JPS62276581A - Liquid crystal display panel - Google Patents
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Landscapes
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.
Description
【発明の詳細な説明】
3、発明の詳細な説明
〔産業上の利用分野〕
本発明は、自動車用計器盤及びOA機器などに使用する
表示装置に係り、特に駆動用の電子回路素子を一体的に
実装した液晶、ELなどの表示パネルに関する。Detailed Description of the Invention 3. Detailed Description of the Invention [Field of Industrial Application] The present invention relates to a display device used in an automobile instrument panel, office automation equipment, etc. The present invention relates to display panels such as liquid crystal and EL that are mounted on the display panel.
近年、マンマシーンインターフェースとしてグラフイン
ク表示が広く用いられるようになり、これに伴って自動
車の計器盤にも液晶表示装置が使用されるようになり、
このことは、カラー液晶表示素子の実用化に伴ってさら
に加速される傾向にある。In recent years, graphic ink displays have become widely used as man-machine interfaces, and along with this, liquid crystal display devices have also come to be used in automobile instrument panels.
This trend tends to accelerate as color liquid crystal display elements become more practical.
ところで、このような液晶表示装置(以下、表示パネル
という)では、そのパネル状の形態を活かし、その電極
基板の一方を拡張させた上で、この拡張した部分に駆動
用の電子回路素子(LSI)を直接搭載し、両者をモジ
ュール化したものが知られている。なお、このような例
については、例えば特開昭53−60199号、特開昭
53−104198号公報などに開示がある。By the way, in such a liquid crystal display device (hereinafter referred to as a display panel), by taking advantage of its panel-like form, one of its electrode substrates is expanded, and a driving electronic circuit element (LSI) is installed in this expanded portion. ) is directly installed, and a module is known in which both are modularized. Incidentally, such examples are disclosed in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 53-60199 and Japanese Patent Application Laid-Open No. 53-104198.
そこで、このような表示パネルの従来例について第2図
によって説明する。Therefore, a conventional example of such a display panel will be explained with reference to FIG. 2.
この第2図は、ガラス基板1および電極基板であるガラ
ス基板2によって構成された液晶表示素子(表示パネル
)を示し、ガラス基板2の上には、液晶表示素子を駆動
するためのLSIチップ4が直接はんだ5を用いて配線
回路に接続する方法により、実装されている。この液晶
表示部とLSIチップ4の端子間の金属2′!IIA6
、およびLSIチップ4の端子と外部回路との接続用端
子間の金属配線7は同一の導体材料、例えばCr−Cu
−Cr S層膜からなる導体層が用いられている。FIG. 2 shows a liquid crystal display element (display panel) composed of a glass substrate 1 and a glass substrate 2 which is an electrode substrate. On the glass substrate 2 is an LSI chip 4 for driving the liquid crystal display element. is mounted by directly connecting it to the wiring circuit using solder 5. The metal 2'! between this liquid crystal display section and the terminals of the LSI chip 4! IIA6
, and the metal wiring 7 between the terminals of the LSI chip 4 and the terminals for connection with an external circuit are made of the same conductive material, for example, Cr-Cu.
A conductor layer made of a -CrS layer film is used.
また、この第2図において、3はガラス基板1゜2間に
挟持されている液晶を封止している封止剤である。なお
、この第2図には表わし難いので省略しであるが、実際
には後述するように、保護用の樹脂がLSIチップ4を
覆って設けである。Further, in FIG. 2, reference numeral 3 denotes a sealant for sealing the liquid crystal sandwiched between the glass substrates 1.degree. Although it is omitted because it is difficult to show in FIG. 2, a protective resin is actually provided to cover the LSI chip 4, as will be described later.
次に、第3図は第2図のA−A ’線による断面を示し
たもので、この第3図において、1.2はガラス基板、
3は封止剤、4はLSIチップ、9はLSIチップ4の
端子部、5ははんだ、6は12゜13及び14の3層か
ら成る金属配線であり、12はCr。Next, FIG. 3 shows a cross section taken along line A-A' in FIG. 2, and in this FIG. 3, 1.2 is a glass substrate;
3 is a sealant, 4 is an LSI chip, 9 is a terminal portion of the LSI chip 4, 5 is a solder, 6 is a metal wiring consisting of three layers of 12°, 13 and 14, and 12 is Cr.
