KR100282101B1 - Magneto-optical scanning device comprising a polarization-sensitive beam splitter, a manufacturing method thereof and a beam splitter - Google Patents
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Abstract
Description
제1도는 본 발명에 따른 쐐기형 소자를 형성하는데 적합한 단량체를 도시한 도면.1 shows a monomer suitable for forming a wedge-shaped device according to the invention.
제2도는 X 그룹의 예를 도시한 도면.2 shows an example of an X group.
제3도는 M 그룹의 예를 도시한 도면.3 shows an example of an M group.
제4도는 적합한 액정 단량체 조성물의 구조식을 도시한 도면.4 shows the structural formula of a suitable liquid crystal monomer composition.
제5도는 편광 감지성 비임 분할기에 사용하기 위한 쐐기형(wedge-shaped)소자를 도시한 도면.5 shows a wedge-shaped element for use in a polarization sensitive beam splitter.
제6도 및 제7도는 2개의 쐐기형 소자를 포함하는 편광 감지성 비임 분할기의 두 가지 상이한 실시예를 도시한 도면.6 and 7 illustrate two different embodiments of a polarization sensitive beam splitter comprising two wedge shaped elements.
제8도는 3개의 쐐기형 소자를 포함하는 편광 감지성 비임 분할기를 도시한 도면.8 illustrates a polarization sensitive beam splitter comprising three wedge shaped elements.
제9도는 자기 광학 기록 반송자를 주사하는 장치를 도시한 도면.9 shows an apparatus for scanning a magneto-optical record carrier.
제10도는 자기 광학 기록 반송자를 주사하는 장치를 도시한 도면.10 shows an apparatus for scanning a magneto-optical record carrier.
제11a도 및 제11b도는 제10도의 장치의 비임 분할기 및 검출 시스템의 두 가지 배향을 도시한 도면.11a and 11b show two orientations of the beam splitter and detection system of the apparatus of FIG.
제12a도 및 제12b도는 집적 PPBS 입방체 및 쐐기 소자의 두가지 실시예를 도시한 도면.12A and 12B show two embodiments of an integrated PPBS cube and a wedge element.
제12c도는 집적 PPBS판 및 쐐기 소자의 일실시예를 도시한 도면.Figure 12c illustrates one embodiment of an integrated PPBS plate and wedge element.
제13a도는 자기 광학 기록 반송자 주사용 장치를 도시한 도면.Fig. 13A shows an apparatus for scanning a magneto-optical record carrier.
제13b도, 제13c도 및 제13d도는 일체화된 거울 및 쐐기 소자의 실시예를 도시한 도면.13B, 13C and 13D show an embodiment of an integrated mirror and wedge element.
본 발명은 복굴절 물질로 이루어진 하나 이상의 투명한 쐐기형 소자를 포함하는 편광 감지성 비임 분할기(polarization-sensitive beam splitter) 및 그 비임 분할기를 포함하는 자기 광학 기록 반송자(magneto-optical record carrier) 주사용 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a polarization-sensitive beam splitter comprising at least one transparent wedge-shaped element of birefringent material and a device for scanning a magneto-optical record carrier comprising the beam splitter. It is about.
본 발명은 또한 복굴절 물질로 이루어진 하나 이상의 투명한 쐐기형 소자를 포함하는 편광 감지성 비임 분할기를 제조하는 방법 및 자기 광학 기록 반송자를 주사하는 장치에 관한 것이다.The invention also relates to a method of manufacturing a polarization sensitive beam splitter comprising at least one transparent wedge-shaped element made of birefringent material and to an apparatus for scanning a magneto optical record carrier.
자기 광학 기록 시스템의 픽-업(pick-up) 소자로서 사용하기 위한 상기 유형의 평광 감지성 비임 분할기는 미국특허 제4,951,274호에 기술되어 있다. 이러한 비임 분할기에 있어서는, 결정질 석영으로 제조되며, 소자의 광학 축이 45 내지 135°의 각도에서 상호 연장되는 방식으로 서로에 대해 고정되는 2개의 투명한 쐐기형 소자가 사용된다. 이러한 비임 분할기[예 : 월라스톤 프리즘(Wollaston prism)]는 자기 광학 기록 시스템의 픽-업 소자에서 상대적으로 넓은 공간을 차지한다. 또한, 석영 소자를 정밀 가공해야 하며 정확히 성형해야 한다.This type of flatness sensitive beam splitter for use as a pick-up element of a magneto-optical recording system is described in US Pat. No. 4,951,274. In such a beam splitter, two transparent wedge-shaped devices are used, which are made of crystalline quartz and are fixed relative to each other in such a way that the optical axes of the devices extend from each other at an angle of 45 to 135 degrees. Such beam splitters (eg Wallaston prism) occupy a relatively large space in the pick-up element of the magneto-optical recording system. In addition, quartz devices must be precision machined and molded accurately.
본 발명의 목적은 특히 소형이고 경량인 편광 감지성 비임 분할기를 제공하는데 있다. 본 발명은 소망 방식으로 간단하고 정확하게 광로 내에 위치될 수 있는 비임 분할기를 제공하고자 하는 것이다. 투과시 직각으로 편광되는 광 성분들이 서로 분리된 후 편광된 광 비임이 상호 발산되는 비임 분할기를 제공하는 것이 바람직하다. 본 발명은 이러한 편광 감지성 비임 분할기의 간단한 제조방법을 제공하고자 하는 목적도 있다.It is an object of the present invention to provide a polarization sensitive beam splitter which is particularly compact and lightweight. It is an object of the present invention to provide a beam splitter that can be located in a light path simply and accurately in a desired manner. It is desirable to provide a beam splitter where the light components polarized at right angles in transmission are separated from each other and then the polarized light beams diverge from each other. Another object of the present invention is to provide a simple manufacturing method of such a polarization sensitive beam splitter.
