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KR100285797B1 - 투명부재를통과하는광학적거리의변화를열팽창에의해보상하는보상판 - Google Patents

투명부재를통과하는광학적거리의변화를열팽창에의해보상하는보상판 Download PDF

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KR100285797B1
KR100285797B1 KR1019970009699A KR19970009699A KR100285797B1 KR 100285797 B1 KR100285797 B1 KR 100285797B1 KR 1019970009699 A KR1019970009699 A KR 1019970009699A KR 19970009699 A KR19970009699 A KR 19970009699A KR 100285797 B1 KR100285797 B1 KR 100285797B1
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KR
South Korea
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optical
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optical distance
distance
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KR1019970009699A
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KR970066634A (ko
Inventor
마사타까 시라사끼
Original Assignee
아끼구사 나오유끼
후지쯔 가부시끼가이샤
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Publication date
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Abstract

투명부재와 보상판을 구비한 장치. 광은 투명부재를 통해 어떤 광학적 거리를 진행한다. 투명부재에 부착된 보상판은 열팽창에 의해 투명부재를 변형하여 투명부재의 온도변화에 기인하는 광학적 거리의 변화를 감소시킨다. 광학적 거리는 투명부재의 굴절률과 광이 투명부재를 통해 진행하는 광로의 물리적 길이와의 곱으로 정의한다. 보상판은 광학적 거리를 거의 일정하게 유지하도록 광학적 거리의 변화를 감소시키는 것이 바람직하다.

Description

투명부재를 통과하는 광학적 거리의 변화를 열팽창에 의해 보상하는 보상판
제1a도는 종래의 파브리페로 에탈론 간섭계(Fabry-Perot interometer)를 나타낸 도면.
제1b도는 파브리페로 에탈론 간섭계의 온도변화에 따른 파장에 대한 투과율의 변화를 나타낸 그래프.
제1c도는 허상의 위상조정 어레이(VIPA)를 나타낸 도면.
제2도는 본 발명의 1실시예에 의한 파브리페로 에탈론 간섭계 또는 VIPA에 작용하는 각종 힘을 나타낸 도면.
제3a도는 본 발명의 1실시예에 의한 파브리페로 에탈론 간섭계를 나타낸 도면.
제3b도는 본 발명의 1실시예에 의한 파브리페로 에탈론 간섭계를 나타낸 도면.
제4a도는 본 발명의 다른시예에 의한 파브리페로 에탈론 간섭계를 나타낸 도면.
제4b도는 본 발명의 또 다른 실시예에 의한 파브리페로 에탈론 간섭계를 나타낸 도면.
제5a도 및 제5b도는 본 발명의 1실시예에 의한 파브리페로 에탈론 간섭계를 나타낸 도면.
제6a도 및 제6b도는 본 발명의 1실시예에 의한 파브리페로 에탈론 간섭계를 나타낸 도면.
제7a도는 본 발명의 다른 실시예에 의한 파브리페로 에탈론 간섭계를 나타낸 도면.
제7b도는 본 발명의 또 다른 실시예에 의한 파브리페로 에탈론 간섭계를 나타낸 도면.
제8도는 본 발명의 1실시예에 의한 보상판을 나타낸 도면.
[발명의 목적]
[발명이 속하는 기술분야 및 그 분야의 종래기술]
본 발명은 광이 어떤 광학적 거리를 진행하는 투명부재를 같는 광소자에 관한 것이다. 특히 본 발명은 투명부재를 변형하여 투명부재의 온도변화에 기인하는 광학적 거리의 변화를 감소시키는 보상판을 갖는 광소자에 관한 것이다.
파장분할 다중방식은 광섬유 통신망에 사용되어 비교적 대량의 데이터를 고속으로 전송한다. 특히 송신하는 정보를 각각 수용하는 복수의 채널은 파장분할 다중광으로 조합된다. 각 채널은 상이한 파장을 가지며, 각 파장은 통상 주파수 스펙트럼을 따라 서로 대단히 접근해 있다.
다음에 파장분할 다중광은 단일의 광섬유를 통해 수신기에 송신된다. 수신기는 파장분할 다중광을 개개의 채널로 분할하여, 이 개개의 채널을 검출할 수 있도록 한다. 이와 같이 하여 통신망은 광섬유를 통해 비교적 다량의 데이터를 전송할 수가 있다.
도 1(a)는 파장분할 다중광으로부터 단일의 채널을 검색하기 위해 검색하기 위해 통상 사용되는 종래의 파브리페로 에탈론 간섭계를 나타낸 도면이다. 도 1(a)를 참조하면 파브리페로 에탈론 간섭계는 투명부재로 된 스페이서(10)를 갖추며, 서로 대항하는 측에 반사막(12, 14)을 갖는다. 반사막(12, 14)의 반사율은, 예를 들어 95%이다. 스페이서(10)는 구조 전반에 걸쳐 안정도를 유지한다. 그러나 반사막(12, 14)이 분리되어 서로 평행을 유지할 수 있는 경우에는 통상 스페이서(10)를 생략할 수도 있다.
콜리메이트광(16)은 상이한 파장의 광, 예를 들어 파장분할 다중광으로 된다. 콜리메이트광은 파브리페로 에탈론 간섭계에 입사하여 반사막(12와 14)간에서 다중 반사를 한다. 반사막(14)은 100% 미만의 반사율을 가지므로, 반사막(12와 14)간의 다중반사에 의해 광(18)은 반사막(14)을 통과하게 된다.
또한 파브리페로 에탈론 간섭계는 광(18)이 서로 간섭하여, 반사막(14)으로부터 출사하며, 보강조건을 만족하는 특정 파장의 광으로 된 광속을 발생하게 하는 보강조건을 갖는다. 기타의 파장을 갖는 광은 서로 간섭하여 서로 약화시킨다.
따라서 파브리페로 에탈론 간섭계는 여러가지 상이한 파장의 광으로 된 콜리메이트광(16)을 받아서, 파브리페로 에탈론 간섭계의 보강조건을 만족하는 파장의 광만으로 된 광속을 발생한다. 이와 같이 하여 파장분할 다중광으로부터 단일의 채널을 분리하기 위해 파브리페로 에탈론 간섭계를 사용할 수가 있다.
파장분할 다중광의 채널의 파장은 통상 서로 대단히 근접하고 있으므로, 파브리페로 에탈론 간섭계는 안정된 특성을 갖는 것이 중요하다. 특성에 약간의 변화만 있어도 광섬유 통신망을 통해 송신되는 광신호의 질을 현저히 열화시킬 우려가 있다.
예를 들어 도 1(b)는 파브리페로 에탈론 간섭계의 온도변화에 따른 파장에 대한 투과율의 변화를 나타낸 그래프이다. 도 1(b)를 참조하면 파브리페로 에탈론 간섭계는 곡선(20)과 같이, 특정 조건을 만족하는 파장의 광을 통과시킨다. 그러나 파브리페로 에탈론 간섭계의 온도가 변화하면, 파브리페로 에탈론 간섭계는 곡선(22)으로 나타낸 바와 같이 다른 파장의 광을 통과시킨다. 그러므로 파브리페로 에탈론 간섭계로부터의 출사광의 파장은 온도변화에 따라 변화하여 바람직하지 못한 결과를 초래한다.
도 1(c)에 나타낸 장치에서도 마찬가지 문제가 발생한다. 구체적으로 말해서 도 1(c)는 허상의 위상조정 어레이(VIPA)를 나타낸 도면이다. VIPA는 미국 특허출원 1996, 7, 24일자 O8/685,362호의 "VIRTUALLY IMAGED PHASE ARRAY AS A WAVELENGTH DEMULTIPLEXER"에 더욱 자세히 개시되어 있으며, 본 명세서에 참고문헌으로서 인용된다.