13はCu、 14はCrであり、7は15.16及
び1703層から成る金属配線で、15はCr、 1
6はCu。13 is Cu, 14 is Cr, 7 is a metal wiring consisting of 15, 16 and 1703 layers, 15 is Cr, 1
6 is Cu.
17はCrであり、10は液晶層、18及び19はIn
z○3゜Snugまたはこれらの混合物よりなる透明導
膜からなる透明電極である。17 is Cr, 10 is a liquid crystal layer, 18 and 19 are In
This is a transparent electrode made of a transparent conductive film made of z○3°Snug or a mixture thereof.
液晶表示素子部分11は、ガラス基板1とガラス基板2
の間に液晶層10をはさむ構造となっている。The liquid crystal display element portion 11 includes a glass substrate 1 and a glass substrate 2.
It has a structure in which a liquid crystal layer 10 is sandwiched between them.
そのガラス基板1には透明電極19、ガラス基板2には
透明電極18が形成されている。この透明電極18は、
液晶表示部分11から外部に延長されており、そこで、
金属配線6,7を一層積層して電気的な接続を確保して
いる。この金属配線6,7には、第1層12及び第3層
14としてCr、 第2層13としてCuを用いてい
る。すなわち、金属膜12および金属膜14にはCr、
金属膜13にはCuを用いる。A transparent electrode 19 is formed on the glass substrate 1, and a transparent electrode 18 is formed on the glass substrate 2. This transparent electrode 18 is
It is extended to the outside from the liquid crystal display part 11, and there,
Electrical connection is ensured by laminating metal wirings 6 and 7 in one layer. For the metal wirings 6 and 7, the first layer 12 and the third layer 14 are made of Cr, and the second layer 13 is made of Cu. That is, the metal film 12 and the metal film 14 contain Cr,
Cu is used for the metal film 13.
また、金属膜15および金属膜17にはCr、 金属
膜16はCuを用いる。金属膜14および17には、L
SIチップの端子部9の位置に対応する接続領域にスル
ーホールが開けてあり、金属配線6,7の接続領域20
.21には、第3層のCr14.17が存在せず直接第
2層のCu13.16が露出しており、LSIチップ4
の端子部9のはんだ5によってLSIチップ4がガラス
基板2の上に接続される構造となっている。さらに、L
SIチップ4はコーティング樹脂8 (図示されず)に
よってコーティングされ、保護されている。Furthermore, Cr is used for the metal film 15 and the metal film 17, and Cu is used for the metal film 16. The metal films 14 and 17 include L
A through hole is opened in the connection area corresponding to the position of the terminal part 9 of the SI chip, and the connection area 20 of the metal wirings 6 and 7 is formed.
.. 21, the third layer of Cr14.17 is not present and the second layer of Cu13.16 is directly exposed, and the LSI chip 4
The structure is such that the LSI chip 4 is connected onto the glass substrate 2 by the solder 5 of the terminal portion 9 . Furthermore, L
The SI chip 4 is coated and protected with a coating resin 8 (not shown).
ところで、このような構造を有するLSIチップを実装
した液晶表示素子では、各種の信頼性が要求される。そ
して、この信頼性の評価としては、非通電信頼性試験と
通電信頼性試験の2種に分けられる。なお、通電信頼性
試験とは液晶表示素子の各種条件下における動作試験の
ことである。Incidentally, a liquid crystal display element mounted with an LSI chip having such a structure is required to have various types of reliability. This reliability evaluation is divided into two types: a non-energized reliability test and an energized reliability test. Note that the current conduction reliability test refers to an operation test of a liquid crystal display element under various conditions.
まず、非通電信頼性試験の中には、高温放置(90℃−
500h) 、 高温高湿放置(70℃/95%−1
000h)、 温湿度サイクル(−30°C→70°
C/95%RH。First, in the non-current reliability test, high temperature storage (90℃-
500h), high temperature and high humidity (70℃/95%-1)
000h), temperature/humidity cycle (-30°C→70°
C/95%RH.
40サイクル)、 温度サイクル(−30℃−80°C
,500サイクル以上)、振動試験(LOG、 10〜
500 Hz−各100h)がある。40 cycles), temperature cycle (-30℃-80℃
, 500 cycles or more), vibration test (LOG, 10~
500 Hz - 100 hours each).
そして、第2図及び第3図の構造を有する従来の液晶表
示素子について、上記の各種非通電信頼性試験をした結
果、仕様条件を満足することが確認された。The conventional liquid crystal display elements having the structures shown in FIGS. 2 and 3 were subjected to various non-current reliability tests as described above, and as a result, it was confirmed that the specifications were satisfied.
