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KR100259984B1 - 클린룸의공조용팬필터유니트구동상태체크시스템 - Google Patents

클린룸의공조용팬필터유니트구동상태체크시스템 Download PDF

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KR100259984B1
KR100259984B1 KR1019970066720A KR19970066720A KR100259984B1 KR 100259984 B1 KR100259984 B1 KR 100259984B1 KR 1019970066720 A KR1019970066720 A KR 1019970066720A KR 19970066720 A KR19970066720 A KR 19970066720A KR 100259984 B1 KR100259984 B1 KR 100259984B1
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KR
South Korea
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unit
fan filter
communication
clean room
filter unit
Prior art date
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KR1019970066720A
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KR19990048107A (ko
Inventor
안요한
최재흥
이건형
황정성
Original Assignee
윤종용
삼성전자주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
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Publication date
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Abstract

클린룸(Cleanroom) 내부에 공기의 순환을 위하여 설치되는 많은 수의 팬 필터 유니트(Fan Filter Unit)들의 개별적인 구동 상태를 현장 또는 네트워크 접속 상태에서 정확히 체크할 수 있고 각 팬 필터 유니트들의 비정상적인 구동 상태에 대한 경보를 수행하도록 개선시킨 클린룸의 공조용 팬 필트 유니트 구동 상태 체크 시스템에 관한 것으로써, 클린룸 내부의 공기 순환을 위하여 복수 개 설치되는 팬 필터 유니트의 개별 작동상태를 체크하기 위한 클린룸의 공조용 팬 필터 유니트 구동 상태 체크 시스템에 있어서, 상기 팬 필터 유니트의 공기 통로의 하우징에 설치되어 공기 흐름의 방향을 센싱하는 센싱수단, 상기 센싱수단에서 역기류가 감지되면 제어신호를 출력하는 컨트롤 수단 및 상기 제어신호가 출력되면 경보동작을 수행하는 경보수단을 구비하여 이루어지고, 여기에 네트워킹이 가능하도록 중계 시스템을 구성하고 네트워크를 통하여 모니터를 갖는 호스트 컴퓨터와 연결함으로써 현장 뿐만 아니라 네트워크 접속 상태에서도 클린룸 내부의 개별 팬 필터 유니트의 구동상태를 감시하고 이상에 대한 경보동작이 수행된다.

Description

클린룸의 공조용 팬 필터 유니트 구동 상태 체크 시스템{Apparatus for checking and monitoring of driving condition of fan fillter unit}
본 발명은 클린룸(Cleanroom)의 공조용 팬 필터 유니트(Fan Filter Unit) 구동 상태 체크 시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 클린룸 내부에 공기의 순환을 위하여 설치되는 많은 수의 팬 필터 유니트들의 개별적인 구동 상태를 현장 또는 네트워크 접속 상태에서 정확히 체크할 수 있고 각 팬 필터 유니트들의 비정상적인 구동 상태에 대한 경보를 수행하도록 개선시킨 클린룸의 공조용 팬 필터 유니트 구동 상태 체크 시스템에 관한 것이다.
일반적으로 반도체장치 제조를 위한 클린룸에는 공기순환에 의하여 내부 청정상태를 유지할 수 있도록 공조 시스템이 설치되어 있다.
클린룸의 공조 시스템은 대형 순환 팬을 이용하여 클린룸의 공기를 순환시키는 중앙집중방식과 여러 대의 소형 팬 필터 유니트를 이용한 개별방식으로 구분될 수 있으며, 이 중 개별방식은 대형 순환 팬을 이용한 중앙집중방식의 문제점을 보완하기 위한 것이고, 특히 개별방식은 대형 순환 팬을 이용한 중앙집중방식에 비하여 컴팩트한 설계, 저소음, 저진동, 에너지 절약, 기류 제어의 용이성 등의 장점을 갖고 있다.
따라서, 최근 반도체 공장에는 대형 순환 팬을 사용한 중앙집중방식 보다는 소평 팬 필터 유니트를 이용한 개별 방식의 공조 시스템이 클린룸에 많이 채용되고 있다. 그리고, 일반적인 반도체공장의 클린룸에 공조용으로 이용되는 팬에 대하여 미합중국 특허 5,069,113호 등에 개시된 바 있다.
전술한 개별방식의 공조 시스템을 클린룸에 설치함에 있어서, 도1과 같은 팬 필터 유니트(10)가 천정에 일정한 배치로 여러 대 설치된다. 팬 필터 유니트(10)는 필터와 공기 공급 팬이 하나의 유니트로 모듈화되어 클린룸 천정면에 설치되어 순환공기를 필터링하여 클린룸 내부로 공급해주는 장치이다.