도 1(c)를 참조하면 VIPA는 투명부재로 된 스페이서(24)를 갖춘다. 반사막(26, 27)은 스페이서(24)의 서로 대향하는 측에 형성되어 있다. 반사막(26, 27)의 반사율은 예를 들어 각각 100% 및 95%이다. 스페이서(24)는 구조 전반에 걸쳐 안정도를 준다. 그러나 반사막(26, 27)이 분리되어, 서로 평행을 유지할 수 있는 경우에는 스페이서(24)는 통상 생략할 수가 있다.
입사광(28)은 입사창(30)을 통해 선형초점으로 진행해서, 스페이서(24)에서 분기하여, 반사막(26, 27)간에 다중반사가 발생한다. 반사막(27)은 반사율이 100% 미만이므로, 반사막(26과 27)간의 다중반사에 의해 광(32)이 반사막(27)을 통과하도록 한다. 광(32)은 서로 간섭하여 입사광(28)의 각 파장에 대해 콜리메이트광을 형성하고, 각 콜리메이트광은 기타의 콜리메이트광과는 다른 전파방향으로 진행한다.
더 구체적으로 말하면 VIPA는 많은 파장으로 된 입사광(28)을 받아서 각 파장마다 다른 광속을 발생한다. 각 광속은 VIPA로의 전파각이 상이하므로 다른 광속과 공간적으로 구분된다. 따라서 VIPA는 많은 채널로 된 파장분할 다중광을 받아서, 각 채널마다 공간적으로 구분할 수 있는 광속을 발생한다. 예를 들어 VIPA는 파장분할 다중방식을 채용하는 광섬유 통신망에서 디멀티플렉서로서 사용할 수가 있다.
VIPA는 도 1(b)에서 파브리페로 에탈론 간섭계에 대해 설명할 것과 마찬가지 문제점이 있다. 특히 VIPA는 VIPA의 온도변화에 의해 상이한 파장의 광속을 발생하는 바람직하지 못한 현상이 생긴다.
그러므로 파브리페로 에탈론 간섭계와 VIPA의 특성이 온도의 변화에 따라 변화하는 단점이 있다. 이들 특성변화는 파브리페로 에탈론 간섭계와 VIPA에 사용되는 스페이서(10)의 열팽창에 기인한다. 예를 들어 도 1(a)에 나타낸 파브리페로 에탈론 간섭계가 팽창하면, 반사막(12와 14)간의 물리적 거리도 팽창한다. 또한 스페이서(10)의 굴절률도 온도가 변화함에 따라 변화한다. 이 굴절률의 변화는 반사막(12와 14)간의 물리적 거리와 스페이서(10)의 굴절률과의 곱인 반사막(12와 14)간의 광학적 거리를 변화시킨다.
마찬가지로 도 1(c)에 나타낸 VIPA의 스페이서(24)가 팽창하면, 반사막(26과 27)간의 물리적 거리도 팽창한다. 또한 스페이서(24)의 굴절률도 온도가 변화함에 따라 변화한다. 이 굴절률의 변화는 반사막(26과 27)간의 광학적 거리를 변화시킨다.
온도변화에 대응하여 광학적 거리가 변화함에 따라, 파브리페로 에탈론 간섭계와 VIPA의 특성도 바람직하지 못하게 변화한다. 예를 들어 파브리페로 에탈론 간섭계나 VIPA의 스페이서로서 통상의 유리를 사용할 경우에는, 온도가 1도 상승할 때마다 스페이서의 두께가 약 5×10-6증가한다. 스페이서의 굴절률도 온도가 1도 상승할 때마다 약 5×10-6증가한다. 광의 파장이 1500nm이고, 온도가 10도 상승하였다고 상정하면, 광학적 거리는 10-4의 율로 변화하여 0.15nm의 파장변화를 일으킨다. 이것은 파브리페로 에탈론 간섭계나 VIPA의 특성에 현저한 영향을 미치는 상당한 변화가 된다.
[발명이 이루고자 하는 기술적 과제]
따라서 본 발명의 목적은 광소자의 온도변화에 대해 안정한 특성을 갖는 파브리페로 에탈론 간섭계나 VIPA등의 광소자를 제공하는 데 있다.
또한 본 발명의 목적은 광이 광소자를 통해 진행하고, 광이 진행하는 광학적 거리가 광소자의 온도변화에 대해 안정한 광소자를 제공하는 데 있다.
본 발명의 기타의 목적과 이점에 대해서는 그 일부를 하기에 설명하며, 그 설명으로부터 어느 정도 명백해질 것이며, 또한 본 발명의 실시에 의해서도 이해가 갈 것이다.
[발명의 구성 및 작용]
본 발명의 상기 각 목적은 투명부재와 보상판을 구비한 장치를 제공함으로써 달성할 수가 있다. 광은 투명부재를 통해 어느 광학적 거리를 진행한다. 투명부재에는 보상판이 부착되어, 그 열팽창에 의해 투명부재를 변형하여 투명부재의 온도변화로 인한 광학적 거리의 변화를 감소시킨다. 광학적 거리는 투명부재의 굴절률과 광이 투명부재를 통해 진행하는 광로의 물리적 길이와의 곱으로 정의한다. 보상판에 의해 광학적 거리의 변화를 감소함으로써, 광학적 거리를 거의 일정하게 유지하는 것이 바람직하다.
또한 본 발명의 목적은 투명부재와, 투명부재상의 제1 및 제2의 반사면과, 보상판을 제공함으로써 달성할 수가 있다. 투명부재는 내부에 신장하는 광로를 가지며, 이 광로는 물리적 길이를 갖는다. 광학적 거리는 광로의 물리적 길이와 투명부재의 굴절률과의 곱으로 정의한다. 광은 제1의 반사면으로부터 진행하여 광로를 따라 투명부재를 통과해서 제2의 반사면에 이른다. 보상판은 투명부재에 부착되어, 그 열팽창에 의해 투명부재를 변형하여 투명부재의 온도변화로 인한 광학적 거리의 변화를 감소시킨다. 구체적으로 말하면 보상판은 광로의 횡단방향으로 투명부재를 팽창시켜서 투명부재를 변형함으로써, 광로방향의 투명부재의 두께를 감소시킨다.
또한 본 발명의 목적은 제1 및 제2의 투명층을 구비한 장치를 제공함으로써 달성할 수가 있다. 광은 제1의 광학적 거리에서는 제1의 투명층을 통해 진행하고, 제2의 광학적 거리에서는 제2의 투명층을 통해 진행한다. 제2의 광학적 거리는 제1의 투명층의 온도변화로 인한 제1의 광학적 거리의 변화를 보상하기 위해 변화하므로, 제1 및 제2의 광학적 거리의 합계는 거의 일정하게 유지된다.
또한 본 발명의 목적은 제1 및 제2의 본체를 구비한 장치를 제공함으로써 달성할 수가 있다. 제1의 본체는 투명하며, 광학적 거리에서는 광이 제1의 본체를 통해 진행한다. 제2의 본체는 제1의 본체와 상호작용하여 제1의 본체의 온도변화로 인한 광학적 거리의 변화를 감소시킨다. 이 상호작용은 기계적 상호작용이다.
또한 본 발명의 목적은 (a) 광을 어떤 광학적 거리를 투명부재를 통해 진행시키는 스텝과; (b) 투명부재를 변형하여 투명부재의 온도변화로 인한 광학적 거리의 변화를 감소시키는 스텝을 구비한 방법을 제공함으로써 달성할 수가 있다.
