KR100194201B1 - Test circuit of semiconductor memory device - Google Patents
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Abstract
본 발명은 반도체 메모리 장치의 테스트 회로를 공개한다. 그 회로는 제어신호에 응답하여 다양한 데이타 입력 패턴을 라이트할 수 있고, 데이타 입/출력 드라이버들의 전단에 데이타 입력신호가 미리 대기하고 있으므로 입/출력 드라이버를 제어하는 클럭신호와의 마아진 문제가 발생되지 않으므로 라이트 타임의 손실이 없다. 그래서, 데이타 입/출력 패드를 통하여 입력되는 데이타에 의해 라이트의 인에이블/디스에이블이 결정되는 블럭 라이트 어드레스 마스킹 및 입/출력 마스킹 기능 구현시에 입/출력 드라이버 인에이블 클럭신호가 인에이블되기 전에 유효한 입력 데이타가 들어와서 클럭신호를 디스에이블시킬 수 있는 타이밍 마아진이 향상된다.The present invention discloses a test circuit of a semiconductor memory device. The circuit can write various data input patterns in response to the control signal, and since the data input signal is waiting in front of the data input / output drivers in advance, there is no marginal problem with the clock signal controlling the input / output drivers. There is no loss of light time. Therefore, before the input / output driver enable clock signal is enabled when implementing the block write address masking and input / output masking functions in which write enable / disable is determined by data input through the data input / output pad. Timing margin is improved to allow valid input data to disable the clock signal.
Description
본 발명은 반도체 메모리 장치에 관한 것으로, 특히 반도체 메모리 장치의 멀티 칩 테스트시에 입/출력 핀들중 소정수의 대표되는 입/출력 핀으로의 테스트 데이타 입력시에 다양한 입력 데이타 패턴을 발생할 수 있는 반도체 메모리 장치의 테스트 회로에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor memory device, and more particularly to a semiconductor capable of generating various input data patterns when inputting test data to a predetermined number of representative input / output pins of input / output pins during multi-chip testing of the semiconductor memory device. A test circuit of a memory device.
현재 응용 메모리(ASM; application specific memory)의 추세는 고대역폭을 갖는 메모리를 요구하고 있다. 이를 위한 방법중의 하나로써 종래에는 메모리 장치와 응용 집적회로(ASIC; application specific integrated circuit)를 분리된 독립된 소자로 보드(board)에 실장하던 방식에서 메모리 장치와 ASIC칩을 단일 칩으로 하는 내장된 메모리 로직(EML; embedded memory logic)이 본격적으로 개발되려는 단계에 있다. 메모리 장치와 ASIC칩을 합할 경우에 생기는 장점으로는 메모리 장치와 로직간의 데이타 입출력 핀 수를 늘림으로써 메모리 장치의 데이타 입출력 대역폭을 크게 늘릴 수 있다는 것이다.The current trend of application specific memory (ASM) requires a memory having a high bandwidth. As one of the methods for this purpose, the memory device and the application specific integrated circuit (ASIC) have been integrated into a single chip in which the memory device and the ASIC chip are integrated into a board as a separate device. Embedded memory logic (EML) is in the stage of full-fledged development. The advantage of combining the memory device and the ASIC chip is that the data input / output bandwidth of the memory device can be greatly increased by increasing the number of data input / output pins between the memory device and the logic.
그런데, 메모리 장치의 입출력 핀 수가 늘어나게 되면 메모리 장치에 대한 테스트 수행시에 테스트 장비가 제공할 수 있는 입/출력 채널 한계를 초과함으로 인해 테스트 자체가 불가능하거나, 멀티 칩 테스트가 어려워 테스트 비용의 상승 문제를 가져온다.However, if the number of input / output pins of the memory device is increased, the test itself is impossible due to exceeding the input / output channel limit that the test equipment can provide when the memory device is tested, or the test cost is increased due to the difficulty of multi-chip test. Bring it.
이와같은 문제점을 해결하기 위하여 다수개의 입출력 핀을 합함으로써 실제 테스트시에 입출력 핀 수를 줄이는 방법이 고려되었다.In order to solve such a problem, a method of reducing the number of input / output pins in actual test was considered by adding a plurality of input / output pins.
예를 들면, 1*32 입출력 핀을 갖는 소자에 있어서 4개의 입출력 핀씩를 합할 경우 테스트시에는 1*8 입출력 핀을 갖는 소자처럼 테스트가 가능함으로써 테스트 장비의 입/출력 채널의 한계를 극복할 수 있고 또한, 멀티 칩 테스트도 가능하게 된다는 것이다.For example, in a device with 1 * 32 input / output pins, if four input / output pins are added together, the test can be performed like a device with 1 * 8 input / output pins, thereby overcoming the limitation of the input / output channel of the test equipment. In addition, multi-chip testing is possible.
