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JPS63308721A - Magnetic recording medium - Google Patents

Magnetic recording medium

Info

Publication number
JPS63308721A
JPS63308721A JP14319187A JP14319187A JPS63308721A JP S63308721 A JPS63308721 A JP S63308721A JP 14319187 A JP14319187 A JP 14319187A JP 14319187 A JP14319187 A JP 14319187A JP S63308721 A JPS63308721 A JP S63308721A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
magnetic recording
recording medium
protective film
recording layer
layer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP14319187A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Noboru Isoe
磯江 昇
Kunio Wakai
若居 邦夫
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Maxell Ltd
Original Assignee
Hitachi Maxell Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Maxell Ltd filed Critical Hitachi Maxell Ltd
Priority to JP14319187A priority Critical patent/JPS63308721A/en
Publication of JPS63308721A publication Critical patent/JPS63308721A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PURPOSE:To obtain a titled recording medium having excellent electromagnetic conversion characteristics and durability by consisting a protective film of an aggregate of columnar particles which consist of Ni or alloy essentially consisting of Ni and in which part thereof forms an oxide and forming these particles so as to continue to the columnar particles of a magnetic recording layer. CONSTITUTION:A polyimide film is used as a nonmagnetic substrate 4 and metal or alloy such as Co or Co-Ni or the oxide thereof is formed by a continuous diagonal vapor deposition method as the magnetic recording layer 11 which is a ferromagnetic metallic layer. The protective film 12 to be provided thereon is formed by continuous diagonal vapor deposition and is formed of the aggregate of the columnar particles which consist of Ni or the alloy essentially consisting of Ni and in which part thereof forms the oxide. The protective film 12 formed on the magnetic recording layer 11 consisting of the aggregate of the inclined columnar particles is also formed of the aggregate of the columnar particles and both these aggregates 11, 12 are made into the continuous structure. The incident angle of the particles at the time of the diagonal vapor deposition of the protective film 12 is preferably set slightly smaller than the incident angle at the time of the diagonal vapor deposition of the magnetic recording layer 11 for the above-mentioned purpose.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、磁気記録媒体に係り、特に非磁性基体上に強
磁性金属層ならびに保護膜を順次形成した磁気記録媒体
に関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a magnetic recording medium, and particularly to a magnetic recording medium in which a ferromagnetic metal layer and a protective film are sequentially formed on a nonmagnetic substrate.

(従来の技術〕 プラスチックフィルムなどの非磁性基板上にコバルトあ
るいはコバルト合金などの強磁性金属層を形成した磁気
記録媒体は、高密度記録特性に優れているが、その反面
、表面に金属が露出しているから大気中に存在する水分
やso、 、Notなどの腐食性ガスによって腐食され
、飽和磁化量の減少、さらには腐食生成物によって磁気
記録媒体の走行不良を生じるなどの欠点がある。
(Prior art) Magnetic recording media in which a ferromagnetic metal layer such as cobalt or cobalt alloy is formed on a nonmagnetic substrate such as a plastic film have excellent high-density recording characteristics, but on the other hand, the metal is exposed on the surface. Because of this, it is corroded by moisture present in the atmosphere and corrosive gases such as SO, SO, NOT, etc., resulting in a decrease in the amount of saturation magnetization, and furthermore, corrosion products cause poor running of the magnetic recording medium.

これらの欠点を解消するために従来、(1)強磁性金属
層上にコバルトあるいはニッケルの酸化物からなる保護
膜を設けること(特開昭59−193536号公報) 
、(21N iあるいはNi合金の耐食保護膜を形成す
ること(特開昭53−7205号公報)、(3)強磁性
金属層上に入射角60°以上でニッケルの斜め蒸着層を
設けること(特開昭54−21305号公報)等が提案
されている。
Conventionally, in order to eliminate these drawbacks, (1) a protective film made of cobalt or nickel oxide was provided on the ferromagnetic metal layer (Japanese Unexamined Patent Publication No. 193536/1982);
, (forming a corrosion-resistant protective film of 21Ni or Ni alloy (JP-A-53-7205), (3) providing an oblique evaporation layer of nickel on the ferromagnetic metal layer at an incident angle of 60° or more ( Japanese Unexamined Patent Publication No. 54-21305) and the like have been proposed.

