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KR0133681B1 - 웨이퍼 캐리어 반송용 처크 - Google Patents

웨이퍼 캐리어 반송용 처크

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KR0133681B1
KR0133681B1 KR1019880013250A KR880013250A KR0133681B1 KR 0133681 B1 KR0133681 B1 KR 0133681B1 KR 1019880013250 A KR1019880013250 A KR 1019880013250A KR 880013250 A KR880013250 A KR 880013250A KR 0133681 B1 KR0133681 B1 KR 0133681B1
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KR
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chuck members
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아츠시 오사다
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후쿠다 켄조오
도오교오 에레구토론 야마나시 가부시끼가이샤
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Publication date
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Abstract

내용없음.

Description

웨이퍼 캐리어 반송용 처크
제1도는 본 발명의 웨이퍼 캐리어 반송용 처크를 스토커(20)의 캐리어 엘리베이터(21)에 착설한 실시예를 나타낸 사시도.
제2도는 본 발명의 웨이퍼 캐리어 반송용 처크의 개략적인 구성을 나타낸 평면도.
제3도는 제2도의 웨이퍼 캐리어 반송용 처크의 III-III 선에 따른 단면도.
제4도는 제2도의 웨이퍼 캐리어 반송용 처크의 작용을 나타내기 위한 설명도이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1, 1' : 반송용 처크 1a, 1a' : 오른쪽 처크부재
1b, 1'b : 왼쪽 처크부재 2, 2' : 웨이퍼 캐리어
2a, 2'a : 한쪽 가장자리부 3 : 가이드 레일
4 : 슬라이더 4a, 4'a : 오른쪽 슬라이더
4b, 4'b : 왼쪽 슬라이더 5 : 외부틀
6 : 연결 비아(bar) 7 : 에어 실린더
8, 8' : 지지부재 11 : 베어링
12 : 보강 플레이트 20 : 스토커(Stocker)
21 : 캐리어 엘리베이터 22 : 캐리어 라이너(Carrier liner)
23 : 이송기 24 : 보우트 라이너(boat liner)
25 : 웨이퍼 30 : 웨이퍼 캐리어 반송용 처크
31, 31a, 31b, 31'a, 31'b : 홈
본 발명은, 웨이퍼 캐리어 반송용 처크에 관한 것이다.
종래에는, 다수매의 반도체 웨이퍼(이하, 웨이퍼라 약칭함)를 수용하기 위하여, 웨이퍼 캐리어가 사용되고 있다.
웨이퍼 캐리어는, 처크에 의하여 쥐어진 상태에서, 소정의 가공공정의 얹어놓는 위치 및 수납위치로 반송된다.
종래의, 웨이퍼 캐리어 반송용 처크는, 웨리퍼 캐리어의 앞면과 뒷면을 지지하는 방식의 것이 사용되고 있다.
즉, 이 웨이퍼 캐리어 반송용 처크는, 소정의 가공 공정 사이에 배열설치되는 1쌍의 레일을 갖고 있다.
레일 사이에는, 웨이퍼 캐리어의 앞면에 맞닿는 지지부를 갖는 아암과, 웨이퍼 캐리어의 뒷면에 맞닿는 지지부를 갖는 아암이, 소정의 간격으로 가설(架設)되어있다.
이들의 아암 사이에, 웨이퍼 캐리어를 사이에 두고 잡아서, 아암이 레일을 따라 주행하도록 되어있다.
그러나, 이와 같은 웨이퍼 캐리어 반송용 처크는, 그의 구조상 대형화기 된다.