도1은 종래의 반도체 메모리 장치의 테스트 회로의 블럭도로서, 32개의 데이타 입/출력 핀을 가진 칩(100)의 데이타 입/출력 핀을 4개씩 묶어서 테스트하는 경우의 테스트 회로를 나타내는 것으로 핀(10), 패드(12), 데이타 입력 버퍼(14), 데이타 출력 버퍼(16), 데이타 입출력 드라이버(18), 비교기(20), 및 메모리 셀 어레이(22)로 구성되어 있다. 멀티 칩 테스트시에 32개의 입/출력 핀들 각각을 테스트 장비에 연결하는 것은 불가능하므로 입/출력 핀을 4개씩 묶어서 테스트 장비에 연결하게 된다. 0번부터 3번핀까지의 연결은 4번부터 7번핀까지의 연결 내지 28번부터 31번핀까지의 연결과 동일하다. 그래서, 0번부터 3번핀까지의 연결 및 테스트시의 데이타 라이트 동작을 설명하면 다음과 같다. 0 또는 1의 입력 데이타는 0번 핀을 통하여 입력된다. 데이타 입력 버퍼(DIB0)는 패드(12)로 부터의 데이타를 버퍼하여 출력한다. 데이타 입력 버퍼(DIB0)에 의해서 버퍼된 데이타는 다른 데이타 입력 버퍼들(DIB1, DIB2, DIB3)에 각각 입력되고 버퍼된다. 데이타 입/출력 드라이버들(DIOD0 -DIOD3)는 각각의 데이타 입력 버퍼들(DIB0 -DIB3)로 부터의 버퍼된 데이타를 입력하여 메모리 셀 어레이(22)의 해당 메모리 셀들로 데이타를 라이트하게 된다. 이 라이트된 데이타는 다음의 리드 명령에 따라 해당 메모리 셀들로 부터 리드되어 데이타 입/출력 드라이버들(DIOD0 -DIOD3)로 각각 출력된다. 데이타 입/출력 드라이버들(DIOD0 -DIOD3)의 각각의 출력 데이타는 데이타 출력버퍼들(DOB0 -DOB3)로 각각 출력되고 버퍼된다. 비교기(20)는 데이타 출력버퍼들(DOB0 -DOB3)의 출력 데이타를 모두 입력하여 비교하여 이들 데이타가 모두 동일한지 아닌지를 비교하여 그 결과 데이타를 패드(12)를 통하여 0번핀(10)으로 출력하게 된다. 그래서, 검사자는 이 결과 데이타를 감시하여 칩이 불량인지 정상인지를 판단하게 된다.FIG. 1 is a block diagram of a test circuit of a conventional semiconductor memory device, and illustrates a test circuit in a case of testing a group of four data input / output pins of a chip 100 having 32 data input / output pins. 10), a pad 12, a data input buffer 14, a data output buffer 16, a data input / output driver 18, a comparator 20, and a memory cell array 22. In the multi-chip test, it is impossible to connect each of the 32 input / output pins to the test equipment, so the input / output pins are tied to the test equipment. Connections from pins 0 to 3 are the same as connections from pins 4 to 7 to pins 28 to 31. Therefore, the data write operation during connection and test from pins 0 to 3 is described as follows. Input data of 0 or 1 is input through pin 0. The data input buffer DIB0 buffers and outputs data from the pad 12. The data buffered by the data input buffer DIB0 is input and buffered into the other data input buffers DIB1, DIB2, DIB3, respectively. The data input / output drivers DIOD0 to DIOD3 input buffered data from each of the data input buffers DIB0 to DIB3 to write data to corresponding memory cells of the memory cell array 22. The written data is read from the corresponding memory cells according to the following read command and output to the data input / output drivers DIOD0 to DIOD3, respectively. Each output data of the data input / output drivers DIOD0 to DIOD3 is output and buffered to the data output buffers DOB0 to DOB3, respectively. The comparator 20 inputs and compares all the output data of the data output buffers DOB0 to DOB3 and compares whether these data are all the same or not, and outputs the result data to the pin 0 through the pad 12. Done. Thus, the inspector monitors the result data to determine whether the chip is defective or normal.
그런데, 종래의 반도체 메모리 장치의 테스트 회로는 멀티 칩 테스트시에 복수개의 입/출력 핀들을 소정수의 그룹으로 분류하고 각 그룹의 입/출력 핀들중의 하나의 입 출력 핀을 통하여 동일 데이타를 입력하게 됨으로써 이들 그룹들의 해당 메모리 셀들에는 모두 동일한 데이타를 라이트되게 된다. 따라서, 인접하는 메모리 셀에 서로 다른 데이타를 라이트할 수 없다는 문제점이 있었다. 그래서, 모두 0 나 모두 1을 해당 메모리 셀들에 동시에 라이트하는 것은 가능하지만 1010...과 0101...을 해당 메모리 셀들에 동시에 라이트하는 것은 불가능하다는 문제점이 있었다.However, a test circuit of a conventional semiconductor memory device classifies a plurality of input / output pins into a predetermined number of groups in a multi-chip test and inputs the same data through one input / output pin of one of the input / output pins of each group. As a result, the same data is written to the corresponding memory cells of these groups. Thus, there is a problem in that different data cannot be written to adjacent memory cells. Therefore, it is possible to write all 0's or all 1's to the corresponding memory cells at the same time, but it is impossible to write 1010 ... and 0101 ... to the memory cells at the same time.