서두에서 기술한 바와 같이, 편광 감지성 비임 분할기를 이용하여 상기 목적 및 기타 다른 목적을 달성할 수 있고, 여기서, 본 발명에 따른 비임 분할기는 쐐기형 소자가 경화된 액정 단량체 조성물로 이루어진 단축 배향 중합체 물질을 포함하는 것을 특징으로 한다.As described earlier, the above and other objects can be achieved using a polarization sensitive beam splitter, wherein the beam splitter according to the present invention is a uniaxially oriented polymer consisting of a liquid crystal monomer composition in which a wedge-shaped device is cured. It characterized in that it comprises a substance.
본 발명에 따른 편광 감지성 비임 분할기의 매우 적절한 실시예에 따르면, 상기 비임 분할기는 중합체 물질의 배향 방향이 서로 상이한 둘 또는 세개의 쐐기형 소자를 포함한다.According to a very suitable embodiment of the polarization sensitive beam splitter according to the invention, the beam splitter comprises two or three wedge shaped elements which differ in the direction of orientation of the polymeric material.
본 발명에 따른 비임 분할기의 특별한 실시예는 광 비임이 각각 별도로 입사 및 출사하는 비임 분할기 표면에 중합체 물질로 만들어진 반사 방지 격자를 포함한다.A particular embodiment of the beam splitter according to the invention comprises an antireflective grating made of a polymeric material on the beam splitter surface on which the light beams respectively enter and exit separately.
본 발명에 따른 자기 광학 기록 반송자 주사용 장치는 단축 배향 중합체 물질로 이루어진 쐐기형 소자를 포함하는 비임 분할기를 포함한다. 이러한 비임 분할기는 소형이기 때문에 장치의 광로가 고집적될 수 있다.The apparatus for scanning a magneto-optical record carrier according to the present invention includes a beam splitter comprising a wedge-shaped element made of a uniaxially oriented polymer material. Since the beam splitter is compact, the optical path of the device can be highly integrated.
총 두께가 작은 비임 분할기를 획득하기 위해, 톱니 구조로된 복수의 소형 쐐기형 소자를 병렬로 배치할 수 있다. 중합체 물질의 배향 방향이 서로 상이한 2개의 쐐기형 소자가 쌍으로 사용될 수 있다.In order to obtain a beam splitter having a small total thickness, a plurality of small wedge-shaped devices having a sawtooth structure can be arranged in parallel. Two wedge-shaped elements with different orientation directions of the polymeric material can be used in pairs.
본 발명에 따르면, 편광 감지성 비임 분할기의 제조방법을 제공하고자 하는 목적은 2개의 기판에 배향층을 제공하고, 그 배향층이 서로 면하도록 기판을 배열하면서 쐐기형 내부 공간을 형성하고, 계속해서 경화되는 액정 단량체 조성물로 내부 공간을 충전시키면서 쐐기형 소자를 형성하는 방법에 의해 성취된다.According to the present invention, an object of the present invention is to provide an alignment layer on two substrates, form a wedge-shaped inner space while arranging the substrates so that the alignment layers face each other, and then It is achieved by a method of forming a wedge-shaped device while filling the internal space with the liquid crystal monomer composition to be cured.
이후에, 필요에 따라 기판을 제거할 수도 있다. 예를 들어, 하나의 기판 또는 두개의 기판이 모두 비임 분할기의 외부를 보호한다는 이유로 제거되지 않을 경우, 두께가 0.1 내지 1mm인 기판을 사용하는 것이 바람직하다.Thereafter, the substrate may be removed as necessary. For example, if one or both substrates are not removed because of protection of the outside of the beam splitter, it is preferable to use a substrate having a thickness of 0.1 to 1 mm.
미국특허 제5,042,925호에는 경화된 액정 단량체 조성물을 포함하는 편광층을 가진 편광 감지성 비임 분할기가 기술되어 있지만, 그 편광층은 쐐기형이 아니다. 공지된 비임 분할기는 비교적 크며, 일부는 투과시키고 일부는 반사시킨다. 광로에 있어서의 정확한 위치 및 배향은 공지된 비임 분할기를 만족스럽게 조작하기 위해 중요하다.U. S. Patent No. 5,042, 925 describes a polarization sensitive beam splitter having a polarizing layer comprising a cured liquid crystal monomer composition, but the polarizing layer is not wedge shaped. Known beam splitters are relatively large, some transmitting and some reflecting. The exact position and orientation in the light path is important for satisfactory manipulation of known beam splitters.
이들 및 기타 특징은 하기에 기술되는 실시예로부터 분명해질 것이며 이를 참조로 하여 설명될 것이다.These and other features will be apparent from and elucidated with reference to the examples described below.
