JPS63239740A - 超電導化合物薄膜の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） 本発明は、超電導マグネット用及び超電導送電線用の超
電導化合物薄膜の製造方法に関する。

（従来の技術） 最近、Ｙ−Ｂａ−Ｃｕ−０で代表される（以下り−Ｍ−
Ｃｕ−０と記す）ＴｃｄｚｇＱＫ以上の酸化物超電導体
が開発されている。この材料は、従来超電導マグネット
に利用されてきたＮｂ５ｓｎ　、ＮｂＴｉに比べ、著し
く高いＴｃをもっているため冷却材として従来の高価な
Ｌ　Ｈｅに代わシ安価な液体窒素を用、いることができ
、超電導マグネット、送電線に利用することができれば
、多大なメリッ、トを生む。

しかしながら、これまでこうした高いＴｃは、粉末を焼
いて固めた焼結法によるペレット状のものでしか報告さ
れていない。

他方、超電導マグネット、送電線には、超電導導体が長
いこと即ち長尺化が要求され、かつ大電流を流すため常
電導に転位した時も超電導導体の焼損を防ぐためのＣｕ
等の安定化材が必要になる。

こうした要求には、従来の焼結法によるのでは達成でき
なかった。

（発明が解決しようとする問題点） すなわち、本発明は高いＴｃをもつＹ−Ｂａ−Ｃｕ−Ｏ
で代表されるＬ−Ｍ−Ｃｕ−０超電導体を安定化材のＣ
ｕも有する長尺可能な薄膜の製造方法を提供することを
目的としている。

〔発明の構成〕

（問題点を解決するための手段） 本発明においては、まず安定化材となる長尺のＣｕ基板
を熱酸化させ表面にＣｕＯを作成し、その後連続スパッ
タ装置及び真空蒸着装置によシこのＣｕ０Ｏ上にＬ（：
Ｙ又はＳｃ　　）及びＭ（＝Ｂａ。

Ｓｒ、Ｃａ）又はその酸化物を蒸着して熱処理して長尺
にわた＃）Ｃｕ安定化材を有するＬ−Ｍ−Ｃｕ−０超電
導化合物薄膜を形成させるものである。

（作用） 本発明によれば、長尺のＬ−Ｍ−Ｃｕ−０超電導化合物
薄膜が可能であり、Ｃｕ安定化材も有しているため、超
電導マグネット、送電線に利用した場合も大電流通電時
の常電導転に際しても焼損することがない。

（実施例） 長さ１０ｍのＣｕのテープを空気中で７００℃で熱処理
し、表面に異色のＣｕＯの膜をテープ上に形成した。こ
のテープ９を第１図に示す連続スパッタ装置にセットし
、送シ出し２巻き取りリール１０．１１により長尺にわ
たｆｉＹターゲット１２、Ｂａターゲット１３によｐＹ
、Ｂａを蒸着した。この雰囲気はＡｒ−５０４０鵞、　
５Ｘ１０−２Ｔｏｒｒである。

しかる後これを９００℃で１日熱処理した。この試料の
抵抗の温度変化を測定した所、抵抗は９５Ｋからおちは
じめ、８２にで完全にＯになった。すなわち、液体窒素
温度でも使える長尺のＹ−Ｂ、ａ−Ｃｕ−０の超電導の
薄膜を得ることができた。

その他　Ｙ−Ｃａ−Ｃｕ−０，Ｙ−８ｒ−Ｃｕ　−０８
ｃ−Ｂａ−Ｃｕ−０，５ｃ−８ｒ−Ｃｕ−０゜５ｃ−Ｃ
ａ−Ｃｕ　−０ Ｌａ−Ｂａ−Ｃｕ−０，Ｃａ−８ｒ−Ｃｕ−０゜Ｌａ−
Ｃａ−Ｃｕ　−０ の各基でも同様な効果があった。

また、本実施例は、Ｃｕ基板がテープの場合について述
べたが、Ｃｕ基板がパイプ状、線状であっても同様な結
果が得られる。

〔発明の効果〕

以上の如く、本発明によれば超電導マグネット。

送電線に利用できる長尺かつ安定化材付の超電導化合物
薄膜ができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の実施例に使用するスパッタ装置の１
例を示す概略図、第２図は本発明の実施例によって製造
された薄膜のＴｃを示す特性図である。 ９・・・ＣｕＯ膜のテープ、１０・・・送９出しリール
、１１・・・巻き取りリール、１２・・・Ｙターゲット
、１３・・・Ｂａ　ターゲット。 代理人　弁理士　則　近　憲　佑 同　　　　竹　花　喜久男 第１図 第２図

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）テープ状あるいはパイプ状、線状のＣｕ基板を熱
   酸化して、ＣｕＯ酸化物層を形成した後、この上にＬ、
   Ｍ元素（Ｌ＝Ｙ、Ｓｃ；Ｍ＝Ｓｒ、Ｂａ、Ｃａ）又はそ
   の酸化物を蒸着させて、最後に熱処理して作製されたこ
   とを特徴とする超電導化合物薄膜の製造方法。
2. （２）Ｌ、Ｍ元素又はその酸化物の層はスパッタで作製
   されたことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の超
   電導化合物薄膜の製造方法。
3. （３）Ｌ、Ｍ元素又はその酸化物の層は真空蒸着でした
   ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の超電導化
   合物薄膜の製造方法。