[go: up one dir, main page]
More Web Proxy on the site http://driver.im/

KR100253107B1 - 광학 시스템의 동작 제어 방법 및 그 제어 회로 - Google Patents

광학 시스템의 동작 제어 방법 및 그 제어 회로 Download PDF

Info

Publication number
KR100253107B1
KR100253107B1 KR1019920012396A KR920012396A KR100253107B1 KR 100253107 B1 KR100253107 B1 KR 100253107B1 KR 1019920012396 A KR1019920012396 A KR 1019920012396A KR 920012396 A KR920012396 A KR 920012396A KR 100253107 B1 KR100253107 B1 KR 100253107B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
logic device
correct
transistor
photosensitive
gate
Prior art date
Application number
KR1019920012396A
Other languages
English (en)
Other versions
KR930002866A (ko
Inventor
비. 샘프셀 제프리
Original Assignee
윌리엄 비. 켐플러
텍사스 인스트루먼츠 인코포레이티드
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 윌리엄 비. 켐플러, 텍사스 인스트루먼츠 인코포레이티드 filed Critical 윌리엄 비. 켐플러
Publication of KR930002866A publication Critical patent/KR930002866A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100253107B1 publication Critical patent/KR100253107B1/ko

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/29—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the position or the direction of light beams, i.e. deflection
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03K—PULSE TECHNIQUE
    • H03K19/00—Logic circuits, i.e. having at least two inputs acting on one output; Inverting circuits
    • H03K19/02—Logic circuits, i.e. having at least two inputs acting on one output; Inverting circuits using specified components
    • H03K19/14—Logic circuits, i.e. having at least two inputs acting on one output; Inverting circuits using specified components using opto-electronic devices, i.e. light-emitting and photoelectric devices electrically- or optically-coupled

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Computing Systems (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
  • Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
  • Transforming Electric Information Into Light Information (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Electronic Switches (AREA)
  • X-Ray Techniques (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
  • Light Receiving Elements (AREA)

Abstract

본 발명은 광학 디바이스 또는 시스템을 위한 동작 윈도우의 조명을 제어하는 방법에 관한 것이다. 2개의 감광 디바이스(46a 및 46b) 즉, 하나(46a)는 감도가 매우 좋고 다른 하나(46b)는 감도가 중간 정도인 것을 함께 접속시킴으로써, 중요한 신호(38)이 디바이스 또는 시스템을 통과할 수 있는 경우를 정할 수 있다. 2개의 디바이스의 출력들은 출력을 결정하는 논리 회로(52 및 54)를 통해 피드된다. 논리 회로는 동작 윈도우가 선택됨에 따라 선택된다. 그 다음에, 논리 디바이스의 출력은 제어 신호에 접속된다.