종래의 도1과 같은 팬 필터 유니트(10)는 내부에 팬(12)이 구성되어 있고, 팬(12)이 구동됨에 의하여 공기가 천정 상부로부터 유입되어 하우징 (14)의 내부 통로를 따라 인슐레이터(16)를 거쳐서 펀칭 플레이트(Punching Plate) 쪽으로 강제 송풍되고, 강제송풍되는 공기는 필터(18)를 거쳐서 클린룸 내부로 공급된다.
전술한 팬 필터 유니트가 설치되는 공조 시스템은 클린룸 내부의 공기를 천정에서 바닥으로 송풍시키며, 바닥으로 송풍되는 공기는 소정 공기 순환을 위하여 설계된 덕트(Duct)를 통하여 천정으로 공급되어 순환된다. 전술한 공기의 순환에 의하여 클린룸 내부의 파티클은 공기의 흐름 방향에 따라서 바닥으로 가라않게 되어 공정이 이루어지는 높이에 파티클이 도달되는 것이 차단되며, 클린룸의 바닥에서 클린룸 외부와 내부간의 차압이 발생되어 외부의 파티클을 포함하는 공기의 내부 유입이 차단된다.
전술한 클린룸 내부의 각 팬 필터 유니트는 천정에 많은 수로 설치되므로, 개별적인 이상 체크에 어려움이 많았고, 이를 위하여 팬 필터 유니트의 자기 진단 기능이 착안되고 있다. 그러나 통상의 자기 진단 기능은 전류 또는 전압이 팬에 공급되는 상태를 감시하는 수준으로 시도되고 있으나, 이러한 방식의 자기 진단 기능은 팬 구동이 다운(DOWN)되는 상태에서도 구동 전류나 전압이 공급되기 때문에 정확하게 팬 필터 유니트의 이상을 직접적으로 감지하지 못하는 경우가 발생된다.
그러므로, 팬 필터 유니트를 이용하는 공조시스템에서 팬이 동작되지 않으면 해당 부분에서 역기류가 발생되어 청정상태를 유지해야 하는 공간으로 오염물이 유입되는 경우가 발생되고, 이러한 이상현상은 감지되지 않고 장시간 방치되는 경우가 많았다.
따라서, 종래의 팬 필터 유니트를 이용한 클린룸 내부의 개별 방식에 의한 공조 시스템은 일부 팬 필터 유니트의 이상으로 인하여 전체 클린룸 내부의 대기 환경에 심각한 영향을 미치는 결과가 발생되는 문제점이 있었다.
본 발명의 목적은, 공기를 강제 송풍하는 팬이 다운되면 발생되는 기류의 방향 변화를 기계적 접점을 갖는 센서로 감지하여 팬 필터 유니트의 이상 유무를 체크하기 위한 클린룸의 공조용 팬 필터 유니트 구동 상태 체크 시스템을 제공하는 데 있다.
본 발명의 다른 목적은, 공기를 강제 송풍하는 팬이 다운되면 발생되는 기류의 변화를 기계적으로 감지하여 팬 필터 유니트의 이상 유무를 네트워크 상에서 체크하기 위한 클린룸의 공조용 팬 필터 유니트 구동 상태 체크 시스템을 제공하는 데 있다.
도1은 종래의 클린룸에 설치되는 팬 필터 유니트를 나타내는 개략적 반단면도이다.
도2는 본 발명에 따른 클린룸의 공조용 팬 필터 유니트 구동 상태 체크 시스템의 바람직한 실시예를 나타내는 블록도이다.
도3은 본 발명의 일실시예에 따라 팬의 정상구동시 센서 및 그에 해당하는 신호를 나타내는 도면이다.
도4는 본 발명의 일실시예에 따라 팬의 다운시 센서 및 그에 해당하는 신호를 나타내는 도면이다.
도5는 본 발명에 따른 클린룸의 공조용 팬 필터 유니트 구동 상태 체크 시스템의 바람직한 실시예를 네트워크로 구성한 블록도이다.
도6은 도5에 도시된 MCU/RCU의 상세블럭도이다.
도7은 도2 및 도5에 도시된 LCU의 상세블럭도이다.
※도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
10, 20 : 팬 필터 유니트 12 : 팬
14, 26 : 하우징 16, 22 : 인슐레이터
18, 24 : 필터 28 : 센서
30 : 컨트롤러 32 : 스피커
34 : LED 36 : LCU
38 : MCU 40 : RCU
42 : 호스트컴퓨터 44 : 모니터
46, 68 : 통신부 48 : 송신부
50 : 수신부 52 : 제어부
54, 64 : 발진부 56, 66 : 어스레스 스위치
58 : 통신제어부 60 : 메모리
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 클린룸의 공조용 팬 필터 유니트 구동 상태 체크 시스템은, 클린룸 내부의 공기 순환을 위하여 복수 개 설치되는 팬 필터 유니트의 개별 작동상태를 체크하기 위한 클린룸의 공조용 팬 필터 유니트 구동 상태 체크 시스템에 있어서, 상기 팬 필터 유니트의 공기 통로의 하우징에 설치되어 공기 흐름의 방향을 센싱하는 센싱수단, 상기 센싱수단에서 역기류가 감지되면 제어신호를 출력하는 컨트롤 수단 및 상기 제어신호가 출력되면 경보동작을 수행하는 경보수단을 구비함을 특징으로 한다.
