JPS6227610A - Detecting method of absolute position - Google Patents
Detecting method of absolute positionInfo
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- JPS6227610A JPS6227610A JP16804385A JP16804385A JPS6227610A JP S6227610 A JPS6227610 A JP S6227610A JP 16804385 A JP16804385 A JP 16804385A JP 16804385 A JP16804385 A JP 16804385A JP S6227610 A JPS6227610 A JP S6227610A
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、位相変調方式または振幅変調方式の゛ノ′ブ
ソリュート位置検出器により検出されたデー夕を位置変
換器により位置データに変換した後、この位置データか
らアブソリュート位置を求める際、温度変化による位相
推移または振幅変動による誤差を補正して、正確なアブ
ソリュート位置を求めるアブソリュート位置の検出方法
に関し、例えば工作機械等におけるテーブルのアブソリ
ュート位置の検出に利用できる。[Detailed Description of the Invention] [Field of Industrial Application] The present invention is directed to converting data detected by a phase modulation type or amplitude modulation type absolute position detector into position data by a position converter. , when determining the absolute position from this position data, correct the error due to phase shift or amplitude fluctuation due to temperature change, and obtain the accurate absolute position. Available for
−mに、レゾルバ、インダントシン、マグネスケール等
の位相遷移(変調)方式または振幅変調方式によるアブ
ソリュート位置検出器から得られる位置データは、アブ
ソリュート位置検出器や位置変換器等の温度上昇により
、位相推移および振幅変動を起す。-m, position data obtained from an absolute position detector using a phase transition (modulation) method or an amplitude modulation method such as a resolver, indantosin, or magnescale may undergo a phase shift due to temperature rise of the absolute position detector or position converter. and amplitude fluctuations.
また、NC装置等に使用した場合、送り軸および切削軸
等の動力伝達系の温度上昇により、機械軸上に熱変位が
生じ、見掛上位相推移および振幅変動を起すことになる
。Furthermore, when used in an NC device or the like, thermal displacement occurs on the machine shafts due to temperature rise in power transmission systems such as feed shafts and cutting shafts, causing apparent phase shifts and amplitude fluctuations.
このため、得られた位置データを基にアブソリュート位
置を算出する際、これらの温度変化に応じて誤差が生じ
てしまう問題があった。Therefore, when calculating the absolute position based on the obtained position data, there is a problem in that errors occur depending on these temperature changes.
本発明の目的は、これらの温度上昇により生じる誤差を
補正し、より正確なアブソリュート位置を検出する方法
を提供することにある。An object of the present invention is to provide a method for correcting errors caused by these temperature increases and detecting a more accurate absolute position.
〔問題点を解決するための手段および作用〕そのため、
本発明では、アブソリュート位置検出器、NC装置等の
送り軸および切削軸等の動力伝達系の温度変化に対して
は線形補正を、位置変換器の温度変化に対しては非線形
補正を、それぞれ行うことにより、正確なアブソリュー
ト位置を検知しようとするものである。[Means and actions for solving problems] Therefore,
In the present invention, linear correction is performed for temperature changes in the power transmission system such as absolute position detectors, feed shafts of NC devices, cutting shafts, etc., and nonlinear correction is performed for temperature changes of the position converter. By doing so, the aim is to detect accurate absolute position.
具体的には、被駆動部材を動力伝達系を介して移動させ
る駆動源の位置をアブソリュート位置検出器で検出した
後、このデータを位置変換器により位置データに変換し
、この位置データから被駆動部材のアブソリュート位置
を算出するアブソリュート位置の検出方法において、前
記位置変換器によって得られた位置データまたはこの位
置データから算出されたアブソリュート位置を、前記ア
ブソリュート位置検出器、位置変換器および動力伝達系
の少なくとも1つ以上の温度変化に応じて補正すること
を特徴としいてる。Specifically, after the position of the drive source that moves the driven member via the power transmission system is detected by an absolute position detector, this data is converted to position data by a position converter, and the position of the driven member is determined from this position data. In the absolute position detection method for calculating the absolute position of a member, the position data obtained by the position converter or the absolute position calculated from this position data is detected by the absolute position detector, the position converter, and the power transmission system. It is characterized in that it is corrected in response to at least one temperature change.
第1図は本発明をNG工作機械のテーブルの位置制御に
応用した一実施例を示している。同図において、駆動源
としてのモータ50の出力軸58には、その一端側に被
駆動部材としてのテーブル51をX軸方向へ進退させる
動力伝達系としてのボールねじ59が連結されていると
ともに、他端側に位相形のアブソリュート位置検出器5
4が連結されている。FIG. 1 shows an embodiment in which the present invention is applied to position control of a table of an NG machine tool. In the figure, a ball screw 59 as a power transmission system for moving a table 51 as a driven member forward and backward in the X-axis direction is connected to one end of an output shaft 58 of a motor 50 as a drive source. Phase type absolute position detector 5 on the other end side
4 are connected.
アブソリュート位置検出器54には、その−次側励磁巻
線に対し励磁電流を供給するための電線55がドライバ
回路52から接続されている。一方、アブソリュート位
置検出器54からの二次側出力は、電線56をi!lじ
て位置変換器53ヘフイードバンクされている。フィー
ドバンク信号P^は、位置変換器53で位置データに変
換された後、ライン64を介して中央処理装置(以下、
CPUという。)57へ送られる。An electric wire 55 is connected to the absolute position detector 54 from the driver circuit 52 for supplying excitation current to its negative excitation winding. On the other hand, the secondary output from the absolute position detector 54 connects the electric wire 56 to i! A feed bank is also provided to the position transducer 53. The feed bank signal P^ is converted into position data by the position converter 53, and then sent to the central processing unit (hereinafter referred to as
It is called CPU. )57.