Description

광학 시스템의 동작 제어 방법 및 그 제어 회로
제1도는 광선이 기판 내로 입사하는 상태를 도시한 도면.
제2도는 신호 동작을 제어하기 위한 디바이스를 도시한 도면.
제3a도는 신호 동작을 제어하기 위한 대체 디바이스를 도시한 도면.
제3b도는 제3a도에 도시된 디바이스의 논리 테이블을 도시한 도면.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
10 : 디바이스 기판 12 : 드레인
14 : 소오스 16 : 게이트 산화물
18a,18b : 금속 접촉부 24,30a,30b : 비아
26 : 전극 42 : 로드 트랜지스터
44 : 포토트랜지스터 48 : 트랜지스터
54 : NOR 게이트
본 발명은 광학 시스템에 관한 것으로, 특히 이러한 시스템의 동작을 제어하기 위한 방법 및 이 시스템의 동작을 제어하기 위한 회로에 관한 것이다.
광학 시스템을 동작시키는 어떤 광선 레벨을 제어해야 한다는 것은 여러가지 이유 때문에 제어할 필요성이 있었다. 이러한 이유들 중 2가지 이유는 디바이스의 침해를 방지하고, 시스템의 내구성을 보존하는 것이다. 제조업자는 시스템의 사이즈에 따라 3가지 다른 상품으로 광학 시스템을 생산할 수 있다. 예를 들면, 디스플레이에 있어서, 3가지 가능한 상품은 상용 프로젝션 시스템, 대형 스크린 텔레비젼[30인치 (76.2cm) 이상] 및 소형 스크린 텔레비젼이다. 동일 디바이스, 광학 메모리, 공간 광선 변조기 또는 다른 감광 디바이스는 상기 각각의 디스플레이에 사용될 수 있다. 소비자들이 점차로 소형이면서 저렴한 텔레비젼을 선호하고 대형 스크린 텔레비젼 또는 프로젝션 시스템을 이루는 부분이 침해받는 것을 방지할 수가 없다.
시스템에 있어서의 공통 요소는 광선을 사용한다는 것이다. 그러나, 사이즈나 복잡성에 있어서, 시스템의 각 레벨은 상이한 광선 레벨을 요구한다. 대형 프로젝션 시스템은 하이 레벨의 조명을 필요로 하고 텔레비젼은 로우 레벨의 조명을 필요로 한다. 제조업자에게는 각 시스템 내의 디바이스의 조명을 시스템이 동작할 수 있는 특정 윈도우의 조명으로 제한하는 것이 유리하다.
동작을 제어하는 또 다른 주 요인은 시스템 부분에 대한 손상을 방지한다. 시스템이 단지 특정 레벨의 조명에서만 효율적으로 동작하면, 비효율적으로 동작하는 경우의 레벨에서는 시스템을 동작시키는 불필요한 소모만을 발생시킨다는 것을 의미한다. 더욱이, 개별 디바이스는 매우 높은 하이 레벨의 조명에서 손상될 수 있다. 다량의 광선이 디바이스 상에 출돌하는 경우에, 시스템 내에 문제가 있다면, 디바이스는 차단되어 손상을 방지할 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 목적 및 장점은 명료해지고 부분적으로는 추후에 설명되어지며, 광학 회로의 동작 조명 윈도우를 제어하는 방법 및 회로를 제공함으로써 달성된다.
이 방법은 2개의 감광 소자를 결합시키는데, 하나는 광선에 대해 감도가 매우 민감하고 다른 하나는 감도가 둔하다. 다음에, 2개의 디바이스 출력은 선택된 동작 윈도우의 적절한 출력을 결정하는 논리 회로 내로 통과된다. 그다음에, 이 출력이 시스템 제어 회로에 접속됨으로써 동작이 필요할 경우에 신호를 시스템으로 통과시키고 동작이 필요하지 않으면 통과시키지 않는다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 대해 상세하게 설명하고자 한다.
제1도는 광학 시스템의 동작을 제어하는 한 실시예를 도시한다. 디바이스가 제조되면 갭이 상부층 및 후속 하부층에 남을 수 있어서 광선을 기판 내로 통과시킨다. 이 예는 변형 미러 디바이스(DMD)로 구성되지만, 상기 방법은 다른 감광 디바이스에도 사용될 수 있다.
본 발명의 한 실시예에서, 이 디바이스는 기판(10) 내에 트랜지스터들을 갖고 있는데, 그들 중 한 트랜지스터에 대해 설명하고자 한다. 드레인(12) 및 소오스(14)는 기판에 형성된다. 다음에, 이 위에 게이트 산화물(16)의 층이 피복된다. 게이트(20)은 통상적으로 폴리실리콘으로 형성된다. 금속 접촉부(18a 및 18b)는 게이트 산화물 위에 형성된다. 평면화가 요구되면, 층(22)는 피착되고 에칭되어 플래트 층을 형성할 수 있다. 비아(24)는 통상적으로 BPSG와 같은 유리종류인 평면층(22) 내에 에칭된다. 다음에, 금속층은 피착되어 에칭된다. 금속은 비아(24)를 채운다. 그 다음에, 금속은 패턴되고 에칭되어 전극(26)을 형성한다.
DMD 내에 미러 소자를 형성하기 위해서, 층(28)은 전극(26) 위에 피착되어 스페이서로 사용된다. 비아(30a 및 30b)는 포스트용 스페이서 내에 에칭된다. 힌지 금속(32)의 층은 비아를 채우는 스페이서 위에 피착되어 지지 포스트 및 힌지를 형성한다. 다음에, 스페이서는 미러 하부로부터 외부까지 에칭되어 갭을 남긴다. 전극이 배치된 저부에서 최종 디바이스는 에어 갭 위에 얇은 힌지에 의해 지지되어 있는 넓은 미러 소자로 구성된다.
이 디바이스가 제조 중에 정확히 정렬되면, 경로(36a 및 36b)는 디바이스에 남아 있게 된다. 다음에, 광선은 에어 갭과, 기판 내의 평면층을 통해 얇은 힌지 주위를 통과함으로써 기판에 입사될 수 있다. 광선이 기판에 입사하면, 포토캐리어를 생성하고, 순서대로 트랜지스터 내에 높은 누설 전류를 발생시켜, 디바이스가 차단된다. 따라서, 다량의 광선에 대한 디바이스의 감도는 하이 레벨의 조명에서 디바이스를 차단시키는데 사용될 수 있다.
이러한 방식에도 문제점은 있다. 한가지 가능한 문제점은 디바이스가 특정한 광로 정렬에 의해 제조되어야 한다는 점이다. 누군가가 디바이스를 이동시켜 기하학적으로 상이한 광로에서 사용할 경우, 이 효과를 방지하는 것이 가능하다. 더욱이, 이 방법만이 하이 레벨의 조명에서 디바이스의 사용을 제한할 수 있다.
다른 접근 방식이 제2도에 도시된다. 해당 디바이스의 측면에 제조될 수 있는 회로가 도시된다. 시스템 클럭(38)은 디바이스를 구동시키는 클럭으로 간주되지만, 시스템 또는 디바이스에 실질적인 신호를 사용하는 것이 가능하다. 전압원(40)은 로드 트랜지스터(42)를 통해 포토트랜지스터(44)에 접속된다. 시스템이 로우 레벨의 조명에서 동작하면, 포토트랜지스터(44)는 턴 오프되고, 로드 트랜지스터로부터의 라인(46)은 하이 상태로 유지된다. 트랜지스터(48)로 인입되는 라인(46)이 하이 상태이면, 트랜지스터(48)은 턴 온되는데, 이것은 시스템 클럭(38)의 클럭 신호가 라인(50)을 통해 시스템으로 통과할 수 있다는 것을 의미한다. 초과 레벨의 조명이 발생하면, 포토레지스터(44)는 턴 온되고, 라인(46)을 로우상태로 만든다. 라인(46)이 로우 상태이면, 트랜지스터(48)은 턴 오프되고, 클럭신호(38)은 라인(50)을 통과하지 못하며, 해당 디바이스가 클럭을 갖지 못하기 때문에 차단된다. 이러한 방식은 광학 시스템이 독자적이라는 장점을 갖지만, 초과레벨 이상의 레벨의 조명으로 제어하지는 못한다. 또한, 이러한 기술을 앞지르기는 매우 쉽다. 어두워서 아무런 효과가 없으면 포토레지스터는 턴 오프되기 때문에, 밝은 곳에 있는 윈도우 하부의 디바이스 부분은 조명받지 않은 부분에 의해 커버되어야 한다.
또 다른 방식이 제3a도에 도시되어 있다. 이러한 시스템에서는 2개의 포토레지스터가 사용된다. 포토다이오드와 같이, 논리 게이트를 통과하는 신호 라인에 영향을 끼칠 수 있는 감광 소자가 사용될 수 있다. 약한 트랜지스터로 불리우는 트랜지스터(44a)는 로우 레벨의 광선에서 활성화된다. 강한 트랜지스터로 불리우는 다른 트랜지스터(44b)는 하이 레벨의 광선에서 활성화된다. 이 트랜지스터들은 로드 트랜지스터(42a 및 42b)를 통해 전압원(40)에 의해 충전된다. 시스템이 어두우면, 트랜지스터는 둘 다 턴 오프된다. 약한 트랜지스터로부터의 출력라인(46a)는 논리 게이트[이 실시예에서는, NOR 게이트(54)] 내로 피드된다. 강한 트랜지스터로부터의 출력 라인(46b)는 NOR 게이트(54) 내로 피드되기 전에 인버터(52)에서 반전된다. 다음에, 게이트의 출력은 트랜지스터(48)을 통해 클럭 라인(38)에 접속된다.
제3b도의 논리 테이블에 도시된 바와 같이, 시스템이 어두우면 트랜지스터는 둘 다 턴 오프된다. 라인(46a 및 46b)는 하이 상태이다. 그러나, 라인(46b)가 반전되면, NOR 게이트의 2개의 입력은 각각 하이 및 로우 상태가 된다. 다음에, NOR 게이트와 트랜지스터(48) 사이의 라인은 로우 상태이고, 클럭 신호는 통과되지 못하며, 디바이스는 작동되지 않는다. 로우 레벨의 조명에서, 약한 트랜지스터는 턴 온된다. 이것은 라인(46a)를 로우 상태로 만든다. 광선이 트랜지스터(44b)를 턴 온 시킬 정도로 충분히 강하지 못하기 때문에 라인(46b)는 영향을 받지 않는다. NOR 게이트의 2개의 로우 상태의 입력은 트랜지스터(48)에 하이 상태의 신호를 발생시킨다. 이로 인해, 클럭 신호는 라인(50) 상으로 및 시스템으로부터 통과된다.
하이 레벨의 조명에서, 2개의 트랜지스터는 턴 온된다. 2개의 라인(46a 및 46b)는 로우 상태로 된다. 이로 인해, NOR 게이트(54) 내에서 하이 및 로우상태가 발생되어, 로우 상태의 신호를 발생시킨다. 트랜지스터(48)은 오프 상태로 유지되고 클럭은 시스템에 도달하지 못한다.
논리 게이트는 선택되어 소정의 윈도우에서 동작을 제어할 수 있다. 예를들면, 인버터를 제거함으로써 시스템은 하이 레벨의 조명에서만 동작한다. 동작의 윈도우는 논리 게이트가 사용됨에 따라 고정될 수 있다. 입력과 가능한 출력의 조합은 회로에 대한 설계자의 의도에 의해서만 제한된다. 2개의 입력이 상이할 경우에만, 즉 XOR 기능으로만 동작하도록 게이트는 정렬될 수 있다. 또한, NOR 게이트를 사용함으로써, 약한 트랜지스터로부터의 라인이 하이 상태이고, 강한 트랜지스터로부터의 라인이 로우 상태일 경우에만 동작하도록 시스템은 고정될 수 있다. 예를 들어, 약한 트랜지스터가 고장나서, 약한 트랜지스터가 오프 상태이고 강한 트랜지스터가 턴 온되면, 시스템은 동작하지 않는다.
트랜지스터(48)은 안전 회로의 제어 신호로부터의 단점을 제거한다. 안전회로에 대한 연결을 제거시킴으로써 레이저로 트레이스를 번(burn)시키는 것이 가능하다. 트랜지스터(48)은 입력 라인이 하이 상태일 경우에만 동작하기 때문에, 이 경우에 있어서는 트레이스를 번시키는 것이 불가능하다. 라인이 전체적으로 번되면, 제어 신호는 트랜지스터를 통해서 시스템으로 전달되지 못한다. 커트(cut)로부터의 플로팅 라인에 대한 문제점으로 인해, 싱글 트랜지스터 대신에 AND 게이트와 같은 논리 게이트가 사용된다. 이로 인해, 안전 회로로부터의 라인 및 클럭 신호는 클럭이 시스템을 통과하도록 하이 상태이어야 한다.
따라서, 광학 시스템의 동작을 제어하는 방법에 대한 특정 실시예가 설명되었더라도, 그것은 본 발명의 범위를 제한하려는 의도가 아니고, 다양한 변형 및 대체가 가능하다.

