JPS6239692B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6239692B2 JPS6239692B2 JP4264080A JP4264080A JPS6239692B2 JP S6239692 B2 JPS6239692 B2 JP S6239692B2 JP 4264080 A JP4264080 A JP 4264080A JP 4264080 A JP4264080 A JP 4264080A JP S6239692 B2 JPS6239692 B2 JP S6239692B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- image sensor
- light
- range
- mirror
- light beam
- Prior art date
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- Expired
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は光ビームの検出装置に関し、更に詳述
すると、イメージセンサによる光ビームの検出装
置に関する。
すると、イメージセンサによる光ビームの検出装
置に関する。
従来のイメージセンサを用いて光学的な計測を
行う場合、測定範囲と分解能の比が大きくなるほ
ど多数のイメージセンサを並設する必要があつ
た。例えば第１図に示すように、変位体Ｍにより
光ビームの幅Ａ、特にその下端位置が変化する場
合、その光ビームの変化範囲Ｂをカバーするよう
に例えば３個のイメージセンサＳ１，Ｓ２，Ｓ３
を並設し、Ｓ１に与えた駆動パルスDPをＳ２，
Ｓ３に直列にシフトさせ、３個のイメージセンサ
Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３の出力をORゲートを通して直
列パルス信号として取り出していた。そのときの
出力波形を第２図に例示する。
行う場合、測定範囲と分解能の比が大きくなるほ
ど多数のイメージセンサを並設する必要があつ
た。例えば第１図に示すように、変位体Ｍにより
光ビームの幅Ａ、特にその下端位置が変化する場
合、その光ビームの変化範囲Ｂをカバーするよう
に例えば３個のイメージセンサＳ１，Ｓ２，Ｓ３
を並設し、Ｓ１に与えた駆動パルスDPをＳ２，
Ｓ３に直列にシフトさせ、３個のイメージセンサ
Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３の出力をORゲートを通して直
列パルス信号として取り出していた。そのときの
出力波形を第２図に例示する。
しかし、このようにイメージセンサを並設する
装置では、複数のイメージセンサを精度よく並べ
るのが技術的に難かしく、また、装置が高価にな
る欠点があつた。
装置では、複数のイメージセンサを精度よく並べ
るのが技術的に難かしく、また、装置が高価にな
る欠点があつた。
本発明の目的は、１個のイメージセンサを複数
個分に活用する、安価で精度の高い光ビームの検
出装置を提供することにある。
個分に活用する、安価で精度の高い光ビームの検
出装置を提供することにある。
本発明の装置は、ミラープリズム等の光路を曲
げる手段を用いて１個のイメージセンサに複数の
重畳した光を照射するとともに、イメージセンサ
の出力パルスのパルス波高の判別装置を設けるこ
とにより入射光の重畳回数を判別し、実質的に複
数個のイメージセンサを並設したのと同等の機能
を持たせたことを特徴としている。
げる手段を用いて１個のイメージセンサに複数の
重畳した光を照射するとともに、イメージセンサ
の出力パルスのパルス波高の判別装置を設けるこ
とにより入射光の重畳回数を判別し、実質的に複
数個のイメージセンサを並設したのと同等の機能
を持たせたことを特徴としている。
以下、本発明の実施例を説明する。
第３図に本発明の一実施例の構成を示す。光源
１と１個のイメージセンサ２の間には、１個の凸
レンズ３と、３個のミラー４，５，６が設けられ
ている。３個のミラーは紙面と直角方向に重なつ
ており、第１のミラー４はθ１の範囲の光ビーム
がイメージセンサ２の受光範囲一ぱいに入射する
ように反射し、同様に第２のミラー５はθ２の範
囲の光ビームがイメージセンサ２の受光範囲一ぱ
いに入射するように反射し、第３のミラー６はθ
３の範囲の光ビームがイメージセンサ２の受光範
囲一ばいに入射するように反射する。レベル判別
回路７はイメージセンサ２の出力パルス信号を入
力し、入射光の重畳度を示すレベル出力O1，
O2，O3と端数パルス計数出力ＯNを出力する。
１と１個のイメージセンサ２の間には、１個の凸