즉, 이 방법을 사용할 경우에 합쳐진 입출력 핀중 대표되는 입/출력만 테스트 장비의 핀이 접촉됨으로 합쳐진 그룹에 있는 다른 입출력 핀에도 동일한 입력 데이타가 인가됨으로 인해서 인접 입/출력간에 다양한 데이타 패턴을 입력하기가 어렵다는 어려움으로 인해서 고주파수에서 인접 입/출력간에 커플링 효과에 의한 페일(fail)을 효과적으로 검증하기가 어렵다는 문제점이 있었다.That is, when this method is used, the same input data is applied to other input / output pins in the group where the input / output representative of the input / output pins of the test equipment are contacted, so that various data patterns can be input between adjacent input / outputs. Due to the difficulty that is difficult, it is difficult to effectively verify the fail due to the coupling effect between adjacent input / output at high frequencies.
또한, 다양한 데이타 패턴을 라이트하기 위하여 데이타 입력 버퍼에서 패턴을 구사하기 위해서 정상 데이타 통로와 패턴에 따른 데이타 통로를 다르게 구비할 경우에 정상 데이타 통로와 테스트시의 데이타 패턴 통로간의 지연차이로 인해서 고주파수에서는 입/출력 구동회로에 도달되는 입력 데이타와 입/출력 구동회로를 구동하는 클럭신호(DTCP)간에 마아진(margin)이 나빠져 그래픽 메모리 장치에서 사용되는 입/출력 마스킹 및 블럭 라이트 어드레스 마스킹 기능에서 마아진성 페일이 발생될 수 있다.In addition, when a normal data path and a data path according to the pattern are differently used to write the pattern in the data input buffer to write various data patterns, at high frequency due to the delay difference between the normal data path and the data pattern path under test. Margin deteriorates between the input data arriving at the input / output driving circuit and the clock signal (DTCP) driving the input / output driving circuit, so that the margin in the input / output masking and block write address masking functions used in the graphic memory device is poor. Fail can occur.
본 발명의 목적은 반도체 메모리 장치의 멀티 칩 테스트시에 복수개의 입/출력 핀들중 소정수의 대표되는 입/출력 핀으로의 테스트 데이타 입력시에 다양한 입력 데이타 패턴을 발생할 수 있고, 마아진성 페일을 방지할 수 있는 반도체 메모리 장치의 테스트 회로를 제공하는데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to generate various input data patterns upon inputting test data to a predetermined number of representative input / output pins of a plurality of input / output pins during multi-chip testing of a semiconductor memory device, and It is to provide a test circuit of a semiconductor memory device that can be prevented.
이와같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 반도체 메모리 장치의 테스트 회로는 상기 복수개의 데이타 입/출력 핀들, 상기 데이타 입/출력 핀들과 각각 연결되는 복수개의 데이타 입/출력 패드들, 상기 복수개의 데이타 입/출력 패드들로 부터의 데이타를 각각 입력하여 버퍼하는 복수개의 데이타 입력 버퍼들, 및 상기 복수개의 데이타 입력 버퍼들로 부터의 데이타를 각각의 해당 메모리 셀들로 저장하기 위한 복수개의 데이타 입력 드라이버들을 순서에 따라 소정수의 그룹으로 분류하여 상기 각 그룹의 하나의 데이타 입/출력 패드를 통하여 데이타를 입력함에 의해서 테스트를 수행하는 반도체 메모리 장치의 테스트 회로에 있어서, 상기 각 그룹의 데이타 입력버퍼는 반전 컬럼 어드레스 스트로우브 신호에 응답하여 제1데이타 신호를 버퍼하여 출력하는 제1데이타 입력버퍼, 및 정상 동작시에 상기 반전 컬럼 어드레스 스트로우브 신호에 응답하여 상기 제1데이타 신호를 제외한 나머지 짝수번째의 제2데이타 신호들 및 홀수번째 제3데이타 신호들을 각각 버퍼하여 출력하는 복수개의 제2데이타 입력버퍼들을 구비하고, 상기 각 그룹의 데이타 입력 드라이버는 정상 동작시 및 테스트 동작시에 상기 제1데이타 신호를 래치하여 클럭신호에 응답하여 상기 래치된 제1데이타 신호를 출력하는 제1데이타 입력 드라이버, 정상 동작시 상기 짝수번째의 제2데이타 신호들을 각각 래치하고 상기 클럭신호에 응답하여 상기 각각의 래치된 짝수번째의 제2데이타 신호들을 출력하고, 테스트 동작시에 제1신호를 각각 래치하고 상기 클럭신호에 응답하여 상기 래치된 제1신호를 각각 출력하는 짝수번째의 제2데이타 입력 드라이버, 및 정상 동작시에 상기 홀수번째의 제3데이타 신호들을 각각 래치하고 상기 클럭신호에 응답하여 상기 래치된 홀수번째의 제3데이타 신호들을 출력하고, 테스트 동작시에 제2신호를 각각 래치하고 상기 클럭신호에 응답하여 상기 래치된 제2신호를 각각 출력하는 홀수번째의 제3데이타 입력 드라이버를 구비한 것을 특징으로 한다.The test circuit of the semiconductor memory device of the present invention for achieving the above object is a plurality of data input / output pins, a plurality of data input / output pads respectively connected to the data input / output pins, the plurality of data input A plurality of data input buffers for respectively inputting and buffering data from the output pads, and a plurality of data input drivers for storing data from the plurality of data input buffers into respective corresponding memory cells. In the test circuit of a semiconductor memory device for performing a test by classifying into a predetermined number of groups according to the data input through the one data input / output pad of each group, the data input buffer of each group is inverted column Buffer and output the first data signal in response to the address strobe signal Buffering and outputting the even-numbered second data signals and the odd-numbered third data signals except for the first data signal in response to the first data input buffer and the inverted column address strobe signal in normal operation, respectively. And a plurality of second data input buffers, wherein each group of data input drivers latches the first data signal during normal operation and a test operation to output the latched first data signal in response to a clock signal. A first data input driver configured to latch the even-numbered second data signals in normal operation and output the respective latched even-numbered second data signals in response to the clock signal, and output the first in a test operation. Even-numbered second data for respectively latching signals and outputting the latched first signals in response to the clock signal An input driver, and latching the odd third data signals in normal operation, respectively, outputting the latched odd third data signals in response to the clock signal, and latching the second signal in test operation, respectively. And an odd third data input driver for outputting the latched second signal in response to the clock signal.
