스 버킷 브리게이드 회로의 회로도이다. 공통 커패시터(130, 133, 136)는 리세트 상태에서 시작하는 것으로 가정한다. 커패시터(131, 132, 134, 135)는 각각 전하 D1+2, C1+2, A1+2+3, B1+2+3을 포함한다. 스위치(112, 115, 118)가 클럭 위상 2와 동기하여 단위 셀 입력(113, 116, 119)을 선택함으로써, 전하 E2를 공통 커패시터(130)로, 전하 C3를 공통 커패시터(133)로, 전하 A4를 공통 커패시터(136)로 전송한다.4 is a circuit diagram of the duplex bucket brigade circuit of FIG. 3 illustrating how unit cell charge is transferred into duplex BBD circuit 120 and propagated along an even path. It is assumed that common capacitors 130, 133, and 136 start in the reset state. Capacitors 131, 132, 134, 135 each contain charges D 1 + 2 , C 1 + 2 , A 1 + 2 + 3 , B 1 + 2 + 3 . Switches 112, 115, and 118 are clock phase By selecting unit cell inputs 113, 116, 119 in synchronization with 2 , charges E 2 are common capacitors 130, charges C 3 are common capacitors 133, and charges A 4 are common capacitors 136. send.

도 5는 단위 셀 전하가 이전의 짝수 샘플에 더해지는 방법을 도시하는 도3의 듀플렉스 버킷 브리게이드 회로의 회로도이다. 짝수 경로의 트랜지스터(124, 128)는 클럭 위상 1 2와 동기하여 인에이블됨으로써, 짝수 경로 트랜지스터(124)를 통하여 전하 C1+2를 이동시켜 공통 커패시터(133)의 전하 C3에 더하고, 짝수 경로 트랜지스터(128)를 통하여 전하 A1+2+3을 이동시켜 공통 커패시터(136)의 전하 A4에 더한다. 짝수 경로 커패시터(131, 135)의 전하 D1+2 및 B1+2+3은 교란되지 않는다.5 is a circuit diagram of the duplex bucket brigade circuit of FIG. 3 showing how unit cell charge is added to a previous even sample. Even path transistors 124 and 128 have a clock phase 1 and 2 in synchronism with the enable thereby, to move the charge C 1 + 2 through the even-numbered channel transistor 124 adds to the charge C 3 of the common capacitor 133, through the even-numbered channel transistor 128 charges A 1 + 2 + Move 3 to add to charge A 4 of common capacitor 136. The charges D 1 + 2 and B 1 + 2 + 3 of the even path capacitors 131, 135 are not disturbed.

도 6은 공통 커패시터 전하가 공통 커패시터로부터 짝수 경로 커패시터로 이동되어 공통 커패시터는 후속하는 홀수 경로 동작에 대하여 자유롭게 되는 방법을 도시하는 도 3의 듀플렉스 버킷 브리게이드 회로의 회로도이다. 짝수 경로의 트랜지스터(122, 126)는 클럭 위상 1 2와 동기하여 인에이블됨으로써, 짝수 경로 트랜지스터(122)를 통해 전하 E1+2를 이동시켜서 짝수 경로 커패시터(132)로 위치시키며, 짝수 경로 트랜지스터(126)를 통해 전하 C1+2+3를 이동시켜서 짝수 경로 커패시터(134)로 위치시킨다. 홀수 경로 커패시터(131, 135)의 전하 D1+2 및 B1+2+3는 교란되지 않는다.6 is a circuit diagram of the duplex bucket brigade circuit of FIG. 3 illustrating how common capacitor charge is moved from a common capacitor to an even path capacitor so that the common capacitor is free for subsequent odd path operation. Even path transistors 122 and 126 have a clock phase 1 and 2 in synchronism with the enable thereby, the even path transistor 122, a charge E 1 + 2 by moving the sikimyeo position to the even-path capacitor 132, the charge from the even-numbered channel transistor (126) C 1 + 2 + 3 through Move to an even path capacitor 134. The charges D 1 + 2 and B 1 + 2 + 3 of the odd path capacitors 131, 135 are not disturbed.

도 7은 공통 커패시터가 리세트되는 방법을 도시하는 도 3의 듀플렉스 버킷 브리게이드 회로의 회로도이다. 스위치(112, 115, 118)는 클럭 위상 2와 동기하여 리세트(111, 114, 117)를 선택함으로써, 공통 커패시터(130, 133, 136)를 리세트시킨다. 트랜지스터(122, 123, 124, 125, 126, 127, 128, 129)는 모두 OFF되어, 홀수 경로 커패시터(131)의 전하 D1+2, 짝수 경로 커패시터(132)의 전하 E1+2, 짝수 경로 커패시터(134)의 C1+2+3, 및 홀수 경로 커패시터(135)의 전하 B1+2+3는 교란되지 않는다.7 is a circuit diagram of the duplex bucket brigade circuit of FIG. 3 illustrating how the common capacitor is reset. Switches 112, 115, and 118 are clock phase By selecting the resets 111, 114, and 117 in synchronization with 2 , the common capacitors 130, 133, and 136 are reset. Transistors (122, 123, 124, 125, 126, 127, 128, 129) are both OFF, the charge E 1 + 2, in the odd-numbered paths capacitor charge D 1 + 2, the even path capacitor 132 of the 131 even- C 1 + 2 + 3 of the path capacitor 134 and the charge B 1 + 2 + 3 of the odd path capacitor 135 are not disturbed.