そこで、通電信頼性試験をした。この通信信頼性試験と
は、実際に液晶を表示動作させながら行なう動作試験の
ことであり、この通電信頼性試験の中には、高温動作試
験(85’C−250h) 、 低温動作試験(−3
5’c −250h) 、 高温高温動作試験(70
”C/95%12 H−250h)がある。Therefore, we conducted a current reliability test. This communication reliability test is an operation test that is performed while actually displaying the liquid crystal, and this energization reliability test includes a high temperature operation test (85'C-250h) and a low temperature operation test (- 3
5'c -250h), high temperature high temperature operation test (70
"C/95%12H-250h).
これらの通電信頼性試験をした結果、高温及び低温動作
試験については上記従来例でも目標仕様を満足すること
がわかった。しかし、高温高温動作試験において動作時
間約100時間で表示不良が発生という問題が生じた。As a result of conducting these current reliability tests, it was found that the above-mentioned conventional example also satisfies the target specifications for high temperature and low temperature operation tests. However, a problem arose in that a display failure occurred after about 100 hours of operation in a high-temperature high-temperature operation test.
そこで、この原因について調べた結果、第4図に示すよ
うに、金属配線6と隣接する金属配線間及びLSIチッ
プ4を実装している接続端子間でヒゲ状の析出物が生成
し、これが成長して短絡が生じていることが確認され、
さらに、このヒゲ状の析出物は金属配線6,7を構成し
ている金属、つまりCu13.16が析出したものであ
ることがわかった。As a result of investigating the cause of this problem, as shown in FIG. It was confirmed that a short circuit had occurred.
Furthermore, it was found that the whisker-like precipitates were deposited from the metal constituting the metal wirings 6 and 7, that is, Cu13.16.
しかして、このように、高温高温動作試験において、金
属配線間や接続端子間で短絡し、表示不良が起こること
は、液晶表示素子の信頼性を著しく低下させるものであ
り、かつ製品としては不完全なものである。However, in high-temperature high-temperature operation tests, short circuits between metal wiring or connection terminals that cause display defects can significantly reduce the reliability of liquid crystal display elements and make them unsuitable for use as products. It is complete.
以上のように、従来の表示パネルでは、自動車用などに
適用した際に必要な信頼性を充分に保つのが困難である
という問題点があった。As described above, conventional display panels have a problem in that it is difficult to maintain sufficient reliability when applied to automobiles and the like.
本発明の目的は、上記した従来技術の問題を解消し、高
温高湿の状態で動作させても金属配線間、接続端子間で
の短絡のおそれがなく、自動車などの表示素子に使用し
て充分な信頼性を保つことができる液晶表示パネルを提
供するところにある。The purpose of the present invention is to solve the above-mentioned problems of the prior art, eliminate the risk of short circuits between metal wiring or connection terminals even when operated in high temperature and high humidity conditions, and allow use in display elements such as automobiles. An object of the present invention is to provide a liquid crystal display panel that can maintain sufficient reliability.
C問題点を解決するための手段〕
この目的を達成するため、本発明は、電子回路素子を搭
載した液晶表示パネルの金属配線、接続端子上に真空中
で熱処理を施こした有機樹脂より成る被膜を、所定の厚
さに形成した点を特徴とする。なお、本発明は、以下の
知見に基づくものである。すなわち、本件の発明者らは
、このような表示パネルの金属配線間、接続端子間の短
絡について種々調査した結果、水分の介在により正極電
位側の電極が溶解し、負極電位側の電極にヒゲ状の析出
物が生成するという電気化学的な反応が起っていること
を明らかにし、かつ、その発生個所は一番電界強度が大
きい接続端子に集中することを確認した。Means for Solving Problem C] To achieve this object, the present invention provides an organic resin that is heat-treated in vacuum on the metal wiring and connection terminals of a liquid crystal display panel equipped with electronic circuit elements. It is characterized in that the coating is formed to a predetermined thickness. Note that the present invention is based on the following findings. In other words, as a result of various investigations into short circuits between the metal wiring and connection terminals of display panels, the inventors of the present invention found that the electrode on the positive electrode potential side melts due to the presence of moisture, and the electrode on the negative electrode potential side melts. It was revealed that an electrochemical reaction was occurring in which a type of precipitate was formed, and it was also confirmed that the electrochemical reaction was concentrated at the connection terminal where the electric field strength was the highest.