또한, 웨이퍼 캐리어의 양쪽에 위치하여 착설되어 있는 레일을 따라 웨이퍼 캐리어를 반송하기 때문에, 반송시의 자유도가 대폭적으로 제약되어 버리는 문제가 있었다.
본 발명의 목적은, 콤펙트하고, 또한, 웨이퍼 캐리어의 반송시에 있어서의 자유도를 높인 웨이퍼 캐리어 반송용 처크를 제공하는데에 있다.
본 발명은, 대향 간격을 가변하게하여 대향 설치되고, 피처크체의 한쪽끝단부쪽에 맞닿은 한쌍의 처크부재와, 각각의 이 처크부재에 접속한 슬라이더의 한쌍과, 각각의 이 슬라이더의 한쌍을 가이드 레일을 따라 왕복 운동시켜서, 상기 처크부재의 한쌍의 대향 간격을 변화시키는 구동수단과, 상기 처크부재가 대향하는 사이에 위치하고, 상기 피처크체의 한쪽면에 맞닿는 지지부재와를 구비하는 웨이퍼 캐리어 반송용 처크이다.
[실시예]
다음에, 본 발명의 실시예에 대하여 첨부한 도면에 따라 상세히 설명하면 다음과 같다.
제1도는, 본 발명의 웨이퍼 캐리어 반송용 처크(30)를 스토커(20)의 캐러이 엘리베이터(21)에 착서한 실시예를 나타낸 사시도이다.
스토커(20)에는, 웨이퍼 캐리어 반송용 처크(30)에 의하여 캐리어 라이너(CARRIER LINER)(22)에 이송되는 웨이퍼 캐리어(도시 생략함)가 다수개가 수용되어 있다.
캐리어 라이너(22)는, 이송기(TRANSFER)(23)에 의하여, 웨이퍼 캐리어 중의 웨이퍼를 보우트 라이너(24)에 이송하도록 되어있다.
보우트 라이너(24)를 다수매의 웨이퍼(25)를 보우트에 실은 상태에서, 도시하지 아니한 반응로(爐)등에 반출, 반입하도록 되어 있다.
웨이퍼 캐리어 반송용 처크(30)는, 제2도 및 제3도에 나타낸 구조를 갖고 있다.
도면중(1)은, 웨이퍼 캐리어(2)를 사이에 두고 잡는 한쌍의 반송용 처크이다.
제2도에서는, 2조의 반송용 처크(1), (1')를 도시하고 있다.
한쪽의 반송용 처크(1)를 구성하는 오른쪽 처크부재(1a)는, 오른쪽 슬라이더(4a)의 한쪽끝단부에 착설되어 있다.
왼쪽 처크부재(1b)는, 왼쪽 슬라이더(4b)의 한쪽 끝단부에 착설되어 있다.
오른쪽 슬라이더(4a) 및 왼쪽 슬라이더(4b)의 다른쪽 끝단부는, 외부특(5)내에 이동이 자유롭게 수용되어 있다.
이들의 다른쪽 끝단부에는, 오른쪽 슬라이더(4a) 및 왼쪽 슬라이더(4b)의 외부틀(5)의 길이 방향에 따른 이동을 안내하기 위한 가이드 레일(3)이, 베어링(11)을 개재하여 끼워넣어져 있다.
한쪽의 반송용 처크(1)와 소정의 간격을 두고 다른쪽의 반송용 처크(1')가 인접된 상태로 형성되어 있다.
다른쪽의 반송용 처크(1')도 한쪽의 반송용 처크(1)와 마찬가지의 구조를 갖고 있다.
즉, 오른쪽 처크부재(1'a)는, 오른쪽 슬라이더(4'a)에 접속되어 있다.
왼쪽 처크부재(1'b)는, 왼쪽 슬라이더(4'b)에 접속되어 있다.
오른쪽 슬라이더(4'a) 및 왼쪽 슬라이더(4'b)는, 가이드 레일(3)에 베어링(11)을 개재하여 이동이 자유롭게 착설되어 있다.
가이드 레일(3)은, 외부틀(5)내에 소정의 간격으로 배치된 보강 플레이트(12)에 의하여 보호지지되어 있다.
오른쪽 처크부재(1a), (1'a)와 왼쪽 처크부재(1b), (1'b)사이의 외부틀(5)의 앞면부에는, 지지부재(8), (8')가 각각 형성되어 있다.
지지부재(8), (8')의 앞면은, 반송용 처크(1), (1')로서 붙잡게 되는 웨이퍼 캐리어(2), (2')의 측면에 맞닿도록 되어 있다.
오른쪽 처크부재(1a), (1'a)와 왼쪽 처크부재(1b), (1'b)의 각각의 측면부에는, 웨이퍼 캐리어(2), (2')의 한쪽 가장자리부(2a), (2'a)의 양끝단 부분이 걸어맞춤되는 홈(31a), (31'a), (31b), (31'b)을 형성하고 있다.
2개의 오른쪽 슬라이더(4a), (4a')는 , 연결 바아(bar)(6)에 의하여 연결되어 있다.