제 1 도는 본 발명에 따른 편광 감지성 비임 분할기에 사용하기 위한 쐐기형 소자를 제조할 수 있는 복수의 적절한 단량체를 도시한다. 적절한 단량체로는 특히, 아크릴레이트 화합물(그룹 R은 수소원자이다), 메타크릴레이트 화합물(그룹 R은 메틸 그룹이다), 클로로아크릴레이트 및 플루오로아크릴레이트 화합물(그룹 R은 염소원자 또는 불소원자 이다), 에폭시 화합물 및 비닐 에테르 화합물이 있다. 그룹 X의 예는 제 2 도에 도시되며, 여기서 p는 1 내지 대략 12일 수 있다. 그룹 M의 예는 제 3 도에 도시된다. 광중합 반응에 의한 단량체 조성물의 경화 반응에 있어서, 사용될 수 있는 감광성 개시제의 특성은 공지된 방법으로 단량체의 특성에 적용될 수 있다. 방향족 카보닐 화합물은 디(메트)아크릴레이트 화합물을 경화시키기 위한 감광성 개시제로 적합한 반면, 디페닐요오도늄 헥사플루오로아르세나이드와 같은 디아릴요오도늄 화합물은 에폭시 및 비닐 에테르 화합물을 경화시키는데 사용될 수 있다.1 shows a plurality of suitable monomers from which a wedge shaped device can be manufactured for use in a polarization sensitive beam splitter according to the present invention. Suitable monomers include, in particular, acrylate compounds (group R is a hydrogen atom), methacrylate compounds (group R is a methyl group), chloroacrylates and fluoroacrylate compounds (group R is a chlorine atom or a fluorine atom). ), Epoxy compounds and vinyl ether compounds. An example of group X is shown in FIG. 2, where p can be from 1 to approximately 12. An example of a group M is shown in FIG. In the curing reaction of the monomer composition by the photopolymerization reaction, the properties of the photosensitive initiator that can be used can be applied to the properties of the monomers by known methods. Aromatic carbonyl compounds are suitable as photoinitiators for curing di (meth) acrylate compounds, while diaryliodonium compounds such as diphenyliodonium hexafluoroarsenide are used to cure epoxy and vinyl ether compounds. Can be used.
[실시예 1]Example 1
단량체 조성물은 감광성 개시제인 2,2-디메톡시-2-페닐-아세토페논[시바-가이기(Ciba-Geigy)사에 의해 시판됨] 2중량%와 구조식이 제 4 도에 도시되어 있는(예를 들면, 유럽 특허원 제261 712호에 개시된 방법으로 제조되는) 액정 디아크릴레이트 화합물을 혼합하여 제조된다.The monomer composition comprises 2% by weight of the photosensitive initiator 2,2-dimethoxy-2-phenyl-acetophenone (commercially available from Ciba-Geigy) and the structural formula shown in FIG. For example, a liquid crystal diacrylate compound prepared by the method disclosed in EP 261 712 is prepared by mixing.
2개의 사각 유리판을 나일론 배향층으로 피복시키고, 각각의 유리판 모서리중 하나와 평행한 방향으로 보풀 방지용(anti-fluff) 천으로 마찰시킨다. 이어서, 유리판 사이에 쐐기형 공간은 남겨 두면서 마찰 방향과 평행하게 유리판을 서로 마주보게 배열시킨다. 유리판 사이의 각도 즉, 쐐기각이 4°가 되도록 스페이서를 가장자리 한 곳의 유리판 사이에 놓는다. 상기 기술된 단량체 조성물을 유리판 사이의 공간에 충전시킨 다음, 활성 방사선, 즉 실시예에 따른 자외선 조사(照射)에 의해 고체의 쐐기형 소자를 형성하고 유리판을 제거한다.Two square glass plates are coated with a nylon alignment layer and rubbed with an anti-fluff cloth in a direction parallel to one of the edges of each glass plate. Subsequently, the glass plates are arranged to face each other in parallel with the friction direction while leaving the wedge-shaped space between the glass plates. The spacer is placed between the glass plates at one edge so that the angle between the glass plates, that is, the wedge angle, is 4 °. The above-described monomer composition is filled in the space between the glass plates, and then a solid wedge-shaped element is formed by activating radiation, that is, ultraviolet irradiation according to the embodiment, and the glass plate is removed.
제 5 도는 분자 배향 방향(2)이 소자의 광학 축과는 수직을 이루며 쐐기의 좁은 모서리와는 평행하게 선택되도록 제조된 쐐기형 소자(1)를 도시하고 있다. 통상의 비편광 입사광 비임(3)은 편광 방향이 서로 상이한 특수 광 비임(4)과 일반적인 광 비임(5)으로 분리된다. 2개의 방출 비임 사이의 각도는 쐐기각과 복굴절치에 비례한다. 사용된 중합체 물질의 복굴절률이 상대적으로 크기 때문에 비교적 작은 쐐기각이 출사 비임 사이에 주어진 각을 실현하도록 취해질 수 있다. 중합체 물질보다 복굴절률이 상당히 작은 에를 들면, 결정질 석영으로 제조된 비임 분할기의 경우, 쐐기각은 출사 비임 사이의 동일각에 대하여 대략 15배가 커야 한다. 쐐기각은 비임 분할기의 두께에 따라 결정되므로, 본 발명에 따른 비임 분할기가 석영 비임 분할기보다 상당히 박형으로 제조될 수 있다는 사실이 분명해진다.5 shows a wedge shaped device 1 made such that the molecular orientation direction 2 is selected perpendicular to the optical axis of the device and parallel to the narrow edge of the wedge. The normal non-polarized incident light beam 3 is separated into a special light beam 4 and a general light beam 5 having different polarization directions. The angle between the two emission beams is proportional to the wedge angle and the birefringence value. Since the birefringence of the polymeric material used is relatively large, relatively small wedge angles can be taken to achieve a given angle between the exit beams. For example, for beam splitters made of crystalline quartz, the wedge angle should be approximately 15 times greater for the same angle between the exit beams, for example, with significantly lower birefringence than the polymeric material. Since the wedge angle is determined by the thickness of the beam splitter, it becomes clear that the beam splitter according to the present invention can be made significantly thinner than the quartz beam splitter.
