JPS63315503A - 水素の精製法 - Google Patents
水素の精製法Info
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- JPS63315503A JPS63315503A JP62150186A JP15018687A JPS63315503A JP S63315503 A JPS63315503 A JP S63315503A JP 62150186 A JP62150186 A JP 62150186A JP 15018687 A JP15018687 A JP 15018687A JP S63315503 A JPS63315503 A JP S63315503A
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B3/00—Hydrogen; Gaseous mixtures containing hydrogen; Separation of hydrogen from mixtures containing it; Purification of hydrogen
- C01B3/50—Separation of hydrogen or hydrogen containing gases from gaseous mixtures, e.g. purification
- C01B3/56—Separation of hydrogen or hydrogen containing gases from gaseous mixtures, e.g. purification by contacting with solids; Regeneration of used solids
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B2203/00—Integrated processes for the production of hydrogen or synthesis gas
- C01B2203/04—Integrated processes for the production of hydrogen or synthesis gas containing a purification step for the hydrogen or the synthesis gas
- C01B2203/042—Purification by adsorption on solids
- C01B2203/043—Regenerative adsorption process in two or more beds, one for adsorption, the other for regeneration
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Separation Of Gases By Adsorption (AREA)
- Hydrogen, Water And Hydrids (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、各種化学工場より発生するガスから高純度の
水素を効率良く得る方法に関する。
水素を効率良く得る方法に関する。
最近エレクトロニクス、ファインセラミックス、ファイ
ンケミカル工業において極めて純度の高い水素が必要と
されている。
ンケミカル工業において極めて純度の高い水素が必要と
されている。
(従来の技術)
高純度水素は、スチームリホーマ−、エチレンオフガス
、接触改質装置、アンモニアまたはメタノールの分解ガ
ス等を原料とし、一般に吸着カラムクロマトグラフィー
法により分離、精製して製造される。
、接触改質装置、アンモニアまたはメタノールの分解ガ
ス等を原料とし、一般に吸着カラムクロマトグラフィー
法により分離、精製して製造される。
この吸着カラムクロマトグラフィー法により高純度水素
を得る方法は、吸着剤を充填したカラムを用い、 (1)加圧下での不純成分の吸着操作 (2)はぼ大気圧への減圧操作 (3)原料ガスによる掃気操作 (4)精製水素による置換操作 (5)原料ガスまたは精製水素による加圧操作の各操作
を1基または並列にならべた複数のカラムで逐次行う方
法が採られる。
を得る方法は、吸着剤を充填したカラムを用い、 (1)加圧下での不純成分の吸着操作 (2)はぼ大気圧への減圧操作 (3)原料ガスによる掃気操作 (4)精製水素による置換操作 (5)原料ガスまたは精製水素による加圧操作の各操作
を1基または並列にならべた複数のカラムで逐次行う方
法が採られる。
これらの操作を行う方法は、そのカラム配置と操作順序
などの組合せにより、多くの特許が公開されており、例
えば特公昭39−8204号、特公昭55−46962
号および特公昭62−1768号などには、カラムを3
基並列にならべて上記操作を行う方法が記載されており
、また特公昭45−20082号、特公昭55−122
95号および特公昭57−2046号などには、カラム
を4基以上並列にならべて上記操作を行う方法が記載さ
れている。
などの組合せにより、多くの特許が公開されており、例
えば特公昭39−8204号、特公昭55−46962
号および特公昭62−1768号などには、カラムを3
基並列にならべて上記操作を行う方法が記載されており
、また特公昭45−20082号、特公昭55−122
95号および特公昭57−2046号などには、カラム
を4基以上並列にならべて上記操作を行う方法が記載さ
れている。
更に特公昭51−40550号および特公昭55−28
725号には、カラムを2〜4基並列にならべて上記操
作を行う方法が、また特公昭42−26115号、特開
昭57−194026号および特開昭58−14642
0号には、カラムを2基以上ならべて減圧工程を2段階
にして上記操作を行う方法が記載されている。
725号には、カラムを2〜4基並列にならべて上記操
作を行う方法が、また特公昭42−26115号、特開
昭57−194026号および特開昭58−14642
0号には、カラムを2基以上ならべて減圧工程を2段階
にして上記操作を行う方法が記載されている。
(発明が解決しようとする問題点)
これらの吸着カラムクロマトグラフィー法による水素精