도1은 종래의 반도체 메모리 장치의 테스트 회로의 블럭도이다.1 is a block diagram of a test circuit of a conventional semiconductor memory device.
도2는 도1에 나타낸 데이타 입출력 드라이버의 블럭도이다.FIG. 2 is a block diagram of the data input / output driver shown in FIG.
도3은 도1에 나타낸 데이타 입력 버퍼의 블럭도이다.3 is a block diagram of the data input buffer shown in FIG.
도4는 도3에 나타낸 데이타 입력 버퍼(40)의 상세 회로도이다.4 is a detailed circuit diagram of the data input buffer 40 shown in FIG.
도5는 도3에 나타낸 데이타 입력 버퍼(42, 44, 46)의 상세 회로도이다.FIG. 5 is a detailed circuit diagram of the data input buffers 42, 44, and 46 shown in FIG.
도6a, b은 본 발명의 데이타 입력 버퍼의 상세 회로도이다.6A and 6B are detailed circuit diagrams of the data input buffer of the present invention.
도7은 본 발명의 데이타 패턴 발생회로의 회로도이다.7 is a circuit diagram of a data pattern generation circuit of the present invention.
도8a, b, c는 본 발명의 데이타 입력 드라이버의 회로도이다.8a, b and c are circuit diagrams of the data input driver of the present invention.
이하, 첨부된 도면을 참고로 하여 본 발명의 반도체 메모리 장치의 테스트 회로를 설명하기 전에 종래의 반도체 메모리 장치의 테스트 회로를 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, a test circuit of a conventional semiconductor memory device will be described with reference to the accompanying drawings before describing the test circuit of the semiconductor memory device of the present invention.
도2는 종래의 입/출력 드라이버의 블럭도로서, 구동 클럭신호(DTCP)에 응답하여 데이타 입력신호들(DI0 -DI3)을 각각 입력하여 출력하기 위한 데이타 입/출력 드라이버들(30, 32, 34, 36)로 구성되어 있다. 도2에 나타낸 드라이버들은 도1에 나타낸 칩내의 각각의 드라이버들(18)을 나타내는 것으로, 4개씩의 입/출력 드라이버들을 각각 나타내는 것이다.FIG. 2 is a block diagram of a conventional input / output driver, wherein data input / output drivers 30, 32, for inputting and outputting data input signals DI0 to DI3, respectively, in response to a driving clock signal DTCP. 34, 36). The drivers shown in FIG. 2 represent each of the drivers 18 in the chip shown in FIG. 1, each representing four input / output drivers.
도3은 종래의 데이타 입력 버퍼의 블럭도로서, 데이타 신호(DO)를 입력하여 데이타 입력신호(DI0) 및 신호들(M1, M2)을 발생하는 데이타 입력버퍼(40), 정상 동작시에는 데이타 신호(D1)를 데이타 입력신호(DI1)로 출력하고 테스트 동작시에는 신호(M2)를 데이타 입력신호(DI1, 3)로 출력하는 데이타 입력버퍼(42, 46), 및 정상 동작시에는 데이타 신호(D2)를 데이타 입력신호(DI2)로 출력하고 테스트 동작시에는 신호(M1)를 데이타 입력신호(DI2)로 출력하는 데이타 입력버퍼(44)로 구성되어 있다. 도3에 나타낸 데이타 입력버퍼들도 도1에 나타낸 칩내의 각각의 데이타 입력버퍼들(14)을 나타내는 것으로, 4개씩의 데이타 입력버퍼들을 각각 나타내는 것이다.Fig. 3 is a block diagram of a conventional data input buffer, which is a data input buffer 40 for inputting a data signal DO to generate data input signals DI0 and signals M1 and M2, and data in normal operation. Data input buffers 42 and 46 which output the signal D1 as the data input signal DI1 and output the signal M2 as the data input signals DI1 and 3 during the test operation, and the data signal during normal operation. The data input buffer 44 is configured to output D2 as a data input signal DI2 and to output a signal M1 as a data input signal DI2 during a test operation. The data input buffers shown in Fig. 3 also represent respective data input buffers 14 in the chip shown in Fig. 1, and each of four data input buffers.
도4는 도3에 나타낸 데이타 입력버퍼(40)의 상세 회로도로서, 버퍼(50), 전송 게이트(52), 인버터들(54, 56, 58, 60, 62, 70, 74), 및 3상태 버퍼들(72, 76)로 구성되어 있다.FIG. 4 is a detailed circuit diagram of the data input buffer 40 shown in FIG. 3, which includes a buffer 50, a transfer gate 52, inverters 54, 56, 58, 60, 62, 70, 74, and three states. It consists of buffers 72 and 76.