나일론 배향층 대신에, 폴리이미드 또는 폴리에틸렌 마찰층이나 직각으로 스퍼터(sputter)되는 산화 규소층과 같은 다른 공지된 배향층을 사용할 수도 있다. 필요에 따라, 예를 들어, 강도가 15kGauss인 자장을 적용시켜 다르게 배향시킬 수 있다.Instead of the nylon alignment layer, other known alignment layers may be used, such as polyimide or polyethylene friction layers or silicon oxide layers sputtered at right angles. If desired, different orientations can be achieved, for example, by applying a magnetic field of 15 kGauss intensity.
본 발명에 따른 편광 감지성 비임 분할기 제조에 사용가능한 적합한 물질 및 대체 방법은 또한 문헌[참조: R. A. M. Hikmet 및 D. J. Broer; Polymer 32(9), pp. 1627-1632(1991)]에도 기술되어 있다. 상기 문헌은 동력학적 측정에 적합한 자립형 평면 소자의 제조에 대해서도 기술하고 있다.Suitable materials and alternative methods usable for making polarization sensitive beam splitters according to the present invention are also described in R. A. M. Hikmet and D. J. Broer; Polymer 32 (9), pp. 1627-1632 (1991). The document also describes the manufacture of freestanding planar elements suitable for kinetic measurements.
[실시예 2]Example 2
실시예 1에서 기술한 바와 같은 2개의 쐐기형 소자를 제조하되, 그중 하나의 소자는 마찰 방향으로 제조하고 분자의 배향은 좁은 쐐기 모서리와 45°의 각을 이루도록 선택한다.Two wedge shaped devices as described in Example 1 are prepared, one of which is made in the friction direction and the orientation of the molecules is chosen to be at an angle of 45 ° to the narrow wedge edge.
제 6 도는 배향 방향(13, 14)이 비임 분할기의 광학 축에 수직이고 상호간에는 45°의 각을 이루는 두개의 쐐기형 소자(11, 12)를 포함하는 편광 감지성 비임 분할기를 도시하고 있다.FIG. 6 shows a polarization sensitive beam splitter comprising two wedge shaped elements 11 and 12 whose orientation directions 13 and 14 are perpendicular to the optical axis of the beam splitter and are at an angle of 45 ° to each other.
원칙적으로, 일명 변형된 월라스톤 프리즘이라고도 하는 상기 이중 비임 분할기는 비편광된 입사광 비임(15)을 4개의 서브비임(sub-beam)으로 분리시키는데 이중 2개, 즉, bo,o및 be,e는 일치하는 반면, 다른 두개의 서브비임, 즉, be,o및 bo,e는 앞서의 서브비임을 사이에 두고 서로 반대 각도에서 연장된다. 이들 서브비임의 제 1 및 제 2 첨자(index)는 제 1 및 제 2 쐐기형 소자에 대해 관련된 쐐기형 서브 비임이 보통(ordinary: o) 및 특수(extraordinary: e) 비임임을 각각 나타내고 있다. 단순화하기 위해 서브비임 bo,o및 be,e에 의해 형성된 비편광 진행 비임은 참조번호 16으로 표시했고, 상호 수직으로 편광된 편향된 서브비임 be,o및 bo,e는 각각 참조번호 17 및 18로 표시하였다. 이러한 비임 분할기는 자기 광학 기록 반송자용 주사 장치에서 매우 유용하게 사용될 수 있다.In principle, the double beam splitter, also called a modified wallastone prism, separates the unpolarized incident light beam 15 into four sub-beams, two of which are b o, o and b e. , e matches, while the other two subbeams, b e, o and b o, e , extend at opposite angles with the previous subbeam in between. The first and second subscripts of these subbeams indicate that the associated wedge subbeams for the first and second wedge elements are ordinary (o) and extraordinary (e) beams, respectively. For simplicity , the non-polarization propagation beams formed by sub-beams b o, o and b e, e are indicated by reference numeral 16, and the deflected sub-beams b e, o and b o, e polarized mutually perpendicular to 17 and 18. Such a beam splitter can be very usefully used in a scanning device for a magneto-optical record carrier.
진행 비임(16)의 세기와 편향된 비임(17, 18)의 세기의 합 사이의 비는 배향방향(13) 및 배향 방향(14) 사이의 각에 의존한다. 각도가 0°인 경우 비율은 무한대가 된다. 즉, 진행 비임(16)만이 존재한다. 각도가 45°인 경우에는 비율이 1이다. 각도가 90°인 경우에는 비율이 0이 된다. 즉, 진행 비임(16)이 존재하지 않고, 비임 분할기는 변형되지 않는 월라스톤 프리즘으로서 기능한다. 입사광 비임(15)을 편광시킬 경우 세 비임의 세기의 비는 또한 입사광 비임의 편광 상태에 좌우된다. 예를 들어 45°또는 90°로 같지 않은 각도에서 석영 비임 분할기를 제조할 경우 절단 손실이 매우 큰 반면, 중합체 물질로 비임 분할기를 제조하는 경우는 제 6 도에서 도시하고 있는 비임 분할기의 제조와 본질적으로 동일하다. 여기서, 마찰 방향중 하나는 다르게 선택되어야 한다.The ratio between the intensity of the traveling beam 16 and the sum of the intensities of the deflected beams 17, 18 depends on the angle between the orientation direction 13 and the orientation direction 14. If the angle is 0 °, the ratio is infinite. That is, only the traveling beam 16 is present. If the angle is 45 °, the ratio is one. If the angle is 90 °, the ratio is zero. That is, there is no traveling beam 16, and the beam splitter functions as a wallastone prism that is not deformed. The ratio of the intensity of the three beams when polarizing the incident light beam 15 also depends on the polarization state of the incident light beam. Cutting losses are very large when manufacturing a quartz beam splitter at an angle not equal to 45 ° or 90 °, for example, whereas manufacturing a beam splitter from a polymeric material is essentially the same as that of the beam splitter shown in FIG. Same as Here, one of the friction directions must be chosen differently.
