KR100321545B1

KR100321545B1 - Moving apparatus of wafer cassette

Info

Publication number: KR100321545B1
Application number: KR1019990028767A
Authority: KR
Inventors: 방인호
Original assignee: 김광교; 한국디엔에스 주식회사
Priority date: 1999-07-15
Filing date: 1999-07-15
Publication date: 2002-01-23
Also published as: KR20010010079A

Abstract

본 발명은 다수매의 웨이퍼를 적층 보관하는 카세트를 보관하는 스토커의 내부에 설치되어 상기 카세트를 이동시키는 이송장치가 스토커의 내부에 보관된 카세트에 간섭되는 것을 방지할 수 있는 웨이퍼 카세트 이송장치에 관한 것으로서, 다수매의 웨이퍼가 적층된 카세트를 보관하는 고정판이 복수개 형성되며 내부에는 상기 카세트가 입·출되는 입출부가 설치된 스토커의 내부에 설치되어 상기 카세트를 이송시키는 이송장치에 있어서, 상기 스토커의 저면에 길이방향으로 설치된 안내바와, 상기 안내바의 상부에 설치되어 안내바에 안내를 받으면서 스토커의 내부에서 좌·우로 이동되는 지지바와, 상기 지지바의 일면에 설치되어 지지바에 안내를 받으면서 승강되는 승강부재와, 상기 승강부재의 상부에 설치된 회전부에 의해서 회전되며 상면에는 복수개의 고정돌기가 돌출 형성된 파지판을 포함하여서 된 것이다.The present invention relates to a wafer cassette transport apparatus which is installed inside a stocker for storing a cassette for stacking a plurality of wafers, and which can prevent the transfer device for moving the cassette from interfering with the cassette stored in the stocker. A plurality of fixing plates for storing cassettes in which a plurality of wafers are stacked are formed, and a conveying apparatus is provided inside a stocker provided with an entry / exit part in which the cassettes are input and output, and transfers the cassettes. A guide bar installed in a longitudinal direction on the support bar, a support bar which is installed at an upper portion of the guide bar and is guided to the guide bar and is moved left and right from the inside of the stocker, and a lifting member which is installed on one side of the support bar and guided by the support bar; And, rotated by a rotating part installed on the upper portion of the elevating member and the upper surface Is to include a holding plate formed with a plurality of fixing projections protruding.

Description

Wafer Cassette Feeder {MOVING APPARATUS OF WAFER CASSETTE}

본 발명은 웨이퍼 카세트 이송장치에 관한 것으로서, 다수매의 웨이퍼를 적층 보관하는 카세트를 보관하는 스토커의 내부에 설치되어 상기 카세트를 이동시키는 이송장치가 스토커의 내부에 보관된 카세트에 간섭되는 것을 방지할 수 있는 웨이퍼 카세트 이송장치에 관한 것이다.The present invention relates to a wafer cassette transfer apparatus, which is installed inside a stocker for storing a cassette for stacking a plurality of wafers to prevent the transfer apparatus for moving the cassette from interfering with the cassette stored in the stocker. The present invention relates to a wafer cassette transfer apparatus that can be used.

일반적으로, 반도체를 제조하는 웨이퍼를 이송 및 보관 할 때에는 다수매를 동시에 보관 및 이동할 수 있는 카세트의 내부에 적층한 상태에서 상기 카세트를 이송 또는 보관하고 있으며 이와같이 웨이퍼가 적층된 카세트를 스토커의 내부에 보관 할 때에는 이의 내부에 설치된 이송장치에 의해서 이송되므로 상기 카세트를 신속하게 이송시킬 수 있는 이송장치가 절실히 요구되고 있는 실정이다.In general, when transporting and storing a wafer for manufacturing a semiconductor, the cassette is transported or stored in a state in which a plurality of sheets are stacked in a cassette capable of storing and moving at the same time, and the cassette in which the wafer is stacked is stored inside the stocker. When the storage is carried by the transfer device installed in its interior, there is an urgent need for a transfer device capable of quickly transferring the cassette.

종래에는 도 1 내지 도 3에 도시된 바와같이 스토커(1)의 일측 하부에는 카세트(C)가 내부로 인입 및 배출될 때 상기 카세트(C)를 지지하는 입출부(20)가 설치되어 있고 상기 스토커(10)의 내부 일면에 카세트(C)가 안착되는 복수개의 고정판(3)이 설치되어 있다.Conventionally, as shown in FIGS. 1 to 3, one side lower portion of the stocker 1 is provided with an entry and exit portion 20 that supports the cassette C when the cassette C is inserted into and discharged therein. A plurality of fixing plates 3 on which the cassette C is seated is provided on one inner surface of the stocker 10.