그리고, 상기 센싱수단은 팬 필터 유니트 내부의 정방향 기류가 상기 클린룸으로 배출되는 부분에 구성되는 필터의 상부의 하우징에 설치될 수 있다.
그리고, 상기 경보수단은 상기 역기류를 감지한 제어신호가 인가되면 발음동작하는 발음수단으로써 부저음을 능동적으로 발생시키는 스피커를 구비할 수 있고, 또는 발광상태를 달리하는 발광소자로써 서로 다른 색을 발광하는 제 1 발광다이오드(LED)와 제 2 발광다이오드(LED)로 이루어짐을 상기 제어신호의 상태에 따라서 서로 교차 점등되도록 구성될 수 있다.
그리고, 상기 컨트롤 수단에 네트워크를 통한 접속가능한 장치와 통신을 수행하는 로컬 컨트롤 유니트(Local control Unit)를 더 연결하여 상기 네트워크와 통신하도록 구성함이 바람직하며, 이때 로컬 컨트롤 유니트는, 소정 주파수의 펄스를 발진하여 제공하는 발진부, 네트워크 인식용 특정 어드레스가 설정된 어드레스 발생수단, 상기 네트워크에 접속되어 통신하는 통신부 및 상기 발진부로부터 동작에 필요한 펄스를 인가받고, 상기 컨트롤 수단에서 출력되는 제어신호를 판단하여 상기 팬 필터 유니트의 구동상태에 대한 정보를 상기 통신부를 통하여 상기 네트워크로 전송하며, 상기 네트워크로 전송되는 정보에 상기 어드레스를 혼합시키는 중앙처리부를 구비하여 이루어질 수 있다.
그리고, 본 발명에 따른 클린룸의 공조용 팬 필터 유니트 구동 상태 체크 시스템은, 클린룸 내부의 공기 순환을 위하여 복수개 설치되는 팬 필터 유니트의 개별 작동상태를 체크하기 위한 클린룸의 공조용 팬 필터 유니트 구동 상태 체크 시스템에 있어서, 상기 각 팬 필터 유니트의 공기 통로에 공기 흐름의 방향을 센싱하는 센서가 설치되고 상기 센서에서 역기류를 감지한 센싱신호가 발생되면 그에 대응되는 제어신호로 변환하여 출력하는 센싱수단, 상기 센싱수단에서 출력되는 제어신호의 상태를 판단하고 이에 대한 정보를 통신하는 로컬 컨트롤 유니트, 복수 개의 상기 로컬 컨트롤 유니트와 연결되어서 중계 통신을 수행하는 중계수단, 상기 중계수단을 통하여 상기 각 팬 필터 유니트의 상태에 대한 정보를 수집하고, 수집된 정보로써 클린룸 내부의 전체 팬 필터 유니트들의 상태를 판단하는 호스트 컴퓨터를 구비함을 다른 특징으로 한다.
그리고, 상기 중계 수단은, 소정 단위 수량의 상기 팬 필터 유니트별 각 로컬 컨트롤 유니트들과 통신가능하게 연결되는 멀티 컨트롤 유니트, 소정 단위 수량의 상기 멀티 컨트롤 유니트들과 통신가능하게 연결되는 릴레이 컨트롤 유니트를 구비함으로써 상기 로컬 컨트롤 유니트와 상기 호스트 컴퓨터 간의 통신을 위한 네트워크를 형성하도록 구성할 수 있다.
그리고, 상기 멀티 컨트롤 유니트는, 상기 로컬 컨트롤 유니트로부터 송신되는 신호를 수신하는 제 1 수신부, 상기 제 1 수신부의 동작을 제어하고 상기 로컬 컨트롤 유니트로부터 송신되는 정보를 출력하는 제 1 통신 제어 수단, 상기 제 1 통신 제어 수단에서 출력되는 정보를 저장하는 제 1 메모리 수단, 소정 주파수의 펄스를 발진하여 제공하는 제 1 발진부, 상기 외부 네트워크와의 연결에서 인식용 제 1 어드레스를 발생하는 제 1 어드레스 발생수단, 상기 제 1 발진부로부터 동작에 필요한 펄스를 인가받고, 상기 제 1 메모리 수단에 저장된 정보를 상기 릴레이 통신 유니트로 전송하기 위하여 출력하며, 상기 릴레이 통신 유니트로 전송되는 정보에 제 1 어드레스를 포함하여 전송하는 제 1 제어 수단 및 상기 제 1 제어 수단과 상기 릴레이 통신 유니트 간의 통신을 위한 인터페이스를 수행하는 제 1 통신 수단을 구비하여 구성될 수 있다.