Claims (10)

  1. (정정) 광학 시스템의 동작을 제어하기 위한 방법에 있어서,
    a. 적어도 하나의 감광 디바이스가 다른 감광 디바이스들보다 감광성이 우수하도록 구성된 적어도 2개의 감광 디바이스들에 출력들을 제공하는 단계;
    b. 적어도 2개의 상기 감광 디바이스들의 출력들을 논리 디바이스로 입력하는 단계; 및
    c. 상기 논리 디바이스의 출력에 응답하여 동작에 필수적인 신호를 선택적으로 저지시키는 단계를 포함하는 광학 시스템 동작 제어 방법.
  2. (정정) 제1항에 있어서, 상기 입력 단계는 상기 적어도 2개의 감광 디바이스 출력들 중 적어도 하나의 출력을 반전시키는 단계를 포함하는 광학 시스템 동작 제어 방법.
  3. (정정) 제1항에 있어서, 상기 저지 단계는 상기 논리 디바이스의 상기 출력을 트랜지스터의 게이트에 접속시키는 단계 및 상기 신호를 상기 트랜지스터의 입력라인에 접속시키는 단계를 포함하는 광학 시스템 동작 제어 방법.
  4. (정정) 광학 시스템의 동작을 제어하기 위한 회로에 있어서,
    a. 적어도 하나의 감광 디바이스가 다른 감광 디바이스들보다 감광성이 우수하도록 구성된 적어도 2개의 감광 디바이스들;
    b. 적어도 2개의 상기 감광 디바이스들에 접속된 논리 디바이스; 및
    c. 상기 논리 디바이스의 출력에 접속되어, 동작에 필수적인 신호를 상기 신호가 상기 광학 시스템으로 전달될 수 있는 때에 선택적으로 저지하기 위한 회로를 포함하는 광학 시스템 동작 제어 회로.
  5. (정정) 제1항에 있어서, 상기 감광 디바이스들은 포토트랜지스터들인 광학 시스템 동작 제어 방법.
  6. (정정) 제1항에 있어서, 상기 감광 디바이스들은 포토다이오드들인 광학 시스템 동작 제어 방법.
  7. (정정) 제1항에 있어서, 상기 논리 디바이스는 NOR 게이트인 광학 시스템 동작 제어 방법.
  8. (정정) 제1항에 있어서, 상기 논리 디바이스는 XOR 게이트인 광학 시스템 동작 제어 방법.
  9. (정정) 제1항에 있어서, 상기 논리 디바이스는 AND 게이트인 광학 시스템 동작 제어 방법.
  10. (정정) 제1항에 있어서, 상기 논리 디바이스는 인버터를 포함하는 광학 시스템 동작 제어 방법.
KR1019920012396A 1991-07-12 1992-07-11 광학 시스템의 동작 제어 방법 및 그 제어 회로 KR100253107B1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US07/728,925 US5179274A (en) 1991-07-12 1991-07-12 Method for controlling operation of optical systems and devices
US728,925 1991-07-12