정상 동작시에는 데이타 신호(DI0)가 버퍼(50)를 통하여 버퍼되고 이 버퍼된 신호는 하이레벨의 반전 컬럼 어드레스 스트로우브 신호(CASB)에 응답하여 전송 게이트(52)가 온되고 이 전송 게이트(52)를 통하여 버퍼된 신호가 출력된다. 이 신호는 인버터들(56, 58)에 의해서 버퍼되어 데이타 입력신호(DI0)로 출력된다. 또한, 이 신호는 인버터들(60, 62)에 의해서 버퍼되어 신호(M1)으로 출력된다. 그리고, 테스트 동작시에는 제어신호(CHK)가 하이레벨일 때 3상태 버퍼(72)는 오프되고 3상태 버퍼(76)는 온되어 인버터(60)의 출력신호가 인버터(74) 및 3상태 버퍼(76)을 통하여 신호(M2)로 출력된다. 즉, 제어신호(CHK)가 하이레벨일 때는 데이타 신호(D0)가 반전되어 출력되고 제어신호(CHK)가 로우레벨일 때는 3상태 버퍼(72)가 온되어 데이타 신호(D0)가 신호(M2)로 그대로 출력된다.In normal operation, the data signal DI0 is buffered through the buffer 50, and the buffered signal is turned on in response to the high level inverted column address strobe signal CASB. A buffered signal is output through 52). This signal is buffered by inverters 56 and 58 and output as a data input signal DI0. This signal is also buffered by inverters 60 and 62 and output as signal M1. In the test operation, when the control signal CHK is at the high level, the tri-state buffer 72 is turned off and the tri-state buffer 76 is turned on so that the output signal of the inverter 60 is converted to the inverter 74 and the tri-state buffer. It is output as a signal M2 through 76. That is, when the control signal CHK is at the high level, the data signal D0 is inverted and output. When the control signal CHK is at the low level, the tri-state buffer 72 is turned on so that the data signal D0 is the signal M2. Is output as is.
도5는 도3에 나타낸 데이타 입력 버퍼들(42, 44, 46)의 상세 회로도로서, 버퍼(80), 전송 게이트들(82, 92), NOR게이트(84), 및 인버터들(86, 88, 90, 94)로 구성되어 있다.FIG. 5 is a detailed circuit diagram of the data input buffers 42, 44, 46 shown in FIG. 3, showing the buffer 80, the transfer gates 82, 92, the NOR gate 84, and the inverters 86, 88. , 90, 94).
정상 동작시에 데이타 신호(D1(D2, D3))가 버퍼(80)를 통하여 버퍼된다. NOR게이트(84)는 로우레벨의 반전 컬럼 어드레스 스트로우브 신호(CASB)와 로우레벨의 테스트 신호(MDQ)를 비논리합하여 하이레벨의 신호를 발생한다. 전송 게이트(82)는 NOR게이트(84)의 출력신호에 응답하여 온되어 버퍼(80)의 출력신호를 출력한다. 인버터들(88, 90)은 전송 게이트(82)에 의해서 전송된 신호를 버퍼하여 데이타 입력신호(DI1(DI2, DI3))로 각각 출력한다.In the normal operation, the data signals D1 (D2, D3) are buffered through the buffer 80. The NOR gate 84 non-logically combines the low level inversion column address strobe signal CASB and the low level test signal MDQ to generate a high level signal. The transfer gate 82 is turned on in response to the output signal of the NOR gate 84 to output the output signal of the buffer 80. The inverters 88 and 90 buffer the signal transmitted by the transmission gate 82 and output the buffered data as the data input signals DI1 (DI2 and DI3), respectively.
테스트 동작시에는 테스트 신호(MDQ)가 하이레벨이 되므로 NOR게이트(84)의 출력신호는 로우레벨이 된다. 그래서, 전송 게이트(82)는 오프되고 전송 게이트(92)는 온된다. 전송 게이트(92)는 데이타 입력 버퍼(40)에 의해서 출력되는 신호(M1/M2)를 출력하고 인버터들(88, 90)은 전송 게이트(92)의 출력신호를 버퍼하여 데이타 입력신호(DI1(DI2, DI3))로 각각 출력한다. 데이타 입력신호(DI2)로는 신호(M1)이 출력되고 데이타 입력신호(DI1, DI3)로는 신호(M2)가 출력된다.In the test operation, since the test signal MDQ becomes high level, the output signal of the NOR gate 84 becomes low level. Thus, the transfer gate 82 is off and the transfer gate 92 is on. The transmission gate 92 outputs a signal M1 / M2 output by the data input buffer 40, and the inverters 88 and 90 buffer the output signal of the transmission gate 92 so that the data input signal DI1 ( DI2, DI3)) respectively. The signal M1 is output as the data input signal DI2 and the signal M2 is output as the data input signals DI1 and DI3.