그리고, 상기 제 1 통신 제어수단에 연결되어 상기 로컬 컨트롤 유니트로 소정 신호를 송신하는 제 1 송신부를 더 구성함으로써 상기 로컬 컨트롤 유니트에 송신되어 상기 제 1 수신부를 통하여 수신되는 신호의 상태로 상기 제 1 통신 제어 수단에서 네트워크 접속상태를 판단하도록 구성될 수 있으며, 상기 제 1 통신 제어 수단은 상기 네트워크 접속상태를 판단한 정보를 상기 호스트컴퓨터로 전송하도록 상기 제 1 메모리 수단에 저장하도록 구성될 수 있다.
그리고, 상기 릴레이 통신 유니트는, 상기 멀티 컨트롤 유니트로부터 송신되는 신호를 수신하는 제 2 수신부, 상기 제 2 수신부의 동작을 제어하고 상기 멀티 컨트롤 유니트로부터 송신되는 정보를 출력하는 제 2 통신 제어 수단, 상기 제 2 통신 제어 수단에서 출력되는 정보를 저장하는 제 2 메모리 수단, 소정 주파수의 펄스를 발진하여 제공하는 제 2 발진부, 상기 외부 네트워크와 연결에서 인식용 제 2 어드레스를 발생하는 제 2 어드레스 발생수단, 상기 제 2 발진부로부터 동작에 필요한 펄스를 인가받고, 상기 제 2 메모리 수단에 저장된 정보를 상기 호스트 컴퓨터로 전송하기 위하여 출력하며, 상기 호스트 컴퓨터로 전송되는 정보에 제 2 어드레스를 포함하여 전송하는 제 2 제어 수단 및 상기 제 2 제어 수단과 상기 호스트 컴퓨터 간의 통신을 위한 인터페이스를 수행하는 제 2 통신 수단을 구비하여 이루어질 수 있다.
그리고, 상기 제 2 통신 제어수단에 연결되어 상기 멀티 컨트롤 유니트로 소정 신호를 송신하는 제 2 송신부를 더 구성함으로써 상기 멀티 컨트롤 유니트에 송신되어 상기 제 2 수신부를 통하여 수신되는 신호의 상태로 상기 제 2 통신 제어 수단에서 네트워크 접속상태를 판단하도록 구성될 수 있으며, 상기 제 2 통신 제어 수단은 상기 네트워크 접속상태를 판단한 정보를 상기 호스트컴퓨터로 전송하도록 상기 제 2 메모리 수단에 저장하도록 구성될 수 있다.
이하, 본 발명의 구체적인 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도2를 참조하면, 본 발명에 따른 제 1 실시예에는 공지의 팬 필터 유니트(20) 내부 하우징에서 공기가 강제 송풍되는 통로 중 인슐레이터(22)와 필터(24) 사이의 하우징(26)에 센서(28)가 설치되어 있다. 센서(28)는 기계적인 컨택(Contact)이 기류의 방향에 따라서 쇼트(Short) 또는 오픈(Open) 즉 전기적으로 온/오프가 이루어지는 구조를 가지며, 온/오프 상태에 따라서 센서(28)는 전기적으로 하이/로우 레벨의 전압을 출력으로 갖는다.
실시예에서는 팬 필터 유니트(20) 내부의 센서(28)는 센싱신호를 컨트롤러(30)에 입력하도록 구성되어 있으며, 컨트롤러(30)에는 스피커(32)와 발광다이오드(LED)(34) 및 로컬 컨트롤 유니트(Local Control Unit: 이하 'LCU'라 함)(36)가 연결되어 있고, 컨트롤러(30)는 하이 레벨 또는 로우 레벨로 입력되는 센싱신호에 따른 제어신호를 스피커(32)와 발광다이오드 (34)로 인가하도록 구성되어 있다.
발광다이오드(34)는 단일 소자로 구성될 수 있으며, 필요에 따라서 서로 다른 색상으로 발광되는 두 개의 소자가 컨트롤러(30)로부터 출력되는 제어신호의 상태에 따라서 서로 교차 점등되도록 구성될 수 있다.
그리고, LCU(36)는 컨트롤러(30)로부터 인가되는 제어신호의 상태에 대한 정보를 외부 네트워크로 전송한다.
전술한 바와 같이 구성됨으로써 센서(28)는 하우징(26) 내부에 형성된 통로를 통하여 공기가 출입되는 방향을 센싱한다.
