JPWO2013137220A1 - 研磨方法 - Google Patents
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- 238000005498 polishing Methods 0.000 title claims abstract description 413
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 104
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 179
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 179
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 168
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims abstract description 108
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 91
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 claims abstract description 74
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 74
- 239000000178 monomer Substances 0.000 claims abstract description 62
- 125000001424 substituent group Chemical group 0.000 claims abstract description 52
- 230000002209 hydrophobic effect Effects 0.000 claims abstract description 50
- 125000000129 anionic group Chemical group 0.000 claims abstract description 34
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 claims abstract description 31
- 238000007334 copolymerization reaction Methods 0.000 claims abstract description 30
- 239000002253 acid Substances 0.000 claims abstract description 23
- 239000007800 oxidant agent Substances 0.000 claims abstract description 19
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 claims description 71
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 claims description 53
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 44
- SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methoxy-5-methylphenyl)ethanamine Chemical compound COC1=CC=C(C)C=C1CCN SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 43
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 2-Propenoic acid Natural products OC(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 42
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 17
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 17
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N Methacrylic acid Chemical compound CC(=C)C(O)=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 15
- OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N Propanedioic acid Natural products OC(=O)CC(O)=O OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 11
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 claims description 10
- SOGAXMICEFXMKE-UHFFFAOYSA-N Butylmethacrylate Chemical compound CCCCOC(=O)C(C)=C SOGAXMICEFXMKE-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 239000011976 maleic acid Substances 0.000 claims description 8
- VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N trans-butenedioic acid Natural products OC(=O)C=CC(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 150000007524 organic acids Chemical class 0.000 claims description 7
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- YBMRDBCBODYGJE-UHFFFAOYSA-N germanium dioxide Chemical compound O=[Ge]=O YBMRDBCBODYGJE-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N maleic acid Chemical compound OC(=O)\C=C/C(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N 0.000 claims description 6
- WROUWQQRXUBECT-UHFFFAOYSA-N 2-ethylacrylic acid Chemical compound CCC(=C)C(O)=O WROUWQQRXUBECT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- HEBDGRTWECSNNT-UHFFFAOYSA-N 2-methylidenepentanoic acid Chemical compound CCCC(=C)C(O)=O HEBDGRTWECSNNT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- VVQNEPGJFQJSBK-UHFFFAOYSA-N Methyl methacrylate Chemical compound COC(=O)C(C)=C VVQNEPGJFQJSBK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- SUPCQIBBMFXVTL-UHFFFAOYSA-N ethyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CCOC(=O)C(C)=C SUPCQIBBMFXVTL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- NHARPDSAXCBDDR-UHFFFAOYSA-N propyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CCCOC(=O)C(C)=C NHARPDSAXCBDDR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- FEUFEGJTJIHPOF-UHFFFAOYSA-N 2-butyl acrylic acid Chemical compound CCCCC(=C)C(O)=O FEUFEGJTJIHPOF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- CETPSERCERDGAM-UHFFFAOYSA-N ceric oxide Chemical compound O=[Ce]=O CETPSERCERDGAM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910000422 cerium(IV) oxide Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 125000005395 methacrylic acid group Chemical group 0.000 claims description 2
- 238000009413 insulation Methods 0.000 claims 1
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 abstract description 25
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 abstract description 6
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 28
- -1 barriers Substances 0.000 description 27
- 229920002126 Acrylic acid copolymer Polymers 0.000 description 24
- 229920003145 methacrylic acid copolymer Polymers 0.000 description 24
- 229940117841 methacrylic acid copolymer Drugs 0.000 description 24
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 19
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 19
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 18
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 18
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 18
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 18
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 16
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 14
- 239000008367 deionised water Substances 0.000 description 13
- 229910021641 deionized water Inorganic materials 0.000 description 13
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 13
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 13
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 11
- 230000008569 process Effects 0.000 description 11
- 230000009471 action Effects 0.000 description 10
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 9
- 239000010408 film Substances 0.000 description 9
- 239000011164 primary particle Substances 0.000 description 9
- BJEPYKJPYRNKOW-REOHCLBHSA-N (S)-malic acid Chemical compound OC(=O)[C@@H](O)CC(O)=O BJEPYKJPYRNKOW-REOHCLBHSA-N 0.000 description 8
- 229910000881 Cu alloy Inorganic materials 0.000 description 8
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- BJEPYKJPYRNKOW-UHFFFAOYSA-N alpha-hydroxysuccinic acid Natural products OC(=O)C(O)CC(O)=O BJEPYKJPYRNKOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000001630 malic acid Substances 0.000 description 8
- 235000011090 malic acid Nutrition 0.000 description 8
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 7
- 239000008119 colloidal silica Substances 0.000 description 7
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 7
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 7
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 7
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 7
- MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N Oxalic acid Chemical compound OC(=O)C(O)=O MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000002202 Polyethylene glycol Substances 0.000 description 6
- LWMFAFLIWMPZSX-UHFFFAOYSA-N bis[2-(4,5-dihydro-1h-imidazol-2-yl)propan-2-yl]diazene Chemical compound N=1CCNC=1C(C)(C)N=NC(C)(C)C1=NCCN1 LWMFAFLIWMPZSX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000007853 buffer solution Substances 0.000 description 6
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 6
- 229920001223 polyethylene glycol Polymers 0.000 description 6
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 6
- 239000012964 benzotriazole Substances 0.000 description 5
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 5
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 5
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 5
- 150000007522 mineralic acids Chemical class 0.000 description 5
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 5
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 description 5
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 5
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- MZLGASXMSKOWSE-UHFFFAOYSA-N tantalum nitride Chemical compound [Ta]#N MZLGASXMSKOWSE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 5
- FERIUCNNQQJTOY-UHFFFAOYSA-N Butyric acid Chemical compound CCCC(O)=O FERIUCNNQQJTOY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- AEMRFAOFKBGASW-UHFFFAOYSA-N Glycolic acid Chemical compound OCC(O)=O AEMRFAOFKBGASW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N Tetrahydrofuran Chemical compound C1CCOC1 WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N Titanium nitride Chemical compound [Ti]#N NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- WPYMKLBDIGXBTP-UHFFFAOYSA-N benzoic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=CC=C1 WPYMKLBDIGXBTP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- QRUDEWIWKLJBPS-UHFFFAOYSA-N benzotriazole Chemical compound C1=CC=C2N[N][N]C2=C1 QRUDEWIWKLJBPS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N imidazole Natural products C1=CNC=N1 RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 235000005985 organic acids Nutrition 0.000 description 4
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 4
- YGSDEFSMJLZEOE-UHFFFAOYSA-N salicylic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=CC=C1O YGSDEFSMJLZEOE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 4
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- NQPDZGIKBAWPEJ-UHFFFAOYSA-N valeric acid Chemical compound CCCCC(O)=O NQPDZGIKBAWPEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- RTBFRGCFXZNCOE-UHFFFAOYSA-N 1-methylsulfonylpiperidin-4-one Chemical compound CS(=O)(=O)N1CCC(=O)CC1 RTBFRGCFXZNCOE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XLSZMDLNRCVEIJ-UHFFFAOYSA-N 4-methylimidazole Chemical compound CC1=CNC=N1 XLSZMDLNRCVEIJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N Acetic acid Chemical compound CC(O)=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 3
- KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M Potassium hydroxide Chemical compound [OH-].[K+] KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- OMOVVBIIQSXZSZ-UHFFFAOYSA-N [6-(4-acetyloxy-5,9a-dimethyl-2,7-dioxo-4,5a,6,9-tetrahydro-3h-pyrano[3,4-b]oxepin-5-yl)-5-formyloxy-3-(furan-3-yl)-3a-methyl-7-methylidene-1a,2,3,4,5,6-hexahydroindeno[1,7a-b]oxiren-4-yl] 2-hydroxy-3-methylpentanoate Chemical compound CC12C(OC(=O)C(O)C(C)CC)C(OC=O)C(C3(C)C(CC(=O)OC4(C)COC(=O)CC43)OC(C)=O)C(=C)C32OC3CC1C=1C=COC=1 OMOVVBIIQSXZSZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- JFCQEDHGNNZCLN-UHFFFAOYSA-N anhydrous glutaric acid Natural products OC(=O)CCCC(O)=O JFCQEDHGNNZCLN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 3
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 3
- KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-N citric acid Chemical compound OC(=O)CC(O)(C(O)=O)CC(O)=O KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 3
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 3
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 3
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 3
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 3
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 3
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 3
- 229920002635 polyurethane Polymers 0.000 description 3
- 239000004814 polyurethane Substances 0.000 description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 3
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 3
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 3
- YXIWHUQXZSMYRE-UHFFFAOYSA-N 1,3-benzothiazole-2-thiol Chemical compound C1=CC=C2SC(S)=NC2=C1 YXIWHUQXZSMYRE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KJUGUADJHNHALS-UHFFFAOYSA-N 1H-tetrazole Chemical compound C=1N=NNN=1 KJUGUADJHNHALS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DEPDDPLQZYCHOH-UHFFFAOYSA-N 1h-imidazol-2-amine Chemical compound NC1=NC=CN1 DEPDDPLQZYCHOH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LLPKQRMDOFYSGZ-UHFFFAOYSA-N 2,5-dimethyl-1h-imidazole Chemical compound CC1=CN=C(C)N1 LLPKQRMDOFYSGZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OZAIFHULBGXAKX-UHFFFAOYSA-N 2-(2-cyanopropan-2-yldiazenyl)-2-methylpropanenitrile Chemical compound N#CC(C)(C)N=NC(C)(C)C#N OZAIFHULBGXAKX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LXBGSDVWAMZHDD-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-1h-imidazole Chemical compound CC1=NC=CN1 LXBGSDVWAMZHDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HRPVXLWXLXDGHG-UHFFFAOYSA-N Acrylamide Chemical compound NC(=O)C=C HRPVXLWXLXDGHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KLSJWNVTNUYHDU-UHFFFAOYSA-N Amitrole Chemical compound NC1=NC=NN1 KLSJWNVTNUYHDU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NLXLAEXVIDQMFP-UHFFFAOYSA-N Ammonia chloride Chemical compound [NH4+].[Cl-] NLXLAEXVIDQMFP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000005711 Benzoic acid Substances 0.000 description 2
- QPLDLSVMHZLSFG-UHFFFAOYSA-N Copper oxide Chemical compound [Cu]=O QPLDLSVMHZLSFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000005751 Copper oxide Substances 0.000 description 2
- FEWJPZIEWOKRBE-JCYAYHJZSA-N Dextrotartaric acid Chemical compound OC(=O)[C@H](O)[C@@H](O)C(O)=O FEWJPZIEWOKRBE-JCYAYHJZSA-N 0.000 description 2
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910019142 PO4 Inorganic materials 0.000 description 2
- CZPWVGJYEJSRLH-UHFFFAOYSA-N Pyrimidine Chemical compound C1=CN=CN=C1 CZPWVGJYEJSRLH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920002125 Sokalan® Polymers 0.000 description 2
- KDYFGRWQOYBRFD-UHFFFAOYSA-N Succinic acid Natural products OC(=O)CCC(O)=O KDYFGRWQOYBRFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910001362 Ta alloys Inorganic materials 0.000 description 2
- FEWJPZIEWOKRBE-UHFFFAOYSA-N Tartaric acid Natural products [H+].[H+].[O-]C(=O)C(O)C(O)C([O-])=O FEWJPZIEWOKRBE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910001080 W alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000007513 acids Chemical class 0.000 description 2
- WNLRTRBMVRJNCN-UHFFFAOYSA-N adipic acid Chemical compound OC(=O)CCCCC(O)=O WNLRTRBMVRJNCN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052783 alkali metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000001340 alkali metals Chemical class 0.000 description 2
- 229910052784 alkaline earth metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000001342 alkaline earth metals Chemical class 0.000 description 2
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JOSWYUNQBRPBDN-UHFFFAOYSA-P ammonium dichromate Chemical compound [NH4+].[NH4+].[O-][Cr](=O)(=O)O[Cr]([O-])(=O)=O JOSWYUNQBRPBDN-UHFFFAOYSA-P 0.000 description 2
- ROOXNKNUYICQNP-UHFFFAOYSA-N ammonium persulfate Chemical compound [NH4+].[NH4+].[O-]S(=O)(=O)OOS([O-])(=O)=O ROOXNKNUYICQNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 2
- 235000010233 benzoic acid Nutrition 0.000 description 2
- KDYFGRWQOYBRFD-NUQCWPJISA-N butanedioic acid Chemical compound O[14C](=O)CC[14C](O)=O KDYFGRWQOYBRFD-NUQCWPJISA-N 0.000 description 2
- 125000003178 carboxy group Chemical group [H]OC(*)=O 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 230000003750 conditioning effect Effects 0.000 description 2
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 2
- 229910000431 copper oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 2
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- XBDQKXXYIPTUBI-UHFFFAOYSA-N dimethylselenoniopropionate Natural products CCC(O)=O XBDQKXXYIPTUBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 2
- 239000006260 foam Substances 0.000 description 2
- 238000005227 gel permeation chromatography Methods 0.000 description 2
- MNWFXJYAOYHMED-UHFFFAOYSA-N heptanoic acid Chemical compound CCCCCCC(O)=O MNWFXJYAOYHMED-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-N hexanoic acid Chemical compound CCCCCC(O)=O FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920001519 homopolymer Polymers 0.000 description 2
- WQYVRQLZKVEZGA-UHFFFAOYSA-N hypochlorite Chemical compound Cl[O-] WQYVRQLZKVEZGA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FGKJLKRYENPLQH-UHFFFAOYSA-N isocaproic acid Chemical compound CC(C)CCC(O)=O FGKJLKRYENPLQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JVTAAEKCZFNVCJ-UHFFFAOYSA-N lactic acid Chemical compound CC(O)C(O)=O JVTAAEKCZFNVCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BDAGIHXWWSANSR-UHFFFAOYSA-N methanoic acid Natural products OC=O BDAGIHXWWSANSR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- WWZKQHOCKIZLMA-UHFFFAOYSA-N octanoic acid Chemical compound CCCCCCCC(O)=O WWZKQHOCKIZLMA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 235000006408 oxalic acid Nutrition 0.000 description 2
- FJKROLUGYXJWQN-UHFFFAOYSA-N papa-hydroxy-benzoic acid Natural products OC(=O)C1=CC=C(O)C=C1 FJKROLUGYXJWQN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-K phosphate Chemical compound [O-]P([O-])([O-])=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 2
- 239000010452 phosphate Substances 0.000 description 2
- XNGIFLGASWRNHJ-UHFFFAOYSA-L phthalate(2-) Chemical compound [O-]C(=O)C1=CC=CC=C1C([O-])=O XNGIFLGASWRNHJ-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- XNGIFLGASWRNHJ-UHFFFAOYSA-N phthalic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=CC=C1C(O)=O XNGIFLGASWRNHJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WLJVNTCWHIRURA-UHFFFAOYSA-N pimelic acid Chemical compound OC(=O)CCCCCC(O)=O WLJVNTCWHIRURA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 2
- 239000004584 polyacrylic acid Substances 0.000 description 2
- 229920001444 polymaleic acid Polymers 0.000 description 2
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 2
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 2
- LOAUVZALPPNFOQ-UHFFFAOYSA-N quinaldic acid Chemical compound C1=CC=CC2=NC(C(=O)O)=CC=C21 LOAUVZALPPNFOQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000003304 ruthenium compounds Chemical class 0.000 description 2
- 229960004889 salicylic acid Drugs 0.000 description 2
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 2
- 238000004062 sedimentation Methods 0.000 description 2
- LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N silicon monoxide Chemical class [Si-]#[O+] LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 230000002195 synergetic effect Effects 0.000 description 2
- 150000003482 tantalum compounds Chemical class 0.000 description 2
- 239000011975 tartaric acid Substances 0.000 description 2
- 235000002906 tartaric acid Nutrition 0.000 description 2
- YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N tetrahydrofuran Natural products C=1C=COC=1 YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M tetramethylammonium hydroxide Chemical compound [OH-].C[N+](C)(C)C WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- JOXIMZWYDAKGHI-UHFFFAOYSA-N toluene-4-sulfonic acid Chemical compound CC1=CC=C(S(O)(=O)=O)C=C1 JOXIMZWYDAKGHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229940005605 valeric acid Drugs 0.000 description 2
- MLIWQXBKMZNZNF-KUHOPJCQSA-N (2e)-2,6-bis[(4-azidophenyl)methylidene]-4-methylcyclohexan-1-one Chemical compound O=C1\C(=C\C=2C=CC(=CC=2)N=[N+]=[N-])CC(C)CC1=CC1=CC=C(N=[N+]=[N-])C=C1 MLIWQXBKMZNZNF-KUHOPJCQSA-N 0.000 description 1
- OBETXYAYXDNJHR-SSDOTTSWSA-M (2r)-2-ethylhexanoate Chemical compound CCCC[C@@H](CC)C([O-])=O OBETXYAYXDNJHR-SSDOTTSWSA-M 0.000 description 1
