JPS6385290A - 真空ポンプ - Google Patents
真空ポンプInfo
- Publication number
- JPS6385290A JPS6385290A JP61228179A JP22817986A JPS6385290A JP S6385290 A JPS6385290 A JP S6385290A JP 61228179 A JP61228179 A JP 61228179A JP 22817986 A JP22817986 A JP 22817986A JP S6385290 A JPS6385290 A JP S6385290A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pump stage
- flow
- housing
- stage
- centrifugal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 238000007906 compression Methods 0.000 claims abstract description 37
- 239000007858 starting material Substances 0.000 claims 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 abstract 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 6
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 241000209507 Camellia Species 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 235000018597 common camellia Nutrition 0.000 description 1
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- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 1
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- 230000001052 transient effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D17/00—Radial-flow pumps, e.g. centrifugal pumps; Helico-centrifugal pumps
- F04D17/08—Centrifugal pumps
- F04D17/16—Centrifugal pumps for displacing without appreciable compression
- F04D17/168—Pumps specially adapted to produce a vacuum
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D23/00—Other rotary non-positive-displacement pumps
- F04D23/008—Regenerative pumps
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
- Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、排気口を大気圧とする真空ポンプに係り、例
えば半導体製造装置における清浄な真空を作り出すのに
好適な真空ポンプに関する。
えば半導体製造装置における清浄な真空を作り出すのに
好適な真空ポンプに関する。
従来の真空ポンプの構造を第６図に示す、吸気口２Ａと
排気口２８ｔｔ備えたケーシング２内には軸受７で回転
自在に支持されたロータ１が納められている。全体は軸
流ターボ分子ポンプ段３．付加分子ポンプ４．遠心圧縮
ポンプ段５．渦流圧縮ポンプ段６を吸気口側から排気口
側へ順次連設して構成されている。
排気口２８ｔｔ備えたケーシング２内には軸受７で回転
自在に支持されたロータ１が納められている。全体は軸
流ターボ分子ポンプ段３．付加分子ポンプ４．遠心圧縮
ポンプ段５．渦流圧縮ポンプ段６を吸気口側から排気口
側へ順次連設して構成されている。
上記の構成からなる真空ポンプを排気口２Ｂでの圧力が
大気圧の状態で運転し、吸気口２Ａでの圧力が十分値下
した定常運転状態では、真空ポンプ内の気体の流れは、
吸気側より排気側へ向かって、分子流、中間流、粘性流
と変化する。一方、各ポンプ段が最も有効に排気作用を
する気力範囲はそれぞれ異なり、軸流ターボ分子ポンプ
段３゜付加分子ポンプ段４は分子流域で、遠心圧楠ポン
プ段５は分子流〜中間流域で、渦流圧縮ポンプ段６は中
間流〜粘性流域での性能が良いという特性を持っている
