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JPS6386973A - Light sensitive pickcell with exposure blocking device - Google Patents

Light sensitive pickcell with exposure blocking device

Info

Publication number
JPS6386973A
JPS6386973A JP62230901A JP23090187A JPS6386973A JP S6386973 A JPS6386973 A JP S6386973A JP 62230901 A JP62230901 A JP 62230901A JP 23090187 A JP23090187 A JP 23090187A JP S6386973 A JPS6386973 A JP S6386973A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
blocking
photodiode
circuit
anode
diode
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP62230901A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
コウイチ・キタムラ
ルイス・デイー・スウオーツ
クライブ・キヤツチポール
ズビイ・ヤニブ
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ovonic Imaging Systems Inc
Original Assignee
Ovonic Imaging Systems Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ovonic Imaging Systems Inc filed Critical Ovonic Imaging Systems Inc
Publication of JPS6386973A publication Critical patent/JPS6386973A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N1/00Scanning, transmission or reproduction of documents or the like, e.g. facsimile transmission; Details thereof
    • H04N1/40Picture signal circuits
    • H04N1/40056Circuits for driving or energising particular reading heads or original illumination means
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L27/00Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
    • H01L27/14Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
    • H01L27/144Devices controlled by radiation
    • H01L27/146Imager structures
    • H01L27/14643Photodiode arrays; MOS imagers
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L29/00Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
    • H01L29/66Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
    • H01L29/68Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
    • H01L29/76Unipolar devices, e.g. field effect transistors
    • H01L29/762Charge transfer devices
    • H01L29/765Charge-coupled devices
    • H01L29/768Charge-coupled devices with field effect produced by an insulated gate
    • H01L29/76808Input structures

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Multimedia (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
  • Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
  • Electrophotography Configuration And Component (AREA)
  • Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
  • Apparatus For Radiation Diagnosis (AREA)
  • Light Receiving Elements (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
(57) [Abstract] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 1旦二上上 本発明は感光アレー及びさらに特定的には薄膜光電素子
の集積化されたアレーと、前記素子により発せられる光
電信号を最小のクロストーク(cross−talk)
で読取るために改良したアドレス指定スキーマに係わる
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention provides a photosensitive array, and more particularly an integrated array of thin-film photoelectric elements, and a photosensitive array that transmits the photoelectric signals emitted by said elements with minimal cross-talk. )
Concerns an improved addressing scheme for reading.

発明の背■ 本発明を理解するため、[イメージ又は光学走査装置]
は、データのパターンを光学的に走査し、かつそれを代
表する信号を生じるため配置された1又はそれ以上の個
数の光電応答回路又は素子を含む装置として定義される
Background of the Invention ■ To understand the present invention, [image or optical scanning device]
is defined as a device that includes one or more photoelectrically responsive circuits or elements arranged to optically scan a pattern of data and produce a signal representative thereof.

光学イメージ走査装置はデータのパターンを電気信号に
変換し、下流側の後続の処理、記憶又は表示用装置に適
用できるようにする。イメージ走査装置はファクシミリ
伝送機、複写層、コンビュ−タ入力端子、CAD−CA
M装置、等々に内蔵される。ざらに、イメージ走査装置
はベニヤ板、繊維及び全屈などの材料の表面を検査する
ため製造工程にも利用ざ机る。典型的なイメージ走査装
置は、走査されるべき表面のさまざまな部分を同時的に
あるいは順次的にアドレス指定するため配置された1又
はそれ以上の個数の充電応答回路を含む。
Optical image scanning devices convert patterns of data into electrical signals that can be applied downstream to subsequent processing, storage, or display devices. Image scanning equipment includes facsimile transmitter, copy layer, computer input terminal, CAD-CA
It is built into the M device, etc. In addition, image scanning devices are also used in manufacturing processes to inspect the surfaces of materials such as plywood, fibers, and flexures. A typical image scanning device includes one or more charge-responsive circuits arranged to simultaneously or sequentially address various portions of the surface to be scanned.

現在、イメージ走査装置の製造のために幾つかの試みが
行なわれている。電荷結合デバイス(CCD)はこのよ
うな試みの1つに基礎を与えている。(10)Dは、標
準的には結品シリコンで形成され、個々にピクセルを結
合して備えた複数個の光電応答回路を内部に含んだ固体
素子装置である。
Several attempts are currently being made to manufacture image scanning devices. Charge-coupled devices (CCDs) provide the basis for one such effort. (10) D is a solid-state device, typically made of solid silicon, containing a plurality of photoelectrically responsive circuits with individual pixels bonded therein.

(10)Dは高度の光導電性をもち、高い解像力を備え
ることができる。しかし(10)Dは比較的寸法が小さ
い。典型的な(10)Dアレーは長さおよそ1インヂで
、現在製造されている最大(10)Dは長さ約3〜4イ
ンチである。これらの寸法上社−−〜十の制約が走査装
置内の(10)Dの有効性にmlJ限を課す。(10)
Dより大きな寸法をもつ情報パターンが走査される場合
は、(10)Dの表面に縮小サイズで情報パターンを投
影するため光学系が用いられなければならない。高価で
かさばる点を別とすれば、この種の光学系は(10)D
の解像力を有効に減じるであろう。
(10) D has a high degree of photoconductivity and can provide high resolution. However, (10)D has relatively small dimensions. A typical (10)D array is approximately 1 inch long, and the largest (10)D currently manufactured is approximately 3-4 inches long. These dimensional constraints impose a mlJ limit on the effectiveness of (10)D in the scanning device. (10)
If an information pattern with dimensions larger than D is to be scanned, an optical system must be used to project the information pattern in reduced size onto the surface of (10)D. Apart from being expensive and bulky, this type of optical system is (10)D
will effectively reduce the resolution of the image.

薄膜デバイスはイメージ走査装置を製造するもう一つの
試みである。薄膜デバイスは、適当なアモルアアス半導
体材料の層をさまざまな基板上に蒸着させることにより
形成し得る。これらの層を適当にパターン形成すること
により、さまざまな装置の構成を実現することができる
Thin film devices are another approach to manufacturing image scanning devices. Thin film devices may be formed by depositing layers of suitable amorphous semiconductor materials onto various substrates. By appropriately patterning these layers, a variety of device configurations can be realized.

ここで用いられる「アモルファス」という用語は、短又
は中距離秩序をもつかあるいは結晶性介在物を含有して
いるとはいえ、艮距岨無秩序をもつすべての材料又は合
金を含む。また「微結晶質」という用M1辞は、結晶性
介在物の体積割合にょっ導電性、バンドギャップ及び吸
収定数のような幾つかの主要パラメータの実質的変化が
生じるし壓きい値より大きい。
The term "amorphous" as used herein includes all materials or alloys that have short-range or intermediate-range order or contain crystalline inclusions, but also have angular disorder. The M1 term "microcrystalline" also means that the volume fraction of crystalline inclusions is greater than a threshold value, resulting in substantial changes in some key parameters such as conductivity, bandgap, and absorption constant.

グロー放電、又は他の蒸着法によって、λ?IFJアモ
ルファスシリコン、大面積ゲルマニウム又はシリコン−
ゲルマニウム合金を装作することができ、前記合金はエ
ネルギギャップ中に局在化状態の低濃度と高性能電子特
性をもつ。
By glow discharge or other deposition methods, λ? IFJ amorphous silicon, large area germanium or silicon
A germanium alloy can be fabricated, which has a low concentration of localized states in the energy gap and high performance electronic properties.