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR930002866A KR930002866A (ko) 1993-02-23
KR100253107B1 true KR100253107B1 (ko) 2000-05-01

Family

ID=24928831

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019920012396A KR100253107B1 (ko) 1991-07-12 1992-07-11 광학 시스템의 동작 제어 방법 및 그 제어 회로

Country Status (5)

Country Link
US (1) US5179274A (ko)
EP (1) EP0522580B1 (ko)
JP (1) JPH05199484A (ko)
KR (1) KR100253107B1 (ko)
DE (1) DE69223865T2 (ko)

Families Citing this family (199)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
AU5306494A (en) * 1993-01-08 1994-07-14 Richard A Vasichek Magnetic keeper accessory for wrench sockets
US6674562B1 (en) * 1994-05-05 2004-01-06 Iridigm Display Corporation Interferometric modulation of radiation
US8014059B2 (en) * 1994-05-05 2011-09-06 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method for charge control in a MEMS device
US7297471B1 (en) 2003-04-15 2007-11-20 Idc, Llc Method for manufacturing an array of interferometric modulators
US7138984B1 (en) 2001-06-05 2006-11-21 Idc, Llc Directly laminated touch sensitive screen
US7460291B2 (en) 1994-05-05 2008-12-02 Idc, Llc Separable modulator
US7123216B1 (en) * 1994-05-05 2006-10-17 Idc, Llc Photonic MEMS and structures
US7550794B2 (en) * 2002-09-20 2009-06-23 Idc, Llc Micromechanical systems device comprising a displaceable electrode and a charge-trapping layer
US6680792B2 (en) * 1994-05-05 2004-01-20 Iridigm Display Corporation Interferometric modulation of radiation
SE509734C3 (sv) * 1995-02-17 1999-06-21 Foersvarets Forskningsanstalt Bildsensor med inbyggd oeverexponeringskontroll
US5841579A (en) 1995-06-07 1998-11-24 Silicon Light Machines Flat diffraction grating light valve
US7471444B2 (en) * 1996-12-19 2008-12-30 Idc, Llc Interferometric modulation of radiation
US5982553A (en) 1997-03-20 1999-11-09 Silicon Light Machines Display device incorporating one-dimensional grating light-valve array
US6088102A (en) 1997-10-31 2000-07-11 Silicon Light Machines Display apparatus including grating light-valve array and interferometric optical system
KR100703140B1 (ko) * 1998-04-08 2007-04-05 이리다임 디스플레이 코포레이션 간섭 변조기 및 그 제조 방법
US7532377B2 (en) 1998-04-08 2009-05-12 Idc, Llc Movable micro-electromechanical device
US8928967B2 (en) 1998-04-08 2015-01-06 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and device for modulating light
US6271808B1 (en) 1998-06-05 2001-08-07 Silicon Light Machines Stereo head mounted display using a single display device
US6101036A (en) 1998-06-23 2000-08-08 Silicon Light Machines Embossed diffraction grating alone and in combination with changeable image display
US6130770A (en) 1998-06-23 2000-10-10 Silicon Light Machines Electron gun activated grating light valve
US6215579B1 (en) 1998-06-24 2001-04-10 Silicon Light Machines Method and apparatus for modulating an incident light beam for forming a two-dimensional image
US6303986B1 (en) 1998-07-29 2001-10-16 Silicon Light Machines Method of and apparatus for sealing an hermetic lid to a semiconductor die
WO2003007049A1 (en) * 1999-10-05 2003-01-23 Iridigm Display Corporation Photonic mems and structures
US6962771B1 (en) * 2000-10-13 2005-11-08 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Dual damascene process
DE60107041T2 (de) 2000-12-28 2005-10-20 Texas Instruments Inc., Dallas Verfahren und Vorrichtung zum Ausschalten eines räumlichen Lichtmodulators
US6707591B2 (en) 2001-04-10 2004-03-16 Silicon Light Machines Angled illumination for a single order light modulator based projection system
US6747781B2 (en) 2001-06-25 2004-06-08 Silicon Light Machines, Inc. Method, apparatus, and diffuser for reducing laser speckle
US6782205B2 (en) 2001-06-25 2004-08-24 Silicon Light Machines Method and apparatus for dynamic equalization in wavelength division multiplexing
US6589625B1 (en) 2001-08-01 2003-07-08 Iridigm Display Corporation Hermetic seal and method to create the same
US6829092B2 (en) 2001-08-15 2004-12-07 Silicon Light Machines, Inc. Blazed grating light valve
US6785001B2 (en) * 2001-08-21 2004-08-31 Silicon Light Machines, Inc. Method and apparatus for measuring wavelength jitter of light signal
US7116459B2 (en) * 2001-12-27 2006-10-03 Texas Instruments Incorporated Field diode detection of excess light conditions for spatial light modulator
US6800238B1 (en) 2002-01-15 2004-10-05 Silicon Light Machines, Inc. Method for domain patterning in low coercive field ferroelectrics
US6794119B2 (en) * 2002-02-12 2004-09-21 Iridigm Display Corporation Method for fabricating a structure for a microelectromechanical systems (MEMS) device
US6574033B1 (en) 2002-02-27 2003-06-03 Iridigm Display Corporation Microelectromechanical systems device and method for fabricating same
US6767751B2 (en) 2002-05-28 2004-07-27 Silicon Light Machines, Inc. Integrated driver process flow
US6728023B1 (en) 2002-05-28 2004-04-27 Silicon Light Machines Optical device arrays with optimized image resolution
US6822797B1 (en) 2002-05-31 2004-11-23 Silicon Light Machines, Inc. Light modulator structure for producing high-contrast operation using zero-order light
US6829258B1 (en) 2002-06-26 2004-12-07 Silicon Light Machines, Inc. Rapidly tunable external cavity laser
US6714337B1 (en) 2002-06-28 2004-03-30 Silicon Light Machines Method and device for modulating a light beam and having an improved gamma response
US6813059B2 (en) 2002-06-28 2004-11-02 Silicon Light Machines, Inc. Reduced formation of asperities in contact micro-structures
US6801354B1 (en) 2002-08-20 2004-10-05 Silicon Light Machines, Inc. 2-D diffraction grating for substantially eliminating polarization dependent losses
US7057795B2 (en) * 2002-08-20 2006-06-06 Silicon Light Machines Corporation Micro-structures with individually addressable ribbon pairs
US7781850B2 (en) * 2002-09-20 2010-08-24 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Controlling electromechanical behavior of structures within a microelectromechanical systems device
US6712480B1 (en) 2002-09-27 2004-03-30 Silicon Light Machines Controlled curvature of stressed micro-structures
TW200413810A (en) 2003-01-29 2004-08-01 Prime View Int Co Ltd Light interference display panel and its manufacturing method
US6806997B1 (en) 2003-02-28 2004-10-19 Silicon Light Machines, Inc. Patterned diffractive light modulator ribbon for PDL reduction
US6829077B1 (en) 2003-02-28 2004-12-07 Silicon Light Machines, Inc. Diffractive light modulator with dynamically rotatable diffraction plane
TW594360B (en) * 2003-04-21 2004-06-21 Prime View Int Corp Ltd A method for fabricating an interference display cell
