KR100451391B1 - Pressure gauge having a switching function - Google Patents
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Abstract
본 발명은 진공라인 등에 설치되는 압력 게이지 내에 압력 변화에 따라 자동으로 압력 재설정을 위해 진공펌프를 구동시키기 위한 스위칭 수단을 일체로 형성함으로써, 종래 진공펌프 구동용 진공스위치의 설치를 배제할 수 있어 구성 단가를 절약할 수 있고, 또한 진공라인내의 압력변화를 최대한 억제할 수 있어 진공펌프를 수시로 구동시키는 것을 방지할 수 있도록 한 스위칭 기능을 갖는 압력 게이지에 관한 것이다.The present invention is formed by integrally forming a switching means for driving the vacuum pump to automatically reset the pressure in accordance with the pressure change in the pressure gauge installed in the vacuum line, etc., it is possible to exclude the installation of the conventional vacuum pump driving vacuum switch The present invention relates to a pressure gauge having a switching function, which can reduce the unit cost and can suppress the pressure change in the vacuum line as much as possible, thereby preventing frequent operation of the vacuum pump.
그러한 압력 게이지는 소정 압력의 진공상태가 요구되는 진공라인에 장착된 상태에서 그 진공라인 내의 압력 변화를 나타내도록, 진공라인에 나사결합되며 내부에 중공부가 형성되는 결합부재, 단면이 타원 또는 원형으로 내부에 공간부가 존재하고 상기 결합부재의 중공부와 일단이 고정되며 타단은 밀폐된 형상을 가지는 압력튜브, 그 압력튜브의 타단과 고정되며 압력 지시용 지시침을 구동시키기 위해 구동 기어와 치합되는 회전아암이 구비된 로터리형 압력 게이지에 있어서, 상기 결합부재의 중공부와 일단이 연계되어 결합되고 타단은 밀폐된 상태에서 끝 부위에 관통홀을 통해 일정 길이 돌출되도록 스위칭 작동간을 가지며 상기 압력튜브와 일정 간격 이격된 상태를 유지하는 스위칭 구동용 압력튜브와, 상기 진공라인내의 진공압력 변화에 따라 상기 압력튜브 및 스위칭 구동용 압력튜브의 곡률 변화가 이루어지면 진공압력 재설정을 위한 진공펌프 가동용 구동신호를 발생시키도록 상기 스위칭 작동간과 연계되어 동작되는 스위칭 접점이 구비된 마이크로스위치가 하우징배면에 설치되는 것에 의해 달성된다.Such a pressure gauge is a coupling member that is screwed into the vacuum line and has a hollow formed therein, the cross section being elliptical or circular, so as to show a change in pressure in the vacuum line when it is mounted in a vacuum line requiring a vacuum of a predetermined pressure. There is a space in the interior, the hollow portion and one end of the coupling member is fixed, the other end is a pressure tube having a closed shape, the other end of the pressure tube is fixed and engaged with the drive gear to drive the pressure indicator indicator In the rotary pressure gauge provided with an arm, the hollow portion and one end of the coupling member is coupled in connection and the other end has a switching operation so as to protrude a predetermined length through the through hole in the end portion in a closed state and the pressure tube and Switching drive pressure tube to maintain the state spaced at a constant interval, and the vacuum pressure change in the vacuum line The microswitch having a switching contact operated in conjunction with the switching operations to generate a driving signal for operating the vacuum pump for resetting the vacuum pressure when the curvature change of the pressure tube and the switching driving pressure tube is made, By being installed.
Description
본 발명은 스위칭 기능을 갖는 압력게이지에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 진공배관 시스템에서 진공압력 상태를 육안으로 확인할 수 있도록 제공된 압력 게이지에 상기 진공압력의 상태변화에 따라 진공펌프의 온·오프상태를 제어 가능하게 스위치 작동간이 일체로 구비된 스위칭 기능을 갖는 압력게이지에 관한 것이다.The present invention relates to a pressure gauge having a switching function, and more particularly to the on-off state of the vacuum pump in accordance with the change in the state of the vacuum pressure in a pressure gauge provided to visually check the vacuum pressure state in the vacuum piping system. The present invention relates to a pressure gauge having a switching function which is integrally provided between switch operations in a controllable manner.
통상, 진공포장과 같이 내부의 잔류공기를 완전하게 배출시키거나, 또는 반도체 소자를 제조하는 공정 중 진공상태에서 작업을 수행해야 할 때에는 절대적인 진공시스템이 요구되는데, 그러한 진공시스템은 잔류공기를 배출시키거나 공정 챔버내의 진공을 유지하기 위하여 진공펌프가 제공되며, 진공펌프의 연결 배기관에는 복수개의 밸브 및 진공상태를 측정하기 위한 게이지들이 설치된다.In general, an absolute vacuum system is required to completely discharge residual air inside, such as vacuum packaging, or to perform work in a vacuum state during a process of manufacturing a semiconductor device. Alternatively, a vacuum pump is provided to maintain the vacuum in the process chamber, and a plurality of valves and gauges for measuring the vacuum state are installed in the connection exhaust pipe of the vacuum pump.
