KR100348256B1 - Ｓｉｌ 모듈 및 그 제조방법 - Google Patents
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Abstract
근접장 광학계에 사용되는 SIL(solid immersion lens) 모듈 및 그 제조방법에 관한 것으로, 일 측면에 다수개의 홈들을 갖는 고정 전극부와, 중심영역에 개구부를 가지고 외부의 인가 전압에 따라 대응되는 고정 전극부의 홈 내부를 왕복하는 돌출부를 가지며 돌출부에 의해 수평 방향으로 이동하는 가동 전극부와, 가동 전극부의 개구부에 장착되는 SIL(solid immersion lens)과, 고정 전극부의 하부면에 형성되어 고정 전극부를 부양시키는 에어-베어링 서페이스(air-bearing surface)로 구성된다. 이와 같이 구성되는 본 발명은 에어-베어링 서페이스가 집적화되어 있어 공기 부양 방식에 의한 근접장 미소 간극을 유지할 수 있고, SIL 자체가 구동 가능하므로 입력 광의 정렬 오차를 미세하게 조절할 수 있어 고밀도 광 저장 장치에 응용될 수 있다.
Description
본 발명은 근접장 광학계에 사용되는 SIL(solid immersion lens) 모듈 및 그 제조방법에 관한 것이다.
최근 멀티미디어 기술의 급속한 발달은 정보 저장 장치의 대용량화, 고속화, 정보 저장 밀도 당 단가의 저렴화 등에 힘입은 바 크다.
개인용 컴퓨터의 성능 향상과 인터넷 등 데이터 통신의 급속한 보급, VOD(video on demand), 고품위 텔레비젼의 출현 등은 동화상, 음성신호를 포함한 대량의 데이터를 실시간(real time)으로 저장, 처리할 수 있는 대용량 정보 저장매체의 필요성을 더욱 강하게 요구하고 있다.
기존의 HDD(hard disk drive)의 저장 밀도 및 용량을 증대시킴으로써, 고밀도 정보 저장 장치 실현을 위한 자기 저장 장치(magnetic storage) 상품들이 선보이고 있으나, 자기 저장 방식의 경우, 기록 밀도가 자화될 수 있는 물질의 입자 크기에 의해 제한되므로 평방 인치당 10기가 바이트 이상을 실현하는 것이 상당히 어렵다고 알려져 있다.
광 정보 저장 장치는 그 원리상 고밀도의 정보 용량을 실현할 수 있는 잠재성으로 인해 최근 활발히 연구되고 있으며, 상업화도 급속히 진전되고 있는 추세이다.
즉, 광학 방식의 정보 저장 장치는 빠른 응답 속도, 비 접촉식 픽업 등의 장점, 간편한 휴대성 등의 장점을 갖고 있으며, 무엇보다 데이터 밀도가 기록/재생을 위한 레이저 광원의 파장 범위까지 고밀도화할 수 있다는 장점이 있다.
광 정보 저장 장치의 데이터 밀도는 입력 광원의 회절 한계(diffraction limit)에 의해 제한되며, 이러한 관계는 다음의 수학식 1과 같이 표현된다.
상기 수학식 1에서, d는 입력되는 레이저 광의 스폿(spot) 크기이고, 이 크기에 의해 식별할 수 있는 1개 데이터의 기하학적 최소 크기가 결정된다.
또한, λ는 정보 저장 매체에 조사되는 입력 광의 파장이며, NA는 광학계 대물 렌즈의 개구율(또는 수차:numerical aperture)로서, 일반적인 광학계 렌즈는 약0.5 ∼ 0.7 정도의 값을 가진다.
따라서, 판별할 수 있는 최소 데이터의 크기는 대략 입력 광의 파장 정도로 데이터 기록 밀도의 상한이 된다.
이 한계는 광의 회절(diffraction) 성질로부터 기인하며, 상기 수학식 1에서 알 수 있듯이 데이터 비트의 크기를 줄이기 위해서는 보다 단파장의 입력 광을 쓰거나 광학계의 수차를 크게 함으로써 가능하다.
특히, 광학계의 수차를 증가시켜 입력 광의 회절 한계를 극복하게 할 수 있는 기술로서, SIL(solid immersion lens)를 이용한 방법이 제안되었다.
