JPS6329947A - 回転テ−ブル - Google Patents
回転テ−ブルInfo
- Publication number
- JPS6329947A JPS6329947A JP61173157A JP17315786A JPS6329947A JP S6329947 A JPS6329947 A JP S6329947A JP 61173157 A JP61173157 A JP 61173157A JP 17315786 A JP17315786 A JP 17315786A JP S6329947 A JPS6329947 A JP S6329947A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resist
- wafer
- central shaft
- rotating table
- synthetic resin
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、レジスト塗布装置又はレジスト現像装置の回
転テーブルの構造に関する。
転テーブルの構造に関する。
従来のレジスト塗布装置又はレジスト現像装置の回転テ
ーブル１２は、中・０部に第３図に示すような形状の突
起１２ａが、アルシミニウム途の金属で一体に形成され
ていたつ中心部に穴部１３ａを有するウェハ１３にレジ
スト塗布又はレジストの現像を行う場合は第４図に示す
ようにウェハ１３の中心部の穴部ｉ３ａを前記回転テー
プ／ｌ／１２の突起１２ａに通すことによりウェハ１３
のセンタリング及び固定を行い、かつ、第４図に示した
０リング４を介して図示されていない真空チャックによ
りウェハ１３を回転テーブル１２に固定していた。
ーブル１２は、中・０部に第３図に示すような形状の突
起１２ａが、アルシミニウム途の金属で一体に形成され
ていたつ中心部に穴部１３ａを有するウェハ１３にレジ
スト塗布又はレジストの現像を行う場合は第４図に示す
ようにウェハ１３の中心部の穴部ｉ３ａを前記回転テー
プ／ｌ／１２の突起１２ａに通すことによりウェハ１３
のセンタリング及び固定を行い、かつ、第４図に示した
０リング４を介して図示されていない真空チャックによ
りウェハ１３を回転テーブル１２に固定していた。
しかし、前述の従来技術ではウェハ１５の中心部の穴部
１３ａと、回転テーブル１２の突起１２ａの間には、わ
ずかな間隙が生じ、この間隙に、レジストやレジスト現
像液、リンス液等が毛細管現象により浸入し、レジスト
塗布後や現像後の高速回転による乾燥時に、徐々に前記
間隙中のレジストや現像液等がウェハ表面上に流出し、
−旦、清浄した該表面を汚染し、ウェハ１３が流動する
プロセスでの歩留が低下するという問題点を有していた
。そこで本発明はこのような問題点を解決するもので、
その目的とするところはウェハが流動するプロセスでの
歩留を向上させるところにあるＯ 〔問題点を解決するための手段〕 本発明の回転テーブルは、中心部に穴部を有するウェハ
のセンタリング及び固定を行うだめの中心軸を有してな
るレジスト塗布装置又はレジスト現像装置の回転テーブ
ルにおいて、少なくとも該中心軸が合成樹脂で形成され
ていることを特徴とする。
１３ａと、回転テーブル１２の突起１２ａの間には、わ
ずかな間隙が生じ、この間隙に、レジストやレジスト現
像液、リンス液等が毛細管現象により浸入し、レジスト
塗布後や現像後の高速回転による乾燥時に、徐々に前記
間隙中のレジストや現像液等がウェハ表面上に流出し、
−旦、清浄した該表面を汚染し、ウェハ１３が流動する
プロセスでの歩留が低下するという問題点を有していた
。そこで本発明はこのような問題点を解決するもので、
その目的とするところはウェハが流動するプロセスでの
歩留を向上させるところにあるＯ 〔問題点を解決するための手段〕 本発明の回転テーブルは、中心部に穴部を有するウェハ
のセンタリング及び固定を行うだめの中心軸を有してな
るレジスト塗布装置又はレジスト現像装置の回転テーブ
ルにおいて、少なくとも該中心軸が合成樹脂で形成され
ていることを特徴とする。
第１図は本発明の実施例における回転テープ〜の断面図
でおる。中心軸１は円筒形をしており、フッ素系樹脂で
出来ており、アルミニウムで出来ている回転テープ／Ｖ
２に固着されている。本実施例で使用したウェハ５は
中心部に穴部３ａを有する直径２０ｃｒｒＬ１厚さ６Ｗ
ＩＥのガラス製のウェハである。前記がクス製ウェハ６
の中心部の穴部３ａを中心軸１に通して、第２図に示す
ように同心円状に置かれたＯリング４を介して図示され
ていない真空チャックによりガラスウェハ３を強固に回
転テープ／Ｌ／２に固定させる。第２図の状態において
レジスト塗布又はレジスト現像の工程を行う場合中心軸
１はフッ素系樹脂で形成されているので撥水性を有し、
レジストや、レジスト現像液等の液体をはじき、中心軸
１とウェハ５の中心部の穴部３ａとの間隙に前記の液体
が侵入するのを妨げるため、以降の高速回転時に、−旦
、清浄に乾燥したウェハ表面を汚染することがない。又
、中心軸としてフッ素系圏脂以外の合成樹脂を用いる場
合や、回転テーブル全体を合成樹脂で作製する場合でも
同様の効果が得られる。
でおる。中心軸１は円筒形をしており、フッ素系樹脂で
出来ており、アルミニウムで出来ている回転テープ／Ｖ
２に固着されている。本実施例で使用したウェハ５は
中心部に穴部３ａを有する直径２０ｃｒｒＬ１厚さ６Ｗ
ＩＥのガラス製のウェハである。前記がクス製ウェハ６