製法は、加熱等の操作が不要で、上記操作により容易に
高純度水素が得られるが、次のような問題点が挙げられ
る。
製法は、加熱等の操作が不要で、上記操作により容易に
高純度水素が得られるが、次のような問題点が挙げられ
る。
(1)一般に水素の純度を高めようとする程、水素回収
率が極端に低下し、原料ガスの原単位が悪化する。
率が極端に低下し、原料ガスの原単位が悪化する。
(2)水素回収率を高めるためには、多量の吸着剤を使
用する必要があり、従って装置コストが増大する。
用する必要があり、従って装置コストが増大する。
(3)吸着剤使用量が多いとカラムが大きくなる。
大型のカラムでは、カラム内の局部的な偏流、混合、吸
着されたガスの拡散などの問題があり、吸着カラムクロ
マトグラフィー法の性質上、大型化が非常に困難である
。
着されたガスの拡散などの問題があり、吸着カラムクロ
マトグラフィー法の性質上、大型化が非常に困難である
。
(4)このためカラムを多数並列に配置する方法が採ら
れるが、この場合は装置コストが増大すると同時に、制
御が複雑となり運転が困難となる。
れるが、この場合は装置コストが増大すると同時に、制
御が複雑となり運転が困難となる。
(問題点を解決するための手段)
発明者等は、上記の如き問題点を有する吸着カラムクロ
マトグラフィー法に関し、吸着剤をできるだけ少なくし
て高純度の水素を回収する方法を検討した結果、水素精
製操作である上記の加圧下での不純ガスの吸着操作を二
段階で行えば、吸着剤が少なくて済み、しかも高純度の
水素を高回収率で得られることを見出し、本発明に至っ
た。
マトグラフィー法に関し、吸着剤をできるだけ少なくし
て高純度の水素を回収する方法を検討した結果、水素精
製操作である上記の加圧下での不純ガスの吸着操作を二
段階で行えば、吸着剤が少なくて済み、しかも高純度の
水素を高回収率で得られることを見出し、本発明に至っ
た。
即ち本発明は、水素と少なくとも1種類以上の不純成分
を含む原料ガスを吸着カラムクロマトグラフィー法で精
製するに際し、原料ガスの吸着操作と減圧操作、掃気操
作、加圧操作とに切換えることができる2基以上のカラ
ムを有する粗精製工程と、粗精製工程より得られた粗精
製ガスの最終吸着操作と減圧操作、掃気操作、再生操作
、加圧操作とに切換えることができる2基以上のカラム
を有する精製工程からなる、二段階の精製工程により原
料ガスから高純度の水素を連続的に得ることを特徴とす
る水素の精製法である。
を含む原料ガスを吸着カラムクロマトグラフィー法で精
製するに際し、原料ガスの吸着操作と減圧操作、掃気操
作、加圧操作とに切換えることができる2基以上のカラ
ムを有する粗精製工程と、粗精製工程より得られた粗精
製ガスの最終吸着操作と減圧操作、掃気操作、再生操作
、加圧操作とに切換えることができる2基以上のカラム
を有する精製工程からなる、二段階の精製工程により原
料ガスから高純度の水素を連続的に得ることを特徴とす
る水素の精製法である。
本発明の原料ガスには、各種化学工場より発生するガス
が用いられる。このガス中に含まれる不純成分とは、加
圧下で吸着性の高い物質である。
が用いられる。このガス中に含まれる不純成分とは、加
圧下で吸着性の高い物質である。
本発明の原料ガスおよびその不純成分の代表例を挙げれ
ば次の如くである。
ば次の如くである。
即ち原料ガスが、スチームリホーマ−ないし部分酸化ガ
スにより発生するガスではCD、 CO2,CI+。
スにより発生するガスではCD、 CO2,CI+。
、エチレンオフガスでは、CH,、N2. C211,
、C,11,が主な不純成分である。また接触改質装置
よりのガスではC,−C,の炭化水素、アンモニア分解
ガスではN2. N)1.、メタノール分解ガスではC
D□、CD、オキソプラントではCD、 CD、、 C
H4、スチレンオフガスでは芳香族ガス、CO,CO2
,CH,、アンモニアパージガスではN2. [:tl
、、 Ar、メタノールパージガスではCO,C02、
CH30H,ブタジェンオフガスでは01〜C4炭化水
素、コークス炉ガスではC114,N2.芳香族ガス、
SO□、 CO,Co□、NO,,02、転炉ガスでは
C1,、N2. Co、 CO2が主な不純成分である
。
、C,11,が主な不純成分である。また接触改質装置
よりのガスではC,−C,の炭化水素、アンモニア分解
ガスではN2. N)1.、メタノール分解ガスではC
D□、CD、オキソプラントではCD、 CD、、 C
H4、スチレンオフガスでは芳香族ガス、CO,CO2
,CH,、アンモニアパージガスではN2. [:tl
、、 Ar、メタノールパージガスではCO,C02、
CH30H,ブタジェンオフガスでは01〜C4炭化水
素、コークス炉ガスではC114,N2.芳香族ガス、
SO□、 CO,Co□、NO,,02、転炉ガスでは
C1,、N2. Co、 CO2が主な不純成分である
。
これらの不純成分を吸着するのに使用される吸着剤には
、合成ゼオライト、活性炭、分子篩カーボン、活性アル
ミナ、シリカゲルなど一般に使用されている吸着剤が用
いられる。
、合成ゼオライト、活性炭、分子篩カーボン、活性アル
ミナ、シリカゲルなど一般に使用されている吸着剤が用
いられる。
これらの吸着剤は一般に、原料ガスに含有されている不
純成分の種類、数および量並びに処理温度などに応じそ
れぞれのカラムの条件に適した吸着剤が使用される。吸
着剤は、各カラムで同じでも、異なっていても良いが、
粗精製工程および精製工程の各工程内で同じものを使用
することが好ましい。
純成分の種類、数および量並びに処理温度などに応じそ
れぞれのカラムの条件に適した吸着剤が使用される。吸
着剤は、各カラムで同じでも、異なっていても良いが、
粗精製工程および精製工程の各工程内で同じものを使用
することが好ましい。
各工程で使用されるカラム数は、それぞれ2基以上であ
れば特に制限が無いが、粗精製工程では1〜10基、精
製工程では2〜4基とすることが好ましい。
れば特に制限が無いが、粗精製工程では1〜10基、精
製工程では2〜4基とすることが好ましい。
各カラムに充填する吸着剤量は、それぞれのカラムの条
件に適した量が選ばれる。各カラム間の吸着剤重量の割
合は、各工程内で同じであることが好ましく、また粗精
製工程の充填量と精製工程の充填量の比は、実用上11