[실시예]
하기에 본 발명의 바람직한 실시예를 도면을 참조하여 설명한다. 전 도면을 통해 동일한 요소에는 동일한 부호를 붙인다.
도 2는 본 발명의 1실시예에 의한 파브리페로 에탈론 간섭계나 VIPA의 스페이서에 작용하는 여러가지 힘을 나타낸 도면이다. 도 2를 참조하면 파브리페로 에탈론 간섭계나 VIPA의 스페이서로서 투명판(100)을 사용하고 있다. 광(도시하지 않음)은 광로(도시하지 않음)를 따라 투명판(100)을 통해 진행한다. 따라서 투명판(100)은 열에 의해 팽창하여, 두께가 변화한다. 이 팽창으로 말미암아 투명판(100)의 광로 길이가 변화한다.
본 발명의 실시예에 의하면, 투명판(100)에는 보상판(도 2에 도시되어 있지 않으나, 이후의 기타 도면에는 도시되어 있음)이 부착되어 있다. 보상판은 투명판(100)과는 다른 재질로 되어 있으며, 투명판(100)보다 큰 열팽창계수를 갖는다. 따라서 보상판의 팽창은 투명판(100)의 광로 길이의 변화를 상쇄한다.
예를 들어 보상판이 투명판(100)의 1측 또는 양측에 부착되고, 투명부재보다 큰 열팽창계수를 갖는다고 상정한다. 이 경우에 α1은 투명판(100)의 열팽창계수를 나타내고, n1은 투명판(100)의 굴절률의 온도계수(1도의 온도변화에 대한 굴절률 n의 비율변화 Δn을 n으로 나눈 값)를 나타내고, σ는 포아슨비(판상체가 역학적으로 및 수평으로 팽창할 때의 단위 길이의 수직 수축) 를 나타내고, P1은 투명판(100)의 굴절률의 변형계수의 평행성분을 나타내고, P2는 투명판(100)의 굴절률의 변형계수의 연직 또는 수직성분을 나타낸다.
굴절률의 변형계수의 평행성분은 투명판(100)을 통해 진행하는 광의 편파에 평행하게 변형이 작용할 때의 굴절률 변화의 비율을 나타낸다. 굴절률의 변형계수의 수직성분 P2는 투명판(100)을 통해 진행하는 광의 편파에 수직하게 변형이 작용할 때의 굴절률 변화의 비율을 나타낸다. 투명판(100)에 밀접하게 부착된 보상판의 열팽창계수는 α2로 표시한다.
또한 상술한 바와 같이 파브리페로 에탈론 간섭계 및 VIPA의 특성변화는 투명판(100)의 팽창으로 인한 광학적 거리의 변화이다. 그러므로 광학적 거리를 일정하게 유지할 필요가 있다. 도 2에 나타낸 투명판(100)의 두께를 t라 하고, 투명판(100)의 굴절률을 n이라 하면, 광학적 거리는 nt가 된다. 그러므로 온도변화에 따라 생긴 nt의 변화의 비율 Δ(nt)/nt를 거의 0으로 설정하면, 광학적 거리의 변화가 거의 0으로 설정된다.
온도변화에 따라 생긴 변화의 비율 Δ(nt)/nt는 하기의 수학식 1로 표시된다.
Figure kpo00001
그러므로 온도변화에 따라 생긴 nt의 변화의 비율 Δ(nt)/nt는 굴절률 변화의 비율을 투명판(100)의 두께 변화의 비율에 가산함으로써 얻어진다.
온도가 1도 상승함에 따라, 각 값은 하기와 같이 변화한다. 보상판이 설치되어 있지 않을 경우의 투명판(100)의 두께와 굴절률의 곱의 변화의 비율은 α1+n1이 된다.
다음에는 보상판에 의해 투명판(100)이 횡단방향으로 끌어당겨져서 두께와 굴절률의 곱 nt가 변화하는 양을 구한다.
투명판(100)이 보상판의 팽창에 의해 횡단방향으로 과도하게 팽창할 경우에 는, 팽창하는 양은 α2-α1으로 표시된다. 그러므로 투명판(100)의 두께가 감소하는 양은 σ0(α2-α1)으로 표시되며, 여기서 σ0=2σ/(1-σ)이다. σ0의 값은 투명판(100)이 2차원적으로 팽창하는 것을 고려하여 얻어지는 것으로서, 무한등비급수의 합으로 표시된다. 계수 "2"는 투명판(100)이 2차원적으로 2방향으로 팽창되는 것을 반영한다.
다음에 보상판에 의해 팽창된 투명판(100)의 굴절률 변화의 비율을 구한다.
도 2를 참조하면 투명판(100)을 통해 진행하는 광의 편파는 화살표(102)에 나타낸 바와 같다. (A)의 방향은 광의 편파(102)의 방향과 같으므로, (A) 방향의 팽창에 의해 굴절률이 변화하는 비율은 -P1(α2-α1)이 된다.
(B)의 방향은 투명판(100)을 통해 진행하는 광의 편파(102)에 대해 연직 또는 수직이다. 그러므로 (B) 방향의 팽창에 의해 굴절률이 변화하는 비율은 -P2(α2-α1)이 된다.
또한 (C)의 방향은 투명판(100)을 통해 진행하는 광의 편파(102)에 대해 연직 또는 수직이다. 그러므로 (C) 방향의 수축에 의해 굴절률이 변화하는 비율은 -P2(α2-α1)σ0이 된다. σ0을 곱한 것은 (A) 및 (B) 방향의 2차원적인 팽창에 대한 두께의 수축을 고려한 것이다.
P1 및 P2는 수축하는 계수로 정의하고 있으므로, (A) 및 (B) 방향의 팽창은 마이너스부호로 표시하고, (C) 방향의 수축은 플러스부호로 표시한다.
변화의 총량은 굴절률 변화의 비율과 두께 변화의 비율에 따라 분리해서 얻어지므로, 각 값을 가산하여 상기 수학식 1에 의한 투명판(100)의 광학적 거리 변화의 비율 Δ(nt)/nt을 하기의 수학식 2와 같이 구한다.
Figure kpo00002
상기의 수학식 2가 거의 0이 되면, 투명판(100)의 광학적 거리는 온도가 변화하여도 변화하지 않는다. 그러므로 투명판(100)을 사용한 광소자는 온도변화에 영향을 받지 않는 특성을 가지게 된다. 즉 수학식 2를 거의 0으로 할 수 있는 투명판(100)의 재질과 보상판을 선택함으로써, 특성의 변화가 없는 광소자를 형성할 수가 있다.
예를 들어 보상판의 열팽창계수가 α2=14×10-6이라 하면, 투명판(100)의 열팽창계수는 α 1=5.9×10-6, 포아슨비 σ=0.293, 및 굴절률의 온도계수 n1=2.1×10-6이 된다. 이 예에서는 수학식 2는 하기의 수학식 3과 같이 산출한다.
Figure kpo00003
P1 및 P2가 거의 0.14가 되면, 수학식은 거의 0이 된다. 그러므로 상술한 예에 가까운 근사치를 제공하는 광학유리를 선택하면 된다. 그리고 상술한 예는 단지 예시에 불과하며, 본 발명은 어느 특정한 예나 재질에 한정되는 것은 아니다. 기타의 재질도 그 재질이 수학식 2를 만족하는 한 사용할 수가 있다.