[실시예 3]Example 3
하나의 소자를 마찰 방향으로 제조하는 것을 제외하고는 실시예 1에서 기술한 바와 같은 2개의 쐐기형 소자를 제조하여 좁은 쐐기 모서리와 90°가 되도록 분자의 배향 방향을 선택한다. 광학적으로 중성인 접착제를 이용하여 2개의 쐐기형 소자를 접착시킨다.Except for fabricating one device in the frictional direction, two wedge-shaped devices as described in Example 1 were fabricated to select the orientation of the molecules to be 90 ° with the narrow wedge edges. Optically neutral adhesive is used to bond the two wedge shaped devices.
제 7 도는 배향 방향(23) 및 배향 방향(24)이 광학 축과 서로 수직인 2개의 쐐기형 소자(21, 22)를 포함하는 편광 감지성 비임 분할기를 도시하고 있다. 필요에 따라, 상기 비임 분할기(Wollaston prism)에 비임 분할기의 입사면(entrance surface) 및 출사면(exit surface)에 모사되는 필요한 격자를 부착한 유리판을 사용하여 반사 방지 격자층(25, 26 : anti-reflection grating layer)을 장착할 수 있다. 여기서, 입사면이란 비임이 비임 분할기로 들어가는 면이고, 출사면이란 비임이 비임 분할기를 빠져 나오는 면을 말한다. 상기 격자는 경화에 의해 획득되는 액정 단량체 조성물 및 복굴절 중합체 분자에 대한 배향 방향을 결정하는 것을 도와준다. 파장이 800nm인 광에 대하여 높이가 0.2㎛이고 간격이 0.48㎛인 리쥐(ridge)에 의해 적합한 격자를 형성한다. 비임 분할기를 매우 매끄러운 면으로 제조하고자 하는 경우, 이는 예를 들면 박형의 유리층을 제공함으로써 실현될 수 있다.7 shows a polarization sensitive beam splitter comprising two wedge shaped elements 21, 22 in which the orientation direction 23 and the orientation direction 24 are perpendicular to the optical axis. If necessary, the anti-reflective grating layers 25, 26 are anti-reflective using a glass plate attached to the beam splitter with the necessary gratings that are simulated on the entrance and exit surfaces of the beam splitter. -reflection grating layer. Here, the incident surface is a surface into which the beam enters the beam splitter, and the exit surface refers to a surface where the beam exits the beam splitter. The lattice helps to determine the orientation direction for the liquid crystal monomer composition and birefringent polymer molecules obtained by curing. Suitable gratings are formed by ridges with a height of 0.2 μm and an interval of 0.48 μm for light having a wavelength of 800 nm. If it is desired to produce the beam splitter with a very smooth side, this can be realized, for example, by providing a thin glass layer.
[실시예 4]Example 4
실시예 1에서 기술한 바와 같은 3개의 쐐기형 소자를 제조할 수 있는데, 이때, 제 1 소자(28) 및 제 3 소자(11)의 쐐기 각은 동일하며 제 2 소자(27)의 쐐기각은 제 1 소자의 쐐기각의 2배이다. 3개의 쐐기형 소자는 제 8 도에 도시되어 있는 바와 같이 비임 분할기에 연속적으로 결합되어 있다. 제 1 및 제 3 소자의 마찰방향(29, 13)은 각각 동일한 반면, 제 2 소자의 마찰 방향(30)은 마찰 방향(13)과 90°의 각을 이루고 있다. 이러한 대칭 구조로 인하여, 이중 월라스톤으로 불리워지는 상기 프리즘은 단지 투과된 광 비임(4, 5)의 파두섭동(perturbation of wavefront)을 작게 한다. 마찰 방향(13)과 마찰 방향(30) 사이의 90°각도는 입사하는 비편광 비임(15)이 2개의 편광된 비임(4,5)으로 분할한다. 90°대신에 0°내지 90°사이의 다른 각을 취할 경우, 제 6 도에 도시된 월라스톤 프리즘에 의한 분할에 따라 입사 비임은 2개의 편광된 비임과 하나의 비편광 비임으로 분할된다. 석영으로 이루어진 이중 월라스톤은 많은 경우에 적용하는데 부적절하게 크다. 그러나, 중합체 물질로 이루어진 이중 월라스톤은 매우 작은 크기로 제조할 수 있다.Three wedge-shaped elements as described in Example 1 can be manufactured, wherein the wedge angles of the first element 28 and the third element 11 are the same and the wedge angle of the second element 27 is It is twice the wedge angle of the first element. Three wedge-shaped elements are continuously coupled to the beam splitter as shown in FIG. The friction directions 29 and 13 of the first and third elements are the same, respectively, while the friction direction 30 of the second element forms an angle of 90 ° with the friction direction 13. Due to this symmetrical structure, the prism, called double wallastone, only reduces the perturbation of wavefront of the transmitted light beams 4, 5. The 90 ° angle between the friction direction 13 and the friction direction 30 divides the incident non-polarization beam 15 into two polarized beams 4, 5. When taking another angle between 0 ° and 90 ° instead of 90 °, the incident beam is split into two polarized beams and one non-polarized beam, according to the division by the wallastone prism shown in FIG. Double wallastones made of quartz are inadequately large in many applications. However, double wallastones made of polymeric material can be made in very small sizes.