- RBNPOMFGQQGHHO-UHFFFAOYSA-N -2,3-Dihydroxypropanoic acid Natural products OCC(O)C(O)=O RBNPOMFGQQGHHO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FQXOOGHQVPKHPG-UHFFFAOYSA-N 1,3-diazinane-2,4,5-trione Chemical compound O=C1NCC(=O)C(=O)N1 FQXOOGHQVPKHPG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FBQJKKPQBMSWEP-UHFFFAOYSA-N 1,3-diphenyl-1,3-diazinane-2,4,6-trione Chemical compound O=C1CC(=O)N(C=2C=CC=CC=2)C(=O)N1C1=CC=CC=C1 FBQJKKPQBMSWEP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VBXZSFNZVNDOPB-UHFFFAOYSA-N 1,4,5,6-tetrahydropyrimidine Chemical compound C1CNC=NC1 VBXZSFNZVNDOPB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ASOKPJOREAFHNY-UHFFFAOYSA-N 1-Hydroxybenzotriazole Chemical compound C1=CC=C2N(O)N=NC2=C1 ASOKPJOREAFHNY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FPIRBHDGWMWJEP-UHFFFAOYSA-N 1-hydroxy-7-azabenzotriazole Chemical compound C1=CN=C2N(O)N=NC2=C1 FPIRBHDGWMWJEP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QWENRTYMTSOGBR-UHFFFAOYSA-N 1H-1,2,3-Triazole Chemical compound C=1C=NNN=1 QWENRTYMTSOGBR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JTTIOYHBNXDJOD-UHFFFAOYSA-N 2,4,6-triaminopyrimidine Chemical compound NC1=CC(N)=NC(N)=N1 JTTIOYHBNXDJOD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DPVIABCMTHHTGB-UHFFFAOYSA-N 2,4,6-trichloropyrimidine Chemical compound ClC1=CC(Cl)=NC(Cl)=N1 DPVIABCMTHHTGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RJVAFLZWVUIBOU-UHFFFAOYSA-N 2,4,6-trimethoxypyrimidine Chemical compound COC1=CC(OC)=NC(OC)=N1 RJVAFLZWVUIBOU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SZKWMQWGJPCXOF-UHFFFAOYSA-N 2,4,6-triphenylpyrimidine Chemical compound C1=CC=CC=C1C1=CC(C=2C=CC=CC=2)=NC(C=2C=CC=CC=2)=N1 SZKWMQWGJPCXOF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SWELIMKTDYHAOY-UHFFFAOYSA-N 2,4-diamino-6-hydroxypyrimidine Chemical compound NC1=CC(=O)N=C(N)N1 SWELIMKTDYHAOY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HMOYKDCLYCJGHG-UHFFFAOYSA-N 2-(2h-benzotriazol-4-ylmethyl)butanedioic acid Chemical compound OC(=O)CC(C(O)=O)CC1=CC=CC2=NNN=C12 HMOYKDCLYCJGHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PAWQVTBBRAZDMG-UHFFFAOYSA-N 2-(3-bromo-2-fluorophenyl)acetic acid Chemical compound OC(=O)CC1=CC=CC(Br)=C1F PAWQVTBBRAZDMG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OXQGTIUCKGYOAA-UHFFFAOYSA-N 2-Ethylbutanoic acid Chemical compound CCC(CC)C(O)=O OXQGTIUCKGYOAA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SLLDUURXGMDOCY-UHFFFAOYSA-N 2-butyl-1h-imidazole Chemical compound CCCCC1=NC=CN1 SLLDUURXGMDOCY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PQAMFDRRWURCFQ-UHFFFAOYSA-N 2-ethyl-1h-imidazole Chemical compound CCC1=NC=CN1 PQAMFDRRWURCFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WLAMNBDJUVNPJU-UHFFFAOYSA-N 2-methylbutyric acid Chemical compound CCC(C)C(O)=O WLAMNBDJUVNPJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CVKMFSAVYPAZTQ-UHFFFAOYSA-N 2-methylhexanoic acid Chemical compound CCCCC(C)C(O)=O CVKMFSAVYPAZTQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QZHOHUNTQUNLLN-UHFFFAOYSA-N 2-methylsulfanyl-5,7-diphenyl-[1,2,4]triazolo[1,5-a]pyrimidine Chemical compound N12N=C(SC)N=C2N=C(C=2C=CC=CC=2)C=C1C1=CC=CC=C1 QZHOHUNTQUNLLN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FUOZJYASZOSONT-UHFFFAOYSA-N 2-propan-2-yl-1h-imidazole Chemical compound CC(C)C1=NC=CN1 FUOZJYASZOSONT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MKBBSFGKFMQPPC-UHFFFAOYSA-N 2-propyl-1h-imidazole Chemical compound CCCC1=NC=CN1 MKBBSFGKFMQPPC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LLEASVZEQBICSN-UHFFFAOYSA-N 2-undecyl-1h-imidazole Chemical compound CCCCCCCCCCCC1=NC=CN1 LLEASVZEQBICSN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JMTMSDXUXJISAY-UHFFFAOYSA-N 2H-benzotriazol-4-ol Chemical compound OC1=CC=CC2=C1N=NN2 JMTMSDXUXJISAY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LJRXNXBFJXXRNQ-UHFFFAOYSA-N 2h-[1,2,4]triazolo[4,3-a]pyridin-3-one Chemical compound C1=CC=CN2C(=O)NN=C21 LJRXNXBFJXXRNQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YTZPUTADNGREHA-UHFFFAOYSA-N 2h-benzo[e]benzotriazole Chemical compound C1=CC2=CC=CC=C2C2=NNN=C21 YTZPUTADNGREHA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ULRPISSMEBPJLN-UHFFFAOYSA-N 2h-tetrazol-5-amine Chemical compound NC1=NN=NN1 ULRPISSMEBPJLN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VQNDBXJTIJKJPV-UHFFFAOYSA-N 2h-triazolo[4,5-b]pyridine Chemical compound C1=CC=NC2=NNN=C21 VQNDBXJTIJKJPV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MLMQPDHYNJCQAO-UHFFFAOYSA-N 3,3-dimethylbutyric acid Chemical compound CC(C)(C)CC(O)=O MLMQPDHYNJCQAO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FVKFHMNJTHKMRX-UHFFFAOYSA-N 3,4,6,7,8,9-hexahydro-2H-pyrimido[1,2-a]pyrimidine Chemical compound C1CCN2CCCNC2=N1 FVKFHMNJTHKMRX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SDXAWLJRERMRKF-UHFFFAOYSA-N 3,5-dimethyl-1h-pyrazole Chemical compound CC=1C=C(C)NN=1 SDXAWLJRERMRKF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VJEFVEHNRRGNQX-UHFFFAOYSA-N 3-(benzotriazol-1-yl)propane-1,1-diol Chemical compound C1=CC=C2N(CCC(O)O)N=NC2=C1 VJEFVEHNRRGNQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OSWFIVFLDKOXQC-UHFFFAOYSA-N 4-(3-methoxyphenyl)aniline Chemical compound COC1=CC=CC(C=2C=CC(N)=CC=2)=C1 OSWFIVFLDKOXQC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CMGDVUCDZOBDNL-UHFFFAOYSA-N 4-methyl-2h-benzotriazole Chemical compound CC1=CC=CC2=NNN=C12 CMGDVUCDZOBDNL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NSPMIYGKQJPBQR-UHFFFAOYSA-N 4H-1,2,4-triazole Chemical compound C=1N=CNN=1 NSPMIYGKQJPBQR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FYTLHYRDGXRYEY-UHFFFAOYSA-N 5-Methyl-3-pyrazolamine Chemical compound CC=1C=C(N)NN=1 FYTLHYRDGXRYEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QZBGOTVBHYKUDS-UHFFFAOYSA-N 5-amino-1,2-dihydropyrazol-3-one Chemical compound NC1=CC(=O)NN1 QZBGOTVBHYKUDS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GAHAURRLKFPBCQ-UHFFFAOYSA-N 5-hexyl-2h-benzotriazole Chemical compound CCCCCCC1=CC=C2NN=NC2=C1 GAHAURRLKFPBCQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XZGLNCKSNVGDNX-UHFFFAOYSA-N 5-methyl-2h-tetrazole Chemical compound CC=1N=NNN=1 XZGLNCKSNVGDNX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MARUHZGHZWCEQU-UHFFFAOYSA-N 5-phenyl-2h-tetrazole Chemical compound C1=CC=CC=C1C1=NNN=N1 MARUHZGHZWCEQU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- RBNPOMFGQQGHHO-UWTATZPHSA-N D-glyceric acid Chemical compound OC[C@@H](O)C(O)=O RBNPOMFGQQGHHO-UWTATZPHSA-N 0.000 description 1
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 description 1
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AEAAPULBRBHRTM-UHFFFAOYSA-N N1(N=NC2=C1C=CC=C2)COP(OCN2N=NC1=C2C=CC=C1)=O Chemical compound N1(N=NC2=C1C=CC=C2)COP(OCN2N=NC1=C2C=CC=C1)=O AEAAPULBRBHRTM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920005830 Polyurethane Foam Polymers 0.000 description 1
- ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N Potassium Chemical compound [K] ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000929 Ru alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N Ruthenium Chemical compound [Ru] KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920002341 Sokalan® CP 13 S Polymers 0.000 description 1
- BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N Tetraethyl orthosilicate Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)OCC BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001069 Ti alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- SRNKZYRMFBGSGE-UHFFFAOYSA-N [1,2,4]triazolo[1,5-a]pyrimidine Chemical compound N1=CC=CN2N=CN=C21 SRNKZYRMFBGSGE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 235000011054 acetic acid Nutrition 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 239000001361 adipic acid Substances 0.000 description 1
- 235000011037 adipic acid Nutrition 0.000 description 1
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 1
- 125000003172 aldehyde group Chemical group 0.000 description 1
- OBETXYAYXDNJHR-UHFFFAOYSA-N alpha-ethylcaproic acid Natural products CCCCC(CC)C(O)=O OBETXYAYXDNJHR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000012648 alternating copolymerization Methods 0.000 description 1
- 150000001408 amides Chemical class 0.000 description 1
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 description 1
- 150000001413 amino acids Chemical class 0.000 description 1
- 125000003277 amino group Chemical group 0.000 description 1
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000019270 ammonium chloride Nutrition 0.000 description 1
- 229910001870 ammonium persulfate Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000003863 ammonium salts Chemical class 0.000 description 1
- 229920006318 anionic polymer Polymers 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 150000001565 benzotriazoles Chemical class 0.000 description 1
- 239000004305 biphenyl Substances 0.000 description 1
- 238000012661 block copolymerization Methods 0.000 description 1
- 238000000861 blow drying Methods 0.000 description 1
- 150000001669 calcium Chemical class 0.000 description 1
- 238000011088 calibration curve Methods 0.000 description 1
- 150000004649 carbonic acid derivatives Chemical group 0.000 description 1
- 125000002915 carbonyl group Chemical group [*:2]C([*:1])=O 0.000 description 1
- 229920006317 cationic polymer Polymers 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- KRVSOGSZCMJSLX-UHFFFAOYSA-L chromic acid Substances O[Cr](O)(=O)=O KRVSOGSZCMJSLX-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 235000015165 citric acid Nutrition 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 230000001143 conditioned effect Effects 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 238000007872 degassing Methods 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- JJQZDUKDJDQPMQ-UHFFFAOYSA-N dimethoxy(dimethyl)silane Chemical compound CO[Si](C)(C)OC JJQZDUKDJDQPMQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003618 dip coating Methods 0.000 description 1
- 238000010494 dissociation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000005593 dissociations Effects 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 238000001962 electrophoresis Methods 0.000 description 1
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 1
- 239000003480 eluent Substances 0.000 description 1
- 230000003628 erosive effect Effects 0.000 description 1
- 150000002170 ethers Chemical class 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- 229940104869 fluorosilicate Drugs 0.000 description 1