즉, 도3에서 보여지듯이 팬 필터 유니트(20)의 팬이 정상적으로 구동될 때, 공기가 강제 송풍되어 인슐레이터(22) 부분을 거쳐서 필터(24)를 통하여 클린룸 내부로 공급된다. 공기가 전술한 방향으로 정방향기류를 형성하며 공급될 때 센서(28)의 알루미늄재질로 된 입력부(28a)와 구리로 된 출력부 (28b) 사이의 기계적인 접점은 쇼트(short)되어 전기적으로 턴온되므로 하이 레벨("+1")의 전압이 센싱신호로서 컨트롤러(30)에 인가된다.
도4를 참조하면, 이와 반대로 팬 필터 유니트(20)의 팬이 구동되지 않으면, 팬 필터 유니트(20) 사이로 클린룸 내부와 외부에는 차압(差壓)이 발생되고, 클린룸 내부가 상압(上壓) 그리고 클린룸 외부가 하압(下壓) 상태로써 역기류가 형성되어 공기는 클린룸 내부에서 외부로 흐른다. 이때 센서(28)의 알루미늄재질로 된 입력부(28a)와 구리로 된 출력부(28b) 사이의 기계적인 접점은 오픈(Open)되어 전기적으로 턴오프되어 로우 레벨("0")의 전압이 센싱신호로 컨트롤러(30)에 인가된다.
컨트롤러(30)는 팬 필터 유니트(20)의 팬 구동에 의하여 형성되는 공기의 기류에 따른 센싱신호의 상태를 판별하고 그에 따른 제어신호를 스피커 (32)와 LED(34)로 각각 출력한다.
그러면, 정상적인 상태에서 스피커(32)는 소음 상태를 유지하고, LED(34)는 소광상태를 유지한다. 그러나, 비정상적으로 팬 필터 유니트(20)에서 역기류가 발생되면 컨트롤러(30)로부터 인가되는 제어신호에 의하여 스피커(32)는 발음하고 LED(34)는 발광한다.
한편, 컨트롤러(30)는 전술한 제어신호를 LCU(36)로 입력하고, LCU(36)는 네트워크를 구성하기 위하여 연결가능한 중계기인 멀티 컨트롤 유니트(Multi-control Unit: 이하 'MCU'라 함)와 같은 접속 장치를 통하여 현재 팬 필터 유니트(20)의 구동상태에 대한 정보를 전송한다. 이를 이용함으로써 네트워크에 접속된 상태에서 원거리에서 팬 필터 유니트(20)의 구동상태가 체크될 수 있다. 그리고, 집단으로 클린룸 천정에 설치되는 모든 팬 필터 유니트에 대하여 도2와 같이 센서를 설치하고 네트워크 접속을 위한 LCU(36)를 적용시킴으로써 클림룸에 구성되는 모든 팬 필터 유니트의 상태가 종합적으로 체크될 수 있다.
이를 위한 네트워크는 도5와 같이 구성될 수 있다.
도5를 참조하면, 팬 필터 유니트(20)에 설치되는 각 LCU(36)는 네트워크에 접속되고 네트워크를 통하여 모든 LCU(36)와 인터페이스되는 각 팬 필터 유니트는 동일 네트워크 상에 연결된 호스트 컴퓨터(42)와 접속됨으로써, 클린룸 천정에 설치된 전체 팬 필터 유니트(20)의 구동 상태가 호스트컴퓨터(42)로 모니터링하여 체크할 수 있도록 구성되어 있다.
구체적으로, 도5에는 클린룸의 천정에 일정하게 배치된 소정 단위 개수의 팬 필터 유니트(20)의 컨트롤러(30)에 인터페이스되는 각 LCU(36)가 하나의 MCU(38)에 접속되고, 다시 소정 단위 개수의 MCU(38)가 릴레이 통신 유니트(Relay Communication Unit: 이하 'RCU'라 함)(40)에 접속되며, 또다시 소정 단위 개수의 RCU(40)가 호스트컴퓨터(42)에 접속된다.
호스트컴퓨터(42)에는 모니터(44)가 연결되어서 호스트컴퓨터(42)에서 네트워크를 통하여 수집된 각 LCU(36)가 설치된 팬 필터 유니트(20)의 팬 구동 상태를 모니터링 가능하게 디스플레이하도록 구성되어 있다.
여기에서 RCU(40)와 MCU(38)의 구성은 실시예로써 도6과 같이 동일한 구성을 갖는다.
도6의 구성을 MCU(38)로 가정하고 이에 대한 구성을 설명한다. MCU(38)에는 RCU(40)에 통신선을 통하여 접속되는 통신부(46)와 LCU(36)에 통신선을 통하여 접속되는 송신부(48) 및 수신부(50)가 구성되어 있다.