본 발명에 따른 편광 감지성 비임 분할기는 작고 가볍다. 광학 장치에 본 편광 감지성 비임 분할기를 제공하기가 용이하며, 그 배향 각(광 비임 또는 광학 축에 대한 각)이 아주 중요하지 않기 때문에 특히 광로에서 위치를 지정하기가 쉽고, 광학적 특성은 쐐기형 소자를 제조하는 동안 유리판 사이의 각도의 선택에 의해 결정된다.The polarization sensitive beam splitter according to the present invention is small and light. It is easy to provide the present polarization-sensitive beam splitter to the optical device, and it is particularly easy to position in the optical path because its orientation angle (angle with respect to the optical beam or optical axis) is not very important, and the optical characteristic is wedge-shaped It is determined by the choice of the angle between the glass plates during the manufacture of the device.
제 9 도는 본 발명에 따른 자기 광학 장치의 주사 장치의 일실시예를 도시하고 있다. 이러한 장치는 주사 비임(32)을 공급하기 위한 반도체 레이저 형태의 광원(31)을 포함하고 있다. 광원에 의해 생성된 주사 비임을 집중시키기 위한 대물렌즈 시스템(34)을 주사 비임의 경로에 배치시킨다. 본 시스템은 시준렌즈(33) 및 기록반송자의 정보면(36)에 주사 점(35)을 형성하기 위해 주사 비임을 집중시키기 위한 대물렌즈(34)를 포함하고 있다. 광로에 부분 편광화 비임 분할기(37 : PPBS)를 배열한다. 이러한 PPBS의 구조와 기능은 예를 들면, 유럽 특허 명세서 제0 078 673호에 기술되어 있다. 상기 장치는 바람직하게는 비임(32)을, 예를 들면 추적 서보 시스템(tracking servosystem)을 위한 3개의 서브비임으로 분할시키기 위한 격자(38)를 포함하여, 필요에 따라 광로를 겹치게 하는 거울(39)을 포함한다.9 shows one embodiment of a scanning device of a magneto-optical device according to the present invention. Such a device comprises a light source 31 in the form of a semiconductor laser for supplying a scanning beam 32. An objective system 34 for concentrating the scanning beam generated by the light source is placed in the path of the scanning beam. The system includes a collimating lens 33 and an objective lens 34 for concentrating the scanning beam to form the scanning point 35 on the information carrier 36 of the record carrier. Arrange the partially polarized beam splitter 37 (PPBS) in the optical path. The structure and function of such a PPBS is described, for example, in EP 0 078 673. The apparatus preferably comprises a grating 38 for dividing the beam 32 into three sub-beams, for example for a tracking servosystem, such that the mirror 39 overlaps the light path as needed. ).
주사 비임을 기록 반송자에서 반사시키고 대물 시스템 및 필요한 경우 포함될 수 있는 거울(39)을 통해 PPBS쪽으로 통과시킨다. PPBS에 의해 통과된 광은 편광 감지성 비임 분할기(40)에 의해 제 6 도에서 도시한 바와 같이 진행 비임 및 상호 수직으로 편광된 2개의 편향 비임으로 연속적으로 분할된다. 본 발명에 따르면, 비임 분할기는 복굴절 물질 즉, 경화된 액정 단량체 조성물로부터 형성된 단축 방향으로 배향된 중합체로 이루어진 2개의 쐐기형 소자를 포함하며, 이때 2개의 쐐기형 소자의 배향은 상이하다.The scanning beam is reflected at the record carrier and passed through the objective system and mirror 39, which may be included if necessary, to the PPBS. The light passed by the PPBS is subsequently split by the polarization sensitive beam splitter 40 into two propagating beams and two deflecting beams that are polarized perpendicular to each other as shown in FIG. According to the invention, the beam splitter comprises two wedge shaped elements consisting of a birefringent material, ie a polymer oriented in a uniaxial direction formed from the cured liquid crystal monomer composition, wherein the orientations of the two wedge shaped elements are different.
비임 분할기(40)는 요구되는 쐐기 각이 작기 때문에 상대적으로 얇을 수 있다. 비임 직경이 5mm인 경우 비임 분할기의 두께가 0.5mm 이하이면 출사 비임을 만족스럽게 분리하는데 충분하다. 이러한 박형의 비임 분할기를 비임 분할기(37)에 간단히 부착시켜 광로의 성분 수를 감소시킬 수 있다. 모사 기술에 의해 비임 분할기(37)상에 격자(38)을 제공하여 좀더 감소시킬 수 있다.The beam splitter 40 may be relatively thin because the required wedge angle is small. If the beam diameter is 5 mm, the beam divider thickness of 0.5 mm or less is sufficient to satisfactorily separate the exit beam. This thin beam splitter can be simply attached to the beam splitter 37 to reduce the number of components in the optical path. Simulation techniques can further reduce the provision of a grating 38 on the beam splitter 37.