。
大気圧の状態で運転し、吸気口２Ａでの圧力が十分値下
した定常運転状態では、真空ポンプ内の気体の流れは、
吸気側より排気側へ向かって、分子流、中間流、粘性流
と変化する。一方、各ポンプ段が最も有効に排気作用を
する気力範囲はそれぞれ異なり、軸流ターボ分子ポンプ
段３゜付加分子ポンプ段４は分子流域で、遠心圧楠ポン
プ段５は分子流〜中間流域で、渦流圧縮ポンプ段６は中
間流〜粘性流域での性能が良いという特性を持っている
。
なお、この種の真空ポンプとして関連するものには例え
ば特開昭５１−３８１１３号が挙げら九る。
ば特開昭５１−３８１１３号が挙げら九る。
上記従来技術による真空ポンプにおいて、過渡運転状態
など吸気口２Ａでの圧力が十分低下していない状態では
、 ！Ｉｆ：気速度が大巾に低下するという問題があっ
た。これは、吸気０２人での圧力が高く軸流ターボ分子
ポンプ段３．付加分子ポンプ段４での気体の流れが中間
流、粘性流となった状態では、軸流ターボ分子ポンプ段
３．付加分子ポンプ段４における排気速度が大巾に低下
するためであり、この状態では遠心圧縮ポンプ段５と渦
流圧縮ポンプ段６で排気作用の大部分を受けもっことに
なる。このとき、遠心圧縮ポンプ段５の背圧は、渦流圧
縮ポンプ段６の性能に左右されるが。
など吸気口２Ａでの圧力が十分低下していない状態では
、 ！Ｉｆ：気速度が大巾に低下するという問題があっ
た。これは、吸気０２人での圧力が高く軸流ターボ分子
ポンプ段３．付加分子ポンプ段４での気体の流れが中間
流、粘性流となった状態では、軸流ターボ分子ポンプ段
３．付加分子ポンプ段４における排気速度が大巾に低下
するためであり、この状態では遠心圧縮ポンプ段５と渦
流圧縮ポンプ段６で排気作用の大部分を受けもっことに
なる。このとき、遠心圧縮ポンプ段５の背圧は、渦流圧
縮ポンプ段６の性能に左右されるが。
本従来例で使用されているような渦流圧縮ポンプ段６は
、有効作動圧力範囲が比較的狭く、大気圧近傍の圧力範
囲での性能の低下が激しいため、十分な圧縮比が得られ
ず、遠心圧縮ポンプ段５の背圧は上昇し、遠心圧縮ポン
プ段５の性能が低下し。
、有効作動圧力範囲が比較的狭く、大気圧近傍の圧力範
囲での性能の低下が激しいため、十分な圧縮比が得られ
ず、遠心圧縮ポンプ段５の背圧は上昇し、遠心圧縮ポン
プ段５の性能が低下し。
排気速度が低下しやすくなる。このように、上記従来技
術は軸流ターボ分子ポンプ段３での流れが中間流となり
、渦流圧縮ポンプ段６での圧力が大気圧近傍まで上昇し
た状態での、排気速度の大巾な低下に対しては配慮がな
されておらず、真空ポンプの有効作動圧力範囲が狭いと
いう問題があった。
術は軸流ターボ分子ポンプ段３での流れが中間流となり
、渦流圧縮ポンプ段６での圧力が大気圧近傍まで上昇し
た状態での、排気速度の大巾な低下に対しては配慮がな
されておらず、真空ポンプの有効作動圧力範囲が狭いと
いう問題があった。
本発明の目的は、広い圧力範囲で有効に作動する真空ポ
ンプを提供することにある。
ンプを提供することにある。
上記目的は、分子流、中間流域におけるポンプ段として
、細流ターボ分子ポンプ段よりも高い圧力範囲で有効に
排気作用をするジーグバーンポンプ段を、軸流ターボ分
子ポンプ段の後流側に設け、さらに、ジーグバーンポン
プ段の後流側に遠心圧縮ポンプ段１円周流圧縮ポンプ段
を設けることにより達成される。
、細流ターボ分子ポンプ段よりも高い圧力範囲で有効に
排気作用をするジーグバーンポンプ段を、軸流ターボ分
子ポンプ段の後流側に設け、さらに、ジーグバーンポン
プ段の後流側に遠心圧縮ポンプ段１円周流圧縮ポンプ段
を設けることにより達成される。
上記のように、真空ポンプを吸入側より軸流ターボ分子
ポンプ段、ジーグバーンポンプ段、遠心圧縮ポンプ段１
円周流圧縮ポンプ段を連設することにより構成すれば、
吸気口圧力が上昇し軸流ターボ分子ポンプ段で流れが中
間流となり排気速度が急激に低下しても、ジーグバーン
ポンプ段が同圧力範囲で有効に作動するため、真空ポン
プ全体としての排気速度の低下は小さい、また１円周流
圧縮ポンプ段は渦流圧縮ポンプ段に比べ高い圧力状態で
の圧縮性能が良いため、遠心圧縮ポンプ段の背圧を低く
維持することができ、遠心圧縮ポンプ段の性能低下を防
ぐことができる。この結果、真空ポンプを分子流域から
粘性流域までの広い圧力範囲で有効に作動させることが
可能になる。
ポンプ段、ジーグバーンポンプ段、遠心圧縮ポンプ段１
円周流圧縮ポンプ段を連設することにより構成すれば、
吸気口圧力が上昇し軸流ターボ分子ポンプ段で流れが中
間流となり排気速度が急激に低下しても、ジーグバーン
ポンプ段が同圧力範囲で有効に作動するため、真空ポン
プ全体としての排気速度の低下は小さい、また１円周流
圧縮ポンプ段は渦流圧縮ポンプ段に比べ高い圧力状態で
の圧縮性能が良いため、遠心圧縮ポンプ段の背圧を低く
維持することができ、遠心圧縮ポンプ段の性能低下を防
ぐことができる。この結果、真空ポンプを分子流域から
粘性流域までの広い圧力範囲で有効に作動させることが
可能になる。
以下、本発明の一実施例を第１図により説明する。第１
