JPS63228421A - 自動合焦装置 - Google Patents
自動合焦装置Info
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- JPS63228421A JPS63228421A JP62060007A JP6000787A JPS63228421A JP S63228421 A JPS63228421 A JP S63228421A JP 62060007 A JP62060007 A JP 62060007A JP 6000787 A JP6000787 A JP 6000787A JP S63228421 A JPS63228421 A JP S63228421A
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 8
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 41
- 230000004907 flux Effects 0.000 abstract description 3
- 239000011295 pitch Substances 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 201000009310 astigmatism Diseases 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 101000878457 Macrocallista nimbosa FMRFamide Proteins 0.000 description 1
- 241000375392 Tana Species 0.000 description 1
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-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/24—Base structure
- G02B21/241—Devices for focusing
- G02B21/245—Devices for focusing using auxiliary sources, detectors
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/28—Systems for automatic generation of focusing signals
- G02B7/30—Systems for automatic generation of focusing signals using parallactic triangle with a base line
- G02B7/32—Systems for automatic generation of focusing signals using parallactic triangle with a base line using active means, e.g. light emitter
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/08—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers
- G11B7/09—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers with provision for moving the light beam or focus plane for the purpose of maintaining alignment of the light beam relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
- G11B7/0908—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers with provision for moving the light beam or focus plane for the purpose of maintaining alignment of the light beam relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following for focusing only
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
この発明は、光ディスクの記録・再生に使用するピック