0.1〜10とされる。
件に適した量が選ばれる。各カラム間の吸着剤重量の割
合は、各工程内で同じであることが好ましく、また粗精
製工程の充填量と精製工程の充填量の比は、実用上11
0.1〜10とされる。
吸着カラムの温度および圧力は、各カラムに充填されて
い、る吸着剤の種類、原料ガス中に含有されている不純
成分の種類、成分数及びその量によって異なり、それぞ
れ適した条件を選択される。
い、る吸着剤の種類、原料ガス中に含有されている不純
成分の種類、成分数及びその量によって異なり、それぞ
れ適した条件を選択される。
温度は通常 10〜60℃、好ましくは室温ないし常温
であり、特に加熱、冷却の必要は無いが、加熱、冷却す
ることを妨げない。
であり、特に加熱、冷却の必要は無いが、加熱、冷却す
ることを妨げない。
吸着操作時のカラム入口の圧力は、通常3〜30kg/
cm”G 、好ましくは5〜20kg/cm2Gである
。
cm”G 、好ましくは5〜20kg/cm2Gである
。
各操作でのガスの見掛けの空筒速度は、特に制限が無い
が、実用上、通常0.1〜50cm/sec、好ましく
は1〜20cm/secである。
が、実用上、通常0.1〜50cm/sec、好ましく
は1〜20cm/secである。
次に図面により本発明を具体的に説明する。
本発明のために使用される精製装置のフローシートの例
を第1図に示す。即ちこの装置は、第1カラム1、第2
カラム2、第3カラム3および第4カラム404基のカ
ラムを有する場合であり、各カラムの塔頂にはそれぞれ
第1塔頂管9、第2塔頂管10、第3塔頂管11および
第4塔頂管12がある。これらの塔頂管は第1塔頂管9
から分岐した塔頂連絡管13によって互いに接続されて
いる。またこれらの塔頂管にはそれぞれ第1塔頂弁31
、第2塔頂弁32、第3塔頂弁33#よび第4塔頂弁3
4が設けられており、塔頂連絡管13には第2塔頂管1
0と第3塔頂管11が接続されている間に塔頂連絡弁3
5が設けられている。
を第1図に示す。即ちこの装置は、第1カラム1、第2
カラム2、第3カラム3および第4カラム404基のカ
ラムを有する場合であり、各カラムの塔頂にはそれぞれ
第1塔頂管9、第2塔頂管10、第3塔頂管11および
第4塔頂管12がある。これらの塔頂管は第1塔頂管9
から分岐した塔頂連絡管13によって互いに接続されて
いる。またこれらの塔頂管にはそれぞれ第1塔頂弁31
、第2塔頂弁32、第3塔頂弁33#よび第4塔頂弁3
4が設けられており、塔頂連絡管13には第2塔頂管1
0と第3塔頂管11が接続されている間に塔頂連絡弁3
5が設けられている。
各カラムの塔底にはそれぞれ第1塔底管18、第2塔底
管19、第3塔底管20および第4塔底管21がある。
管19、第3塔底管20および第4塔底管21がある。
これらの塔底管は第1塔底管18から分岐した塔底連絡
管22によって互いに接続されている。
管22によって互いに接続されている。
これらの塔底管にはそれぞれ第1塔底弁40、第2塔底
弁41、第3塔底弁42および第4塔底弁43が設けら
れている。また第1塔底管18および第2塔底管19に
は各カラムの塔底と各塔底弁との間にそれぞれ第1検出
器5および第2検出器6が設けられている。
弁41、第3塔底弁42および第4塔底弁43が設けら
れている。また第1塔底管18および第2塔底管19に
は各カラムの塔底と各塔底弁との間にそれぞれ第1検出
器5および第2検出器6が設けられている。
塔頂連絡管13の第3塔頂管11と第4塔頂管12が接
続されている間の部分と塔底連絡管22の第3塔底管2
0と第4塔底管21が接続されている間の部分とは塔頂
塔底連絡管27で連絡され、塔頂塔底連絡管27には塔
頂塔底連絡弁44および第5検出器28が設けられてい
る。
続されている間の部分と塔底連絡管22の第3塔底管2
0と第4塔底管21が接続されている間の部分とは塔頂
塔底連絡管27で連絡され、塔頂塔底連絡管27には塔
頂塔底連絡弁44および第5検出器28が設けられてい
る。
第3カラム3および第4カラム4の塔底にはそれぞれ第
1製品管23および第2製品管24がある。
1製品管23および第2製品管24がある。
これらの製品管にはそれぞれ第1製品弁45および第2
製品弁46が設けられている。また第3カラム3および
第4カラム4には各カラムの塔底と各塔底弁との間にそ
れぞれ第3検出器7および第4検出器8が設けられてい
る。
製品弁46が設けられている。また第3カラム3および
第4カラム4には各カラムの塔底と各塔底弁との間にそ
れぞれ第3検出器7および第4検出器8が設けられてい
る。
また第1製品管23は第2製品弁46の出口の所で第2
製品管24と合流している。第1製品管23の第3検出
器7と第1製品弁45の間の部分から第2再生管26が
分岐されてい・る。第2製品管24の第4検出器8と第
2製品弁46の間の部分から第1再生管25が分岐され
ている。これらの再生管にはそれぞれ第1再生弁47お
よび第2再生弁48が設けられている。また第2再生管
26は第2再生弁48の出口の所で第1再生管25と合
流している。第1再生管25は第1製品管23との合流
した所の後に第2製品管24と合流している。
製品管24と合流している。第1製品管23の第3検出
器7と第1製品弁45の間の部分から第2再生管26が
分岐されてい・る。第2製品管24の第4検出器8と第
2製品弁46の間の部分から第1再生管25が分岐され
ている。これらの再生管にはそれぞれ第1再生弁47お
よび第2再生弁48が設けられている。また第2再生管
26は第2再生弁48の出口の所で第1再生管25と合
流している。第1再生管25は第1製品管23との合流
した所の後に第2製品管24と合流している。
第3カラム3および第4カラム4の塔頂にはそれぞれ第
1連絡管14および第2連絡管15がある。
1連絡管14および第2連絡管15がある。
これらの連絡管にはそれぞれ第1連絡弁36および第2
連絡弁37が設けられている。また第2連絡管15は第
1連絡弁36の入口の所で第」連絡管14から分岐され
ている。第1連絡管14は第1塔底管18の第1検出器
5と第1塔底弁40の間の部分で第1塔底管18から分
岐されている。
連絡弁37が設けられている。また第2連絡管15は第
1連絡弁36の入口の所で第」連絡管14から分岐され