즉, 도 1에 도시된 바와 같이 기존의 광학계에 이용되던 대물렌즈(31)에 SIL(11)을 결합함으로써, 입력광의 회절한계를 뛰어넘는 해상도를 얻을 수 있게 되는 것이다.
그러나, 기존의 SIL은 높은 굴절률(refractive index)을 갖는 유리 덩어리를 화학적으로 식각한 후, 반구(hemisphere) 혹은 초반구(super-hemisphere) 형상으로 폴리싱(polishing)하여 렌즈를 제작한다.
그리고, 이 렌즈를 일정한 두께를 갖는 유리판에 접착한 후, 이를 프레임에 붙여 사용하므로 다소 복잡한 과정을 거치게 된다.
또한, 이러한 구조는 근접장 영역의 미세 간극을 일정하게 유지하기가 매우 어려울 뿐만 아니라 광학계의 정렬 오차를 보정하기가 어려운 단점이 있었다.
본 발명의 목적은 에어-베어링 서페이스(air-bearing surface) 구조를 집적화하여 공기 부양 방식에 의한 근접장 영역의 미소 간극을 일정하게 유지할 수 있는 SIL 모듈 및 그 제조방법을 제공하는데 있다.
본 발명의 다른 목적은 수평 구동기를 집적화하여 광학적인 정렬 오차를 보정할 수 있는 SIL 모듈 및 그 제조방법을 제공하는데 있다.
도 1은 일반적인 SIL 모듈을 이용한 근접장 광학계를 보여주는 도면
도 2a 및 도 2b는 에어-베어링 서페이스가 집적된 본 발명의 SIL 모듈을 보여주는 전면 사시도 및 후면 사시도
도 3은 도 2a 및 도 2b의 A-B 선상에 따른 SIL 모듈을 보여주는 단면도
도 4a 및 도 4b는 수평 방향 구동기가 일체화된 본 발명의 SIL 모듈을 보여주는 전면 사시도 및 후면 사시도
도 5는 도 4a 및 도 4b의 구성 요소를 보여주는 구조사시도
도 6a 내지 도 6b는 광학계의 정렬 오차를 보정하는 본 발명의 SIL 모듈을 보여주는 도면
도 7은 본 발명의 SIL 모듈을 이용한 광 정보 저장 장치의 시스템을 보여주는 도면
도 8a 내지 도 8i는 본 발명에 따른 SIL 모듈의 제조공정을 보여주는 공정단면도
도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : 실리콘 프레임 2 : 에어-베어링 서페이스
3 : 콤 전극 4 : 서스펜션 스프링
5 : 스페이서 6 : 고정부
7 : 가동부 앵커 8 : SIL 조립 경사면
9 : 초미세 간극 10 : SIL 모듈
11 : SIL 21 : 유리 덮개
22 : 배선 구멍 23 : 레이저 빔 통로
51 : 레이저 광원 52 : 광 검출기
53 : 시준 렌즈 54,55,56 : 집속 렌즈
57 : 광 분할기 58 : 구동 미러
60 : 광 디스크 70 : 슬라이더 서스펜션
본 발명에 따른 SIL 모듈은 중심영역에 개구부를 갖는 기판과, 기판의 개구부에 장착되는 SIL(solid immersion lens)과, 기판의 하부면에 형성되어 기판을 부양시키는 에어-베어링 서페이스(air-bearing surface)로 구성된다.
여기서, 개구부는 상부의 폭은 넓고 하부의 폭은 좁도록 측면이 일정 각도로 경사지게 형성되고, 기판의 일측 또는 양측에 SIL이 장착된 기판을 수평방향으로 이동시키는 구동기가 형성된다.
또한, 본 발명은 일 측면에 다수개의 홈들을 갖는 고정 전극부와, 중심영역에 개구부를 가지고 외부의 인가 전압에 따라 대응되는 고정 전극부의 홈 내부를 왕복하는 돌출부를 가지며 돌출부에 의해 수평 방향으로 이동하는 가동 전극부와, 가동 전극부의 개구부에 장착되는 SIL(solid immersion lens)과, 고정 전극부의 하부면에 형성되어 고정 전극부를 부양시키는 에어-베어링 서페이스(air-bearing surface)로 구성될 수도 있다.