열팽창계수가 5~14×10-6(열팽창계수 0.5×10-6의 석영유리는 제외), 포아슨비가 0.2~0.3(포아슨비 0.05의 석역유리 제외), 굴절률의 온도계수가 1~약 5×10-6, 굴절률의 변형계수의 수평 및 연직(수직)성분이 약 0.1~0.2의 여러가지 종류의 O광학유리가 있다.
그러므로 상술한 수치예를 적용하여 광학유리를 선택할 수가 있다. 또한 수치예가 파라미터의 수치에 일치하지 않더라도, 수학식 2를 거의 0으로 할 수 있는 재질을 선택함으로써, 온도 의존성이 없는 광소자를 얻을 수가 있다.
도 3(a)는 본 발명의 1실시예에 의한 파브리페로 에탈론 간섭계를 나타낸 도면이다. 도 3(a)를 참조하면 상술한 파라미터를 갖는 광학유리를 투명판(201) 및 보상판(203)으로서 사용하고 있다. 예를 들어 파브리페로 에탈론 간섭계는 투명판(201)과 반사막(202)으로 된다. 보상판(203)은 반사막(202)이 형성되어 있는 측에 부착되어 있다. 보상판(203)은 투명한 재질로 되어 있다.
온도가 상승함에 따라 보상판(203)이 팽창하여 두께가 두꺼워짐과 동시에 굴절률 n이 증가한다. 그러나 보상판(203)은 투명판(201)보다 크게 팽창하기 때문에 투명판(201)은 화살표(207)로 나타낸 바와 같이 기계적으로 외측으로 끌어당겨진다. 이렇게 투명판(201)이 외측으로 끌어당겨지면 두께 t와 굴절률 n의 곱이 증가하는 것을 상쇄함으로써, 광학적 거리를 일정하게 유지할 수가 있다.
두께 t는 약 50~100㎛이다. 보상판(203)의 두께 T 및 T'는 반드시 서로 같을 필요는 없으나, 예를 들어 2㎜의 두께와 같이 동등한 두께의 보상판이 바람직하다. 보상판(203)의 두께 T 및 T'는 보상판(203)에 의해 투명판(201)이 끌어당겨질 때, 보상판(203)의 팽창이 억제되지 않도록 하기 위하여 투명판(201)의 두께 t보다 훨씬 크게 하여야 한다. 투명판(201)의 수축이 보상판(203)의 인장강도를 압도할 경우에는 투명판(201)을 끌어당길 수가 없으므로 광학적 거리를 일정하게 유지할 수가 없다.
그러므로 온도변화에 대응하여 광학적 거리를 일정하게 유지하기 위해서는, 보상판(203)을 투명판(201)보다 두껍게 하여야 한다. 그러나 보상판(203)의 두께가, 예를 들어 투명판(201)의 두께의 적어도 5배 이상이면 투명판(201)을 적절하게 외측으로 끌어당길 수가 있다. 보상판(203)의 두께가 투명판(201)의 두께의 10~20배인 것이 바람직하다.
보상판(203)은 통상 접착제를 사용하여 반사막(202)에 부착시키나, 접착제를 사용하는 대신에 반사막(202)과 보상판(203)의 표면을 고르게 갈아서 광학적 평면을 형성함으로써 부착시킬 수도 있다. 양자의 광학적 평면을 서로 부착하면, 표면 사이가 접착제를 사용하여 부착된 것처럼 틈새가 없이 부착된다. 이에 따라 접착제를 필요로 하지 않게 된다.
투명판(201)의 양측에 보상판을 형성하지 않고, 투명판(201)의 1측에만 보상판을 형성하여도 동일한 효과를 얻을 수가 있다.
예를 들어 도 3(b)는 본 발명의 1실시예에 의한 파브리페로 에탈론 간섭계를 나타낸 도면이다. 도 3(b)를 참조하면, 보상기(203)는 파브리페로 에탈론 간섭계의 1측에만 형성되어 있다. 이 경우에는 투명판(201)의 두께 t는 보상판(203)의 두께 T보다 작으며, T는 t의 5배와 동등 이상인 것이 바람직하다.
도 4(a)는 본 발명의 다른 실시예에 의한 파브리페로 에탈론 간섭계를 나타낸 도면이다. 도 4(a)에서 투명판(201)과 보상판(203)의 재질은 상기의 수학식 2를 만족할 수 있는 것을 선택한다. 또한 보상판(203)은 투명판(201)보다 면적이 크게 설계한다. 투명판(201)의 양측에는 반사막(202)이 형성되어, 파브리페로 에탈론 간섭계를 구성하고 있다.
도 4(a)에서 투명판(201)의 두께는 통상 50~100㎛이고, 각 보상판(203)의 두께는 투명판(201)의 두께의 적어도 5배 이상이 바람직하다. 보상판(201)의 바람직한 두께는 약 2㎜이다. 도 4(a)에서 보상판(203)은 투명판(201)의 양측에 형성되어 있다. 이렇게 함으로써 온도가 상승하면 보상판(203)의 팽창과 더불어 투명판(201)이 팽창하도록 되어 있다.
보상판(203)의 면적이 투명판(201)의 면적보다 크게 설계되어 있으므로, 투명판(201)을 끌어당기는 보상판(203)의 인장강도는 외측으로 끌어당기는 효과를 발휘하는 데 충분한 것이 된다.
도 4(b)는 본 발명의 또 다른 실시예에 의한 파브리페로 에탈론 간섭계를 나타낸 도면이다. 도 4(b)를 참조하면, 보상판(203)은 투명판(201)의 1측에 형성되어 있다.
그러므로 보상판(203)의 인장강도는 투명판(201)의 1측에만 인가된다. 그러나 투명판(201)의 열팽창에 의한 팽창은 근소하므로, 보상판(203)이 반사막(202)을 통해 투명판(201)에 견고하게 부착되어 있는 한, 적절히 끌어당기는 효과를 발휘할 수가 있다.
이 경우에 보상판(203)의 두께 T는 투명판(201)의 두께 t의 5배 이상이 바람직하다. 보상판(203)의 재질은 상술한 조건을 만족하는 광학유리로부터 선택하거나, 열팽창계수가 크고, 광을 투과할 수 있는 재질을 사용할 수가 있다.
예를 들어 도 4(b)를 참조하면, 입사광(204)은 반사막(202)을 통해 입사하여, 투명판(201)의 내부에서 다중반사하고, 출사광(205)으로서 출사한다. 출사광(205)은 보상판(203)을 통과하여야 하므로, 보상판(판상체)(203)은 광을 투과할 수 있는 재질로 된다.
도 4(a) 및 도 4(b)에서, 각 보상판(판상체)(203)은 투명판(201)의 측면에 부착할 부착면을 갖는다. 또한 각 보상판(203)의 부착면의 면적은 투명판(201)의 부착 측면의 면적보다 크다. 이에 따라 각 보상판(203)의 인장강도는 투명판(201)의 부착 측면의 전체에 작용하므로, 온도변화로 인한 광학적 거리의 변화를 더욱 효과적으로 보상할 수가 있다.
도 5(a) 및 도 5(b)는 본 발명의 1실시예에 의한 파브리페로 에탈론 간섭계를 나타낸 도면이다. 도 5(a) 및 도 5(b)를 참조하면, 투명판(201)상에는 반사막(202)이 형성되어 있다. 투명판(201)에는 투명한 보상판(401)이 금속용접에의해 부착되어 있다. 반상막(202)상과 보상판(401)의 평판표면상에는 얇은 금속층을 형성하는 것이 바람직하다. 얇은 금속층은, 예를 들어 증착에 의해 형성된다. 보상판(401)상의 금속막을 투명판(201)상의 금속막에 납땜함으로써, 보상판(401)을 투명판(201)에 납땜하게 된다.