도 8은 단위 셀 전하가 회로내로 전송되어 홀수 경로를 따라 전파되는 방법을 도시하는 도 3의 듀플렉스 버킷 브리게이드 회로의 회로도이다. 공통 커패시터(130, 133, 136)는 리세트 상태에 있다. 커패시터(131, 132, 134, 135)는 각각 전하 D1+2, E1+2, C1+2+3, 및 B1+2+3을 포함한다. 스위치(112, 115, 118)는 클럭 위상 2와 동기하여 단위 셀 입력(113, 116, 119)을 선택함으로써, 전하 F2를 공통 커패시터(130)로, 전하 D3를 공통 커패시터(133)로, 전하 B4를 공통 커패시터(136)로 전송한다.8 is a circuit diagram of the duplex bucket brigade circuit of FIG. 3 illustrating how unit cell charge is transferred into the circuit and propagated along an odd path. Common capacitors 130, 133, 136 are in a reset state. Capacitors 131, 132, 134, 135 respectively include charges D 1 + 2 , E 1 + 2 , C 1 + 2 + 3 , and B 1 + 2 + 3 . Switches 112, 115, and 118 are clock phase By selecting unit cell inputs 113, 116, and 119 in synchronization with 2 , charge F 2 to common capacitor 130, charge D 3 to common capacitor 133, and charge B 4 to common capacitor 136. send.

도 9는 단위 셀 전하가 이전의 홀수 샘플로 더해지는 방법을 도시하는 도 3의 듀플렉스 버킷 브리게이드 회로의 회로도이다. 홀수 경로의 트랜지스터(125, 129)는 클럭 위상 1 2와 동기하여 인에이블됨으로써, 홀수 경로 트랜지스터(125)를 통하여 전하 D1+2를 이동시켜서 공통 커패시터(133)의 전하 D3에 더하고, 홀수 경로 트랜지스터(129)를 통하여 전하 B1+2+3를 이동시켜서 공통 커패시터(136)의 전하 B4에 더한다. 짝수 경로 커패시터(132, 134)의 전하 E1+2 및 C1+2+3 는 교란되지 않는다.9 is a circuit diagram of the duplex bucket brigade circuit of FIG. 3 showing how unit cell charge is added to a previous odd sample. Odd-path transistors 125 and 129 have a clock phase 1 and 2 in synchronism with the enable thereby, to move the charge D 1 + 2 through the odd path, transistor 125 adds to the charge D 3 of the common capacitor 133, through the odd path transistor 129, a charge B 1 + 2 + Move 3 to add to charge B 4 of common capacitor 136. The charges E 1 + 2 and C 1 + 2 + 3 of the even path capacitors 132, 134 are not disturbed.

도 10은 공통 커패시터 전하가 공통 커패시터로부터 홀수 경로 커패시터로 이동되어 공통 커패시터는 후속하는 짝수 경로 동작에 대하여 자유롭게 되는 방법을 도시하는 도 3의 듀플렉스 버킷 브리게이드 회로의 회로도이다. 홀수 경로의 트랜지스터(123, 127)는 클럭 위상 1 2와 동기하여 인에이블되어, 홀수 경로 트랜지스터(123)를 통하여 전하 F1+2를 이동시켜서 홀수 경로 커패시터(131)로 위치시키며, 홀수 경로 트랜지스터(127)를 통하여 전하 D1+2+3를 이동시켜서 홀수 경로 커패시터(135)에 위치시킨다. 짝수 경로 커패시터(132, 134)의 전하 E1+2 및 C1+2+3는 교란되지 않는다.10 is a circuit diagram of the duplex bucket brigade circuit of FIG. 3 illustrating how common capacitor charge is moved from a common capacitor to an odd path capacitor so that the common capacitor is free for subsequent even path operation. Odd-path transistors 123 and 127 have a clock phase 1 and 2 in synchronism with the is enabled, thereby through the odd path transistor 123, moving the charge F 1 + 2 sikimyeo position in the odd path capacitor 131, the charge D 1 + 2 + 3 via the odd path transistor 127, Move to position the odd path capacitor 135. The charges E 1 + 2 and C 1 + 2 + 3 of the even path capacitors 132, 134 are not disturbed.

본 발명을 특정의 응용에 대한 예시적인 실시예들을 참조하여 기술하였지만, 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 당업자는 본 발명의 범위내에서의 추가적인 변형, 응용, 및 실시 및 본 발명이 중대한 유용성을 갖는 추가적인 분야를 인식할 것이다.Although the invention has been described with reference to exemplary embodiments for a particular application, the invention is not so limited. Those skilled in the art will recognize further modifications, applications, and implementations within the scope of the present invention, as well as additional fields in which the present invention has significant utility.