비임 분할기(40)에 의해 형성된 진행 비임은 기록 반송자 내의 올바른 위치에 주사 점을 정하는 서보신호(servosignals)를 발생시키는데 사용될 수 있는 반면, 기울어지고 상호 수직으로 편광된 두개의 편향된 비임은 정보면(36)에 저장된 정보를 나타내는 정보 신호를 발생시키는데 사용된다. 2개의 편광 비임 및 다른 한편으로는 진행 비임에 대한 기록 반송자로부터의 광 세기의 분포는 정보 신호 및 서보 신호의 밴드 폭(band width)에 적용될 수 있다. 일반적으로 비임에서 세기는 밴드폭이 클수록 커야 한다. 편광 비임과 진행 비임 사이의 광의 세기의 비는 비임 분할기(40)의 쐐기형 소자에 있어서 제 6 도에서는 배향 방향(13)과 배향 방향(14), 제 7 도에서는 배향 방향(23)과 배향 방향(24) 사이의 각도(α)에 의해 조절된다. 이 각도는 넓은 밴드 정보 신호를 발생시키는 편향된 편광 비임에서 유용한 충분한 광을 가지도록 45°이상이 바람직하다. 본 발명은 배향 방향 사이의 각도를 0° 내지 90°사이의 임의의 값으로 제공할 수 있는 가능성을 제공한다. 각도의 선택은 비임 분할기가 사용되어야 하는 곳의 여건에 따라 결정된다.The traveling beam formed by the beam splitter 40 can be used to generate servosignals that define the scan point at the correct location in the record carrier, while the two deflected beams that are tilted and mutually polarized vertically It is used to generate an information signal representing information stored in 36). The distribution of the light intensity from the record carrier for the two polarizing beams and the traveling beams on the other hand can be applied to the band widths of the information signal and the servo signal. In general, the intensity at the beam should be larger as the bandwidth is larger. The ratio of the intensity of light between the polarizing beam and the traveling beam is the orientation direction 13 and orientation direction 14 in FIG. 6 in the wedge-shaped element of the beam splitter 40 and the orientation direction 23 and orientation in FIG. By the angle α between the directions 24. This angle is preferably at least 45 ° to have sufficient light useful in a deflected polarization beam that generates a wide band information signal. The present invention offers the possibility of providing the angle between the orientation directions to any value between 0 ° and 90 °. The choice of angle depends on the conditions where the beam splitter should be used.
제 10 도는 본 발명에 따른 자기 광학 기록 반송자 주사 장치의 또 하나의 실시예를 도시하고 있다. 제 9 도의 실시예가 2개의 쐐기형 소자를 포함하는 비임 분할기를 사용하는 반면, 본 실시예는 본 발명에 따른 복굴절 물질로 이루어진 하나의 쐐기형 소자를 포함하는 편광 감지성 비임 분할기(45)를 사용한다. 본 장치는 2개의 검출 시스템을 갖추고 있다. 이중 하나의 검출 시스템(46)은 비임 분할기(45)를 관통하는 비임 경로 내에 설치하여 정보 신호를 발생시키는데 사용한다. 다른 하나의 검출 시스템(47)은 기록 반송자로부터 되돌아오는 비임에 설치하고 결합격자(48)를 이용하여 비임의 방향을 편향시켜서, 서보 신호를 발생시키는데 사용한다. 제 11a 도는 비임 분할기(45) 및 검출 시스템(46)의 사시도이다. 상기 비임 분할기는 입사 비임(49)을 2개의 통과 비임(50, 51)으로 분할시키고 이들 각각은 2등분된 분할 검출 시스템 사이의 분할선(52)의 어느 한측으로 입사된다. 검출 시스템과 나란히 있는 4개의 반점(53)은 3개의 비임 격자(38)에 의해 발생된 비임 때문이다. 통과 비임(50, 51)의 원하는 배향 및 편광은 비임 분할기의 쐐기의 배향 방향(54)이 쐐기를 형성하는 2개의 평면의 교선(55)과 45°의 각을 이루도록 함으로써 달성할 수 있다. 비임 분할기 및 검출 시스템의 또 하나의 배향이 제 11b 도에 도시된다.10 shows another embodiment of the magneto-optical record carrier scanning apparatus according to the present invention. While the embodiment of FIG. 9 uses a beam splitter comprising two wedge elements, this embodiment uses a polarization sensitive beam splitter 45 comprising one wedge element made of a birefringent material according to the present invention. do. The device is equipped with two detection systems. One of these detection systems 46 is installed in the beam path through the beam splitter 45 and used to generate the information signal. The other detection system 47 is installed in the beam returning from the record carrier and used to generate the servo signal by deflecting the beam direction using the coupling grating 48. 11A is a perspective view of the beam splitter 45 and the detection system 46. The beam splitter splits the incident beam 49 into two passing beams 50, 51, each of which is incident on either side of the dividing line 52 between the bisected split detection systems. Four spots 53 alongside the detection system are due to the beams generated by the three beam gratings 38. The desired orientation and polarization of the pass beams 50, 51 can be achieved by making the orientation direction 54 of the wedges of the beam splitter form an angle of 45 ° with the two plane intersections 55 forming the wedges. Another orientation of the beam splitter and detection system is shown in FIG. 11B.