アップ装置等における自動合焦装置に関する。
アップ装置等における自動合焦装置に関する。
（従来の技術）
従来、光デイスク装置のピックアップ装置における自動
合焦装置には、非点収差法や遮光法等がよく知られてい
る。前者は、シリンドリカルレンズ等を使用、して非点
収差を発生させ、４分割受光素子でフォーカスエラー信
号を得る方法である。
合焦装置には、非点収差法や遮光法等がよく知られてい
る。前者は、シリンドリカルレンズ等を使用、して非点
収差を発生させ、４分割受光素子でフォーカスエラー信
号を得る方法である。
また、後者は、反射光の一部をナイフェツジ等により遮
光し、このナイフェツジを含む面の像を集光レンズによ
り４分割受光素子に結像させてフォーカシングエラーを
検出するものである。
光し、このナイフェツジを含む面の像を集光レンズによ
り４分割受光素子に結像させてフォーカシングエラーを
検出するものである。
（発明か解決しようとする問題点〕
ところで、これらの方法は、フォーカシング検出光学系
にシリントレカルレンズやナイフェツジ等を使用するた
め、いずれも自動合焦装置の感度を上げようとすればシ
リンドリカルレンズの合焦距離を長くしたり、受光素子
を遠くに置かなければならず、装置全体か大きくなり重
くなってしまう等の欠点かあった。
にシリントレカルレンズやナイフェツジ等を使用するた
め、いずれも自動合焦装置の感度を上げようとすればシ
リンドリカルレンズの合焦距離を長くしたり、受光素子
を遠くに置かなければならず、装置全体か大きくなり重
くなってしまう等の欠点かあった。
この発明は、上記のような点に鑑みてなされたもので、
光ディスクの結像面からの反射光束を２枚の格子に入射
させ、これによって生ずるモアレ縞の変化を利用して合
焦させる新規な合焦装置を提供することを目的とする。
光ディスクの結像面からの反射光束を２枚の格子に入射
させ、これによって生ずるモアレ縞の変化を利用して合
焦させる新規な合焦装置を提供することを目的とする。
この発明では、半導体レーザの光を結像レンズにより点
状に結像させる自動合焦装置において、結像レンズの合
焦部を駆動する駆動手段と、半導体レーザと結像レンズ
間におかれたビームスプリッタと、ビームスプリッタに
より反射された結像面からの反射光の光路中におかれ、
モアレ縞を発生させるための格子方向を互に傾けて平行
に配置された第１および第２の格子と、この第１．第２
の格子によって発生するモアレ縞の方向を４分割受光素
子により検出する検出手段と、この検出手段の出力によ
り結像レンズの合焦部を駆動して合焦を行なわせるもの
である。
状に結像させる自動合焦装置において、結像レンズの合
焦部を駆動する駆動手段と、半導体レーザと結像レンズ
間におかれたビームスプリッタと、ビームスプリッタに
より反射された結像面からの反射光の光路中におかれ、
モアレ縞を発生させるための格子方向を互に傾けて平行
に配置された第１および第２の格子と、この第１．第２
の格子によって発生するモアレ縞の方向を４分割受光素
子により検出する検出手段と、この検出手段の出力によ
り結像レンズの合焦部を駆動して合焦を行なわせるもの
である。
（作用）
このように構成されているので、半導体レーザからコリ
メータレンズを介して一坦平行光束にされた光を結像レ
ンズにより収束して光ディスクの結像面に点状に照射し
、その反射光か再び結像レンズによって収束されて戻る
際、結像面の位置により発散光束あるいは収束光束にな
るので、これをモアレ縞を発生する格子に入射させ、モ
アレ縞の方向を検出することによって結像レンズのフォ
ーカシングを行なうようにしたものである。
メータレンズを介して一坦平行光束にされた光を結像レ
ンズにより収束して光ディスクの結像面に点状に照射し
、その反射光か再び結像レンズによって収束されて戻る
際、結像面の位置により発散光束あるいは収束光束にな
るので、これをモアレ縞を発生する格子に入射させ、モ
アレ縞の方向を検出することによって結像レンズのフォ
ーカシングを行なうようにしたものである。
（実施例）
以下、図面に基づいてこの発明の詳細な説明する。第１
図は、光ディスク７をフォーカシングする自動合焦装置
の構成図を示す。即ち、半導体レーザｌからの射出光２
はコリメータレンズ３によりｆ行光束２ａとなり、光軸
と４５度傾斜したビームスプリッタ４および１／４波長
板５を透過し、対物レンズ６により収束されて光ディス
ク７の結像面７ａを点状に照射する。この結像面７ａで
反射された光束２ｂは経路を逆に進んで結像レンズ６に
より収束されてｌ／４波長板５を透過し、ビームスプリ
ッタ４で直角に反射されて２枚の格子８．９を透過して
４分割受光素子１０に入射させる。上記２枚の格子８，
９はフォーカシング信号を得るためのもので、第２図に