도 1은 종래 기술에 따른 진공배관도를 개략적으로 보인 도면이다.1 is a view schematically showing a vacuum pipe according to the prior art.
이에 도시된 바와 같이, 외부 환경과 차단된 진공상태를 유지하기 위하여 공기를 흡입하기 위한 진공펌프(10)가 진공라인(20)의 일단에 연결되며, 그 진공라인(20)의 적정 위치에는 진공상태를 수치로서 확인할 수 있도록 압력게이지(30)가 설치되는 한편, 진공압력이 기 설정된 기준압력 이하로 떨어질 때 이를 감지하고 자동적으로 진공펌프(10)를 운전시키기 위한 진공스위치(50)가설치된다. 상기 압력게이지(30)나 진공스위치(50)는 진공라인(20)에 설치시에 테프론 테이프와 같은 밀봉매체를 이용하여 결합부분의 나사부에 감아 완전한 밀봉작업을 해야한다.As shown therein, a vacuum pump 10 for sucking air in order to maintain a vacuum state that is cut off from the external environment is connected to one end of the vacuum line 20, and the vacuum at the proper position of the vacuum line 20 While the pressure gauge 30 is installed to check the state as a numerical value, a vacuum switch 50 is installed to detect when the vacuum pressure falls below a predetermined reference pressure and to automatically operate the vacuum pump 10. . When the pressure gauge 30 or the vacuum switch 50 is installed in the vacuum line 20, the sealing part such as Teflon tape should be wound around the threaded portion of the coupling portion to perform a complete sealing operation.
상기 구성에 따르면, 진공라인(20) 또는 진공작업실 내에 요구되는 일정 진공상태를 유지하기 위해 진공펌프(10)를 온 구동시키면, 상기 진공라인(20) 등에 설치된 압력게이지(30)의 지시침(48)이 변화되고, 작업자는 이를 육안으로 확인하면서 요구된 진공상태가 되며 진공펌프(10)의 구동을 오프(off)시키게 된다.According to the above configuration, when the vacuum pump 10 is driven on to maintain the constant vacuum required in the vacuum line 20 or the vacuum chamber, the indicator needle of the pressure gauge 30 installed in the vacuum line 20 or the like ( 48) is changed, the operator checks this visually and the required vacuum state and the driving of the vacuum pump 10 is turned off.
그와 같이 적정 진공작업에 필요한 진공압력이 제공된 상태에서 작업 도중에, 진공라인(20) 등의 내부 진공압력이 기 설정한 진공압력 이하로 떨어지게 되면, 진공스위치(50)에서 일방향으로 구동되는 스위칭 작동간(54)이 스위칭 접점에 접촉되어 회로적으로 연결된 진공펌프(10)를 재 가동시키게 된다. 그러한 진공펌프(10)의 재 가동에 따라 떨어진 진공압력을 다시 복귀시키는 작업을 반복 수행한다.As such, when the internal vacuum pressure of the vacuum line 20 or the like falls below the preset vacuum pressure while the vacuum pressure necessary for proper vacuum operation is provided, the switching operation driven in one direction by the vacuum switch 50 is performed. The liver 54 is brought into contact with the switching contact to restart the vacuum pump 10 that is circuitly connected. The operation of restoring the vacuum pressure dropped again according to the restart of the vacuum pump 10 is repeatedly performed.
그런데, 상기 진공라인(20) 등에는 압력게이지(30) 또는 도면에 미도시 되었지만 다수개의 밸브 등이 결합되는데, 그러한 압력게이지(30) 또는 밸브 결합시에는 완전한 밀봉 작업을 통해 기밀을 유지하고 있지만, 상기 진공 압력 변화를 전기적인 신호로 변환하여 진공펌프를 온·오프 운전하는 진공스위치(50)인 경우, 압력 변화에 따라 진공펌프(10)에 전기적 신호를 가하기 위해 구성되는 실린더 및 피스톤 부분이 완전하게 밀폐된 구조를 제공하지 않아, 공기통로(60)에 존재하는 공기가 상기 틈새(예컨대 도 2에서 A부분)를 통해 누설되기 때문에 진공 작업 초기에 설정한 진공압력이 떨어지는 문제점이 있었다.By the way, the vacuum line 20 and the like, but not shown in the pressure gauge 30 or a plurality of valves are coupled, such pressure gauge 30 or valve coupling is maintained in airtight through a complete sealing operation In the case of the vacuum switch 50 for converting the vacuum pressure change into an electrical signal and driving the vacuum pump on / off, the cylinder and the piston part configured to apply an electrical signal to the vacuum pump 10 according to the pressure change are There is a problem in that the vacuum pressure set at the beginning of the vacuum operation falls because air present in the air passage 60 leaks through the gap (for example, part A in FIG. 2) because it does not provide a completely sealed structure.