TW570896B (en) 2003-05-26 2004-01-11 Prime View Int Co Ltd A method for fabricating an interference display cell
US7221495B2 (en) * 2003-06-24 2007-05-22 Idc Llc Thin film precursor stack for MEMS manufacturing
TW200506479A (en) * 2003-08-15 2005-02-16 Prime View Int Co Ltd Color changeable pixel for an interference display
TWI231865B (en) * 2003-08-26 2005-05-01 Prime View Int Co Ltd An interference display cell and fabrication method thereof
TWI232333B (en) * 2003-09-03 2005-05-11 Prime View Int Co Ltd Display unit using interferometric modulation and manufacturing method thereof
TW593126B (en) 2003-09-30 2004-06-21 Prime View Int Co Ltd A structure of a micro electro mechanical system and manufacturing the same
US7012726B1 (en) 2003-11-03 2006-03-14 Idc, Llc MEMS devices with unreleased thin film components
US7161728B2 (en) * 2003-12-09 2007-01-09 Idc, Llc Area array modulation and lead reduction in interferometric modulators
US7142346B2 (en) * 2003-12-09 2006-11-28 Idc, Llc System and method for addressing a MEMS display
US7532194B2 (en) * 2004-02-03 2009-05-12 Idc, Llc Driver voltage adjuster
US7119945B2 (en) 2004-03-03 2006-10-10 Idc, Llc Altering temporal response of microelectromechanical elements
US7706050B2 (en) * 2004-03-05 2010-04-27 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Integrated modulator illumination
US7720148B2 (en) * 2004-03-26 2010-05-18 The Hong Kong University Of Science And Technology Efficient multi-frame motion estimation for video compression
US7060895B2 (en) * 2004-05-04 2006-06-13 Idc, Llc Modifying the electro-mechanical behavior of devices
US7476327B2 (en) * 2004-05-04 2009-01-13 Idc, Llc Method of manufacture for microelectromechanical devices
US7164520B2 (en) * 2004-05-12 2007-01-16 Idc, Llc Packaging for an interferometric modulator
US7256922B2 (en) * 2004-07-02 2007-08-14 Idc, Llc Interferometric modulators with thin film transistors
TWI233916B (en) * 2004-07-09 2005-06-11 Prime View Int Co Ltd A structure of a micro electro mechanical system
KR101255691B1 (ko) * 2004-07-29 2013-04-17 퀄컴 엠이엠에스 테크놀로지스, 인크. 간섭 변조기의 미소기전 동작을 위한 시스템 및 방법
US7889163B2 (en) * 2004-08-27 2011-02-15 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Drive method for MEMS devices
US7515147B2 (en) * 2004-08-27 2009-04-07 Idc, Llc Staggered column drive circuit systems and methods
US7551159B2 (en) 2004-08-27 2009-06-23 Idc, Llc System and method of sensing actuation and release voltages of an interferometric modulator
US7560299B2 (en) * 2004-08-27 2009-07-14 Idc, Llc Systems and methods of actuating MEMS display elements
US7499208B2 (en) 2004-08-27 2009-03-03 Udc, Llc Current mode display driver circuit realization feature
US7602375B2 (en) * 2004-09-27 2009-10-13 Idc, Llc Method and system for writing data to MEMS display elements
US7710629B2 (en) * 2004-09-27 2010-05-04 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method for display device with reinforcing substance
US7684104B2 (en) * 2004-09-27 2010-03-23 Idc, Llc MEMS using filler material and method
US7359066B2 (en) * 2004-09-27 2008-04-15 Idc, Llc Electro-optical measurement of hysteresis in interferometric modulators
US7259449B2 (en) * 2004-09-27 2007-08-21 Idc, Llc Method and system for sealing a substrate
US7317568B2 (en) * 2004-09-27 2008-01-08 Idc, Llc System and method of implementation of interferometric modulators for display mirrors
US7417783B2 (en) * 2004-09-27 2008-08-26 Idc, Llc Mirror and mirror layer for optical modulator and method
US7420725B2 (en) 2004-09-27 2008-09-02 Idc, Llc Device having a conductive light absorbing mask and method for fabricating same
US20060076634A1 (en) * 2004-09-27 2006-04-13 Lauren Palmateer Method and system for packaging MEMS devices with incorporated getter
US7564612B2 (en) * 2004-09-27 2009-07-21 Idc, Llc Photonic MEMS and structures
US7545550B2 (en) * 2004-09-27 2009-06-09 Idc, Llc Systems and methods of actuating MEMS display elements
US7343080B2 (en) * 2004-09-27 2008-03-11 Idc, Llc System and method of testing humidity in a sealed MEMS device
US7675669B2 (en) 2004-09-27 2010-03-09 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and system for driving interferometric modulators
US7446927B2 (en) * 2004-09-27 2008-11-04 Idc, Llc MEMS switch with set and latch electrodes
US7304784B2 (en) * 2004-09-27 2007-12-04 Idc, Llc Reflective display device having viewable display on both sides
US7936497B2 (en) * 2004-09-27 2011-05-03 Qualcomm Mems Technologies, Inc. MEMS device having deformable membrane characterized by mechanical persistence
US8310441B2 (en) 2004-09-27 2012-11-13 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and system for writing data to MEMS display elements
US7492502B2 (en) * 2004-09-27 2009-02-17 Idc, Llc Method of fabricating a free-standing microstructure
US7415186B2 (en) * 2004-09-27 2008-08-19 Idc, Llc Methods for visually inspecting interferometric modulators for defects
US7554714B2 (en) * 2004-09-27 2009-06-30 Idc, Llc Device and method for manipulation of thermal response in a modulator
US7808703B2 (en) * 2004-09-27 2010-10-05 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method for implementation of interferometric modulator displays
US7405924B2 (en) 2004-09-27 2008-07-29 Idc, Llc System and method for protecting microelectromechanical systems array using structurally reinforced back-plate
US7136213B2 (en) * 2004-09-27 2006-11-14 Idc, Llc Interferometric modulators having charge persistence
US20060067650A1 (en) * 2004-09-27 2006-03-30 Clarence Chui Method of making a reflective display device using thin film transistor production techniques
US7299681B2 (en) * 2004-09-27 2007-11-27 Idc, Llc Method and system for detecting leak in electronic devices
US7724993B2 (en) * 2004-09-27 2010-05-25 Qualcomm Mems Technologies, Inc. MEMS switches with deforming membranes
US7916103B2 (en) 2004-09-27 2011-03-29 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method for display device with end-of-life phenomena
US7630119B2 (en) * 2004-09-27 2009-12-08 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Apparatus and method for reducing slippage between structures in an interferometric modulator
US7843410B2 (en) * 2004-09-27 2010-11-30 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and device for electrically programmable display
US7424198B2 (en) 2004-09-27 2008-09-09 Idc, Llc Method and device for packaging a substrate
US7289259B2 (en) * 2004-09-27 2007-10-30 Idc, Llc Conductive bus structure for interferometric modulator array