- RIKMMFOAQPJVMX-UHFFFAOYSA-N fomepizole Chemical compound CC=1C=NNC=1 RIKMMFOAQPJVMX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229960004285 fomepizole Drugs 0.000 description 1
- 235000019253 formic acid Nutrition 0.000 description 1
- AWJWCTOOIBYHON-UHFFFAOYSA-N furo[3,4-b]pyrazine-5,7-dione Chemical compound C1=CN=C2C(=O)OC(=O)C2=N1 AWJWCTOOIBYHON-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002334 glycols Chemical class 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 150000004820 halides Chemical class 0.000 description 1
- 125000001165 hydrophobic group Chemical group 0.000 description 1
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 1
- 239000003112 inhibitor Substances 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 150000002576 ketones Chemical class 0.000 description 1
- 239000004310 lactic acid Substances 0.000 description 1
- 235000014655 lactic acid Nutrition 0.000 description 1
- 150000002596 lactones Chemical class 0.000 description 1
- 239000002648 laminated material Substances 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 1
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- FQPSGWSUVKBHSU-UHFFFAOYSA-N methacrylamide Chemical compound CC(=C)C(N)=O FQPSGWSUVKBHSU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ADTJPOBHAXXXFS-UHFFFAOYSA-N n-[3-(dimethylamino)propyl]prop-2-enamide Chemical compound CN(C)CCCNC(=O)C=C ADTJPOBHAXXXFS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UKKHWKNEQBGLMI-UHFFFAOYSA-N n-pyrimidin-2-ylacetamide Chemical compound CC(=O)NC1=NC=CC=N1 UKKHWKNEQBGLMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000000449 nitro group Chemical group [O-][N+](*)=O 0.000 description 1
- 239000004745 nonwoven fabric Substances 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KHIWWQKSHDUIBK-UHFFFAOYSA-N periodic acid Chemical compound OI(=O)(=O)=O KHIWWQKSHDUIBK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JRKICGRDRMAZLK-UHFFFAOYSA-L peroxydisulfate Chemical compound [O-]S(=O)(=O)OOS([O-])(=O)=O JRKICGRDRMAZLK-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 150000002989 phenols Chemical class 0.000 description 1
- 125000001997 phenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(*)C([H])=C1[H] 0.000 description 1
- 229920003209 poly(hydridosilsesquioxane) Polymers 0.000 description 1
- 239000011496 polyurethane foam Substances 0.000 description 1
- 229910052700 potassium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011591 potassium Substances 0.000 description 1
- 235000019260 propionic acid Nutrition 0.000 description 1
- LJXQPZWIHJMPQQ-UHFFFAOYSA-N pyrimidin-2-amine Chemical compound NC1=NC=CC=N1 LJXQPZWIHJMPQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MQEFDQWUCTUJCP-UHFFFAOYSA-N pyrimidine-2,4,5,6-tetramine;sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O.NC1=NC(N)=C(N)C(N)=N1 MQEFDQWUCTUJCP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YAAWASYJIRZXSZ-UHFFFAOYSA-N pyrimidine-2,4-diamine Chemical compound NC1=CC=NC(N)=N1 YAAWASYJIRZXSZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000714 pyrimidinyl group Chemical group 0.000 description 1
- JBDKAABFESSFMV-UHFFFAOYSA-N pyrrolo[1,2-a]pyrimidine Chemical compound N1=CC=CN2C=CC=C21 JBDKAABFESSFMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IUVKMZGDUIUOCP-BTNSXGMBSA-N quinbolone Chemical compound O([C@H]1CC[C@H]2[C@H]3[C@@H]([C@]4(C=CC(=O)C=C4CC3)C)CC[C@@]21C)C1=CCCC1 IUVKMZGDUIUOCP-BTNSXGMBSA-N 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- ORIHZIZPTZTNCU-YVMONPNESA-N salicylaldoxime Chemical compound O\N=C/C1=CC=CC=C1O ORIHZIZPTZTNCU-YVMONPNESA-N 0.000 description 1
- DCKVNWZUADLDEH-UHFFFAOYSA-N sec-butyl acetate Chemical compound CCC(C)OC(C)=O DCKVNWZUADLDEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000002914 sec-butyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 239000005368 silicate glass Substances 0.000 description 1
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 238000002791 soaking Methods 0.000 description 1
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 1
- 238000003980 solgel method Methods 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 1
- HXJUTPCZVOIRIF-UHFFFAOYSA-N sulfolane Chemical class O=S1(=O)CCCC1 HXJUTPCZVOIRIF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000001174 sulfone group Chemical group 0.000 description 1
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 1
- 229940042055 systemic antimycotics triazole derivative Drugs 0.000 description 1
- 239000013076 target substance Substances 0.000 description 1
- 150000003512 tertiary amines Chemical class 0.000 description 1
- UAXOELSVPTZZQG-UHFFFAOYSA-N tiglic acid Natural products CC(C)=C(C)C(O)=O UAXOELSVPTZZQG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000003609 titanium compounds Chemical class 0.000 description 1
- PQDJYEQOELDLCP-UHFFFAOYSA-N trimethylsilane Chemical compound C[SiH](C)C PQDJYEQOELDLCP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000003658 tungsten compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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- H01L21/31051—Planarisation of the insulating layers
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Abstract
本発明は、(1)ストッパとしての窒化珪素と、該ストッパより被研磨面側に(2)配線金属の少なくとも一部及び(3)絶縁材料の少なくとも一部とを有する基板を用意する工程、CMP研磨液を供給して、前記被研磨面側の(2)配線金属及び(3)絶縁材料を研磨する工程及び(1)窒化珪素が露出しかつ完全に除去される前に研磨を停止する工程を有し、前記CMP研磨液は、(A)(a)アニオン性であり疎水性置換基を含まないモノマーと(b)疎水性置換基を含むモノマーとの共重合体、(B)砥粒、(C)酸、(D)酸化剤及び(E)液状媒体を含み、(B)成分はCMP研磨液中で+10mV以上のゼータ電位を有し、(A)成分の共重合比(a):(b)がモル比で25:75〜75:25であり、かつpHが5.0以下である、研磨方法に関する。これにより、金属と層間絶縁膜を高い研磨速度で除去しつつ、層間絶縁膜とストッパとを高い選択比で研磨して、寸法精度の高い半導体デバイスを製造できる。
Description
本発明は、半導体デバイスの配線形成工程等における研磨に使用される、化学機械研磨を用いる研磨方法に関する。
近年、半導体集積回路(以下、「LSI」という。)の高集積化、高性能化に伴って新たな微細加工技術が開発されている。化学機械研磨(Chemical Mechanical Polishing。以下、「CMP」という。)による研磨方法(以下「CMP方法」という。)もその一つである。CMP方法はLSI製造工程に利用され、特に多層配線形成工程における、層間絶縁材料の平坦化、金属プラグの形成、埋め込み配線の形成において頻繁に利用される技術である。
埋め込み配線の形成については、ダマシン法が主に採用されている。すなわち、あらかじめ凹部(溝部)及び凸部(隆起部)が形成してある絶縁材料(層間絶縁材料)上に銅又は銅合金の薄膜を堆積して凹部に銅又は銅合金を埋め込み、次いで、凸部上に堆積した薄膜(凹部以外の薄膜)をCMPにより除去して埋め込み配線を形成する方法である。
一方、銅又は銅合金等の配線金属の下部には、層間絶縁材料中への配線金属の拡散防止や密着性向上のためのバリア部として、例えば、タンタル、タンタル合金、窒化タンタル等の導体からなる部分が形成される。銅又は銅合金等の配線金属が埋め込まれた配線部以外では、露出したバリア部をCMPにより取り除く必要がある。なお、バリア部に用いられる金属を、以下、バリア金属という。
このようなダマシン法においては、一般に、複数種のCMP研磨液(以下、単に「研磨液」ということがある。)を用意し、配線金属のみを研磨で除去し、次いで、バリア金属のみ又はバリア金属と層間絶縁材料を研磨で除去する、複数のステップで研磨が行われる。これは、研磨液は、化学的作用と機械的作用の相乗効果で研磨をするものであるため、特定の研磨対象物質を研磨で除去するには、その物質専用の研磨液が必要になるからである。前記のような配線金属のみを研磨するCMP方法としては、例えば特許文献1に記載されており、バリア金属と層間絶縁材料を研磨するCMP方法は例えば特許文献2に記載されている。
研磨液には、研磨対象物に対する研磨速度の向上や、研磨後の表面の平坦性向上等を目的として、各種添加剤が添加される。例えば、特許文献3には、バリア金属と層間絶縁材料を研磨するCMP方法において、研磨液中にメタクリル酸系ポリマーを含有することによって、層間絶縁材料に対する研磨速度を向上させ、エロージョンやシームを抑制する技術が記載されている。
近年は、LSI形成技術とCMPに使用する研磨液との進歩により、更に多様な用途でのCMP技術の適用が検討されている。また、従来用途においても、導電性物質、バリア、層間絶縁材料等に新たな材料が適用されているため、CMP方法の研磨対象物は多岐にわたるようになった。
新たな研磨対象物の出現によりCMPの適用範囲が広がると、研磨液には新たな研磨特性が求められるようになった。例えば、高研磨速度で研磨対象物を除去しつつ任意の厚みで研磨を止める研磨方法は、研磨対象物の下部にストッパを有する基体を用意し、研磨液を用いて研磨対象物を除去し、ストッパが露出した時点で研磨が終了するようにしなければならない。しかしながら、前記ダマシン法においては、ストッパを用いて研磨を停止する研磨方法は、通常、行われておらず、従って、それに適した研磨液も開発されていない。例えば、従来の前記特許文献1〜3に記載の研磨液は、それぞれ、金属や層間絶縁材料に対する研磨速度について述べられているものの、それ以外のストッパのような材料を有する基板を研磨することについて触れられていない。
ストッパを用いたCMP方法の場合、ストッパの上部にある研磨対象物を高研磨速度で除去するには研磨液の砥粒等によってCMPの機械的作用を強くする必要があるが、その場合、同時にストッパも削れ易くなるという課題がある。
ストッパの上部に存在する研磨対象物を高研磨速度で除去しつつ、ストッパで精度高く研磨を止めるためには、研磨対象物の研磨速度と、ストッパの研磨速度との比、が大きい必要がある。この研磨速度比は「研磨対象物とストッパとの選択比」とも呼ばれる。研磨対象物とストッパとの研磨速度比が大きいことを選択比が高い(高選択比)という。
ところで、前記のように、近年はLSI形成技術の進歩により、LSIの構造がより複雑化及び多様化している。その一例として、配線金属、バリア金属等の金属と、酸化珪素等の絶縁材料とを研磨対象物とし、かつ窒化珪素、炭化珪素等をストッパとする構造が提案されている。
配線金属、バリア金属等の金属と、酸化珪素等の絶縁材料とを研磨対象物とし、かつ窒化珪素、炭化珪素等をストッパとする場合、研磨対象物の一部(例えば、バリア金属及び酸化珪素)及びストッパとして使用される物質のCMP速度は、化学的作用よりも機械的作用に影響されやすいと考えられる。そのため、金属に対する研磨速度を維持しつつ、絶縁材料とストッパとの間の選択比を高くすることは難しい。
本発明は、これらの課題を解決しようとするものであって、配線金属、バリア金属等の金属に対するCMP速度が良好で、かつ、絶縁材料とストッパとの間の選択比が高い研磨方法を提供するものである。これにより、従来作製が難しかった構造(特にLSI構造)を得ることができる。
本発明者らは、CMP研磨液を用いてCMPする際に、ストッパを保護する部分を形成し、かつ砥粒の効果を低減させれば、ストッパの研磨速度を遅くして前記の課題を克服することができると着想し、鋭意検討を行った。
本発明は、配線金属、バリア金属、絶縁材料を研磨対象物とし、窒化珪素をストッパとし、かつアニオン性モノマーと疎水性置換基を含むモノマーとの共重合体を含む研磨液を用いる研磨方法により、絶縁材料/ストッパの選択比を高くできることを見いだしてなされたものである。
本発明の具体的な態様は、以下のものに関する。
(1) ストッパとしての窒化珪素と、配線金属及び絶縁材料とを有し、かつ、前記ストッパより被研磨面側に、前記配線金属の少なくとも一部及び前記絶縁材料の少なくとも一部を有する基板を用意する工程、
前記基板の被研磨面と研磨パッドとの間にCMP研磨液を供給して、前記窒化珪素より被研磨面側に位置する前記配線金属及び前記絶縁材料を研磨する工程及び
前記窒化珪素が露出し、かつ前記窒化珪素が完全に除去される前に、研磨を停止する工程、を有し、
前記CMP研磨液は、
(A)(a)アニオン性であって疎水性置換基を含まないモノマーと、(b)疎水性置換基を含むモノマーとの共重合体、
(B)砥粒、
(C)酸、
(D)酸化剤及び
(E)液状媒体を含有してなり、
前記(B)成分は、CMP研磨液中で+10mV以上のゼータ電位を有し、
前記(A)成分は、(a)と(b)の共重合比((a):(b))が、モル比で25:75〜75:25であり、かつ、
pHが5.0以下である、
研磨方法。
(1) ストッパとしての窒化珪素と、配線金属及び絶縁材料とを有し、かつ、前記ストッパより被研磨面側に、前記配線金属の少なくとも一部及び前記絶縁材料の少なくとも一部を有する基板を用意する工程、
前記基板の被研磨面と研磨パッドとの間にCMP研磨液を供給して、前記窒化珪素より被研磨面側に位置する前記配線金属及び前記絶縁材料を研磨する工程及び
前記窒化珪素が露出し、かつ前記窒化珪素が完全に除去される前に、研磨を停止する工程、を有し、
前記CMP研磨液は、
(A)(a)アニオン性であって疎水性置換基を含まないモノマーと、(b)疎水性置換基を含むモノマーとの共重合体、
(B)砥粒、
(C)酸、
(D)酸化剤及び
(E)液状媒体を含有してなり、
前記(B)成分は、CMP研磨液中で+10mV以上のゼータ電位を有し、
前記(A)成分は、(a)と(b)の共重合比((a):(b))が、モル比で25:75〜75:25であり、かつ、
pHが5.0以下である、
研磨方法。
(2) ストッパとしての窒化珪素と、配線金属、バリア金属及び絶縁材料とを有し、かつ、前記ストッパより被研磨面側に、前記配線金属の少なくとも一部、前記バリア金属の少なくとも一部及び前記絶縁材料の少なくとも一部を有する基板を用意する工程、
前記基板の被研磨面と研磨パッドとの間にCMP研磨液を供給して、前記窒化珪素より被研磨面側に位置する前記配線金属、前記バリア金属及び前記絶縁材料を研磨する工程及び
前記窒化珪素が露出し、かつ前記窒化珪素が完全に除去される前に、研磨を停止する工程、を有し、
前記CMP研磨液は、
(A)(a)アニオン性であって疎水性置換基を含まないモノマーと、(b)疎水性置換基を含むモノマーとの共重合体、
(B)砥粒、
(C)酸、
(D)酸化剤及び
(E)液状媒体を含有してなり、
前記(B)成分は、CMP研磨液中で+10mV以上のゼータ電位を有し、
前記(A)成分は、(a)と(b)の共重合比((a):(b))が、モル比で25:75〜75:25であり、かつ、
pHが5.0以下である、
研磨方法。
前記基板の被研磨面と研磨パッドとの間にCMP研磨液を供給して、前記窒化珪素より被研磨面側に位置する前記配線金属、前記バリア金属及び前記絶縁材料を研磨する工程及び
前記窒化珪素が露出し、かつ前記窒化珪素が完全に除去される前に、研磨を停止する工程、を有し、
前記CMP研磨液は、
(A)(a)アニオン性であって疎水性置換基を含まないモノマーと、(b)疎水性置換基を含むモノマーとの共重合体、
(B)砥粒、
(C)酸、
(D)酸化剤及び
(E)液状媒体を含有してなり、
前記(B)成分は、CMP研磨液中で+10mV以上のゼータ電位を有し、
前記(A)成分は、(a)と(b)の共重合比((a):(b))が、モル比で25:75〜75:25であり、かつ、
pHが5.0以下である、
研磨方法。
(3) ストッパとしての窒化珪素と、配線金属、バリア金属、及び絶縁材料とを有し、かつ、前記ストッパより被研磨面側に、前記配線金属の少なくとも一部、前記バリア金属の少なくとも一部及び前記絶縁材料の少なくとも一部を有し、更に、前記窒化珪素、前記絶縁材料、前記バリア金属、前記配線金属を、この順に被研磨面側に積層した部分を有する基板を用意する工程、