이로 인해 초기 설정한 진공압력을 맞추기 위해 진공펌프(10)를 온 구동시켜야 하는바 그 구동 빈도수가 많아 효율적인 작업이 이루어지지 않고, 정밀 작업을 요하는 경우에는 불량률이 많아 경쟁력 제고에 어려움이 있었다.For this reason, the vacuum pump 10 needs to be turned on to meet the initially set vacuum pressure, and thus, the frequency of driving is not high, so that the efficient work is not performed.
따라서, 본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 진공라인 내의 진공압력 상태를 확인하기 위해 설치되는 압력게이지에 진공 압력변화에 따라 진공펌프를 구동시키기 위한 스위칭 기능을 일체로 제공함으로써, 종래 진공스위치 사용시에 진공 라인의 압력변화에 따라 진공펌프 운전이 빈번하게 수행되었던 것을 방지하기 위한 스위칭 기능을 갖는 압력게이지를 제공함에 그 목적이 있다.Accordingly, the present invention has been made in order to solve the above problems, by providing a switching function for driving the vacuum pump in accordance with the change in the vacuum pressure in the pressure gauge installed to check the vacuum pressure state in the vacuum line, It is an object of the present invention to provide a pressure gauge having a switching function for preventing the frequent operation of the vacuum pump in accordance with the pressure change of the vacuum line when using a vacuum switch.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 스위칭 기능을 갖는 압력 게이지는, 소정 압력의 진공상태가 요구되는 진공라인에 장착된 상태에서 그 진공라인 내의 압력 변화를 나타내도록, 진공라인에 나사결합되며 내부에 중공부가 형성되는 결합부재, 단면이 타원 또는 원형으로 내부에 공간부가 존재하고 상기 결합부재의 중공부와 일단이 고정되며 타단은 밀폐된 형상을 가지는 압력튜브, 그 압력튜브의 타단과 고정되며 압력 지시용 지시침을 구동시키기 위해 구동 기어와 치합되는 회전아암이 구비된 로터리형 압력 게이지에 있어서, 상기 결합부재의 중공부와 일단이 연계되어 결합되고 타단은 밀폐된 상태에서 끝 부위에 관통홀을 통해 일정 길이 돌출되도록 스위칭 작동간을 가지며 상기 압력튜브와 일정 간격 이격된 상태를 유지하는 스위칭 구동용 압력튜브와, 상기 진공라인내의 진공압력 변화에 따라 상기 압력튜브 및 스위칭 구동용 압력튜브의 곡률 변화가 이루어지면 진공압력 재설정을 위한 진공펌프 가동용 구동신호를 발생시키도록 상기 스위칭 작동간과 연계되어 동작되는 스위칭 접점이 구비된 마이크로스위치가 하우징 배면에 설치되어 구성된다.The pressure gauge having a switching function of the present invention for achieving the above object is screwed into the vacuum line and internally so as to indicate a pressure change in the vacuum line when the vacuum state of a predetermined pressure is mounted in the required vacuum line. The coupling member is formed in the hollow portion, the cross section is an ellipse or a circular space therein, the hollow portion and one end of the coupling member is fixed, the other end is a pressure tube having a closed shape, the other end of the pressure tube is fixed and pressure A rotary pressure gauge having a rotary arm engaged with a drive gear for driving an indicator needle, wherein the hollow part of the coupling member is coupled in one end and the other end is closed with a through hole at the end. Switching drive having a switching operation so as to protrude a predetermined length through and to maintain a spaced distance from the pressure tube The pressure tube and a change in curvature of the pressure tube and the switching driving pressure tube in response to the change in the vacuum pressure in the vacuum line, and are connected with the switching operation to generate a driving signal for operating the vacuum pump for resetting the vacuum pressure. A microswitch having an operating switching contact is installed on the rear surface of the housing.
상술한 구성으로 이루어진 본 발명에 따르면, 압력게이지내에 지시침과 연동되어 압력 수치를 지시하기 위해 구비되는 압력튜브 이외에 그 압력튜브와 동일한 형상을 가지는 스위칭 구동용 압력튜브를 더 제공하고, 압력 저하시 상기 스위칭 구동용 압력튜브에 의해 진공펌프를 구동시키게 됨을 알 수 있다.According to the present invention made of the above-described configuration, in addition to the pressure tube provided in order to indicate the pressure value in conjunction with the indicator needle in the pressure gauge further provides a switching drive pressure tube having the same shape as the pressure tube, It can be seen that the vacuum pump is driven by the switching driving pressure tube.
도 1은 종래 기술에 따른 진공배관도를 개략적으로 보인 도면,1 is a view schematically showing a vacuum pipe according to the prior art,
도 2는 도 1의 진공배관도에 장착되는 진공스위치의 개략 사시도,2 is a schematic perspective view of a vacuum switch mounted on the vacuum pipe of FIG. 1;
도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 스위칭 기능을 갖는 압력게이지의 분리사시도,3 is an exploded perspective view of a pressure gauge having a switching function according to a preferred embodiment of the present invention;
도 4는 본 발명의 압력 변화에 따라 작동되는 압력게이지의 사용 상태도,4 is a state of use of the pressure gauge operated in accordance with the pressure change of the present invention,
도 5는 본 발명의 압력게이지의 변형예를 나타내고 있는 평면도,5 is a plan view showing a modification of the pressure gauge of the present invention;
도 6은 본 발명에 따른 압력게이지가 진공라인에 설치된 개략적인 진공배관도이다.6 is a schematic diagram of a vacuum pipe in which a pressure gauge according to the present invention is installed in a vacuum line.