そして、この結果、上記のように水分の侵入を許さない
ように、金属配線及び接続端子部分に真空中で熱処理を
施こした有機樹脂より成る被膜を金属配線の膜厚以上に
なるように形成すればよいことを発見したものである。As a result, as mentioned above, a film made of organic resin heat-treated in vacuum is formed on the metal wiring and connection terminals to a thickness greater than that of the metal wiring to prevent moisture from entering. I discovered what I should do.
真空中で熱処理を施した有機樹脂を用いることにより、
ピンホールが少なく、基板との密着性が向上し、ステッ
プカバリング性のすぐれた被膜を形成し、高温高湿下で
も金属配線及び接続端子間の短絡を防止することができ
る。By using organic resin heat-treated in vacuum,
It has fewer pinholes, improves adhesion to the substrate, forms a film with excellent step covering properties, and can prevent short circuits between metal wiring and connection terminals even under high temperature and high humidity conditions.
被膜を形成するには、ポリイミド系樹脂の場合、例えば
粘度60〜100cps程度の樹脂を塗布し、1O−5
Torr以下の真空中350℃程度の温度で30〜12
0分、通常は60分加熱する。また、被膜を形成するを
機樹脂としてはエポキシ系樹脂も用いられ、1fl’T
。To form a film, in the case of polyimide resin, for example, a resin with a viscosity of about 60 to 100 cps is applied, and 1O-5
30 to 12 at a temperature of about 350℃ in a vacuum below Torr
Cook for 0 minutes, usually 60 minutes. In addition, epoxy resin is also used as the resin for forming the film, and 1fl'T
.
rr以下の真空中150℃において60分程度以上加熱
すればよい。It may be heated at 150° C. for about 60 minutes or more in a vacuum below rr.
以下、本発明による表示パネルについて、図示の実施例
により詳細に説明する。Hereinafter, the display panel according to the present invention will be explained in detail with reference to illustrated embodiments.
第1図は本発明の一実施例で、この第1図において、1
.2はガラス基板、3は封止剤、4はLSIチップ、9
はLSIチップ4の端子部、5ははんだ、6はCr(1
2)、 Cu(13)、 Cr(14)よりなる金
属配線、7はCr(15)、 Cu(16)、 C
r(17)よりなる金属配線、10は液晶、18及び1
9はIr+zOi。FIG. 1 shows an embodiment of the present invention, in which 1
.. 2 is a glass substrate, 3 is a sealant, 4 is an LSI chip, 9
is the terminal part of LSI chip 4, 5 is solder, 6 is Cr (1
2), metal wiring made of Cu(13), Cr(14), 7 is Cr(15), Cu(16), C
metal wiring consisting of r (17), 10 is a liquid crystal, 18 and 1
9 is Ir+zOi.
5nOzまたはこれらの混合物よりなる透明渾電膜から
なる透明電極である。This is a transparent electrode made of a transparent conductor film made of 5nOz or a mixture thereof.
22はポリイミド樹脂層であり、金属配線6.7及び接
続端子部20.21を保護するように形成しである。8
はコーティング樹脂であり、LSIチップを保護するた
めである。A polyimide resin layer 22 is formed to protect the metal wiring 6.7 and the connection terminal portion 20.21. 8
is a coating resin to protect the LSI chip.
液晶表示素子部分11は、ガラス基板1とガラス基板2
0間に液晶層10をはさむ構造となっている。The liquid crystal display element portion 11 includes a glass substrate 1 and a glass substrate 2.
It has a structure in which the liquid crystal layer 10 is sandwiched between the two layers.
そのガラス基板1には透明電極19、ガラス基板2には
透明電極18が形成されている。この透明電極18は、
液晶表示素子部分11から外部に出ており、そこで金属
配″!1IA6.7を一部積層して電気的な接続を確保
している。A transparent electrode 19 is formed on the glass substrate 1, and a transparent electrode 18 is formed on the glass substrate 2. This transparent electrode 18 is
It comes out from the liquid crystal display element part 11, and a part of the metal wiring "!1IA6.7" is laminated there to ensure electrical connection.
