JPS63277958A - Automatic outward appearance inspection device - Google Patents
Automatic outward appearance inspection deviceInfo
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- JPS63277958A JPS63277958A JP62111665A JP11166587A JPS63277958A JP S63277958 A JPS63277958 A JP S63277958A JP 62111665 A JP62111665 A JP 62111665A JP 11166587 A JP11166587 A JP 11166587A JP S63277958 A JPS63277958 A JP S63277958A
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、印刷配線板の自動外観検査装置に係り、特に
、前記検査装置による自動検査終了後に実施される作業
者の目視による欠陥確認作業における確認欠陥筒数を必
要最小限に制限し、欠陥確認作業の効率低下を抑止する
ことを可能とした自動外観検査装置に関する。Detailed Description of the Invention [Industrial Application Field] The present invention relates to an automatic appearance inspection device for printed wiring boards, and in particular, to visual defect confirmation work performed by an operator after the automatic inspection by the inspection device is completed. The present invention relates to an automatic visual inspection device that makes it possible to limit the number of defective cylinders to be checked to the minimum necessary and prevent a decrease in the efficiency of defect checking work.
印刷配線板のパターン配線を光学的手段を用いて検査を
行い、パターンの欠陥を検出する自動外観検査装置に関
する従来技術として、例えば、電子通信学会論文誌’8
415 Vow J67−CNo、5(第435頁
〜第442頁)「プリント基板パターンの外観検査自動
化」に記載された技術が知られている。この種従来技術
は、欠陥検出を行うための多数の特徴抽出オペレータを
使用して配線パターンの良否を判定するものであり、こ
の欠陥検出方法の概要を図面により説明する。As a conventional technique related to an automatic appearance inspection device that inspects pattern wiring of a printed wiring board using optical means and detects defects in the pattern, for example, the Journal of the Institute of Electronics and Communication Engineers '8
415 Vow J67-CNo. 5 (pages 435 to 442) "Automated visual inspection of printed circuit board patterns" is known. This type of conventional technology uses a large number of feature extraction operators for defect detection to determine the quality of a wiring pattern, and an outline of this defect detection method will be explained with reference to the drawings.
第4図は従来技術による配線パターンの欠陥検出方法の
概要を説明する図であり、第4図において、41は被検
査パターン、42は標準パターン、43は検査装置、4
4は検出欠陥パターンである。FIG. 4 is a diagram illustrating an overview of a method for detecting defects in wiring patterns according to the prior art. In FIG. 4, 41 is a pattern to be inspected, 42 is a standard pattern, 43 is an inspection device, 4
4 is a detected defect pattern.
第4図において、検査装置43は、まず、被検査パター
ン41と標準パターン42におけるX。In FIG. 4, the inspection device 43 first detects an X in the pattern to be inspected 41 and the standard pattern 42.
Y方向のパターンの境界線のパターンを抽出する。Extract the pattern of the boundary line of the pattern in the Y direction.
検査装置43は、夫々のパターン41.42から抽出さ
れたパターンの境界線データを対応する部分毎に比較し
、不一致となった部分を検出し、その検出結果を検出欠
陥パターン44として出力する。図示例の場合、欠陥パ
ターン44として、パターンb及びCが欠陥として示さ
れているが、検査パターン41及び標準パターン42か
ら理解できるように、欠陥として示されたパターンb及
びCは、検査パターン41における配線パターンの欠落
部aの両側の境界線パターンが現われたものである。The inspection device 43 compares the pattern boundary line data extracted from the respective patterns 41 and 42 for each corresponding portion, detects a portion where there is a mismatch, and outputs the detection result as a detected defect pattern 44. In the case of the illustrated example, patterns b and C are shown as defects as the defect pattern 44, but as can be understood from the inspection pattern 41 and the standard pattern 42, the patterns b and C shown as defects are The boundary line patterns on both sides of the missing portion a of the wiring pattern in FIG.
このように、従来技術による検査装置は、境界線パター
ンにより、配線パターンの欠陥を検出するため、特徴抽
出オペレータによる境界線の不一致抽出の際、X、Y、
45”、−45@の4方向で、また、微小パターンの不
一致抽出の際にも、X、Y、45”、−45@の4方向
で夫々、単独に微妙に異なる特徴を1つの欠陥として抽
出し、1つの欠陥に対し複数の欠陥を抽出してその座標
を出力するものである。In this way, the inspection apparatus according to the prior art detects defects in the wiring pattern using the boundary line pattern, so when the feature extraction operator extracts the boundary line mismatch,
In the four directions of 45" and -45@, and when extracting discrepancies in minute patterns, features that are slightly different independently in the four directions of X, Y, 45" and -45@ are treated as one defect. This method extracts multiple defects for one defect and outputs their coordinates.
