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KR100423844B1 - 광-아이씨카드와광-아이씨카드리더기및이들을장착한웨이퍼이송시스템 - Google Patents

광-아이씨카드와광-아이씨카드리더기및이들을장착한웨이퍼이송시스템 Download PDF

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KR100423844B1
KR100423844B1 KR1019960006106A KR19960006106A KR100423844B1 KR 100423844 B1 KR100423844 B1 KR 100423844B1 KR 1019960006106 A KR1019960006106 A KR 1019960006106A KR 19960006106 A KR19960006106 A KR 19960006106A KR 100423844 B1 KR100423844 B1 KR 100423844B1
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KR
South Korea
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signal
optical signal
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optical
transmitting
Prior art date
Application number
KR1019960006106A
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English (en)
Inventor
임용일
Original Assignee
삼성전자주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
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Publication date
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Priority to KR1019960006106A priority Critical patent/KR100423844B1/ko
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Abstract

본 발명은 광신호를 사용하여 신호를 송· 수신하는 광-IC카드가 장착된 케리어카세트(carrier cassette)와 광-IC카드 리더기가 장착된 웨이퍼 이송장치를 포함한 웨이퍼 이송 시스템에 관한 것이다.
종래의 바코드 시스템을 이용한 웨이퍼 이송 시스템은, 바코드 테이프와 소정의 각도 내에 위치하여야 하므로 케리어카세트의 로딩 ·언로딩시 문제가 발생된다. 또한 각 단계의 반도체 제조 공정이 수행된 후에는 새로운 바코트테이프를 부착하여야 하므로 생산성 저하의 문제점이 있다. 이에 따라 RF신호용 IC카드 시스템을 이용한 웨이퍼 이송 시스템이 사용되고 있으나 반도체 제조 설비와 RF신호용 IC카드 시스템 간에 신호의 간섭이 일어날 수 있는 문제점이 있다.
발명은 광-IC카드를 케리어카세트에 장착하고, 광-IC카드 리더기를 웨이퍼 이송 장치에 장착하므로 광신호를 사용하여 케리어카세트의 ID 판독 및 기록을 하게 된다. 광신호를 사용하여 데이터를 송 ·수신하므로 주변의 제조 설비와의 상호 신호 간섭이 없게 되고, 소형으로 제작 가능하므로 케리어카세트의 로딩 ·언로딩시 발생되는 문제점을 소멸시킬 수 있고, 케리어카세트의 ID를 제기록 할 수 있어 ID 교체에 따른 시간이 감소되므로 생산성이 향상되게 된다.

Description

광-아이씨카드와 광-아이씨카드 리더기 및 이들을 장착한 웨이퍼 이송 시스템{Photo-IC Card and Photo-IC Card Reader and Wafer Transfer System with them}
[산업상의 이용 분야]
본 발명은 IC카드 시스템(IC Card System)을 이용한 웨이퍼 이송 시스템에 관한 것으로서, 구체적으로는 광신호를 사용하여 신호를 송 ·수신하는 광-IC카드가 장착된 케리어카세트(carrier cassette)와 광-IC카드 리더기가 장착된 웨이퍼 이송 장치를 포함한 웨이퍼 이송 시스템에 관한 것이다.
현재 반도체 장치를 제조하기 위한 제조 설비는 고도의 자동화 시스템으로 구성되어 있다. 소정의 기능을 갖는 반도체 장치가 완성되기 위해서는 웨이퍼 상에 여러 단계의 반도체 제조 공정이 순차적으로 수행된다. 이러한 여러 단계의 제조 공정 중 각각의 단계를 수행하는 제조 설비간에 웨이퍼를 이송하기 위한 웨이퍼 이송 시스템도 자동화되어 있다.
이러한 웨이퍼 이송 시스템은 하나의 반도체 제조 공정이 수행된 웨이퍼를 케리어카세트에 담고 이 케리어카세트를 웨이퍼 이송 장치가 다음 단계의 제조 공정을 수행하는 제조 설비로 이송하게 된다.
제 1 도는 종래의 바코드 시스템을 이용한 웨이퍼 이송 시스템의 일 예를 보이는 사시도이다.