前記窒化珪素より被研磨面側に位置する、少なくとも配線金属の一部を除去して前記バリア金属の一部を露出させる第一の研磨工程及び
前記窒化珪素より被研磨面側に位置する、少なくとも、前記バリア金属の一部及び前記絶縁材料の一部をCMPにより除去して、前記窒化珪素を露出させ、かつ前記窒化珪素が完全に除去される前に研磨を停止する第二の研磨工程を含み、
少なくとも前記第二の研磨工程で前記基板の被研磨面と研磨パッドとの間にCMP研磨液を供給する研磨方法であって、
前記CMP研磨液は、
(A)(a)アニオン性であって疎水性置換基を含まないモノマーと、(b)疎水性置換基を含むモノマーとの共重合体、
(B)砥粒、
(C)酸、
(D)酸化剤及び
(E)液状媒体を含有してなり、
前記(B)成分は、CMP研磨液中で+10mV以上のゼータ電位を有し、
前記(A)成分は、(a)と(b)の共重合比((a):(b))が、モル比で25:75〜75:25であり、かつ、
pHが5.0以下である、
研磨方法。
前記窒化珪素より被研磨面側に位置する、少なくとも配線金属の一部を除去して前記バリア金属の一部を露出させる第一の研磨工程及び
前記窒化珪素より被研磨面側に位置する、少なくとも、前記バリア金属の一部及び前記絶縁材料の一部をCMPにより除去して、前記窒化珪素を露出させ、かつ前記窒化珪素が完全に除去される前に研磨を停止する第二の研磨工程を含み、
少なくとも前記第二の研磨工程で前記基板の被研磨面と研磨パッドとの間にCMP研磨液を供給する研磨方法であって、
前記CMP研磨液は、
(A)(a)アニオン性であって疎水性置換基を含まないモノマーと、(b)疎水性置換基を含むモノマーとの共重合体、
(B)砥粒、
(C)酸、
(D)酸化剤及び
(E)液状媒体を含有してなり、
前記(B)成分は、CMP研磨液中で+10mV以上のゼータ電位を有し、
前記(A)成分は、(a)と(b)の共重合比((a):(b))が、モル比で25:75〜75:25であり、かつ、
pHが5.0以下である、
研磨方法。
(4) 前記CMP研磨液は、前記窒化珪素の研磨速度に対する前記絶縁材料の研磨速度の比(絶縁材料に対する研磨速度/窒化珪素に対する研磨速度)が、20以上である、前記(1)〜(3)のいずれかに記載の研磨方法。
(5) 前記(a)アニオン性であって疎水性置換基を含まないモノマーがアクリル酸及びマレイン酸からなる群から選択される少なくとも一種である前記(1)〜(3)のいずれかに記載の研磨方法。
(6) 前記(b)疎水性置換基を含むモノマーが、メタクリル酸、メタクリル酸メチル、メタクリル酸エチル、メタクリル酸プロピル、メタクリル酸ブチル、2−エチルアクリル酸、2−プロピルアクリル酸及び2−ブチルアクリル酸からなる群から選択される少なくとも一種である前記(1)〜(3)のいずれかに記載の研磨方法。
(7) 前記(A)成分が、アクリル酸とメタクリル酸との共重合体である前記(1)〜(3)のいずれかに記載の研磨方法。
(8) (B)成分が、シリカ、アルミナ、セリア、チタニア、ジルコニア、ゲルマニア及びこれらの変性物からなる群から選択される少なくとも一種である前記(1)〜(3)のいずれかに記載の研磨方法。
(9) (C)成分が有機酸である前記(1)〜(3)のいずれかに記載の研磨方法。
(10) 前記CMP研磨液が、(F)成分として、金属防食剤をさらに含有する前記(1)〜(3)のいずれかに記載の研磨方法。
本願の開示は、2012年3月14日に出願された、特願2012−056967号に記載の主題と関連しており、その開示内容は引用によりここに援用される。
本発明によれば、金属と層間絶縁材料のような絶縁材料とを高研磨速度で除去しつつ、ストッパで研磨を止める高選択比を実現できる。それにより、高い加工精度を維持した上で、工程時間の短縮をすることが可能となる。本発明の研磨方法によれば、配線形成工程や、金属の埋め込みパターン形成工程以外にもCMP技術を適用可能とし、寸法精度の高い半導体デバイスを設計及び製造できる。
(定義)
本発明の説明において、「物質Aを研磨する」及び「物質Aの研磨」とは、物質Aの少なくとも一部を研磨により除去することと定義される。「高いCMP速度」とは、研磨される物質がCMPにより除去される速度(例えば、時間あたりの厚みの低減量)が大きいことと定義される。
本発明の説明において、「物質Aを研磨する」及び「物質Aの研磨」とは、物質Aの少なくとも一部を研磨により除去することと定義される。「高いCMP速度」とは、研磨される物質がCMPにより除去される速度(例えば、時間あたりの厚みの低減量)が大きいことと定義される。
また、「物質A/物質Bの選択比」(物質Bに対する物質Aの選択比)は、(物質Aの研磨速度/物質Bの研磨速度)として定義される。
また、「(メタ)アクリル酸」とは、アクリル酸及びそれに対応するメタクリル酸を意味するものとする。「(メタ)アクリルアミド」とは、アクリルアミド及びそれに対応するメタクリルアミドを意味するものとする。
また、「〜」を用いて示された数値範囲は、「〜」の前後に記載される数値をそれぞれ最小値及び最大値として含む範囲を示す。
以下、本発明の実施形態を詳細に説明する。
[研磨方法]
(第一の実施形態)
本発明の研磨方法の第一の実施形態は、ストッパとしての窒化珪素と、配線金属及び絶縁材料とを有し、かつ、前記ストッパより被研磨面側に、前記配線金属の少なくとも一部及び前記絶縁材料の少なくとも一部を有する基板を用意する工程、
前記基板の被研磨面と研磨パッドとの間にCMP研磨液を供給して、前記窒化珪素より被研磨面側に位置する前記配線金属及び前記絶縁材料を研磨する工程及び
前記窒化珪素が露出し、かつ前記窒化珪素が完全に除去される前に、研磨を停止する工程、を有し、
前記CMP研磨液は、
(A)(a)アニオン性であって疎水性置換基を含まないモノマーと、(b)疎水性置換基を含むモノマーとの共重合体、
(B)砥粒、
(C)酸、
(D)酸化剤及び
(E)液状媒体を含有してなり、
前記(B)成分は、CMP研磨液中で+10mV以上のゼータ電位を有し、
前記(A)成分は、(a)と(b)の共重合比((a):(b))が、モル比で25:75〜75:25であり、かつ、
pHが5.0以下である、
研磨方法に関する。
[研磨方法]
(第一の実施形態)
本発明の研磨方法の第一の実施形態は、ストッパとしての窒化珪素と、配線金属及び絶縁材料とを有し、かつ、前記ストッパより被研磨面側に、前記配線金属の少なくとも一部及び前記絶縁材料の少なくとも一部を有する基板を用意する工程、
前記基板の被研磨面と研磨パッドとの間にCMP研磨液を供給して、前記窒化珪素より被研磨面側に位置する前記配線金属及び前記絶縁材料を研磨する工程及び
前記窒化珪素が露出し、かつ前記窒化珪素が完全に除去される前に、研磨を停止する工程、を有し、
前記CMP研磨液は、
(A)(a)アニオン性であって疎水性置換基を含まないモノマーと、(b)疎水性置換基を含むモノマーとの共重合体、
(B)砥粒、
(C)酸、
(D)酸化剤及び
(E)液状媒体を含有してなり、
前記(B)成分は、CMP研磨液中で+10mV以上のゼータ電位を有し、
前記(A)成分は、(a)と(b)の共重合比((a):(b))が、モル比で25:75〜75:25であり、かつ、
pHが5.0以下である、
研磨方法に関する。
前記用意する基板において、研磨で除去される対象は、前記ストッパより被研磨面側に位置する配線金属及び絶縁材料であって、基板における配線金属及び絶縁材料それぞれの少なくとも一部である。
図1に、本発明の研磨方法が好適に適用できる例として、前記第一の実施形態に基づく基板の研磨工程の断面模式図を示す。図1(a)において、1は絶縁材料で形成される層間絶縁膜、2は窒化珪素で形成されるストッパ、3は配線金属を示す。
図1(a)に示されるように、基板は、層間絶縁膜1、ストッパ2及び層間絶縁膜1がこの順に積層され、更に配線金属3が設けられることにより形成されているのが好ましい。配線金属3は前記積層を貫通するように設けるようにしてもよい。
研磨する工程において、基板の被研磨面と研磨パッドとの間に研磨液を供給する。なお、本発明における研磨液については後述する。
このような基板を研磨することにより、ストッパ2より被研磨面側に位置する、層間絶縁膜1と配線金属3とが除去される。本発明の研磨方法に用いる研磨液は、窒化珪素に対する研磨速度が充分に小さいので、ストッパ2が完全に露出し、かつ除去されずに残っている、図1(b)に示すような構造を得ることができる。このとき、ストッパ2の一部が研磨されてもよいが、完全には除去されないようにする。
(第二の実施形態)
本発明の研磨方法の第二の実施形態は、ストッパとしての窒化珪素と、配線金属、バリア金属及び絶縁材料とを有し、かつ、前記ストッパより被研磨面側に、前記配線金属の少なくとも一部、前記バリア金属の少なくとも一部及び前記絶縁材料の少なくとも一部を有する基板を用意する工程、
前記基板の被研磨面と研磨パッドとの間にCMP研磨液を供給して、前記窒化珪素より被研磨面側に位置する前記配線金属、前記バリア金属及び前記絶縁材料を研磨する工程及び
前記窒化珪素が露出し、かつ前記窒化珪素が完全に除去される前に、研磨を停止する工程、を有し、
前記CMP研磨液は、
(A)(a)アニオン性であって疎水性置換基を含まないモノマーと、(b)疎水性置換基を含むモノマーとの共重合体、
(B)砥粒、
(C)酸、
(D)酸化剤及び
(E)液状媒体を含有してなり、
前記(B)成分は、CMP研磨液中で+10mV以上のゼータ電位を有し、
前記(A)成分は、(a)と(b)の共重合比((a):(b))が、モル比で25:75〜75:25であり、かつ、
pHが5.0以下である、
研磨方法に関する。
本発明の研磨方法の第二の実施形態は、ストッパとしての窒化珪素と、配線金属、バリア金属及び絶縁材料とを有し、かつ、前記ストッパより被研磨面側に、前記配線金属の少なくとも一部、前記バリア金属の少なくとも一部及び前記絶縁材料の少なくとも一部を有する基板を用意する工程、
前記基板の被研磨面と研磨パッドとの間にCMP研磨液を供給して、前記窒化珪素より被研磨面側に位置する前記配線金属、前記バリア金属及び前記絶縁材料を研磨する工程及び
前記窒化珪素が露出し、かつ前記窒化珪素が完全に除去される前に、研磨を停止する工程、を有し、
前記CMP研磨液は、
(A)(a)アニオン性であって疎水性置換基を含まないモノマーと、(b)疎水性置換基を含むモノマーとの共重合体、
(B)砥粒、
(C)酸、
(D)酸化剤及び
(E)液状媒体を含有してなり、
前記(B)成分は、CMP研磨液中で+10mV以上のゼータ電位を有し、
前記(A)成分は、(a)と(b)の共重合比((a):(b))が、モル比で25:75〜75:25であり、かつ、
pHが5.0以下である、
研磨方法に関する。
用意する基板は、前記第一の実施形態で用意する基板に更にバリア金属を含み、研磨される対象はバリア金属の少なくとも一部を更に含む。すなわち、研磨で除去される対象は、前記ストッパより被研磨面側に位置するバリア金属及び絶縁材料であって、基板におけるバリア金属及び絶縁材料それぞれの少なくとも一部である。前記基板において、前記ストッパより被研磨面側の積層の順は、少なくとも前記ストッパ、前記絶縁材料、バリア金属の順が好ましい。
前記基板は、第一の実施形態のように、配線金属が前記積層を貫通するように設けられていてもよい。配線金属が積層を貫通する場合、バリア金属は、配線金属以外の積層の表面を被覆するように配置されるのが好ましい。これにより、バリア金属が、配線金属と絶縁材料との接触を防止できる。
この基板を第一の実施形態と同様に研磨して、ストッパである窒化珪素よりも被研磨面側の、バリア金属及び絶縁材料を除去し、ストッパが露出した状態で研磨を停止する。すなわち、本発明の研磨方法に用いる研磨液は、ストッパとして用いる窒化珪素に対する研磨速度が充分に小さいので、ストッパが完全に露出し、かつ除去されずに残っている。このとき、ストッパの一部が研磨されてもよいが、完全には除去されないようにする。なお、前記基板が配線金属を更に有する場合、配線金属、バリア金属及び絶縁材料を除去し、ストッパが露出した状態で研磨を停止する。
本発明の第二の実施形態が好適に適用できる例として、シリコン貫通ビア(TSV)形成工程を挙げることができる。TSVの形成方法は様々な方法が提案されているが、具体例として、素子を形成した後にビアを形成するVIA−LASTといわれる方法が挙げられる。
図2は、第二の実施形態に基づくVIA−LASTによるTSV形成の中間段階における基板を示す。図2(a)に示す基板を製造するには、まずシリコン基板4上に、層間絶縁材料5、ストッパ6及び層間絶縁材料7をこの順に形成する。前記層間絶縁膜1は、層間絶縁材料5、7によって形成されることが好ましい。
次に貫通ビアを形成する。さらに、層間絶縁材料5、ストッパ6及び層間絶縁材料7と、前記貫通ビアとを被覆するようにバリア金属8を形成する。最後に配線金属9を、スパッタリングや電解メッキ等の方法により、貫通ビアの凹部を埋め込むように積層して、図2(a)に示す構造の基板を得る。
次いで、第一の研磨工程において、研磨液を用いて配線金属9をCMPし、バリア金属8を露出させ、図2(b)に示す構造の基板を得る。第一の研磨工程に使用する研磨液は、配線金属/バリア金属の研磨速度比が充分大きい研磨液であれば、特に制限はない。第一の研磨工程の研磨により、ストッパである窒化珪素よりも被研磨面側の、配線金属の少なくとも一部が除去され、バリア金属の一部が被研磨面に露出する。研磨条件によっては、バリア金属より被研磨面側の配線金属がわずかに残る場合もあるが、次の工程でも配線金属を研磨することもできるので、大半の配線金属が除去されていれば差し支えない。以上により、本実施形態で研磨するための基板が用意される。
第二の実施形態における研磨工程は、前記第一の研磨工程で得られた基板を、本発明の研磨方法における前記研磨液を使用してCMPする、第二の研磨工程である。前記研磨液は、配線金属、バリア金属及び絶縁材料を研磨できるため、第二の研磨工程の研磨により除去されるのは、少なくとも、前記バリア金属の一部及び前記絶縁材料の一部である。具体的にはストッパ6である窒化珪素よりも被研磨面側の、バリア金属及び絶縁材料である。また、本発明の研磨方法における前記研磨液は、ストッパ6として用いる窒化珪素に対する研磨速度が充分小さいため、ストッパ6が完全に露出し、かつ除去されずに残っている状態で研磨が停止し、図2(c)に示す構造の基板を得る。このとき、ストッパ6の一部が研磨されてもよいが、完全には除去されないようにする。
(第三の実施形態)
本発明の研磨方法の第三の実施形態は、ストッパとしての窒化珪素と、配線金属、バリア金属、及び絶縁材料とを有し、かつ、前記ストッパより被研磨面側に、前記配線金属の少なくとも一部、前記バリア金属の少なくとも一部及び前記絶縁材料の少なくとも一部を有し、更に、前記窒化珪素、前記絶縁材料、前記バリア金属、前記配線金属を、この順に被研磨面側に積層した部分を有する基板を用意する工程、
前記窒化珪素より被研磨面側に位置する、少なくとも配線金属の一部を除去して前記バリア金属の一部を露出させる第一の研磨工程及び
前記窒化珪素より被研磨面側に位置する、少なくとも、前記バリア金属の一部及び前記絶縁材料の一部をCMPにより除去して、前記窒化珪素を露出させ、かつ前記窒化珪素が完全に除去される前に研磨を停止する第二の研磨工程を含み、
少なくとも前記第二の研磨工程で前記基板の被研磨面と研磨パッドとの間にCMP研磨液を供給する研磨方法であって、
前記CMP研磨液は、
(A)(a)アニオン性であって疎水性置換基を含まないモノマーと、(b)疎水性置換基を含むモノマーとの共重合体、
(B)砥粒、
(C)酸、
(D)酸化剤及び
(E)液状媒体を含有してなり、
前記(B)成分は、CMP研磨液中で+10mV以上のゼータ電位を有し、
前記(A)成分は、(a)と(b)の共重合比((a):(b))が、モル比で25:75〜75:25であり、かつ、
pHが5.0以下である、
研磨方法に関する。
本発明の研磨方法の第三の実施形態は、ストッパとしての窒化珪素と、配線金属、バリア金属、及び絶縁材料とを有し、かつ、前記ストッパより被研磨面側に、前記配線金属の少なくとも一部、前記バリア金属の少なくとも一部及び前記絶縁材料の少なくとも一部を有し、更に、前記窒化珪素、前記絶縁材料、前記バリア金属、前記配線金属を、この順に被研磨面側に積層した部分を有する基板を用意する工程、
前記窒化珪素より被研磨面側に位置する、少なくとも配線金属の一部を除去して前記バリア金属の一部を露出させる第一の研磨工程及び
前記窒化珪素より被研磨面側に位置する、少なくとも、前記バリア金属の一部及び前記絶縁材料の一部をCMPにより除去して、前記窒化珪素を露出させ、かつ前記窒化珪素が完全に除去される前に研磨を停止する第二の研磨工程を含み、
少なくとも前記第二の研磨工程で前記基板の被研磨面と研磨パッドとの間にCMP研磨液を供給する研磨方法であって、
前記CMP研磨液は、
(A)(a)アニオン性であって疎水性置換基を含まないモノマーと、(b)疎水性置換基を含むモノマーとの共重合体、
(B)砥粒、
(C)酸、
(D)酸化剤及び
(E)液状媒体を含有してなり、
前記(B)成分は、CMP研磨液中で+10mV以上のゼータ電位を有し、
前記(A)成分は、(a)と(b)の共重合比((a):(b))が、モル比で25:75〜75:25であり、かつ、
pHが5.0以下である、
研磨方法に関する。
第三の実施形態において、用意する基板は、前記第二の実施形態で用意する基板の、ストッパ、絶縁材料、バリア金属の順の前記積層に、更に配線金属が積層された部分を含む基板である。すなわち、第三の実施形態において第一及び第二の研磨工程で除去される対象は、前記ストッパより被研磨面側に位置する配線金属、バリア金属及び絶縁材料であって、基板における配線金属、バリア金属及び絶縁材料それぞれの少なくとも一部である。
また、本発明の第三の実施形態において、用意する基板は、前記窒化珪素、前記絶縁材料、前記バリア金属、前記配線金属を、この順に被研磨面側に積層した部分を有する。
本発明の第三の実施形態が好適に適用できる例として、前記第二の実施形態と同様、図2に示す、シリコン貫通ビア(TSV)形成工程を挙げることができる。すなわち、第三の実施形態は、図2において、図2(a)から図2(b)までの第一の研磨工程と、図2(b)から図2(c)までの第二の研磨工程を有し、少なくとも第二の研磨工程において、前記研磨液を用いる。
本発明の第三の実施形態において、図2(a)から図2(b)までの第一の研磨工程に用いる研磨液として、前記研磨液を用いてもよい。この場合、図2(a)から図2(c)までの工程を、研磨液の組成を変更することなく連続して行うことができる点で好ましい。
次に、本発明の研磨方法に使用する基板の素材について説明する。
配線金属としては、導電性物質が挙げられる。導電性物質としては、銅(純銅、銅合金、銅の酸化物、銅合金の酸化物等)、アルミニウム(純アルミニウム、アルミニウム合金、アルミニウムの酸化物等)、タングステン(純タングステン、タングステン合金等)、銀、金などが挙げられる。これらのうち、本発明の研磨方法の金属を高研磨速度で除去できるという特性を活かすことができる点で、前記配線金属は、銅(純銅)であるか、又は、銅合金、銅の酸化物、銅合金の酸化物等の銅が主成分である金属であることが好ましい。なお、「銅が主成分である」とは、銅の含有量が50質量%を超えることを意味する。前記導電性物質は、公知のスパッタ法、メッキ法等により成膜することができる。
前記バリア金属は、バリア部に用いられる金属として定義される。バリア部とは、前記絶縁材料中に配線金属である導電性物質が拡散するのを防止するため及び絶縁材料と配線金属との密着性を向上させるために形成される。このようなバリア金属の構成材料は、例えば、タングステン、タングステン合金、タングステン化合物(例えば窒化タングステン)等のタングステン類;チタン、チタン合金、チタン化合物(例えば窒化チタン)等のチタン類、タンタル、タンタル合金、タンタル化合物(例えば窒化タンタル)等のタンタル類、ルテニウム、ルテニウム合金、ルテニウム化合物(例えば窒化ルテニウム)等のルテニウム類などが挙げられる。中でも、本発明の研磨方法の金属を高研磨速度で除去できるという特性を活かすことができる点で、タンタル類及びチタン類が好ましく、窒化タンタル及び窒化チタンがより好ましい。また、バリア金属は、二層以上の積層材料とすることもできる。
バリア金属は、少なくとも絶縁材料(及び必要に応じて貫通ビア等)を被覆するように、蒸着又はCVD等によって成膜する。
前記絶縁材料を構成する物質としては、絶縁材料、有機系絶縁材料等が挙げられる。中でも、本発明の研磨方法のCMP工程時間を短縮できるという特性を活かすことができる点で、絶縁材料が好ましく、シリコン系絶縁材料(構成元素としてSiを含む絶縁材料として定義される)がより好ましく、中でも酸化珪素類が更に好ましい。酸化珪素類としては、例えば、二酸化珪素(SiO2)、フルオロシリケートガラス、オルト珪酸テトラエチル、オルガノシリケートグラス(トリメチルシラン、ジメトキシジメチルシラン等を出発原料として得られるシリケートグラス)、シリコンオキシナイトライド、水素化シルセスキオキサン、シリコンカーバイド等が挙げられる。絶縁材料は、CVD法、スピンコート法、ディップコート法、又はスプレー法によって基板上に形成できる。
前記ストッパを構成する物質としては、本発明の研磨方法の高い加工精度を得られるという特性を活かすことができる点で、窒化珪素が好ましい。窒化珪素もCVD法等によって酸化珪素等の上に形成できる。他に炭化珪素等を併用してもよい。
研磨装置としては、例えば研磨布により研磨する場合、研磨される基板を保持できるホルダと、回転数が変更可能なモータ等に接続され、かつ研磨布を貼り付け可能な研磨定盤とを有する、一般的な研磨装置が使用できる。研磨布としては、特に制限はなく、一般的な不織布、発泡ポリウレタン、多孔質フッ素樹脂等を使用できる。
研磨条件には制限はないが、定盤の回転速度は、基板が飛び出さないように200min−1以下の低回転が好ましい。被研磨面を有する基板の研磨布への押し付け圧力は、1〜100kPaであることが好ましく、研磨速度の被研磨面内均一性及び基板上パターンの平坦性を満足するためには、2〜50kPaであることがより好ましい。研磨している間、研磨布には本実施形態に係る研磨液をポンプ等で連続的に供給することが好ましい。この供給量に制限はないが、研磨布の表面が常に研磨液で覆われていることが好ましい。
研磨終了後の基板は、流水中でよく洗浄後、スピンドライ等を用いて基板上に付着した水滴を払い落としてから乾燥させることが好ましい。また、市販の洗浄液を基板表面に流しつつ、ポリウレタンでできたブラシを回転させながら、一定の圧力で押し付け基板上の付着物を除去する、公知の洗浄方法を用いた後に乾燥させることがより好ましい。