前記従来技術は、1つの欠陥に対して、複数個の欠陥を
抽出し、その座標を出力するため、検査結果を得てから
、欠陥確認を行う際、1つの欠陥に対する確認を何度も
行わなければならず、そのための作業量が大きいという
問題点があった。The above-mentioned conventional technology extracts multiple defects for one defect and outputs their coordinates, so when performing defect confirmation after obtaining the inspection result, one defect is checked many times. There was a problem in that the amount of work required for this was large.
本発明の目的は、前記従来技術の問題点を解決し、1つ
の欠陥に対して1つの欠陥座標を出力するようにして、
確認作業の効率化を計ることが可能なパターン配線の自
動外観検査装置を提供することにある。An object of the present invention is to solve the problems of the prior art and output one defect coordinate for one defect,
An object of the present invention is to provide an automatic appearance inspection device for pattern wiring that can improve the efficiency of confirmation work.
本発明によれば、前記目的は、特徴抽出オペレータによ
り欠陥であると判定された複数個の欠陥座標データの座
標相互間距離を演算し、演算された座標相互間距離が、
予め定めた指定相互間距離以内の場合、その2つの欠陥
座標が、1つの欠陥パターンに起因するものとして、一
方の欠陥座標のみを1つの欠陥パターンに対応させ、そ
の座標を代表欠陥座標として出力させることにより達成
される。According to the present invention, the purpose is to calculate the distance between the coordinates of a plurality of pieces of defect coordinate data determined to be defects by the feature extraction operator, and the calculated distance between the coordinates is
If the two defect coordinates are within a predetermined distance, the two defect coordinates are considered to be caused by one defect pattern, and only one defect coordinate is made to correspond to one defect pattern, and that coordinate is output as the representative defect coordinate. This is achieved by
欠陥判定回路により欠陥と判定された箇所の座標は、一
旦全てメモリに記憶され、検査終了後、メモリ内に記憶
された座標は、その相互間距離が演算される。演算の結
果、一定の間隔以上離れている座標は、夫々側の欠陥を
示す座標であるとして再びメモリに記憶される。また、
一定の間隔未満の座標は、互いに間隔の小さな座標のグ
ループ毎に、一定のルールに従って代表座標を演算し、
この代表座標を1つの欠陥を示す座標としてメモリに記
憶し直す。このような手順により、1つの欠陥に対して
、この欠陥を示す1つの座標がメモリに記憶できること
になり、引続く欠陥確認工程での確認所要回数を必要最
小限とすることができる。All coordinates of locations determined to be defective by the defect determination circuit are temporarily stored in a memory, and after the inspection is completed, distances between the coordinates stored in the memory are calculated. As a result of the calculation, coordinates that are separated by a certain distance or more are stored in the memory again as coordinates indicating a defect on each side. Also,
For coordinates that are less than a certain interval, representative coordinates are calculated for each group of coordinates with a small interval according to a certain rule,
These representative coordinates are stored again in the memory as coordinates indicating one defect. With such a procedure, for one defect, one coordinate indicating the defect can be stored in the memory, and the number of times required for confirmation in the subsequent defect confirmation step can be minimized.
以下、本発明による自動外観検査装置の一実施例を図面
により詳細に説明する。EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, one embodiment of the automatic visual inspection apparatus according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
第1図は本発明の一実施例を示すブロック図、第2図は
欠陥座標を記憶するメモリと演算回路との機能を説明す
る図、第3図は演算回路の構成を示すブロック図である
。第1図〜第3図において、1は印刷回路板、2は1次
元センサ、3は架台、4はX軸モータ、5はY軸モータ
、6は2値化回路、7は画像メモリ、8は欠陥判定回路
、9は欠陥座標メモリA、10は演算回路、11は欠陥
座標メモリB112は欠陥座標出力回路、13はX。FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a diagram explaining the functions of a memory for storing defect coordinates and an arithmetic circuit, and FIG. 3 is a block diagram showing the configuration of the arithmetic circuit. . In Figures 1 to 3, 1 is a printed circuit board, 2 is a one-dimensional sensor, 3 is a stand, 4 is an X-axis motor, 5 is a Y-axis motor, 6 is a binarization circuit, 7 is an image memory, 8 1 is a defect determination circuit, 9 is a defect coordinate memory A, 10 is an arithmetic circuit, 11 is a defect coordinate memory B112 is a defect coordinate output circuit, and 13 is an X.