통신부(46)에는 제어부(52)가 연결되어 있으며, 제어부(52)에는 작동을 위한 소정 주파수의 기본적인 펄스를 발진하여 제공하는 발진부(54)가 연결되어 있고, 다른 MCU(38)와 구분되는 특정 어드레스를 설정한 어드레스 스위치 (56)가 제어부(52)에 연결되어 있다. 제어부(52)와 통신제어부(58)는 메모리 (60)를 통하여 상호 데이터를 교환하도록 구성되어 있으며, 통신제어부(58)는 전송신호(TX)를 송신부(48)로 출력하고 수신신호(RX)가 수신부(50)로부터 입력되도록 구성되어 있다.
그리고, LCU(36)는 도7과 같은 구성을 가지면서 접속된 MCU(38)와 통신을 수행한다.
즉, 팬 필터 유니트(20)에 연결된 컨트롤러(30)와 인터페이스되어 제어신호 (S1)가 입력되는 중앙처리부(62)에 소정 주파수로 발진된 펄스를 제공하는 발진부(64)와 다른 LCU와 구분되는 특정 어드레스를 설정한 어드레스 스위치(66)가 연결되어 있다. 그리고, 통신부(68)가 중앙처리부(62)에 연결되어서 MCU(38)와 통신선을 통하여 통신하도록 되어 있다.
전술한 바와 같이 구성된 본 발명에 따른 실시예의 동작을 설명한다.
먼저, LCU(36)의 중앙처리부(62)는 발진부(64)에서 소정 주파수로 발진되어 제공되는 펄스에 의하여 작동되며, 컨트롤러(30)로부터 제어신호(S1)가 중앙처리부(62)에 인가되면, 중앙처리부(62)는 어드레스 스위치(66)에 설정된 다른 LCU와 구분하기 위한 특정 어드레스 코드를 제어신호와 혼합하여 통신부(68)로 입력하고, 통신부(68)는 중앙처리부(62)에서 인가되는 신호를 MCU(38)에서 수신가능한 신호형태로 변형시켜서 MCU(38)로 전송한다.
즉, 각 팬 필터 유니트(20)의 구동 상태에 대한 정보가 LCU(36)로부터 해당 MCU(38)로 전송되며, MCU(38)는 전송신호를 수신하여 RCU(40)로 전송하는 중계 역할을 수행한다.
구체적으로 MCU(38)의 수신부(50)는 LCU(36)로부터 전송된 신호가 수신되면 통신제어부(58)에서 인식할 수 있는 신호로 변환시킨 수신신호(RX)를 통신제어부(58)에 입력한다.
통신제어부(58)는 입력되는 신호를 해독하여 메모리(60)에 저장한다. 그리고, 통신제어부(58)는 LCU(38)에 점검신호를 송신부(48)를 통하여 전송한 후 LCU(38)에서 그에 대한 리턴신호가 입력되는 상태로써 LCU(38)와의 네트워크 접속 상태를 체크한다. 그리고 체크된 접속 상태에 대한 정보는 메모리 (60)에 기입(Write)된다.
통신제어부(58)에 의하여 메모리(60)에 저장된 정보는 제어부(52)로 리드 (READ)된다. 제어부(52)는 발진부(54)에서 제공되는 소정 주파수의 펄스로 구동되며 리드된 정보에 다른 MCU와 구분되는 특정 코드를 조합하여 통신부(46)로 입력하고, 통신부(46)는 제어부(52)로부터 입력되는 신호를 RCU(40)로 전송한다.
각 RCU(40)에는 소정 단위 수량으로 연결된 각 MCU(38)로부터 하부에 연결된 각 LCU에 대한 정보가 전송된다. 그러면, RCU(40)는 이차적인 중계역할을 수행하여 각 정보들을 호스트컴퓨터(42)로 전송하여 입력한다.
RCU(40)에서 이루어지는 신호의 수신, 변환 및 송신과 네트워크 접속 상태 체크는 전술한 MCU(38)의 경우와 동일하게 이루어지며, RCU(40)는 다른 RCU와 구분되는 특정 어드레스를 각 LCU(36)와 연결된 해당 팬 필터 유니트(20)의 동작 상태에 대한 정보에 혼합하여 호스트 컴퓨터(42)로 전송한다.
호스트컴퓨터(42)는 복수로 연결되는 각 RCU(40)로부터 입력되는 정보를 전송받아서 저장하고, 전송된 정보에 포함된 RCU(40)의 어드레스, MCU(38)의 어드레스 및 LCU(36)의 어드레스를 판독하여 각 신호가 어느 팬 필터 유니트에 대한 것인가 확인한다. 그리고, 전송된 정보에 포함된 각 네트워크 접속 상태에 대한 정보를 판단하여 네트워크 자기 진단 기능을 수행한다.