〔発明が解決しようとする間月点〕[The point that the invention attempts to solve]

しかし、(11の磁気記録媒体は保護膜が非磁性である
ためスペーシングロスが大きく、保fillを形成する
ことによって再生出力が低下する。このようなことが生
じないようにするため保護膜の厚さを薄くすると、長時
間にわたって保護膜の機能を発揮することができない。
However, since the magnetic recording medium (No. 11) has a non-magnetic protective film, there is a large spacing loss, and the formation of the protective fill reduces the reproduction output. If the thickness is too thin, the protective film cannot function for a long time.

また、(2)の磁気記録媒体では保護膜の厚みに起因す
るスペーシングロスは防止されるが、電磁変換特性とし
てのS/N比の劣化を招き、さらには耐久性に欠ける問
題がある。さらに(3)の磁気記録媒体は耐摩耗性に劣
るという欠点を有している。
Further, although the magnetic recording medium (2) prevents spacing loss due to the thickness of the protective film, it causes deterioration of the S/N ratio as an electromagnetic conversion characteristic, and furthermore, there is a problem of lack of durability. Furthermore, the magnetic recording medium (3) has a drawback of poor wear resistance.

本発明の目的は、前述した従来技術の欠点を解消し、耐
腐食性、耐摩耗性ならびに電磁変換特性に優れた磁気記
録媒体を堤供することにある。
An object of the present invention is to eliminate the drawbacks of the prior art described above and to provide a magnetic recording medium that has excellent corrosion resistance, wear resistance, and electromagnetic conversion characteristics.

〔問題点を解決するための手段〕[Means for solving problems]

本発明者らは、保護膜をNiあるいはNiを主成分とす
る合金を用いることで耐食性、特に亜硫酸ガスなどの腐
食性ガスに対する耐食性を向上させ、この保護膜の一部
を酸化物とすること、および磁気記録層と連続した柱状
粒子とすることにより、磁気記録層と保護膜の密着性を
良くすると共に保護膜自身の剛性を増し、膜全体の構造
に起因する強度歪みをなくし、耐久性の向上および耐食
性を図ることができる。さらに、保護膜に磁性を持たせ
、磁気記録層と連続した柱状粒子により形成することに
より、信号を記録した場合の磁化分布の歪みを少なくし
、S/N比を劣化させることなくスペーシングによる損
失を最小できることを見出した。 本発明は、以上の知
見に基づいて完成されたもので、前述の目的を達成させ
るために本発明は、非磁性基体上に、傾斜した柱状粒子
の集合体からなる磁気記録層を形成し、この磁気記録層
上に保護膜を形成したものにおいて、前記保護膜がNi
又はNiを主成分とする合金からなると共にその一部が
少なくとも酸化物を形成した柱状粒子の集合体からなり
、この柱状粒子が前記磁気記録層の柱状粒子と連続して
いることを特徴とするものである。
The present inventors have improved corrosion resistance, especially resistance to corrosive gases such as sulfur dioxide gas, by using Ni or an alloy containing Ni as a main component for the protective film, and made part of this protective film an oxide. , and columnar particles that are continuous with the magnetic recording layer, improve the adhesion between the magnetic recording layer and the protective film, increase the rigidity of the protective film itself, eliminate strength distortion caused by the overall structure of the film, and improve durability. and corrosion resistance. Furthermore, by imparting magnetism to the protective film and forming it from columnar grains that are continuous with the magnetic recording layer, distortion of the magnetization distribution when recording signals is reduced, and the spacing is reduced without deteriorating the S/N ratio. We have found that losses can be minimized. The present invention was completed based on the above findings, and in order to achieve the above object, the present invention forms a magnetic recording layer consisting of an aggregate of inclined columnar particles on a non-magnetic substrate, In the case where a protective film is formed on the magnetic recording layer, the protective film is made of Ni.
or an aggregate of columnar particles made of an alloy containing Ni as a main component and at least a portion of which forms an oxide, and characterized in that the columnar particles are continuous with the columnar particles of the magnetic recording layer. It is something.