薄膜合金は大α生産工程によって大面積に容易に作られ
ることができ、従って大規模イメージセンザアレーの1
ff:汎的な製造が可能である。この種の大規模アレー
の使用により原価、生産規模及び処理工程の節約をおこ
ない、複雑な光学システムの必要をなくする。加えて、
薄膜ビンサアレーが走査されるべき対象とほぼ同じサイ
ズに製造されるから、比較的高いW?像力が、高解像度
写真食刻処理工程を用いる必要なしに達成される。従っ
て薄膜光電アレーは、イメージ走査装置の製造に大きな
有効性をもつことが分かる。
Thin-film alloys can be easily fabricated over large areas by large-α production processes, and are therefore one of the
ff: Can be manufactured universally. The use of large scale arrays of this type provides savings in cost, production scale and processing steps, and eliminates the need for complex optical systems. In addition,
Since the thin film Binsa array is manufactured to approximately the same size as the object to be scanned, the relatively high W? Image power is achieved without the need to use high resolution photolithographic processing steps. Therefore, it can be seen that thin film photovoltaic arrays have great effectiveness in manufacturing image scanning devices.

典型的な簿膜イメージ走査装置は光電応答回路のアレー
を含み、各回路はそこに入射する光のΦに対応する電気
信号を提供するべく適合された光電素子を含んでいる。
A typical film image scanning device includes an array of photoresponsive circuits, each circuit including a photoelectric element adapted to provide an electrical signal corresponding to Φ of light incident thereon.

大面積の表面を走査するために単一素子を使用するのは
明らかに時間の浪費であろう。従って、線形又は2次元
形の素子アレーが通例は用いられている。この種のアレ
ーが用いられる場合には、アレーの各光電回路はダイオ
ード又はトランジスタのようなブロッキング素子も含ま
なければならない。ブロッキング素子は、アレーのマト
リクス内の希望しない経路を流れる電流を防ぐことによ
り、マトリクス内のさまざまな充電素子のアドレス指定
を容易にする。このようにしてブロッキング装置もよ、
そうでなければ感光集子により生じる信号を劣化させる
であろうクロストークを取り除く。
Obviously, using a single element to scan a large surface area would be a waste of time. Therefore, linear or two-dimensional arrays of elements are commonly used. If this type of array is used, each optoelectronic circuit of the array must also include a blocking element, such as a diode or transistor. The blocking elements facilitate addressing of the various charging elements within the matrix by preventing current from flowing through undesired paths within the matrix of the array. In this way, you can also use a blocking device.
Eliminates crosstalk that would otherwise degrade the signal produced by the photoconcentrator.

先行感光アレーの使用においては、入射光の吸収による
ブロッキング素子内の電荷キャリヤ対の発生によって幾
つかの問題が生じた。ブロッキング素子が製造される半
導体材料のバンドギャップより大きなエネルギを持つ光
は、その材料に電子−正孔対を生じることができる。も
し半導体材料を横切って磁界が存在すれば、光?171
子−正孔対は分離され、それによりTi流の流れを生じ
る。これ以前に、ブロッキング素子のこの種の照明は、
効果的に「雑音j源となる電流の流れを生じることがで
きた。この「雑音」は、消失するかさもなければ光電素
子の感度によって生じる信号を劣化させた。この理由で
、これまでは照明を防ぐため、ブロッキング素子を光学
的に遮蔽する必要があった。
In the use of prior photosensitive arrays, several problems arose due to the generation of charge carrier pairs within the blocking element due to the absorption of incident light. Light with an energy greater than the bandgap of the semiconductor material from which the blocking element is fabricated can create electron-hole pairs in that material. If there is a magnetic field across a semiconductor material, what about light? 171
The child-hole pairs are separated, thereby producing a Ti stream. Prior to this, this kind of illumination of blocking elements was
It was possible to create a current flow that effectively became a source of "noise". This "noise" disappeared or otherwise degraded the signal produced by the sensitivity of the photoelectric element. For this reason, it has hitherto been necessary to optically shield blocking elements to prevent illumination.

この種のマスキングは、ブロッキング素子上に比較的厚
い、不透明な金属又はその他の層を堆積するか、あるい
は照明を避けるためテープ又はその他のシールドを用い
ることによって実行された。
This type of masking has been performed by depositing relatively thick, opaque metal or other layers over the blocking elements, or by using tape or other shields to avoid illumination.

この試みはあきらかに追加処理工程を必要とする限りに
おいて満足のいくどころではない。例えば、金属層の堆
積は、短絡を避けなければならないとすれば非常な注意
を必要とする。テープ又は他のマスキング素子を別に貼
付けて用いることは、マスキング素子の配置のため充分
な余猶を提供すべきため、ブロッキング素子を光fft
7R子から比較的遠く離して配置することを必要にする
。このような遠隔配置は空間を浪費して解像力を減じ、
さらにそれらの間に比較的長いコネクタの使用を要求し
、この種のコネクタは回路に望ましくないキャパシタン
スを付加する。
This approach is clearly far from satisfactory insofar as it requires additional processing steps. For example, the deposition of metal layers requires great care if short circuits are to be avoided. The use of separately applied tape or other masking elements should provide sufficient room for the placement of the masking element so that the blocking element is not exposed to light fft.
It is necessary to place it relatively far away from the 7R child. Such remote placement wastes space and reduces resolution;
Furthermore, they require the use of relatively long connectors between them, and such connectors add undesirable capacitance to the circuit.

従って、ブロッキング素子を入射光線から覆う必要を取
り除き、この秤のマスキング工程が下側に隣接づる素子
を害し、原価を上昇させ、処理時間と材料を浪費さけ、
感光ピクセルの寸法及び電気的キャパシタンスを不利に
増加させることのないようにすることが望ましいことが
理解されよう。
Therefore, it eliminates the need to cover the blocking element from the incident beam, and prevents the scale masking process from harming the underlying adjacent element, increasing cost and wasting processing time and materials.
It will be appreciated that it is desirable to avoid disadvantageously increasing the size and electrical capacitance of the photosensitive pixels.

従って本発明は光電素子及びブロッキング素子を含む光
電応答回路を製造するためのもので、ブロッキング素子
を入射光から覆うための必要が何もない装置を提供する
Accordingly, the present invention provides an apparatus for manufacturing photovoltaic responsive circuits that include a photovoltaic element and a blocking element, without the need for shielding the blocking element from incident light.

本発明のこれらの及び他の利点は本発明の要約、図面、
図面の説明及び請求の範囲から容易に明らかにされるで
あろう。
These and other advantages of the invention are described in the Summary of the Invention, the Drawings,
It will be readily apparent from the description of the drawings and the claims.

児」JLI力 ここに開示されているのは、入射光の量に対応して検出
可能な信号を提供するための回路である。
Disclosed herein is a circuit for providing a detectable signal in response to the amount of incident light.

回路は少なくとも第1及び第2電極を含む光電素子を含
み、さらに少なくとも1部の回路を通って選択的にブロ
ッキング電流を流すための素子をも含んでおり、この素
子は少なくとも第1及び第2電極を含み、光電素子の第
1電極及びブロッキング素子の第1電極は電気的に相互
@続され、他方では光電素子の第2電極とブロッキング
素子の第2電極は事実上共通の電位に保)、′7され、
従って検出可能の信号は前記電流ブロッキング素子によ
り光電発生されたキャリヤ対によって消費されはしない
The circuit includes an optoelectronic device including at least first and second electrodes, and further includes an element for selectively passing a blocking current through at least a portion of the circuit, the device including at least the first and second electrodes. (a first electrode of the optoelectronic element and a first electrode of the blocking element being electrically interconnected, while a second electrode of the optoelectronic element and a second electrode of the blocking element are held at a substantially common potential); , '7,
Therefore, no detectable signal is consumed by the carrier pairs photoelectrically generated by the current blocking element.