ている。第1連絡管14は第1塔底管18の第1検出器
5と第1塔底弁40の間の部分で第1塔底管18から分
岐されている。
第3カラム3および第4カラム4の塔頂にはそれぞれ第
3連絡管16および第4連絡管17がある。
3連絡管16および第4連絡管17がある。
これらの連絡管にはそれぞれ第3連絡弁38および第4
連絡弁39が設けられている。また第4連絡管17は第
3連絡弁38の入口の所で第3連絡管16から分岐され
ている。第3連絡管16は第2塔底管19の第2検出器
6と第2塔底弁41の間の部分で第2塔底管19から分
岐されている。
連絡弁39が設けられている。また第4連絡管17は第
3連絡弁38の入口の所で第3連絡管16から分岐され
ている。第3連絡管16は第2塔底管19の第2検出器
6と第2塔底弁41の間の部分で第2塔底管19から分
岐されている。
依って第1カラム1および第2カラム2は並列に接続さ
れ、同様に第3カラム3および第4カラム4は並列に接
続され、更に第1カラム1および第2カラム2は第3カ
ラム3および第4カラム4と直列に接続され、二段階の
精製が行われる。
れ、同様に第3カラム3および第4カラム4は並列に接
続され、更に第1カラム1および第2カラム2は第3カ
ラム3および第4カラム4と直列に接続され、二段階の
精製が行われる。
なお各カラムの塔底の検出器としては、例えば熱伝導度
検出器、膜電極検出器および赤外線式ガス分析計などを
それぞれ使用することができる。
検出器、膜電極検出器および赤外線式ガス分析計などを
それぞれ使用することができる。
またこれらの測定器に代えて、予め実験的に求められた
タイムスケジュールによっても弁を開閉させることがで
きる。
タイムスケジュールによっても弁を開閉させることがで
きる。
次にこの装置を使用して、粗精製工程および精製工程か
らなる二段階の精製工程により、高純度水素を連続的に
得る方法を説明する。
らなる二段階の精製工程により、高純度水素を連続的に
得る方法を説明する。
まず粗精製工程は第1カラムおよび第2カラムを使用し
、次の4操作を連続的に行う。
、次の4操作を連続的に行う。
(1)吸着剤を充填したカラムに加圧状態で原料ガスを
供給し、不純成分を吸着させる吸着操作(2)吸着操作
後、カラム内の圧力をほぼ大気圧まで減圧する減圧操作 (3)原料ガスによる掃気操作 (4)吸着工程と同じ圧力まで加圧する加圧操作なお第
1カラムが吸着操作にある時は、第2カラムにおいて減
圧操作、掃気操作および加圧操作を逐次行い、第2カラ
ムが吸着操作にある時は、第1カラムにおいて減圧操作
、掃気操作および加圧操作を逐次行なう。
供給し、不純成分を吸着させる吸着操作(2)吸着操作
後、カラム内の圧力をほぼ大気圧まで減圧する減圧操作 (3)原料ガスによる掃気操作 (4)吸着工程と同じ圧力まで加圧する加圧操作なお第
1カラムが吸着操作にある時は、第2カラムにおいて減
圧操作、掃気操作および加圧操作を逐次行い、第2カラ
ムが吸着操作にある時は、第1カラムにおいて減圧操作
、掃気操作および加圧操作を逐次行なう。
第1カラムを吸着操作とするには、第1塔頂弁31を開
け、第2塔頂弁32、塔頂連絡弁35および第1塔底弁
40を閉め、原料ガスを第1塔頂管9から第1カラム1
に供給する。粗精製されたガスは、第1連絡弁36また
は第2連絡弁37を開けることにより第1連絡管14か
ら精製工程の第3カラム3または第4カラム4に供給さ
れる。
け、第2塔頂弁32、塔頂連絡弁35および第1塔底弁
40を閉め、原料ガスを第1塔頂管9から第1カラム1
に供給する。粗精製されたガスは、第1連絡弁36また
は第2連絡弁37を開けることにより第1連絡管14か
ら精製工程の第3カラム3または第4カラム4に供給さ
れる。
一方吸着操作が終了して加圧状態にある第2カラム2で
は、まず第3連絡弁38および第4連絡弁39を閉め、
第2塔底弁41を開け、第2塔底管19、塔底連絡管2
2及び第1塔底管18へと、加圧状態のガスをほぼ大気
圧まで減圧する減圧操作を行う。
は、まず第3連絡弁38および第4連絡弁39を閉め、
第2塔底弁41を開け、第2塔底管19、塔底連絡管2
2及び第1塔底管18へと、加圧状態のガスをほぼ大気
圧まで減圧する減圧操作を行う。
次に第2塔頂弁32を開け、第2塔頂管10より原料ガ
スを供給し、掃気操作を行う。
スを供給し、掃気操作を行う。
第2検出器6で原料ガスと同じ組成になった時点で、直
ちに第2塔底弁41を閉め、吸着操作と同じ圧まで加圧
する加圧操作を行う。これで第2カラム2での吸着操作
の串備が完了する。
ちに第2塔底弁41を閉め、吸着操作と同じ圧まで加圧
する加圧操作を行う。これで第2カラム2での吸着操作
の串備が完了する。
第1カラム1での吸着操作において、時間の経過と共に
不純成分の吸着が蓄積し、第1検出器5で不純成分が検
出され始めた時、速やかに第1連絡弁36または第2連
絡弁37を閉め、更に第1塔頂弁31を閉める。上記方
法により第1カラム1で、減圧操作、掃気操作および加
圧操作を逐次行い、第2カラム2では第2塔項弁32を
開のままで吸着操作を行う。
不純成分の吸着が蓄積し、第1検出器5で不純成分が検
出され始めた時、速やかに第1連絡弁36または第2連
絡弁37を閉め、更に第1塔頂弁31を閉める。上記方
法により第1カラム1で、減圧操作、掃気操作および加
圧操作を逐次行い、第2カラム2では第2塔項弁32を
開のままで吸着操作を行う。
次に精製工程について説明する。精製工程は、第3カラ
ム3および第4カラム4を使用し、次の5つの操作を連
続的に行う。
ム3および第4カラム4を使用し、次の5つの操作を連
続的に行う。
(1)吸着剤を充填したカラムに加圧状態で粗精製工程
よりのガスを供給し、不純成分を吸着させる最終吸着操
作 (2)最終吸着操作の後、カラム内の圧力をほぼ大気圧
まで減圧する減圧操作 (3)原料ガスによる掃気操作 (4)精製された水素による再生操作 (5)精製された水素により最終吸着操作と同じ圧力ま
で加圧する加圧操作 なお第3カラム3が最終吸着操作である時は、第4カラ
ム4において減圧操作、掃気操作、再生操作および加圧
操作を逐次行い、第4カラム4が最終吸着操作である時
は、第3カラム3において減圧操作、掃気操作、再生操
作および加圧操作をを逐次行う。
よりのガスを供給し、不純成分を吸着させる最終吸着操