更に前述の目的を達成させるために、本発明は上記の保
護膜の上に潤滑層を設けたことを特徴とするものである
Furthermore, in order to achieve the above-mentioned object, the present invention is characterized in that a lubricating layer is provided on the above-mentioned protective film.

〔実施例〕〔Example〕

本発明において、前記非磁性基板としては例えばポリエ
チレンテレフタレートフィルム、ポリイミドフィルム、
ポリエステルフィルムなど一般に用いられるプラスチッ
クフィルムの他に、炭素繊維や銅、シリコンなどの無機
物質を混入あるいは上塗りした複合基体、あるいはアル
ミニウム等の非磁性金属、ガラスなども用いられる。
In the present invention, examples of the nonmagnetic substrate include polyethylene terephthalate film, polyimide film,
In addition to commonly used plastic films such as polyester film, composite substrates mixed with or coated with inorganic substances such as carbon fiber, copper, and silicon, nonmagnetic metals such as aluminum, and glass may also be used.

強磁性金属層を形成する材料としては、例えばC01C
o−Ni、Co−Ti、Co−Fs。
Examples of materials for forming the ferromagnetic metal layer include C01C.
o-Ni, Co-Ti, Co-Fs.

Co−Cr、Co−p、Co−Ni−Crなどの金属あ
るいは合金、またはこれらの酸化物が用いられる。この
強磁性金属層の形成手段としては、連続斜め7着が適用
される。
Metals or alloys such as Co-Cr, Co-p, Co-Ni-Cr, or oxides thereof are used. As a means for forming this ferromagnetic metal layer, continuous diagonal seven-layer deposition is applied.

また保護膜の形成手段としては、連続斜め蒸着がある。Further, as a means for forming the protective film, there is continuous oblique vapor deposition.

本発明において、磁気記録層は傾斜した柱状粒子の集合
体からなり、また、保護膜も柱状粒子の集合体からなる
が、これらの集合体は連続した構造であることが必要で
ある。上記した粒子の集合体同志が連続した構造でない
場合、S/N比で示される電磁変換特性が低下する。こ
の場合、磁気記録層は斜め蒸着法に形成され、傾斜した
粒子の集合体を形成しているので、この磁気記録層に対
して保filllを構成する粒子の集合体を連続させる
ためには磁気記録層における斜め蒸着時の粒子の入射角
よりも保護膜における斜め蒸着時の粒子の入射角をやや
小さくする手段を採ることが望ましい。
In the present invention, the magnetic recording layer consists of an aggregate of inclined columnar particles, and the protective film also consists of an aggregate of columnar particles, but these aggregates need to have a continuous structure. When the above-mentioned particle aggregates do not have a continuous structure, the electromagnetic conversion characteristics indicated by the S/N ratio deteriorate. In this case, the magnetic recording layer is formed by an oblique vapor deposition method and forms an aggregate of inclined particles. Therefore, in order to make the aggregate of particles constituting the retention fill continuous with respect to the magnetic recording layer, it is necessary to It is desirable to adopt a means for making the incident angle of particles on the protective film slightly smaller than the angle of incidence of particles on the recording layer during oblique vapor deposition.

本発明において、保1!膜の上に潤滑層を形成すればさ
らに効果的である。潤滑剤としては、例えば脂肪族系潤
滑剤、フッ素系潤滑剤、シリコーン系潤滑剤あるいは炭
化水素系潤滑剤などが好適に使用される。
In the present invention, the protection 1! It is even more effective if a lubricating layer is formed on the film. As the lubricant, for example, an aliphatic lubricant, a fluorine-based lubricant, a silicone-based lubricant, or a hydrocarbon-based lubricant is suitably used.