여기서, 가동 전극부는 기판의 양측에 각각 형성되는 앵커(anchor)들과, 기판 및 앵커에 고정되는 탄성 서스펜션(suspension)과, 기판의 일 측면 또는 양 측면에 돌출되어 형성되고 고정 전극부의 홈에 각각 대응되어 일부분이 삽입되며 외부의 인가 전압에 따라 홈 내로 이동되는 다수개의 전극들로 이루어진다.
그리고, 앵커 및 고정 전극부의 상부면에는 공간 제공을 위한 스페이서(spacer)가 형성되고, 고정 전극부 및 가동 전극부의 상부에는 유리 덮개가 부착된다.
상기 유리 덮개는 고정 전극부 및 가동 전극부에 전압을 인가하기 위한 배선 구멍과, SIL에 광을 입사시키기 위한 구멍이 형성되어 있다.
본 발명에 따른 SIL 모듈 제조방법은 기판 상부의 소정영역을 패터닝하여 스페이서를 형성하고 기판 하부의 소정영역을 패터닝하여 에어-베어링 서페이스를 형성하는 단계와, 기판의 중심영역을 식각하여 관통구멍을 형성하는 단계와, 기판의 소정영역들을 패터닝하여 고정 전극부의 홈들과 가동 전극부의 앵커, 탄성 서스펜션, 전극들을 형성하는 단계와, 기판의 중심영역에 형성된 관통구멍 내에 SIL을 접합하는 단계로 이루어진다.
이와 같이 구성되는 본 발명은 에어-베어링 서페이스가 집적화되어 있어 공기 부양 방식에 의한 근접장 미소 간극을 유지할 수 있고, SIL 자체가 구동 가능하므로 입력 광의 정렬 오차를 미세하게 조절할 수 있어 고밀도 광 저장 장치에 응용될 수 있다.
본 발명의 다른 목적, 특징 및 잇점들은 첨부한 도면을 참조한 실시예들의 상세한 설명을 통해 명백해질 것이다.
상기와 같은 특징을 갖는 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
도 2a 및 도 2b는 에어-베어링 서페이스가 집적된 본 발명의 SIL 모듈을 보여주는 전면 사시도 및 후면 사시도이고, 도 3은 도 2a 및 도 2b의 A-B 선상에 따른 단면도이다.
도 2a 및 도 2b에 도시된 바와 같이, 본 발명은 중심영역에 개구부를 갖는 실리콘 프레임(1)의 하부면에 실리콘 프레임(1)을 부양시키는 에어-베어링 서페이스(air-bearing surface)(2)를 일체화시키고, 실리콘 프레임(1)의 개구부에 SIL(solid immersion lens)을 장착하여 제작된다.
여기서, 실리콘 프레임(1)의 개구부는 상부의 폭은 넓고 하부의 폭은 좁도록 측면이 일정 각도로 경사지게 형성된다.
그리고, 이 모듈을 이용하여 근접장 영역의 초미세 간극(9)을 SIL 모듈과 광 디스크(60) 등의 관찰 대상물과의 유체 역학적인 부양력을 제공하는 에어-베어링 서페이스(2) 형상에 의해 유지하도록 하는 근접장 광학계를 도 2의 A-B 단면을 따라 도 3에 도시하였다.
도 3에 도시된 바와 같이 SIL을 결합한 광학계의 초점 크기는 SIL 없이 일반적인 광학계의 대물 렌즈만으로 얻을 수 있는 초점 크기에 비해 SIL(11) 물질의 굴절률(nsil)의 제곱만큼 축소된다.
이때, 관찰할 대상물과의 거리를 입력되는 레이저 광의 파장 λ보다 충분히 가깝게 하면, SIL을 통해 축소된 레이저 빔 초점 크기 정도의 해상도를 얻게 되어 입력광의 회절 한계보다 높은 해상도를 실현할 수 있는 것이다.
따라서, 본 발명의 SIL 모듈을 적용할 경우, 기존의 광학계로 구성되는 광정보 저장 장치의 단위 비트의 기하학적 크기를 축소시킬 수 있으므로 높은 밀도의 광 정보 기록/재생이 가능하게 되는 것이다.
도 4는 상기 기본적인 SIL 프레임에 수평 방향의 운동 자유도를 갖는 마이크로 액튜에이터(3)을 일체화한 자체 구동 기능을 갖는 SIL 모듈을 도시하였다.
