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KR0147634B1 - 에어밸브 구동시스템 - Google Patents

에어밸브 구동시스템

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Publication number
KR0147634B1
KR0147634B1 KR1019950009797A KR19950009797A KR0147634B1 KR 0147634 B1 KR0147634 B1 KR 0147634B1 KR 1019950009797 A KR1019950009797 A KR 1019950009797A KR 19950009797 A KR19950009797 A KR 19950009797A KR 0147634 B1 KR0147634 B1 KR 0147634B1
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KR
South Korea
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air
valve
state
solenoid valve
system controller
Prior art date
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KR1019950009797A
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Inventor
강정호
이광열
Original Assignee
김광호
삼성전자주식회사
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Publication date
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Abstract

반도체 제조장비의 순환 배관 시스템에 있어서, 에어 동작 밸브(Air Operated Valve)의 오픈/클로우즈(open/close)상태를 전기적으로 감지할 수 있는 에어동작밸브의 구동시스템을 개시한다.
본 발명은 시스템 컨트롤러의 제어신호에 의해 구동되는 솔레노이드 밸브, 상기 솔레노이드 밸브에 접속되어 솔레노이드 밸브의 구동상태에 따라 공기의 흐름을 제어하는 에어포트, 상기 에어포트의 에어라인에 접속되고 유입되는 공기의 공기압에 의해 구동되어 유체의 흐름을 제어하는 에어동작밸브, 및 상기 에어동작밸브의 열림/닫힘 상태를 감지하여 상기 시스템 컨트롤러에 에어밸브의 구동상태를 알려주기 위한 감지수단을 포함하여, 에어밸브의 오동작 및 불량에 신속히 대처함과 아울러 이상 발생시 관련 장비들의 손상을 방지할 수 있다.