제 1 도에 도시된바와 같이 웨이퍼 이송 시스템은, 웨이퍼(10)를 담고있는 케리어카세트(12)와, 상기 케리어카세트(12)의 일 측면에 바코드 테이프(20)가 부착되어 있다. 상기 바코드 테이프(20)에는 고유의 케리어카세트(12)의 ID가 기록되어 있다. 웨이퍼 이송 장치(도시되지 않음)에는 상기 바코드 테이프(20)를 읽기 위한 바코드리더기(25)가 장착되어 있다.
상기 바코드리더기(25)는 레이저(laser)를 상기 바코드 테이프(20)에 주사하고 반사되는 레이저 광을 수광하므로 바코드의 내용, 즉 케리어카세트(12)의 ID를 판독하게 된다. 판독된 케리어카세트(12)의 ID에 관한 데이터는 제조설비를 제어하는 주제어 장치(메인 컴퓨터)(미도시됨)로 전송된다. 이에 따라 주제어 장치는 전송된 데이터를 통하여 상기 케리어카세트(12)에 실려 있는 웨이퍼(10)의 현재의 진행 공정을 알 수 있게 되고, 웨이퍼 이송 장치는 주제어 장치의 제어를 받아 케리어카세트(12)를 다음 공정이 수행되는 제조 설비로 이송하게 된다.
그러나 상기한 바와 같은 바코드 시스템을 이용한 웨이퍼 이송 시스템은, 바코드 테이프(20)의 바코드를 판독하는 과정에서 바코드리더기(25)는 바코드 테이프(20)에 대하여 소정의 거리와 소정의 각도 내에 위치하여야 하는 제약이 따르게 된다. 이러한 제약은 케리어카세터(12)를 제조 설비로 로딩(loading)하거나 언로딩(unloading)하기 위해 케리어카세트(12)를 이동시킬 때에도 문제를 발생시키는 경우가 있다. 또한 각 단계의 제조 공정이 수행된 후에는 새로운 바코트테이프를 부착하여야 하므로 이에 따른 시간 지연으로 인한 생산성 저하의 문제점이 발생된다.
상술한 문제점을 해결하기 위해 현재 RF신호(radio frequency signal)용 IC카드 시스템을 이용한 웨이퍼 이송 시스템이 제안되어 사용되고 있다.
제 2 도는 종래의 RF신호용 IC카드 시스템을 이용한 웨이퍼 이송 시스템의 예를 보이는 사시도이다.
제 2 도에 도시된바와 같은 RF신호용 IC카드 시스템은, 케리어카세트(14)의 일 측면에 RF신호용 IC카드(30)가 부착된다. 그리고 웨이퍼 이송장치(도시되지 않음)에는 RF신호를 송 ·수신하기 위한 안테나(35)와 상기 안테나(35)와 연결된 RF신호용 IC카드리더기(40)가 장착된다.
이러한 구성의 RF신호용 IC카드 시스템을 이용한 웨이퍼 이송 시스템은 RF신호를 사용하여 신호를 송 ·수신하게 된다.
그러나 RF신호용 IC카드 시스템을 이용한 웨이퍼 이송 시스템은 RF신호의 사용으로 인하여 반도체 제조 설비와 RF신호용 IC카드 시스템 간에 상호 신호의 간섭이 일어날 수 있는 문제점이 있다.
따라서 본 발명의 목적은 상술한 여러 문제점을 해결하기 위해 제안된 것으로서, 제조 설비로 원활한 케리어카세트의 로딩 ·언로딩과, 제조 설비와의 상호 신호 간섭을 제거하고, 변경된 케리어카세트 ID를 반복 기록할 수 있는 웨이퍼 이송 시스템을 제공하는 데 있다.
제 1 도는 종래의 바코드 시스템을 이용한 웨이퍼 이송 시스템의 일 예를 보이는 사시도.
제 2 도는 종래의 IC카드 시스템을 이용한 웨이퍼 이송 시스템의 일 예를 보이는 사시도.
제 3 도는 본 발명의 광-IC카드 시스템을 이용한 웨이퍼 이송 시스템의 실시 예를 보이는 사시도.
제 4A 도는 본 발명의 광-IC카드의 외형을 보이는 사시도.
제 4B 도는 제 4A 도의 광-IC카드의 회로를 보이는 블록도.