Y軸モータ制御回路、14.15.22.24はバッフ
ァメモリ、16.17.18.19は分離回路、20.
21は演算器、23は判定回路、25は座標決定回路で
ある。Y-axis motor control circuit, 14.15.22.24 is a buffer memory, 16.17.18.19 is a separation circuit, 20.
21 is an arithmetic unit, 23 is a determination circuit, and 25 is a coordinate determination circuit.
本発明による自動外観検査装置の一実施例は、第1図に
示すように、検査すべき印刷回路板1を保持し、X軸及
びY軸モータ4,5により駆動される架台3と、X軸及
びY軸モータ4.5を駆動制御するX、Y軸モータ制御
回路13と、印刷回路板1上の印刷パターンを読取る一
次元センサ2と、該−次元センサ2からのパターン読取
データを処理してパターンの欠陥座標を出力する処理部
とにより構成されている。また、処理部は、−次元セン
サ2からのパターン読取信号の2値化回路6、該2値化
回路6からのデータを保持する画像メモリ7、該画像メ
モリ7内のパターン読取データと標準パターンデータと
を比較して欠陥パターンを判定する欠陥判定回路8と、
該欠陥判定回路8からの座標データを一旦蓄積する欠陥
座標メモ+7 A 9と、該メモリム9内の座標データ
を演算処理して、1つのパターン欠陥に対して1つの代
表座標を決定する演算回路10と、該演算回路10から
の代表欠陥座標を保持する欠陥座標メモリB11と、外
部へ欠陥座標を出力する欠陥座標出力回路12とにより
構成されている。As shown in FIG. 1, an embodiment of the automatic visual inspection apparatus according to the present invention includes a pedestal 3 that holds a printed circuit board 1 to be inspected and is driven by X-axis and Y-axis motors 4 and 5; An X- and Y-axis motor control circuit 13 that drives and controls the axis and Y-axis motors 4.5, a one-dimensional sensor 2 that reads the printed pattern on the printed circuit board 1, and processes the pattern reading data from the -dimensional sensor 2. and a processing section that outputs the defect coordinates of the pattern. The processing unit also includes a binarization circuit 6 for the pattern read signal from the -dimensional sensor 2, an image memory 7 that holds data from the binarization circuit 6, and a combination of the pattern read data in the image memory 7 and the standard pattern. a defect determination circuit 8 that determines a defect pattern by comparing the data with the data;
A defect coordinate memo+7 A 9 that temporarily stores the coordinate data from the defect determination circuit 8, and a calculation circuit that processes the coordinate data in the memory memory 9 and determines one representative coordinate for one pattern defect. 10, a defect coordinate memory B11 that holds the representative defect coordinates from the arithmetic circuit 10, and a defect coordinate output circuit 12 that outputs the defect coordinates to the outside.
このような構成において、印刷回路板1が図示しない光
源により照明され、架台3がX、Y軸モータ制御回路1
3により駆動制御され、検査開始が指示されると、−次
元センサ2は、図示しない光学系を介して印刷回路板1
上の印刷パターンを読取る。読取られたパターンの画像
信号は、2値化回路6により2値化されて画像メモリ7
に2次元画像データとして格納される。画像メモリ7は
、シフトレジスタにより構成されており、X軸モータ4
により架台3が駆動されて、−次元センサ2が、印刷回
路板l上を走査して得た画像信号を2値化した画像デー
タを順次格納し、古い画像データを順次シフトアウトす
るようになっている。欠陥判定回路8は、画像メモリ7
より送られる配線パターンの画像データを標準配線パタ
ーンの画像データと比較すること等の公知の技術により
、画像メモリ7内の配線パターンの欠陥判定を行い、そ
の欠陥部の座標データを欠陥座標メモリA9に順次記憶
する。演算回路lOは、欠陥座標メモリA9に格納され
た欠陥座標を読出し、全座標の相互間距離の演算を行い
、相互間距離が一定値以内にある座標については、配線
パターンの1つの欠陥に起因した欠陥座標群であるとし
て、その1つの座標を配線パターンの1つの欠陥に対す
る代表座標として、また相互間距離が一定値以上あれば
、両欠陥座標とも異なる配線パターンの欠陥に対する欠
陥座標であるとして、それぞれ、欠陥座標メモリBll
に格納する。この欠陥座標は、欠陥座標出力回路12を
介して、検査結果として出力される。In such a configuration, the printed circuit board 1 is illuminated by a light source (not shown), and the pedestal 3 is connected to the X and Y axis motor control circuit 1.