전술한 바와 같이 확인된 각 팬 필터 유니트의 상태는 호스트 컴퓨터 (42)에서 종합되고, 각 팬 필터 유니트(20)의 상태는 모니터링을 위한 디스플레이신호로 변환되어 모니터(44)로 인가되며, 모니터(44)에는 클린룸 내부에 설치된 모든 팬 필터 유니트들에 대한 상태가 디스플레이된다.
따라서, 각 팬 필터 유니트 별로 구동 이상에 대한 경보(발음, 발광)가 클린룸 내 현장에서 이루어지며, 클린룸 내의 전체 팬 필터 유니트의 상태가 네트워크로 접속된 원거리에 위치한 호스트컴퓨터에서 체크될 수 있으며, 그러므로 팬 필터 유니트 별 이상에 대한 즉각적인 조치가 가능하며, 이로써 팬 필트 유니트의 구동 중지로 발생가능한 클린룸 오염의 방지가 신속하고 즉각적으로 이루어질 수 있다.
따라서, 본 발명에 의하면 클린룸의 내부 공기 순환을 위하여 설치되는 많은 수의 팬 필터 유니트의 개별적인 감시가 가능하여 이상을 실시간으로 감시할 수 있고, 그에 따라서 클린룸 내부의 오염을 방지함으로써 항상 최적의 상태로 공정 환경이 유지되어 수율을 극대화시킬 수 있는 효과가 있다.
이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.

Claims (10)

  1. 클린룸 내부의 공기 순환을 위하여 복수 개 설치되는 팬 필터 유니트의 개별 작동상태를 체크하기 위한 클린룸의 공조용 팬 필터 유니트 구동 상태 체크 시스템에 있어서,
    상기 팬 필터 유니트의 공기 통로의 필터상부에 설치되어 클린룸으로의 정방향 또는 역방향의 공기 흐름의 방향을 센싱하는 센싱수단;
    상기 센싱수단에서 역기류가 감지되면 경보신호와 상기 센싱수단의 감지상태에 대한 제어신호를 출력하는 컨트롤 수단;
    상기 컨트롤 수단에 연결되어서 상기 센싱수단의 감지상태에 따라 네트워크를 통한 장치와 통신을 수행하는 로컬 컨트롤 유니트; 및
    상기 컨트롤 수단의 제어로 경보동작을 수행하는 경보수단;
    을 구비함을 특징으로 하는 클린룸의 공조용 팬 필터 유니트 구동 상태 체크 시스템.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 로컬 컨트롤 유니트는,
    소정 주파수의 펄스를 발진하여 제공하는 발진부;
    네트워크 인식용 특정 어드레스가 설정된 어드레스 발생수단;
    상기 네트워크에 접속되어 통신하는 통신부; 및
    상기 발진부로부터 동작에 필요한 펄스를 인가받고, 상기 컨트롤 수단에서 출력되는 제어신호를 판단하여 상기 팬 필터 유니트의 구동상태에 대한 정보를 상기 통신부를 통하여 상기 네트워크로 전송하며, 상기 네트워크로 전송되는 정보에 상기 어드레스를 혼합시키는 중앙처리부;
    로 이루어지는 것을 특징으로 하는 상기 클린룸의 공조용 팬 필터 유니트 구동 상태 체크 시스템.