*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *
10 : 진공펌프, 20 : 진공라인,10: vacuum pump, 20: vacuum line,
100 : 압력게이지, 120 : 압력튜브,100: pressure gauge, 120: pressure tube,
122 : 회전아암, 124 : 구동기어,122: rotating arm, 124: driving gear,
126 : 지지브라켓트, 130 : 스위칭 구동용 압력튜브,126: support bracket, 130: switching drive pressure tube,
132 : 스위칭 작동간, 140 : 마이크로스위치,132: between switching operations, 140: microswitch,
142 : 스위칭 접점, 144 : 간격 조절부재,142: switching contact, 144: gap adjusting member,
150 : 가변 브라켓트.150: variable bracket.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 스위칭 기능을 갖는 압력게이지의 분리사시도, 도 6은 본 발명에 따른 압력게이지가 진공라인에 설치된 개략적인 진공배관도이다.Figure 3 is an exploded perspective view of a pressure gauge having a switching function according to a preferred embodiment of the present invention, Figure 6 is a schematic diagram of a vacuum pipe installed in the vacuum line pressure gauge according to the present invention.
도 3 및 도 6에 도시된 바와 같이, 진공라인(20)과 나사결합되며 내부에 중공부가 형성되는 결합부재(110), 상기 결합부재(110)의 중공부와 연통되어 일단에 고정되며 타단은 밀폐된 형상을 가지는 대략 링 모양의 압력튜브(120), 상기 압력튜브(120)의 타단과 고정되며 압력 지시용 지시침(108)을 구동시키기 위해 구동 기어(124)와 치합되는 회전아암(122), 상기 구동 기어(124)와 회전아암(122)을 지지할 수 있도록 베이스플레이트(102) 후방에 고정되는 지지브라켓트(126), 그리고 상기 결합부재(110)의 중공부와 일단이 연계되어 결합되며 타단은 밀폐된 상태에서 압력게이지 수납용 하우징(106)의 배면에 장착된 마이크로 스위치(140)를 온·오프시키기 위한 스위칭 작동간(132)이 관통홀(134)을 통해 돌출 형성되는 대략 링 모양의 스위칭 구동용 압력튜브(130)로 구성된다.3 and 6, the coupling member 110 is screwed with the vacuum line 20 and the hollow portion is formed therein, the hollow portion of the coupling member 110 is fixed to one end and in communication with the other end is An approximately ring-shaped pressure tube 120 having a sealed shape, a rotary arm fixed with the other end of the pressure tube 120 and engaged with the drive gear 124 to drive the pressure indicating indicator 108. ), A support bracket 126 fixed to the rear of the base plate 102 so as to support the driving gear 124 and the rotary arm 122, and the hollow part of the coupling member 110 is connected in one end. And the other end of the ring is a ring formed in which the switching operation interval 132 protrudes through the through hole 134 for turning on and off the micro switch 140 mounted on the rear surface of the pressure gauge housing 106 in a closed state. It consists of a pressure driving tube 130 for the switching drive.
즉, 일반적으로 압력 크기를 지시하기 위해 사용되는 압력튜브(120) 이외에 그 압력튜브(120)와 동일한 형상을 하며 마찬가지로 일단이 밀폐되고 타단이 결합부재(110)의 중공부와 연결되는 압력튜브(130)가 더 구성되는 것이다.That is, in addition to the pressure tube 120 is generally used to indicate the size of the pressure tube 120 has the same shape as the pressure tube 120 and similarly the one end is closed and the other end is connected to the hollow portion of the coupling member 110 ( 130) is further configured.
상기 압력튜브(120) 및 스위칭 구동용 압력튜브(130)는 모두 단면이 타원 또는 원형으로 내부에 공간부가 존재하며, 통상 브르동(Bourdon) 튜브·스파이럴(spiral) 튜브와 같은 탄성의 압력튜브가 압력 변화에 의해 변형되는 것을 통해 압력을 측정할 수 있게 구성된다.Both the pressure tube 120 and the switching driving pressure tube 130 are elliptical or circular in cross section and have a space therein. Usually, an elastic pressure tube such as Bourdon tube or spiral tube is used. It is configured to be able to measure the pressure through the deformation by the pressure change.