자체 구동 기능을 갖는 SIL 모듈은 도 5에 도시된 바와 같이 SIL(11), 실리콘 부(1-8), 유리 덮개(21) 등의 3개 부품으로 구성되며, 초반구 형상의 SIL(11) 조립 시, 가이드(guide) 역할을 하는 경사면(8)을 포함하는 실리콘 프레임(1)이 서스펜션 스프링(4)에 의해 부양되어 있으며, 이 서스펜션 스프링은 가동부(moveable part) 앵커(anchor)(7)에 연결되어 유리 덮개(21)에 고정된다.
실리콘 프레임을 구동시키기 위한 정전 방식(electrostatic)의 액튜에이터가 일체화되며, 콤 전극 배열(3)의 일부는 움직일 수 있는 실리콘 프레임(1)에 형성되고, 다른 일부는 유리 기판에 고정된 고정부(6) 실리콘 미세 구조물에 형성된다.
여기서, 콤 전극은 일 방향으로 배열된 띠(stripe) 형태이거나 또는 일정 간격으로 배열된 도트(dot) 형태로 형성 가능하며, 액튜에이터쪽의 콤 전극 철(凸)부는 고정부(6)의 콤 전극 요(凹)부에 각각 대응되어 철(凸)부의 일부분이 요(凹)부에 삽입되어 있다.
또한, 요(凹)부의 단면은 다각형, 원형, 타원형 중 어느 한 형태로 형성할 수도 있다.
한편, 고정부(6)의 한 쪽 표면에는 근접장 간극 유지를 위한 에어-베어링 서페이스(2) 형상이 집적화되어 있으며, 가동부 앵커(7)과 고정부(6)은 각각 가동부인 실리콘 프레임의 구동을 위해 필요한 일정한 공간을 제공하기 위한 스페이서(5) 패턴을 통하여 유리 덮개(21) 부품에 접합된다.
유리 덮개 부품은 고정부(6)와 실리콘 프레임(1)에 각각 형성된 콤 전극(3)에 전압을 인가하기 위한 배선 구멍(feed-through)(22)들이 뚫려 있으며, 실리콘 프레임(1)에 장착된 SIL(11)에 레이저 빔이 입사하도록 레이저 빔 통로(23)이 형성되어 있다.
도 6a, 도 6b, 도 6c는 자체 구동기 및 에어-베어링 서페이스를 일체화한 SIL 모듈이 입사되는 레이저 빔의 변위를 좇아 광축을 정렬하는 모양을 도식적으로 보여준다.
도 6a 내지 도 6c에 도시된 바와 같이, 광 정보 저장 장치의 광학 픽업 장치에서 입사되는 레이저 빔의 광축이 미세하게 변화할 경우, SIL이 고정되어 있다면 광축 정렬 오차 등에 의해 광학계의 해상도가 떨어지게 되므로 이를 보상해 줄 필요가 있다.
본 발명에 의한 구동 기능을 내장한 SIL 모듈에 의하여 광축의 변화에 연동되도록 SIL의 위치를 보정해 주면 광학계의 해상도를 일정하게 유지할 수 있게 된다.
도 7은 본 발명에 의한 자체 구동 기능을 갖는 SIL 모듈을 적용한 고밀도 광 정보 저장 장치의 시스템을 보여주는 도면이다.
이 광 정보 저장 장치용 픽업의 동작을 광로에 따라 설명하면 다음과 같다.
레이저 다이오드 등의 레이저 광원(51)으로부터 방사되는 입력 레이저 빔이시준 렌즈(collimator)(53)에 의해 평행광으로 바뀌며, 집속 렌즈(55)를 통하여 집속된 빔이 미세 변위로 구동되는 구동 미러(58)에 반사되어 광로를 변경하고, 또 다른 집속 렌즈(56)를 투과하여 SIL 모듈(10)에 장착된 SIL(11)에 조사된다.
그리고, SIL 모듈에 일체화된 에어-베어링 서페이스에 의해 광 디스크(60) 표면으로부터 근접장 영역의 초미세 간극으로 부양된 SIL을 투과하여 근접장 광이 광 디스크에 조사되고, 광 디스크로부터 반사되는 입력광의 일부가 광로를 역행하여 SIL(11), 집속 렌즈(56), 구동 미러(58), 또 다른 집속 렌즈(55), 광 분할기(57)를 거쳐 집속 렌즈(54)를 통한 후, 광 검출기(52)에 도달하여 광 정보 신호를 검출할 수 있게 된다.