本実施例によれば、金属配線6,7及び接続端子部20
.21上に真空熱処理されたポリイミド樹脂層22を設
けであるので、高温高温動作試験において、水の侵入を
防止し、導体材料の溶解、析出がなくなり、この結果、
接続端子間、金属配線間の短絡をなくすことができ、信
頼性の向上をはかることができた。According to this embodiment, the metal wirings 6 and 7 and the connection terminal portion 20
.. 21 is provided with a polyimide resin layer 22 that has been subjected to vacuum heat treatment, which prevents water from entering and prevents the conductor material from dissolving or precipitating during high-temperature operation tests.
We were able to eliminate short circuits between connection terminals and metal wiring, improving reliability.
表1にこの実施例による表示パネルの高温高温動作試験
結果を示す。Table 1 shows the high-temperature high-temperature operation test results of the display panel according to this example.
(本頁以下余白)
この表1は、第1図の実施例における金属配線6.7の
厚さを2.0μmと一定にし、その上に形成するポリイ
ミド樹脂22の膜厚を種々変化させて、高温高温動作試
験をし、接続端子間のヒゲ状の析出物22の発生状況を
調べた結果である。(Margins below this page) Table 1 shows the results obtained by keeping the thickness of the metal wiring 6.7 constant at 2.0 μm in the embodiment shown in FIG. 1, and varying the thickness of the polyimide resin 22 formed thereon. This is the result of conducting a high-temperature high-temperature operation test and investigating the occurrence of whisker-like precipitates 22 between the connecting terminals.
これから明らかなように、高温高温動作試験を満足(7
0°C/95%RH,250時間)するためには、ポリ
イミド樹脂は真空中で熱処理をし、かつ必要な膜厚は2
.0μm以上あればよいことが確認された。As is clear from this, it satisfies the high temperature operation test (7
0°C/95%RH, 250 hours), the polyimide resin must be heat treated in a vacuum, and the required film thickness must be 2.
.. It was confirmed that it is sufficient if the thickness is 0 μm or more.
ポリイミド樹脂を真空中で熱処理することによる効果は
、基板との密着性向上、さらにポリイミド樹脂中の揮発
性物質の完全除去による高品質ポリイミド樹脂の形成に
よるものと考えられる。The effects of heat-treating the polyimide resin in vacuum are thought to be due to improved adhesion to the substrate and the complete removal of volatile substances in the polyimide resin to form a high-quality polyimide resin.
この実施例によれば、接続端子部に水の侵入による短絡
が発生するのを防止すると同時に、金属配線6,7全面
をポリイミド樹脂層22で保護することができるため、
液晶素子の組立作業時の導体の損傷(キズ、断線)を防
止できるという特長がある。According to this embodiment, it is possible to prevent a short circuit from occurring due to water intrusion into the connection terminal portion, and at the same time, it is possible to protect the entire surface of the metal wirings 6 and 7 with the polyimide resin layer 22.
It has the advantage of preventing damage to conductors (scratches, disconnections) during assembly of liquid crystal elements.
本発明の他の実施例として、ポリイミド樹脂の代りに、
感光性ポリイミド樹脂を用いても同じ効果が期待される
ことを確認している。この場合のさらに特徴としては、
実施例1に比較してホトリソ工程が簡略されることから
、さらにコスト低減が可能である。In another embodiment of the invention, instead of polyimide resin,
It has been confirmed that the same effect can be expected using photosensitive polyimide resin. A further characteristic of this case is that
Since the photolithography process is simplified compared to Example 1, further cost reduction is possible.
以上説明したように、本発明によれば、電子回路素子を
搭載した液晶表示パネルにおいて金属配線間及び接続端
子部での短絡の虞れをなくすことができるから、従来技
術の問題点を解決することができる上、歩留りの改善も
期待でき、自動車用などとして充分な信頼性を保つこと
ができる表示パネルが得られる。As explained above, according to the present invention, it is possible to eliminate the risk of short circuits between metal wirings and at connection terminals in a liquid crystal display panel equipped with electronic circuit elements, thereby solving the problems of the prior art. In addition, an improvement in yield can be expected, and a display panel that can maintain sufficient reliability for use in automobiles and the like can be obtained.