光電素子はホトレジスタ、ホトトランジスタ又はホトダ
イオードであり得る。光電素子がホトダイオードの形を
とるとき、薄膜半導体合金材料で作られた反対にドープ
された層を酋み、それらの層の間には事実上真性な半導
体合金材料がp−1−n形ボトダイオードを形成するた
め配置されている。最も好ましい具体例では、ホトダイ
オードの半導体層は主としてアモルファスシリコン合金
材料、アモルファスゲルマニウム合金材料及びアモルフ
ァスシリコン:ゲルマニウム合金材料から成るグループ
から選択された材料から形成される。
The photoelectric element can be a photoresistor, a phototransistor or a photodiode. When the photovoltaic element takes the form of a photodiode, it incorporates oppositely doped layers made of thin film semiconductor alloy material, between which the virtually intrinsic semiconductor alloy material forms p-1-n type bottoms. arranged to form a diode. In a most preferred embodiment, the semiconductor layer of the photodiode is formed primarily from a material selected from the group consisting of an amorphous silicon alloy material, an amorphous germanium alloy material, and an amorphous silicon:germanium alloy material.

光電素子は光学的及び電気的連続関係に積重ねられた複
数個のp−1−n形ホトダイオードを含んでもよい。
The photoelectric element may include a plurality of p-1-n type photodiodes stacked in optical and electrical series relationship.

好適具体例としてのブロッキング素子は入射光の吸収に
応答して電荷キャリヤ対を生じることができる光電応答
半導体合金材料の層を含む。ブロッキング素子はトラン
ジスタ又はダイオードであってもよい。ブロッキング素
子がダイオードの形をとるとき、逆特性にドープされた
薄膜半導体合金材V[の1対の層を含んでもよく、この
層の間にはp−1−n形ダイオードを形成するため真性
半導体合金材料の層が配置される。p−1−n形ダイオ
ードは主としてアモルファスシリコン合金材料、アモル
ファスゲルマニウム合金材料及びアモルファスシリコン
:ゲルマニウム合金材料から成るグループから選択され
る半η体合金材料の層から形成される。ダイオードは光
学的及び電気的連続関係に配置された複数個のp−t−
n形ダイオードを合み1gる。ダイオードはまたショッ
トキバリヤの形をとってもよい。しかしながらブロッキ
ング手段は事実上は入射光から覆われてはいない。
A preferred embodiment of the blocking element includes a layer of photoresponsive semiconductor alloy material capable of generating charge carrier pairs in response to absorption of incident light. The blocking element may be a transistor or a diode. When the blocking element takes the form of a diode, it may include a pair of layers of oppositely doped thin film semiconductor alloy material V, between which there is an intrinsic A layer of semiconductor alloy material is disposed. The p-1-n type diode is formed primarily from a layer of a semi-eta alloy material selected from the group consisting of an amorphous silicon alloy material, an amorphous germanium alloy material, and an amorphous silicon: germanium alloy material. The diode consists of a plurality of p-t-
The total weight of the n-type diodes is 1g. The diode may also take the form of a Schottky barrier. However, the blocking means are virtually not covered from the incident light.

好適具体例では、光電素子の第2電橿及び電流ブロッキ
ング手段の第2電極をOボルトのような事実上等しい電
位に保つために低インピータンス宵流増幅器が適用され
る。光電素子は好ましくは陽極及び陰極をもつホトダイ
オードであり、ブロッキング素子は好ましくは陽極と陰
極をもつブロッキングダイオードで、ホトダイオードが
露光されると、光電キャリヤ対の形の電気信号が導電体
上に蓄積され、ホトダイオードの陽極及びブロッキング
ダイオードの陽極は回路が露光されている間事実上同じ
電位に保持されるように、前記導電体によって電気的に
相互接続されせた2個のダイオードの陰極を備えている
In a preferred embodiment, a low impedance current amplifier is applied to keep the second voltage of the optoelectronic element and the second electrode of the current blocking means at substantially equal potentials, such as O volts. The photoelectric element is preferably a photodiode with an anode and a cathode, and the blocking element is preferably a blocking diode with an anode and a cathode, so that when the photodiode is exposed to light, an electrical signal in the form of photoelectric carrier pairs is accumulated on the conductor. , the anode of the photodiode and the anode of the blocking diode are electrically interconnected by the conductor such that the anode of the photodiode and the anode of the blocking diode are held at substantially the same potential during exposure of the circuit. .

複数個のホトダイオード及び作動的に配置された複数個
の結合ブロッキングダイオードを用いることによって、
回路は入射光の呈に対応づ゛る複数個の電気信号を供給
するべ(適合されたピクセルアレーを供給するため用い
られることができる。
By using a plurality of photodiodes and a plurality of operatively arranged coupling blocking diodes,
The circuitry should provide a plurality of electrical signals corresponding to the characteristics of the incident light (and can be used to provide a tailored pixel array).

ピクセルアレーは直線形であっても2次元形であっても
よい。
The pixel array may be linear or two-dimensional.

好適具体例では、少なくとも1vAの導電面をもつ支持
基板が備えられる。ホトダイオードとブロッキングダイ
オードは、電気的結合をその間に成立させるため導電面
と電気的に結合状態にある陰極をもつ導電面上に間隔を
つけて配置されている。
In a preferred embodiment, a support substrate is provided with a conductive surface of at least 1 vA. A photodiode and a blocking diode are spaced apart on a conductive surface having a cathode electrically coupled to the conductive surface to establish electrical coupling therebetween.

回路はさらにホトダイオードの陽極の上側に配置された
第1透明導体、ブロッキングダイオードの陽極の上側に
位2する第2透明導体、及び第1透明尋休の1部と第2
透明導体の1部と接触する導電体を含んでいる。
The circuit further includes a first transparent conductor disposed above the anode of the photodiode, a second transparent conductor disposed above the anode of the blocking diode, and a portion of the first transparent conductor and a second transparent conductor disposed above the anode of the blocking diode.
It includes a conductor in contact with a portion of the transparent conductor.

さらに本発明の範囲に光電応答回路で用いられる電流ブ
ロッキング素子が含まれ、前記回路は光電素子を含み、
その上への入射光のmに対応する検出可能な信号を供給
し蓄積するべく適合されることも予想される。回路はさ
らにそこを通過する電流を選択的にブロックするための
素子を含む。
Further included within the scope of the invention are current blocking devices for use in photoresponsive circuits, said circuits comprising photovoltaic elements;
It is also envisaged that it will be adapted to provide and store a detectable signal corresponding to m of light incident thereon. The circuit further includes an element for selectively blocking current passing therethrough.

ブロッキング素子は以下を結合して含む。即ち前記回路
上の入)1光から事実−ヒ覆われていず、その結果その
光電領域が少なくとも部分的に前記光線に接近すること
ができる面である。さらに、この光電素子の具体例はホ
トレジスタ、ホトトランジスタ、ホトダイオードであっ
てもよい。しがし光電素子とブロッキング素子の両方は
半導体合金材料のp−1−n@形層の1又はそれ以上の
3つ組から形成されることが考えられる。また、光電素
子の第2電極及び電流ブロッキング素子の第2?δ穫は
、第1電穫が電気的に相互接続されている間、低インピ
ーダンス電流増幅器によっておよそ0ボルトの事実上等
しい電位に保持される。アレーを形成するため作動的に
配置さ札た複数個の結合されたホトダイオード及びブロ
ッキングダイオードを用いることによって、前記アレー
によって生じる電気信号はイメージセンサにより感受さ
れたイメージから発する光に対応するであろう。
The blocking element includes in combination: That is to say, it is the surface on said circuit which is not actually covered by one beam of light, so that its photovoltaic area can at least partially access said beam. Furthermore, specific examples of this photoelectric element may be a photoresistor, a phototransistor, a photodiode. It is contemplated that both the blocking optoelectronic element and the blocking element are formed from one or more triplets of p-1-n@ type layers of semiconductor alloy material. In addition, the second electrode of the photoelectric element and the second electrode of the current blocking element are also included. The δ voltages are held at a substantially equal potential of approximately 0 volts by a low impedance current amplifier while the first voltage is electrically interconnected. By using a plurality of coupled photodiodes and blocking diodes operatively arranged to form an array, the electrical signals generated by said array will correspond to the light emitted from the image sensed by the image sensor. .