그리고, 마이크로 스위치(140)의 상부방향에 스위칭 접점(142)이 구비되며, 상기 스위칭 구동용 압력튜브(130)와 스위칭 접점(142) 상호간의 간격을 조절하여 동작시간을 설정할 수 있도록 상기 스위칭 작동간(132)의 단면에 형성된 홀에 간격조절부재(144)가 구성된다. 예컨대, 스위칭 작동간(132)을 어느 정도 높이로 결합했느냐에 따라 스위칭 접점(142)과의 간격이 조절되는 것이다.And, the switching contact 142 is provided in the upper direction of the micro switch 140, the switching operation so that the operating time can be set by adjusting the interval between the switching driving pressure tube 130 and the switching contact 142 The gap adjusting member 144 is formed in a hole formed in the cross section of the liver 132. For example, the distance from the switching contact 142 is adjusted according to how high the coupling operation 132 is coupled.
이때, 도 4에 도시된 바와 같이 스위칭 작동간(132)에 간격조절부재를 설치하지 않고 마이크로스위치(140)의 위치를 가변할 수 있도록, 그 마이크로스위치(140)의 배면에 가변브라켓트(150)를 구성할 수 있다. 그 가변브라켓트(150)는 하우징(106)에 형성된 홀과 장공(152)에 일치시킨 다음 볼트(154)를조여 원하는 높이를 조절할 수 있도록 구성되며, 전술한 스위칭 작동간(132)과 함께 구성하여 선택적으로 사용할 수 있도록 한다.At this time, the variable bracket 150 on the back of the micro switch 140 so that the position of the micro switch 140 can be changed without installing the gap adjusting member between the switching operation 132, as shown in FIG. Can be configured. The variable bracket 150 is configured to match the hole formed in the housing 106 and the long hole 152 and then tighten the bolt 154 to adjust the desired height, and configured with the above-described switching operation 132 Make it optional.
상기 베이스플레이트(102) 전방에는 투명재질의 덮개(104)가 하우징(106)과 결합된다.A transparent cover 104 is coupled to the housing 106 in front of the base plate 102.
미설명 부호 125는 상기 지시침(108)을 원래 상태로 복귀시키기 위한 나선형태의 리턴스프링이다.Reference numeral 125 is a spiral return spring for returning the indicator needle 108 to its original state.
이와 같이 구성된 본 발명의 스위칭 기능을 갖는 압력 게이지의 작용을 도 3내지 도 6을 참조하여 설명한다.The operation of the pressure gauge having the switching function of the present invention configured as described above will be described with reference to FIGS.
우선, 스위칭 기능을 갖는 압력게이지(100)를 진공라인(20)의 소정 위치에 설치한 상태에서, 진공작업에 필요한 진공상태를 만들기 위해 진공펌프(10)를 구동시킨다. 상기 진공펌프(10) 구동에 따라 진공라인(20) 내부가 점차 압력이 높아지게 되면, 압력튜브(120)는 진공라인(20)의 압력에 의해 링의 곡률반경 변화와 아울러 끝단에 고정된 회전아암(122)이 움직이게 되고, 그 회전아암(122)과 치합되는 구동 기어(124)의 회전에 의해 압력게이지(100)의 지시침(108)이 변화하게 된다. 그 변화에 의해 진공라인(20) 내부의 압력 상태를 확인할 수 있게 된다.First, in a state in which the pressure gauge 100 having the switching function is installed at a predetermined position of the vacuum line 20, the vacuum pump 10 is driven to create a vacuum state necessary for vacuum operation. When the pressure inside the vacuum line 20 gradually increases as the vacuum pump 10 is driven, the pressure tube 120 changes the radius of curvature of the ring by the pressure of the vacuum line 20 and the rotating arm fixed to the end. The 122 is moved, and the indicator needle 108 of the pressure gauge 100 is changed by the rotation of the drive gear 124 engaged with the rotary arm 122. By the change, it is possible to check the pressure state inside the vacuum line 20.
그와 같이 진공펌프(10)가 구동되어 압력튜브(120)의 곡률반경이 변화될 때, 결합부재(110)의 중공부와 연계되어 결합된 스위칭 구동용 압력튜브(130) 또한 상기 압력튜브(120)의 변화와 같이 동일 방향으로 그 변화가 발생되는데, 상기 진공펌프(10)의 구동에 따라 진공라인(20) 내부가 적정 진공압력에 도달하게 되면 상기 스위칭 구동용 압력튜브(130)의 일단에 위치한 스위칭 작동간(132)이 하방향으로이동되어 스위칭 접점(142)에 밀착되고, 마이크로 스위치(140)는 진공펌프(10)의 구동을 오프(Off)시키기 위한 구동신호를 진공펌프(10)로 보내게 된다.As such, when the vacuum pump 10 is driven to change the radius of curvature of the pressure tube 120, the switching driving pressure tube 130 coupled with the hollow portion of the coupling member 110 is also connected to the pressure tube ( The change occurs in the same direction as the change of 120. When the inside of the vacuum line 20 reaches the appropriate vacuum pressure according to the driving of the vacuum pump 10, one end of the switching driving pressure tube 130 The switching operation 132 located in the upper portion is moved downward to be in close contact with the switching contact 142, and the micro switch 140 supplies a driving signal for turning off the driving of the vacuum pump 10. Will be sent).