3, and when the start of inspection is instructed, the -dimensional sensor 2 detects the printed circuit board 1 through an optical system (not shown).
Read the printed pattern above. The image signal of the read pattern is binarized by the binarization circuit 6 and stored in the image memory 7.
is stored as two-dimensional image data. The image memory 7 is composed of a shift register, and the X-axis motor 4
The frame 3 is driven, and the -dimensional sensor 2 sequentially stores image data obtained by scanning the printed circuit board l and binarizing the image signal, and sequentially shifts out old image data. ing. The defect determination circuit 8 includes an image memory 7
Defects in the wiring pattern in the image memory 7 are determined by a known technique such as comparing the image data of the wiring pattern sent from the image memory A9 with the image data of the standard wiring pattern, and the coordinate data of the defective part is stored in the defect coordinate memory A9. are stored sequentially. The arithmetic circuit 1O reads the defect coordinates stored in the defect coordinate memory A9, calculates the distance between all the coordinates, and determines that the coordinates whose mutual distance is within a certain value are caused by one defect in the wiring pattern. Assuming that the defect coordinates are a group of defect coordinates, one coordinate is considered to be a representative coordinate for one defect in a wiring pattern, and if the distance between them is a certain value or more, both defect coordinates are defect coordinates for a defect in a different wiring pattern. , respectively, defect coordinate memory Bll
Store in. These defect coordinates are output as inspection results via the defect coordinate output circuit 12.
次に、欠陥座標メモリA、89.11に格納される欠陥
座標の一例と演算回路10の機能を第2図にjり説明す
る。Next, an example of the defect coordinates stored in the defect coordinate memory A, 89.11 and the function of the arithmetic circuit 10 will be explained with reference to FIG.
欠陥座標メモリA9には、欠陥判定回路8により検出さ
れたパターン欠陥部に対応する欠陥座標が順次若い番地
“00”から格納される。演算回路10は、若い番地か
ら順に2つの欠陥座標を読出して、その相互間距離を演
算する。すなわち、演算回路10は、番地“00”の欠
陥座標(X、、Y。) = (010m、 050鶴)
と番地“01″の欠陥座標(X+、Y+ ) = (0
50am、 020鶴)を読出し、その相互間距離(X
s −x+)” + (yo −y+)”を演算する。In the defect coordinate memory A9, defect coordinates corresponding to the pattern defect portion detected by the defect determination circuit 8 are stored in order from the address “00” with the smallest address. The calculation circuit 10 reads out two defect coordinates in order from the smallest address and calculates the distance between them. That is, the arithmetic circuit 10 calculates the defect coordinates (X, Y.) of address "00" = (010m, 050 Tsuru)
and defect coordinates of address “01” (X+, Y+) = (0
50 am, 020 Tsuru) and find the distance between them (X
s −x+)” + (yo −y+)”.
この場合、その相互間距離は5(Inとなる。演算回路
10内の判定回路23は、予め与えられている2つの欠
陥座標が同一のパターン欠陥に起因するものであるか否
かを決定するための予め定めた指定相互間距離と、前述
の欠陥座標メモリA9からの2つの欠陥座標の相互間距
離を比較することにより、この2つの欠陥座標が同一の
パターン欠陥に起因するものであるか否かの判定を行う
。例えば、予め与えられている指定相互間距離が40m
とされていれば、前述の番地“00”。In this case, the distance between them is 5 (In). The determination circuit 23 in the arithmetic circuit 10 determines whether two defect coordinates given in advance are caused by the same pattern defect. By comparing the predetermined distance between the two defect coordinates from the defect coordinate memory A9, it is possible to determine whether these two defect coordinates are caused by the same pattern defect. For example, if the specified mutual distance given in advance is 40 m.