蛤1且焦1 本発明は図を参照することで最もよく理解されよう。第
1へ及び1B図は、感光ピクセルのアレーが動いている
間、個々の感光回路によって生じる信号を読取るための
好適方法と回路を図示する。
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The present invention is best understood with reference to the drawings. Figures 1 and 1B illustrate a preferred method and circuit for reading signals generated by individual photosensitive circuits while the array of photosensitive pixels is in motion.

ここで用いられる「感光回路」又は「光電応答回路」と
いう用語は、個々のピクセルと結合した感光アレーのそ
の部分を意味し、通例では、入射光の吸収に応答して検
出可能な信号を提供するための光電素子と、回路各部を
流れる電流を選択的に制限するブロッキング素子と、結
合されたアドレス指定手段とを含む。第1Δ図は入射光
12を受容するための感光ピクセル10を示し、第1B
図は出力増幅器14によって読取られる感光ピクセル1
0を示す。第1A図と1B図を参照して分かるように、
感光ピクセル10は2個のダイオード、即らブロッキン
グダイオード16及び背面対背面接続形に電気接続され
たホトダイオード18を含む。感光ピクセル10の作動
を説明する便宜のために、ダイオード16及び18の内
部キャパシタンス2o及び22はそれぞれ第1△及び1
B図に別の部品として示されている。ダイオード16及
び18の陽極は、共通点又はノード24に結合される。
As used herein, the term "photosensitive circuit" or "photoresponsive circuit" refers to that portion of a photosensitive array associated with an individual pixel, typically providing a detectable signal in response to absorption of incident light. a blocking element for selectively limiting current flow through portions of the circuit; and associated addressing means. Figure 1Δ shows a photosensitive pixel 10 for receiving incident light 12;
The figure shows a photosensitive pixel 1 read out by an output amplifier 14.
Indicates 0. As can be seen with reference to Figures 1A and 1B,
Photosensitive pixel 10 includes two diodes, a blocking diode 16 and a photodiode 18 electrically connected in a back-to-back configuration. For convenience in explaining the operation of the photosensitive pixel 10, the internal capacitances 2o and 22 of the diodes 16 and 18 are designated as 1 Δ and 1 Δ, respectively.
It is shown as a separate part in Figure B. The anodes of diodes 16 and 18 are coupled to a common point or node 24.

ホトダイオード18の陰極は出力ノード26と結合し、
ブロッキングダイオード16の陰極は入力ノード28と
結合する。湾両方のダイオード16及び18は、好まし
くは作動中露光されるとぎそれぞれ電流I8及び■、を
生じるように作られ作動される。このため各ダイオード
は小型太陽電池として考案され、走査周期ごとのエネル
ギ出力は走査周期中の入射光の全量に比例する。
The cathode of photodiode 18 is coupled to output node 26;
The cathode of blocking diode 16 is coupled to input node 28 . Both diodes 16 and 18 are preferably constructed and operated to produce currents I8 and 1, respectively, which are exposed to light during operation. Each diode is therefore designed as a miniature solar cell, the energy output per scanning period being proportional to the total amount of incident light during the scanning period.

感光ピクセル10は、各走査周期にわたり入射光によっ
て生じる全電荷を有効に統合するから、単にある瞬間を
ベースにして入射光を測定する先行技術の感光素子より
はるかに感受性が高い。信号増幅器14は、感光ピクセ
ル10が読取られるときノード26を通過する電流に比
例する増幅された出力信号を生じるためのものである。
Because the photosensitive pixel 10 effectively integrates the total charge produced by the incident light over each scan period, it is much more sensitive than prior art photosensitive elements that simply measure the incident light on an instantaneous basis. Signal amplifier 14 is for producing an amplified output signal that is proportional to the current passing through node 26 when photosensitive pixel 10 is read.

ノード26及びノード28の電圧が周期の感受(即ち非
読取り)部分の間、事実上同じ値に保持されることが本
発明の重要な特徴である。これはブロッキングダイオー
ド16の照明の間に生じる光電電流が消失するのを防ぐ
。さもなければホトダイオード18により生じ、かつノ
ード24に蓄積された光電電流は劣化される。このため
、ブロッキングダイオード16は入射光からマスクされ
る必要がなく、従ってピクセルの設計と処理工程を単純
化する。
It is an important feature of the invention that the voltages at nodes 26 and 28 are held at substantially the same value during the sensitive (ie, non-read) portion of the cycle. This prevents the photoelectric current that occurs during the illumination of the blocking diode 16 from dissipating. Otherwise, the photocurrent produced by photodiode 18 and stored at node 24 will be degraded. Therefore, the blocking diode 16 does not need to be masked from the incident light, thus simplifying the pixel design and processing steps.

ホトダイオード18及び増幅器14の間のノード26に
おける電圧と入力ノード28における電圧とは、感光ピ
クセル10が第1A図に示す通り読取られないときはい
つもゼロボルトに保持されるのが好ましく、但し伯の共
通電圧値は同様に用いられてもよい。
The voltage at node 26 between photodiode 18 and amplifier 14 and the voltage at input node 28 are preferably held at zero volts whenever photosensitive pixel 10 is not being read as shown in FIG. Voltage values may be used as well.

従って、ダイオード16及び18が第1A図に示寸通り
露光されるときは、それらはそれぞれ光電電流IB及び
IPを生じ、これらの電流はノード24に向けられ、従
って接合電圧■Jはノード24上に配置された負の電圧
より小さい負性となり、最終時に感光ピクセル10が読
取られる。
Therefore, when diodes 16 and 18 are exposed as shown in FIG. becomes less negative than the negative voltage placed at , and at the end the photosensitive pixel 10 is read.

第1B図に示す通り、感光ピクセル10に射す入射光1
2によって生じる粕分電荷を読取るために、入力ノード
28の電圧は例えばゼロボルトから一5ボルトへ減少す
る。ブロッキングダイオード16はこのようにして5f
fi性となり、ノード24における電圧がおよそ一5ボ
ルトに等しくなるまで電流が通過する。
As shown in FIG. 1B, incident light 1 impinging on the photosensitive pixel 10
2, the voltage at input node 28 is reduced from, for example, zero volts to 15 volts. The blocking diode 16 is thus 5f
current passes until the voltage at node 24 is approximately equal to 15 volts.

実際にtよ、ダイオード16の内部電圧は、ノード24
の電圧が入力ノード28に加わる電圧に達するのを防ぐ
ことができる。このノード24における電圧の変化は、
破線30によって指示された電流によって伴なわれる。
In fact, the internal voltage of diode 16 is at node 24
can be prevented from reaching the voltage applied to input node 28. This change in voltage at node 24 is
It is followed by a current indicated by dashed line 30.

ホトダイオード18はこのときバイアスをかけられて逆
転し、読取りパルスの時間に従っておよそ一5ボルトの
最終逆バイアス電圧を経験する。
Photodiode 18 is now biased and reversed, experiencing a final reverse bias voltage of approximately 15 volts according to the time of the read pulse.