研磨布の表面状態を常に同一にしてCMPを行うために、研磨の前に研磨布のコンディショニング工程を含むことが好ましい。例えば、ダイヤモンド粒子のついたドレッサを用いて、少なくとも水を含むコンディショニング液で研磨布のコンディショニングを行う。続いて本実施形態に係る研磨方法を実施し、更に、基板洗浄工程を加えることが好ましい。
このように、本発明の研磨方法は、配線金属やバリア金属を研磨することができ、更に、酸化珪素等の絶縁材料を良好な研磨速度で研磨し、かつ、窒化珪素に対する研磨速度が低いという特性を有することにより、図1や図2で示したような複雑な構造を有する基板の研磨に使用することができる。なお、本発明の研磨方法が有する前記効果を利用できる限り、研磨に供される基板は図1や図2に示した構造に限られないことは言うまでもない。
次に、本発明の前記実施形態において好適に使用できる研磨液について説明する。以下、配線金属及びバリア金属を総称して「金属」とも言う。
本発明における研磨液は、(A)(a)アニオン性であって疎水性置換基を含まないモノマーと(b)疎水性置換基を含むモノマーとの共重合体、(B)砥粒、(C)酸(D)酸化剤及び(E)液状媒体を含有してなり、pHが5.0以下である研磨液に関する。このような研磨液によれば、金属と絶縁材料とを高研磨速度で除去しつつ、絶縁材料/ストッパの選択比を高く(例えば20以上に)することができる。前記(a)アニオン性であって疎水性置換基を含まないモノマーを、以下、(a)アニオン性モノマーともいう。
本発明における研磨液を用いた際に絶縁材料/ストッパの選択比が高くなるメカニズムについて、本発明者らは以下のように推測している。
すなわち、本発明における研磨液に含まれる(A)共重合体は、(a)アニオン性モノマーに由来する置換基が解離することにより負電荷を帯びる。これにより共重合体が、正に帯電しているストッパと静電的に引き合い、ストッパ表面に保護部を形成すると推測される。更に、前記共重合体は、(b)疎水性置換基を含むモノマーに由来する疎水基を含んでいるため、親水性である砥粒は、ストッパへの接近を阻害されると推測される。これらの相乗効果で、ストッパに対する研磨速度が遅くなると考えられる。
一方、前記共重合体は、負電荷を有する絶縁材料に吸着しないため、絶縁材料の研磨速度を遅くすることはないと考えられる。これらによって、絶縁材料とストッパとの選択比は大きくなると推測される。
また、金属に対する研磨速度は、機械的作用だけではなく化学的作用も強く寄与しているため、前記研磨液の組成にすることにより、良好な研磨速度が得られる。
このように、本発明における研磨液は、研磨対象物とストッパのそれぞれの物質に対する機械的作用と化学的作用とが調整され、金属と絶縁材料を高研磨速度で除去しつつ、絶縁材料/ストッパの選択比を高くすることができると考えられる。絶縁材料/ストッパの選択比は20以上が好ましく、25以上がより好ましく、30以上が更に好ましい。
以下、本発明における研磨液の各含有成分について詳細に説明する。
[(A)成分:アニオン性モノマーと疎水性置換基を含むモノマーの共重合体]
本発明における研磨液は、(A)(a)アニオン性モノマーと(b)疎水性置換基を含むモノマーとの共重合体を含有する。これにより、(a)アニオン性モノマーに由来するアニオン性部分の作用でストッパに吸着し、かつ(b)疎水性置換基を含むモノマーに由来する疎水性の作用で、砥粒のストッパへの接近を抑制しうる。このため、金属と絶縁材料を高研磨速度で除去しつつ、絶縁材料/ストッパの選択比を高くすることができる。
本発明における研磨液は、(A)(a)アニオン性モノマーと(b)疎水性置換基を含むモノマーとの共重合体を含有する。これにより、(a)アニオン性モノマーに由来するアニオン性部分の作用でストッパに吸着し、かつ(b)疎水性置換基を含むモノマーに由来する疎水性の作用で、砥粒のストッパへの接近を抑制しうる。このため、金属と絶縁材料を高研磨速度で除去しつつ、絶縁材料/ストッパの選択比を高くすることができる。
前記共重合体としては、(a)アニオン性モノマーと(b)疎水性置換基を含むモノマーとの、ランダム共重合、交互共重合、ブロック共重合、グラフト共重合等が挙げられる。
前記(a)アニオン性モノマーは、アニオン性置換基を有するモノマーであるのが好ましく、該モノマーとしては、アニオン性置換基を有しかつ疎水性置換基を含まなければ特に制限はない。アニオン性置換基としては、具体的には例えば、ヒドロキシ基、アルデヒド基、カルボニル基、カルボキシ基、ニトロ基、スルホン基、ホスホン基等が挙げられ、中でもカルボキシ基が好ましい。中でも研磨液中で解離し、負電荷を有するモノマーであることが好ましい。具体的な(a)アニオン性モノマーには例えば、アクリル酸、マレイン酸等が挙げられる。(a)アニオン性モノマーは、アクリル酸及びマレイン酸からなる群から選択される少なくとも一種であるのがより好ましい。
(b)疎水性置換基を含むモノマーとしては、疎水性置換基を含んでいれば特に制限はなく、他に親水性置換基を含んでいてもよいし、該置換基がアニオン性であってもよい。ここで疎水性置換基としては、アルキル基、フェニル基等が挙げられる。具体的な(b)疎水性置換基を含むモノマーには、例えばメタクリル酸、メタクリル酸メチル、メタクリル酸エチル、メタクリル酸プロピル、メタクリル酸ブチル、2−エチルアクリル酸、2−プロピルアクリル酸、2−ブチルアクリル酸等が挙げられる。(b)疎水性置換基を含むモノマーは、メタクリル酸、メタクリル酸メチル、メタクリル酸エチル、メタクリル酸プロピル、メタクリル酸ブチル、2−エチルアクリル酸、2−プロピルアクリル酸及び2−ブチルアクリル酸からなる群から選択される少なくとも一種であるのがより好ましい。
前記(A)成分としては、金属と絶縁材料を高研磨速度で除去しつつ、絶縁材料/ストッパの選択比を高くする、という効果がより効率的に得られる点で、アクリル酸とメタクリル酸との共重合体がより好ましい。
本発明における研磨液において、砥粒の巨大化を充分に抑制でき、砥粒の沈降を防ぐことができる点で、前記(A)(a)アニオン性モノマーと(b)疎水性置換基を含むモノマーとの共重合体には、(b)疎水性置換基を含むモノマーが一定割合で存在することが好ましい。具体的には、((a)アニオン性モノマー:(b)疎水性置換基を含むモノマー)として表される共重合比は、モル比で、25:75〜75:25が好ましく、35:65〜65:35がより好ましく、45:55〜55:45が更に好ましい。
前記共重合比の制御により砥粒の沈降を抑制できる理由としては、次のように考えられる。すなわち、砥粒が正電荷であった場合、例えば、(a)アニオン性モノマーのホモポリマーでは、アニオン性基が解離して負電荷となった部分が、窒化珪素等のストッパと静電的に引き合うだけでなく、砥粒とも静電的に吸着する。この吸着は次々と起こり、砥粒は巨大化して沈降する。しかしながら、(a)アニオン性モノマーと(b)疎水性置換基を含むモノマーとの共重合体とすることにより、疎水性置換基が、砥粒とアニオン性基とが結合を繰り返すのを抑制し、これによって砥粒が巨大化するのを阻害する。このため、砥粒の沈降を防ぐことができる、と考えられる。このような作用効果がより効率的に得られる点で、前記(A)成分は、アクリル酸とメタクリル酸との共重合体がより好ましい。
(A)成分の重量平均分子量(Mw)は、ストッパ表面に均一に吸着し、ストッパ研磨速度を効果的に抑制できる傾向がある点で、500以上が好ましく、1,500以上がより好ましく、5,000以上が更に好ましい。(A)成分の重量平均分子量の上限は特に制限はないが、溶解度の観点から充分に水溶性を有するために500万以下が好ましい。
(A)成分の重量平均分子量は、以下の条件でゲルパーミエーションクロマトグラフィーにより標準ポリスチレンの検量線を用いて測定することができる。
(条件)
試料:10μL(Lは「リットル」を表す。以下同じ)
標準ポリスチレン:東ソー株式会社製標準ポリスチレン(分子量:190,000、17,900、9,100、2,980、578、474、370、266)
検出器:株式会社日立製作所製、RI−モニター、商品名:L−3000
インテグレーター:株式会社日立製作所製、GPCインテグレーター、商品名:D−2200
ポンプ:株式会社日立製作所製、商品名:L−6000
デガス装置:昭和電工株式会社製、商品名:Shodex DEGAS
カラム:日立化成株式会社製、商品名:GL−R440、GL−R430、GL−R420をこの順番で連結して使用
溶離液:テトラヒドロフラン(THF)
測定温度:23℃
流速:1.75mL/min
測定時間:45min
試料:10μL(Lは「リットル」を表す。以下同じ)
標準ポリスチレン:東ソー株式会社製標準ポリスチレン(分子量:190,000、17,900、9,100、2,980、578、474、370、266)
検出器:株式会社日立製作所製、RI−モニター、商品名:L−3000
インテグレーター:株式会社日立製作所製、GPCインテグレーター、商品名:D−2200
ポンプ:株式会社日立製作所製、商品名:L−6000
デガス装置:昭和電工株式会社製、商品名:Shodex DEGAS
カラム:日立化成株式会社製、商品名:GL−R440、GL−R430、GL−R420をこの順番で連結して使用
溶離液:テトラヒドロフラン(THF)
測定温度:23℃
流速:1.75mL/min
測定時間:45min
(A)成分の含有量は、絶縁材料とストッパとの選択比をより効果的に高くできる点で、研磨液100質量部に対して、0.001質量部以上が好ましく、0.002質量部以上がより好ましく、0.005質量部以上が更に好ましい。また、研磨液に含まれる砥粒の安定性が向上する傾向がある点で、(A)成分の含有量は、5質量部以下が好ましく、2質量部以下がより好ましく、1質量部以下が更に好ましい。
[(B)成分:砥粒]
本発明における研磨液は砥粒を含有する。砥粒としては、特に制限はないが、シリカ、アルミナ、ジルコニア、セリア、チタニア、ゲルマニア及びこれらの変性物からなる群から選択される少なくとも一種であることが好ましい。前記変性物としては、砥粒粒子の表面をアルキル基で変性したものが挙げられる。砥粒の中でも、入手が容易な点でシリカが好ましく、更に研磨傷の発生を抑制する点でコロイダルシリカがより好ましい。
本発明における研磨液は砥粒を含有する。砥粒としては、特に制限はないが、シリカ、アルミナ、ジルコニア、セリア、チタニア、ゲルマニア及びこれらの変性物からなる群から選択される少なくとも一種であることが好ましい。前記変性物としては、砥粒粒子の表面をアルキル基で変性したものが挙げられる。砥粒の中でも、入手が容易な点でシリカが好ましく、更に研磨傷の発生を抑制する点でコロイダルシリカがより好ましい。
砥粒を構成する粒子の一次径(以下、「一次粒子径」と言う。)は、絶縁材料に対する良好な研磨速度が得られる点で10nm以上が好ましく、25nm以上がより好ましい。また、研磨液中での分散安定性に優れる点で、前記一次粒子径は、60nm以下が好ましく、50nm以下がより好ましい。
前記一次粒子径とは、任意の粒子20個を走査型電子顕微鏡(SEM)により観察した結果から、次のようにして算出する。すなわち、通常水に分散している固形分濃度5〜40wt%の砥粒を例にすると、適量の砥粒分散液を取り、その液が入っている容器に銅膜付きウエハを2cm角に切ったチップを約30秒浸した後、純水のはいった容器に移して約30秒間すすぎをし、そのチップを窒素ブロー乾燥する。その後、SEM観察用の試料台に乗せ、加速電圧10kVを掛け、10万倍の倍率にて砥粒を観察、画像を撮影する。得られた画像から任意の20個を選択する。
例えば、選択した砥粒が真球でない形状であった場合、砥粒に外接し、その長径が最も長くなるように配置した外接長方形を導く。そして、その外接長方形の長径をX、短径をYとして、(X+Y)/2として二軸平均一次粒子径を算出する。この作業を任意の20個の砥粒に対して実施し、得られた値の平均値を二軸平均一次粒子径と定義し、一次粒子径という。
例えば、選択した砥粒が真球でない形状であった場合、砥粒に外接し、その長径が最も長くなるように配置した外接長方形を導く。そして、その外接長方形の長径をX、短径をYとして、(X+Y)/2として二軸平均一次粒子径を算出する。この作業を任意の20個の砥粒に対して実施し、得られた値の平均値を二軸平均一次粒子径と定義し、一次粒子径という。
砥粒を構成する粒子の、研磨液中における表面電位は、絶縁材料に対する良好な研磨速度が得られる点で+10mV以上が好ましく、+15mV以上がより好ましい。また、研磨液中での分散安定性に優れる点で、前記砥粒の表面電位は+35mV未満であることが好ましく、+30mV未満であることがより好ましい。
また、砥粒の表面電位が前記範囲であった場合、正に帯電したストッパとは静電的に反発し、砥粒がストッパへ接近できないため砥粒の研磨効果を適切な程度に小さくすることができる。窒化珪素等ストッパの研磨速度抑制という観点でも、砥粒の表面電位は正であるほうが、良好な結果が得られる。
前記表面電位は、粒子の電気泳動移動度からHenryの式を用い換算できるゼータ電位をいう。より具体的には、研磨液をゼータ電位測定装置(ベックマン・コールター株式会社製、商品名:デルサナノC)を用いて、レーザードップラー検出式電気泳動法により得られるゼータ電位を表面電位とすることができる。
これら砥粒は、一種類単独で又は二種類以上を混合して用いることができる。
前記砥粒の含有量は、研磨対象物に対する良好な研磨速度が得られる点で、研磨液100質量部に対して、0.01質量部以上が好ましく、0.05質量部以上がより好ましく、0.1質量部以上が更に好ましく、1.0質量部以上が特に好ましく、3.0質量部以上が極めて好ましい。また、研磨キズの発生を抑制できる傾向がある点で、前記砥粒の含有量は、50質量部以下が好ましく、30質量部以下がより好ましく、20質量部以下が更に好ましく、10質量部以下が特に好ましい。
[(C)成分:酸]
本発明における研磨液は、酸を含有する。研磨対象物が絶縁材料及びストッパ以外に金属を含む場合、酸を含有することによって、金属を良好な研磨速度で除去することができる。
本発明における研磨液は、酸を含有する。研磨対象物が絶縁材料及びストッパ以外に金属を含む場合、酸を含有することによって、金属を良好な研磨速度で除去することができる。
酸としては、有機酸、有機酸のエステル、有機酸の塩等の有機酸類;無機酸、無機酸の塩等の無機酸類などが挙げられ、水溶性であれば特に制限は無い。前記塩としては、アンモニウム塩、アルカリ金属(ナトリウム、カリウム等)塩、アルカリ土類金属(マグネシウム、カルシウム)塩等が挙げられる。これらの酸は、一種類単独で又は二種類以上混合して用いることができる。
前記有機酸類における具体的な有機酸としては、例えば、ギ酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、吉草酸、2−メチル酪酸、n−ヘキサン酸、3,3−ジメチル酪酸、2−エチル酪酸、4−メチルペンタン酸、n−ヘプタン酸、2−メチルヘキサン酸、n−オクタン酸、2−エチルヘキサン酸、安息香酸、グリコール酸、サリチル酸、グリセリン酸、シュウ酸、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、マレイン酸、フタル酸、リンゴ酸、酒石酸、クエン酸、p−トルエンスルホン酸等が挙げられる。
前記無機酸類における具体的な無機酸としては、例えば、塩酸、硫酸、硝酸、クロム酸等が挙げられる。
前記無機酸類における具体的な無機酸の塩としては、例えば、過硫酸アンモニウム、硝酸アンモニウム、塩化アンモニウム、重クロム酸アンモニウム、二クロム酸アンモニウム等が挙げられる。
前記酸の中では、金属のエッチング特性の点で有機酸類が好ましい。また、有機酸としては、乳酸、シュウ酸、コハク酸、アジピン酸、グルタル酸、リンゴ酸、マロン酸、マレイン酸、酒石酸、安息香酸、サリチル酸、キナルジン酸、酪酸、吉草酸、グリコール酸、グルタル酸が好ましい。
酸の含有量は、金属の研磨速度が実用上充分得られる傾向がある点で、研磨液100質量部に対して、0.001質量部以上が好ましく、0.01質量部以上がより好ましく、0.05質量部以上が更に好ましく、0.1質量部以上が特に好ましい。また、エッチングの抑制が容易となり、被研磨面の荒れの発生が抑制される傾向がある点で、酸の含有量は、20質量部以下が好ましく、10質量部以下がより好ましく、5質量部以下が更に好ましく、3質量部以下が特に好ましく、1質量部以下が極めて好ましい。
[(D)成分:酸化剤]
本発明における研磨液は、酸化剤を更に含有する。酸化剤を含有した場合、金属に対し良好な研磨速度を得ることができる。酸化剤としては、特に制限はないが、例えば、過酸化水素、過ヨウ素酸カリウム等の過ヨウ素酸塩、過硫酸塩(ペルオキソ硫酸塩)、次亜塩素酸塩、オゾン水等が挙げられ、その中でも過酸化水素が好ましい。これら酸化剤は、一種類単独で又は二種類以上を混合して用いることができる。適用対象の基板が集積回路用素子を含むシリコン基板である場合、アルカリ金属、アルカリ土類金属、ハロゲン化物等による汚染が好ましくないため、不揮発成分を含まない酸化剤が好ましい。なお、適用対象の基板が半導体素子を含まないガラス基板等である場合は、不揮発成分を含む酸化剤を用いても差し支えない。
本発明における研磨液は、酸化剤を更に含有する。酸化剤を含有した場合、金属に対し良好な研磨速度を得ることができる。酸化剤としては、特に制限はないが、例えば、過酸化水素、過ヨウ素酸カリウム等の過ヨウ素酸塩、過硫酸塩(ペルオキソ硫酸塩)、次亜塩素酸塩、オゾン水等が挙げられ、その中でも過酸化水素が好ましい。これら酸化剤は、一種類単独で又は二種類以上を混合して用いることができる。適用対象の基板が集積回路用素子を含むシリコン基板である場合、アルカリ金属、アルカリ土類金属、ハロゲン化物等による汚染が好ましくないため、不揮発成分を含まない酸化剤が好ましい。なお、適用対象の基板が半導体素子を含まないガラス基板等である場合は、不揮発成分を含む酸化剤を用いても差し支えない。
酸化剤の含有量は、金属の酸化が充分であり研磨速度が向上する傾向がある点で、研磨液100質量部に対して、0.01質量部以上が好ましく、0.02質量部以上がより好ましく、0.05質量部以上であるのが更に好ましい。また、被研磨面に荒れが生じることが抑制される傾向がある点で、研磨液100質量部に対して50質量部以下が好ましく、30質量部以下がより好ましく、20質量部以下であるのが更に好ましい。さらに、バリアに対する高い研磨速度を得る場合には、研磨液100質量部に対して10質量部以下が好ましく、5質量部以下がより好ましく、3質量部以下が更に好ましく、1.5質量部以下が特に好ましい。
[(E)成分:液状媒体]
本発明における研磨液は、液状媒体を含むことにより、液体(固体砥粒が分散した液体)となっている。液状媒体の含有量は前記含有成分の残部でよい。前記液状媒体としては、水、有機溶媒等を挙げることができる。
本発明における研磨液は、液状媒体を含むことにより、液体(固体砥粒が分散した液体)となっている。液状媒体の含有量は前記含有成分の残部でよい。前記液状媒体としては、水、有機溶媒等を挙げることができる。
液状媒体に使用する有機溶媒としては特に制限はないが、水と任意に混合できるものが好ましい。有機溶媒は、液状媒体としての役割以外に、水に溶解しにくい成分の溶解補助剤として使用したり、研磨する面に対する研磨液の濡れ性を向上させて絶縁材料に対する研磨速度を上げる目的で使用したりすることができる。有機溶媒としては、特に絶縁材料に対する濡れ性が向上する観点で、炭酸エステル類、ラクトン類、グリコール類及びその誘導体、エーテル類、アルコール類、ケトン類、フェノール類、アミド類及びスルホラン類から選ばれる少なくとも一種が好ましい。有機溶媒の具体例としては、国際公開第2003/038883号に詳しく記載されている。これら有機溶媒は、一種類単独で又は二種類以上を混合して用いることができる。
有機溶媒の含有量は、研磨する面に対する研磨液の濡れ性が充分である点で、研磨液100質量部に対して、0.1質量部以上が好ましく、0.2質量部以上がより好ましく、0.3質量部以上であるのが更に好ましい。また、分散性の低下が抑制される傾向がある点で、研磨液100質量部に対して、50質量部以下が好ましく、30質量部以下がより好ましく、10質量部以下であるのが更に好ましい。
[(F)成分:金属防食剤]
研磨対象物に含まれる金属の表面を腐食から保護するために、本発明における金属用研磨液は、金属防食剤(以下「防食剤」という)を更に含有することができる。本発明の金属用研磨液において防食剤とは、金属表面に対して保護材料を形成する作用を有し、かつこの作用を発揮するのに有効な量の水溶性を有していれば、従来公知の物質を特に制限なく使用できる。これらは一種類単独で、もしくは二種類以上を混合して用いることができる。また、防食剤は、研磨対象に配線金属が含まれている場合に特に有効である。このため、研磨対象に配線金属含まれない又は配線金属を多量に研磨する必要がない場合は、添加する必要がない。例えば、前記第一の実施形態及び第二の実施形態は、第三の実施形態と比較して、配線金属を研磨する量が少ないため、防食剤の添加効果は小さい。このため、前記第一の実施形態及び第二の実施形態では、防食剤を含まないことが好ましい。
研磨対象物に含まれる金属の表面を腐食から保護するために、本発明における金属用研磨液は、金属防食剤(以下「防食剤」という)を更に含有することができる。本発明の金属用研磨液において防食剤とは、金属表面に対して保護材料を形成する作用を有し、かつこの作用を発揮するのに有効な量の水溶性を有していれば、従来公知の物質を特に制限なく使用できる。これらは一種類単独で、もしくは二種類以上を混合して用いることができる。また、防食剤は、研磨対象に配線金属が含まれている場合に特に有効である。このため、研磨対象に配線金属含まれない又は配線金属を多量に研磨する必要がない場合は、添加する必要がない。例えば、前記第一の実施形態及び第二の実施形態は、第三の実施形態と比較して、配線金属を研磨する量が少ないため、防食剤の添加効果は小さい。このため、前記第一の実施形態及び第二の実施形態では、防食剤を含まないことが好ましい。
防食剤としては、例えば、キナルジン酸、アントニル酸、サリチルアルドキシム、トリアゾール化合物、イミダゾール化合物、テトラゾール化合物、ピラゾール化合物、ピリミジン化合物が挙げられ、中でもトリアゾール化合物が好ましい。
防食剤の含有量は、金属のエッチング抑制が容易となり、被研磨面に荒れが生じることを抑制する傾向がある点で、研磨液100質量部に対して、0.001質量部以上が好ましく、0.005質量部以上がより好ましく、0.01質量部以上であるのが特に好ましい。また、金属の研磨速度低下が抑制される傾向がある点で、研磨液100質量部に対して、10質量部以下が好ましく、5質量部以下がより好ましく、2質量部以下であるのが特に好ましい。