즉, 테스트시에 제어신호(CHK)가 로우레벨이면 데이타 신호(DO)가 데이타 입력신호들(DI0, DI1, DI2, DI3)로 출력되고 제어신호(CHK)가 하이레벨이면 데이타 신호(DO)가 데이타 입력신호들(DIO, DI2)로 출력되고 데이타 신호(D0)의 반전된 신호가 데이타 입력신호들(DI1, DI3)로 출력된다. 즉, 종래의 반도체 메모리 장치의 테스트 회로는 제어신호(CHK)를 달리함에 의해서 다양한 패턴을 라이트하는 것이 가능하였다. 그러나, 정상 동작시의 데이타 통로와 테스트 동작시의 데이타 통로가 다르므로 이들 통로간의 지연 차이로 인해서 고주파수에서는 입/출력 드라이버에 도달되는 입력 데이타와 입/출력 드라이버를 구동하는 클럭간의 마아진이 나빠져서 그래픽 메모리에서 사용되는 입/출력 마스킹(masking) 및 블럭 라이트 어드레스 마스킹(block write address masking) 기능에서 마아진성 페일이 발생될 수 있다.That is, in the test, if the control signal CHK is at the low level, the data signal DO is output as the data input signals DI0, DI1, DI2, and DI3. If the control signal CHK is at the high level, the data signal DO is Is output to the data input signals DIO and DI2, and an inverted signal of the data signal D0 is output to the data input signals DI1 and DI3. That is, the test circuit of the conventional semiconductor memory device can write various patterns by changing the control signal CHK. However, since the data paths in normal operation and the data paths in test operation are different, the delay difference between these paths causes a high margin of deterioration between the input data reaching the input / output driver and the clock driving the input / output driver at high frequencies. A marginal failure may occur in input / output masking and block write address masking functions used in memory.
도6a, b는 본 발명의 반도체 메모리 장치의 데이타 입력버퍼의 회로도로서, 복수개의 데이타 입/출력핀들을 4개씩 묶어서 테스트하는 경우에 도6a는 4개의 핀중의 대표적인 하나의 핀에 연결된 데이타 입력버퍼의 회로도로서 도1의 데이타 입력버퍼(DIB0)에 해당하는 것이고 도6b는 4개의 핀중 다른 3개의 핀에 연결된 데이타 입력버퍼들의 회로도로서 도1의 데이타 입력버퍼들(DIB1, DIB2, DIB3)에 해당하는 것이다. 도6a에 나타낸 회로는 버퍼(100), 전송 게이트(102), 인버터들(104, 106, 108)로 구성되어 있다. 정상 동작시와 테스트 동작시에 버퍼(100)는 데이타 신호(D0)를 버퍼하여 출력하고 전송 게이트(102)는 로우레벨의 반전 컬럼 어드레스 스트로우브 신호(CASB)에 응답하여 온되어 버퍼(100)의 출력신호를 버퍼하여 데이타 입력신호(DI0)로 출력한다. 도6b에 나타낸 회로는 버퍼(110), 전송 게이트(112), 3상태 버퍼(118), 및 인버터들(116, 120)로 구성되어 있다. 정상 동작시에 버퍼(110)는 데이타 신호(D1(D2, D3))를 버퍼하여 출력하고 전송 게이트(112)는 로우레벨의 반전 컬럼 어드레스 스트로우브 신호(CASB)에 응답하여 온되어 버퍼(110)의 출력신호를 전송하고 3상태 버퍼(118)는 로우레벨의 테스트 신호(MDQ)에 응답하여 온되어 전송 게이트(112)의 출력신호를 버퍼하여 데이타 입력 신호(DI1(DI2, DI3))를 출력한다. 테스트 동작시에는 3상태 버퍼(118)가 하이레벨의 테스트 신호(MDQ)에 응답하여 오프됨으로써 데이타 입력신호(DI1(DI2, DI3))가 출력되지 않는다.6A and 6B are circuit diagrams of a data input buffer of a semiconductor memory device according to an embodiment of the present invention. In the case where a plurality of data input / output pins are tested by grouping four data input buffers, FIG. 6A is a data input buffer connected to a representative one of four pins. The circuit diagram of FIG. 1 corresponds to the data input buffer DIB0 of FIG. 1, and FIG. 6B is a circuit diagram of the data input buffers connected to the other three pins of four pins and corresponds to the data input buffers DIB1, DIB2, and DIB3 of FIG. It is. The circuit shown in FIG. 6A is composed of a buffer 100, a transfer gate 102, and inverters 104, 106, 108. In the normal operation and the test operation, the buffer 100 buffers and outputs the data signal DO and the transfer gate 102 is turned on in response to the low level inverted column address strobe signal CASB. Buffers the output signal and outputs it as the data input signal DI0. The circuit shown in FIG. 6B is composed of a buffer 110, a transfer gate 112, a tri-state buffer 118, and inverters 116, 120. In normal operation, the buffer 110 buffers and outputs the data signals D1 (D2 and D3), and the transfer gate 112 is turned on in response to the low level inverted column address strobe signal CASB. The three-state buffer 118 is turned on in response to the low level test signal MDQ to buffer the output signal of the transmission gate 112 to receive the data input signals DI1 (DI2, DI3). Output In the test operation, the tri-state buffer 118 is turned off in response to the high level test signal MDQ, so that the data input signals DI1 (DI2, DI3) are not output.