時々、この逆電流30をホトダイオード28の内部キ1
?バシタンス22を通るものと考えることも有効であっ
て、このようにしてコンデンサ22に5ボルトをかける
。他方では、ブロックキングダイオード16は前方へバ
イヤスをかけられ、従ってその内部キャパシタンス20
を有効に放電させ、即ち内部キャパシタンス20を横切
る電圧20は、ダイオード16を横切って達成される最
終前方電圧降下に等しくなる。ノード26を横切る電流
30は、信号増幅器14によって増幅され、出力ノード
32を通る増幅された電流IAを生じ、感光ピクセル1
0による電流走査周期中に受容した光の強度に比例的で
ある。
Sometimes this reverse current 30 is passed through the internal key 1 of the photodiode 28.
? It is also useful to think of it as passing through the capacitor 22, thus applying 5 volts to the capacitor 22. On the other hand, the blocking diode 16 is forward biased and therefore its internal capacitance 20
, ie, the voltage 20 across internal capacitance 20 is equal to the final forward voltage drop achieved across diode 16. Current 30 across node 26 is amplified by signal amplifier 14 resulting in an amplified current IA through output node 32 and photosensitive pixel 1.
is proportional to the intensity of light received during a current scan period by 0.

走査パルスの終りに、入力ノード28における電圧はゼ
ロボルトに戻り、ノード24における電圧■Jは感光ピ
クセル10がそれ以上の入射光を受けない限り、およそ
−5ボルトに残る。最後に、ノード26はゼロボルトに
戻り、回路は感応モードにリセットされる。
At the end of the scan pulse, the voltage at input node 28 returns to zero volts and the voltage at node 24 remains at approximately -5 volts as long as the photosensitive pixel 10 receives no further incident light. Finally, node 26 returns to zero volts and the circuit is reset to sensitive mode.

第2図A〜第2図Cは、感光ピクセル例えば10の出力
が光の強度変化に応じる時間応答をまとめて図解する3
つの波形のタイミング図である。第2図への第1波形は
、第1B図の入力28に置かれた一5ボルト駆動パルス
を示す。当業者には、時間間隔長及びフレーム時間は、
時間応答の差とアドレス指定すべき感光ピクセルの数を
調整するため変更し1qることか分かる。
Figures 2A-2C collectively illustrate the time response of the output of a photosensitive pixel, e.g. 10, to changes in light intensity.
FIG. 3 is a timing diagram of two waveforms. The first waveform to FIG. 2 shows a 15 volt drive pulse placed on input 28 of FIG. 1B. For those skilled in the art, the time interval length and frame time are:
It can be seen that there are 1q changes to adjust for the difference in time response and the number of photosensitive pixels to be addressed.

第2図Bに示す波形は、第1B図の感光ビクセメ10内
のノード24において、走査されるべきイメージの連続
するセグメント、即ち完全開、金曜、中間明、完全開及
び近似完全用にそれぞれ引続いて出会うときに生じる対
応電圧■、を示す。図示の通り、イメージの完全開セグ
メントに出会うとき、ノード24での電圧V、はおよそ
一5ボルトからおよそゼロボルトに増える。この第一充
電周期の終端において、入力パルス34aはおよそゼロ
ボルトから一5ボルトへこの電圧を戻らせる。従って、
第2図Cに示す出力電流信号は、ブロッキングダイオー
ド16を通過する電流を測定する。
The waveforms shown in FIG. 2B are triggered at node 24 in the photosensitive imager 10 of FIG. The corresponding voltage ■, which occurs when the next encounter occurs, is shown. As shown, the voltage at node 24, V, increases from approximately 15 volts to approximately zero volts when a fully open segment of the image is encountered. At the end of this first charging cycle, input pulse 34a causes this voltage to return from approximately zero volts to 15 volts. Therefore,
The output current signal shown in FIG. 2C measures the current passing through blocking diode 16.

次の走査周期又はフレームで出会うイメージが暗りれば
、光電流は目立つほど発生けず、従って接合ノード24
の電圧■Jは読出しパルス34bが出現しても変化しな
い。イメージが暗と完全開との間に位置する中間の明レ
ベルを生じるセグメントから成る場合は、発生づ′る光
電流は0と一5ボルトの中聞値をもち、ノード24にお
ける“電圧の中間変化が生じる。次の読出しパルス3A
c中では、中くらいの電圧変化がノード24に生じるだ
けで、中くらいの出力が第2図Cに対応して示すように
ノ−ド32に生じる。
If the image encountered in the next scan period or frame is dark, no appreciable photocurrent will be generated and therefore the junction node 24 will
The voltage ■J does not change even if the read pulse 34b appears. If the image consists of a segment producing an intermediate brightness level located between dark and fully open, the photocurrent generated will have an intermediate value of 0 and 15 volts, and the photocurrent at node 24 will have an intermediate value of 0 and 15 volts. Change occurs.Next read pulse 3A
In c, only a moderate voltage change occurs at node 24, and a moderate output occurs at node 32, as shown correspondingly in FIG. 2C.

以上説明した読出しスキーマは、当業者には公知のその
他の跣出し技術について右Q、 mな利点をもつ。この
ような利点の1つは、電気通信状態にある他の素子を通
る望ましくないう電流卸えいによる電気的クロストーク
が事実上取除かれることである。ぞの理由は第3図を参
照して説明することができる。図では明快と議論のしや
すさのため、それぞれが2個の感光素子をもつ2つの感
光回路又はグループ36a及び36bから成る先行技術
直線形アレーが示されている。増幅器14aは図示の通
り接続されると、どのグループが呼掛けられているかに
応じてグループ36aの感光ピクセル10aか、グルー
プ36bの感光ピクセル10bかによって生じた電流を
感知する動きをする。実際上は、感光素子10aを読取
るとき増幅器14aによって感受される全電流は、感光
素子10aからの電流38と、選ばれなかったグループ
36bのピクセル10b及び10cを通過する付加漏え
い電流40とを合む、複数個の電流経路を通過する′a
i流と、さらに濃い破¥Q40によって示された経路内
の選択されたグループ36a内の他のピクセル10dを
通過する電流との合計である。この種の電流は感光ピク
セル10の間の作動特性での変化及び出力線路46がゼ
ロボルトに保持されないという事実によって生じる。数
ダース又は数百グループのピクセルをもつ大形感光アレ
ーにおいて、この希望しないクロストーク電流は個々の
感光ピクセル10の読取り粘度にマイナスに影響する恐
れがある。しかし本発明では入力線路46と出力線路4
4が事実上同じ電位に保持されており、−り電流は存在
しない。従って各ピクセル10を再充電するために要す
る電流は、その対応する増幅器14によってだけ検出さ
れる。
The readout scheme described above has significant advantages over other readout techniques known to those skilled in the art. One such advantage is that electrical crosstalk due to undesirable current flow through other elements in electrical communication is virtually eliminated. The reason for this can be explained with reference to FIG. In the figure, for clarity and ease of discussion, a prior art linear array is shown consisting of two photosensitive circuits or groups 36a and 36b, each having two photosensitive elements. When connected as shown, amplifier 14a is operative to sense the current produced by either photosensitive pixels 10a of group 36a or photosensitive pixels 10b of group 36b, depending on which group is being interrogated. In practice, the total current sensed by amplifier 14a when reading photosensitive element 10a is the sum of the current 38 from photosensitive element 10a and the additional leakage current 40 passing through pixels 10b and 10c of unselected group 36b. ′a passing through multiple current paths
i current and the current passing through other pixels 10d in the selected group 36a in the path indicated by the darker break Q40. This type of current is caused by variations in the operating characteristics between photosensitive pixels 10 and the fact that output line 46 is not held at zero volts. In large photosensitive arrays with groups of dozens or even hundreds of pixels, this unwanted crosstalk current can negatively affect the read viscosity of individual photosensitive pixels 10. However, in the present invention, the input line 46 and the output line 4
4 are held at virtually the same potential and there is no negative current. The current required to recharge each pixel 10 is therefore detected only by its corresponding amplifier 14.