한편 상기 스토커(1)의 내부 양측에는 지지바(4)가 설치되어 있고 상기 지지바(4)의 사이에는 지지바(4)에 안내를 받으면서 승강하는 승강바(5)가 설치되어 있으며 상기 승강바(5)의 저면에는 파지암(6)이 구비된 이동블럭(7)이 설치되어 있다.Meanwhile, support bars 4 are installed at both sides of the stocker 1, and lifting bars 5 are provided between the support bars 4 while being guided by the support bars 4. At the bottom of the bar 5, a moving block 7 provided with a gripping arm 6 is provided.

따라서 카세트(C)를 스토커(1)의 내부에 보관하기 위하여 카세트(C)가 스토커(1)에 설치된 입출부(2)의 상부에 안착되면 스토커(1)의 내부에 설치된 승강바(5)는 카세트(C)의 상부로 이동됨과 동시에 상기 승강바(5)의 하부에 설치된 이동블럭(7)이 카세트(C)가 설치된 입출부(2)측으로 이동되어 상기 이동블럭(7)의 하부에 설치된 파지암(6)이 카세트(C)의 직상부에 위치된다.Therefore, in order to store the cassette C inside the stocker 1, when the cassette C is seated on the upper part of the entry / exit part 2 installed in the stocker 1, the lifting bar 5 installed in the stocker 1 is installed. Is moved to the upper portion of the cassette (C) and at the same time the moving block (7) installed on the lower portion of the lifting bar (5) is moved to the entry and exit portion 2, the cassette (C) is installed on the lower portion of the moving block (7) The installed arm 6 is located directly above the cassette C.

이러한 상태에서 상기 파지암(6)이 별도의 구동장치(도면 미도시)에 의해서 카세트(C)의 상부에 형성된 고정홈(도면 미도시)으로 삽입되어 카세트(C)가 고정되면 상기 승강바(5) 및 이동블럭(7)이 작동되므로 상기 카세트(C)는 이동되며 이와같이 이동된 카세트(C)는 스토커(1)에 설치된 다수의 고정판(3)중 어느 일측에 안착 보관 된다.In this state, the grip arm 6 is inserted into a fixing groove (not shown) formed in the upper portion of the cassette C by a separate driving device (not shown), and the cassette C is fixed when the cassette C is fixed. 5) and the moving block 7 is operated so that the cassette (C) is moved and the cassette (C) thus moved is seated and stored on any one side of the plurality of fixed plates (3) installed on the stocker (1).

한편 상기 고정판(3)의 상부에 안착된 카세트(C)를 이동시킬 때에는 상술한 동작을 역방향으로 반복하면 카세트(C)는 입출부(2)의 상부로 이동되며 이와같이 이동된 카세트(C) 내부의 웨이퍼(W)는 별도의 반송암(도면 미도시)에 의해서 후공정으로 공급된다.On the other hand, when moving the cassette (C) seated on the upper portion of the fixing plate (3) by repeating the above operation in the reverse direction, the cassette (C) is moved to the upper portion of the entry and exit (2) and thus moved inside the cassette (C) Wafer W is supplied to a later step by a separate carrier arm (not shown).

그러나 이러한 종래의 이동장치는 승강바(5)와 이동블럭(7)을 이동시킬 때에는 상기 이동블럭(7)의 하부에 설치된 파지암(6)이 고정판(3)에 보관된 카세트(C)와 간섭되지 않도록 하기 위해서 승강바(5)와 이동블럭(7)을 순차적으로 구동하게 됨에 따라 상기 승강바(5)가 최단거리를 이동하지 못하게 되어 작업시간이 과다하게 소요되었음은 물론 상기 이동블럭(7)의 이동위치가 제한되어 스토커(1)의 외측(즉 최하단 또는 최상단 및 양측단부)에 설치된 고정판(3)에는 카세트(C)를 안착시키지 못하게되어 스토커(1)에 적재되는 카세트(C)의 수량이 줄어들게되었으며 카세트(C)의 상부를 파지하게 되므로 이를 파지하는 파지암(6)이 이동할 수 있는 공간을 확보하게 됨에 따라 설비의 크기가 대형화되는 문제점이 있었다.However, such a conventional mobile device has a cassette (C) in which the holding arm (6) installed at the lower part of the moving block (7) is stored in the fixed plate (3) when the lifting bar (5) and the moving block (7) are moved. In order not to interfere, the elevating bar 5 and the movable block 7 are sequentially driven, so that the elevating bar 5 does not move the shortest distance, and the work time is excessively taken. 7) the movement position of the cassette (C) which is loaded on the stocker (1) is prevented from seating the cassette (C) on the fixed plate (3) installed on the outside (that is, the bottom or top and both ends) of the stocker (1) Since the quantity of was reduced and the upper part of the cassette (C) is gripped, there is a problem in that the size of the facility is enlarged as the grip arm 6 for holding it secures a space for movement.