도7은 본 발명의 반도체 메모리 장치의 테스트 회로의 데이타 입력 패턴 발생회로의 회로도로서, NAND게이트들(130, 142), 인버터들(132, 134, 136, 146, 150), 및 전송 게이트들(138, 144, 148)로 구성되어 있다. 정상 동작시에 테스트 신호(MDQ)가 로우레벨이므로 NAND게이트들(130, 142)의 출력신호는 하이레벨이 된다. 따라서, 전송 게이트들(138, 144, 150)이 모두 오프되어 신호들(MDI0, BFDI0)은 발생되지 않는다. 테스트 동작시에는 테스트 신호(MDQ)가 하이레벨이 되고 제어신호(CHK)가 하이 또는 로우레벨이 된다. 제어신호(CHK)가 하이레벨이면 NAND게이트(130)의 출력신호가 로우레벨이 되고 NAND게이트(142)의 출력신호는 하이레벨이 된다. 그래서, 전송 게이트(138)는 온되고 전송 게이트(144)는 오프되어 인버터(132)에 의해서 반전되고 버퍼된 신호가 신호(MDI0)로 출력된다. 또한, 전송 게이트(148)는 온되어 인버터들(132, 140)에 의해서 버퍼된 신호가 신호(BFDI0)로 출력된다. 반면에, 제어신호(CHK)가 로우레벨이면 NAND게이트(130)의 출력신호가 하이레벨이 되고 NAND게이트(142)의 출력신호는 로우레벨이 된다. 그래서, 전송 게이트(138)은 오프되고 전송 게이트(144)는 온되어 인버터들(132, 140)에 의해서 버퍼된 신호가 신호(MDIO)로 출력된다. 또한, 전송 게이트(148)가 온되어 인버터들(132, 140)에 의해서 버퍼된 신호가 신호(BFDIO)로 출력된다. 즉, 테스트 동작시에 제어신호(CHK)가 하이레벨이면 데이타 신호(DI0)의 반전된 신호가 신호(MDI0)로, 데이타 신호(DI0)가 신호(BFDI0)로 출력되고 제어신호(CHK)가 로우레벨이면 데이타 신호(DI0)가 신호들(MDI0, BFDI0)로 출력된다.7 is a circuit diagram of a data input pattern generation circuit of a test circuit of a semiconductor memory device of the present invention, including NAND gates 130 and 142, inverters 132, 134, 136, 146 and 150, and transfer gates ( 138, 144, and 148). In the normal operation, since the test signal MDQ is at the low level, the output signal of the NAND gates 130 and 142 is at the high level. Therefore, the transmission gates 138, 144, and 150 are all turned off so that the signals MDI0 and BFDI0 are not generated. In the test operation, the test signal MDQ becomes high level and the control signal CHK becomes high or low level. If the control signal CHK is at a high level, the output signal of the NAND gate 130 is at a low level, and the output signal of the NAND gate 142 is at a high level. Thus, the transfer gate 138 is on, the transfer gate 144 is off, inverted by the inverter 132, and the buffered signal is output as the signal MDI0. In addition, the transmission gate 148 is turned on so that the signal buffered by the inverters 132 and 140 is output as the signal BFDI0. On the other hand, when the control signal CHK is at the low level, the output signal of the NAND gate 130 becomes high level and the output signal of the NAND gate 142 becomes low level. Thus, the transfer gate 138 is turned off and the transfer gate 144 is turned on so that the signal buffered by the inverters 132 and 140 is output as the signal MDIO. In addition, the transmission gate 148 is turned on to output a signal buffered by the inverters 132 and 140 as the signal BFDIO. That is, when the control signal CHK is at the high level during the test operation, the inverted signal of the data signal DI0 is output as the signal MDI0, the data signal DI0 is output as the signal BFDI0, and the control signal CHK is output. At the low level, the data signal DI0 is output as the signals MDI0 and BFDI0.
도8a, b, c는 본 발명의 반도체 메모리 장치의 데이타 입력 드라이버의 회로도로서, 복수개의 데이타 입/출력핀들을 4개씩 묶어서 테스트하는 경우에 도8a는 4개의 데이타 입력버퍼중의 대표적인 하나의 데이타 입력버퍼(DIO0)에 연결된 데이타 입력드라이버의 회로도로서 도1의 데이타 입출력 드라이버(DIOD0)에 해당하는 것이고 도8b는 4개의 데이타 입력 드라이버들중 2개의 데이타 입출력 드라이버(DIOD1, DIOD3)에 해당하는 것이고, 도8c는 4개의 데이타 입력 드라이버들중 나머지 하나의 데이타 입출력 드라이버(DIOD2)에 해당하는 것이다. 도8a에 나타낸 입출력 드라이버는 인버터들(160, 162, 166), 전송 게이트(164), 및 데이타 입/출력 드라이버(168)로 구성되어 있다. 데이타 입력신호(DI0)는 인버터들(160, 162)에 의해서 래치된다. 이 래치된 신호는 클럭신호(DTCP)에 응답하여 온되는 전송 게이트(164)를 통하여 데이타 입/출력 드라이버(168)로 입력된다. 도8b에 나타낸 입/출력 드라이버는 인버터들(170, 172, 176), 전송 게이트(174), 및 데이타 입/출력 드라이버(178)로 구성되어 있다. 데이타 입력신호(DI1(DI3)) 또는 신호(MDI0)는 인버터들(170, 172)에 의해서 래치된다. 이 래치된 신호는 클럭신호(DTCP)에 응답하여 온되는 전송 게이트(174)를 통하여 데이타 입/출력 드라이버(178)로 입력된다. 즉, 정상 동작시에는 데이타 입력신호(DI0)를 출력하고 테스트 동작시에는 신호(MDI0)를 출력한다. 도8c도에 나타낸 입/출력 드라이버는 인버터들(180, 182, 186), 전송 게이트(184), 및 데이타 입/출력 드라이버(188)로 구성되어 있다. 데이타 입력신호(DI2) 또는 신호(BFDI0)는 인버터들(180, 182)에 의해서 래치된다. 이 래치된 신호는 클럭신호(DTCP)에 응답하여 온되는 전송 게이트(184)를 통하여 데이타 입/출력 드라이버(188)로 입력된다. 즉, 정상 동작시에는 데이타 입력신호(DI2)를 출력하고 테스트 동작시에는 신호(BFDI0)를 출력한다. 