第4図は本発明感光ピクセル10の、好適アドレス指定
及び読取り法を単純な略図で示した説明図である。図示
の通り、すべての出力線路46並びにすべての入力線路
44はぜロボルトに保持され、従って希望しない漏えい
電流を除去する。アドレス指定されないグループ内の各
感光ピクセル10は同じ電圧であるから、これらのアド
レス指定されないピクセルを通る電流は存在しない。従
って有効な通路、即ち電圧降下をもち、それを通ってク
ロス[ヘーク電流が送られる通路は存在しないから、ク
ロストークは有効に防がれる。当業者には、感光ピクセ
ルの直線形アレーのようなアレーのこの好適読取り法は
、すべてのブロッキングダイオード及びすべてのホトダ
イオードのI−Vの特性値に正確に適合する必要を取除
きもすることが理解されよう。
FIG. 4 is a simplified schematic illustration of a preferred addressing and reading method for the photosensitive pixel 10 of the present invention. As shown, all output lines 46 as well as all input lines 44 are held at zero volts, thus eliminating unwanted leakage currents. Since each photosensitive pixel 10 in an unaddressed group is at the same voltage, there is no current through these unaddressed pixels. Crosstalk is therefore effectively prevented since there is no effective path, ie, a path through which the cross-[hake currents] can be routed, that has a voltage drop. Those skilled in the art will appreciate that this preferred method of reading arrays, such as linear arrays of photosensitive pixels, also obviates the need to precisely match the I-V characteristic values of all blocking diodes and all photodiodes. be understood.

第5図は2個のl14接する感光ピクセル10と結合し
た出力線路46及び入力線路44の上面図である。
FIG. 5 is a top view of the output line 46 and input line 44 coupled to two adjacent photosensitive pixels 10.

第6図は第5図の6−6線に従がう感光ピクセル10の
1つに対応する側面断面図である。第5図及び第6図は
、感光ピクセル10、入力線路44及び出力線路46が
、薄膜半導体合金材料、絶縁体及び伝導線路を堆積し、
さらに従来法の写真食刻技術を用いてパターン形成する
ためによく知られた技術を用いて単一集積構造として形
成され1qることを図示してしいる。第5図に示す通り
、感光アレーは相互に平行に間隔をとって隣接して配着
した複数個の感光ピクセル10を含んでいてもよい。1
個アレーについて、同一の感光ピクセル10の概略寸法
は次の通りであり得る。任意の方向に隣接するピクセル
10の間の中心間距離はおよそ60ミクロンであること
ができる。ホトダイオード18は各辺がおよそ42ミク
ロンである正方形として形成されることができ、ざらに
ブロッキングダイオード16は各辺がおよそ24ミクロ
ンの正方形として形成されることができる。ブロッキン
グダイオード18はおよそ30ミクロン平方の適正な導
電ベース5oの上面に配置されることができ、このベー
スはその電極の1つとして役立つ。一方ホトダイオード
18はおよそ52ミクロン平方の適正な導電ベース52
上に配置されることができ、このベースはその電極の1
つとして動く。導電ベース50及び52は、好ましくは
導電コネクタ54によって相互接続される。感光ピクセ
ル10の長さ方向の全長は、およそ250ミクロンであ
り得る。それぞれのホトダイオード18にイオード18
の寸法が増せば作り得る。しかしながら第5図から容易
に分かる通り、各ホトダイオードのサイズの増加はアレ
ーの解像力に影響するだろう。さらに、もしブロッキン
グダイオードがホトダイオードに比較して余り大きくさ
れ過ぎると、余分のキャパシタンスが回路に加えられ、
このキャパシタンスはその作動に害になるだろう。従っ
て、ブロッキングダイオードの面積より少なくとも5倍
、好ましくは10倍大きい面積をホトダイオードに持た
せることが望ましいことが分かった。
FIG. 6 is a side cross-sectional view corresponding to one of the photosensitive pixels 10 taken along line 6--6 of FIG. 5 and 6 show that the photosensitive pixel 10, the input line 44 and the output line 46 are deposited with thin film semiconductor alloy materials, insulators and conductive lines;
It is further illustrated that the structure 1q can be formed as a single integrated structure using well-known techniques for patterning using conventional photolithography techniques. As shown in FIG. 5, the photosensitive array may include a plurality of photosensitive pixels 10 arranged parallel to each other and spaced adjacent to each other. 1
For each array, the approximate dimensions of the same photosensitive pixel 10 may be as follows. The center-to-center distance between adjacent pixels 10 in any direction may be approximately 60 microns. Photodiode 18 may be formed as a square with approximately 42 microns on each side, and roughly blocking diode 16 may be formed as a square with approximately 24 microns on each side. The blocking diode 18 can be placed on top of a suitable conductive base 5o of approximately 30 microns square, which serves as one of its electrodes. The photodiode 18, on the other hand, has a suitable conductive base 52 approximately 52 microns square.
This base can be placed on one of its electrodes.
move as one. Conductive bases 50 and 52 are preferably interconnected by a conductive connector 54. The total longitudinal length of photosensitive pixel 10 may be approximately 250 microns. Iode 18 for each photodiode 18
It can be made by increasing the dimensions of. However, as can be easily seen from FIG. 5, increasing the size of each photodiode will affect the resolution of the array. Additionally, if the blocking diode is made too large compared to the photodiode, extra capacitance is added to the circuit,
This capacitance will be detrimental to its operation. It has therefore been found desirable to have the photodiode have an area that is at least 5 times, preferably 10 times larger than the area of the blocking diode.

第6図は感光ピクセル10が絶縁基板56上に形成され
、この基板は好ましくはコーニング(Corn i n
Q )7059ガラスであるが、他の適切な材料、例え
ばステンレス鋼を絶縁層で被覆したものから形成されて
もよいことを示す。基板56の頂上には底部全屈層58
が形成され、これはクロームであってもよく、前記層5
8は各感光ピクセル10の下側にパターン形成された金
属層を形成し、ざらに入力線路44と出力線路46を同
時にl形成するため従来技術を用いて写真食刻法を用い
てパターン形成される・パターン形成された金属層58
は導電ベース50及び52を形成し、これらのベースは
それぞれダイオード16及び18のための電極の1つと
して働く。
FIG. 6 shows that a photosensitive pixel 10 is formed on an insulating substrate 56, which substrate is preferably a Corning.
Q) 7059 glass, but indicates that it may be formed from other suitable materials, such as stainless steel coated with an insulating layer. At the top of the substrate 56 is a bottom full flexure layer 58.
is formed, which may be chrome, and said layer 5
8 forms a patterned metal layer on the underside of each photosensitive pixel 10, which is patterned using photolithography using conventional techniques to simultaneously form input lines 44 and output lines 46. patterned metal layer 58
form conductive bases 50 and 52, which serve as one of the electrodes for diodes 16 and 18, respectively.

金属層58は、また2個のベースを相互接続する導電コ
ネクタ54を形成する。次にN−1−P半導体合金材料
層60は、ダイオード16及び18の感光部分を形成す
るためベース50及び52上に堆積される。
Metal layer 58 also forms a conductive connector 54 interconnecting the two bases. A layer of N-1-P semiconductor alloy material 60 is then deposited over bases 50 and 52 to form the photosensitive portions of diodes 16 and 18.