前記脂肪族系潤滑剤としては、脂肪酸、脂肪酸の金属塩
、脂肪酸エステル、脂肪酸アミド、脂肪族アルコールな
どが使用される。前記脂肪酸としては、例えばウラリル
酸、ミリスチン酸、パルミチン酸、オレイン酸、ステア
リン酸、ベヘン酸などが使用される。またこれらの金属
塩としては、例えばマグネシウム塩、アルミニウム塩、
リチウム塩、ナトリウム塩、カルシウム塩、鉄塩、コバ
ルト塩、亜鉛塩、バリウム塩ならびに鉛塩などが用いら
れる。
As the aliphatic lubricant, fatty acids, metal salts of fatty acids, fatty acid esters, fatty acid amides, aliphatic alcohols, etc. are used. Examples of the fatty acids used include uralic acid, myristic acid, palmitic acid, oleic acid, stearic acid, and behenic acid. Examples of these metal salts include magnesium salts, aluminum salts,
Lithium salts, sodium salts, calcium salts, iron salts, cobalt salts, zinc salts, barium salts and lead salts are used.

前記脂肪酸エステルとしては、例えばステアリン酸ブチ
ル、ミリスチン酸オクチル、ステアリン酸モノグリセリ
ド、パルミチン酸モノグリセリド、オレイン酸モノグリ
セリドなどが使用される。
As the fatty acid ester, for example, butyl stearate, octyl myristate, stearic acid monoglyceride, palmitic acid monoglyceride, oleic acid monoglyceride, etc. are used.

前記脂肪酸アミドとしては、例えばカプロン酸アミド、
カプリン酸アミド、ラウリン酸アミド、パルミチン酸ア
ミド、ベヘン酸アミド、オレイン酸アミド、リノール酸
アミド、メチレンビスステアリン酸アミドなどが使用さ
れる。
Examples of the fatty acid amide include caproic acid amide,
Capric acid amide, lauric acid amide, palmitic acid amide, behenic acid amide, oleic acid amide, linoleic acid amide, methylene bisstearic acid amide, etc. are used.

前記脂肪族アルコールとしては、例えばステアリルアル
コール、ミリスチルアルコールなどが使用される。
Examples of the aliphatic alcohol used include stearyl alcohol and myristyl alcohol.

この他に例えばトリメチルステアリルアンモニウムクロ
ライドや塩化ステアロイルなどの塩化物、ステアリルア
ミン、ステアリルアミンアセテート、ステアリルアミン
ハイドロクロライドの如きアミン類なども使用すること
ができる。
In addition, chlorides such as trimethylstearylammonium chloride and stearoyl chloride, and amines such as stearylamine, stearylamine acetate, and stearylamine hydrochloride can also be used.

前記フッ素系潤滑剤としては、例えばトリクロロフルオ
ロエチレン、パーフルオロポリエーテル、パーフルオロ
アルキルポリエーテル、パーフルオロアルキルカルボン
酸などが使用される。これらの市販品としては具体的に
は、例えばダイキン工業社製のグイフロン性201デユ
ポフ社製のクライトツクスM、タライトツクスH5バイ
ダックスA、R、モンテジソン社製のフオンプリンZな
どが挙げられる。
As the fluorine-based lubricant, for example, trichlorofluoroethylene, perfluoropolyether, perfluoroalkyl polyether, perfluoroalkyl carboxylic acid, etc. are used. Specific examples of these commercially available products include Guyfron 201 manufactured by Daikin Industries, Krytx M, Talytx H5 Vydax A and R manufactured by Duyupoff, and Fonprin Z manufactured by Montageson.

前記シリコーン系潤滑剤としては、例えばシリコーンオ
イルや変性シリコーンオイルなどが使用される。
As the silicone lubricant, for example, silicone oil, modified silicone oil, etc. are used.

前記炭化水素系潤滑剤としては、例えばパラフィン、ス
クアラン、ワックスなどが使用される。
As the hydrocarbon lubricant, paraffin, squalane, wax, etc. are used, for example.