금속막은 광을 투과할 수 없으므로, 투명판(201)에 광을 수광하기 위한 수광구(404)를 형성한다. 구체적으로는 도 5(b)에 나타낸 바와 같이 수광구(404)를 제외한 투명판(201)에 금속막(405)이 형성되어 있다. 수광구는 투명판(201)의 중앙부에 형성하는 것이 바람직하다. 투명판(201)이 열팽창하면 보상판(401)도 팽창하여 투명판(201)을 더욱 팽창시킴으로써, 광학적 거리를 일정하게 유지한다. 투명판(201)과 보상판(401)을 금속막(405)을 통해 서로 접착시킬 때에는, 금속막(405)은 접착제나 광평면을 사용하여 부착시키는 경우에 비해 더욱 신뢰할 만한 접착작용을 한다.
그러므로 투명판(201)과 보상판(401)을 부착시키는 접착재로서는 금속막이나 접착제의 어느 것이든 사용할 수가 있다. 이와 같은 종류의 접착부재를 사용할 경우에는 도 5(b)에 나타낸 바와 같이 광이 통과할 수 있는 수광구(404)를 형성하여야 한다. 또한 수광구(404)에는 접착부재가 존재하지 않도록 하여, 접착부재에 의해 광의 진행에 방해가 되지 않도록 하여야 한다. 이 경우에는 수광구(404) 주위의 영역에 견고한 접착력이 작용할 수 있게 접착부재를 도포하여, 보상판(401)에 의해 투명판(402)이 끌어당겨지는 효과가 일정하게 유지되도록 한다. 이에 따라 온도로 인한 특성변화가 없는 광소자를 실현할 수가 있다.
도 5(a) 및 도 5(b)에서, 투명판(201)의 양측에는 보상판(401)이 형성되어 있다. 그러나 도 3(b) 및 도 4(b)에 나타낸 바와 같이 투명판(201)의 1측에만 보상판(401)을 형성할 수도 있다. 이와 같은 경우에는 보상판(401)에는 수광구(404)가 형성된다. 금속막이나 반투명의 접착제를 사용할 경우에는, 수광구(404)에 접착부재가 존재하는 일이 없도록 보상판(401) 및/또는 투명판(201)에 금속막이나 반투명의 접착제를 도포하여야 한다. 또 도 5(b)에서는 수광구(404)가 원형으로 되어 있다. 그러나 수광구(404)는 어떤 특정한 형상으로 제한되는 것은 아니다.
도 6(a) 및 도 6(b)는 본 발명의 1실시예에 의한 파브리페로 에탈론 간섭계를 나타낸 도면이다. 도 6(a) 및 도 6(b)에 나타낸 구성은 기본적으로 도 5(a) 및 도 5(b)의 구성과 동일하다. 그러나 도 6(a) 및 도 6(b)에서는 투명판(201)에 반투명의 보상판(501)(투명한 보상판 대신에)이 부착되어 있다. 보상판(501)은 투명판(201)보다 큰 열팽창계수를 가지며, 투명판(201)의 양측에 부착되어 있다.
보상판(501)이 반투명하므로, 투명판(201)에 광을 도입하기 위해 출광구(504)와 수광구(505)가 형성되어 있다. 수광구(505)와 출광구(504)는 보상판(501)에 구멍을 내어 형성하는 것이 바람직하다.
수광구(505)와 출광구(504)는 접착부재가 도포되는 투명판(201)과 보상판(501)사이의 표면적을 감소시킨다. 그러나 보상판(501)의 두께를 투명판(201)의 두께보다 5배 이상으로 하여, 투명판(201)을 끌어당기는 효과를 적절하게 발휘하도록 하는 것이 바람직하다.
도 6(b)에서는 수광구(505)가 원형으로 되어 있으나, 수광구는 어떤 특정한 형상으로 제한되는 것은 아니다.
또 도 6(a) 및 도 6(b)에서는 보상판(501)의 길이가 투명판(201)의 길이보다 작게 되어 있다. 그러나 보상판(501)의 길이를 투명판(201)의 길이보다 크게 할 수도 있다.
도 7(a)는 본 발명의 다른 실시예에 의한 파브리페로 에탈론 간섭계를 나타낸 도면이다. 도 7(a)를 참조하면, 2개의 투명판(601, 602)이 서로 적층되어 있다. 투명판(601)의 1측에는 반사막(604)이 형성되고, 투명판(602)의 1측에도 반사막(604)이 형성되어 파브리페로 에탈론 간섭계를 구성하고 있다.
투명판(601)은 온도상승에 따라 광학적 거리를 플러스로 변화시키는 물질로 되고, 투명판(602)은 온도상승에 따라 마이너스로 변화시키는 물질로 된다. 투명판(601, 602)의 각각을 통하는 광학적 거리는 근사적으로 각 투명판의 두께와 굴절률의 곱으로 표시된다. 따라서 온도변화로 인한 총 광학적 거리의 변화는 투명판(601과 602)간에서 상쇄되므로, 박판(즉 투명판(601과 602)의 조합) 전체의 특성을 거의 일정하게 유지할 수가 있다.
도 7(b)는 본 발명의 또 다른 실시예에 의한 파브리페로 에탈론 간섭계를 나타낸 도면이다. 도 7(b)에서, 투명판(603)은 두께와 굴절률의 곱의 변화를 거의 0으로 하는 물질로 된다. 투명판(603)의 양측에는 반사막(604)이 형성되어 있다. 온도에 의해 두께와 굴절률 n의 곱이 변화하지 않는 물질을 사용하면, 보상판을 투명판(603)에 적층하지 않더라도 온도 의존성이 없는 광소자를 형성할 수가 있다.
도 7(a)에서 투명판(602)는 중합체의 PMMA로 된다. PMMA는 열팽창계수가 7×10-5, 온도에 대한 굴절률 변화의 비율이 Δn/N=-7×10-5~-15×10-5이다. Δn/N이 -7×10-5보다 적으면, 온도변화는 굴절률과 두께의 곱을 부의 값으로 한다.
또한 도 7(b)에서 투명판(603)는 중합체의 PMMA로 된다. 예를 들어 PMMA의 온도에 대한 굴절률 변화의 비율은 -7×10-5이고, 열팽창계수는 7×10-5이다. 이에 따라 온도변화로 인한 굴절률과 두께의 곱의 변화는 서로 상쇄하여, 변화가 거의 0을 나타낸다.
또한 투명판보다 큰 두께와 열팽창계수를 갖는 보상판을 부착하면, 온도변화에 대한 두께의 굴절률의 곱을 일정하게 할 수가 있다.
온도변화에 따른 두께와 굴절률의 곱의 변화를 방지하는 데 사용되는 재질은 여러가지 통상적인 광학유리로부터 선택한다. 특수한 광학유리를 개발할 필요가 없으므로, 온도 의존성이 없는 광소자를 용이하게 실현할 수가 있다.
본 발명의 상기 각 실시예에 의하면, 광소자는 반사막이 양측에 형성된 투명판으로 된다. 보상판은 투명판의 적어도 1측에 밀접하게 부착되며, 투명판과 다른 재질로 된다. 또한 보상판은 투명판보다 큰 열팽창계수를 갖는다. 이와 같이 구성하면, 온도변화로 인한 두께와 굴절률의 곱의 변화는 보상판의 온도변화에 의한 팽창을 통해 투명판을 변형하여 상쇄시킬 수가 있다. 이와 같이 하여 투명판의 두께와 굴절률의 곱을 거의 일정하게 유지할 수 있다.