그러면, 진공펌프(10)는 구동을 멈추게 되며 적정 진동압력 상태를 유지할 수 있게 되는 것이다. 즉, 진공펌프(10) 구동에 따라 진공라인(20) 내부가 적정 진공압력에 도달하게 되면 스위칭 작동간(132)이 스위칭 접점(142)과 접촉되며, 진공펌프(10)는 구동을 중지하게 된다.Then, the vacuum pump 10 is to stop the driving and to maintain the appropriate vibration pressure state. That is, when the inside of the vacuum line 20 reaches the proper vacuum pressure according to the driving of the vacuum pump 10, the switching operation 132 is in contact with the switching contact 142, and the vacuum pump 10 stops driving. do.
따라서, 초기에 마이크로스위치(140)는 스위칭 작동간(132)과 스위칭 접점(142)이 접촉되었을 때에는 진공펌프(10)를 오프시키기 위한 신호를 보내게 되며, 이와 반대로 상호 이격되었을 때에는 진공펌프(10)를 온 구동시키기 위한 구동신호를 전송하도록 설정되어야 한다.Therefore, the micro switch 140 initially transmits a signal for turning off the vacuum pump 10 when the switching operation 132 and the switching contact 142 contact each other. 10) should be set to transmit a drive signal for driving on.
상기와 같이 적정 진공압력이 유지된 상태에서 일련의 관련작업을 행하게 되는데, 만약 진공라인(20) 또는 진공 작업실 등의 내부로부터 공기가 새어나가 초기 설정한 진공압력과 비교하여 설정값 이하로 떨어지게 되면, 진공압력 저하로 인하여 상기 압력튜브(120)의 곡률이 점차 커지게 되고, 이와 아울러 스위칭 구동용 압력튜브(130)의 일단에 설치된 스위칭 작동간(132)이 스위칭 접점(142)과 이격되게 된다.When the appropriate vacuum pressure is maintained as described above, a series of related operations are performed. If air leaks from the inside of the vacuum line 20 or the vacuum chamber, and falls below the set value compared with the initial set vacuum pressure, The curvature of the pressure tube 120 is gradually increased due to the vacuum pressure drop, and the switching operation interval 132 installed at one end of the switching driving pressure tube 130 is spaced apart from the switching contact 142. .
그러면, 마이크로스위치(140)는 스위칭 작동간(132)과 스위칭 접점(142)의 이격상태를 감지한 후 진공압력을 높이기 위해 진공펌프(10)로 운전 구동을 위한 신호를 보내게 되고, 상기 진공펌프(10)의 재 가동이 이루어져 상기 진공라인(20)내의 공기 흡입에 따라 다시 진공상태를 맞추게 되는 것이다.Then, the micro switch 140 senses the separation between the switching operations 132 and the switching contact 142 and sends a signal for driving driving to the vacuum pump 10 to increase the vacuum pressure, the vacuum Re-operation of the pump 10 is made to adjust the vacuum again in accordance with the air intake in the vacuum line 20.
이후, 진공펌프(10)의 구동에 따라 진공라인(20)내의 진공압력이 점차 높아지게 되어 상기 압력튜브(120)의 곡률반경이 작아지게 되면 스위칭 작동간(132)이 스위칭 접점(142)에 다시 접촉하게 되고, 마이크로스위치(140)는 진공펌프(10) 구동을 오프 시키도록 한다.Subsequently, when the vacuum pressure in the vacuum line 20 is gradually increased according to the driving of the vacuum pump 10 and the radius of curvature of the pressure tube 120 decreases, the switching operation period 132 is again connected to the switching contact 142. In contact with each other, the micro switch 140 turns off the driving of the vacuum pump 10.
즉, 상기 진공압력 변화에 따라 압력게이지(100)의 압력튜브(120)와 동일한 형상으로 제공된 스위칭 접점용 압력튜브(130)의 변위가 변화되며, 그 변화 발생에 따라 진공펌프(10)의 구동을 온·오프 시키게 되는 것이다. 여기서, 상기 마이크로 스위치(140)의 스위칭 접점(142)단자 측에 간격 조절부재(144)를 제공할 수 있는데, 그 간격 조절부재(144)를 이용하여 스위칭 접점(142)의 간격을 조정하여 진공압력 설정을 조절할 수 있고, 그에 따른 진공펌프(10)의 구동여부를 조절할 수 있게 된다.That is, the displacement of the switching contact pressure tube 130 provided in the same shape as the pressure tube 120 of the pressure gauge 100 is changed according to the vacuum pressure change, and the driving of the vacuum pump 10 according to the change occurs. Will be turned on and off. Here, the gap adjusting member 144 may be provided on the terminal side of the switching contact 142 of the micro switch 140, and the gap of the switching contact 142 may be adjusted by using the gap adjusting member 144. The pressure setting can be adjusted, and accordingly the driving of the vacuum pump 10 can be adjusted.