If so, the address “00” mentioned above.
“01”に格納されていた欠陥座標は、夫々異なる配線
パターンの欠陥に起因するものと判定され、欠陥座標決
定回路25は、まず、番地“00”の欠陥座標を欠陥座
標メモリBllの番地“00”にそのまま記憶させる。The defect coordinates stored at "01" are determined to be caused by defects in different wiring patterns, and the defect coordinate determination circuit 25 first transfers the defect coordinates at address "00" to address "00" in the defect coordinate memory Bll. 00” and store it as is.
次に、演算回路10は、欠陥座標メモリム9内の番地“
Ol”、“02″の座標データに対して前述と同様な演
算と判定を行い、両欠陥座標が同一の配線パターン欠陥
に起因するものでないと判定したときに、番地101”
の欠陥座標を欠陥座標メモリBIOの番地“01”に格
納する。Next, the arithmetic circuit 10 calculates the address "
The same calculation and determination as described above are performed on the coordinate data of "Ol" and "02", and when it is determined that both defect coordinates are not caused by the same wiring pattern defect, the address 101" is determined.
The defect coordinates of are stored in the address "01" of the defect coordinate memory BIO.
また、例えば、指定相互間距離が60鶴に設定されてい
るとすると、欠陥座標メモリム9内の番地“00ゝ、“
01”の欠陥座標は、演算回路10内の判定回路23に
より、同一の配線パターン欠陥に起因するものと判定さ
れる。この場合、まず、番地“01”の座標を欠陥座標
決定回路25内に一時的に保持し、演算回路10は、番
地“00”と“02”の座標の相互間距離を演算し、こ
の相互間距離と指定相互間距離の比較判定を行う。この
結果、番地“00”と“02”の座標相互間距離が指定
相互間距離より大きく、この2つの欠陥が異なる配線パ
ターンの欠陥によるものであると判定回路23により判
定されると、番地“00”の座標が欠陥座標決定回路2
5に与えられ、該決定回路25は、若い番地“00”の
座標を、欠陥座標メモリBllの番地″00”に格納す
る。この場合、欠陥座標メモリA9の番地“00”及び
“01”の欠陥座標が同一の配線パターン欠陥に起因す
るものと判定され、この配線パターン欠陥に対応する代
表座標として、欠陥座標メモリA9の番地“00”の座
標が選択されて欠陥座標メモリ11の番地″00”に格
納されたことになる。For example, if the specified mutual distance is set to 60 cranes, the addresses "00も," in the defect coordinate memory 9
The defect coordinates of "01" are determined by the determination circuit 23 in the arithmetic circuit 10 to be caused by the same wiring pattern defect.In this case, first, the coordinates of address "01" are stored in the defect coordinate determination circuit 25. The arithmetic circuit 10 calculates the mutual distance between the coordinates of addresses "00" and "02" and compares and determines this mutual distance with the designated mutual distance.As a result, the address "00" and "02" are If the distance between the coordinates of `` and 02'' is larger than the designated distance and the determination circuit 23 determines that these two defects are due to defects in different wiring patterns, the coordinates of address ``00'' are determined to be defective. Coordinate determination circuit 2
5, and the determination circuit 25 stores the coordinates of the younger address "00" in the address "00" of the defective coordinate memory Bll. In this case, it is determined that the defect coordinates at addresses "00" and "01" in the defect coordinate memory A9 are caused by the same wiring pattern defect, and the defect coordinates at addresses "00" and "01" in the defect coordinate memory A9 are determined to be caused by the same wiring pattern defect. This means that the coordinate of "00" is selected and stored at address "00" of the defect coordinate memory 11.