作 (2)最終吸着操作の後、カラム内の圧力をほぼ大気圧
まで減圧する減圧操作 (3)原料ガスによる掃気操作 (4)精製された水素による再生操作 (5)精製された水素により最終吸着操作と同じ圧力ま
で加圧する加圧操作 なお第3カラム3が最終吸着操作である時は、第4カラ
ム4において減圧操作、掃気操作、再生操作および加圧
操作を逐次行い、第4カラム4が最終吸着操作である時
は、第3カラム3において減圧操作、掃気操作、再生操
作および加圧操作をを逐次行う。
ここで粗精製工程は、第1カラム1で吸着操作、第2カ
ラム2で減圧操作、掃気操作あるいは加圧操作を行い、
精製工程は、第3カラム3で最終吸着操作、第4カラム
4で減圧操作、掃気操作、再生操作および加圧操作を行
う場合について説明する。
ラム2で減圧操作、掃気操作あるいは加圧操作を行い、
精製工程は、第3カラム3で最終吸着操作、第4カラム
4で減圧操作、掃気操作、再生操作および加圧操作を行
う場合について説明する。
第3カラム3でのR終吸着操作は、第1連絡弁36およ
び第1製品弁45を開け、第3塔頂弁33、第3連絡弁
38、第3塔底弁42および第1再生弁47を閉め、第
1カラム1で粗精製された粗精製ガスを第1連絡管14
から第3カラム3に供給する。精製された水素ガスは、
第1製品管23および第2製品管24を通り系外に出さ
れる。
び第1製品弁45を開け、第3塔頂弁33、第3連絡弁
38、第3塔底弁42および第1再生弁47を閉め、第
1カラム1で粗精製された粗精製ガスを第1連絡管14
から第3カラム3に供給する。精製された水素ガスは、
第1製品管23および第2製品管24を通り系外に出さ
れる。
一方最終吸着操作終了後加圧状態にある第4カラム4で
は、まず第4塔底弁43を開け、第4塔頂弁34、第2
連絡弁37、第4連絡弁39、第2製品弁46および第
2再生弁48を閉め、第4塔底管21、塔底連絡管22
および第1塔底管18へと加圧状態のガスをほぼ大気圧
まで減圧する減圧操作を行う。次に塔頂塔底連絡弁44
を閉め、第4塔頂弁34および塔頂連絡弁35を開け、
塔頂連絡管13および第4塔頂管12を通し原料ガスを
供給し掃気操作を行う。
は、まず第4塔底弁43を開け、第4塔頂弁34、第2
連絡弁37、第4連絡弁39、第2製品弁46および第
2再生弁48を閉め、第4塔底管21、塔底連絡管22
および第1塔底管18へと加圧状態のガスをほぼ大気圧
まで減圧する減圧操作を行う。次に塔頂塔底連絡弁44
を閉め、第4塔頂弁34および塔頂連絡弁35を開け、
塔頂連絡管13および第4塔頂管12を通し原料ガスを
供給し掃気操作を行う。
第7検出器30で原料ガスと同じ組成になった時点で直
ちに塔頂連絡弁35および第4塔底弁43を閉め、塔頂
塔底連絡弁44および第2再生弁48を開け、第1再生
管25および第2製品管24を通る精製された水素を供
給し再生操作を行う。第4カラム4に供給された水素は
カラムに残存している不純成分と共に第4塔頂管12、
塔頂連絡管13、塔頂塔底連絡管27、塔底連絡管22
および第1塔底管18を通り系外に出される。第5検出
器28で不純成分が検出されなくなった時点で直ちに第
4塔頂弁34および塔頂塔底連絡弁44を閉め、最終吸
着操作と同じ圧力まで加圧する加圧操作を行う。加圧操
作終了後第2再生弁48を閉め、これで第4カラム4で
の最終吸着操作の準備が完了する。
ちに塔頂連絡弁35および第4塔底弁43を閉め、塔頂
塔底連絡弁44および第2再生弁48を開け、第1再生
管25および第2製品管24を通る精製された水素を供
給し再生操作を行う。第4カラム4に供給された水素は
カラムに残存している不純成分と共に第4塔頂管12、
塔頂連絡管13、塔頂塔底連絡管27、塔底連絡管22
および第1塔底管18を通り系外に出される。第5検出
器28で不純成分が検出されなくなった時点で直ちに第
4塔頂弁34および塔頂塔底連絡弁44を閉め、最終吸
着操作と同じ圧力まで加圧する加圧操作を行う。加圧操
作終了後第2再生弁48を閉め、これで第4カラム4で
の最終吸着操作の準備が完了する。
第3カラム3の最終吸着工程において時間の経過と共に
第3検出器7で不純成分が検出され始めた時、速やかに
第1連絡弁36および第1製品弁45を閉める。続いて
第3カラム3で減圧操作、掃気操作、再生操作および加
圧操作を逐次行い、第4カラム4では最終吸着操作を行
う。
第3検出器7で不純成分が検出され始めた時、速やかに
第1連絡弁36および第1製品弁45を閉める。続いて
第3カラム3で減圧操作、掃気操作、再生操作および加
圧操作を逐次行い、第4カラム4では最終吸着操作を行
う。
(実施例)
次に実施例により本発明を更に具体的に説明する。しか
しながら本発明はこれらの実施例によって限定されるも
のでは無い。
しながら本発明はこれらの実施例によって限定されるも
のでは無い。
実施例
■290%、CD9.5%、C)1.0.45%、CO
20,05%からなる原料ガスを第1図に示した装置を
用いて精製し7た。4基の竪型円筒カラム(径30mm
、高さ2000mm)に、吸着剤として合成ゼオライト
(和光純薬工業■製)を1027gずつ各カラムに充
填した。
20,05%からなる原料ガスを第1図に示した装置を
用いて精製し7た。4基の竪型円筒カラム(径30mm
、高さ2000mm)に、吸着剤として合成ゼオライト
(和光純薬工業■製)を1027gずつ各カラムに充
填した。
装置全体の温度は30℃であった。検出器は全て赤外線
式ガス分析計(品性製作所製)を使用した。
式ガス分析計(品性製作所製)を使用した。
まず粗精製工程では、原料ガスを第1塔頂管9より第1
カラム1に供給し、吸着操作を行った。
カラム1に供給し、吸着操作を行った。
原料ガスの供給量は、1.778Nm3/llr 、供
給圧力は、15kg/cm2Gであり、第1カラム1で
の見掛けの空塔速度は約0.05m/secであった。
給圧力は、15kg/cm2Gであり、第1カラム1で
の見掛けの空塔速度は約0.05m/secであった。
第1カラム1の塔底からの粗精製ガスは、第1連絡管1
4より第3カラム3に供給した。
4より第3カラム3に供給した。
一方第1カラム1で吸着操作を行っている間に第2カラ
ム2では、既に吸着操作終了後の加圧状態のガスを約0
.1kg/cm”Gまで減圧する減圧操作を第2塔底管
19、塔底連絡管22および第1塔底管18を使用して