또한, 가변 브라켓트(150)를 이용하여 전술한 바와 같이 압력변화에 따라 진공펌프(10)의 구동을 제어할 수 있는 바, 상기 가변 브라켓트(150)가 제공된 상태에서의 진공펌프(10)의 운전 제어 역시 스위칭 작동간(132)과 동일하게 작용함으로 그 상세한 설명은 생략하기로 한다. 그리고 압력 변화에 따라 온/오프 제어되는 진공펌프(10)는 상기 스위칭 작동간(132) 또는/ 및 가변 브라켓트(150)를 선택적으로 설치하거나 또는 모두 설치한 상태에서 사용자 편의에 따라 적용할 수 있음은 물론이다.In addition, the variable bracket 150 can control the driving of the vacuum pump 10 according to the pressure change as described above, and the operation of the vacuum pump 10 in the state where the variable bracket 150 is provided. The control also works in the same way as the switching operation 132, so a detailed description thereof will be omitted. The vacuum pump 10 controlled on / off according to the pressure change may be applied according to the user's convenience in the state in which the switching operation 132 or / and the variable bracket 150 are selectively installed or all installed. Of course.
한편, 도 5에 도시된 압력튜브는 그 형상이 고압을 견딜 수 있도록 가는 관형태로서 중간부분이 스프링 형상으로 구성되어 최대한 압력튜브의 길이를 길게 구성한 것이다.On the other hand, the pressure tube shown in Figure 5 is a thin tube shape so that the shape can withstand high pressure is composed of the middle portion of the spring shape to configure the length of the pressure tube as long as possible.
여기서, 마이크로 스위치는 전술한 도 3에 도시된 바와 같이 스위칭 구동용 압력튜브(130)의 스위칭 작동간(132)의 하부방향이 아닌 상부방향에 형성되며, 이때 마이크로 스위치(140)는 스위칭 작동간(132)과 스위칭 접점(142)이 밀착되어 있을 때 오프(off) 상태, 떨어져 있을 때 온(on) 상태가 되도록 설정한다.Here, the micro-switch is formed in the upper direction, not the lower direction of the switching operation 132 of the switching driving pressure tube 130 as shown in FIG. 3, wherein the micro switch 140 is between switching operations 132 and the switching contact 142 is set to be in an off state when in close contact, and to be in an on state when apart from each other.
또한, 스위칭 작동간(132) 뿐만 아니라 가변 브라켓트(150)를 적용함으로써, 이를 선택적으로 사용할 수 있도록 한다.In addition, by applying the variable bracket 150 as well as the switching operation 132, it can be used selectively.
이를 설명하면, 진공라인(20)이나 또는 진공실 등에 압력게이지(100)가 설치된 상태에서 진공펌프(10)를 구동시켜 소정 작업에 필요한 진공상태로 변화시키게 되며, 작업자는 압력게이지(100)의 지시침(108)을 통해 진공압력을 확인하게 된다.When this is described, the vacuum gauge 20 is driven in the state where the pressure gauge 100 is installed in the vacuum line 20 or the vacuum chamber to change the vacuum state necessary for a predetermined operation, and the operator instructs the pressure gauge 100. Through the needle 108 to check the vacuum pressure.
상기 진공펌프(10) 구동에 따라 진공라인(20)이나 진공실 등의 압력이 변화될 때 압력튜브(120) 및 스위칭 구동용 압력튜브(130)는 하방향으로 이동되며, 요구된 진공 압력 이상으로 변하게 될 때 상기 스위칭 구동용 압력튜브(130)의 스위칭 작동간(132)이 스위칭 접점(142)으로부터 이격되면 진공펌프(10)의 구동이 중지된다. 다시말해 적정 진공압력상태에 도달되었기 때문에 진공펌프(10) 구동을 자동적으로 멈추게 하는 것이다.When the pressure of the vacuum line 20 or the vacuum chamber is changed according to the driving of the vacuum pump 10, the pressure tube 120 and the switching driving pressure tube 130 are moved downwards, and the pressure is higher than the required vacuum pressure. When the switching operation 132 of the switching driving pressure tube 130 is separated from the switching contact 142 when it is changed, the driving of the vacuum pump 10 is stopped. In other words, since the proper vacuum pressure has been reached, the operation of the vacuum pump 10 is automatically stopped.
이에 따라 상기 도 3내지 도 5에서 설명한 바와 같이, 압력 게이지(100)에 기 제공된 압력튜브(120) 외에 동일한 형상을 가지는 압력튜브(130)를 더 제공하고, 그 압력 튜브(130)의 밀폐된 부분에는 압력 게이지(100)의 하우징(106) 배면에 장착된 마이크로 스위치(140)를 제어할 수 있는 스위칭 작동간(142) 또는/ 및 가변브라켓트(150)을 제공함으로써, 진공라인(20) 등의 내부 압력 변화에 따라 진공압력이 낮아지게 되면 상기 스위칭 작동간(142) 또는 가변 브라켓트(150)에 의해 진공펌프(10)를 구동시키기 위한 구동신호를 발생시켜 진공압력을 복귀시키게 된다.Accordingly, as described with reference to FIGS. 3 to 5, in addition to the pressure tube 120 provided in the pressure gauge 100, a pressure tube 130 having the same shape is further provided, and the pressure tube 130 is closed. The part is provided with a switching bracket 142 or / and a variable bracket 150 capable of controlling the micro switch 140 mounted on the back of the housing 106 of the pressure gauge 100, thereby providing a vacuum line 20 or the like. When the vacuum pressure is lowered according to the change in the internal pressure, the driving pressure for driving the vacuum pump 10 is generated by the switching operation 142 or the variable bracket 150 to restore the vacuum pressure.