示すようにある一定間隔に平行に光透過部８ａ、９ａと
不透明部８ｂ、９ｂかそれぞれ形成された格子８．９と
がαたけ回転した状態で光路の前後に間隔をおいて配設
されている。
図は、光ディスク７をフォーカシングする自動合焦装置
の構成図を示す。即ち、半導体レーザｌからの射出光２
はコリメータレンズ３によりｆ行光束２ａとなり、光軸
と４５度傾斜したビームスプリッタ４および１／４波長
板５を透過し、対物レンズ６により収束されて光ディス
ク７の結像面７ａを点状に照射する。この結像面７ａで
反射された光束２ｂは経路を逆に進んで結像レンズ６に
より収束されてｌ／４波長板５を透過し、ビームスプリ
ッタ４で直角に反射されて２枚の格子８．９を透過して
４分割受光素子１０に入射させる。上記２枚の格子８，
９はフォーカシング信号を得るためのもので、第２図に
示すようにある一定間隔に平行に光透過部８ａ、９ａと
不透明部８ｂ、９ｂかそれぞれ形成された格子８．９と
がαたけ回転した状態で光路の前後に間隔をおいて配設
されている。
次に、このように配設された二つの格子８．９か光ディ
スク７の結像面７ａの上下動に対してどのように作用す
るのかについて、第３図（Ａ）。
スク７の結像面７ａの上下動に対してどのように作用す
るのかについて、第３図（Ａ）。
（Ｂ）、（Ｃ）を参照して説明する。即ち、第３図（Ａ
）は光ディスク７の結像面７ａが結像レンズ６に対して
その焦点距離ｆよりも近すぎる位置にある状態であり、
また、第３図（Ｂ）は光ディスク７の結像面７ａが丁度
結像レンズ６の焦点距離ｆの合焦位置にある状態であり
、さらに第３図（Ｃ）は光ディスク７の結像面７ａか結
像レンズ６の焦点距離ｆよりも遠くに位置する状態をそ
れぞれ示している。
）は光ディスク７の結像面７ａが結像レンズ６に対して
その焦点距離ｆよりも近すぎる位置にある状態であり、
また、第３図（Ｂ）は光ディスク７の結像面７ａが丁度
結像レンズ６の焦点距離ｆの合焦位置にある状態であり
、さらに第３図（Ｃ）は光ディスク７の結像面７ａか結
像レンズ６の焦点距離ｆよりも遠くに位置する状態をそ
れぞれ示している。
第３図（Ａ）の場合、コリメータレンズ３で平行にされ
た光束２ａは結像レンズ６を介して光ディスク７の結像
面７ａを照射され、結像面７ａからの反射光は再び結像
レンズ６を透過して発散光束２ｂとなり、ビームスプリ
ッタ４で反射されて格子８，９に入射することになる。
た光束２ａは結像レンズ６を介して光ディスク７の結像
面７ａを照射され、結像面７ａからの反射光は再び結像
レンズ６を透過して発散光束２ｂとなり、ビームスプリ
ッタ４で反射されて格子８，９に入射することになる。
また、第３図（Ｂ）の場合は結像面６ａからの反射光は
結像レンズ６を透過して平行光束２ｂとなり、第３図（
Ｃ）の場合は結像面７ａからの反射光は結像レンズ６を
透過して収束光束２ｂとなり、それぞれ格子８．９を照
射することになる。したがって、第３（ｉｌＡ）に示す
発散光束の場合には格子８の像は格子９上に拡大されて
投影されることになる。つまり格子９上では格子８のピ
ッチを拡げた像を重ねたことと同じ状態になる。このた
め、スクリーンｌｌＪ：にはその像がそのまま拡大され
て投影される。第３図（Ｂ）の平行光束の場合には、格
子間隔は関係なくなるので、同しピッチの格子を重ねた
状態と同しである。また、第３図（Ｃ）の収束光束の場
合には、第３図（Ａ）の場合と逆に格子８の縮少像か格
子９上に投影されるので、格子９上ではと・ソチの小さ
い格子を重ねたことになる。
結像レンズ６を透過して平行光束２ｂとなり、第３図（
Ｃ）の場合は結像面７ａからの反射光は結像レンズ６を
透過して収束光束２ｂとなり、それぞれ格子８．９を照
射することになる。したがって、第３（ｉｌＡ）に示す
発散光束の場合には格子８の像は格子９上に拡大されて
投影されることになる。つまり格子９上では格子８のピ
ッチを拡げた像を重ねたことと同じ状態になる。このた
め、スクリーンｌｌＪ：にはその像がそのまま拡大され
て投影される。第３図（Ｂ）の平行光束の場合には、格
子間隔は関係なくなるので、同しピッチの格子を重ねた
状態と同しである。また、第３図（Ｃ）の収束光束の場
合には、第３図（Ａ）の場合と逆に格子８の縮少像か格
子９上に投影されるので、格子９上ではと・ソチの小さ
い格子を重ねたことになる。
このように、格子８，９間にある間隔をもたせて配置す
ることによって、重なり合う二つの格子像のピッチに差
か生しることになる。
ることによって、重なり合う二つの格子像のピッチに差
か生しることになる。
次に、このようにピッチに差か生じると、発生するモア
レ縞かどのような影響が起るのかを説明する。
レ縞かどのような影響が起るのかを説明する。
格子ピッチをｂとすると、格子８の格子ＭＦＩは
と表わすことかできる。また、格子９の格子縞Ｆ２は