이때, 고밀도 광 정보에 대응하여 초미세 트래킹(nano-tracking) 기능을 구현하기 위해 장착된 구동 미러의 변위(actuation)에 따라 레이저 빔의 광축이 조절(steering)되며, 이 광축의 변화에 대응하여 SIL 모듈(10)에 집적된 마이크로 액튜에이터에 의해 SIL(11)의 위치를 광축에 정렬시키게 되므로 보다 높은 수준의 광 신호를 검출할 수 있게 되어 해상도를 유지할 수 있게 되는 것이다.
도 8a 내지 도 8i는 본 발명에 의한 SIL 모듈을 제작하는 공정을 보여주는 도면으로서, 먼저 도 8a에 도시된 바와 같이 식각 마스크로 쓰이는 제 1 마스크 박막(41)을 실리콘 웨이퍼 양면에 증착한다.
이때, 박막의 종류는 이후에 진행될 식각 방법에 적합한 물질을 선택하면 되고, 박막을 증착하는 방법은 산화, 화학 기상 증착(chemical vapor deposition;CVD), 이베포레이션(evaporation), 스퍼터링(sputtering), 스핀코팅(spin coating) 등 반도체 소자 제조 공정의 박막 형성 기술을 이용한다.
이어, 도 8b에 도시된 바와 같이, 실리콘 웨이퍼의 한 면에 스페이서(5)를 사진 묘화 공정 및 식각 공정을 이용하여 형성한다.
이때, 식각 마스크 박막을 패터닝한 후, 실리콘을 습식 또는 건식 식각법에 의해 필요한 스페이서 높이 만큼을 식각하면 된다.
그리고, 도 8c에 도시된 바와 같이 웨이퍼의 또 다른 면에 사진 묘화 공정 및 박막 식각 공정 등을 이용하여 에어-베어링 서페이스를 형성한다.
이어, 도 8d에 도시된 바와 같이 실리콘 웨이퍼의 전 후면에 제 2 마스크 박막(42) 및 제 3 마스크 박막(43)을 증착하고, 도 8e에 도시된 바와 같이, 스페이서가 형성된 웨이퍼 면에는 SIL 조립용 경사면 구멍 식각을 위한 식각 창을 형성하고, 그 반대 면에는 콤 전극 및 서스펜션 스프링 등의 식각 마스크 패턴을 제 3 마스크 박막에 사진 묘화 공정 및 박막 식각 공정을 통하여 형성한다.
이어, 도 8f에 도시된 바와 같이 KOH, EDP, THAH 등의 실리콘 이방성 식각액에서 SIL 조립용 경사면을 형성한다.
이 과정에서, 제 3 마스크 박막이 형성된 웨이퍼 면은 기계적인 식각 방지 장치로 식각액에 노출되는 것을 막아준다.
그리고, 도 8g에 도시된 바와 같이 경사면 식각이 완료된 후, 제 2 마스크 박막을 제거하고, 배선 구멍 및 레이저 빔의 통로가 형성되어 있는 유리 덮개(21) 웨이퍼를 실리콘 웨이퍼에 형성되어 있는 스페이서 패턴에 정렬하여 접합한다.
여기서, 접합 방법은 양극 접합(anodic bonding), 솔더 접합(solderbonding), 에폭시 접합(epoxy bonding) 등 다양한 방법을 적용할 수 있다.
이어, 도 8h에 도시된 바와 같이 유리 덮개(21)가 접합된 반대편 면의 실리콘 표면에 형성된 제 3 마스크 박막의 패턴에 따라 실리콘 깊은 식각(silicon deep RIE) 등의 방법으로 웨이퍼 두께 전체를 관통하여 콤 전극 및 서스펜션 스프링, 고정부, 가동부 앵커 미세 구조물 등을 형성한다.
마지막으로, 도 8i에 도시된 바와 같이 초반구 형태로 가공된 SIL(11)을 경사면이 형성된 실리콘 프레임에 정렬하여 접합하면 자체 구동 기능을 갖는 SIL 모듈이 완성된다.
그리고, 웨이퍼 상에 다수 개 형성된 SIL 모듈을 다이싱(dicing)하여 개별 모듈로 분리하고, 배선 구멍을 통하여 전선을 연결한다.