Description

에어밸브 구동시스템
제1도는 반도체장비의 순환배관 시스템의 순환상태를 도시한 도면.
제2도는 제1도의 배관시스템에 사용되는 종래 에어동작밸브의 동작상태를 설명하기 위한 도면.
제3도는 본 발명에 의한 에어동작밸브의 구동시스템을 개략적으로 도시한 도면이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
10 : 시스템 컨트롤러 20 : 에어라인
22 : 솔레노이드 밸브 24 : 에어포트
30 : 에어동작 밸브 30a : 육안확인용 캡
30b : 감지수단
본 발명은 반도체 제조장비의 순환 배관 시스템에 관한 것으로, 보다 상세하게는 에어 동작 밸브(Air Operated Valve)의 오픈/클로우즈(open/close)상태를 전기적으로 감지할 수 있는 에어동작밸브의 구동시스템에 관한 것이다.
제1도는 반도체장비의 순환배관 시스템의 순환상태를 설명하기 위한 도면이다. 제1도를 참조하여, 배관시스템의 외조(外槽)와 내조(內槽)사이의 순환라인에는 화살표로 나타낸 순환방향에 따라 구동펌프, 히터, 에어밸브, 및 필터가 순차적으로 접속되어 있다. 배관시스템의 순환동작은 조(bath)의 레벨이 정상상태에서 에어밸브의 오픈과 동시에 구동펌프 및 히터가 동작되면서 개시된다.
이때, 상기 구동펌프와 히터에는 각각 구동확인 센서 및 온도센서가 부착되어 그 동작상태를 감지 또는 확인할 수 있는 반면에 에어동작밸브의 동작상태를 파악할 수 있는 기능은 구비하지 않고 있다.
제2도는 제1도의 배관시스템에 사용된 종래 에어동작 밸브의 구동시스템을 나타낸 것이다. 제2도를 참조하여, 에어밸브의 구동상태를 설명하면 다음과 같다. 시스템 컨트롤러(10)의 제어신호에 따라 동작되는 솔레노이드 밸브(22)에 ON 신호가 입력되면 에어포트(Air Port)(24)는 개방된다. 상기 에어포트(24)의 개방에 따라 에어(air)는 도면의 화살표 방향으로 에어밸브(30)에 유입된다. 유입된 에어의 압력에 의해 에어밸브(30)의 육안확인용 캡(30a)은 업(up)되고, 유체 소오스는 흐르게 된다. 이때, 상기 에어밸브(30)의 육안확인용 캡(30a)은 밸브내의 공기압에 따라 기계적으로 업/다운(up/down)된다.
상술한 바와같이 동작되는 종래의 에어동작밸브의 구동시스템은 후술되는 문제들이 발생되는 경우, 순발력있게 대처할 수 있는 보안수단을 구비하지 못하고 있다.
첫째, 상기 솔레노이드 밸브(22)에 문제가 있는 경우, 에어밸브(30)는 동작되지 않는다.
둘째, 에어밸브(30) 자체에 문제가 있는 경우 역시 구동되지 않는다.
셋째, 순환배관에 리크(lesk)가 발생되는 경우, 에어는 밸브에 전달되지 않는다.
따라서, 상술한 문제점들 가운데 어느 하나의 문제가 발생하는 경우에 이를 확인 및/또는 감지할 수 없기 때문에 시스템 불량이 야기된다. 또한, 기타 관련 장비들 예를 들어, 상기 구동펌프 또는 히터등이 에어밸브의 동작 불량상태를 확인할 때까지 계속 가동됨으로써 고가 장비들의 수명을 단축시키는 문제점이 있다.
본 발명은 상술한 문제점을 해소하기 위해 안출된 것으로서, 그 목적은 에어밸브의 동작상태를 전기적으로 감지할 수 있는 다시말해, 에어밸브의 오픈/클로우즈 상태를 수시로 파악할 수 있는 구동시스템을 제공하는데 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 에어밸브 구동시스템은 시스템 컨트롤러의 제어신호에 의해 구동되는 솔레노이드 밸브, 상기 솔레노이드 밸브에 접속되어 솔레노이드 밸브의 구동상태에 따라 공기의 흐름을 제어하는 에어포트, 상기 에어포트의 에어라인에 접속되어 유입되는 공기의 공기압에 의해 구동되어 유체의 흐름을 제어하는 에어동작밸브(air operated valve), 및 상기 에어동작밸브의 열림/닫힘 상태를 감지하여 상기 시스템 컨트롤러에 에어밸브의 구동상태를 알려주기 위한 감지수단으로 구성된다.
본 발명의 바람직한 실시예에 의하면, 기계적 또는 육안으로 밖에 확인할 수 없었던 에어밸브의 동작상태를 전기적으로 감지함으로써, 본 발명의 에어밸브 구동시스템을 순환배관에 적용하는 경우, 에어밸브의 오동작 및 불량에 신속히 대처할 수 있다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부 도면을 참조하여 보다 상세히 설명한다.
제3도는 본 발명에 의한 에어동작밸브의 구동시스템을 개략적으로 도시한 도면으로서, 용이한 설명을 위해, 종래기술과 동일한 구성요소에 대해서는 동일 참조부호를 부여하였다.