前記トリアゾール化合物としては、例えば;
2−メルカプトベンゾチアゾール、1,2,3−トリアゾール、1,2,4−トリアゾール、3−アミノ−1H−1,2,4−トリアゾール等のトリアゾール誘導体;
ベンゾトリアゾール、1−ヒドロキシベンゾトリアゾール、1−ジヒドロキシプロピルベンゾトリアゾール、2,3−ジカルボキシプロピルベンゾトリアゾール、4−ヒドロキシベンゾトリアゾール、4−カルボキシル(−1H−)ベンゾトリアゾール、4−カルボキシル(−1H−)ベンゾトリアゾールメチルエステル、4−カルボキシル(−1H−)ベンゾトリアゾールブチルエステル、4−カルボキシル(−1H−)ベンゾトリアゾールオクチルエステル、5−ヘキシルベンゾトリアゾール、[1,2,3−ベンゾトリアゾリル−1−メチル][1,2,4−トリアゾリル−1−メチル][2−エチルヘキシル]アミン、トリルトリアゾール、ナフトトリアゾール、1−アセチル−1H−1,2,3−トリアゾロ[4,5−b]ピリジン、1H−1,2,3−トリアゾロ[4,5−b]ピリジン、1,2,4−トリアゾロ[4,3−a]ピリジン−3(2H)−オン、3H−1,2,3−トリアゾロ[4,5−b]ピリジン−3−オール、ビス[(1−ベンゾトリアゾリル)メチル]ホスホン酸、3−アミノトリアゾール等のベンゾトリアゾール誘導体;
などが挙げられ、中でもベンゾトリアゾール誘導体を使用することがより好ましい。
2−メルカプトベンゾチアゾール、1,2,3−トリアゾール、1,2,4−トリアゾール、3−アミノ−1H−1,2,4−トリアゾール等のトリアゾール誘導体;
ベンゾトリアゾール、1−ヒドロキシベンゾトリアゾール、1−ジヒドロキシプロピルベンゾトリアゾール、2,3−ジカルボキシプロピルベンゾトリアゾール、4−ヒドロキシベンゾトリアゾール、4−カルボキシル(−1H−)ベンゾトリアゾール、4−カルボキシル(−1H−)ベンゾトリアゾールメチルエステル、4−カルボキシル(−1H−)ベンゾトリアゾールブチルエステル、4−カルボキシル(−1H−)ベンゾトリアゾールオクチルエステル、5−ヘキシルベンゾトリアゾール、[1,2,3−ベンゾトリアゾリル−1−メチル][1,2,4−トリアゾリル−1−メチル][2−エチルヘキシル]アミン、トリルトリアゾール、ナフトトリアゾール、1−アセチル−1H−1,2,3−トリアゾロ[4,5−b]ピリジン、1H−1,2,3−トリアゾロ[4,5−b]ピリジン、1,2,4−トリアゾロ[4,3−a]ピリジン−3(2H)−オン、3H−1,2,3−トリアゾロ[4,5−b]ピリジン−3−オール、ビス[(1−ベンゾトリアゾリル)メチル]ホスホン酸、3−アミノトリアゾール等のベンゾトリアゾール誘導体;
などが挙げられ、中でもベンゾトリアゾール誘導体を使用することがより好ましい。
イミダゾール化合物としては、例えば、2−メチルイミダゾール、2−エチルイミダゾール、2−イソプロピルイミダゾール、2−プロピルイミダゾール、2−ブチルイミダゾール、4−メチルイミダゾール、2、4−ジメチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、2−ウンデシルイミダゾール、2−アミノイミダゾール等が挙げられる。
テトラゾール化合物としては、例えば1H−テトラゾール、5−アミノ−1H−テトラゾール、5−メチル−1H−テトラゾール、5−フェニル−1H−テトラゾール、1−(2−ジアミノエチル)−5−メルカプトテトラゾール等が挙げられる。
ピラゾール化合物としては、例えば、3,5−ジメチルピラゾール、3−アミノ−5−メチルピラゾール、4−メチルピラゾール、3−アミノ−5−ヒドロキシピラゾール等が挙げられる。
ピリミジン化合物としては、ピリミジン、1,2,4−トリアゾロ[1,5−a]ピリミジン、1,3,4,6,7,8−ヘキサハイドロ−2H−ピリミド[1,2−a]ピリミジン、1,3−ジフェニル−ピリミジン−2,4,6−トリオン、1,4,5,6−テトラハイドロピリミジン、2,4,5,6−テトラアミノピリミジンサルフェイト、2,4,5−トリハイドロキシピリミジン、2,4,6−トリアミノピリミジン、2,4,6−トリクロロピリミジン、2,4,6−トリメトキシピリミジン、2,4,6−トリフェニルピリミジン、2,4−ジアミノ−6−ヒドロキシルピリミジン、2,4−ジアミノピリミジン、2−アセトアミドピリミジン、2−アミノピリミジン、2−メチル−5,7−ジフェニル−(1,2,4)トリアゾロ(1,5−a)ピリミジン、2−メチルサルファニル−5,7−ジフェニル−(1,2,4)トリアゾロ(1,5−a)ピリミジン、2−メチルサルファニル−5,7−ジフェニル−4,7−ジヒドロ−(1,2,4)トリアゾロ(1,5−a)ピリミジン、4−アミノピラゾロ[3,4,−d]ピリミジン等のピリミジン骨格を有する化合物が挙げられる。
[研磨液のpH]
本発明における研磨液のpHは、ストッパが正電荷を帯び、(A)成分がストッパに吸着しやすくなる点で、5.0以下である。砥粒の分散性を考慮すると、前記pHは4.5以下であることが好ましく、4.0以下であることがより好ましく、3.5以下であることが更に好ましい。一方で、研磨液の取り扱い性を考慮するとpHは1.0以上であることが好ましく、2.0以上であることがより好ましく、2.3以上であることが更に好ましく、2.5以上であることが特に好ましい。
本発明における研磨液のpHは、ストッパが正電荷を帯び、(A)成分がストッパに吸着しやすくなる点で、5.0以下である。砥粒の分散性を考慮すると、前記pHは4.5以下であることが好ましく、4.0以下であることがより好ましく、3.5以下であることが更に好ましい。一方で、研磨液の取り扱い性を考慮するとpHは1.0以上であることが好ましく、2.0以上であることがより好ましく、2.3以上であることが更に好ましく、2.5以上であることが特に好ましい。
一方で、pH4.0以上であると、ストッパが正電荷という点では(A)成分のストッパへの吸着に有効であり、pH4.0より小さい領域は、酸化珪素の高い研磨速度が得られる点で有効である。これらの要因を勘案し、pHを決定できる。
本発明における研磨液のpHは酸の含有量を調整することで所望のpHとすることができる。更に、アンモニア、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド等のアルカリ成分の添加でも調整可能である。また、アミノ酸の添加でも調整可能である。但し、アミノ基の存在は酸化珪素の研磨速度低下を誘発し、本発明の効果を縮小する可能性があるため、酸の含有量のみでpH調整することが好ましい。
本発明において研磨液のpHは、pHメータ(例えば、横河電機株式会社製の型番:PH81)で測定する。標準緩衝液(フタル酸塩pH緩衝液pH:4.01(25℃)、中性りん酸塩pH緩衝液pH6.86(25℃))を用いて、2点校正した後、電極を研磨液に入れて、3分以上経過して安定した後の値を採用する。
以下に、実施例により本発明を更に詳しく説明するが、本発明の技術思想を逸脱しない限り、本発明はこれらの実施例に制限されるものではない。例えば、研磨液の材料の種類やその配合比率は、本実施例記載の種類や比率以外でも差し支えなく、研磨対象の組成や構造も、本実施例記載の組成や構造以外でも差し支えない。
(実験1:砥粒の影響)
<参考例1>
リンゴ酸0.20質量部、水73.80質量部を混合及び攪拌し、目視にてリンゴ酸の溶解を確認した。次いで、コロイダルシリカA(シリカ含有量20質量%)25.00質量部を添加し、撹拌した。研磨液の色が均一となったところで30質量%過酸化水素水1.00質量部を添加し、撹拌した。これにより、研磨液(1)を得た。
<参考例1>
リンゴ酸0.20質量部、水73.80質量部を混合及び攪拌し、目視にてリンゴ酸の溶解を確認した。次いで、コロイダルシリカA(シリカ含有量20質量%)25.00質量部を添加し、撹拌した。研磨液の色が均一となったところで30質量%過酸化水素水1.00質量部を添加し、撹拌した。これにより、研磨液(1)を得た。
<参考例2〜8>
[研磨液(2)〜(8)の作製]
研磨液の各成分及び量を、表1に示すとおりに変更した以外は、参考例1と同様に操作して、研磨液(2)〜(8)を得た。なお、表1に示すコロイダルシリカA〜Hは、ゾルゲル法にて作製された市販の砥粒を用いた。
[研磨液(2)〜(8)の作製]
研磨液の各成分及び量を、表1に示すとおりに変更した以外は、参考例1と同様に操作して、研磨液(2)〜(8)を得た。なお、表1に示すコロイダルシリカA〜Hは、ゾルゲル法にて作製された市販の砥粒を用いた。
[研磨液(1)〜(8)の評価]
(一次粒子径の評価)
銅膜付きシリコン基板上に付着させた砥粒の大きさを、株式会社日立ハイテクノロジーズ製、商品名:高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 S−4800を用いて、前記の方法にて観察した。観察試料の作製は、約100mLの研磨液が入った容器に銅膜付きウエハを2cm角に切ったチップを30秒浸した後、約100mLの純水が入った容器に移して30秒間すすぎをし、そのチップを窒素ブロー乾燥して得た。
(一次粒子径の評価)
銅膜付きシリコン基板上に付着させた砥粒の大きさを、株式会社日立ハイテクノロジーズ製、商品名:高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 S−4800を用いて、前記の方法にて観察した。観察試料の作製は、約100mLの研磨液が入った容器に銅膜付きウエハを2cm角に切ったチップを30秒浸した後、約100mLの純水が入った容器に移して30秒間すすぎをし、そのチップを窒素ブロー乾燥して得た。
(ゼータ電位の評価)
ベックマン・コールター株式会社製、商品名:デルサナノCを用いて、研磨液(1)〜(8)における砥粒のゼータ電位を測定した。測定は3回実施し、その平均値を研磨液中の砥粒のゼータ電位とした。
ベックマン・コールター株式会社製、商品名:デルサナノCを用いて、研磨液(1)〜(8)における砥粒のゼータ電位を測定した。測定は3回実施し、その平均値を研磨液中の砥粒のゼータ電位とした。
(pHの評価)
横河電機株式会社製pH測定器、商品名:PH81を用いて研磨液(1)〜(8)におけるpHを測定した。標準緩衝液(フタル酸塩pH緩衝液pH:4.01(25℃)、中性りん酸塩pH緩衝液pH6.86(25℃))を用いて、2点校正した後、電極を研磨液に入れて、3分以上経過して安定した後の値を研磨液のpHとした。
横河電機株式会社製pH測定器、商品名:PH81を用いて研磨液(1)〜(8)におけるpHを測定した。標準緩衝液(フタル酸塩pH緩衝液pH:4.01(25℃)、中性りん酸塩pH緩衝液pH6.86(25℃))を用いて、2点校正した後、電極を研磨液に入れて、3分以上経過して安定した後の値を研磨液のpHとした。
(ブランケット基板の作製)
以下の基板を2cm×2cmの小片に切断し、下記の研磨に使用した。
以下の基板を2cm×2cmの小片に切断し、下記の研磨に使用した。
ブランケット基板(a):CVD法で酸化珪素(厚さ:1000nm)を形成したシリコン基板。
ブランケット基板(b):CVD法で窒化珪素(厚さ:200nm)を形成したシリコン基板。
ブランケット基板(b):CVD法で窒化珪素(厚さ:200nm)を形成したシリコン基板。
(研磨条件)
研磨装置:卓上小型研磨機(日本エンギス株式会社製、商品名:IMPTECH 10 DVT)
研磨布:スウェード状ポリウレタン湿式発泡タイプ研磨布(ニッタ・ハース社製、商品名:Politex(登録商標))
定盤回転数:160min−1
研磨圧力:30kPa
研磨液の供給量:15mL/min
研磨装置:卓上小型研磨機(日本エンギス株式会社製、商品名:IMPTECH 10 DVT)
研磨布:スウェード状ポリウレタン湿式発泡タイプ研磨布(ニッタ・ハース社製、商品名:Politex(登録商標))
定盤回転数:160min−1
研磨圧力:30kPa
研磨液の供給量:15mL/min
(基板の研磨工程)
前記ブランケット基板(a)〜(b)を前記研磨液(1)〜(8)で、前記研磨条件で60秒間CMP研磨した。
前記ブランケット基板(a)〜(b)を前記研磨液(1)〜(8)で、前記研磨条件で60秒間CMP研磨した。
(評価項目)
研磨速度:前記条件で研磨したブランケット基板(a)〜(b)の研磨速度を、光干渉式材料厚計(ナノメトリクス ジャパン株式会社製、商品名:NanoSpec(登録商標)5100)にて測定した研磨前後の材料厚差を使用して求めた。
研磨速度:前記条件で研磨したブランケット基板(a)〜(b)の研磨速度を、光干渉式材料厚計(ナノメトリクス ジャパン株式会社製、商品名:NanoSpec(登録商標)5100)にて測定した研磨前後の材料厚差を使用して求めた。
選択比:窒化珪素の研磨速度に対する酸化珪素の研磨速度の比(酸化珪素の研磨速度値を窒化珪素の研磨速度値で除して求めた値)を選択比とした。
これら評価結果を表1に示す。
表1の結果から、pHが5.0以下である領域では、研磨液中における砥粒(シリカ)のゼータ電位が大きいほど、酸化珪素の研磨速度が高く(例えば1000Å/min以上)、窒化珪素の研磨速度が低く抑制される(例えば200Å/min以下)傾向がある。従って、研磨液中における砥粒(シリカ)のゼータ電位が大きいほど、窒化珪素に対する酸化珪素の選択比(酸化珪素研磨速度/窒化珪素研磨速度)が大きくなる傾向があることがわかる。以後の実施例では、砥粒としてコロイダルシリカCを選択した。
(実験2:重合体の影響)
<実施例1>
[アクリル酸/メタクリル酸共重合体(共重合比:30/70)の作製]
脱イオン水75.00質量部とイソプロパノール75.00質量部を、0.5リットルの合成用フラスコに投入し、窒素ガス雰囲気下で撹拌しながら80℃に昇温した。
その後、アクリル酸32.05質量部とメタクリル酸89.34質量部を混合したもの及び、2,2´−アゾビス〔2−(2−イミダゾリン−2−イル)プロパン〕14.84質量部と濃硫酸11.63質量部を脱イオン水80.00質量部に溶解させたものを、同時に60分間かけてフラスコ中に注入した。85℃で2時間保温し、完全に重合反応させた後に冷却して取り出し、アクリル酸/メタクリル酸共重合体を得た。その不揮発分を測定したところ、40質量%であった。また、得られたアクリル酸/メタクリル酸共重合体の分子量を前記の方法にて測定を行ったところ、その重量平均分子量は9,000(ポリエチレングリコール換算値)であった。なお、共重合比は、反応が完全に終わっていれば配合成分の比率通りとなるため、特に測定は実施していない。以下の共重合体についても同様である。
<実施例1>
[アクリル酸/メタクリル酸共重合体(共重合比:30/70)の作製]
脱イオン水75.00質量部とイソプロパノール75.00質量部を、0.5リットルの合成用フラスコに投入し、窒素ガス雰囲気下で撹拌しながら80℃に昇温した。
その後、アクリル酸32.05質量部とメタクリル酸89.34質量部を混合したもの及び、2,2´−アゾビス〔2−(2−イミダゾリン−2−イル)プロパン〕14.84質量部と濃硫酸11.63質量部を脱イオン水80.00質量部に溶解させたものを、同時に60分間かけてフラスコ中に注入した。85℃で2時間保温し、完全に重合反応させた後に冷却して取り出し、アクリル酸/メタクリル酸共重合体を得た。その不揮発分を測定したところ、40質量%であった。また、得られたアクリル酸/メタクリル酸共重合体の分子量を前記の方法にて測定を行ったところ、その重量平均分子量は9,000(ポリエチレングリコール換算値)であった。なお、共重合比は、反応が完全に終わっていれば配合成分の比率通りとなるため、特に測定は実施していない。以下の共重合体についても同様である。
[研磨液(9)の作製]
不揮発分が40%の前記アクリル酸/メタクリル酸共重合体(共重合比:30/70):0.13質量部、リンゴ酸:0.20質量部、水:74.67質量部を撹拌・混合し、目視にてアクリル酸/メタクリル酸共重合体(共重合比:30/70)とリンゴ酸の溶解を確認した。その後、シリカ含有量が20質量%で1次粒子径が40nmである市販のコロイダルシリカ:20.00質量部(前記のコロイダルシリカC)を添加した。さらに撹拌・混合し、研磨液の色が均一となったところで30%過酸化水素水:5.00質量部を添加、撹拌・混合し、研磨液(9)を作製した。
不揮発分が40%の前記アクリル酸/メタクリル酸共重合体(共重合比:30/70):0.13質量部、リンゴ酸:0.20質量部、水:74.67質量部を撹拌・混合し、目視にてアクリル酸/メタクリル酸共重合体(共重合比:30/70)とリンゴ酸の溶解を確認した。その後、シリカ含有量が20質量%で1次粒子径が40nmである市販のコロイダルシリカ:20.00質量部(前記のコロイダルシリカC)を添加した。さらに撹拌・混合し、研磨液の色が均一となったところで30%過酸化水素水:5.00質量部を添加、撹拌・混合し、研磨液(9)を作製した。
<実施例2〜4>
[アクリル酸/メタクリル酸共重合体(共重合比:50/50)の作製]
脱イオン水75.00質量部とイソプロパノール75.00質量部を、0.5リットルの合成用フラスコに投入し、窒素ガス雰囲気下で撹拌しながら80℃に昇温した。
その後、アクリル酸54.94質量部とメタクリル酸65.63質量部を混合したもの及び、2,2´−アゾビス〔2−(2−イミダゾリン−2−イル)プロパン〕15.27質量部と濃硫酸11.96質量部を脱イオン水80.00質量部に溶解させたものを、同時に60分間かけてフラスコ中に注入した。85℃で2時間保温し、完全に重合反応させた後に冷却して取り出し、アクリル酸/メタクリル酸共重合体を得た。その不揮発分を測定したところ、40質量%であった。また、得られたアクリル酸/メタクリル酸共重合体の分子量を前記の方法にて測定を行ったところ、その重量平均分子量は9,300(ポリエチレングリコール換算値)であった。
[アクリル酸/メタクリル酸共重合体(共重合比:50/50)の作製]
脱イオン水75.00質量部とイソプロパノール75.00質量部を、0.5リットルの合成用フラスコに投入し、窒素ガス雰囲気下で撹拌しながら80℃に昇温した。
その後、アクリル酸54.94質量部とメタクリル酸65.63質量部を混合したもの及び、2,2´−アゾビス〔2−(2−イミダゾリン−2−イル)プロパン〕15.27質量部と濃硫酸11.96質量部を脱イオン水80.00質量部に溶解させたものを、同時に60分間かけてフラスコ中に注入した。85℃で2時間保温し、完全に重合反応させた後に冷却して取り出し、アクリル酸/メタクリル酸共重合体を得た。その不揮発分を測定したところ、40質量%であった。また、得られたアクリル酸/メタクリル酸共重合体の分子量を前記の方法にて測定を行ったところ、その重量平均分子量は9,300(ポリエチレングリコール換算値)であった。
[アクリル酸/メタクリル酸共重合体(共重合比:60/40)の作製]
脱イオン水75.00質量部とイソプロパノール75.00質量部を、0.5リットルの合成用フラスコに投入し、窒素ガス雰囲気下で撹拌しながら80℃に昇温した。
その後、アクリル酸66.88質量部とメタクリル酸53.27質量部を混合したもの及び、2,2´−アゾビス〔2−(2−イミダゾリン−2−イル)プロパン〕15.49質量部と濃硫酸12.14質量部を脱イオン水80.00質量部に溶解させたものを、同時に60分間かけてフラスコ中に注入した。85℃で2時間保温し、完全に重合反応させた後に冷却して取り出し、アクリル酸/メタクリル酸共重合体を得た。その不揮発分を測定したところ、40質量%であった。また、得られたアクリル酸/メタクリル酸共重合体の分子量を前記の方法にて測定を行ったところ、その重量平均分子量は8,900(ポリエチレングリコール換算値)であった。
脱イオン水75.00質量部とイソプロパノール75.00質量部を、0.5リットルの合成用フラスコに投入し、窒素ガス雰囲気下で撹拌しながら80℃に昇温した。
その後、アクリル酸66.88質量部とメタクリル酸53.27質量部を混合したもの及び、2,2´−アゾビス〔2−(2−イミダゾリン−2−イル)プロパン〕15.49質量部と濃硫酸12.14質量部を脱イオン水80.00質量部に溶解させたものを、同時に60分間かけてフラスコ中に注入した。85℃で2時間保温し、完全に重合反応させた後に冷却して取り出し、アクリル酸/メタクリル酸共重合体を得た。その不揮発分を測定したところ、40質量%であった。また、得られたアクリル酸/メタクリル酸共重合体の分子量を前記の方法にて測定を行ったところ、その重量平均分子量は8,900(ポリエチレングリコール換算値)であった。
[アクリル酸/メタクリル酸共重合体(共重合比:70/30)の作製]
脱イオン水75.00質量部とイソプロパノール75.00質量部を、0.5リットルの合成用フラスコに投入し、窒素ガス雰囲気下で撹拌しながら80℃に昇温した。
その後、アクリル酸79.17質量部とメタクリル酸40.54質量部を混合したもの及び、2,2´−アゾビス〔2−(2−イミダゾリン−2−イル)プロパン〕15.71質量部と濃硫酸12.31質量部を脱イオン水80.00質量部に溶解させたものを、同時に60分間かけてフラスコ中に注入した。85℃で2時間保温し、完全に重合反応させた後に冷却して取り出し、アクリル酸/メタクリル酸共重合体を得た。その不揮発分を測定したところ、40質量%であった。また、得られたアクリル酸/メタクリル酸共重合体の分子量を前記の方法にて測定を行ったところ、その重量平均分子量は8,700(ポリエチレングリコール換算値)であった。
脱イオン水75.00質量部とイソプロパノール75.00質量部を、0.5リットルの合成用フラスコに投入し、窒素ガス雰囲気下で撹拌しながら80℃に昇温した。
その後、アクリル酸79.17質量部とメタクリル酸40.54質量部を混合したもの及び、2,2´−アゾビス〔2−(2−イミダゾリン−2−イル)プロパン〕15.71質量部と濃硫酸12.31質量部を脱イオン水80.00質量部に溶解させたものを、同時に60分間かけてフラスコ中に注入した。85℃で2時間保温し、完全に重合反応させた後に冷却して取り出し、アクリル酸/メタクリル酸共重合体を得た。その不揮発分を測定したところ、40質量%であった。また、得られたアクリル酸/メタクリル酸共重合体の分子量を前記の方法にて測定を行ったところ、その重量平均分子量は8,700(ポリエチレングリコール換算値)であった。
[研磨液(10)〜(12)の作製]
前記で作製した各アクリル酸/メタクリル酸共重合体を含む表2に示す各成分を混合し、実施例1と同様に操作して研磨液(10)〜(12)を作製した。