行った。これに要した時間は約2.5分であった。次に
第2塔頂弁32を開は原料ガスを供給し、掃気操作を行
った。第2検出器6での検出により、掃気操作開始後約
3分で第2塔底弁41を閉め掃気操作を終了とし、加圧
操作へ移行した。
ム2では、既に吸着操作終了後の加圧状態のガスを約0
.1kg/cm”Gまで減圧する減圧操作を第2塔底管
19、塔底連絡管22および第1塔底管18を使用して
行った。これに要した時間は約2.5分であった。次に
第2塔頂弁32を開は原料ガスを供給し、掃気操作を行
った。第2検出器6での検出により、掃気操作開始後約
3分で第2塔底弁41を閉め掃気操作を終了とし、加圧
操作へ移行した。
加圧操作の所要時間は約1分であった。これで第2カラ
ム2での吸着操作の準備が完了した。
ム2での吸着操作の準備が完了した。
吸着操作を行っている第1カラム1では、第1検出器5
の検出により、吸着操作開始後的10.2分で吸着操作
を終了とし第1塔頂弁31および第1連絡弁36を閉め
、更に第2塔頂弁32を開け、第2カラム2での吸着操
作を開始した。なお第1カラム1では、減圧、掃気及び
加圧操作を逐次行った。
の検出により、吸着操作開始後的10.2分で吸着操作
を終了とし第1塔頂弁31および第1連絡弁36を閉め
、更に第2塔頂弁32を開け、第2カラム2での吸着操
作を開始した。なお第1カラム1では、減圧、掃気及び
加圧操作を逐次行った。
次に精製工程について説明する。粗精製ガスは第1連絡
管14より第3カラム3に供給し、最終吸着操作を行っ
た。第3カラム3での見掛けの空塔速度は約0.04m
/secであった。第3カラム3の塔底よりの精製水素
は、第1製品管23′J6よび第2製品管24を通り系
外に出した。この精製水素量は、平均1.36Nm’/
Hrであり、その純度は99.9999%以上であった
。この結果水素の回収率は85.0%であり、単位時間
に精製された水素量当りの吸着剤全使用量は、3021
g−吸着剤、 Hr/Nm3となる。
管14より第3カラム3に供給し、最終吸着操作を行っ
た。第3カラム3での見掛けの空塔速度は約0.04m
/secであった。第3カラム3の塔底よりの精製水素
は、第1製品管23′J6よび第2製品管24を通り系
外に出した。この精製水素量は、平均1.36Nm’/
Hrであり、その純度は99.9999%以上であった
。この結果水素の回収率は85.0%であり、単位時間
に精製された水素量当りの吸着剤全使用量は、3021
g−吸着剤、 Hr/Nm3となる。
一方第3カラム3で最終吸着操作を行っている間に第4
カラム4では、既に最終吸着操作終了後の加圧状態のガ
スを約0.1kg/cm”Gまで減圧する減圧操作を第
4塔底管21、塔底連絡管22および第1塔底管18を
使用して行った。これに要した時間は約2.5分であっ
た。次に第4塔頂弁34および塔頂連絡弁35を開は原
料ガスを供給し、掃気操作を行った。第7検出器30で
の検出により、掃気操作開始後約3分で掃気操作を終了
した。次に塔頂連絡弁35および第4塔底弁43を閉め
、塔頂塔底連絡弁44および第2再生弁48を開け、第
1再生管25および第2製品管24より精製水素を供給
し、再生操作を行った。第4カラム4に供給された水素
は、カラムに残存している不純成分と共に塔頂連絡管1
3、塔頂塔底連絡管27、塔底連絡管22フよび第1塔
底管18を通り系外に出された。再生操作開始後約3分
で第5検出器28の検出により再生操作を終了した。次
に第4塔頂弁34右よび塔頂塔底連絡弁44を閉め、加
圧操作へ移行した。加圧操作の所要時間は約1分であっ
た。これで第4カラム4での最終吸着操作の準備が完了
した。
カラム4では、既に最終吸着操作終了後の加圧状態のガ
スを約0.1kg/cm”Gまで減圧する減圧操作を第
4塔底管21、塔底連絡管22および第1塔底管18を
使用して行った。これに要した時間は約2.5分であっ
た。次に第4塔頂弁34および塔頂連絡弁35を開は原
料ガスを供給し、掃気操作を行った。第7検出器30で
の検出により、掃気操作開始後約3分で掃気操作を終了
した。次に塔頂連絡弁35および第4塔底弁43を閉め
、塔頂塔底連絡弁44および第2再生弁48を開け、第
1再生管25および第2製品管24より精製水素を供給
し、再生操作を行った。第4カラム4に供給された水素
は、カラムに残存している不純成分と共に塔頂連絡管1
3、塔頂塔底連絡管27、塔底連絡管22フよび第1塔
底管18を通り系外に出された。再生操作開始後約3分
で第5検出器28の検出により再生操作を終了した。次
に第4塔頂弁34右よび塔頂塔底連絡弁44を閉め、加
圧操作へ移行した。加圧操作の所要時間は約1分であっ
た。これで第4カラム4での最終吸着操作の準備が完了
した。
最終吸着操作を行っている第3カラム3では、第3検出
器7の検出により、吸着操作開始後約200分で吸着操
作を終了とし第1連絡弁36および第1製品弁45を閉
め、更に第2連絡弁37を開け、第4カラム4での最終
吸着操作を開始した。なお第3カラム3では、減圧操作
、掃気操作、再生操作及び加圧操作を逐次行った。
器7の検出により、吸着操作開始後約200分で吸着操
作を終了とし第1連絡弁36および第1製品弁45を閉
め、更に第2連絡弁37を開け、第4カラム4での最終
吸着操作を開始した。なお第3カラム3では、減圧操作
、掃気操作、再生操作及び加圧操作を逐次行った。
比較例
カラムを4基並列にならべた第2図に示す装置を用いて
、実施例と同じガスを精製した。
、実施例と同じガスを精製した。
この装置は、第1カラム1、第2カラム2、第3カラム
3および第4カラム4の4基のカラムを有しており、各
カラムの吸着剤とその充填量およびそれらの操作条件は
、実施例と同一とした。
3および第4カラム4の4基のカラムを有しており、各
カラムの吸着剤とその充填量およびそれらの操作条件は
、実施例と同一とした。
この装置においては、各カラムの塔頂にそれぞれ第1塔
頂管14、第2堪頂管15、第3塔頂管16および第4
塔頂管17があり、これらの塔頂管は第1塔頂管14か
ら分岐した塔頂連絡管18によって互いに接続されてい
る。またこれらの塔頂管にはそれぞれ第1塔頂弁40、
第2塔頂弁41、第3塔頂弁42および第4塔頂弁43
が設けられている。
頂管14、第2堪頂管15、第3塔頂管16および第4