レンズ３と、３個のミラー４，５，６が設けられ
ている。３個のミラーは紙面と直角方向に重なつ
ており、第１のミラー４はθ１の範囲の光ビーム
がイメージセンサ２の受光範囲一ぱいに入射する
ように反射し、同様に第２のミラー５はθ２の範
囲の光ビームがイメージセンサ２の受光範囲一ぱ
いに入射するように反射し、第３のミラー６はθ
３の範囲の光ビームがイメージセンサ２の受光範
囲一ばいに入射するように反射する。レベル判別
回路７はイメージセンサ２の出力パルス信号を入
力し、入射光の重畳度を示すレベル出力O1，
O2，O3と端数パルス計数出力ＯNを出力する。
第４図に各重畳度における光ビーム幅、イメー
ジセンサの出力波形ｃ、レベル出力O1，O2，O3
及び端数パルス計数出力ＯNの波形を示す。入射
光が第１のミラー４だけの反射光のとき（）の
レベル出力はO1＝１、O2＝O3＝０となり、入射
光が第１のミラー４と第２のミラー５の反射光の
重畳されたもののとき（）のレベル出力はO2
＝１、O1＝O3＝０となり、入射光が第１、第２
及び第３の各ミラー４，５，６の反射光の重畳さ
れたもののとき（）のレベル出力はO3＝１、
O1＝O2＝０となる。
ジセンサの出力波形ｃ、レベル出力O1，O2，O3
及び端数パルス計数出力ＯNの波形を示す。入射
光が第１のミラー４だけの反射光のとき（）の
レベル出力はO1＝１、O2＝O3＝０となり、入射
光が第１のミラー４と第２のミラー５の反射光の
重畳されたもののとき（）のレベル出力はO2
＝１、O1＝O3＝０となり、入射光が第１、第２
及び第３の各ミラー４，５，６の反射光の重畳さ
れたもののとき（）のレベル出力はO3＝１、
O1＝O2＝０となる。
第５図に本発明の他の実施例の光学的手段を示
す。紙面に向つて手前から順に、三角形断面のプ
リズム８、いずれのプリズムも介在しない空間、
逆三角形断面のプリズム９により３通りの光路が
形成されており、光ビームのうち範囲θ１のもの
はプリズム８により屈折したのち凸レンズ３を介
してイメージセンサ２に入射し、範囲θ２のもの
はいずれのプリズムも通らずに直接凸レンズ３に
入射したのちイメージセンサ２に入射し、範囲θ
３のものはプリズム９により屈折したのち凸レン
ズ３を介してイメージセンサ２に入射する。
す。紙面に向つて手前から順に、三角形断面のプ
リズム８、いずれのプリズムも介在しない空間、
逆三角形断面のプリズム９により３通りの光路が
形成されており、光ビームのうち範囲θ１のもの
はプリズム８により屈折したのち凸レンズ３を介
してイメージセンサ２に入射し、範囲θ２のもの
はいずれのプリズムも通らずに直接凸レンズ３に
入射したのちイメージセンサ２に入射し、範囲θ
３のものはプリズム９により屈折したのち凸レン
ズ３を介してイメージセンサ２に入射する。
第６図に本発明のさらに他の実施例の光学的手
段を示す。光ビームが凸レンズ３に入射する間に
２枚のハーフミラー１１，１２が配設されてい
る。第１のハーフミラー１１の反射光のうち主と
して範囲θ１のものはミラー１３により再度反射
されたのち凸レンズ３を経てイメージセンサ２に
入射し、第２のハーフミラー１２の反射光のうち
主として範囲θ３のものはミラー１４により再度
反射されたのち凸レンズ３を経てイメージセンサ
２に入射し、範囲θ２のものは第１及び第２のハ
ーフミラー１１，１２をいずれも透過して凸レン
ズを通りイメージセンサ２に入射する。
段を示す。光ビームが凸レンズ３に入射する間に
２枚のハーフミラー１１，１２が配設されてい
る。第１のハーフミラー１１の反射光のうち主と
して範囲θ１のものはミラー１３により再度反射
されたのち凸レンズ３を経てイメージセンサ２に
入射し、第２のハーフミラー１２の反射光のうち
主として範囲θ３のものはミラー１４により再度
反射されたのち凸レンズ３を経てイメージセンサ
２に入射し、範囲θ２のものは第１及び第２のハ
ーフミラー１１，１２をいずれも透過して凸レン
ズを通りイメージセンサ２に入射する。
第７図に本発明の応用例として、電子屈折計の
構成を示す。この屈折計の原理は、全反射の臨界
角から屈折率を求めるものであつて、基準プリズ
ム２１の上に試料２２を載せ光源２３から光を照
射すると、プリズムから出る光は臨界角を境にし
て明暗が二分されたものとなり屈折率に応じてそ
の明暗の境界の角度が変化する。図において、３
重のミラー２４，２５，２６、投影用凸レンズ３
イメージセンサ２の配設関係は第３図において説
明した実施例と同じであつて、広範囲の光ビーム
を１個のイメージセンサ２上に縮小照射すること
ができる。
構成を示す。この屈折計の原理は、全反射の臨界
角から屈折率を求めるものであつて、基準プリズ
ム２１の上に試料２２を載せ光源２３から光を照
射すると、プリズムから出る光は臨界角を境にし