各層60上には分離した頂部接点62が配置され、前記
頂部接点は好ましくはインジウム・スズ酸化物(ITO
)のような透明導電酸化物から作られる。
Disposed on each layer 60 is a separate top contact 62, said top contact preferably being made of indium tin oxide (ITO).
) made from transparent conductive oxides such as

次に絶縁層64が、希望する場所を除いてアレーの他の
部分と電気的に連絡することから導電線路又はトレース
68及び70を絶縁するため堆積され、パターン形成さ
れる。例えば導電線路68は通路72を通って入力線路
44と接触し、通路74を通ってブ[]ッツキダグダイ
オード1の接点62に電気接続される。
An insulating layer 64 is then deposited and patterned to isolate conductive lines or traces 68 and 70 from electrical communication with other portions of the array except where desired. For example, conductive line 68 contacts input line 44 through path 72 and is electrically connected through path 74 to contact 62 of diode 1 .

同様に、導電線路70は通路76を通って出力線路46
と接触し、通路78でホトダイオード18の頂部接点6
2と電気接続する。
Similarly, conductive line 70 passes through passage 76 to output line 46.
in contact with the top contact 6 of the photodiode 18 in the passage 78.
Make an electrical connection with 2.

底部導電層58の′4電コネクタ54は、ホトダイオー
ド16及び18に背面対背面連絡式に電気接続させ、他
方では頂部金属導電線路68及び70は、底部接続層5
8に対向するダイオード16及び18の電極に電気接続
を提供する。
4' electrical connectors 54 on the bottom conductive layer 58 provide electrical connection to the photodiodes 16 and 18 in a back-to-back manner, while top metal conductive traces 68 and 70 connect the photodiodes 16 and 18 to the bottom connection layer 5.
An electrical connection is provided to the electrodes of diodes 16 and 18 opposite to 8.

先行技術の構造では、導電回路の出力に雑音を増やし感
度を劣化させる電流の発生を防ぐため、しかし本発明で
は、ブロッキングダイオード70を入射光から覆う必要
はない。
In prior art structures, it is not necessary to cover the blocking diode 70 from the incident light, however, in the present invention to prevent the generation of currents that would add noise to the output of the conductive circuit and degrade sensitivity.

以上の説明によって示される通り、本発明はブロッキン
グ素子の遮光を必要とせず、ピクセル間の電気的クロス
トークの少ない感光アレーを製造することを可能にする
新規アドレス指定スキーマを提供する。
As shown by the above description, the present invention provides a novel addressing scheme that does not require shading of blocking elements and makes it possible to fabricate photosensitive arrays with less electrical crosstalk between pixels.

本発明の好適具体例を詳細に説明したが、当業者が本発
明の主旨を逸脱づることなくさまざまな修正及び変更を
行ない得ることが理解されるべきである。例えば、ダイ
オード以外の素子をブロッキング及び光電素子に置き変
えて−bよい。その原理は薄膜トランジスタ、結晶トラ
ンジスタ及びそれに類するものを含む回路に等価的に適
用可能であるということである。本発明の範囲を規定づ
る請求範囲はこれのらすべての等価要素が含まれる。
Although preferred embodiments of the invention have been described in detail, it should be understood that various modifications and changes can be made by those skilled in the art without departing from the spirit of the invention. For example, elements other than diodes may be replaced by blocking and photoelectric elements. The principle is that it is equally applicable to circuits including thin film transistors, crystal transistors and the like. The claims defining the scope of the invention include all equivalents thereof.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1A図及び第1B図は、本発明感光ピクセルによって
光電的に発生した信号を読取る好ましい方法を説明する
概略図、第2回(A−C)吃は第1A  /及び第1B
図に示す本発明感光ピクセルによって光電的に発生した
信号の読取り法に関連するタイミング図、第3図は従来
形感光ピクセルの隣接グループ間に生じる電気的クロス
トークを説明する概略図、第4図は感光ピクセルをクロ
ストークなしに読取る技術を説明する概略図、第5図は
感光ピクセルを本発明により考案されたアレー形に電気
接続する方法を説明する上面図、及び第6図は第5図に
示した個々の感光ピクセルの1個の横1側面図である。 10・・・・・・感光ピクセル(光電応答回路)ビ→叫
中−一。 14・・・・・・出力増幅器、16・・・・・・プロラ
ギングダイオード、18・・・・・・ホトダイオード(
光電素子)、20、22・・・・・・内部キャパシタン
ス、24、2G。28・・・・・・ノード。 F/σ3 ν酬幽薊 F/σ4
1A and 1B are schematic diagrams illustrating a preferred method of reading signals photoelectrically generated by the photosensitive pixels of the present invention;
FIG. 3 is a schematic diagram illustrating the electrical crosstalk that occurs between adjacent groups of conventional photosensitive pixels; FIG. 5 is a schematic diagram illustrating a technique for reading photosensitive pixels without crosstalk; FIG. FIG. 3 is a lateral side view of one of the individual photosensitive pixels shown in FIG. 10... Photosensitive pixel (photoelectric response circuit) B → Screaming - 1. 14...Output amplifier, 16...Pro-lagging diode, 18...Photodiode (
Photoelectric element), 20, 22...Internal capacitance, 24, 2G. 28...Node. F/σ3 νResponse Ghost F/σ4