第1図は本発明による表示パネルの一例を示す断面図、
第2図は従来の表示パネルの一例を示す斜視図、第3図
は第2図のA−A ’断面図、第4図a及びbは従来の
表示パネルの問題点を示す写真。
1.2・・・ガラス基板、3・・・封止剤、4・・・L
SIチップ、5・・・はんだ、6,7・・・金属配線、
8・・・コーティング樹脂、9・・・LSrチップの端
子部、10・・・液晶層、11・・・液晶表示部分、1
2.15・・・下層Cr、16=Cu、14.17−・
・上層Cr、18.19・・・透明電極、20、2/L
・・・接続端子部、22・・・ポリイミド樹脂。
代理人 弁理士 平 木 祐 輔
第1図
1:金属配線
第2図
4:LSIデツプ 7:金属配線
第3図FIG. 1 is a sectional view showing an example of a display panel according to the present invention;
FIG. 2 is a perspective view showing an example of a conventional display panel, FIG. 3 is a sectional view taken along line AA' in FIG. 2, and FIGS. 4a and 4b are photographs showing problems of the conventional display panel. 1.2...Glass substrate, 3...Sealing agent, 4...L
SI chip, 5...Solder, 6,7...Metal wiring,
8... Coating resin, 9... Terminal part of LSr chip, 10... Liquid crystal layer, 11... Liquid crystal display part, 1
2.15... Lower layer Cr, 16=Cu, 14.17-.
・Upper layer Cr, 18.19...Transparent electrode, 20, 2/L
... Connection terminal part, 22... Polyimide resin. Agent Patent Attorney Yusuke Hiraki Figure 1 1: Metal wiring Figure 2 4: LSI depth 7: Metal wiring Figure 3
Claims (1)
し、この配線基板に表示素子駆動用の電子回路素子を搭
載した表示パネルにおいて、上記配線基板の電極配線及
び電子回路素子に対する接続端子部分に、有機樹脂より
成り、真空中で熱処理することにより、ピンホールが少
なく、基板との密着性が良好でかつ、ステップカバレッ
ジ性の優れた被膜を形成したことを特徴とする液晶表示
パネル。 2、上記有機樹脂がポリイミド系樹脂であることを特徴
とする特許請求の範囲第1項記載の液晶表示パネル。 3、上記有機樹脂が感光性ポリイミド系樹脂であること
を特徴とする特許請求の範囲第1項記載の液晶表示パネ
ル。 4、上記ポリイミド系樹脂の膜厚を少なくとも、電極配
線の膜厚と同等かあるいはそれ以上に形成したことを特
徴とする特許請求の範囲第2項記載の液晶表示パネル。[Scope of Claims] 1. In a display panel in which one of the electrode substrates of a display element is expanded to form a wiring board, and electronic circuit elements for driving the display element are mounted on this wiring board, the electrode wiring and electronic circuit elements of the wiring board are mounted. The connection terminals for the circuit elements are made of organic resin and heat treated in vacuum to form a coating with few pinholes, good adhesion to the substrate, and excellent step coverage. LCD display panel. 2. The liquid crystal display panel according to claim 1, wherein the organic resin is a polyimide resin. 3. The liquid crystal display panel according to claim 1, wherein the organic resin is a photosensitive polyimide resin. 4. The liquid crystal display panel according to claim 2, wherein the polyimide resin has a thickness that is at least equal to or greater than the thickness of the electrode wiring.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11957886A JPS62276581A (en) | 1986-05-24 | 1986-05-24 | Liquid crystal display panel |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11957886A JPS62276581A (en) | 1986-05-24 | 1986-05-24 | Liquid crystal display panel |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62276581A true JPS62276581A (en) | 1987-12-01 |
JPH0442676B2 JPH0442676B2 (en) | 1992-07-14 |
Family
ID=14764817
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11957886A Granted JPS62276581A (en) | 1986-05-24 | 1986-05-24 | Liquid crystal display panel |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62276581A (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04132258A (en) * | 1990-09-25 | 1992-05-06 | Nec Corp | Connecting body for semiconductor substrate and its connection |
-
1986
- 1986-05-24 JP JP11957886A patent/JPS62276581A/en active Granted
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04132258A (en) * | 1990-09-25 | 1992-05-06 | Nec Corp | Connecting body for semiconductor substrate and its connection |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0442676B2 (en) | 1992-07-14 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
EXPY | Cancellation because of completion of term |