JPS6287824A - スライシングマシンのブレ−ド張力検出方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 く利用分野〉　この発明は半導体の製造工程において、
シリコン等のインゴットを薄いウェーハに切断するスラ
イシングマシンにおいて、回転する枠に張り付けられた
内円周側のブレードの張り具合、すなわち張力を検出す
る方法に係るものである。

〈従来技術〉　ウェーハ用スライシングマシンのブレー
ドは強くかつ平均に張り付ける必要があり、そのために
ブレードの取付部分には全周に張力調整用のねじが設け
られ、ブレードの張り具合を調べながら調整用ねじを締
める。このときブレードの張力を知る方法として、従来
ブレードの面の所定位置に鋼球を一定圧をもって押し付
け、このときのブレードのへこみの深さから張力を検知
していた。そこで全周にわたって張力を、何回ら試験す
るのであるが、そのためブレードの面にへこみが生じ、
面が凹凸の変形を生ずる欠、αがあった。そこで本発明
においては非接触で張力を検出しようとするものである
。

〈本発明の実施例〉　図においてブレード２及びその取
付部分１．３は半分が示されているが、回転する枠１の
−Ｌ面にブレード２の外周が取り付けられ、上から押さ
えの輪３が置かれ、ブレード２の張力調整用ねじ４をも
っでブレードを強く張る。スライシングマシンの固定部
より腕５を出し、これを加圧空気を噴射するノズル６を
、その噴出部がブレード２の面に直角に、かつ近接して
（距離Ｓ）をもってノズル６は固定される。ここでノズ
ルにはエアーマイクロメータ方式の加圧空気系を連結し
、噴射時のＳの変位を検出する。いよその−例を図によ
って説明する。圧力調整弁７の空気導入孔８に圧力Ｐの
加圧空気を入れ、ノズル６に管１３．１４を通し連結す
る。導入孔８は分岐して、一つはゼロ調整ノズル側の管
１０へ連結し、差圧指示室のベローズ１５の外側室１１
に、一つは管１３を通りベローズ１５の内側室１２へ導
かれ、そしてベローズ１５の内側室１２へ入った空気は
管１４を通り、ノズル６の下面から噴出する。ノズル６
の下端とブレード２の面との間隙Ｓは狭くとっであるの
で、空気圧Ｐによりブレード２は下方に湾曲してＳが大
となる。そして噴気量が増加して管１４の空気圧は差圧
指示室のベローズ１５の外側室１１の空気圧より低下−
する。そこで差圧指示室のベローズの内側室１２と外側
室１１の圧力との差により圧力Ｐのときのブレードとノ
ズルの先端の距離Ｓが求まる。すなわち、まず空気圧Ｐ
１を送り、そのときの距離ａを検知し、ついで同−息に
おいてＰ２を送り、距離すを知る。これによって空気圧
Ｐ、、Ｐ２の差により、変位量の差を知ることができ、
Ｐｌ、Ｐ２を定圧とすればｂ−ａを張力と考えることが
できる。

く効果〉　本発明においてはブレード面に対して、その
弾性限界内の空気圧を加えることにより、簡単にブレー
ドの張力を測定することができる。

そして測定時には圧力Ｐｌ、Ｐ２の切り換えを行なうだ
けで手数を要することなく、かつ測定による変形を与え
ることなく張力測定が可能である。

【図面の簡単な説明】

図４土本発明の構成を示す説明図。 １ニブレード支持軸　　２：内円周刃ブレード３：押さ
え輪　　４：張力調整ねじ　　５：固定腕６：空気噴射
ノズル　　７：圧力調整弁８：圧力空気導入孔　　１５
：ベローズ手続補正書（自発） 昭和６１年２り！８日

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）スライシングマシンに張り付けられたブレードに
   おいて、ブレードの面に直角に近接して設けられたエア
   ーマイクロメータの噴射ノズルに所定の圧力Ｐ＿１及び
   Ｐ＿２の空気流を噴射させ、空気流の噴射時におけるノ
   ズルの先端とブレード面との距離Ｓ、Ｓ＝ａ及びＳ＝ｂ
   を検知し、（ａ−ｂ）をもってブレードの張力を検出す
   る方法。
2. （２）特許請求の範囲第１項において、噴射空気の系の
   中間に圧力Ｐ＿１及びＰ＿２の圧力調整弁を設け、この
   弁の各調整位置でのエアーマイクロメータの指針を読み
   、これによりノズルの先端とブレード面との距離ａ及び
   ｂを検知するブレードの張力検知方法。