Claims (15)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)感光ピクセルへの入射光量に対応する検出可能の
信号を供給するための回路であって、少なくとも第1及
び第2電極を含む光電素子と、回路の少なくとも1部を
通って流れる電流を選択的にブロックするための手段で
あつて、少なくとも第1及び第2電極を含んでおり、こ
の第1電極が光電素子の第1電極に電気的に相互接続さ
れている手段と、光電素子の第2電極及びブロックキン
グ手段の第2電極を共通の電位に事実上保持するための
手段とから成り、これによって蓄積された検出可能の信
号が、マスクされない電流ブロッキング手段によって光
電的に生じるキャリヤ対によって消費されることのない
回路。
(1) A circuit for providing a detectable signal corresponding to the amount of light incident on a photosensitive pixel, the circuit including a photoelectric element including at least first and second electrodes, and a current flowing through at least a portion of the circuit. means for selectively blocking the optoelectronic element, the first electrode including at least a first and second electrode, the first electrode being electrically interconnected with a first electrode of the optoelectronic element; a second electrode and means for effectively holding the second electrode of the blocking means at a common potential, whereby the accumulated detectable signal is a carrier pair photoelectrically produced by the unmasked current blocking means. circuits that are not consumed by.
(2)前記光電素子が薄膜半導体合金材料で形成される
逆ドープ層を含むホトダイオードである、特許請求の範
囲第1項に記載の回路。
2. The circuit of claim 1, wherein the photoelectric element is a photodiode comprising a reverse doped layer formed of a thin film semiconductor alloy material.
(3)前記ホトダイオードがさらに、p−i−n形ホト
ダイオードを形成するため前記逆ドープ層間に挿しはさ
まれた実質的に真性のアモルファス半導体合金材料で形
成される層を含む、特許請求の範囲第2項に記載の回路
(3) The photodiode further includes a layer formed of a substantially intrinsic amorphous semiconductor alloy material interposed between the counterdoped layers to form a pin photodiode. The circuit according to paragraph 2.
(4)前記ブロッキング手段が入射光の吸収に応じて電
荷キャリヤ対を生じることができる光電応答半導体合金
材料の層を含む、特許請求の範囲第1項に記載の回路。
4. The circuit of claim 1, wherein said blocking means comprises a layer of photovoltaically responsive semiconductor alloy material capable of generating charge carrier pairs in response to absorption of incident light.
(5)前記ブロッキング手段が薄膜半導体合金材料の1
対の逆ドープ層を含むダイオードである、特許請求の範
囲第1項に記載の回路。
(5) The blocking means is made of a thin film semiconductor alloy material.
2. The circuit of claim 1, being a diode comprising a pair of oppositely doped layers.
(6)前記ブロッキング手段が、p−i−n形ダイオー
ドを提供するため前記逆ドープ層間に挿しはさまれた真
性半導体合金材料の層を含むダイオードである、特許請
求の範囲第5項に記載の回路。
(6) The blocking means is a diode comprising a layer of intrinsic semiconductor alloy material interposed between the counter-doped layers to provide a pin diode. circuit.
(7)前記ブロッキング手段が事実上入射光から遮蔽さ
れていない、特許請求の範囲第1項に記載の回路。
7. The circuit of claim 1, wherein said blocking means is substantially unshielded from incident light.
(8)前記電位保持手段がほぼ0ボルトの電位を保持す
るべく構成されている、特許請求の範囲第1項に記載の
回路。
(8) The circuit according to claim 1, wherein the potential holding means is configured to hold a potential of approximately 0 volts.
(9)前記電位保持手段が低インピーダンス電流増幅器
を含む、特許請求の範囲第1項に記載の回路。
(9) The circuit according to claim 1, wherein the potential holding means includes a low impedance current amplifier.
(10)前記光電素子が陽極及び陰極をもつホトダイオ
ードであり、前記ブロッキング手段が陽極と陰極をもつ
ブロッキングダイオードであり、2個のダイオードの陰
極が、ホトダイオードの露光時に光電キャリヤ対の形の
電気信号が導電体上に蓄積されるように前記導電体によ
つて電気的に相互接続され、及びホトダイオードの陽極
とブロッキングダイオードの陽極が、回路が露光してい
る間、事実上同様の電位に保持される、特許請求の範囲
第1項に記載の回路。
(10) the photoelectric element is a photodiode with an anode and a cathode; the blocking means is a blocking diode with an anode and a cathode; the cathodes of the two diodes receive an electrical signal in the form of a photoelectric carrier pair during exposure of the photodiode; are electrically interconnected by said conductor such that the photodiode anode and the blocking diode anode are held at substantially similar potentials during exposure of the circuit. The circuit according to claim 1.
(11)さらに複数個のホトダイオード及び感光ピクセ
ルのアレーとして用いるため作動的に配列された複数個
の結合ブロッキングダイオードを含み、各ピクセルがそ
れへの入射光量に対応する電気信号を提供するべく構成
されている、特許請求の範囲第10項に記載の回路。
(11) further comprising a plurality of photodiodes and a plurality of coupled blocking diodes operatively arranged for use as an array of photosensitive pixels, each pixel configured to provide an electrical signal corresponding to the amount of light incident thereon; 11. The circuit according to claim 10.
(12)光電応答回路内で使用するための電流ブロッキ
ング素子であって、前記回路が感光ピクセルへの入射光
量に対応する検出可能の信号を提供するべく構成された
光電素子を含んでおり、前記ブロッキング素子が入射光
に応答して電荷キャリヤを生じることができる光電領域
を含むホトダイオードを含み、前記ホトダイオードが少
なくとも部分的に前記入射光から遮蔽されていないブロ
ッキング素子。
(12) A current blocking device for use in a photosensitive pixel, the circuit including a photosensitive device configured to provide a detectable signal responsive to the amount of light incident on the photosensitive pixel; A blocking element comprising a photodiode including a photoelectric region capable of generating charge carriers in response to incident light, said photodiode being at least partially unshielded from said incident light.
(13)さらに、光電素子の第2電極と電流ブロッキン
グ素子の第2電極とを事実上等しい電位に保持するため
の手段を含む、特許請求の範囲第12項に記載の素子。
13. The device of claim 12, further comprising means for maintaining the second electrode of the optoelectronic device and the second electrode of the current blocking device at substantially equal potential.
(14)前記電位保持手段がおよそ0ボルトの電位を保
持するべく構成されている、特許請求の範囲第13項に
記載の素子。
(14) The device according to claim 13, wherein the potential holding means is configured to hold a potential of approximately 0 volts.
(15)前記光電素子が陽極と陰極をもつホトダイオー
ドであり、前記ブロッキングダイオードが陽極と陰極を
もち、2個のダイオードの陰極が、ホトダイオードの露
光時に光電キャリヤ対の形の電気信号が導電体上に蓄積
されるように前記導電体によって電気的に相互接続され
、及び、ホトダイオードの陽極とブロッキングダイオー
ドの陽極が、回路が露光している間、事実上同様の電位
に保持される、特許請求の範囲第12項に記載の素子。
(15) The photoelectric element is a photodiode having an anode and a cathode, and the blocking diode has an anode and a cathode, and the cathodes of the two diodes are such that an electric signal in the form of photoelectric carrier pairs is transmitted onto the conductor during exposure of the photodiode. and wherein the anode of the photodiode and the anode of the blocking diode are held at substantially similar potentials during exposure of the circuit. The device according to range 12.
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IL (1) IL83893A (en)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5229858A (en) * 1990-01-11 1993-07-20 Fuji Xerox Co., Ltd. Noise free, line form image sensor
WO1993026046A1 (en) * 1992-06-15 1993-12-23 Kanegafuchi Kagaku Kogyo Kabushiki Kaisha Semiconductor device
EP0601200A4 (en) * 1992-06-15 1994-10-26 Kanegafuchi Chemical Ind Semiconductor device.

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4910412A (en) * 1987-04-17 1990-03-20 Stemcor Corporation Light biased photoresponsive array
FR2626128B1 (en) * 1988-01-15 1990-05-04 Thomson Csf PHOTOSENSITIVE MATRIX WITH TWO DIODES AND A CAPACITY PER POINT, WITHOUT OPTICAL RESET
DE3816660C1 (en) * 1988-05-17 1989-09-07 Messerschmitt-Boelkow-Blohm Gmbh, 8012 Ottobrunn, De Sensor, especially photodetector arrangement
US5335092A (en) * 1989-04-06 1994-08-02 Nippon Steel Corporation Contact type image sensor
US5216274A (en) * 1991-01-11 1993-06-01 Fuji Xerox Co., Ltd. Image sensor
EP0515849A3 (en) * 1991-04-27 1993-05-19 Kanegafuchi Chemical Industry Co., Ltd. Image sensor
US5254848A (en) * 1991-06-21 1993-10-19 Fuji Xerox Co., Ltd. Image sensor and method of reading data out of the same having load capacitors being respectively continuously connected to common signal lines
JPH0522516A (en) * 1991-07-17 1993-01-29 Fuji Xerox Co Ltd Image sensor
GB9209734D0 (en) * 1992-05-06 1992-06-17 Philips Electronics Uk Ltd An image sensor
US5774180A (en) * 1992-12-04 1998-06-30 Fuji Xerox Co., Ltd. Image sensor capable of producing an image signal free from an afterimage
EP0619676A3 (en) * 1993-04-09 1995-05-24 Kanegafuchi Chemical Ind Image reading method and device thereof.
EP1786027A3 (en) * 2005-11-14 2009-03-04 Schott AG Plasma etching of tapered structures

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4369372A (en) * 1979-06-18 1983-01-18 Canon Kabushiki Kaisha Photo electro transducer device
US4500924A (en) * 1979-11-16 1985-02-19 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Solid state imaging apparatus
US4675739A (en) * 1984-05-04 1987-06-23 Energy Conversion Devices, Inc. Integrated radiation sensing array
CA1279127C (en) * 1984-05-04 1991-01-15 Vincent D. Cannella Integrated radiation sensing array

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5229858A (en) * 1990-01-11 1993-07-20 Fuji Xerox Co., Ltd. Noise free, line form image sensor
WO1993026046A1 (en) * 1992-06-15 1993-12-23 Kanegafuchi Kagaku Kogyo Kabushiki Kaisha Semiconductor device
EP0601200A4 (en) * 1992-06-15 1994-10-26 Kanegafuchi Chemical Ind Semiconductor device.

Also Published As

Publication number Publication date
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DE3784991D1 (en) 1993-04-29
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CA1325056C (en) 1993-12-07
IL83893A0 (en) 1988-02-29
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