또한 온도가 상승하면 투명판이 팽창하고, 투명판의 굴절률도 증가한다. 그리고 투명판의 팽창과 더불어 보상판도 동시에 팽창한다. 보상판은 투명판보다 열팽창계수가 크므로, 보상판은 투명판보다 더 팽창한다. 따라서 보상판은 투명판을 팽창하면서 더욱 신장시킨다. 이와 같이 기계적으로 신장하면 포아슨비에 의해 투명판의 두께를 감소하고, 온도의 상승에 따라 변화하는 투명판의 두께와 굴절률의 곱의 변화를 상쇄하는 효과를 발휘하여, 이 곱을 일정하게 유지시킨다.
반면에 온도가 강하하면 투명판은 수축하여, 얇아진다. 그러나 보상판은 투명판보다 많이 수축하므로, 투명판을 더욱 수축시켜서 투명판의 두께를 얇게 한다. 이에 따라 온도변화에 따른 투명판의 두께와 굴절률의 곱을 거의 일정하게 유지할 수가 있다.
또한 상술한 바와 같이 보상판을 투명판의 양측에 부착할 수가 있다. 온도가 상승함에 따라 투명판(201)은 팽창하여 보상판에 의해 끌어당겨진다. 따라서 보상판을 부착하지 않아도 투명판의 두께 t는 투명판의 열팽창에 의해 커진다. 그러나 보상판은 투명판의 두께 t를 실질적으로 감소시키므로, 투명판의 굴절률과 두께 t의 곱을 일정하게 유지할 수가 있다. 또한 투명판의 굴절률과 두께 t의 곱을 일정하게 유지할 수 있도록 투명판과 보상판의 재질을 광학유리로부터 선택한다.
도 3(a), 도 3(b), 도 4(a), 도 4(b), 도 5(a), 도 5(b), 도 6(a), 도 6(b), 도 7(a), 도 7(b)에서는 파브리페로 에탈론 간섭계의 경우를 설명하였으나, 이들 도면에 VIPA를 적용할 수도 있다. 예를 들어 통상 1개의 반사막(202)의 반사율이 100%이고, 다른 반사막(202)의 반사율이 95%인 각 반사막(202)의 1측에 수광창을 형성한 VIPA를 사용한다. 또한 본 명세서에 참고문헌으로서 인용하고 있는 미국 특허출원 1996, 7, 24일자 O8/685,362호의 "VIRTUALLY IMAGED PHASE ARRAY AS A WAVELENGTH DEMULTIPLEXER"에 더욱 자세히 개시되어 있는 바와 같이, VIPA에 반드시 수광창을 형성할 필요는 없다.
또한 본 발명의 상기 각 실시예에서는 파브리페로 에탈론 간섭계나 VIPA에 대해 설명하였다. 그러나 본 발명은 파브리페로 에탈론 간섭계나 VIPA에만 한정되는 것은 아니며, 기타의 각종 광소자에도 적용할 수가 있다.
또한 상기 각 실시예에 의하면 투명판에 부착된 보상판은 투명 또는 반투명인 것으로 되어 있었다. 예를 들어 도 3(a)는 투명한 보상판을 사용한 경우를 나타내고, 도 6(a)는 반투명의 보상판을 사용한 경우를 나타낸 것이다.
또 본 발명의 상기 각 실시예에서는 보상판은 직방체나 평행 6면체등의 판상체로 나타내고 있다. 그러나 보상판은 이와 같은 형상에만 한정되지 않이며, 여러가지 형상의 것을 채용할 수가 있다.
예를 들어 도 8은 본 발명의 1실시예에 의한 보상판을 나타낸 도면이다. 도 8을 참조하면, 투명판(201)에는 임의의 형상의 보상판(700)이 부착되어 있다. 이와 같은 임의 형상의 보상판에는, 예를 들어 반구형상의 것을 쉽게 적용할 수가 있다. 그러나 투명판(201)과 보상판(700)의 재질은 상기 수학식 2를 거의 0으로 하는 파라미터를 갖는 것을 선택하여야 한다.
또한 본 명세서에서는 광이 "투명판"을 통해 어떤 광학적 거리만큼 진행한 것으로 설명하였다. 그러나 본 발명은 "판상체" 형상에만 한정되는 것이 아니다. 광이 내부를 통해 어떤 광학적 거리를 진행하는 한, 실질적으로 어떠한 크기나 형상의 재질의 것도 사용할 수가 있다.
또한 본 명세서에서는 VIPA 및 파브리페로 에탈론 간섭계는 특정한 반사율을 갖는 반사막이 형성되어 있는 것으로 설명하였다. 그러나 본 발명은 특정한 반사율을 갖는 반사막에만 한정되는 것은 아니다. 예를 들어 파브리페로 에탈론 간섭계나 VIPA는 반사율이 다른 여러가지 형의 것을 사용할 수가 있다.
본 발명의 상기 각 실시예에 의하면, 투명부재를 통해 진행하는 광학적 거리는 거의 일정하게 유지된다. 예를 들어 보상판은 투명부재에 부착되어, 열팽창하여 투명체를 변형시켜서 광학적 거리를 거의 일정하게 유지한다. 물론 광학적 거리가 "거의" 일정한 것으로 간주할 수 있는 여부는 특정한 광소자를 사용하는 데 달려있다. 그러나 전형적인 WDM 시스템에서는 광학적 거리의 편차가 1×10-6/℃와 동등 이하가 되면, 보상판은 광학적 거리를 "거의" 일정하게 유지하고 있는 것으로 간주할 수가 있다. 전형적인 WDM 시스템의 보상판에서는 상기 보다는 못하지만, 광학적 거리의 편차가 2×10-6/℃와 동등 이하가 되면, 광학적 거리를 "거의" 일정하게 유지하고 있는 것으로 간주할 수가 있다.
본 명세서에서는 광이 진행하는 투명부재는 파브리페로 에탈론 간섭계나 VIPA의 스페이서가 되는 것으로 설명하였다. 그러나 투명부재는 그와 같은 스페이서로 된 것에만 한정되는 것이 아니다. 그 대신에, 본 발명은 많은 상이한 용도의 각종 형의 투명부재를 적용할 수도 있다.
또한 본 명세서에서는 투명부재가 반사면을 갖는 것을 설명하였다. 그러나 본 발명은 반사면을 갖는 투명부재의 사용에만 한정되는 것은 아니다. 그 대신에, 본 발명은 반사면을 갖지 않는 각종 형의 광도파관을 적용할 수도 있다.
본 발명의 상기 각 실시예에 의하면, 보상판은 "열팽창"을 한다. 이 "열팽창"은 물질의 물리적 팽창과 물리적 수축을 의미한다. 일반적으로 물리적 수축은 "부" 열팽창이라 말한다.
본 발명의 상기 각 실시예에 의하면, 광이 진행하는 투명부재는 광학유리로 된 것으로 설명하였다. 그러나 투명부재는 광학유리에만 한정되는 것은 아니며, 다른 투명부재도 사용할 수가 있다.
이와 같이 본 발명의 상기 각 실시예에 의한 장치는 투명부재와 보상판으로 된다. 광은 투명부재를 통해 어떤 광학적 거리를 진행한다. 보상판은 투명부재에 부착되어, 열팽창하여 투명부재를 변형시켜서, 투명부재의 온도변화로 인한 광학적 거리의 변화를 감소시킨다. 구체적으로 말해서, 보상판은 투명부재를 통해 광이 진행하는 광로를 횡단하는 방향으로 투명부재를 끌어당겨서 투명부재를 변형함으로써, 광로방향의 투명부재의 두께를 감소시킨다.