なお前記潤滑剤層は潤滑剤のみで構成することもできる
し、また防鎮剤を適量混在させてもよい。
The lubricant layer may be composed of only a lubricant, or may contain an appropriate amount of an antidepressant.

前記防錆剤としては、例えばブチルヒドロキシアニソー
ル、ジブチルヒドロキシトルエン、ベンゾトリアゾール
、ベンゾトリアゾールラウリルアミン、ハイドロキノン
、ジメチルアミノエチレンメタクリレート、トリフェニ
ルホスファイト、トリデシルホスファイト、トリラウリ
ルトリチオホスファイト、トリラウリルトリチオホスフ
ァイト、ブチルホスフェート、ジラウリルチオジプロピ
オネート、ソルビトール、プロピレングリコール、ヒド
ロキノンなどのフェノール系、アミン系、リン系、イオ
ン系、有機酸系、キノン系などが使用される。
Examples of the rust preventive include butylhydroxyanisole, dibutylhydroxytoluene, benzotriazole, benzotriazole laurylamine, hydroquinone, dimethylaminoethylene methacrylate, triphenylphosphite, tridecylphosphite, trilauryltrithiophosphite, trilauryltrithi Phenol type, amine type, phosphorus type, ionic type, organic acid type, quinone type, etc. are used, such as ofophosphite, butyl phosphate, dilauryl thiodipropionate, sorbitol, propylene glycol, and hydroquinone.

第1図は、本発明の実施例に係る磁気記録媒体を製造す
るための真空蒸着装置の概略構成図である。
FIG. 1 is a schematic diagram of a vacuum evaporation apparatus for manufacturing a magnetic recording medium according to an embodiment of the present invention.

排気系lにて排気された真空槽2内において、送り出し
ロール3より送り出された非磁性体からなる基体4は、
円筒状キャン5に沿って移動すると共に、下部に配設さ
れた蒸発B6の蒸気流7の入射角度を防着板8にて規定
し、基体4上に連続斜め蒸着され、巻き取りロール9に
巻き取られる。
In the vacuum chamber 2 evacuated by the exhaust system 1, the substrate 4 made of a non-magnetic material is sent out from the delivery roll 3.
While moving along the cylindrical can 5, the incident angle of the vapor flow 7 of the evaporator B6 disposed at the bottom is determined by the deposition prevention plate 8, and the vapor is continuously and obliquely deposited on the substrate 4, and then rolled onto the take-up roll 9. be wound up.

また、保護膜形成時における蒸着操作のときにNi又は
Ni合金を部分的に酸化する場合は、ガス導入口10よ
り酸素ガスが導入される。ガス導入口10より導入され
るガスは、酸素ガスの他に酸素ガスに窒素ガス、アルゴ
ンガス、ヘリウムガス等の不活性ガスを混入したガスが
好適に使用される。
Further, when Ni or Ni alloy is partially oxidized during the vapor deposition operation when forming the protective film, oxygen gas is introduced from the gas inlet 10. The gas introduced through the gas inlet 10 is preferably a gas obtained by mixing oxygen gas with an inert gas such as nitrogen gas, argon gas, or helium gas, in addition to oxygen gas.

本発明における磁気記録媒体を製造するに際しては、第
1図に示す真空蒸着装置を2台設置し、1台の装置側で
基体4に対し、磁気記録層を形成し、次いで2台目の装
置でこの磁気記13層の上に保護膜を形成する2元蒸着
による手段や多段蒸着による手段を適用することもでき
る。
When manufacturing the magnetic recording medium of the present invention, two vacuum evaporation apparatuses shown in FIG. 1 are installed, and one apparatus forms a magnetic recording layer on the substrate 4, and then the second apparatus It is also possible to apply binary vapor deposition or multistage vapor deposition to form a protective film on the magnetic recording layer 13.