2개의 왼쪽 슬라이더(45b), (4'b)는 연결 바아(6)에 의하여 연결되어 있다.
2개의 오른쪽 슬라이더(4a), (4'a)는, 오부틀(5)위에 형성된 에어실린더(7)에 접속되어 있다.
또한, 2개의 왼쪽슬라이더(4b), (4'b)는, 외부틀(5)위에 형성된 도시하지 아니한 에어 실린더에 접속되어 있다.
즉, 오른쪽 슬라이더(4a), (4'a)는, 한쪽의 에어 실린더(7)의 구동에 의하여 가이드 레일(3)을 따라 왕복운동한다.
왼쪽 슬라이더(4b), (4'b)는, 다른쪽의 에어 실린더(7)의 구동에 의하여 가이드 레일(3)을 따라 왕복운동한다.
이 결과, 각각의 반송요 처크(1), (1')는, 에어 실린더(7)의 구동에 의하여, 오른쪽 처크부재(1a), (1'a)와 왼쪽 처크부재(1b), (1'b)의 간격은, 각각 동기하면서 자유롭게 조절할 수 있도록 되어 있다.
또한, 지지부재(8), (8')는 폴리 테트라 플루오로 에틸렌(테플론) 등의 강도와 내구성이 풍부한 재질로 형성하는 것이 바람직하다.
다음에, 이 웨이퍼 캐리어 반송용 처크의 동작에 대하여 설명한다.
우선, 에어 실린더(7)를 개방위치로 설정하고, 반송용 처크(1), (1')를 개방하여 둔다.
다음에, 웨이퍼 캐리어(2), (2')의 반송 작업을 하는 경우에는, 캐리어 엘리베이터(21)를 구동한다.
이 조작에 의하여 웨이퍼 캐리어 반송용 처크(30)를 스토커(20)의 소정 위치에로 이동시킨다.
이 웨리퍼 캐리어 반송용 처크(30)의 위치 결정시에, 각각의 오른쪽 처크부재(1a), (1'a)와 왼쪽 처크부재(1b), (1'b)사이에 웨이퍼 캐리어(2), (2')가 위치 맞춤된다.
다음에, 에어 실린더(7)를 구동한다.
에어 실린더(7)의 구동에 따라, 연결 바아(6)를 개재하여 각각의 오른쪽 처크부재(1a), (1'a)와 왼쪽 처크부재(1b), (1'b)가, 제4도에 나타낸 바와 같이 대향 간격을 좁게하도록 이동한다.
또한, 제4도는, 한쪽의 반송용 처크(1)만을 나타내고 있다.
이 결과, 반송용 처크(1), (1')가 각각의 웨이퍼 캐리어(2), (2')를 사이에 두고 잡는다.
이때에, 웨이퍼 캐리어(2), (2')의 한쪽 가장자리부(2a), (2'a)는, 홈(31a), (31'a), (31b), (31'b)의 내부에 걸어 맞춤되고 있다.
또한 , 웨이퍼 케리어(2), (2')의 한쪽면 부분에는, 지지부재(8), (8')가 맞닿고 있다.
이 상태에서 캐리어 엘리베이터(21)가, 승강 또는 수평 이동등의 동작을 행한다.
그리고 캐리어 엘리베이터(21)가 웨이퍼 캐리어 반송용 처크(30)를 예를들면 캐리어 라이너(22)의 소정위치에서 위치를 맞춘다.
이후에, 에어 실리더(7)의 구동을 정지하여 반송용 처크(1), (1')에 의한 웨이퍼 캐리어(2), (2')의 붙잠음 상태를 해제한다.
그 결과, 웨이퍼 캐리어(2), (2')는 소정의 캐리어 라이너(22)에 옮겨진다.
이와 같이 이 웨이퍼 캐리어 반송용 처크(1), (1')는, 웨이퍼 캐리어(2), (2')를 그의 한쪽 가장자리부(2a), (2'a)에서 한쪽만 지지하는 상태로 보호지지한다(제4도 참조).
이로 인하여, 웨이퍼 캐리어(2), (2')의 반송시의 자유도를 대폭적으로 높일 수 가 있다.
또한, 반송시에, 웨이퍼 캐리어(2), (2')는, 그의 측면부분에 지지부재(8), (8')를 맞닿게한 상태에서 반송용 처크(1), (1')로서 사이에 두고 잡게되어 있다.
이로 인하여, 웨이퍼 캐리어(2), (2')가 흔들리는 일이없이 반송할 수가 있다.
그 결과, 웨이퍼(25)등의 반송시에 있어서의 손상의 발생을 방지할 수가 았다.
또한, 웨이퍼 캐리어(2), (2')를, 한쪽만 지지하는 상태에서, 또한 지지부재(8), (8')로 웨이퍼 캐리어(2), (2')의 붙잡음을 보조하면서 붙잡는 구조인 것이어서, 웨이퍼 캐리어 반송용 처크(1), (1')를 콤펙트하게 할 수가 있다.