따라서, 본 발명을 특정의 응용에 대한 특정의 실시예를 참조하여 여기에 기술하였다. 당업자는 본 발명의 범위내의 추가적인 변형, 응용 및 실시들을 인식할 것이다.Thus, the present invention has been described herein with reference to specific embodiments for particular applications. Those skilled in the art will recognize additional variations, applications, and implementations within the scope of the present invention.

따라서, 첨부된 청구범위는 본 발명의 범위내의 그런 모든 응용, 변형 및 실시들을 포함하는 것을 의도한다.Accordingly, the appended claims are intended to cover all such applications, modifications, and implementations within the scope of this invention.

Claims (10)

드웰당 n개의 샘플을 획득하는 시간 지연 적분 회로로서,A time delay integration circuit that obtains n samples per dwell, 복수의 제1 커패시터(130, 133, 136);A plurality of first capacitors 130, 133, 136; 상기 제1 커패시터에 각각 제어가능하게 결합되어 있는 복수의 이미징 센서 단위 셀 입력(113, 116, 119);A plurality of imaging sensor unit cell inputs (113, 116, 119) controllably coupled to the first capacitor, respectively; n개의 제2 커패시터(131, 132; 134, 135)의 복수의 그룹; 및a plurality of groups of n second capacitors (131, 132; 134, 135); And 상기 제1 커패시터중 하나 및 제2 커패시터 그룹중 하나의 그룹의 각각의 제2 커패시터에 교대로 연속하여 결합되어 있는 복수의 경로 세그먼트를 통하여 직렬로 결합되어 있는 복수의 전송 게이트(122, 124, 126, 128; 123, 125, 127, 129)를 포함하는 복수 n개의 전하 전송 경로를 A plurality of transfer gates 122, 124, 126 coupled in series through a plurality of path segments that are alternately successively coupled to each second capacitor of one of the first and one group of second capacitors 128, a plurality of charge transfer paths including 123, 125, 127, and 129; 포함하는 것을 특징으로 하는 시간 지연 적분 회로.A time delay integrating circuit comprising: 제1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 제1 커패시터에 각각 제어가능하게 결합되어 있는 복수의 리세트 입력(111, 114, 117)을 더 포함하는 A plurality of reset inputs (111, 114, 117) are respectively controlably coupled to the first capacitor. 것을 특징으로 하는 시간 지연 적분 회로.Time delay integration circuit, characterized in that. 제1항 또는 제2항에 있어서, The method according to claim 1 or 2, 제1 위상 클럭 노드( 1) 및 제2 위상 클럭 노드( 2)를 더 포함하며,First phase clock node ( 1 ) and the second phase clock node ( 2 ) more, 상기 제1 커패시터 각각은 상기 제2 위상 클럭 노드에 결합되어 있고 Each of the first capacitors is coupled to the second phase clock node 상기 제2 커패시터 각각은 상기 제1 위상 클럭 노드에 결합되어 있는 Each of the second capacitors is coupled to the first phase clock node. 것을 특징으로 하는 시간 지연 적분 회로.Time delay integration circuit, characterized in that. 제1항 또는 제2항에 있어서, The method according to claim 1 or 2, 복수 n개의 경로 제어 신호 노드( EB, OB), 제1 전송 제어 신호 노드( C1/SW, SW/C1), 및 제2 전송 제어 신호 노드( C2/SW, SW/C2)를 더 포함하며,Multiple n path control signal nodes ( EB , OB ), the first transmission control signal node ( C1 / SW , SW / C1 ), and the second transmission control signal node ( C2 / SW , SW / C2 ), 상기 전하 전송 경로 각각의 전송 게이트는 상기 경로 제어 신호 노드중 각각의 하나에 결합되어 있고, A transfer gate of each of the charge transfer paths is coupled to each one of the path control signal nodes, 상기 전하 전송 경로의 이웃하는 전송 게이트들은 각각 상기 제1 전송 제어 신호 노드 및 제2 전송 제어 신호 노드에 결합되어 있는 Neighboring transfer gates of the charge transfer path are coupled to the first transfer control signal node and a second transfer control signal node, respectively. 것을 특징으로 하는 시간 지연 적분 회로.Time delay integration circuit, characterized in that. 제1항 또는 제2항에 있어서, The method according to claim 1 or 2, 상기 n은 2이고,N is 2, 상기 전하 전송 경로중 하나는 홀수 경로이며 상기 전하 전송 경로중 다른 하나는 짝수 경로인 One of the charge transfer paths is an odd path and the other of the charge transfer paths is an even path 것을 특징으로 하는 시간 지연 적분 회로.Time delay integration circuit, characterized in that. 제1항 또는 제2항에 있어서, The method according to claim 1 or 2, 상기 전송 게이트는 MOSFET 트랜지스터인 것을 특징으로 하는 시간 지연 적분 회로.And said transfer gate is a MOSFET transistor. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete
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