図は、本発明の一実施例による真空ポンプの全体構造を
示す図である。
図は、本発明の一実施例による真空ポンプの全体構造を
示す図である。
第１図において、回転軸１は吸気口２人と排気口２Ｂを
有するハウジング２内で軸受７によって回転自在に支持
されており、前記回転軸１に取り付けられたモータ１０
により駆動される。ハウジング２内には吸気口側より順
に１回転軸１に取り付けられた軸流羽根車３Ａ（第２図
（ｂ））とハウジング２内に固定された固定羽根３Ｂ（
第２図（Ｃ））を交互に並置して構成される細流ターボ
分子ポンプ段と、同じく回転円板９Ａ（第３図（ａ））
と固定円板９Ｂ（第３図（ｂ）を交互に並置して構成さ
れるジーグバーンポンプ段９と。
有するハウジング２内で軸受７によって回転自在に支持
されており、前記回転軸１に取り付けられたモータ１０
により駆動される。ハウジング２内には吸気口側より順
に１回転軸１に取り付けられた軸流羽根車３Ａ（第２図
（ｂ））とハウジング２内に固定された固定羽根３Ｂ（
第２図（Ｃ））を交互に並置して構成される細流ターボ
分子ポンプ段と、同じく回転円板９Ａ（第３図（ａ））
と固定円板９Ｂ（第３図（ｂ）を交互に並置して構成さ
れるジーグバーンポンプ段９と。
同じく回転軸１に取り付けられた遠心羽根車５Ａ（第４
図（ｂ））とハウジング２内に固定された固定円板５Ｂ
（第４図（Ｃ））を交互に並置して構成される遠心圧縮
ポンプ段５と、同じく円周流羽根車１０Ａ（第５図（ｂ
））と固定円板１０Ｂ（第５図（Ｃ））を交互に並置し
て構成される円周流圧縮ポンプ段１０が連設されている
。
図（ｂ））とハウジング２内に固定された固定円板５Ｂ
（第４図（Ｃ））を交互に並置して構成される遠心圧縮
ポンプ段５と、同じく円周流羽根車１０Ａ（第５図（ｂ
））と固定円板１０Ｂ（第５図（Ｃ））を交互に並置し
て構成される円周流圧縮ポンプ段１０が連設されている
。
上記真空ポンプを、排気口２Ｂでの気力が大気圧の状態
で運転し、吸気口２Ａの圧力が十分に低下し、気体の流
れが分子流となった状態では、各ポンプ段はそれぞれ特
性の最もよい圧力範囲で作動している。一方、吸気口２
人の圧力が上昇した状態では、軸流ターボ分子ポンプ段
３での気体の流れは中間流となり、性能が低下するが、
ジーグバーンポンプ段９が、分子流〜中間流の広い圧力
範囲で有効に作動し、かつ円周流圧縮ポンプ段１０での
圧縮作用により遠心圧縮ポンプ段５が有効に作動する圧
力状態に保持されるため、吸気口２Ａでの圧力上昇によ
る性能低下は小さい、この結果、真空ポンプは広い圧力
範囲で有効に作動するようになる。
で運転し、吸気口２Ａの圧力が十分に低下し、気体の流
れが分子流となった状態では、各ポンプ段はそれぞれ特
性の最もよい圧力範囲で作動している。一方、吸気口２
人の圧力が上昇した状態では、軸流ターボ分子ポンプ段
３での気体の流れは中間流となり、性能が低下するが、
ジーグバーンポンプ段９が、分子流〜中間流の広い圧力
範囲で有効に作動し、かつ円周流圧縮ポンプ段１０での
圧縮作用により遠心圧縮ポンプ段５が有効に作動する圧
力状態に保持されるため、吸気口２Ａでの圧力上昇によ
る性能低下は小さい、この結果、真空ポンプは広い圧力
範囲で有効に作動するようになる。
上記実施例において、ジーグバーンポンプ段の代りにね
じ圧縮ポンプ段を用いても同様の効果が得られる。
じ圧縮ポンプ段を用いても同様の効果が得られる。
本発明によれば、吸気口圧力の上昇による真空ポンプの
性能低下を小さくできるので、広い圧力範囲で有効に作
動する真空ポンプが得られる。
性能低下を小さくできるので、広い圧力範囲で有効に作
動する真空ポンプが得られる。
第１図は本発明の真空ポンプの全体構造を示す縦断面図
、第２図（ａ）〜第２図（ｃ）は第１図の軸流ターボ分
子ポンプ段の詳細図、第３図（ａ）および（ｂ）は第１
図のジーグバーンポンプ段の詳細図、第４図（ａ）〜第
４図（ｃ）は第１図の遠心圧縮ポンプ段の詳細図、第５
図（ａ）〜第５図（ｃ）は第１図の円周流圧縮ポンプ段
の詳細図、第６図は従来の真空ポンプの断面図である。 ２Ａ・・・吸気０．２Ｂ・・・排気口、３・・・軸流タ
ーボ分子ポンプ段、５・・・遠心圧縮ポンプ段、９・・
・ジーグ＋ミｌ！：５ 代理人 弁理士 小川勝男 ８ノ 第 ｌ 目 第 ２ 口 （す （す 第３０ （α） ＜ｂ） ９８・・・固ｒＬ円孜 （、、）第４ 囚 ＜ｂ） １０Ｆ３・・・引延り木に 椿 ５ ｌ （す １０Ｂ・・・固定巴不叉
、第２図（ａ）〜第２図（ｃ）は第１図の軸流ターボ分
子ポンプ段の詳細図、第３図（ａ）および（ｂ）は第１
図のジーグバーンポンプ段の詳細図、第４図（ａ）〜第
４図（ｃ）は第１図の遠心圧縮ポンプ段の詳細図、第５
図（ａ）〜第５図（ｃ）は第１図の円周流圧縮ポンプ段
の詳細図、第６図は従来の真空ポンプの断面図である。 ２Ａ・・・吸気０．２Ｂ・・・排気口、３・・・軸流タ
ーボ分子ポンプ段、５・・・遠心圧縮ポンプ段、９・・
・ジーグ＋ミｌ！：５ 代理人 弁理士 小川勝男 ８ノ 第 ｌ 目 第 ２ 口 （す （す 第３０ （α） ＜ｂ） ９８・・・固ｒＬ円孜 （、、）第４ 囚 ＜ｂ） １０Ｆ３・・・引延り木に 椿 ５ ｌ （す １０Ｂ・・・固定巴不叉