・・・・・・・・・・（２）
と表わすことかできる。このＦ２にＦｌを６度傾けて屯
ねると ２πＣｏｇα ４Ｆｌ −Ｆ２ ＝ｌ＋ｃｏｓ −２π （ｘ −ｙ ｔ ａ ｎ ａ ） ＋ ｃ ｏ ｓ −
ｘ ＋となる。ここでａは格子ピッチである。
ねると ２πＣｏｇα ４Ｆｌ −Ｆ２ ＝ｌ＋ｃｏｓ −２π （ｘ −ｙ ｔ ａ ｎ ａ ） ＋ ｃ ｏ ｓ −
ｘ ＋となる。ここでａは格子ピッチである。
モアレ縞として見えるのはα＃０としたときの最も低周
波の縞であるから、最後の ・・・・・・・・・・・・（４） の項かモアレ縞となる。そして、縞の式はとなる。
波の縞であるから、最後の ・・・・・・・・・・・・（４） の項かモアレ縞となる。そして、縞の式はとなる。
以下、上記例に当てはめて考えてみる。上記（５）式を
書き直すと ｓａ ｉｎａ＋ｙ＝ （ｃｏｓａ−−）ｘ−ｎａとなる
ので、格子ピッチａ、ｂの値によってＸ軸に対するモア
レ縞の傾きか変化することになる。
書き直すと ｓａ ｉｎａ＋ｙ＝ （ｃｏｓａ−−）ｘ−ｎａとなる
ので、格子ピッチａ、ｂの値によってＸ軸に対するモア
レ縞の傾きか変化することになる。
まず、ａ＝ｂのとき、即ち、第３図（Ｂ）の結像面７ａ
からの反射光か平行光束２ｂとして格子８．９に入射す
る場合には ここで、α＝０であるから、格子と垂直のＸ軸にの七ア
レ編か出ることになる。この場合αを０に近ずけること
によりモアレ縞はＸ軸に近ずき、その間隔は大きくなる
。
からの反射光か平行光束２ｂとして格子８．９に入射す
る場合には ここで、α＝０であるから、格子と垂直のＸ軸にの七ア
レ編か出ることになる。この場合αを０に近ずけること
によりモアレ縞はＸ軸に近ずき、その間隔は大きくなる
。
次に、ａ＊ｂの場合、即ち第３図（Ａ）および（Ｃ）の
状態の結像面７ａからの反射光か収束光束および発散光
束の場合について説明する。モアＣＯＳ α −□ 近ずけると、Ｘ軸に垂直な縞でＸ方向の間隔がａｂ／（
ｂ−ａ）の縞になる。
状態の結像面７ａからの反射光か収束光束および発散光
束の場合について説明する。モアＣＯＳ α −□ 近ずけると、Ｘ軸に垂直な縞でＸ方向の間隔がａｂ／（
ｂ−ａ）の縞になる。
例として、（Ｘ＝１５度で、ａ ／ ｂか０．９゜１．
１．１と変化させた場合を次の表に示す。
１．１と変化させた場合を次の表に示す。
例として、Ｑ＝１５度で、ａ／ｂが０．９゜１．１．ｌ
と変化させた場合を次の表に示す。
と変化させた場合を次の表に示す。
く 以Ｆ、余白 〉
世し、θはモアレ縞の傾きである。
つまり、モアレ縞の傾きが光ディスク７の結像面７ａの
位置によって変化することになる。この状態を第４図（
Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）にそれぞれ対応して、格子９に格
子８の像８′か投影された状態を第５図（Ａ）、（Ｂ）
、（Ｃ）に、このとき生したモアレ縞を解り易く簡略し
て示した状態を第６図（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）にそれぞ
れ示す。即ち、格子ピッチの変化によってモアレ縞の傾
きが変化する。これか無段階に行なわれると、モアレ縞
は徐々に回転するようにその傾きか変ると同時に、スク
リーン上の像もズーミングされてその大きさも変化する
ことになる。
位置によって変化することになる。この状態を第４図（
Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）にそれぞれ対応して、格子９に格
子８の像８′か投影された状態を第５図（Ａ）、（Ｂ）
、（Ｃ）に、このとき生したモアレ縞を解り易く簡略し
て示した状態を第６図（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）にそれぞ
れ示す。即ち、格子ピッチの変化によってモアレ縞の傾
きが変化する。これか無段階に行なわれると、モアレ縞
は徐々に回転するようにその傾きか変ると同時に、スク
リーン上の像もズーミングされてその大きさも変化する
ことになる。
この発明では、このような現象を利用してフォーカシン
グを行なうものである。これをモアレ縞と４分割受光素
子ｌＯの出力関係を示す第７図を参照して説明する。
グを行なうものである。これをモアレ縞と４分割受光素
子ｌＯの出力関係を示す第７図を参照して説明する。
４分割受光素子ｌＯ上にモアレ縞か投影された様子を第
３図（Ａ）のディスク７の結像面７ａからの反射光が発
散光束の場合を第７図（Ａ＞に、第３１％（Ｂ）の平行
光束の場合を第７図（Ｂ）に、第３図（Ｃ）の収束光重
の場合を第７図（Ｃ）にそれぞれ示す。４分割受光素子
１０の対角線上に並んだ素子１０ａ、ｌＯｃを比較回路