본 발명은 위와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위하여 발명한 것으로서, 스토커의 내부에 설치되어 카세트를 이동시키는 이송장치가 이동시 카세트와의 간섭을 방지하여 이동시간을 단축시키고 상기 카세트를 하부에서 파지하여 이동장치의 크기를 소형화 할 수 있는 웨이퍼 카세트 이송장치를 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention has been invented to solve the above conventional problems, the transfer device installed inside the stocker to move the cassette to prevent the interference with the cassette when moving to shorten the moving time and to hold the cassette from the bottom to move It is an object of the present invention to provide a wafer cassette transfer apparatus capable of miniaturizing the size of the apparatus.

상기 목적을 달성하기위한 본 발명은 다수매의 웨이퍼가 적층된 카세트를 보관하는 고정판이 복수개 형성되며 내부에는 상기 카세트가 입·출되는 입출부가 설치된 스토커의 내부에 설치되어 상기 카세트를 이송시키는 이송장치에 있어서, 상기 스토커의 저면에 길이방향으로 설치된 안내바와, 상기 안내바의 상부에 설치되어 안내바에 안내를 받으면서 스토커의 내부에서 좌·우로 이동되는 지지바와, 상기 지지바의 일면에 설치되어 지지바에 안내를 받으면서 승강되는 승강부재와, 상기 승강부재의 상부에 설치된 회전부에 의해서 회전되며 상면에는 복수개의 고정돌기가 돌출 형성된 파지판을 포함하여서 된 것이다.The present invention for achieving the above object is provided with a plurality of fixing plates for storing a cassette in which a plurality of wafers are stacked is formed in the interior of the stocker is installed inside the stocker is installed and the entry and exit portion for transferring the cassette transfer device In the, the guide bar is installed in the longitudinal direction on the bottom of the stocker, the support bar is installed on the guide bar is moved to the left and right from the inside of the stocker while being guided to the guide bar, and is provided on one side of the support bar The lifting member is lifted while being guided, and is rotated by a rotating part installed on the upper part of the lifting member, and the upper surface includes a holding plate having a plurality of fixing protrusions protruding therefrom.

도 1은 종래의 웨이퍼 카세트 이송장치를 도시한 사시도,1 is a perspective view showing a conventional wafer cassette transfer device,

도 2는 종래의 웨이퍼 카세트 이송장치를 도시한 단면도,2 is a cross-sectional view showing a conventional wafer cassette transfer device;

도 3은 도 2의 A - A선 단면도,3 is a cross-sectional view taken along the line A-A of FIG.

도 4는 본 발명에 따르는 웨이퍼 카세트 이송장치를 도시한 사시도,4 is a perspective view showing a wafer cassette transfer apparatus according to the present invention;

도 5는 본 발명에 따르는 웨이퍼 카세트 이송장치를 도시한 단면도,5 is a cross-sectional view showing a wafer cassette transport apparatus according to the present invention;

도 6은 도 5의 B - B선 단면도.6 is a cross-sectional view taken along the line BB of FIG. 5.

< 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 ><Description of Symbols for Major Parts of Drawings>

C : 카세트 10 : 스토커C: Cassette 10: Stocker

11 : 고정판 20 : 입출부11: fixed plate 20: entry and exit

30 : 안내바 40 : 지지바30: guide bar 40: support bar

50 : 승강블럭 60 : 회전부50: lifting block 60: rotating part

70 : 파지판 71 : 고정돌기70: holding plate 71: fixing protrusion

이하, 본 발명을 도시한 첨부도면 도 4 내지 도 6을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 4 to 6.