実施例1 基体4には厚さ9μmの市販のポリエチレンテレフタレ
ートを用い、基体4には厚さ9μmの市販のポリエチレ
ンテレフタレートフィルムを用い、磁気記録層として、
Co8O−Ni20合金を蒸発源6として用いて、防着
板8を調整することにより入射角55°〜90”の範囲
となるようにし、ガス導入口10から酸素ガスを導入し
ながら連続斜め蒸着し、膜厚15(11)人のCo−N
i−0からなる磁気記録層を形成した。
Example 1 A commercially available polyethylene terephthalate film with a thickness of 9 μm was used as the substrate 4, and a commercially available polyethylene terephthalate film with a thickness of 9 μm was used as the magnetic recording layer.
Using a Co8O-Ni20 alloy as the evaporation source 6 and adjusting the deposition prevention plate 8 so that the incident angle is in the range of 55° to 90'', continuous oblique evaporation is performed while introducing oxygen gas from the gas inlet 10. , Co-N with a film thickness of 15 (11) people
A magnetic recording layer consisting of i-0 was formed.

次いで、磁気記録層上に、Niを蒸発源6として、入射
角55°〜40°の範囲で酸素ガスを導入しながら連続
斜め蒸着し、第1図に示すような基体4上にCo−Ni
−〇よりなる厚さ15(11)人の磁気記録層11を形
成し、さらにNi−0よりなる厚さ2(11)人の保護
膜12を形成した磁気記録媒体を形成した。
Next, Ni was continuously deposited obliquely onto the magnetic recording layer using an evaporation source 6 while introducing oxygen gas at an incident angle of 55° to 40°, and Co-Ni was deposited on the substrate 4 as shown in FIG.
A magnetic recording medium was formed by forming a magnetic recording layer 11 of -0 with a thickness of 15 (11) thick, and further forming a protective film 12 of Ni-0 with a thickness of 2 (11) thick.

実施例2 保r!i膜用の蒸発源にN1−20Feを用いた他は、
実施例1と同様にしてNi−Fe−0からなる厚さ2(
11)人の保護膜を形成し、磁気記録媒体を得た。
Example 2 Protect! In addition to using N1-20Fe as the evaporation source for the i-film,
In the same manner as in Example 1, a thickness of 2 (2) made of Ni-Fe-0 was
11) A protective film was formed to obtain a magnetic recording medium.

比較例1 実施例1において、保護膜形成時の入射角度を55°〜
90°とした他は実施例1と同様にして第3図に示すよ
うな磁気記録媒体を形成した。
Comparative Example 1 In Example 1, the incident angle at the time of forming the protective film was set to 55°~
A magnetic recording medium as shown in FIG. 3 was formed in the same manner as in Example 1 except that the angle was 90°.

比較例2 実施例1において、保護膜形成時の酸素ガス導入を省い
た他は実施例1と同様にして磁気記録媒体を形成した。
Comparative Example 2 A magnetic recording medium was formed in the same manner as in Example 1 except that the introduction of oxygen gas during the formation of the protective film was omitted.

実施例1.2および比較例1.2によって得られた磁気
記録媒体は、■、SSMにて磁気特性を評価し、市販の
VTRを利用して試作した記録再生装置を用い、0.7
5MH2の信号を記録再生し保護膜なしの比較磁気テー
プの再生出力をOdBとしたときの再生出力を示す電磁
変換特性と、VH3方式のVTRを用いて磁気テープの
スチル試験を行い、そのスチル時間による耐久性を評価
した。耐食性は60℃、90%RHの高温多湿雰囲気お
よびII)I)mの30wガス(35℃、75%RH)
雰囲気内において、それぞれ7日間、24時間静置し、
静置前後の飽和磁化量の減少量で表すと共に肉眼で観察
した。
The magnetic recording media obtained in Example 1.2 and Comparative Example 1.2 were evaluated for magnetic properties using SSM, and were tested using a recording and reproducing device prototyped using a commercially available VTR.
The electromagnetic conversion characteristics show the playback output when a 5MH2 signal is recorded and played back and the playback output of a comparative magnetic tape without a protective film is set to OdB, and the still time of the magnetic tape was measured using a VH3 VTR. The durability was evaluated by Corrosion resistance is 60℃, 90%RH high temperature and humid atmosphere and II)I)m 30w gas (35℃, 75%RH)
In the atmosphere, each was left undisturbed for 24 hours for 7 days,
It was expressed as the amount of decrease in saturation magnetization before and after standing still, and was also observed with the naked eye.