塔頂管17があり、これらの塔頂管は第1塔頂管14か
ら分岐した塔頂連絡管18によって互いに接続されてい
る。またこれらの塔頂管にはそれぞれ第1塔頂弁40、
第2塔頂弁41、第3塔頂弁42および第4塔頂弁43
が設けられている。
各カラムの塔底にはそれぞれ第1塔底管19、第2塔底
管20、第3塔底管21および第4塔底管22がある。
管20、第3塔底管21および第4塔底管22がある。
これらの塔底管は第1塔底管、19から分岐した塔底連
絡管23によって互いに接続されている。
絡管23によって互いに接続されている。
またこれらの塔底管にはそれぞれ第1堪底弁44、第2
塔底弁45、第3塔底弁46および第4塔底弁47が設
けられている。また各カラムの塔底と各塔底弁との間に
それぞれそれぞれ第1検出器5、第2検出器6、第3検
出器7および第4検出器8が設けられている。
塔底弁45、第3塔底弁46および第4塔底弁47が設
けられている。また各カラムの塔底と各塔底弁との間に
それぞれそれぞれ第1検出器5、第2検出器6、第3検
出器7および第4検出器8が設けられている。
また各カラムの塔底にはそれぞれ第1製品管24、第2
製品管25、第3製品管26および第4製品管27があ
る。これらの製品管は製品連絡弁28によって互いに接
続され、第4製品管27に合流される。
製品管25、第3製品管26および第4製品管27があ
る。これらの製品管は製品連絡弁28によって互いに接
続され、第4製品管27に合流される。
これらの製品管にはそれぞれ第1製品弁48、第2製品
弁49、第3製品弁50および第4製品弁51が設けら
れている。また各カラムの塔底と各製品弁との間にそれ
ぞれそれぞれ第5検出器9、第6検出器10、第7検出
器11および第8検出器12が設けられている。
弁49、第3製品弁50および第4製品弁51が設けら
れている。また各カラムの塔底と各製品弁との間にそれ
ぞれそれぞれ第5検出器9、第6検出器10、第7検出
器11および第8検出器12が設けられている。
各製品管の検出器と製品弁の間の所から第1再生管29
、第2再生管30、第3再生管31および第4再生管3
2が分岐されている。これらの再生管は再生連絡管33
によって互いに接続され、第4再生管32に合流される
。これらの再生管にはそれぞれ第1再生弁52、第2再
生弁53、第3再生弁54および第4再生弁55が設け
られている。また第4再生管32は第4製品管27に合
流される。
、第2再生管30、第3再生管31および第4再生管3
2が分岐されている。これらの再生管は再生連絡管33
によって互いに接続され、第4再生管32に合流される
。これらの再生管にはそれぞれ第1再生弁52、第2再
生弁53、第3再生弁54および第4再生弁55が設け
られている。また第4再生管32は第4製品管27に合
流される。
各カラムの塔頂にはそれぞれ第1回収管34、第2回収
管35、第3回収管36および第4回収管37がある。
管35、第3回収管36および第4回収管37がある。
これらの回収管は回収連絡管38によって互いに接続さ
れて第1回収管34に合流され、また第1回収管34は
第1塔底管19に合流される。これらの回収管にはそれ
ぞれ第1回収弁56、第2回収弁57、第3回収弁58
および第4回収弁59が設けられている。また第1回収
管34には第9検出器13が設けられている。
れて第1回収管34に合流され、また第1回収管34は
第1塔底管19に合流される。これらの回収管にはそれ
ぞれ第1回収弁56、第2回収弁57、第3回収弁58
および第4回収弁59が設けられている。また第1回収
管34には第9検出器13が設けられている。
この装置では、一段階のみの精製であるため、実施例の
精製工程のみを実施例に準じて行った。
精製工程のみを実施例に準じて行った。
即ち第1カラム1が最終吸着操作にある時は、第2カラ
ム2では減圧操作、第3カラム3では掃気操作、第4カ
ラム4では再生および加圧操作を行った。また第1カラ
ム1で最終吸着操作終了後は減圧操作、掃気操作、再生
操作および加圧操作を逐次行い、第2カラム2、第3カ
ラム3および第4カラム4でも同様とした。
ム2では減圧操作、第3カラム3では掃気操作、第4カ
ラム4では再生および加圧操作を行った。また第1カラ
ム1で最終吸着操作終了後は減圧操作、掃気操作、再生
操作および加圧操作を逐次行い、第2カラム2、第3カ
ラム3および第4カラム4でも同様とした。
この結果、精製水素量は平均1.12Nm’/Hr 、
水素純度99.99%以上であった。水素の回収率は7
0.0%、単位時間に精製された水素量当りの吸着剤全
使用量は 3668g−吸着剤、 Hr/Nm3となる
。
水素純度99.99%以上であった。水素の回収率は7
0.0%、単位時間に精製された水素量当りの吸着剤全
使用量は 3668g−吸着剤、 Hr/Nm3となる
。
このように本比較例では、実施例に比較して、水素純度
および回収率が著しく低下しており、単位時間に精製さ
れた水素量当りの吸着剤全使用量も多くなっている。
および回収率が著しく低下しており、単位時間に精製さ
れた水素量当りの吸着剤全使用量も多くなっている。
(発明の効果)
本発明においては、水素精製工程が二段階で行われるの
で、充填されている吸着剤が有効に使用されることにな
り、少ない吸着剤の使用量で、水素回収率が向上し、ま
た水素純度も著しく向上する。これにより水素精製コス
トが著しく低減されると共に、今まで困難であった吸着
カラムクロマトグラフ法の大型化が促進されるようにな
り、本発明の工業的意義が大きい。
で、充填されている吸着剤が有効に使用されることにな
り、少ない吸着剤の使用量で、水素回収率が向上し、ま
た水素純度も著しく向上する。これにより水素精製コス
トが著しく低減されると共に、今まで困難であった吸着
カラムクロマトグラフ法の大型化が促進されるようにな
り、本発明の工業的意義が大きい。
第1図は本発明の方法において使用される水素精製装置
のフローシートの一例を示し、また第2図は本発明の比
較例において使用された水素精製装置のフローシートを
示す。 (第1図) 1〜4:第1〜4カラム 13:塔頂連絡管5〜8
:第1〜4検出器 14〜17:第1〜4連絡管9〜
12:第1〜4塔項管 18〜21:第1〜4塔底管
22:塔底連絡管 35:塔頂連絡弁23〜2