도 4는 본 발명에 따르는 웨이퍼 카세트 이송장치를 도시한 사시도이고, 도5는 본 발명에 따르는 웨이퍼 카세트 이송장치를 도시한 단면도이며, 도 6은 도 5의 B - B선 단면도로서, 본 발명은 스토커(10)의 내부 일면에 카세트(C)를 안착시키기 위한 복수개의 고정판(11)이 설치되어 있고 상기 스토커(10)의 일측 하부에는 카세트(C)가 내부로 인입 및 배출될 때 상기 카세트(C)를 지지하는 입출부(20)가 설치되어 있다.Figure 4 is a perspective view showing a wafer cassette transfer device according to the present invention, Figure 5 is a cross-sectional view showing a wafer cassette transfer device according to the present invention, Figure 6 is a cross-sectional view taken along line B-B of Figure 5, A plurality of fixing plates 11 for seating the cassette C on one surface of the stocker 10 are installed, and one side of the stocker 10 has a lower side of the stocker 10 when the cassette C is inserted into and discharged from the inside of the stocker 10. The entrance / exit part 20 which supports C) is provided.

한편 상기 스토커(10)의 내부 저면에는 안내바(30)가 설치되어 있고 상기 안내바(30)에는 안내바(30)에 안내되어 좌·우로 이동하는 지지바(40)가 설치되어 있으며 상기 지지바(40)에는 승강블럭(50)이 승강가능하게 설치되어 있다.Meanwhile, a guide bar 30 is installed on an inner bottom of the stocker 10, and a support bar 40 which is guided to the guide bar 30 and moves left and right is installed on the guide bar 30. The lifting block 50 is provided on the bar 40 so as to be liftable.

상기 승강블럭(50)의 상부에는 회전부(60)가 설치되어 있고 상기 회전부(60)의 회전축에는 카세트(C)의 하부에 삽입되어 상기 카세트(C)를 파지하기 위한 파지판(70)이 설치되어 있으며 상기 파지판(70)의 상면에는 카세트(C)에 삽입되어 카세트(C)의 유동을 방지하기 위한 고정돌기(70)가 형성되어 있다.The upper part of the elevating block 50 is provided with a rotating part 60 and the rotating shaft of the rotating part 60 is inserted into the lower portion of the cassette (C) is installed a grip plate 70 for holding the cassette (C) The upper surface of the holding plate 70 is inserted into the cassette (C) is formed with a fixing protrusion 70 for preventing the flow of the cassette (C).

이와같이 구성된 본 발명 이송장치의 작용을 상세히 설명하면 다음과 같다.Referring to the operation of the transport device configured in this way in detail as follows.

다수매의 웨이퍼가 적층보관된 카세트(C)를 스토커(10)의 내부에 보관하기 위하여 카세트(C)가 상기 스토커(10)에 설치된 입출부(20)의 상부에 안착되면 스토커(10)의 내부에 설치된 지지바(40)가 안내바(30)에 안내를 받으면서 상기 입출부(20)측으로 이동됨과 동시에 상기 지지바(40)에 설치된 승강블럭(50)이 카세트(C)가 안착된 입출부(20)측으로 이동되며 상기 승강블럭(50)은 이의 상부에 설치된 파지판(70)이 카세트(C)의 하부에 위치하게 되면 정지한다.In order to store the cassette C having a plurality of wafers stacked in the stocker 10, when the cassette C is seated on an upper portion of the entry / exit part 20 installed in the stocker 10, the stocker 10 may be formed. The support bar 40 installed therein is guided by the guide bar 30 while being moved to the entrance / exit unit 20, and the lifting block 50 installed in the support bar 40 enters and leaves the cassette C. The lifting block 50 is moved to the part 20 side and stops when the holding plate 70 installed on the upper portion thereof is located at the lower portion of the cassette C.

상기 파지판(70)이 카세트(C)의 하부에 위치되도록 승강블럭(50)이 정지된후 상기 승강블럭(50)에 설치된 회전부(60)가 작동되면 이의 회전축에 설치된 파지판(70)이 회전되어 입출부(20)의 상부에 안착된 카세트(C)의 하부로 삽입된다.After the lifting block 50 is stopped so that the holding plate 70 is positioned below the cassette C, the rotating unit 60 installed on the lifting block 50 is operated to hold the holding plate 70 installed on the rotating shaft thereof. It is rotated and inserted into the lower portion of the cassette C seated on the upper portion of the entry and exit 20.