이와같이 데이타 입/출력 드라이버들의 출력신호들은 해당 메모리 셀 어레이로 각각 출력되어 라이트된다.8A, 8B, and 8C are circuit diagrams of a data input driver of a semiconductor memory device of the present invention. In the case where a plurality of data input / output pins are tested by grouping four data input drivers, FIG. 8A is a representative one of four data input buffers. The circuit diagram of the data input driver connected to the input buffer DIO0 corresponds to the data input / output driver DIOD0 of FIG. 1 and FIG. 8B corresponds to two data input / output drivers DIOD1 and DIOD3 of the four data input drivers. 8C corresponds to the other data input / output driver DIOD2 of the four data input drivers. The input / output driver shown in FIG. 8A is composed of inverters 160, 162, 166, a transfer gate 164, and a data input / output driver 168. The data input signal DI0 is latched by the inverters 160 and 162. The latched signal is input to the data input / output driver 168 through the transmission gate 164 which is turned on in response to the clock signal DTCP. The input / output driver shown in FIG. 8B is composed of inverters 170, 172, 176, a transfer gate 174, and a data input / output driver 178. The data input signal DI1 (DI3) or the signal MDI0 is latched by the inverters 170 and 172. The latched signal is input to the data input / output driver 178 through the transmission gate 174 which is turned on in response to the clock signal DTCP. That is, the data input signal DI0 is output during the normal operation and the signal MDI0 is output during the test operation. The input / output driver shown in FIG. 8C is composed of inverters 180, 182, 186, a transfer gate 184, and a data input / output driver 188. The data input signal DI2 or the signal BFDI0 is latched by the inverters 180 and 182. This latched signal is input to the data input / output driver 188 through the transmission gate 184 which is turned on in response to the clock signal DTCP. That is, the data input signal DI2 is output during the normal operation and the signal BFDI0 is output during the test operation. In this way, the output signals of the data input / output drivers are output to the corresponding memory cell arrays and written.
따라서, 본 발명의 반도체 메모리 장치의 테스트 회로는 제어신호(CHK)에 응답하여 다양한 데이타 입력 패턴을 라이트할 수 있고, 데이타 입/출력 드라이버들의 전단에 데이타 입력신호가 미리 대기하고 있으므로 입/출력 드라이버를 제어하는 클럭신호(DTCP)와의 마아진 문제가 발생되지 않으므로 라이트 타임의 손실이 없고, 데이타 입/출력 패드를 통하여 입력되는 데이타에 의해 라이트의 인에이블/디스에이블이 결정되는 블럭 라이트 어드레스 마스킹 및 입/출력 마스킹 기능 구현시에 입/출력 드라이버 인에이블 클럭신호가 인에이블되기 전에 유효한 입력 데이타가 들어와서 클럭신호(DTCP)를 디스에이블시킬 수 있는 타이밍 마아진이 향상된다.Therefore, the test circuit of the semiconductor memory device of the present invention can write various data input patterns in response to the control signal CHK, and since the data input signal is waiting in front of the data input / output drivers in advance, the input / output driver There is no margin problem with the clock signal (DTCP) that controls the operation.Therefore, there is no loss of write time, and the block write address masking and input of enable / disable of the light is determined by data input through the data input / output pad. Implementing / output masking improves timing margins that enable valid input data to disable the clock signal (DTCP) before the input / output driver enable clock signal is enabled.
본 발명의 반도체 메모리 장치의 테스트 회로는 멀티 칩 테스트시에 복수개의 입/출력핀들을 소정수의 그룹으로 묶어서 각 그룹의 대표적인 하나의 데이타 입/출력핀을 통하여 데이타를 입력함에 의해서 라이트 동작을 수행할 때, 다양한 라이트 패턴을 생성하는 것이 가능하므로 고주파수에서 인접 입/출력 라인간의 커플링 효과에 의한 페일을 효과적으로 검증할 수 있다.The test circuit of the semiconductor memory device of the present invention performs a write operation by inputting data through a representative data input / output pin of each group by grouping a plurality of input / output pins into a predetermined number of groups during a multi-chip test. In this case, it is possible to generate various light patterns, thereby effectively verifying the fail due to the coupling effect between adjacent input / output lines at high frequencies.
또한, 입력 데이타와 입/출력 드라이버를 구동하는 클럭신호간에 마아진이 개선되어 그래픽 메모리에서 사용되는 입/출력 마스킹 및 블럭 라이트 어드레스 마스킹 기능 구현시에 타이밍 마아진이 향상된다.In addition, the margin is improved between the input data and the clock signal driving the input / output driver, thereby improving timing margin when implementing the input / output masking and block write address masking functions used in the graphic memory.
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