第1表から明らかなように磁気記録層上保護膜をそれぞ
れ傾斜した柱状粒子の集合体とし、これらの集合体を連
続ささせると共に保81Mの主成分をNiとした実施例
では、いずれも電磁変換特性、耐久性、耐食性の全てに
おいて、優れた効果を有することを示している。
As is clear from Table 1, in the examples in which the protective film on the magnetic recording layer is made of aggregates of inclined columnar particles, these aggregates are made continuous, and Ni is the main component of 81M, both electromagnetic This shows that it has excellent effects in all aspects of conversion characteristics, durability, and corrosion resistance.

〔発明の効果] 以上のように本発明によれば、耐食性に優れ、かつ電磁
変換特性および耐久性に優れた磁気記録媒体を提供する
ことができる。
[Effects of the Invention] As described above, according to the present invention, it is possible to provide a magnetic recording medium that has excellent corrosion resistance, electromagnetic conversion characteristics, and durability.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明の実施例に係る磁気記録媒体を製造する
ための真空蒸着装置を概略的構成図、第2図は本発明の
一実施例を示す断面図、第3図は比較例としての磁気記
録媒体を示す断面図である。 2・・・・・・真空槽、4・・・・・・基体、6・・・
・・・蒸発源、7・・・・・・蒸気流、8・・・・・・
防着板、10・・・・・・ガス導入口、11・・・・・
・磁気記録層、12・・・・・・保護膜。 第1図 第2図    第3図
Fig. 1 is a schematic configuration diagram of a vacuum evaporation apparatus for manufacturing a magnetic recording medium according to an embodiment of the present invention, Fig. 2 is a sectional view showing an embodiment of the present invention, and Fig. 3 is a comparative example. 1 is a cross-sectional view showing a magnetic recording medium of FIG. 2... Vacuum chamber, 4... Substrate, 6...
... Evaporation source, 7... Vapor flow, 8...
Anti-adhesion plate, 10...Gas inlet, 11...
-Magnetic recording layer, 12...protective film. Figure 1 Figure 2 Figure 3

