KR100322685B1 - 스핀코터 - Google Patents

Abstract

진공수단이 장착된 스핀코터가 개시된다. 그러한 스핀코터에서 포토 레지스터를 원심력에 의해 도포할 때 노즐을 통해 기판의 중앙부로 포토 레지스터가 공급되어 퍼질 때 상,하부 커버의 내부 공기가 스핀척의 회전에 따른 공기유동이 발생되어 포토 레지스터가 불균일하게 도포됨을 방지하기 위하여, 스핀척의 회전시 내부의 공기유동을 방지하기 위해 내부를 진공상태로 유지하는 진공수단을 포함하여 구성함으로써 포토 레지스터를 균일하게 도포할 수 있다.

Description

스핀코터{SPIN COATER}

본 발명은 포토 레지스터 도포장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 포토 레지스터를 회전시켜 원심력에 의하여 균일한 두께로 도포하는 스핀코터에 관한 것이다.

일반적으로, 반도체 또는 액정표시장치 등의 제조는 수㎛ 정도의 두께를 가져야 하는 박막을 소정의 베이스에 도포하여 제작하게 되는 바, 이를 위하여 통상 스프레이 코팅법(Spray Coating) 롤 코팅법, 스핀 코팅법(Spin Coating) 등이 사용된다.

상기한 스프레이 및 코팅법의 경우 코팅막의 균일성과 막 두께 조정에서 고정밀도용으로는 적합하지 않아 고정밀 패틴 형성용으로는 스핀 코핑법이 사용된다.

여기서, 상기한 스핀 코팅법은 비교적 막의 두께가 두꺼운 경우에 사용되는바, 이는 소정의 전용 스핀 코팅 장치를 사용하게 된다.

상기한 스핀 코팅장치는 스핀코터로 지칭되고 이는 제2도에 도시된 바와 같이 회전축(50)에 연결되어 있는 스핀척(51)과, 상기 스핀척(51)을 외부에서 감싸고 있을 뿐만 아니라 개폐가능한 상,하부 커버(52,53)와, 상기한 상부커버(52)의 상부에 위치되어 개폐시 상,하부 커버(52,53)의 내부로 이동되는 노즐(54)로 구성된다.

물론, 상기한 스핀척(51)에는 포토 레지스터(PR)가 도포되는 기판(P)이 안착되고, 상기한 하부커버(53)에는 하부커버(53)로 낙하되는 포토 레지스터(PR)를 외부로 배출시키는 드레인 밸브(55)가 설치된다.

상기한 바와 같은 스핀 코터는 상,하부 커버(52,53)가 개방되어 있는 상태에서 노즐(54)이 하강하여 스핀척(51)에 안착되어 있는 기판(P)에 포토 레지스터(PR)를 분사하게 된다.

기판(P)에 포토 레지스터(PR)가 분사되면, 상,하부 커버(52,53)가 밀폐됨과 아울러 도시되지 않은 모터가 회전하게 되고 이와 연결되어 있는 회전축(50)이 회전하여 기판(P)이 안착되어 있는 스핀척(51)을 소정 회전수로 회전시키게 된다.

스핀척(51)이 회전하면 기판(P)의 상면에 분사되어 있는 포토 레지스터(PR)가 원심력에 의해 외측으로 퍼지게 됨으로써 기판(P)의 전면에 포토 레지스터(PR)가 균일하게 도포되는 것이다.

상기한 바와 같이 기판(P)에 포토 레지스터(PR)가 도포되면 이를 응고시킨 후 포토 마스크 등을 사용하여 노광, 세척함으로써 기판(P)에 소정의 패턴을 형성하게 된다.

그러나, 상기한 바와 같이 포토 레지스터(PR)를 원심력에 의해 도포할 때 노즐(54)을 통해 기판(P)의 중앙부로 포토 레지스터(PR)가 공급되어 퍼질 때 상,하부 커버(52,53)의 내부 공기가 스핀척(51)의 회전에 따른 공기유동이 발생되어 제3도에 도시된 바와 같이 포토 레지스터(PR)가 불균일하게 도포되는 문제점이 있다.

즉, 포토 레지스터(PR)의 중앙부와 외측이 높고 그 사이가 낮게 도포됨으로써 정밀해야 하는 도포두께가 불균일하게 되어 이를 사진 식각하여도 불량이 발생되는 문제점이 있다.