US8008736B2 (en) * 2004-09-27 2011-08-30 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Analog interferometric modulator device
US7626581B2 (en) * 2004-09-27 2009-12-01 Idc, Llc Device and method for display memory using manipulation of mechanical response
US7372613B2 (en) * 2004-09-27 2008-05-13 Idc, Llc Method and device for multistate interferometric light modulation
CN100439967C (zh) * 2004-09-27 2008-12-03 Idc公司 用于多状态干涉光调制的方法和设备
US7289256B2 (en) * 2004-09-27 2007-10-30 Idc, Llc Electrical characterization of interferometric modulators
US7692839B2 (en) * 2004-09-27 2010-04-06 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method of providing MEMS device with anti-stiction coating
US7586484B2 (en) * 2004-09-27 2009-09-08 Idc, Llc Controller and driver features for bi-stable display
US7302157B2 (en) * 2004-09-27 2007-11-27 Idc, Llc System and method for multi-level brightness in interferometric modulation
US20060103643A1 (en) * 2004-09-27 2006-05-18 Mithran Mathew Measuring and modeling power consumption in displays
US7893919B2 (en) 2004-09-27 2011-02-22 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Display region architectures
US7327510B2 (en) 2004-09-27 2008-02-05 Idc, Llc Process for modifying offset voltage characteristics of an interferometric modulator
US7369294B2 (en) * 2004-09-27 2008-05-06 Idc, Llc Ornamental display device
US7310179B2 (en) 2004-09-27 2007-12-18 Idc, Llc Method and device for selective adjustment of hysteresis window
US7355780B2 (en) 2004-09-27 2008-04-08 Idc, Llc System and method of illuminating interferometric modulators using backlighting
US8124434B2 (en) * 2004-09-27 2012-02-28 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and system for packaging a display
US7583429B2 (en) 2004-09-27 2009-09-01 Idc, Llc Ornamental display device
US7553684B2 (en) * 2004-09-27 2009-06-30 Idc, Llc Method of fabricating interferometric devices using lift-off processing techniques
US7668415B2 (en) * 2004-09-27 2010-02-23 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and device for providing electronic circuitry on a backplate
US7417735B2 (en) * 2004-09-27 2008-08-26 Idc, Llc Systems and methods for measuring color and contrast in specular reflective devices
US7532195B2 (en) 2004-09-27 2009-05-12 Idc, Llc Method and system for reducing power consumption in a display
US20060065622A1 (en) * 2004-09-27 2006-03-30 Floyd Philip D Method and system for xenon fluoride etching with enhanced efficiency
US7369296B2 (en) * 2004-09-27 2008-05-06 Idc, Llc Device and method for modifying actuation voltage thresholds of a deformable membrane in an interferometric modulator
US7130104B2 (en) * 2004-09-27 2006-10-31 Idc, Llc Methods and devices for inhibiting tilting of a mirror in an interferometric modulator
US7679627B2 (en) 2004-09-27 2010-03-16 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Controller and driver features for bi-stable display
US20060077126A1 (en) * 2004-09-27 2006-04-13 Manish Kothari Apparatus and method for arranging devices into an interconnected array
US7373026B2 (en) * 2004-09-27 2008-05-13 Idc, Llc MEMS device fabricated on a pre-patterned substrate
US7321456B2 (en) * 2004-09-27 2008-01-22 Idc, Llc Method and device for corner interferometric modulation
US7527995B2 (en) * 2004-09-27 2009-05-05 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method of making prestructure for MEMS systems
US7701631B2 (en) * 2004-09-27 2010-04-20 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Device having patterned spacers for backplates and method of making the same
US7161730B2 (en) 2004-09-27 2007-01-09 Idc, Llc System and method for providing thermal compensation for an interferometric modulator display
US20060065366A1 (en) * 2004-09-27 2006-03-30 Cummings William J Portable etch chamber
US7460246B2 (en) * 2004-09-27 2008-12-02 Idc, Llc Method and system for sensing light using interferometric elements
US20060066932A1 (en) * 2004-09-27 2006-03-30 Clarence Chui Method of selective etching using etch stop layer
US7920135B2 (en) * 2004-09-27 2011-04-05 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and system for driving a bi-stable display
US7813026B2 (en) * 2004-09-27 2010-10-12 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method of reducing color shift in a display
US7535466B2 (en) * 2004-09-27 2009-05-19 Idc, Llc System with server based control of client device display features
US20060176487A1 (en) * 2004-09-27 2006-08-10 William Cummings Process control monitors for interferometric modulators
US7420728B2 (en) * 2004-09-27 2008-09-02 Idc, Llc Methods of fabricating interferometric modulators by selectively removing a material
US8878825B2 (en) * 2004-09-27 2014-11-04 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method for providing a variable refresh rate of an interferometric modulator display
US7345805B2 (en) * 2004-09-27 2008-03-18 Idc, Llc Interferometric modulator array with integrated MEMS electrical switches
US7349136B2 (en) * 2004-09-27 2008-03-25 Idc, Llc Method and device for a display having transparent components integrated therein
US7653371B2 (en) 2004-09-27 2010-01-26 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Selectable capacitance circuit
US20060066596A1 (en) * 2004-09-27 2006-03-30 Sampsell Jeffrey B System and method of transmitting video data
US7719500B2 (en) * 2004-09-27 2010-05-18 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Reflective display pixels arranged in non-rectangular arrays
US7368803B2 (en) * 2004-09-27 2008-05-06 Idc, Llc System and method for protecting microelectromechanical systems array using back-plate with non-flat portion
US7405861B2 (en) * 2004-09-27 2008-07-29 Idc, Llc Method and device for protecting interferometric modulators from electrostatic discharge
US7944599B2 (en) 2004-09-27 2011-05-17 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Electromechanical device with optical function separated from mechanical and electrical function
US20060066594A1 (en) * 2004-09-27 2006-03-30 Karen Tyger Systems and methods for driving a bi-stable display element
US7453579B2 (en) 2004-09-27 2008-11-18 Idc, Llc Measurement of the dynamic characteristics of interferometric modulators
TW200628877A (en) * 2005-02-04 2006-08-16 Prime View Int Co Ltd Method of manufacturing optical interference type color display
US7920136B2 (en) * 2005-05-05 2011-04-05 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method of driving a MEMS display device
US7948457B2 (en) * 2005-05-05 2011-05-24 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Systems and methods of actuating MEMS display elements