제 5 도는 본 발명의 광-IC카드 리더기의 회로를 보이는 블록도.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*
10 : 웨이퍼 12,14,15 : 케리어카세트
20 : 바코드 테이프 25 : 바코드 리더기
30 : RF신호용 IC카드 35 : RF신호 송 ·수신용 안테나
40 : IC카드 리더기 50 : 광-IC카드
53,60 : 광신호 송 ·수신부 70 : 리더기 제어부
51a, 62a : 광신호 수신부 51b, 62b, : 광신호 수신각도 조정스위치
52a, 61a : 광신호 수신부 52b, 61b : 광신호 송신각도 조정스위치
100 : 광-IC카드 리더기
이상과 같은 목적에 따른 본 발명의 광-IC카드는 : 광신호를 수신하여 이에 대응되는 전기 신호로 변환하고, 전기 신호에 대응되는 광신호를 송신하는 송수신수단과; 상기 송수신수단과 연결되고, 송 ·수신을 위한 신호의 변환을 위한 신호변환수단과; 내부 회로의 전반을 제어하는 제어수단과; 데이터의 저장을 위한 기억수단과; 내부 회로 각부분의 구동을 위한 전원을 공급하는 전원수단을 포함한다.
상술한 목적에 따른 본 발명의 광-IC카드 리더기는 : 광신호를 수신하여 이에 대응되는 전기 신호로 변환하고, 전기 신호에 대응되는 광신호를 송신하는 송수신수단과; 상기 송수신수단과 연결되고, 송 ·수신을 위한 신호 변환을 하는 신호변환수단과; 내부 회로의 전반을 제어하는 제어수단과; 외부와 데이터 교환을 위한 인터페이스수단과; 내부 회로의 각부분의 구동을 위한 전원을 공급하는 전원수단을 포함한다.
상술한 목적에 따른 본 발명의 웨이퍼 이송 시스템은 : 반도체 제조 공정설비를 제어하는 주제어장치의 제어를 받아 웨이퍼가 담긴 케리어카세트와 이를 운반하는 웨이퍼 이송 장치를 구비한 웨이퍼 이송 시스템에 있어서, 상기 케리어카세트의 일 측면에 장착되고, 광신호를 송 ·수신하여 데이터를 교환하는 광-IC카드와: 상기 웨이퍼 이송 장치에 장착되고, 상기 광-IC카드에 데이터를 기록하고, 기록된 데이터를 판독하기 위한 광신호를 송 ·수신하는 광-IC카드 리더기를 포함하는 것을 특징으로 한다.
[실시예]
이하 본 발명의 실시예를 첨부된 도면 제 3 도 내지 제 5 도에 의거하여 상세히 설명한다.
본 발명의 신규한 웨이퍼 이송 시스템은 광-IC카드를 케리어카세트에 장착하고, 광-IC카드리더기를 웨이퍼 이송 장치에 장착하므로 광신호를 사용하여 케리어카세트의 ID의 판독 및 기록을 하게 된다.
제 3 도는 본 발명의 광-IC카드 시스템을 이용한 웨이퍼 이송 시스템의 실시예를 보이는 사시도 이다. 제 4A 도는 본 발명의 광-IC카드의 외형을 보이는 사시도이고 제 4B 도는 제 4A 도의 광-IC카드의 회로를 보이는 블록도이다. 제 5 도는 본 발명의 광-IC카드 리더기의 회로를 보이는 블록도이다.
제 3 도에 도시된바와 같이 광-IC카드 시스템을 이용한 웨이퍼 이송 시스템은, 일 측면에 광-IC카드(50)가 장착된 케리어카세트(15)와, 광-IC카드(50)와 광 신호를 송 ·수신하여 데이터(케리어카세트의 ID)의 판독 ·기록을 하는 광-IC카드 리더기(100)가 장착된 웨이퍼 이송 장치(도시되지 않음)로 구성된다.
제 4A 도에 도시된바와 같이 광-IC카드(50)는, 광신호 수신부(51a)와 광신호 송신부(52a)를 통하여 광-IC카드 리더기(100)의 송수신부(60)와 광신호를 송 ·수신한다. 광신호의 수광 각도와 발광 각도의 조정은 광-IC카드(50)와 광-IC카드 리더기(100)에 구성된 각각의 광신호 수신각도 조정스위치(51b,62b)와 광신호 송신각도 조정스위치(52b, 61b)로 조정한다.
광-IC카드(50)의 내부 구성은 제 4B 도에 도시된바와 같이 광신호를 송 ·수신하는 송수신부(53)와, 상기 송수신부(53)와 연결되어 아날로그 신호와 디지털 신호와의 상호 변환을 위한 변환부(54)와, 내부 회로의 전반을 제어하는 제어부(55)와, 전기적으로 데이터를 저장하고 소거할 수 있는 기억부(56)와, 내부 회로의 각부분에 전원을 공급하는 전원부(57)로 구성된다.