이 모듈을 기존의 정보 저장 장치의 픽업(pick-up)에 이용되는 장치와 유사하게 슬라이더 헤드(slider head)에 장착하고, 도 7에 도시된 광학계를 결합하게 되면, 상기와 같이 고밀도 정보 저장 장치용 픽업으로 이용할 수 있는 근접장 광학 헤드로 응용된다.
본 발명의 효과는 광학계의 회절 한계를 극복하여 광학적으로 판별할 수 있는 형상의 크기를 대폭 줄임으로써, 광 정보 저장 장치에 응용하여 고밀도 광 정보 저장 장치를 구현할 수 있게 된다.
특히, 자체 구동기가 일체화되어 광축 정렬 오차 등을 능동적으로 보정하여 해상도를 제고할 수 있고, 근접장 영역의 초미세 간극을 유체역학적으로 유지할 수있도록 에어-베어링 서페이스를 집적화하여 근접장 광학계의 부품 수를 줄이며, 간극 유지 정밀도를 향상시킴으로써, 근접장 광학계의 신뢰도 향상에도 기여하게 된다.
이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다.
따라서, 본 발명의 기술적 범위는 실시예에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의하여 정해져야 한다.
Claims (13)
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- 일 측면에 다수개의 홈들을 갖는 고정 전극부;중심영역에 개구부를 가지고, 외부의 인가 전압에 따라 상기 대응되는 고정 전극부의 홈 내부를 왕복하는 돌출부를 가지며, 상기 돌출부에 의해 수평 방향으로 이동하는 가동 전극부;상기 가동 전극부의 개구부에 장착되는 SIL(solid immersion lens);상기 고정 전극부 또는 가동 전극부의 하부면에 형성되어 상기 고정 전극부를 부양시키는 에어-베어링 서페이스(air-bearing surface); 그리고,상기 고정 전극부 및 가동 전극부의 상부에 부착되고, 상기 고정 전극부 및 가동 전극부에 전압을 인가하기 위한 배선 구멍과 상기 SIL에 광을 입사시키기 위한 구멍이 형성된 유리 덮개로 구성되는 것을 특징으로 하는 SIL 모듈.
- 제 5 항에 있어서, 상기 가동 전극부의 돌출부는 상기 고정 전극부의 홈 내에 각각 대응되어 일부분이 삽입되어 있는 것을 특징으로 하는 SIL 모듈.
- 제 5 항에 있어서, 상기 가동 전극부는기판;상기 기판의 양측에 각각 형성되는 앵커(anchor)들;상기 기판 및 앵커에 고정되는 탄성 서스펜션(suspension); 그리고,상기 기판의 일 측면 또는 양 측면에 돌출되어 형성되고, 상기 고정 전극부의 홈에 각각 대응되어 일부분이 삽입되며, 외부의 인가 전압에 따라 상기 홈 내로 이동되는 다수개의 전극들을 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 SIL 모듈.
- 제 7 항에 있어서, 상기 앵커 및 고정 전극부의 상부면에 공간 제공을 위한 스페이서(spacer)가 형성되는 것을 특징으로 하는 SIL 모듈.
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- 다수개의 홈들을 갖는 고정 전극부와, 앵커, 탄성 서스펜션, 상기 고정 전극부의 홈 내로 이동되는 다수개의 전극들을 갖는 가동 전극부와, SIL을 포함하는 SIL 모듈 제조방법에 있어서,기판을 준비하는 제 1 단계;상기 기판 상부의 소정영역을 패터닝하여 스페이서를 형성하고, 상기 기판 하부의 소정영역을 패터닝하여 에어-베어링 서페이스를 형성하는 제 2 단계;상기 기판의 중심영역을 식각하여 관통구멍을 형성하는 제 3 단계;상기 기판의 소정영역들을 패터닝하여 상기 고정 전극부의 홈들과 상기 가동 전극부의 앵커, 탄성 서스펜션, 전극들을 형성하는 제 4 단계; 그리고,상기 기판의 중심영역에 형성된 관통구멍 내에 상기 SIL을 접합하는 제 5 단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 SIL 모듈 제조방법.
- 제 11 항에 있어서, 상기 제 3 단계 후, 상기 기판 상부에 유리 덮개를 접합하는 것을 특징으로 하는 SIL 모듈 제조방법.
- 제 11 항에 있어서, 상기 기판은 실리콘으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 SIL 모듈 제조방법.
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