一方、前述の欠陥座標メモリA9の番地“00”と“0
2”の欠陥座標判定で、両欠陥座標が同一の配線パター
ンの欠陥に起因するものと判定されると、この番地“0
2”の座標が欠陥座標決定回路25に一時的に保持され
る。演算回路10は、次に、欠陥座標メモリA9の番地
“00”と“03”の座標の相互間距離を演算し、両欠
陥座標が異なる配線パターン欠陥に起因する欠陥である
と判定したとき、この番地“00”の座標を欠陥座標メ
モIJ B 11の番地“OO”に格納する。この場合
、欠陥座標メモリA9の番地“00”、“01”及び“
02”の欠陥座標が同一の配線パターン欠陥に起因する
ものと判定され、この配線パターン欠陥に対応する代表
座標として、欠陥座標メモリA9の番地″00″の座標
が選択されて欠陥座標メモリBllの番地“00”に格
納されたことになる。演算回路10は、同様にして、欠
陥座標メモ+7 A 9内の全ての番地の座標の処理を
行い、1つの配線パターン欠陥に対応した1つの欠陥座
標を選択して欠陥座標メモリBllに記憶させる。On the other hand, addresses "00" and "0" of the defect coordinate memory A9 mentioned above
If it is determined that both defect coordinates are caused by a defect in the same wiring pattern in the defect coordinate determination of ``2'', this address ``0'' is determined.
The coordinates of ``2'' are temporarily held in the defect coordinate determination circuit 25. Next, the calculation circuit 10 calculates the mutual distance between the coordinates of addresses ``00'' and ``03'' in the defect coordinate memory A9, and When it is determined that the defect is caused by a wiring pattern defect with different defect coordinates, the coordinates of this address "00" are stored in the address "OO" of the defect coordinate memo IJ B 11. In this case, the coordinates of this address "00" are stored in the address "OO" of the defect coordinate memory A9. “00”, “01” and “
The defect coordinates of 02'' are determined to be caused by the same wiring pattern defect, and the coordinates of address ``00'' of defect coordinate memory A9 are selected as the representative coordinates corresponding to this wiring pattern defect, and the coordinates of address ``00'' of defect coordinate memory Bll are selected. The calculation circuit 10 similarly processes the coordinates of all addresses in the defect coordinate memo +7A9, and stores one defect corresponding to one wiring pattern defect. Coordinates are selected and stored in the defect coordinate memory Bll.
このような動作を行う演算回路10は、例えば、第3図
に示すように構成されている。すなわち、演算回路10
は、第3図に示すように、欠陥座標メモリム9内の2つ
の番地の欠陥座標を読出して格納するバッファメモリ1
4.15と、これらのバッファメモリ14.15と同一
の欠陥座標が格納されるバッファメモリ22.24と、
前記バッファメモリ14.15内の欠陥座標を夫々X座
標とY座標に分離する分離回路16〜19と、X座標間
及びY座標間の夫々の相互間距離を演算する演算器20
.21と、これらの演算器20.21の演算結果により
2つの座標の相互間距離を演算し、その相互間距離と予
め設定されている指定相互間距離を比較する判定回路2
3と、座標決定回路25とにより構成されている。The arithmetic circuit 10 that performs such operations is configured as shown in FIG. 3, for example. That is, the arithmetic circuit 10
As shown in FIG. 3, the buffer memory 1 reads and stores the defect coordinates at two addresses in the defect coordinate memory 9.
4.15, and a buffer memory 22.24 in which the same defect coordinates as these buffer memories 14.15 are stored,
Separation circuits 16 to 19 that separate the defect coordinates in the buffer memory 14 and 15 into X and Y coordinates, respectively, and a calculator 20 that calculates mutual distances between X and Y coordinates, respectively.
.. 21, and a determination circuit 2 that calculates the mutual distance between two coordinates based on the calculation results of these calculating units 20 and 21, and compares the mutual distance with a specified mutual distance set in advance.
3 and a coordinate determining circuit 25.
第3図に示す演算回路において、バッファメモリ14.
22には、欠陥座標メモリA9からの2つの座標のうち
、若番側の番地の座標が格納され、バッファメモリ15
.24には老番側の番地の座標が格納される。判定回路
23は、2つの欠陥座標の相互間距離が指定相互間距離
より小さく、2つの欠陥座標が、同一の配線パターン欠
陥に起因していると判定したとき、バッファメモリ24
にその座標を座標決定回路25に転送する命令を送出し
た後、両バッファメモリ22.24にクリア命令を送出
する。これにより、座標決定回路25はバッファメモリ
24からの座標を一時的に保持し、バッファメモリ22
.24はクリアされる。In the arithmetic circuit shown in FIG. 3, the buffer memory 14.