Claims (1)
- １、吸気口と排気口を有するハウジングと、そのハウジ
ング内に国定されたスタータと、前記ハウジング内に回
転自在に支承されたロータから成り、該ロータの回転に
伴い、前記吸気口から吸込まれた気体を、前記排気口か
ら直接大気に排気する一体型の真空ポンプにおいて、前
記吸気口に隣接して前記ロータに設けられた軸流羽根車
と前記ハウジング内に固定された固定板を交互に並置し
て形成される軸流ターボ分子ポンプ段、前記軸流ターボ
分子ポンプ段の後流側で前記ロータに設けられた回転円
板と前記ハウジング内に固定された固定円板の一方ある
いは両方にねじ状の溝を設けて形成されるジーグバーン
ポンプ段、前記ジーグバーンポンプ段の後流側で前記ロ
ータに設けられた遠心羽根車と前記ハウジング内に固定
された固定板を交互に並置して形成される遠心圧縮ポン
プ段、前記遠心圧ポンプ段の後流側で前記ロータに設け
られた円周流羽根車と前記ハウジング内に固定された固
定板を交互に並置して形成される円周流圧縮ポンプ段を
連設して構成したことを特徴とする真空ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61228179A JPS6385290A (ja) | 1986-09-29 | 1986-09-29 | 真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61228179A JPS6385290A (ja) | 1986-09-29 | 1986-09-29 | 真空ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6385290A true JPS6385290A (ja) | 1988-04-15 |
Family
ID=16872449
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61228179A Pending JPS6385290A (ja) | 1986-09-29 | 1986-09-29 | 真空ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6385290A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0275796A (ja) * | 1988-09-12 | 1990-03-15 | Osaka Shinku Kiki Seisakusho:Kk | 複合真空ポンプ |
| JPH02136595A (ja) * | 1988-11-16 | 1990-05-25 | Anelva Corp | 真空ポンプ |
| JPH0524994U (ja) * | 1991-09-05 | 1993-04-02 | 日本原子力研究所 | 複合真空ポンプ |
| US5490761A (en) * | 1992-04-29 | 1996-02-13 | Varian Associates, Inc. | High performance turbomolecular vacuum pumps |
| JP2002519575A (ja) * | 1998-06-30 | 2002-07-02 | 株式会社荏原製作所 | ターボ分子ポンプ |
-
1986
- 1986-09-29 JP JP61228179A patent/JPS6385290A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0275796A (ja) * | 1988-09-12 | 1990-03-15 | Osaka Shinku Kiki Seisakusho:Kk | 複合真空ポンプ |
| JPH02136595A (ja) * | 1988-11-16 | 1990-05-25 | Anelva Corp | 真空ポンプ |
| JPH0524994U (ja) * | 1991-09-05 | 1993-04-02 | 日本原子力研究所 | 複合真空ポンプ |
| US5490761A (en) * | 1992-04-29 | 1996-02-13 | Varian Associates, Inc. | High performance turbomolecular vacuum pumps |
| US5498125A (en) * | 1992-04-29 | 1996-03-12 | Hablanian; Marsbed | High performance turbomolecular vacuum pumps |
| JP2002519575A (ja) * | 1998-06-30 | 2002-07-02 | 株式会社荏原製作所 | ターボ分子ポンプ |
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