또한 본 발명의 상기 각 실시예에 의한 장치는 제1 및 제2의 본체로 된다. 예를 들어 도 3(a)를 참조하면, 투명판(201)은 "제1의 본체"로 간주되며, 보상판(203)은 "제2의 본체"로 간주된다. 제1의 본체는 투명하므로 광은 제1의 본체를 통해 어떤 광학적 거리를 진행한다. 제2의 본체는 제1의 본체와 상호작용하여 제1의 본체의 온도변화로 인한 광학적 거리의 변화를 감소시킨다. 상호작용은 어느 한쪽의 본체가 공간적으로 변화하면 다른 쪽 본체가 영향을 받는 "기계적 상호작용"을 의미한다.
본 발명의 바람직한 실시예를 몇가지 들어 설명하였으나, 본 발명의 특허청구의 범위의 원리와 요지를 이탈하지 않는 한, 상기 실시예의 변경이 가능함은 당업자에게는 명백할 것이다.

Claims (41)

  1. 광이 어떤 거리를 진행하는 투명부재와; 열팽창에 의해 투명부재를 변형하여 투명부재의 온도변화로 인한 광학적 거리의 변화를 감소시키는 보상판을 갖춘 것을 특징으로 하는 온도 변화에 대해 광학적 거리를 일정하게 유지하는 광소자.
  2. 제1항에 있어서, 보상판은 광학적 거리의 변화를 감소시켜서, 광학적 거리를 거의 일정하게 유지하는 것을 특징으로 하는 온도 변화에 대해 광학적 거리를 일정하게 유지하는 광소자.
  3. 제1항에 있어서, 광이 제1의 반사면으로부터 진행하여 제2의 반사면에 달하는 투명부재상에 제1 및 제2의 반사면을 더 갖춘 것을 특징으로 하는 온도 변화에 대해 광학적 거리를 일정하게 유지하는 광소자.
  4. 제1항에 있어서, 투명부재는 그 내부에 신장하며 물리적 길이를 갖는 광로를 갖추며, 광은 이 광로를 따라 투명부재를 통해 진행하며, 투명부재는 굴절률을 가지며, 광학적 거리는 광로의 물리적 길이와 투명부재의 굴절률과의 곱으로 정의하는 것을 특징으로 하는 온도 변화에 대해 광학적 거리를 일정하게 유지하는 광소자.
  5. 제4항에 있어서, 광로에 의해 분리된 투명부재상의 제1 및 제2의 반사면을 더 갖춘 것을 특징으로 하는 온도 변화에 대해 광학적 거리를 일정하게 유지하는 광소자.
  6. 제1항에 있어서, 보상판을 투명부재에 부착하는 접착제를 더 갖춘 것을 특징으로 하는 온도 변화에 대해 광학적 거리를 일정하게 유지하는 광소자.
  7. 제6항에 있어서, 접착제는 광학접착제인 것을 특징으로 하는 온도 변화에 대해 광학적 거리를 일정하게 유지하는 광소자.
  8. 제1항에 있어서, 보상판을 투명부재에 부착하는 투명한 부착물질을 더 갖춘 장치로서, 보상판은 투명하며, 광은 보상판, 부착물질을 통하고, 투명물질을 통해 광학적 거리를 진행하는 것을 특징으로 하는 온도 변화에 대해 광학적 거리를 일정하게 유지하는 광소자.
  9. 제8항에 있어서, 부착물질은 광학접착제인 것을 특징으로 하는 온도 변화에 대해 광학적 거리를 일정하게 유지하는 광소자.
  10. 제1항에 있어서, 보상판을 투명부재에 부착하는 부착물질을 더 갖춘 장치로서, 보상판은 투명하며, 광은 보상판을 통하고, 광학적 거리를 투명부재를 진행하는 것을 특징으로 하는 온도 변화에 대해 광학적 거리를 일정하게 유지하는 광소자.
  11. 제10항에 있어서, 보상판과 투명부재 사이에는 경계면이 위치하며, 광은 횡단점에서 경계면을 횡단하여 투명테를 통해서 광학적 거리를 진행하며, 부착물질은 경계면에서 보상판을 투명부재에 부착하나, 경계면의 횡단점에는 위치하지 않게 하여, 광이 통과할 수 있는 개구를 형성하는 것을 특징으로 하는 온도 변화에 대해 광학적 거리를 일정하게 유지하는 광소자.
  12. 제11항에 있어서, 부착물질은 금속과 접착제로 된 군으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 온도 변화에 대해 광학적 거리를 일정하게 유지하는 광소자.
  13. 제1항에 있어서, 보상판은 투명부재에 용접되는 것을 특징으로 하는 온도 변화에 대해 광학적 거리를 일정하게 유지하는 광소자.
  14. 제4항에 있어서, 광로는 투명부재를 통해 광로방향으로 신장하며, 투명부재는 광로방향으로 두께를 가지며, 보상판은 광로방향으로 두께를 가지며, 상기 보상판의 두께는 적어도 상기 투명판의 두께의 5배 이상인 것을 특징으로 하는 온도 변화에 대해 광학적 거리를 일정하게 유지하는 광소자.
  15. 제4항에 있어서, 보상판은 투명부재에 부착된 평판체인 것을 특징으로 하는 온도 변화에 대해 광학적 거리를 일정하게 유지하는 광소자.
  16. 제3항에 있어서, 투명부재와 제1 및 제2의 반사면은 파브리페로 에탈론 간섭계 및 허상의 위상조정 어레이(VIPA)로 된 군의 하나를 형성하는 것을 특징으로 하는 온도 변화에 대해 광학적 거리를 일정하게 유지하는 광소자.
  17. 제1항에 있어서, 투명부재는 유리섬유인 것을 특징으로 하는 온도 변화에 대해 광학적 거리를 일정하게 유지하는 광소자.
  18. 제1항에 있어서, 보상판은 유리섬유인 것을 특징으로 하는 온도 변화에 대해 광학적 거리를 일정하게 유지하는 광소자.
  19. 제3항에 있어서, 투명판은 투명하며, 제1 및 제2의 반사면 사이에 위치하고, 광은 제1의 반사면으로부터 보상판을 통하고, 광학적 거리를 투명판을 통해 진행하여 제2의 반사면에 달하는 것을 특징으로 하는 온도 변화에 대해 광학적 거리를 일정하게 유지하는 광소자.
  20. 제4항에 있어서, 광로는 투명부재를 통해 광로방향으로 신장하고, 투명부재는 광로방향으로 10㎛~5㎜의 범위의 두께를 가지며, 보상판은 광로방향으로 100㎛~5㎝의 범위의 두께를 갖는 것을 특징으로 하는 온도 변화에 대해 광학적 거리를 일정하게 유지하는 광소자.
  21. 제1항에 있어서, 광은 투명부재를 통해 광로를 따라 광학적 거리를 진행하고, 보상판은 투명부재를 광로의 횡단방향으로 신장시켜서 투명부재를 변형하여, 투명부재의 광로방향의 두께를 감소하는 것을 특징으로 하는 온도 변화에 대해 광학적 거리를 일정하게 유지하는 광소자.
  22. 제4항에 있어서, 보상판은 투명부재를 광로의 횡단방향으로 신장시켜서 투명부재를 변형하여, 투명부재의 광로방향의 두께를 감소하는 것을 특징으로 하는 온도 변화에 대해 광학적 거리를 일정하게 유지하는 광소자.