따라서, 본 발명은 상기한 문제점을 감안하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은, 스핀척의 회전에 따른 공기유동을 방지하여 포토 레지스터의 도포 불균일을 방지할 수 있는 스핀코터를 제공하는데 있다.

도1 은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 스핀코터를 도시한 단면도.

도2 는 일반적인 스핀코터를 도시한 단면도.

도3 은 도2에서 도포상태를 도시한 상태도.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 스핀척의 회전시 내부의 공기유동을 방지하기 위해 내부를 진공상태로 유지하는 진공수단을 포함하여 구성함을 특징으로 한다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 스핀코터를 상세하게 설명한다.

도1 은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 스핀코터를 도시한 단면도이다. 도시된 바와 같이, 스핀코터는 스핀척(1)과, 상기 스핀척(1)의 회전시 내부의 공기 유동을 방지하기 위해 내부를 진공상태로 유지하는 진공수단을 포함한다.

그리고, 상기 진공수단은 상,하부 커버(2,3)의 밀폐시 외부와 차단시키기 위해 상,하부 커버(2,3)의 사이에 설치된 시일(4)과, 상기한 상,하부 커버(2,3)의 내부에서 회전되는 스핀척(1)에 형성된 통기공(5)과, 상기한 통기공(5)에 연결되어 있는 진공펌프(6)로 구성된다.

상기 통기공(5)은 다수가 형성되어 상,하부 커버(2,3)의 내부에 공기를 보다 효율적으로 흡입할 수 있다.

따라서, 진공상태의 상,하부 커버(2,3) 내부에서 스핀척(1)이 회전함으로써 기판(P)의 표면에 포토레지스터(PR)를 효율적으로 도포하게 된다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 스핀코터의 작동과정을 더욱 상세하게 설명한다.

도1 에 도시된 바와 같이, 노즐(7)로 기판(P)예 포토 레지스터(PR)를 분사한후 상부커버(2)를 닫게 된다.

이때, 상기 상,하부 커버(2,3)는 시일(4)에 의해 결합됨으로써 외부와 차단된다.

상기 상부커버(2)가 닫히면 회전축(8)이 회전되어 스핀척(1)이 회전됨으로써 기판(P)에 도포되어 있는 포토 레지스터(PR)를 기판(P)의 전면에 균일하게 퍼지게 한다.

특히, 상기 스핀척(1)의 회전시 진공펌프(6)가 동작하여 통기공(5)을 통해 상,하부 커버(2,3) 내부의 공기를 흡입하게 된다.

진공펌프(6)에 의해 상,하부 커버(2,3) 내부의 공기가 흡입되면 내부가 진공상태가 되는 바, 스핀척(1)이 회전하여도 공기가 희박하기 때문에 소용돌이와 같은 공기의 흐름이 발생되지 않는다.

즉, 상기 스핀척(1)의 회전에 따른 공기의 흐름이 없기 때문에 원심력을 통해 기판(P)의 전면에 도포되는 포토 레지스터(PR)의 흐름에 방해요소가 발생되지 않게 됨으로써 포토 레지스터(PR)의 도포 정밀도가 향상되는 것이다.

여기서, 상기한 스핀척(1)의 회전에 의해 포토 레지스터(PR)가 하부 커버(3)로 낙하되면 이는 포토 레지스터(PR)의 도포 후 드레인 밸브(9)를 통해 외부로 배출된다.

상술한 바와 같이 본 발명에 따른 스핀코터는 포토 레지스터의 도포시 상,하부 커버의 내부를 진공상태로 형성함으로써 공기의 유동을 제거하여 포토 레지스터이 도포를 균일하게 할 수 있는 장점이 있다.

Claims (1)

1. 포토 레지스터(PR)를 원심력에 의해 도포하는 스핀 코터에 있어서, 스핀척 (1)의 회전시 내부의 공기유동을 방지하기 위해 내부를 진공상태로 유지하는 진공수단을 포함하며,

   상기 진공수단은 상,하부 커버(2,3)의 밀폐시 외부와 차단하기 위해 상,하부 커버(2,3)의 사이에 설치된 시일(4)과, 상기 상,하부 커버(2,3)의 내부에서 회전되는 스핀척(1)에 형성된 다수의 통기공(5)과, 상기 통기공(5)애 연결되는 진공펌프 (6)로 구성되는 것을 특징으로 하는 스핀코터.