제 5 도에 도시된 바와 같이 광-IC카드 리더기(100)는, 광신호를 송 ·수신하기 위한 광신호 송신부(61a)와 광신호부 수신부(62a), 이들의 발광 각도와 수광 각도를 각각 조정하기 위한 광신호 송신각도 조정스위치(61b)와 광신호 수신각도 조정스위치(62b)로 구성된 송수신부(60)가 구성되어 있다. 그리고 송수신부(60)의 신호를 입력받아 주제어장치(생산 설비를 제어하는 장치. 도시되지 않음)로 데이터를 전달하기 위한 리더기 제어부(70)로 구성된다.
리더기 제어부(70)는 상기 송수신부(60)와 연결된 변환부(72)와, 내부 회로의 전반을 제어하는 제어부(74)와, 주제어장치와 데이터를 교환하기 위한 인터페이스부(76)와, 내부 회로의 각부분을 구동시키기 위한 전원을 인가하는 전원부(78)로 구성된다.
이상의 구성을 갖는 광-IC카드 시스템을 이용한 웨이퍼 이송 시스템의 동작은 다음과 같다.
여러 단계의 반도체 제조공정 중 하나의 제조공정이 수행된 웨이퍼(10)는 케리어카세트(15)에 로딩되고, 광-IC카드 리더기(100)는 광신호를 사용하여 광-IC카드(50)와 송 ·수신하여 케리어 ID를 판독한다. 그리고 웨이퍼 이송 장치는 다음 단계의 제조 공정을 진행하기 위해 케리어카세트(15)를 이송하게 된다. 이때 웨이퍼(10)상에 진행되는 각각의 반도체 제조공정에 따라 케리어카세트(15)의 ID가 부여된다.
제 4B 도에 도시된바와 같이 광-IC카드(50) 내에 장착된 기억부(56)는 전기적으로 재 기록 및 소거가 가능한 메모리이다. 전 단계의 제조 공정에서 케리어카세트(15)의 ID가 저장되어 있는 기억부(56)에는 새로 부여된 케리어카세트(15)의 ID가 재 기록된다. 그리고 웨이퍼 이송 장치는 케리어카세트(15)를 다음단계의 제조 공정으로 이송한다.
상술한 바와 같은 광-IC카드 시스템을 이용한 웨이퍼 이송 시스템은 광신호를 사용하여 송 ·수신하므로 주변의 제조 설비와의 상호 신호 간섭이 없게 된다. 또한 소형으로 제작 가능하므로 케리어카세트의 로딩 ·언로딩시 발생되는 문제점을 소멸시킬 수 있고, 제조 공정에 다라 케리어카세트의 ID를 재 기록할 수 있으므로 케리어카세트의 ID 교체에 따른 시간을 감소하게 되므로 생산성이 향상되게 된다.

Claims (9)

  1. 광신호를 수신하여 이에 대응하는 전기 신호로 변환하고, 전기 신호에 대응되는 광신호를 송신하는 송수신수단(51)과;
    상기 송수신수단(51)과 연결되고, 송 ·수신을 위한 신호의 변환을 위한 신호변환수단(54)과;
    내부 회로의 제반 동작을 제어하는 제어수단(55)과;
    상기 신호변환수단(54)으로부터 상기 신호를 받아서 상기 신호에 대응하는 데이터를 저장하는 기억수단(56)과;
    상기 내부 회로 각부분의 구동을 위한 전원 공급하는 전원수단(57)을 포함하는 것을 특징으로 하는 광-IC카드(50).
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 송수신수단(53)은,
    광신호를 수신하고 이에 대응되는 전기 신호를 상기 신호변환수단(54)으로 출력하는 광신호 수신부(51a)와;
    상기 광신호 수신부(51a)의 수광 각도를 조정하는 광신호 수신각도 조정부(51b)와;
    상기 신호변환수단(54)의 출력 신호를 입력받아 이에 대응하여 광신호를 출력하는 광신호 송신부(52a)와;
    상기 광신호 송신부(52a)의 광신호 출력 각도를 조정하는 광신호 송신각도 조정부(52b)를 포함하는 것을 특징으로 하는 광-IC카드(50).