  3. 클린룸 내부의 공기 순환을 위하여 복수 개 설치되는 팬 필터 유니트의 개별 작동상태를 체크하기 위한 클린룸의 공조용 팬 필터 유니트 구동 상태 체크 시스템에 있어서,
    상기 각 팬 필터 유니트의 공기 통로에 공기 흐름의 방향을 센싱하는 센서가 설치되고 상기 센서에서 역기류를 감지한 센싱신호가 발생되면 그에 대응되는 제어신호로 변환하여 출력하는 다수 개의 센싱수단;
    상기 각 센싱수단에서 출력되는 제어신호에 의해 공기흐름의 방향을 판단하고 이에 대한 정보를 전송하는 다수 개의 로컬 컨트롤 유니트;
    상기 다수 개의 로컬 컨트롤 유니트와 연결되어서 중계 통신을 수행하는 중계수단;
    상기 중계수단을 통하여 상기 각 팬 필터 유니트에서 공기흐름의 방향에 대한 정보를 수집하고, 수집된 정보를 분석하여 각 팬 필터 유니트들의 상태를 판단하는 호스트 컴퓨터;
    를 구비함을 특징으로 하는 상기 클린룸의 공조용 팬 필터 유니트 구동 상태 체크 시스템.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 중계 수단은;
    소정 단위 수량의 상기 팬 필터 유니트별 각 로컬 컨트롤 유니트들과 통신가능하게 연결되는 멀티 컨트롤 유니트;
    소정 단위 수량의 상기 멀티 컨트롤 유니트들과 통신가능하게 연결되는 릴레이 컨트롤 유니트;를 구비함으로써
    상기 로컬 컨트롤 유니트와 상기 호스트 컴퓨터 간의 통신을 위한 네트워크를 형성함을 특징으로 하는 상기 클린룸의 공조용 팬 필터 유니트 구동 상태 체크 시스템.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 멀티 컨트롤 유니트는;
    상기 로컬 컨트롤 유니트로부터 송신되는 신호를 수신하는 제 1 수신부;
    상기 제 1 수신부의 동작을 제어하고 상기 로컬 컨트롤 유니트로부터 송신되는 정보를 출력하는 제 1 통신 제어 수단;
    상기 제 1 통신 제어 수단에서 출력되는 정보를 저장하는 제 1 메모리 수단;
    소정 주파수의 펄스를 발진하여 제공하는 제 1 발진부;
    상기 외부 네트워크와 연결에서 인식용 제 1 어드레스를 발생하는 제 1 어드레스 발생수단;
    상기 제 1 발진부로부터 동작에 필요한 펄스를 인가받고, 상기 제 1 메모리 수단에 저장된 정보를 상기 릴레이 통신 유니트로 전송하기 위하여 출력하며, 상기 릴레이 통신 유니트로 전송되는 정보에 제 1 어드레스를 포함하여 전송하는 제 1 제어 수단; 및
    상기 제 1 제어 수단과 상기 릴레이 통신 유니트 간의 통신을 위한 인터페이스를 수행하는 제 1 통신 수단;
    을 구비함을 특징으로 하는 상기 클린룸의 공조용 팬 필터 유니트 구동 상태 체크 시스템.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 제 1 통신 제어 수단에 연결되어 상기 멀티 컨트롤 유니트로 소정 신호를 송신함으로써 상기 제 1 수신부를 통하여 수신되는 신호의 상태로 상기 제 1 통신 제어 수단에서 네트워크 접속상태를 판단하도록 하는 제 1 송신부가 더 구성됨을 특징으로 하는 상기 클린룸의 공조용 팬 필터 유니트 구동 상태 체크 시스템.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 제 1 통신 제어 수단은 상기 네트워크 접속상태를 판단한 정보를 상기 호스트컴퓨터로 전송하도록 상기 제 1 메모리 수단에 저장하는 것을 특징으로 하는 상기 클린룸의 공조용 팬 필터 유니트 구동 상태 체크 시스템.
  8. 제 4 항에 있어서,
    상기 릴레이 통신 유니트는:
    상기 멀티 컨트롤 유니트로부터 송신되는 신호를 수신하는 제 2 수신부;
    상기 제 2 수신부의 동작을 제어하고 상기 멀티 컨트롤 유니트로부터 송신되는 정보를 출력하는 제 2 통신 제어 수단;
    상기 제 2 통신 제어 수단에서 출력되는 정보를 저장하는 제 2 메모리 수단;
    소정 주파수의 펄스를 발진하여 제공하는 제 2 발진부;
    상기 외부 네트워크와 연결에서 인식용 제 2 어드레스를 발생하는 제 2 어드레스 발생수단;
    상기 제 2 발진부로부터 동작에 필요한 펄스를 인가받고, 상기 제 2 메모리 수단에 저장된 정보를 상기 호스트 컴퓨터로 전송하기 위하여 출력하며, 상기 호스트 컴퓨터로 전송되는 정보에 제 2 어드레스를 포함하여 전송하는 제 2 제어 수단; 및
    상기 제 2 제어 수단과 상기 호스트 컴퓨터 간의 통신을 위한 인터페이스를 수행하는 제 2 통신 수단;
    을 구비함을 특징으로 하는 상기 클린룸의 공조용 팬 필터 유니트 구동 상태 체크 시스템.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 제 2 통신 제어 수단에 연결되어 상기 멀티 컨트롤 유니트로 소정 신호를 송신함으로써 상기 제 2 수신부를 통하여 수신되는 신호의 상태로 상기 제 2 통신 제어 수단에서 네트워크 접속상태를 판단하도록 하는 제 2 송신부가 더 구성됨을 특징으로 하는 상기 클린룸의 공조용 팬 필터 유니트 구동 상태 체크 시스템.
  10. 제 8 항에 있어서,
    상기 제 2 통신 제어 수단은 상기 네트워크 접속상태를 판단한 정보를 상기 호스트컴퓨터로 전송하도록 상기 제 2 메모리 수단에 저장하는 것을 특징으로 하는 상기 클린룸의 공조용 팬 필터 유니트 구동 상태 체크 시스템.
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