の中心部の穴部３ａを中心軸１に通して、第２図に示す
ように同心円状に置かれたＯリング４を介して図示され
ていない真空チャックによりガラスウェハ３を強固に回
転テープ／Ｌ／２に固定させる。第２図の状態において
レジスト塗布又はレジスト現像の工程を行う場合中心軸
１はフッ素系樹脂で形成されているので撥水性を有し、
レジストや、レジスト現像液等の液体をはじき、中心軸
１とウェハ５の中心部の穴部３ａとの間隙に前記の液体
が侵入するのを妨げるため、以降の高速回転時に、−旦
、清浄に乾燥したウェハ表面を汚染することがない。又
、中心軸としてフッ素系圏脂以外の合成樹脂を用いる場
合や、回転テーブル全体を合成樹脂で作製する場合でも
同様の効果が得られる。
以上述べたように本発明によれば、中心部に穴部を有す
るウェハのセンタリング及び固定を行うだめの中心軸を
有してなるレジスト塗布装置又はレジスト現像装置の回
転テーブルの中心軸を合成樹脂で形成することによって
レジスト塗布又はレジスト現像時に、ウェハ表面が汚染
されないのでウェハ流動プロセスでの歩留が高くなると
いう効果を有する。
るウェハのセンタリング及び固定を行うだめの中心軸を
有してなるレジスト塗布装置又はレジスト現像装置の回
転テーブルの中心軸を合成樹脂で形成することによって
レジスト塗布又はレジスト現像時に、ウェハ表面が汚染
されないのでウェハ流動プロセスでの歩留が高くなると
いう効果を有する。
第１図は本発明における回転テーブルの断面図、第２図
は本発明におけるウェハを装着した状態の回転テープｐ
の断面図、第５図は従来の回転チー２ｇ１２・・・・・
・回転テーブル ６．１３・・・・・・ウニ／Ｘ ４・・・・・・０リング 以 上
は本発明におけるウェハを装着した状態の回転テープｐ
の断面図、第５図は従来の回転チー２ｇ１２・・・・・
・回転テーブル ６．１３・・・・・・ウニ／Ｘ ４・・・・・・０リング 以 上
Claims (1)
- 中心部に穴部を有するウェハのセンタリング及び固定
を行うための中心軸を有してなるレジスト塗布装置又は
レジスト現像装置の回転テーブルにおいて、少なくとも
該中心軸が合成樹脂で形成されていることを特徴とする
回転テーブル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61173157A JPS6329947A (ja) | 1986-07-23 | 1986-07-23 | 回転テ−ブル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61173157A JPS6329947A (ja) | 1986-07-23 | 1986-07-23 | 回転テ−ブル |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6329947A true JPS6329947A (ja) | 1988-02-08 |
Family
ID=15955157
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61173157A Pending JPS6329947A (ja) | 1986-07-23 | 1986-07-23 | 回転テ−ブル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6329947A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5040994A (en) * | 1988-12-23 | 1991-08-20 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Connector structure for hybrid integrated circuit |
| US5134546A (en) * | 1988-12-23 | 1992-07-28 | Mazda Motor Corporation | Vehicle control unit structure |
| US5283712A (en) * | 1988-10-27 | 1994-02-01 | Mazda Motor Corporation | Integrated circuit for vehicle |
-
1986
- 1986-07-23 JP JP61173157A patent/JPS6329947A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5283712A (en) * | 1988-10-27 | 1994-02-01 | Mazda Motor Corporation | Integrated circuit for vehicle |
| US5040994A (en) * | 1988-12-23 | 1991-08-20 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Connector structure for hybrid integrated circuit |
| US5134546A (en) * | 1988-12-23 | 1992-07-28 | Mazda Motor Corporation | Vehicle control unit structure |
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