이때 입출부(20)가 하부로 이동되면 상기 입출부(20)의 상부에 안착된 카세트(C)는 파지판(70)의 상부에 안착되어 상기 파지판(70)의 상면에 형성된 고정돌기(70)는 카세트(C)의 하부에 삽입되며 상기 카세트(C)가 파지판(70)의 상부에 안착이 완료되면 회전부(60)가 역방향으로 회전된다.At this time, when the entrance and exit portion 20 is moved to the lower portion of the cassette (C) is seated on the upper portion of the gripping plate 70 is fixed to the fixing projection formed on the upper surface of the holding plate (70) ( 70 is inserted into the lower portion of the cassette (C) and the rotating unit 60 is rotated in the reverse direction when the cassette (C) is completed mounting on the upper portion of the holding plate (70).

이러한 상태에서 상기 카세트(C)를 스토커(10)에 설치된 다수의 고정판(11)중 어느 일측에 안착시키기 위해서 지지바(40)와 승강블럭(50)가 동시에 작동되면 상기 파지판(70)에 안착된 카세트(C)는 회전부(60)에 의해서 회전되어 고정판(11)에 간섭되지 않게 되므로 카세트(C)를 최단거리로 이동시킬 수 있게 되는 것이다.In this state, when the support bar 40 and the lifting block 50 are operated at the same time to seat the cassette C on one side of the plurality of fixed plates 11 installed on the stocker 10, The seated cassette (C) is rotated by the rotating unit 60 so as not to interfere with the fixed plate 11 is to be able to move the cassette (C) to the shortest distance.

이와같이 카세트(C)의 이동이 완료되면 승강블럭(50)에 설치된 회전부(60)가 고정판(11)측으로 회전되어 파지판(70)에 안착된 카세트(C)를 고정판(11)의 직상방으로 이동시키게 되며 상기 승강블럭(50)이 하부로 이동되면 상기 카세트(C)의 하부에 삽입된 고정돌기(70)는 카세트(C)에서 분리됨과 함께 상기 카세트(C)는 고정판(11)의 상부에 안착이 완료된다.As such, when the movement of the cassette C is completed, the rotating part 60 installed on the lifting block 50 is rotated toward the fixing plate 11 to move the cassette C seated on the holding plate 70 to the upper side of the fixing plate 11. When the lifting block 50 is moved downward, the fixing protrusion 70 inserted into the lower portion of the cassette C is separated from the cassette C, and the cassette C is the upper portion of the fixing plate 11. The seating is completed.

또한 상기 고정판(11)에 안착된 카세트(C)를 인출할 때에는 상술한 동작을 역으로 수행하게 되면 가능하게 된다.In addition, when the cassette C seated on the fixing plate 11 is taken out, the above-described operation may be performed in reverse.

이와 같은 본 발명의 웨이퍼 카세트 이송장치는 파지판이 카세트의 하부로 삽입되어 상기 카세트를 파지하게 되므로 설비의 크기를 소형화 할 수 있게 됨은물론 파지판이 스토커의 모서리부로 이동이 가능하게 되므로 스토커의 적재용량이 증가된다.Such a wafer cassette transfer apparatus of the present invention is to hold the cassette is inserted into the lower portion of the cassette to reduce the size of the installation, as well as the grip plate is able to move to the corner of the stocker, the storage capacity of the stocker Is increased.

또한 상기 스토커의 내부에서 이동되는 카세트가 이동할 때 상기 스토커의 내부에 설치된 고정판과 간섭이 방지되어 최단거리를 이동할 수 있게 되므로 작업시간을 단축시킬 수 있는 매우 유용한 발명이다.In addition, when the cassette moved in the stocker is moved, the interference with the fixing plate installed in the stocker is prevented, so that the shortest distance can be moved, it is a very useful invention that can shorten the working time.

Claims

A plurality of fixing plates 11 for storing cassettes C in which a plurality of wafers are stacked are formed, and are installed inside the stocker 10 provided with an entry / exit part 20 through which the cassettes C are input and output. In the transfer device for transferring the cassette (C),

Guide bar 30 installed in the longitudinal direction on the bottom surface of the stocker 10, and is installed on the guide bar 30 is moved to the left and right from the inside of the stocker 10 while being guided by the guide bar 30 The support bar 40 and the lifting bar 50 which is installed on one surface of the support bar 40 and is lifted while being guided by the support bar 40, and the rotating part 60 installed on the lifting block 50. And a holding plate 70 which is rotated by the upper surface and includes a holding plate 70 having a plurality of fixing protrusions 70 protruding therefrom.