Claims (12)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)非磁性基体上に、傾斜した柱状粒子の集合体から
なる磁気記録層を形成し、この磁気記録層上に保護膜を
形成したものにおいて、前記保護膜がNi又はNiを主
成分とする合金からなると共にその一部が少なくとも酸
化物を形成した柱状粒子の集合体からなり、この柱状粒
子が前記磁気記録層の柱状粒子と連続していることを特
徴とする磁気記録媒体。
(1) A magnetic recording layer consisting of an aggregate of tilted columnar grains is formed on a nonmagnetic substrate, and a protective film is formed on this magnetic recording layer, where the protective film contains Ni or Ni as a main component. What is claimed is: 1. A magnetic recording medium comprising an aggregate of columnar grains, at least a part of which forms an oxide, and the columnar grains are continuous with the columnar grains of the magnetic recording layer.
(2)特許請求の範囲第(1)項記載において、前記磁
気記録層がコバルト単独またはコバルトを主成分とする
合金からなることを特徴とする磁気記録媒体。
(2) A magnetic recording medium according to claim (1), wherein the magnetic recording layer is made of cobalt alone or an alloy containing cobalt as a main component.
(3)特許請求の範囲第(2)項記載において、前記コ
バルトを主成分とする合金がCo−Ni、Co−Cr、
Co−Ni−Cr、Co−P、Co−TiおよびCo−
Mn、Co−Feの群から選ばれる1種の合金であるこ
とを特徴とする磁気記録媒体。
(3) In claim (2), the alloy containing cobalt as a main component is Co-Ni, Co-Cr, Co-Ni, Co-Cr,
Co-Ni-Cr, Co-P, Co-Ti and Co-
A magnetic recording medium characterized in that it is an alloy selected from the group of Mn and Co-Fe.
(4)特許請求の範囲第(1)項記載において、Niを
主成分とする合金がNi−Fe、Ni−Cr、Ni−A
l、Ni−CoおよびNi−Mnの群から選ばれる1種
の合金であることを特徴とする磁気記録媒体。
(4) In claim (1), the alloy containing Ni as a main component is Ni-Fe, Ni-Cr, Ni-A
1. A magnetic recording medium comprising one type of alloy selected from the group consisting of 1, Ni-Co, and Ni-Mn.
(5)非磁性基体上に、傾斜した柱状粒子の集合体から
なる磁気記録層を形成し、この磁気記録層上に保護膜を
形成したものにおいて、前記保護膜がNi又はNiを主
成分とする合金からなると共にその一部が少なくとも酸
化物を形成した柱状粒子の集合体からなり、この柱状粒
子が前記磁気記録層の柱状粒子と連続していると共に前
記保護膜の上に潤滑層を設けたことを特徴とする磁気記
録媒体。
(5) A magnetic recording layer made of an aggregate of tilted columnar grains is formed on a nonmagnetic substrate, and a protective film is formed on this magnetic recording layer, where the protective film contains Ni or Ni as a main component. The magnetic recording layer is composed of an aggregate of columnar particles, at least a part of which forms an oxide, and the columnar particles are continuous with the columnar particles of the magnetic recording layer, and a lubricant layer is provided on the protective film. A magnetic recording medium characterized by:
(6)特許請求の範囲第(5)項記載において、前記磁
気記録層がコバルト単独またはコバルトを主成分とする
合金からなることを特徴とす磁気記録媒体。
(6) A magnetic recording medium according to claim (5), wherein the magnetic recording layer is made of cobalt alone or an alloy containing cobalt as a main component.
(7)特許請求の範囲第(5)項記載において、前記コ
バルトを主成分とする合金がCo−Ni、Co−Cr、
Co−Ni−Cr、Co−P、Co−TiおよびCo−
Mn、Co−Feの群から選ばれる1種の合金であるこ
とを特徴とする磁気記録媒体。
(7) In claim (5), the alloy containing cobalt as a main component is Co-Ni, Co-Cr, Co-Ni, Co-Cr,
Co-Ni-Cr, Co-P, Co-Ti and Co-
A magnetic recording medium characterized in that it is an alloy selected from the group of Mn and Co-Fe.
(8)特許請求の範囲第(5)項記載において、Niを
主成分とする合金がNi−Fe、Ni−Cr、Ni−A
l、Ni−CoおよびNi−Mnの群から選ばれる1種
の合金であることを特徴とする磁気記録媒体。
(8) In claim (5), the alloy containing Ni as a main component is Ni-Fe, Ni-Cr, Ni-A
1. A magnetic recording medium comprising one type of alloy selected from the group consisting of 1, Ni-Co, and Ni-Mn.
(9)特許請求の範囲第(5)項記載において、前記潤
滑層が脂肪族系潤滑剤で構成されていることを特徴とす
る磁気記録媒体。
(9) A magnetic recording medium according to claim (5), wherein the lubricant layer is made of an aliphatic lubricant.
(10)特許請求の範囲第(5)項記載において、前記
潤滑層がフッ素系潤滑剤で構成されていることを特徴と
する磁気記録媒体
(10) A magnetic recording medium according to claim (5), wherein the lubricant layer is made of a fluorine-based lubricant.
(11)特許請求の範囲第(5)項記載において、前記
潤滑層がシリコーン系潤滑剤で構成されていることを特
徴とする磁気記録媒体。
(11) A magnetic recording medium according to claim (5), wherein the lubricant layer is made of a silicone lubricant.
(12)特許請求の範囲第(5)項記載において、前記
潤滑層が炭化水素系潤滑剤で構成されていることを特徴
とする磁気記録媒体。
(12) A magnetic recording medium according to claim (5), wherein the lubricant layer is made of a hydrocarbon lubricant.
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