본 발명의 에어밸브 구동시스템은 공기의 흐름을 제어하는 에어포트(air port)(24)가 공기가 유동되는 에어라인(20)의 전단부에 설치되고, 상기 에어포트(24)의 공기흐름을 제어하는 솔레노이드 밸브(22)가 상기 에어포트(24)와 일체로 형성되어 있다. 에어동작밸브(30)는 상기 에어라인(20)에 접속되어 있으며, 밸브내로 유입된 에어의 공기압에 따라 업/다운 되는 육안확인용 캡(cap)(30a)과, 이 캡의 상부에 설치되어 캡의 업/다운 동작에 따라 그 동작상태를 감지하여 시스템 컨트롤러(10)에 전달하는 감지수단(30b)이 형성된다. 상기 감지수단(30b)에 의해 감지된 신호는 구동시스템을 제어하는 시스템 컨트롤러(10)로 입력된다.
이와같이 구성된 본 발명의 에어밸브 구동시스템은 다음과 같이 동작된다.
먼저, 시스템 컨트롤러(10)의 제어신호에 따라 동작되는 솔레노이드 밸브(22)에 ON 신호가 입력되면 에어라인(20)상에 형성된 에어포트(Air Port)(24)는 에어가 흐를 수 있도록 오픈된다. 상기 에어포트(24)의 개방에 따라 에어(air)는 도면의 화살표 방향으로 에어밸브(30)에 유입된다. 유입된 에어의 압력에 의해 에어밸브(30)의 구동부인 캡(30a)은 노말 클로우즈형(normal close type)인 경우 업(up)되고, 노말 오픈형인 경우에는 다운된다.
통상적으로 사용되는 노말 클로우즈형인 경우, 상기 캡(30a)은 업되고, 밸브(30)은 오픈되어 유체가 흐르게 된다. 상기 에어밸브(30)의 캡(30a)이 업됨에 따라 밸브의 오픈/클로우즈 감지를 위한 감지수단(30b)은 오픈 상태를 알리는 전기적 신호를 상기 시스템 컨트롤러(10)에 보내 에어동작밸브(30)의 오픈 사어태임을 알린다.
에어동작밸브(30)의 클로우즈 상태는 상기 솔레노이드 밸브(22)에 off 신호가 인가되면, 상술한 오픈 상태와 상반되는 방향으로 동작된다.
상기 감지수단은 노말 클로우즈형(normal close type)의 에어밸브인 경우, 캡(30a)의 업/다운 상태를 즉시 파악할 수 있는 리미트(limit)스위치로 구성되는 것이 바람직 하다.
따라서, 전술한 이상 발생시, 즉 솔레노이드 밸브(22)의 문제나 에어밸브(30)의 오동작 또는 에어라인(20)의 리크 발생 등의 문제가 발생하는 경우, 신속히 대처함과 아울러 기타 관련된 장비들, 예를 들어 배관시스템의 구동펌프나 히터 등의 작동을 즉시 중지시킴으로써 문제를 사전에 방지할 수 있다.
또한, 상기 시스템 컨트롤러(10)에 상기 에어밸브의 오동작시 구동되는 경보수단을 부가하여 시스템의 문제 발생을 즉시 알려 신속히 대처할 수 있도록 할 수도 있다.
이상 설명한 바와같이 본 발명의 에어밸브 구동시스템에 의하면, 기계적 또는 육안으로 밖에 확인할 수 없었던 종래 에어밸브의 오픈/클로우즈 상태를 소정의 감지수단에 의해 파악하고 이 감지상태를 전기적 신호로 즉시 시스템 컨트롤러에 출력하여 상기 컨트롤러에서 솔레노이드 밸브로 출력된 제어신호와 상기 감지수단에 의해 입력된 감지신호를 비교하여 시스템의 이상유무를 즉시 파악할 수 있다. 따라서, 본 발명의 에어밸브 구동시스템을 순환배관에 적용하는 경우, 에어밸브의 오동작 및 불량에 신속히 대처하여 기타 관련 장비들의 손상을 방지할 수 있다.
이상의 실시예를 통하여 본 발명을 구체적으로 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 범위 내에서 그 변형이나 개량이 가능함은 물론이다.

Claims (3)

  1. 시스템 컨트롤러의 제어신호에 따라 동작된느 솔레노이드 밸브; 상기 솔레노이드 밸브에 접속되어 솔레노이드 밸브의 구동상태에 따라 공기의 흐름을 제어하는 에어포트; 상기 에어포트의 에어라인에 접속되고 유입되는 공기의 공기압에 의해 구동되어 유체의 흐름을 제어하는 에어동작밸브(air operated valve); 및 상기 에어동작밸브의 열림/닫힘 상태를 감지하여 상기 시스템 컨트롤러에 에어밸브의 구동상태를 알려주기 위한 감지수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 에어밸브 구동시스템.
  2. 제1항에 있어서, 상기 감지수단은 노말 클로우즈형(normal close type)의 에어밸브인 경우, 리미트(limit)스위치로 이루어진 것을 특징으로 하는 에어밸브 구동시스템.
  3. 제1항에 있어서, 상기 시스템 컨트롤러에 상기 에어밸브의 오동작시 구동되는 경보수단을 부가한 것을 특징으로 하는 에어밸브 구동시스템.
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