22 stores the coordinate of the smaller address among the two coordinates from the defect coordinate memory A9, and the buffer memory 15
.. 24 stores the coordinates of the address on the older number side. When the determination circuit 23 determines that the distance between the two defect coordinates is smaller than the designated distance and that the two defect coordinates are caused by the same wiring pattern defect, the determination circuit 23 stores the buffer memory 24
After sending a command to transfer the coordinates to the coordinate determining circuit 25, a clear command is sent to both buffer memories 22 and 24. As a result, the coordinate determination circuit 25 temporarily holds the coordinates from the buffer memory 24, and
.. 24 is cleared.
また、2つの欠陥座標の相互間距離が判定用相互間距離
より太き(,2つの欠陥座標が、異なる配線パターン欠
陥に起因していると判定された場合、判定回路23は、
バッファメモリ22.24の両方の座標を座標決定回路
25に送出するように、これらのバッファメモリ22.
24に指示する。In addition, if the distance between the two defect coordinates is larger than the distance for determination (, if it is determined that the two defect coordinates are caused by different wiring pattern defects, the determination circuit 23
These buffer memories 22 .
24.
座標決定回路25は、バッファメモリ22.24からの
座標のうち、欠陥座標メモリA9の若い番地にあった座
標を欠陥座標メモリB41に格納し、欠陥座標メモリム
9内のその番地の座標をクリアする命令を欠陥座標メモ
リA9に発する。Among the coordinates from the buffer memory 22.24, the coordinate determining circuit 25 stores the coordinates located at the smaller address in the defect coordinate memory A9 in the defect coordinate memory B41, and clears the coordinates at that address in the defect coordinate memory 9. A command is issued to the defect coordinate memory A9.
演算回路10は、欠陥座標メモリ9からの2つの座標に
対して、前述のような処理を順次行うことにより、すで
に第2図により説明したように、1つの配線パターン欠
陥に対応する1つの欠陥座標を検出して順次、欠陥座標
メモリBllに格納することができる。The arithmetic circuit 10 sequentially performs the above-described processing on the two coordinates from the defect coordinate memory 9, thereby identifying one defect corresponding to one wiring pattern defect, as already explained with reference to FIG. The coordinates can be detected and sequentially stored in the defect coordinate memory Bll.
前述の実施例は、欠陥判定回路により判定された欠陥座
標を一旦欠陥座標メモリAに格納した後、この欠陥座標
メモリA内の座標を一定のルールに従って処理し、1つ
の配線パターン欠陥に対応する1つの欠陥座標を検出し
て、その座標を欠陥座標メモリBに格納するものである
が、本発明は、欠陥判定回路より欠陥座標が出力される
都度、その座標をリアルタイムに処理して判定のための
演算を行ってもよ(、また、欠陥座標メモリA及び欠陥
座標メモリBを、同一のメモリを領域分けして用いても
よい。In the above-mentioned embodiment, the defect coordinates determined by the defect determination circuit are once stored in the defect coordinate memory A, and then the coordinates in the defect coordinate memory A are processed according to a certain rule to correspond to one wiring pattern defect. One defect coordinate is detected and stored in the defect coordinate memory B. However, in the present invention, each time the defect determination circuit outputs the defect coordinate, the coordinate is processed in real time and determined. (Also, the defect coordinate memory A and the defect coordinate memory B may be used by dividing the same memory into areas.
以上説明したように、本発明によれば、1つの配線パタ
ーン欠陥に対して、1つの欠陥座標のみにより欠陥の指
摘が行われるため、検査終了後の確認作業量を大幅に低
減させることができる。As explained above, according to the present invention, defects are pointed out using only one defect coordinate for one wiring pattern defect, so the amount of confirmation work after the inspection is completed can be significantly reduced. .