て明暗が二分されたものとなり屈折率に応じてそ
の明暗の境界の角度が変化する。図において、３
重のミラー２４，２５，２６、投影用凸レンズ３
イメージセンサ２の配設関係は第３図において説
明した実施例と同じであつて、広範囲の光ビーム
を１個のイメージセンサ２上に縮小照射すること
ができる。
本発明は１個のイメージセンサを用いる場合に
限定されるものではなく、複数個のイメージセン
サを用いた上でさらに光ビームを重畳させる場合
を含むこと勿論である。
限定されるものではなく、複数個のイメージセン
サを用いた上でさらに光ビームを重畳させる場合
を含むこと勿論である。
本発明によれば、高価なイメージセンサを複数
個分に活用できるから経済的効果が大きい。ま
た、複数個のイメージセンサを正確に並設調整す
る労力が省かれて製作が容易である。
個分に活用できるから経済的効果が大きい。ま
た、複数個のイメージセンサを正確に並設調整す
る労力が省かれて製作が容易である。
第１図は従来例を示す構成図、第２図は第１図
の作用説明図である。第３図は本発明実施例の構
成図、第４図は第３図の作用説明図、第５図、第
６図及び第７図は本発明の他の実施例を示す構成
図である。 ２……イメージセンサ、３……凸レンズ、４，
５，６……ミラー、７……レベル判別回路、８，
９……プリズム、１１，１２……ハーフミラー、
１３，１４，２４，２５，２６……ミラー。
の作用説明図である。第３図は本発明実施例の構
成図、第４図は第３図の作用説明図、第５図、第
６図及び第７図は本発明の他の実施例を示す構成
図である。 ２……イメージセンサ、３……凸レンズ、４，
５，６……ミラー、７……レベル判別回路、８，
９……プリズム、１１，１２……ハーフミラー、
１３，１４，２４，２５，２６……ミラー。
Claims (1)
- １ 単一の光源から出た光ビームを区分された複
数範囲に対応して異る光路で反射、屈折させる光
学的手段と、上記異る光路の光ビームを重畳して
受光する共通のイメージセンサと、そのイメージ
センサの出力パルス信号のパルス波高から受光の
重畳度を判別し且つ端数のパルス信号数を計数す
るレベル判別装置とを有する光ビーム検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4264080A JPS56138220A (en) | 1980-03-31 | 1980-03-31 | Light beam detector |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4264080A JPS56138220A (en) | 1980-03-31 | 1980-03-31 | Light beam detector |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS56138220A JPS56138220A (en) | 1981-10-28 |
| JPS6239692B2 true JPS6239692B2 (ja) | 1987-08-25 |
Family
ID=12641603
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4264080A Granted JPS56138220A (en) | 1980-03-31 | 1980-03-31 | Light beam detector |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS56138220A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02122690U (ja) * | 1989-03-18 | 1990-10-08 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR200455933Y1 (ko) * | 2009-01-08 | 2011-10-04 | 현대다이모스(주) | 변속기의 파일럿베어링슬리브 |
-
1980
- 1980-03-31 JP JP4264080A patent/JPS56138220A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02122690U (ja) * | 1989-03-18 | 1990-10-08 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS56138220A (en) | 1981-10-28 |
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