  3. 광신호를 수신하여 이에 대응되는 전기 신호로 변환하고, 전기 신호에 대응되는 광신호를 송신하는 송수신수단(60)과;
    상기 송수신수단(60)과 연결되고, 송 ·수신을 위한 신호 변환을 하는 신호변환수단(72)과;
    내부 회로의 제반 동작을 제어하는 제어수단(74)과;
    외부와 데이터 교환을 위한 인터페이스수단(76)과;
    상기 내부 회로 각부분의 구동을 위한 전원을 공급하는 전원수단(78)을 포함하는 것을 특징으로 하는 광-IC카드 리더기 (100).
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 송수신수단(60)은;
    입력되는 전기 신호에 대응하여 광신호를 출력하는 광신호 송신부(61a)와;
    상기 광신호 송신부(61a)의 광신호의 출력 각도를 조정하는 광신호 송신각도 조정부(61b)와;
    광신호를 수광하여 이에 대응되는 전기 신호를 출력하는 광신호 수신부(62a)와;
    상기 광신호 수신부(62a)의 수광 각도를 조정하는 광신호 수신각도조정부(62b)를 포함하는 것을 특징으로 하는 광-IC카드 리더기(100).
  5. 반도체 제조공정설비를 제어하는 주제어 장치의 제어를 받아 웨이퍼가 담긴 케리어카세트와 이를 운반하는 웨이퍼 이송 장치를 구비한 웨이퍼 이송 시스템에 있어서;
    상기 케리어카세트(15)의 일 측면에 장착되고, 광신호를 송수신하여 데이터를 교환하는 광-IC카드(50)와;
    상기 웨이퍼 이송 장치에 장착되고, 상기 광-IC카드(50)에 데이터를 기록하고, 상기 기록된 데이터를 판독하기 위한 광신호를 송 ·수신하는 광-IC카드 리더기(100)를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 시스템.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 광-IC카드(50)는,
    광신호를 수신하여 이에 대응되는 전기 신호로 변환하고, 전기 신호에 대응되는 광신호를 송신하는 송수신수단(51)과;
    상기 송수신수단(51)과 연결되고, 송 ·수신을 위한 신호의 변환을 위한 신호변환수단(54)과;
    내부 회로의 제반 동작을 제어하는 제어수단(55)과;
    데이터의 저장을 위한 기억수단(56)과;
    상기 내부 회로 각부분의 구동을 위한 전원을 공급하는 전원수단(57)을 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 시스템.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 송수신수단(53)은,
    광신호를 수광하여 이에 대응되는 전기 신호를 상기 신호변환수단(54)으로 출력하는 광신호 수신부(51a)와;
    상기 광신호 수신부(51a)의 수광 각도를 조정하는 광신호 수신각도 조정부(51b)와;
    상기 신호변환수단(54)의 출력 신호를 입력받아 이에 대응하여 광신호를 출력하는 광신호 송신부(52a)와;
    상기 광신호 송신부(52a)의 광신호 출력 각도를 조정하는 광신호 송신각도 조정부(52b)를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 시스템.
  8. 제 5 항에 있어서,
    상기 광-IC카드 리러기(100)는,
    광신호를 수신하여 이에 대응되는 전기 신호로 변환하고, 전기 신호에 대응되는 광신호를 송신하는 송수신수단(60)과;
    상기 송수신수단(60)과 연결되고, 송 ·수신을 위한 신호 변환을 하는 신호변환수단(72)과;
    내부 회로의 전반을 제어하는 제어수단(74)과;
    외부와 데이터 교환을 위한 인터페이스수단(76)과;
    상기 내부 회로 각부분의 구동을 위한 전원을 공급하는 전원수단(78)을 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 시스템.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 송수신수단(60)은;
    입력되는 전기 신호에 대응하여 광신호를 출력하는 광신호 송신부(61a)와;
    상기 광신호 송신부(61a)의 광신호의 출력각도를 조정하는 광신호 송신각도 조정부(61b)와;
    광신호를 수광하여 이에 대응되는 전기 신호를 출력하는 광신호 수신부(62a)와;
    상긱 광신호 수신부(62a)의 수광 각도를 조정하는 광신호 수신각도 조정부(62b)를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 시스템.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPS59121847A (ja) * 1982-12-27 1984-07-14 Toshiba Corp 半導体ウエハ移し替え装置

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