１２の正の入力端に、素子ＬＯｂ、ＩＱｄを比較回路１
２の負の入力端にそれぞれ接続して電圧を比較する。比
較回路１２の出力は、第７図（Ｄ）に示すようにＳ字状
ガーブを描き、第７図（Ａ）の状態では正のピークのａ
を、第７図（Ｂ）の状態ではｂを、第７図（Ｃ）の状態
では負のピークのＣをそれぞれ出力することになる。即
ち、光ディスク７の結像面７ａが結像レンズ６に対して
近すぎた場合にはａの出力が結像面７ａか丁度結像レン
ズ６の焦点距離の位ごである合焦位置ではｂの出力か、
結像面７ａが結像レンズ６に対して速すぎる場合にはＣ
の出力か得られることになる。これらの出力を結像レン
ズ６をその光軸に沿って移動させるボイスコイル１３に
フィードバックすることによって、結像レンズ６か合焦
位置に駆動するようにするのである。
３図（Ａ）のディスク７の結像面７ａからの反射光が発
散光束の場合を第７図（Ａ＞に、第３１％（Ｂ）の平行
光束の場合を第７図（Ｂ）に、第３図（Ｃ）の収束光重
の場合を第７図（Ｃ）にそれぞれ示す。４分割受光素子
１０の対角線上に並んだ素子１０ａ、ｌＯｃを比較回路
１２の正の入力端に、素子ＬＯｂ、ＩＱｄを比較回路１
２の負の入力端にそれぞれ接続して電圧を比較する。比
較回路１２の出力は、第７図（Ｄ）に示すようにＳ字状
ガーブを描き、第７図（Ａ）の状態では正のピークのａ
を、第７図（Ｂ）の状態ではｂを、第７図（Ｃ）の状態
では負のピークのＣをそれぞれ出力することになる。即
ち、光ディスク７の結像面７ａが結像レンズ６に対して
近すぎた場合にはａの出力が結像面７ａか丁度結像レン
ズ６の焦点距離の位ごである合焦位置ではｂの出力か、
結像面７ａが結像レンズ６に対して速すぎる場合にはＣ
の出力か得られることになる。これらの出力を結像レン
ズ６をその光軸に沿って移動させるボイスコイル１３に
フィードバックすることによって、結像レンズ６か合焦
位置に駆動するようにするのである。
この発明では、格子を光路中に置くことによって回折が
起り、空間にその干渉縞か生じてしまうと上記実施例で
示した効果が得られなくなる。したかって、ピッチの粗
い格子を使用するかあるいは２枚の格子間隔を狭くして
干渉縞が現れない範囲で使用しなければならない。
起り、空間にその干渉縞か生じてしまうと上記実施例で
示した効果が得られなくなる。したかって、ピッチの粗
い格子を使用するかあるいは２枚の格子間隔を狭くして
干渉縞が現れない範囲で使用しなければならない。
上記実施例は光ディスクのピックアップ装置の自動合焦
装置について説明したが、顕微鏡等の自動合焦装置に応
用できることは勿論である。
装置について説明したが、顕微鏡等の自動合焦装置に応
用できることは勿論である。
（発明の効果）
上述したように、この発明では簡単な構成の格子を２枚
使用するたけてあり、合焦装置全体を軽量にすることが
できるとともに量産性かよく、安価なものとすることか
できる。また、１枚の格子をビームスプリッタに貼り付
けることにより、よｎ１１ノ）望ｈｋｂＡ４皺４に曽し
ナ１ナレ叔哨シ２
使用するたけてあり、合焦装置全体を軽量にすることが
できるとともに量産性かよく、安価なものとすることか
できる。また、１枚の格子をビームスプリッタに貼り付
けることにより、よｎ１１ノ）望ｈｋｂＡ４皺４に曽し
ナ１ナレ叔哨シ２
【図面の簡単な説明】
第１図は１本発明の実施例を示す自動合焦点装置の構造
図。 第２図は、２枚の格子の関係を説明するための格子の正
面図、 第３図（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）は、光ディスクの位置と
光束の関係を示す光路図。 第４図（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）は１反射光束の変化とモ
アレ縞の変化を示す線図、 第５図（Ａ）、ＣＢ）、（Ｃ）は、第１の格子の像が第
２の格子上に投影した様子を示した図。 第６図（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）は、スクリーン上に生じ
たモアレ縞を簡略して示した図、第７図（Ａ）、（Ｂ）
、（Ｃ）は、４分割受光素子とモアレ縞の出力関係を説
明するための線図である。 ｌ・・・・・・半導体レーザ ３・・・・・・コリメータレンズ ４・・・・・・ビームスブリッタ ６・・・・・・結像レンズ ７・・・・・・光ディスク ７ａ・・・・・・結像面 ８．９・・・・・・格子
図。 第２図は、２枚の格子の関係を説明するための格子の正
面図、 第３図（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）は、光ディスクの位置と
光束の関係を示す光路図。 第４図（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）は１反射光束の変化とモ