제 10 도의 장치에 있어서, PPBS(37') 및 비임 분할기의 쐐기(45)는 이를 보다 조밀하게 하기 위해 하나의 단위로 집적시킬 수 있다. 제 12a 도는 쐐기(45)가 PPBS(37')를 이루는 입방체의 한 면과 광학적으로 연결된 단위를 도시하고 있다. 쐐기는 또한 제 12b 도에 도시되어 있는 바와 같이 PPBS 코팅부(56)와 접촉시켜 입방체의 빗면상에 배열할 수도 있다. 만일 PPBS가 편평한 평행판(37'') 형태일 경우에는 제 12c 도에 도시되어 있는 바와 같이 PPBS 코팅부(56)를 판의 한쪽 면에 배열시킬 수 있는 반면, 다른 쪽 면에는 쐐기(45)를 배열시킬 수 있다.In the apparatus of FIG. 10, the PPBS 37 'and the wedge 45 of the beam splitter can be integrated into one unit to make it more compact. Figure 12a shows a unit in which the wedge 45 is optically connected to one side of the cube that forms the PPBS 37 '. The wedges may also be arranged on the oblique side of the cube in contact with the PPBS coating 56 as shown in FIG. 12B. If the PPBS is in the form of a flat parallel plate 37 '', the PPBS coating 56 may be arranged on one side of the plate, as shown in Figure 12c, while the wedge 45 on the other side. Can be arranged.
제 13a 도는 상기 장치의 광로를 변경시키기 위해 거울(57)을 장착한 자기 광학 기록 반송자 주사 장치의 또 다른 실시예를 도시하고 있다. 거울은 비임 분할기 쐐기(45)와 유리하게 통합될 수 있다. 쐐기를 편평한 평행판(58)의 한쪽 면에 설치할 수 있는 반면, 쐐기의 다른 쪽 면에는 반사 코팅부(57)가 제공될 수 있다. 제 13b 도는 쐐기의 반사-코팅축이 판상에 설치된 일체화된 거울 및 쐐기를 도시하고 있다. 제 13c 도 및 제 13d 도에 도시된 일체화된 거울 및 쐐기는 광을 편향시키기 위해 모두 내부 반사를 이용한다. 제 13c 도에 도시된 바와 같이 프리즘(59)의 빗면에 또는 제 13d 도에 도시되어 있는 바와 같이 입사 비임이 조사되는 프리즘 면 위에 쐐기(45)를 배열할 수 있다.FIG. 13A shows another embodiment of a magneto-optical record carrier scanning apparatus equipped with a mirror 57 to change the optical path of the apparatus. The mirror may be advantageously integrated with the beam splitter wedge 45. Wedges may be installed on one side of the flat parallel plate 58, while a reflective coating 57 may be provided on the other side of the wedges. FIG. 13B shows an integrated mirror and wedge with a reflective-coated axis of the wedge mounted on a plate. The integrated mirrors and wedges shown in FIGS. 13C and 13D both use internal reflections to deflect light. The wedge 45 can be arranged on the oblique side of the prism 59 as shown in FIG. 13C or on the prism face on which the incident beam is irradiated as shown in FIG. 13D.
비임 분할기의 자기 광학 기록 반송자 주사 장치에서의 용도 이외에도, 본 발명에 따른 비임 분할기는 광 비임의 편광 상태를 결정하기 위해 상이한 편광으로 광 비임을 분할하는 다른 장치에 또한 사용할 수도 있다. 편광 상태를 결정하기 위한 광 비임에서 세기의 일부만을 커플 아웃하는 것이 때론 바람직한데, 즉, 진행하는 광 비임의 세기를 타목적으로 사용할 수 있다. 본 발명에 따른 비임 분할기를 사용하여 상기의 목적을 만족스럽게 실현할 수 있다. 예를 들어, 제 6 도에 도시되어 있는 비임 분할기의 배향 방향 사잇각이 45°이하인 경우, 진행 비임(16)의 세기가 편광 비임(17) 및 편광 비임(18)의 세기의 합보다 크다. 광 비임의 편광 상태는 광 비임의 그 세기를 결정함으로써 결정할 수 있고, 경우에 따라 진행 비임의 세기와 결합할 수도 있다. 본 발명에 따른 비임 분할기는 단지 하나의 광학 성분만이 광 비임 속에 배열되고, 필요한 광 비임의 세기 비를 쉽게 얻을 수 있다는 이점을 가지고 있다. 본 장치는 예를 들면 문헌[참조: magazine Funkschau vol. 18, 1991, pp. 79-85]에 기술되어 있는 바와 같이 헤테로다인식 장치에 의해 광 비임에서의 정보를 찾아내는 광학 전달 시스템에서의 수신기(receiver)가 될 수도 있다.In addition to the use of the beam splitter in the magneto-optical record carrier scanning apparatus, the beam splitter according to the present invention may also be used in other apparatuses for splitting the light beam into different polarizations to determine the polarization state of the light beam. It is sometimes desirable to couple out only a portion of the intensity in the light beam to determine the polarization state, ie the intensity of the traveling light beam can be used for other purposes. The above object can be satisfactorily realized by using the beam splitter according to the present invention. For example, when the orientation direction angle of the beam splitter shown in FIG. 6 is 45 ° or less, the intensity of the traveling beam 16 is greater than the sum of the intensities of the polarizing beam 17 and the polarizing beam 18. The polarization state of the light beam may be determined by determining its intensity, and may optionally be combined with the intensity of the traveling beam. The beam splitter according to the invention has the advantage that only one optical component is arranged in the light beam and that the intensity ratio of the required light beam can be easily obtained. The device is described, for example, in magazine Funkschau vol. 18, 1991, pp. 79-85, may be a receiver in an optical delivery system that finds information in an optical beam by a heterodyne device.
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