JPS6272034U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6272034U JPS6272034U JP16334385U JP16334385U JPS6272034U JP S6272034 U JPS6272034 U JP S6272034U JP 16334385 U JP16334385 U JP 16334385U JP 16334385 U JP16334385 U JP 16334385U JP S6272034 U JPS6272034 U JP S6272034U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- movable guide
- switching valve
- disposed
- suction plates
- suction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 claims 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
Landscapes
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
Description
第１図は本考案にかかるロツク機構の一使用例
を示すＸＹステージの斜面図、第２図は要部の斜
面図、第３図は従来例を示す斜面図である。 １…テーブル、３，４…可動ガイド、５…ステ
ージ、７…ロツク機構、７１…吸着板、７２…切
換弁、７３…通気管。
を示すＸＹステージの斜面図、第２図は要部の斜
面図、第３図は従来例を示す斜面図である。 １…テーブル、３，４…可動ガイド、５…ステ
ージ、７…ロツク機構、７１…吸着板、７２…切
換弁、７３…通気管。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 自在ステージを支承する可動ガイドと、可動
ガイドの両端部に配設されこれをテーブルに吸着
固定する複数の吸着板と、可動ガイドの略長さ中
央部に配設された真空・大気圧切換弁と、該切換
弁と複数の吸着板との間に介装された通気管とを
具備して成る位置決めロツク機構。 切換弁は、複数の吸着板の中間点に配設され
ている実用新案登録請求の範囲第１項記載の位置
決めロツク機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16334385U JPS6272034U (ja) | 1985-10-23 | 1985-10-23 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16334385U JPS6272034U (ja) | 1985-10-23 | 1985-10-23 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6272034U true JPS6272034U (ja) | 1987-05-08 |
Family
ID=31091451
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16334385U Pending JPS6272034U (ja) | 1985-10-23 | 1985-10-23 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6272034U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007183189A (ja) * | 2006-01-06 | 2007-07-19 | Konica Minolta Opto Inc | 形状測定装置 |
-
1985
- 1985-10-23 JP JP16334385U patent/JPS6272034U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007183189A (ja) * | 2006-01-06 | 2007-07-19 | Konica Minolta Opto Inc | 形状測定装置 |