이에 따라, 도 6과 같이 진공라인(20)에 압력게이지(100)만을 설치하기 때문에 종래 진공 스위치(50; 도 1참조) 설치에 따라 빈번하게 발생되는 압력 변화를 최소화 할 수 있게 된다.Accordingly, since only the pressure gauge 100 is installed in the vacuum line 20 as shown in FIG. 6, it is possible to minimize the pressure change frequently generated by the conventional vacuum switch 50 (see FIG. 1).
그리고, 본 발명의 실시예에서는 마이크로 스위치(140)의 스위칭 접점(142)과 스위칭 작동간(132)의 접촉 또는 이격에 따라 진공펌프를 구동시키기 위한 구동신호가 상이하게 발생되었지만, 스위칭 작동간(132)의 형태에 따라 어느 하나로 통일시킬 수 있음은 물론이다.In the embodiment of the present invention, the driving signal for driving the vacuum pump is generated differently according to the contact or the distance between the switching contact 142 of the micro switch 140 and the switching operation 132, 132) according to the form can be unified in any one of course.
또한 본 발명의 실시예에서는 압력튜브 형상이 링 형태 및 중간 부분에 스프링 형상을 가지는 관 형태의 압력튜브만이 한정되어 설명되었지만, 압력게이지 내에 설치되는 압력튜브의 형상은 다양하게 제공될 수 있으나, 기 제공된 압력튜브의 형상과 동일한 형상으로 이루어진 스위칭 구동용 압력튜브가 설치되게 된다.In addition, in the embodiment of the present invention, the pressure tube shape is a ring-shaped and the tube-shaped pressure tube having a spring shape in the middle portion is described as being limited, but the shape of the pressure tube installed in the pressure gauge may be provided in various ways, A switching driving pressure tube having the same shape as that of the provided pressure tube is installed.
또한, 본 발명에서 진공압력변화에 의해서 압력튜브의 변위가 발생되고, 이에 따라 진공펌프의 운전을 제어하고 있지만, 공기 압축시스템 등과 같이 게이지가 설치되어 압력 변화가 발생되는 모든 시스템에 본 발명의 압력게이지를 적용할 수 있다.In addition, although the displacement of the pressure tube is generated in accordance with the vacuum pressure change in the present invention, and thus the operation of the vacuum pump is controlled, the pressure of the present invention is applied to all systems in which a pressure change occurs by installing a gauge such as an air compression system. Gauges can be applied.
따라서, 본 발명에서 기재된 내용과 다른 변형된 실시예들이 돌출된다고 하더라도 본 발명의 기술적 사상이나 전망으로부터 개별적으로 이해되어져서는 안되며, 본 발명에 첨부된 청구범위안에 속한다 해야 할 것이다.Therefore, even if the modified embodiments different from the contents described in the present invention should not be understood individually from the technical idea or the prospect of the present invention, it should be included in the claims attached to the present invention.
이상에서 설명한 바와 같이 본 발명의 스위칭기능을 갖는 압력게이지에 따르면, 진공압력을 확인하기 위해 제공되는 압력게이지의 내부에 진공 압력변화에 따라 곡률 변화가 발생되는 또 다른 압력튜브를 제공함과 아울러, 진공펌프를 구동시키기 위한 스위칭 부재를 그 압력튜브 일단에 설치함으로써, 진공라인 등에서 압력 변화가 발생되면 압력 수치를 지시하도록 지시침과 연동되어 제공되는 압력튜브 및 다른 압력튜브가 동시에 위치 변화가 발생되고, 스위칭 부재의 스위칭 동작에 따라 진공펌프가 구동되기 때문에, 종래 진공펌프 구동을 제어하기 위해 설치되는 진공스위치에서 완전하게 기밀유지가 되지 않아 압력 변화가 빈번하게 발생되고, 압력 재 설정을 위해 진공펌프를 수시로 재가동시켜야 하는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.According to the pressure gauge having a switching function of the present invention as described above, while providing another pressure tube in which the curvature change occurs in accordance with the vacuum pressure change in the pressure gauge provided to check the vacuum pressure, By installing a switching member for driving the pump at one end of the pressure tube, when a pressure change occurs in a vacuum line or the like, a position change occurs simultaneously with a pressure tube provided in conjunction with the indicator hand and another pressure tube to indicate a pressure value. Since the vacuum pump is driven in accordance with the switching operation of the switching member, the vacuum switch, which is installed to control the operation of the conventional vacuum pump, is not completely airtight, so that a change in pressure frequently occurs, and the vacuum pump is set to reset the pressure. There is an effect that can be prevented from restarting from time to time.
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