4:第1〜2製品管 36〜39:第1〜4連絡弁2
5〜26:第1〜2再生管 40〜43:第1〜4塔
底弁27:塔頂塔底連絡管 44:塔頂塔底連絡弁
28〜30:第5〜7検出器 45〜46:第1〜2
製品弁31〜34:第1〜4塔頂弁 47〜48:第
1〜2再生弁(第2図) 1〜4:第1〜4カラム 33:再生連絡管5〜1
3:第1〜9検出器 34〜37:第1〜4回収管1
4〜17:第1〜4塔項管 38:回収連絡管18
:塔頂連絡管 40〜43:第1〜4塔頂弁19
〜22:第1〜4塔底管 44〜47:第1〜4塔底
弁23:塔底連絡管 48〜51:第1〜4製品
介24〜27:第1〜4製品管 52〜55二第1〜
4再生方28:製品連絡管 56〜59:第1〜
4カラム[29〜32:第1〜4再生管 特許出願人 三菱瓦斯化学株式会社 代理人 弁理士 小 堀 貞 文 手続ネ甫正書(自発) らづ昭和62年
(0月 5日
のフローシートの一例を示し、また第2図は本発明の比
較例において使用された水素精製装置のフローシートを
示す。 (第1図) 1〜4:第1〜4カラム 13:塔頂連絡管5〜8
:第1〜4検出器 14〜17:第1〜4連絡管9〜
12:第1〜4塔項管 18〜21:第1〜4塔底管
22:塔底連絡管 35:塔頂連絡弁23〜2
4:第1〜2製品管 36〜39:第1〜4連絡弁2
5〜26:第1〜2再生管 40〜43:第1〜4塔
底弁27:塔頂塔底連絡管 44:塔頂塔底連絡弁
28〜30:第5〜7検出器 45〜46:第1〜2
製品弁31〜34:第1〜4塔頂弁 47〜48:第
1〜2再生弁(第2図) 1〜4:第1〜4カラム 33:再生連絡管5〜1
3:第1〜9検出器 34〜37:第1〜4回収管1
4〜17:第1〜4塔項管 38:回収連絡管18
:塔頂連絡管 40〜43:第1〜4塔頂弁19
〜22:第1〜4塔底管 44〜47:第1〜4塔底
弁23:塔底連絡管 48〜51:第1〜4製品
介24〜27:第1〜4製品管 52〜55二第1〜
4再生方28:製品連絡管 56〜59:第1〜
4カラム[29〜32:第1〜4再生管 特許出願人 三菱瓦斯化学株式会社 代理人 弁理士 小 堀 貞 文 手続ネ甫正書(自発) らづ昭和62年
(0月 5日
Claims (1)
- 水素と少なくとも1種類以上の不純成分を含む原料ガス
を吸着カラムクロマトグラフィー法で精製するに際し、
原料ガスの吸着操作と減圧操作、掃気操作、加圧操作と
に切換えることができる2基以上のカラムを有する粗精
製工程と、粗精製工程より得られた粗精製ガスの最終吸
着操作と減圧操作、掃気操作、再生操作、加圧操作とに
切換えることができる2基以上のカラムを有する精製工
程からなる、二段階の精製工程により原料ガスから高純
度の水素を連続的に得ることを特徴とする水素の精製法
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62150186A JP2848557B2 (ja) | 1987-06-18 | 1987-06-18 | 水素の精製法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62150186A JP2848557B2 (ja) | 1987-06-18 | 1987-06-18 | 水素の精製法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63315503A true JPS63315503A (ja) | 1988-12-23 |
JP2848557B2 JP2848557B2 (ja) | 1999-01-20 |
Family
ID=15491392
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP62150186A Expired - Lifetime JP2848557B2 (ja) | 1987-06-18 | 1987-06-18 | 水素の精製法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2848557B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7892322B2 (en) | 2005-04-19 | 2011-02-22 | Japan Atomic Energy Agency | Apparatus and method for separating gas |
CN110436414A (zh) * | 2019-07-31 | 2019-11-12 | 武汉钢铁有限公司 | 一种高纯氢气净化设备 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59207803A (ja) * | 1983-02-10 | 1984-11-26 | Nippon Kagaku Gijutsu Kk | 二段圧力スイング吸着法による水素精製方法 |
-
1987
- 1987-06-18 JP JP62150186A patent/JP2848557B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59207803A (ja) * | 1983-02-10 | 1984-11-26 | Nippon Kagaku Gijutsu Kk | 二段圧力スイング吸着法による水素精製方法 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7892322B2 (en) | 2005-04-19 | 2011-02-22 | Japan Atomic Energy Agency | Apparatus and method for separating gas |
CN110436414A (zh) * | 2019-07-31 | 2019-11-12 | 武汉钢铁有限公司 | 一种高纯氢气净化设备 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2848557B2 (ja) | 1999-01-20 |
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