アレ縞の変化を示す線図、 第５図（Ａ）、ＣＢ）、（Ｃ）は、第１の格子の像が第
２の格子上に投影した様子を示した図。 第６図（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）は、スクリーン上に生じ
たモアレ縞を簡略して示した図、第７図（Ａ）、（Ｂ）
、（Ｃ）は、４分割受光素子とモアレ縞の出力関係を説
明するための線図である。 ｌ・・・・・・半導体レーザ ３・・・・・・コリメータレンズ ４・・・・・・ビームスブリッタ ６・・・・・・結像レンズ ７・・・・・・光ディスク ７ａ・・・・・・結像面 ８．９・・・・・・格子
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 半導体レーザの光を結像レンズにより結像面に点状に結
像させる自動合焦装置において、結像レンズの合焦部を
駆動する駆動手段と、半導体レーザと結像レンズ間にお
かれたビームスプリッタと、 ビームスプリッタにより反射された結像面からの反射光
の光路中におかれ、モアレ縞を発生させるために格子方
向を互に傾けて平行に配設された第１および第２の格子
と、 上記第１および第２の格子によって発生するモアレ縞の
方向を検出することにより合焦位置のずれを検出する手
段と、 この合焦位置ずれを補正するように上記駆動手段を制御
する制御手段と、 を具備したことを特徴とする自動合焦装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62060007A JPS63228421A (ja) | 1987-03-17 | 1987-03-17 | 自動合焦装置 |
| DE3808997A DE3808997A1 (de) | 1987-03-17 | 1988-03-17 | Automatische fokussiereinrichtung |
| US07/581,416 US5019701A (en) | 1987-03-17 | 1990-09-10 | Automatic focusing apparatus with moire fringes |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62060007A JPS63228421A (ja) | 1987-03-17 | 1987-03-17 | 自動合焦装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63228421A true JPS63228421A (ja) | 1988-09-22 |
Family
ID=13129599
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62060007A Pending JPS63228421A (ja) | 1987-03-17 | 1987-03-17 | 自動合焦装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5019701A (ja) |
| JP (1) | JPS63228421A (ja) |
| DE (1) | DE3808997A1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006501807A (ja) * | 2002-01-31 | 2006-01-19 | ニンブルゲン システムズ リミテッド ライアビリティ カンパニー | Ｄｎａプローブの光学的合成のためのあらかじめパターン形成された基板、装置、及び方法 |
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1990
- 1990-09-10 US US07/581,416 patent/US5019701A/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006501807A (ja) * | 2002-01-31 | 2006-01-19 | ニンブルゲン システムズ リミテッド ライアビリティ カンパニー | Ｄｎａプローブの光学的合成のためのあらかじめパターン形成された基板、装置、及び方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE3808997A1 (de) | 1988-09-29 |
| US5019701A (en) | 1991-05-28 |
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