第1図は本発明の一実施例を示すブロック図、第2図は
欠陥座標を記憶するメモリと演算回路との機能を説明す
る図、第3図は演算回路の構成を示すブロック図、第4
図は従来技術による配線パターンの欠陥検出方法の概要
を説明する図である。
1−・・・・−印刷回路板、2・・−・−−一次元セン
サ、3−・・−・架台、4・−・−X軸モータ、5・−
・・・・・Y軸モータ、6−・−2値化回路、?−−−
−−−・・・画像メモリ、8・・・−・欠陥判定回路、
9・−・・−・−欠陥座標メモリA、10−−−−一・
−演算回路、11−・・・・欠陥座標メモリB、12・
・−−−−−欠陥座標出力回路、13−・・・−・X、
Y軸モータ制御回路、14.15.22.24・・−・
−・バッファメモリ、16.17.18.19・−・・
−・・分離回路、20゜21−・・−・−演算器、23
・・・・−・・判定回路、25−・−・−座標決定回路
。
第1図
1:印刷回語榎
2:一力3t(ンづ
3:fJ!値
4:x釉を一タ
5:Vmt−ダ
jI2図
13図
14.15,22.24−t(−tフヤメるり16−1
9 :令鮪回語
20.21 m :@Nk
23:#1霞回詠
25ニル穐腋ぎ回腎
第4図FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a diagram explaining the functions of a memory for storing defect coordinates and an arithmetic circuit, and FIG. 3 is a block diagram showing the configuration of the arithmetic circuit. 4
The figure is a diagram illustrating an overview of a conventional method for detecting defects in wiring patterns. 1-...-printed circuit board, 2--one-dimensional sensor, 3---mounting frame, 4---X-axis motor, 5--
...Y-axis motor, 6-...-binarization circuit, ? ---
---... Image memory, 8...-- Defect determination circuit,
9.--.--Defect coordinate memory A, 10--.1.
- Arithmetic circuit, 11-... Defect coordinate memory B, 12.
・-----Defect coordinate output circuit, 13-...--X,
Y-axis motor control circuit, 14.15.22.24...
--- Buffer memory, 16.17.18.19 ---
---Separation circuit, 20゜21----Arithmetic unit, 23
....--Judgment circuit, 25--.--Coordinate determination circuit. Figure 1 1: Printing times 2: Ichiriki 3t (Nzu 3: fJ! Value 4: x Glaze 5: Vmt-dajI2 Figure 13 Fuyame Ruri 16-1
9: Reiji 20.21 m: @Nk 23: #1 Kasumi Kaiei 25 Nil Axillary Round Kidney Diagram 4
Claims (1)
パターンの欠陥判定を行い、欠陥座標を出力する自動外
観検査装置において、欠陥座標相互間の相互距離を演算
処理し、同一の配線パターン欠陥に起因する複数の欠陥
座標を見い出し、この複数の欠陥座標の中から1つの欠
陥座標を選択することにより、1つの配線パターン欠陥
に対応する1つの欠陥座標を出力することを特徴とする
自動外観検査装置。 2、前記同一の配線パターン欠陥に起因する複数の欠陥
座標は、これらの座標の相互間距離が予め定められた一
定の相互間距離以内にある座標であることを特徴とする
特許請求の範囲第1項記載の自動外観検査装置。[Claims] 1. In an automatic visual inspection device that reads a wiring pattern of a printed circuit board to be inspected, determines a defect in the wiring pattern, and outputs defect coordinates, the mutual distance between the defect coordinates is calculated. , to output one defect coordinate corresponding to one wiring pattern defect by finding a plurality of defect coordinates caused by the same wiring pattern defect and selecting one defect coordinate from among the plurality of defect coordinates. An automatic appearance inspection device featuring: 2. The plurality of defective coordinates caused by the same wiring pattern defect are coordinates whose mutual distances are within a predetermined distance. The automatic appearance inspection device according to item 1.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62111665A JPS63277958A (en) | 1987-05-09 | 1987-05-09 | Automatic outward appearance inspection device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62111665A JPS63277958A (en) | 1987-05-09 | 1987-05-09 | Automatic outward appearance inspection device |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63277958A true JPS63277958A (en) | 1988-11-15 |
Family
ID=14567079
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP62111665A Pending JPS63277958A (en) | 1987-05-09 | 1987-05-09 | Automatic outward appearance inspection device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63277958A (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05508705A (en) * | 1990-11-30 | 1993-12-02 | インターナシヨナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーシヨン | Board machining inspection equipment |
JP2003004791A (en) * | 2001-06-22 | 2003-01-08 | Hioki Ee Corp | Generation method for position data |
-
1987
- 1987-05-09 JP JP62111665A patent/JPS63277958A/en active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05508705A (en) * | 1990-11-30 | 1993-12-02 | インターナシヨナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーシヨン | Board machining inspection equipment |
JP2003004791A (en) * | 2001-06-22 | 2003-01-08 | Hioki Ee Corp | Generation method for position data |
JP4723124B2 (en) * | 2001-06-22 | 2011-07-13 | 日置電機株式会社 | How to generate position data |
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