Claims (7)

  1. 대향 간격이 가벼노디게 하여 대향 설치되고, 웨이퍼 캐리어체의 한쪽끝단부측에 맞닿는 한쌍의 처크 부재(1a), (1b)와, 각각의 이 처크부재(1a), (1b)에 접속한 슬라이더(4a), (4b)와, 각각의 이 슬라이더(4a), (4b)를 가이드 레일(3)을 따라 왕복 운동시켜서, 상기 처크부재(1a), (1b)의 대향 간격을 변화시키는 구동수단과, 상기 처크부재(1a), (1b) 사이에 위치하여, 상기 웨이퍼 캐리어체의 한쪽면에 맞닿는 지지부재(8), (8')를 구비하는 웨이퍼 캐리어 반송용 처크.
  2. 제1항에 있어서, 상기 처크부재(1a), (1b)의 쌍이 여러개의 조(組)로 설치되고, 상기 복수의 처크부재가 동기하여 구동되는 구동수단을 가지는 웨이퍼 캐리어 반송용 처크.
  3. 제2항에 있어서, 상기 처크부재(1a), (1b)의 한쪽을 이동시키는 구동수단과, 처크부재(1a), (1b)의 다른쪽을 이동시키는 구동수단이, 개별로 설치되어 있는 에이퍼 캐리어 반송용 처크.
  4. 제1항에 있어서, 상기 각각의 처크부재(1a), (1b)의 안쪽에 웨이퍼 캐리어체의 한쪽 가장자리부(2a), (2'a)의 끝단부가 걸어맞춤되는 홈(31a), (31b)이 형성되어 있는 웨이퍼 캐리어 반송용 처크.
  5. 제1항 또는 제3항에 있어서, 상기 구동수단이 실린더(7)인 웨이퍼 캐리어 반송용 처크.
  6. 제1항에 있어서, 상기 지지부재(8), (8')가 불소수지로서 형성되어 있는 웨이퍼 캐리어 반송용 처크.
  7. 제1항에 있어서, 웨이퍼 캐리어(2), (2')에 여러장 반도체 웨이퍼(25)가 수용되어 있는 웨이퍼 캐리어 반송용 처크.
KR1019880013250A 1987-10-12 1988-10-11 웨이퍼 캐리어 반송용 처크 KR0133681B1 (ko)

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