  23. 제3항에 있어서, 광은 광로를 따라 광학적 거리를 진행하고, 보상판은 투명부재를 광로의 횡단방향으로 신장시켜서 투명부재를 변형하여, 투명부재의 광로방향의 두께를 감소하는 것을 특징으로 하는 온도 변화에 대해 광학적 거리를 일정하게 유지하는 광소자.
  24. 제3항에 있어서, 보상판은 투명부재를 변형하여, 투명부재의 온도변화에 대한 광학적 거리의 변화의 비율을, 투명부재의 굴절률이 n이고, 투명부재가 제1 및 제2의 반사면을 거리 t만큼 분리하는 것으로 하면,
    Figure kpo00004
    으로 하는 것을 특징으로 하는 온도 변화에 대해 광학적 거리를 일정하게 유지하는 광소자.
  25. 제23항에 있어서, 보상판은 투명부재를 변형하여, 투명부재의 온도변화에 대한 광학적 거리의 변화의 비율을, 투명부재의 굴절률이 n이고, 투명부재가 제1 및 제2의 반사면을 거리 t만큼 분리하는 것으로 하면,
    Figure kpo00005
    으로 하는 것을 특징으로 하는 온도 변화에 대해 광학적 거리를 일정하게 유지하는 광소자.
  26. 투명부재는 굴절률을 가지며, 광로는 물리적 길이를 가지며, 광학적 거리는 광로의 물리적 길이와 투명부재의 굴절률과의 곱으로 정의하고, 내부의 신장된 광로를 갖는 투명부재와; 광은 제1의 반사면으로부터 진행하여 투명부재를 통해 광로를 따라 제2의 반사면에 달하는, 투명부재상의 제1 및 제2의 반사면과; 투명부재에 부착되어, 열팽창에 의해 투명부재를 변형하여 투명부재의 온도변화로 인한 광학적 거리의 변화를 감소시키는 보상판을 갖춘 것을 특징으로 하는 온도 변화에 대해 광학적 거리를 일정하게 유지하는 광소자.
  27. 제26항에 있어서, 보상판은 광학적 거리의 변화를 감소시켜서, 광학적 거리를 거의 일정하게 유지하는 것을 특징으로 하는 온도 변화에 대해 광학적 거리를 일정하게 유지하는 광소자.
  28. 제26항에 있어서, 투명부재는 서로 대향하는 제1 및 제2의 평판면을 가지며, 제1의 평판면에는 제1의 반사면이 형성되고, 제2의 평판면에는 제2의 반사면이 형성되며, 보상판은 평판체의 제1의 평판면과 평판체의 제2의 평판면으로 된 군의 하나에 부착된 평판면을 갖는 것을 특징으로 하는 온도 변화에 대해 광학적 거리를 일정하게 유지하는 광소자.
  29. 제26항에 있어서, 보상판은 투명부재를 광로의 횡단방향으로 신장시켜서 투명부재를 변형하여, 투명부재의 광로방향의 두께를 감소하는 것을 특징으로 하는 온도 변화에 대해 광학적 거리를 일정하게 유지하는 광소자.
  30. 제26항에 있어서, 보상판은 투명부재를 변형하여, 투명부재의 온도변화에 대한 광학적 거리의 변화의 비율을, 투명부재의 굴절률이 n이고, 투명부재가 제1 및 제2의 반사면을 거리 t만큼 분리하는 것으로 하면,
    Figure kpo00006
    으로 하는 것을 특징으로 하는 온도 변화에 대해 광학적 거리를 일정하게 유지하는 광소자.
  31. 제29항에 있어서, 보상판은 투명부재를 변형하여, 투명부재의 온도변화에 대한 광학적 거리의 변화의 비율을, 투명부재의 굴절률이 n이고, 투명부재가 제1 및 제2의 반사면을 거리 t만큼 분리하는 것으로 하면,
    Figure kpo00007
    으로 하는 것을 특징으로 하는 온도 변화에 대해 광학적 거리를 일정하게 유지하는 광소자.
  32. 광이 제1의 광학적 거리를 제1의 투명체를 통해 진행한 후, 제2의 광학적 거리를 제2의 투명체를 통해 진행하는, 제1 및 제2의 투명체를 갖춘 장치로서, 제2의 광학적 거리는 제1의 투명체의 온도변화로 인한 제1의 광학적 거리의 변화를 보상할 수 있게 변화하여, 제1 및 제2의 광학적 거리의 합계가 거의 일정하게 유지되도록 하는 것을 특징으로 하는 온도 변화에 대해 광학적 거리를 일정하게 유지하는 광소자.
  33. 제32항에 있어서, 제1 및 제2의 반사면과, 제1 및 제2의 반사면 사이에 위치하여, 광이 제1의 반사면으로부터 제1의 투명체를 통해 제1의 광학적 거리를 진행하고, 제2의 투명체를 통해 제2의 광학적 거리를 진행하여, 제2의 반사면에 달하는 제1 및 제2의 투명체를 더 갖춘 것을 특징으로 하는 온도 변화에 대해 광학적 거리를 일정하게 유지하는 광소자.
  34. 광이 어떤 광학적 거리를 진행하는 투명한 제1의 본체와; 제1의 본체와 상호작용하여 제1의 본체의 온도변화로 인한 광학적 거리의 변화를 감소시키는 제2의 본체를 갖춘 것을 특징으로 하는 온도 변화에 대해 광학적 거리를 일정하게 유지하는 광소자.
  35. 제34항에 있어서, 광이 제1의 반사면으로부터 광학적 거리를 진행하여 제2의 반사면에 달하는 제1 및 제2의 반사면을 더 갖춘 것을 특징으로 하는 온도 변화에 대해 광학적 거리를 일정하게 유지하는 광소자.
  36. 제34항에 있어서, 제2의 본체는 기계적 상호작용에 의해 제1의 본체와 상호작용을 하는 것을 특징으로 하는 온도 변화에 대해 광학적 거리를 일정하게 유지하는 광소자.
  37. 제36항에 있어서, 기계적 상호작용은 제1 및 제2의 본체의 열팽창에 의해 생기는 것을 특징으로 하는 온도 변화에 대해 광학적 거리를 일정하게 유지하는 광소자.
  38. 제35항에 있어서, 제2의 본체는 제1의 본체와 상호작용하여 광의 진행방향의 횡단방향으로 제1의 본체를 신장함으로써, 광의 진행방향의 제1의 본체의 두께를 감소시키는 것을 특징으로 하는 온도 변화에 대해 광학적 거리를 일정하게 유지하는 광소자.
  39. 광이 투명부재를 통해 어떤 광학적 거리를 진행하게 하는 스텝과; 투명체의 온도변화로 인한 광학적 거리의 변화를 감소하기 위해 투명부재를 변형하는 스텝을 갖춘 것을 특징으로 하는 온도 변화에 대해 광학적 거리를 일정하게 유지하는 방법.
  40. 제39항에 있어서, 광학적 거리를 거의 일정하게 유지시키기 위해 투명부재를 변형하는 것을 특징으로 하는 온도 변화에 대해 광학적 거리를 일정하게 유지하는 방법.
  41. 제39항에 있어서, 투명부재는 내부에 신장하며 물리적 길이를 갖는 광로를 가지며, 광은 투명부재를 통해 광로를 따라 진행하고, 투명부재는 굴절률을 가지며, 광학적 거리는 광로의 물리적 길이와 투명부재의 굴절률과의 곱으로 정의하는 것을 특징으로 하는 온도 변화에 대해 광학적 거리를 일정하게 유지하는 방법.
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