EP1878001A1 (en) 2005-05-05 2008-01-16 QUALCOMM Incorporated, Inc. Dynamic driver ic and display panel configuration
US20060277486A1 (en) * 2005-06-02 2006-12-07 Skinner David N File or user interface element marking system
KR20080041663A (ko) * 2005-07-22 2008-05-13 콸콤 인코포레이티드 Ｍｅｍｓ 장치를 위한 지지 구조물 및 그 방법들
US7355779B2 (en) * 2005-09-02 2008-04-08 Idc, Llc Method and system for driving MEMS display elements
US7630114B2 (en) * 2005-10-28 2009-12-08 Idc, Llc Diffusion barrier layer for MEMS devices
US8391630B2 (en) * 2005-12-22 2013-03-05 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method for power reduction when decompressing video streams for interferometric modulator displays
US7795061B2 (en) * 2005-12-29 2010-09-14 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method of creating MEMS device cavities by a non-etching process
US7636151B2 (en) * 2006-01-06 2009-12-22 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method for providing residual stress test structures
US7916980B2 (en) 2006-01-13 2011-03-29 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Interconnect structure for MEMS device
US7382515B2 (en) * 2006-01-18 2008-06-03 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Silicon-rich silicon nitrides as etch stops in MEMS manufacture
US8194056B2 (en) * 2006-02-09 2012-06-05 Qualcomm Mems Technologies Inc. Method and system for writing data to MEMS display elements
US7582952B2 (en) * 2006-02-21 2009-09-01 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method for providing and removing discharging interconnect for chip-on-glass output leads and structures thereof
US7547568B2 (en) * 2006-02-22 2009-06-16 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Electrical conditioning of MEMS device and insulating layer thereof
US7550810B2 (en) * 2006-02-23 2009-06-23 Qualcomm Mems Technologies, Inc. MEMS device having a layer movable at asymmetric rates
US7450295B2 (en) * 2006-03-02 2008-11-11 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Methods for producing MEMS with protective coatings using multi-component sacrificial layers
US7643203B2 (en) 2006-04-10 2010-01-05 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Interferometric optical display system with broadband characteristics
US7903047B2 (en) * 2006-04-17 2011-03-08 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Mode indicator for interferometric modulator displays
US7527996B2 (en) * 2006-04-19 2009-05-05 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Non-planar surface structures and process for microelectromechanical systems
US7711239B2 (en) 2006-04-19 2010-05-04 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Microelectromechanical device and method utilizing nanoparticles
US7417784B2 (en) * 2006-04-19 2008-08-26 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Microelectromechanical device and method utilizing a porous surface
US20070249078A1 (en) * 2006-04-19 2007-10-25 Ming-Hau Tung Non-planar surface structures and process for microelectromechanical systems
US7623287B2 (en) * 2006-04-19 2009-11-24 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Non-planar surface structures and process for microelectromechanical systems
US8049713B2 (en) * 2006-04-24 2011-11-01 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Power consumption optimized display update
US7369292B2 (en) * 2006-05-03 2008-05-06 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Electrode and interconnect materials for MEMS devices
US7405863B2 (en) * 2006-06-01 2008-07-29 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Patterning of mechanical layer in MEMS to reduce stresses at supports
US7321457B2 (en) 2006-06-01 2008-01-22 Qualcomm Incorporated Process and structure for fabrication of MEMS device having isolated edge posts
US7649671B2 (en) * 2006-06-01 2010-01-19 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Analog interferometric modulator device with electrostatic actuation and release
US7471442B2 (en) * 2006-06-15 2008-12-30 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and apparatus for low range bit depth enhancements for MEMS display architectures
US7702192B2 (en) 2006-06-21 2010-04-20 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Systems and methods for driving MEMS display
US7835061B2 (en) * 2006-06-28 2010-11-16 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Support structures for free-standing electromechanical devices
US7385744B2 (en) * 2006-06-28 2008-06-10 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Support structure for free-standing MEMS device and methods for forming the same
US7777715B2 (en) 2006-06-29 2010-08-17 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Passive circuits for de-multiplexing display inputs
US7388704B2 (en) * 2006-06-30 2008-06-17 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Determination of interferometric modulator mirror curvature and airgap variation using digital photographs
US7527998B2 (en) * 2006-06-30 2009-05-05 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method of manufacturing MEMS devices providing air gap control
US7763546B2 (en) 2006-08-02 2010-07-27 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Methods for reducing surface charges during the manufacture of microelectromechanical systems devices
US7566664B2 (en) * 2006-08-02 2009-07-28 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Selective etching of MEMS using gaseous halides and reactive co-etchants
US20080043315A1 (en) * 2006-08-15 2008-02-21 Cummings William J High profile contacts for microelectromechanical systems
US7719752B2 (en) 2007-05-11 2010-05-18 Qualcomm Mems Technologies, Inc. MEMS structures, methods of fabricating MEMS components on separate substrates and assembly of same
BRPI0908464A2 (pt) * 2008-02-11 2015-12-15 Qualcomm Mems Technologies Inc equipamento e método de sensoreamento, medição e caracterização elétrica de elementos de imagem e dispositivos de exibição
US8736590B2 (en) * 2009-03-27 2014-05-27 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Low voltage driver scheme for interferometric modulators
JP2013524287A (ja) 2010-04-09 2013-06-17 クォルコム・メムズ・テクノロジーズ・インコーポレーテッド 電気機械デバイスの機械層及びその形成方法
US8963159B2 (en) 2011-04-04 2015-02-24 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Pixel via and methods of forming the same
US9134527B2 (en) 2011-04-04 2015-09-15 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Pixel via and methods of forming the same