前記で作製した各アクリル酸/メタクリル酸共重合体を含む表2に示す各成分を混合し、実施例1と同様に操作して研磨液(10)〜(12)を作製した。
<比較例1>
[アクリル酸/メタクリル酸共重合体(共重合比:5/95)の作製]
脱イオン水75.00質量部とイソプロパノール75.00質量部を、0.5リットルの合成用フラスコに投入し、窒素ガス雰囲気下で撹拌しながら80℃に昇温した。その後、アクリル酸5.16質量部とメタクリル酸117.18質量部を混合したもの及び、2,2´−アゾビス〔2−(2−イミダゾリン−2−イル)プロパン〕14.34質量部と濃硫酸11.24質量部を脱イオン水80.00質量部に溶解させたものを、同時に60分間かけてフラスコ中に注入した。85℃で2時間保温し、完全に重合反応させた後に冷却して取り出し、アクリル酸/メタクリル酸共重合体を得た。その不揮発分を測定したところ、40質量%であった。
また、得られたアクリル酸/メタクリル酸共重合体の分子量を前記の方法にて測定を行ったところ、その重量平均分子量は9,100(ポリエチレングリコール換算値)であった。
[アクリル酸/メタクリル酸共重合体(共重合比:5/95)の作製]
脱イオン水75.00質量部とイソプロパノール75.00質量部を、0.5リットルの合成用フラスコに投入し、窒素ガス雰囲気下で撹拌しながら80℃に昇温した。その後、アクリル酸5.16質量部とメタクリル酸117.18質量部を混合したもの及び、2,2´−アゾビス〔2−(2−イミダゾリン−2−イル)プロパン〕14.34質量部と濃硫酸11.24質量部を脱イオン水80.00質量部に溶解させたものを、同時に60分間かけてフラスコ中に注入した。85℃で2時間保温し、完全に重合反応させた後に冷却して取り出し、アクリル酸/メタクリル酸共重合体を得た。その不揮発分を測定したところ、40質量%であった。
また、得られたアクリル酸/メタクリル酸共重合体の分子量を前記の方法にて測定を行ったところ、その重量平均分子量は9,100(ポリエチレングリコール換算値)であった。
[研磨液(13)の作製]
不揮発分が40%の前記アクリル酸/メタクリル酸共重合体(共重合比:5/95):0.13質量部、リンゴ酸:0.20質量部、水:74.67質量部を撹拌・混合し、目視にてアクリル酸/メタクリル酸共重合体(共重合比:5/95)とリンゴ酸の溶解を確認した後、シリカ含有量が20質量%で1次粒子径が40nmである市販のコロイダルシリカ:20.00質量部を添加する。さらに撹拌・混合し、研磨液の色が均一となったところで30%過酸化水素水:5.00質量部を添加、撹拌・混合し、研磨液(13)を作製した。
不揮発分が40%の前記アクリル酸/メタクリル酸共重合体(共重合比:5/95):0.13質量部、リンゴ酸:0.20質量部、水:74.67質量部を撹拌・混合し、目視にてアクリル酸/メタクリル酸共重合体(共重合比:5/95)とリンゴ酸の溶解を確認した後、シリカ含有量が20質量%で1次粒子径が40nmである市販のコロイダルシリカ:20.00質量部を添加する。さらに撹拌・混合し、研磨液の色が均一となったところで30%過酸化水素水:5.00質量部を添加、撹拌・混合し、研磨液(13)を作製した。
<比較例2〜6>
[アクリル酸/メタクリル酸共重合体(共重合比:10/90)の作製]
脱イオン水75.00質量部とイソプロパノール75.00質量部を、0.5リットルの合成用フラスコに投入し、窒素ガス雰囲気下で撹拌しながら80℃に昇温した。
その後、アクリル酸10.39質量部とメタクリル酸111.76質量部を混合したもの及び、2,2´−アゾビス〔2−(2−イミダゾリン−2−イル)プロパン〕14.44質量部と濃硫酸11.32質量部を脱イオン水80.00質量部に溶解させたものを、同時に60分間かけてフラスコ中に注入した。85℃で2時間保温し、完全に重合反応させた後に冷却して取り出し、アクリル酸/メタクリル酸共重合体を得た。その不揮発分を測定したところ、40質量%であった。
また、得られたアクリル酸/メタクリル酸共重合体の分子量を前記の方法にて測定を行ったところ、その重量平均分子量は9,200(ポリエチレングリコール換算値)であった。
[アクリル酸/メタクリル酸共重合体(共重合比:10/90)の作製]
脱イオン水75.00質量部とイソプロパノール75.00質量部を、0.5リットルの合成用フラスコに投入し、窒素ガス雰囲気下で撹拌しながら80℃に昇温した。
その後、アクリル酸10.39質量部とメタクリル酸111.76質量部を混合したもの及び、2,2´−アゾビス〔2−(2−イミダゾリン−2−イル)プロパン〕14.44質量部と濃硫酸11.32質量部を脱イオン水80.00質量部に溶解させたものを、同時に60分間かけてフラスコ中に注入した。85℃で2時間保温し、完全に重合反応させた後に冷却して取り出し、アクリル酸/メタクリル酸共重合体を得た。その不揮発分を測定したところ、40質量%であった。
また、得られたアクリル酸/メタクリル酸共重合体の分子量を前記の方法にて測定を行ったところ、その重量平均分子量は9,200(ポリエチレングリコール換算値)であった。
[ポリジメチルアミノプロピルアクリルアミドの作製]
脱イオン水115.00質量部とイソプロパノール115.00質量部を0.5リットルの合成用フラスコに投入し、窒素ガス雰囲気下で撹拌しながら80℃に昇温した。
脱イオン水115.00質量部とイソプロパノール115.00質量部を0.5リットルの合成用フラスコに投入し、窒素ガス雰囲気下で撹拌しながら80℃に昇温した。
その後、N−[3−(ジメチルアミノ)プロピル]アクリルアミド148.5質量部に2,2‘−アゾビスイソブチロニトリル1.50質量部を溶解させたものを60分間かけてフラスコ中に注入した。90℃で2時間保温し、完全に反応させた後に冷却して取り出し、ポリジメチルアミノプロピルアクリルアミドを得た。その不揮発分を測定したところ、40質量%であった。
[研磨液(14)〜(18)の作製]
前記で作製した各重合体を含む表2に示す各成分を混合し、比較例1と同様に操作して研磨液(14)〜(18)を作製した。なお、研磨液(15)、(17)及び(18)で用いた重合体は市販のものを使用した。具体的には下記の通りである。
アクリル酸/マレイン酸共重合体(共重合比:50/50):BASF社製、製品名Sokalan CP13S、重量平均分子量20,000
ポリマレイン酸:日本油脂株式会社製、製品名PMA−50W、重量平均分子量1,600
ポリアクリル酸:株式会社日本触媒製、製品名アクアリック(登録商標)HL−415、重量平均分子量10,000
前記で作製した各重合体を含む表2に示す各成分を混合し、比較例1と同様に操作して研磨液(14)〜(18)を作製した。なお、研磨液(15)、(17)及び(18)で用いた重合体は市販のものを使用した。具体的には下記の通りである。
アクリル酸/マレイン酸共重合体(共重合比:50/50):BASF社製、製品名Sokalan CP13S、重量平均分子量20,000
ポリマレイン酸:日本油脂株式会社製、製品名PMA−50W、重量平均分子量1,600
ポリアクリル酸:株式会社日本触媒製、製品名アクアリック(登録商標)HL−415、重量平均分子量10,000
[研磨液(9)〜(18)の評価]
実施例1〜4及び比較例1〜6の研磨液について、参考例1〜8と同様に評価を行なった。これら評価結果を表2に示す。
実施例1〜4及び比較例1〜6の研磨液について、参考例1〜8と同様に評価を行なった。これら評価結果を表2に示す。
[研磨液(10)、(12)及び(13)の評価]
実施例2及び4並びに比較例1の研磨液について、配線金属(銅)及びバリア部(タンタル類)の研磨速度も以下のように測定した。
実施例2及び4並びに比較例1の研磨液について、配線金属(銅)及びバリア部(タンタル類)の研磨速度も以下のように測定した。
(ブランケット基板の作製)
以下の基板を2cm×2cmの小片に切断した。
以下の基板を2cm×2cmの小片に切断した。
ブランケット基板(c):めっき法で銅(厚さ:1000nm)を形成したシリコン基板。
ブランケット基板(d):PVD法でタンタル(厚さ:300nm)を形成したシリコン基板。
ブランケット基板(e):PVD法で窒化タンタル(厚さ:200nm)を形成したシリコン基板。
ブランケット基板(f):PVD法で窒化チタン(厚さ:300nm)を形成したシリコン基板。
ブランケット基板(d):PVD法でタンタル(厚さ:300nm)を形成したシリコン基板。
ブランケット基板(e):PVD法で窒化タンタル(厚さ:200nm)を形成したシリコン基板。
ブランケット基板(f):PVD法で窒化チタン(厚さ:300nm)を形成したシリコン基板。
(基板の研磨工程)
前記ブランケット基板(c)〜(f)を下記条件で研磨した。
(研磨条件)
研磨装置:卓上小型研磨機(日本エンギス株式会社製、商品名:IMPTECH 10 DVT)
研磨布:スウェード状ポリウレタン湿式発泡タイプ研磨布(ニッタ・ハース社製、商品名:Politex)
定盤回転数:160min−1
研磨圧力:30kPa
研磨液の供給量:15mL/min
前記ブランケット基板(c)〜(f)を下記条件で研磨した。
(研磨条件)
研磨装置:卓上小型研磨機(日本エンギス株式会社製、商品名:IMPTECH 10 DVT)
研磨布:スウェード状ポリウレタン湿式発泡タイプ研磨布(ニッタ・ハース社製、商品名:Politex)
定盤回転数:160min−1
研磨圧力:30kPa
研磨液の供給量:15mL/min
(評価項目)
研磨速度:ブランケット基板(c)〜(f)の研磨速度を、シート抵抗測定器(ナプソン株式会社製、商品名:RT−70/RG−7B)を使用して求めた。結果を表3に示す。
研磨速度:ブランケット基板(c)〜(f)の研磨速度を、シート抵抗測定器(ナプソン株式会社製、商品名:RT−70/RG−7B)を使用して求めた。結果を表3に示す。
表2の結果から、(a)アニオン性であって疎水性置換基を含まないモノマーと、(b)疎水性置換基を含むモノマーとの共重合体であって、共重合比(a):(b)が25:75〜75:25の範囲にあるものを含む研磨液(9)〜(12)では、酸化珪素の研磨速度が約1300〜1400Å/minの範囲内で良好であるのに対し、窒化珪素の研磨速度は66Å/min以下と抑制されている。また、選択比も21以上と高い結果であった。
これに対し、(a)アニオン性であって疎水性置換基を含まないモノマーと、(b)疎水性置換基を含むモノマーとの共重合体を含んでいても、その共重合比がそれぞれ5:95と10:90である研磨液(13)及び(14)は、窒化珪素に対する研磨速度の抑制が充分でなく、結果として選択比も低下した。
次に、アクリル酸/マレイン酸共重合体を含む研磨液(15)と、アニオン性重合体であるポリマレイン酸を含む研磨液(17)は、窒化珪素の研磨速度が200Å/min程度と速く、選択比も7と低い結果となった。(b)疎水性置換基を含むモノマーを共重合成分に含まないためであると考えられる。
また、三級アミン含有のカチオン性重合体であるポリジメチルアミノプロピルアクリルアミドを含む研磨液(16)では、窒化珪素の研磨速度は26Å/minと非常に抑制されているが、酸化珪素の研磨速度が15Å/minと遅く、結果として選択比は大幅に低下した。
アクリル酸のホモポリマー((a)と(b)の共重合比が100:0)であるポリアクリル酸を含む研磨液(18)は、作製直後に砥粒が沈降したため、研磨評価を実施することができなかった。
以上の結果から、本発明の研磨方法によれば、酸化珪素に対する研磨速度が高く、窒化珪素に対する研磨速度が抑制でき、窒化珪素に対する酸化珪素の選択比が高い。これにより、例えば、パターン付き基板のCMP工程で、酸化珪素を優先的に研磨し、窒化珪素が露出した段階で研磨を停止することができる。また、選択比が充分高いため、終点検出装置による研磨終点の検出が可能となる。
更に、表3に示されるように、研磨液(10)、(12)及び(13)は、銅、タンタル、窒化タンタル、窒化チタンといった、さまざまな金属に対して充分な研磨速度を有しており、金属用の研磨液として適用可能であることが分かる。研磨液(9)及び(11)は、アクリル酸/メタクリル酸共重合体の共重合比が研磨液(12)と(13)との間であるため、研磨液(10)、(12)及び(13)と同様の金属研磨速度となることが予測できる。
以上の結果から、本発明の研磨方法によれば、配線金属、バリア金属及び絶縁材料等の不要な部分を研磨で除去し、窒化珪素をストッパとして研磨を終了する研磨方法を提供することができる。
本発明によれば、金属と層間絶縁材料のような絶縁材料を高研磨速度で除去しつつ、ストッパで研磨を止める高選択比を実現できる。それにより、高い加工精度を維持した上で、工程時間の短縮をすることが可能となる。本発明の研磨方法によれば、配線形成工程や、金属の埋め込みパターン形成工程以外にもCMP技術を適用可能とし、寸法精度の高い半導体デバイスを設計及び製造できる。
1 層間絶縁膜
2、6 ストッパ
3、9 配線金属
4 シリコン基板
8 バリア金属
5、7 層間絶縁材料
2、6 ストッパ
3、9 配線金属
4 シリコン基板
8 バリア金属
5、7 層間絶縁材料
Claims (10)
- ストッパとしての窒化珪素と、配線金属及び絶縁材料とを有し、かつ、前記ストッパより被研磨面側に、前記配線金属の少なくとも一部及び前記絶縁材料の少なくとも一部を有する基板を用意する工程、
前記基板の被研磨面と研磨パッドとの間にCMP研磨液を供給して、前記窒化珪素より被研磨面側に位置する前記配線金属及び前記絶縁材料を研磨する工程及び
前記窒化珪素が露出し、かつ前記窒化珪素が完全に除去される前に、研磨を停止する工程、を有し、
前記CMP研磨液は、
(A)(a)アニオン性であって疎水性置換基を含まないモノマーと、(b)疎水性置換基を含むモノマーとの共重合体、
(B)砥粒、
(C)酸、
(D)酸化剤及び
(E)液状媒体を含有してなり、
前記(B)成分は、CMP研磨液中で+10mV以上のゼータ電位を有し、
前記(A)成分は、(a)と(b)の共重合比((a):(b))が、モル比で25:75〜75:25であり、かつ、
pHが5.0以下である、
研磨方法。 - ストッパとしての窒化珪素と、配線金属、バリア金属及び絶縁材料とを有し、かつ、前記ストッパより被研磨面側に、前記配線金属の少なくとも一部、前記バリア金属の少なくとも一部及び前記絶縁材料の少なくとも一部を有する基板を用意する工程、
前記基板の被研磨面と研磨パッドとの間にCMP研磨液を供給して、前記窒化珪素より被研磨面側に位置する前記配線金属、前記バリア金属及び前記絶縁材料を研磨する工程及び
前記窒化珪素が露出し、かつ前記窒化珪素が完全に除去される前に、研磨を停止する工程、を有し、
前記CMP研磨液は、
(A)(a)アニオン性であって疎水性置換基を含まないモノマーと、(b)疎水性置換基を含むモノマーとの共重合体、
(B)砥粒、
(C)酸、
(D)酸化剤及び
(E)液状媒体を含有してなり、
前記(B)成分は、CMP研磨液中で+10mV以上のゼータ電位を有し、
前記(A)成分は、(a)と(b)の共重合比((a):(b))が、モル比で25:75〜75:25であり、かつ、
pHが5.0以下である、
研磨方法。 - ストッパとしての窒化珪素と、配線金属、バリア金属、及び絶縁材料とを有し、かつ、前記ストッパより被研磨面側に、前記配線金属の少なくとも一部、前記バリア金属の少なくとも一部及び前記絶縁材料の少なくとも一部を有し、更に、前記窒化珪素、前記絶縁材料、前記バリア金属、前記配線金属を、この順に被研磨面側に積層した部分を有する基板を用意する工程、
前記窒化珪素より被研磨面側に位置する、少なくとも配線金属の一部を除去して前記バリア金属の一部を露出させる第一の研磨工程及び
前記窒化珪素より被研磨面側に位置する、少なくとも、前記バリア金属の一部及び前記絶縁材料の一部をCMPにより除去して、前記窒化珪素を露出させ、かつ前記窒化珪素が完全に除去される前に研磨を停止する第二の研磨工程を含み、
少なくとも前記第二の研磨工程で前記基板の被研磨面と研磨パッドとの間にCMP研磨液を供給する研磨方法であり、
前記CMP研磨液は、
(A)(a)アニオン性であって疎水性置換基を含まないモノマーと、(b)疎水性置換基を含むモノマーとの共重合体、
(B)砥粒、
(C)酸、
(D)酸化剤及び
(E)液状媒体を含有してなり、
前記(B)成分は、CMP研磨液中で+10mV以上のゼータ電位を有し、
前記(A)成分は、(a)と(b)の共重合比((a):(b))が、モル比で25:75〜75:25であり、かつ、
pHが5.0以下である、
研磨方法。 - 前記CMP研磨液は、前記窒化珪素の研磨速度に対する前記絶縁材料の研磨速度の比(絶縁材料に対する研磨速度/窒化珪素に対する研磨速度)が、20以上である、請求項1〜3のいずれかに記載の研磨方法。
- 前記(a)アニオン性であって疎水性置換基を含まないモノマーがアクリル酸及びマレイン酸からなる群から選択される少なくとも一種である請求項1〜3のいずれかに記載の研磨方法。
- 前記(b)疎水性置換基を含むモノマーが、メタクリル酸、メタクリル酸メチル、メタクリル酸エチル、メタクリル酸プロピル、メタクリル酸ブチル、2−エチルアクリル酸、2−プロピルアクリル酸及び2−ブチルアクリル酸からなる群から選択される少なくとも一種である請求項1〜3のいずれかに記載の研磨方法。
- 前記(A)成分が、アクリル酸とメタクリル酸との共重合体である請求項1〜3のいずれかに記載の研磨方法。
- (B)成分が、シリカ、アルミナ、セリア、チタニア、ジルコニア、ゲルマニア及びこれらの変性物からなる群から選択される少なくとも一種である請求項1〜3のいずれかに記載の研磨方法。
- (C)成分が有機酸である請求項1〜3のいずれかに記載の研磨方法。
- 前記CMP研磨液が、(F)成分として、金属防食剤をさらに含有する請求項1〜3のいずれかに記載の研磨方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014504914A JPWO2013137220A1 (ja) | 2012-03-14 | 2013-03-12 | 研磨方法 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012056967 | 2012-03-14 | ||
JP2012056967 | 2012-03-14 | ||
JP2014504914A JPWO2013137220A1 (ja) | 2012-03-14 | 2013-03-12 | 研磨方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2013137220A1 true JPWO2013137220A1 (ja) | 2015-08-03 |
Family
ID=49161126
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014504914A Ceased JPWO2013137220A1 (ja) | 2012-03-14 | 2013-03-12 | 研磨方法 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9299573B2 (ja) |
JP (1) | JPWO2013137220A1 (ja) |
KR (1) | KR20140135743A (ja) |
CN (1) | CN104170065B (ja) |
SG (1) | SG11201405708VA (ja) |
TW (1) | TW201343886A (ja) |
WO (1) | WO2013137220A1 (ja) |
Families Citing this family (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2016067923A1 (ja) * | 2014-10-27 | 2016-05-06 | Jsr株式会社 | 化学機械研磨用水系分散体および化学機械研磨方法 |
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CN105070657B (zh) | 2009-08-19 | 2018-03-30 | 日立化成株式会社 | Cmp研磨液及其应用、研磨方法 |
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-
2013
- 2013-03-12 JP JP2014504914A patent/JPWO2013137220A1/ja not_active Ceased
- 2013-03-12 US US14/384,729 patent/US9299573B2/en active Active
- 2013-03-12 KR KR1020147025520A patent/KR20140135743A/ko active IP Right Grant
- 2013-03-12 WO PCT/JP2013/056723 patent/WO2013137220A1/ja active Application Filing
- 2013-03-12 CN CN201380013722.4A patent/CN104170065B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2013-03-12 SG SG11201405708VA patent/SG11201405708VA/en unknown
- 2013-03-14 TW TW102109013A patent/TW201343886A/zh unknown
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011103498A (ja) * | 2004-07-23 | 2011-05-26 | Hitachi Chem Co Ltd | Cmp研磨剤及び基板の研磨方法 |
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW201343886A (zh) | 2013-11-01 |
KR20140135743A (ko) | 2014-11-26 |
US9299573B2 (en) | 2016-03-29 |
WO2013137220A1 (ja) | 2013-09-19 |
US20150031205A1 (en) | 2015-01-29 |
CN104170065A (zh) | 2014-11-26 |
CN104170065B (zh) | 2016-09-07 |
SG11201405708VA (en) | 2014-11-27 |
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