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4663521A (en) * 1985-02-15 1987-05-05 Rca Corporation Infrared radiation controlled switch with a visible light detector
WO1986007494A1 (en) * 1985-06-14 1986-12-18 American Telephone & Telegraph Company Semiconductor device
JPH062348Y2 (ja) * 1988-02-15 1994-01-19 オムロン株式会社 反射型光電スイッチ
US4960988A (en) * 1989-03-06 1990-10-02 Murasa International Safety shut-off protection system
JPH02308575A (ja) * 1989-05-24 1990-12-21 Nissan Motor Co Ltd 光検出セル

Also Published As

Publication number Publication date
EP0522580A2 (en) 1993-01-13
US5179274A (en) 1993-01-12
KR930002866A (ko) 1993-02-23
EP0522580B1 (en) 1998-01-07
EP0522580A3 (en) 1993-05-19
DE69223865T2 (de) 1998-06-18
JPH05199484A (ja) 1993-08-06
DE69223865D1 (de) 1998-02-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100253107B1 (ko) 광학 시스템의 동작 제어 방법 및 그 제어 회로
US6084656A (en) Programmable mask for exposure apparatus
US5465053A (en) Electronic drive circuits for active matrix devices, and a method of self-testing and programming such circuits
EP0582850B1 (en) Digital micromirror
JP3898330B2 (ja) 読取装置
US7190418B2 (en) Semiconductor device
KR101587284B1 (ko) 전기 광학 장치 및 전자 기기
KR101023568B1 (ko) 포토 센서, 및 표시 패널
US5107139A (en) On-chip transient event detector
US7852310B2 (en) Reflection type liquid crystal display apparatus and substrate for reflection type liquid crystal display
CN101266529A (zh) 显示装置及电子设备
US6782479B1 (en) Apparatus and method for inhibiting analysis of a secure circuit
JP4094386B2 (ja) 電子回路装置
US20110222011A1 (en) Liquid crystal display device and electronic device
EP0961948A1 (en) Reflective liquid crystal display having integral light shielding
CN110441968B (zh) 一种液晶显示面板和显示装置
WO2002084391A1 (en) Liquid crystal display device having light isolation structure
CN112599060B (zh) Vt测试电路、系统、方法、显示面板及显示装置
WO2023248647A1 (ja) 液晶素子、照明装置、車両用灯具システム
KR100632935B1 (ko) 액정표시장치의 블랙 매트릭스 형성방법
JPH06291354A (ja) 画像読取装置
CN115236889B (zh) 感光电路及其控制方法、显示面板
KR0142959B1 (ko) 기준 전압 발생 회로
JPH09269502A (ja) 液晶デイスプレイモジュール
JPH05206507A (ja) 固体リレー

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20080103

Year of fee payment: 9

LAPS Lapse due to unpaid annual fee