また、アブソリュート位置検出器54、位置変換器53
、ボールねじ59のそれぞれに対し!ffセy+60.
61.62が取付けられている。温度センサ60からの
信号θdは電線60Aを通じて、また温度センサ61か
らの信号θCは電線61Aを通じて、更に温度センサ6
2からの信号θbは電線62Aを通して、それぞれA/
D変換器63に供給されている。A/D変換器63に供
給された信号θd、θC1θbは、そこで温度データに
それぞれ変換された後、前記と同様にライン64を介し
てCPU57に送られる。In addition, an absolute position detector 54 and a position converter 53
, for each of the ball screws 59! ffsey+60.
61.62 are installed. The signal θd from the temperature sensor 60 is sent through the electric wire 60A, and the signal θC from the temperature sensor 61 is sent through the electric wire 61A to the temperature sensor 6.
The signal θb from 2 is passed through the electric wire 62A to A/2, respectively.
The signal is supplied to a D converter 63. The signals θd and θC1θb supplied to the A/D converter 63 are each converted into temperature data, and then sent to the CPU 57 via the line 64 in the same manner as described above.
CPU57では、得られた位置データおよび温度データ
θd、θC1θbを基に、後述する手順で温度変化Tに
対応する補正を行い、正確なアブソリュート位置を算出
する。Based on the obtained position data and temperature data θd, θC1θb, the CPU 57 performs a correction corresponding to the temperature change T in a procedure described later, and calculates an accurate absolute position.
温度=25℃(常温)のとき
第1図において、各温度センサ60.61.62で検出
される温度Tが25℃(常温)となっているとき、テー
ブル51をX方向に移動させるために、モータ50をθ
。度回転させたものを第2図に示す。When temperature = 25°C (normal temperature) In Fig. 1, when the temperature T detected by each temperature sensor 60, 61, 62 is 25°C (normal temperature), in order to move the table 51 in the X direction , the motor 50 is θ
. Fig. 2 shows the image rotated by a degree.
第2図において、アブソリュート位置検出器54からの
フィードバック信号PAは、位置変換器53により位置
データP、(θ)に変換される。In FIG. 2, a feedback signal PA from an absolute position detector 54 is converted into position data P, (θ) by a position converter 53.
例えば、モータ50がθ。度回転したときに得られる位
置データはα。で表される。また、CPU57において
、得られた位置データPA(θ)を基にアブソリュート
位置Xが算出される。例えば、モータ50がθ。度回転
したときに得られるアブソリュート位置はXoとして算
出される。ただし、ここでは温度T=25℃を基準温度
とするため、位置データに対する位相推移は無しとし、
位置データPA(θ)はフィードバック信号PAに対し
線形に変化する2000進カウントのデジタル量とする
。For example, the motor 50 is θ. The position data obtained when rotated is α. It is expressed as Furthermore, the CPU 57 calculates the absolute position X based on the obtained position data PA(θ). For example, the motor 50 is θ. The absolute position obtained when rotated by degrees is calculated as Xo. However, since the temperature T = 25°C is used as the reference temperature here, there is no phase shift with respect to the position data.
The position data PA(θ) is assumed to be a digital quantity of 2000 base counts that changes linearly with respect to the feedback signal PA.
゛星r#T≠25℃のとき
第1図において、アブソリュート位置検出器54、位置
変換器53およびボールねじ59の温度Tが上昇し、フ
ィードバンク信号PAが位相推移を起すような場合、面
頂と同様にテーブル5IをX方向に移動させるために、
モータ50をθ。度回転させると、得られる位置データ
Pa(θ)およびアブソリュート位置Xはそれぞれα。゛When T≠25°C In Fig. 1, if the temperature T of the absolute position detector 54, position transducer 53, and ball screw 59 increases and the feed bank signal PA causes a phase shift, the surface In order to move the table 5I in the X direction in the same way as the top,
motor 50 at θ. When rotated by degrees, the obtained position data Pa(θ) and absolute position X are respectively α.
+XOに一致しなくなる。+XO no longer matches.
これは、第3図に示すように、温度T≠25℃のとき、
モータ50の回転角が0点にあたる位置で位置データP
a ’(θ)がε (≠O)となるためである。As shown in Figure 3, when the temperature T≠25℃,
Position data P at the position where the rotation angle of the motor 50 is 0 point
This is because a'(θ) becomes ε (≠O).
従って、モータ50の回転角が0点にあたる位置での位
置データCに対応するアブソリュート位置Xのオフセッ
ト量δを求め、このオフセットaδでアブソリュート位
置Xを補正すれば、正しいXoを算出することができる
。Therefore, by finding the offset amount δ of the absolute position X corresponding to the position data C at the position where the rotation angle of the motor 50 is 0 point, and correcting the absolute position .
次項では、この補正方法を示し、アブソリュート位置X
0の算出を行う
’e4jLM正によるアブソリュート立Wのγ庁フィー
ドバンク信号θd、θC1θbのうち、温度センサ60
,62からのフィードバック信号θd、θbは、温度T
の変化に従って、θd 、 θb cc T
となり、線形動作を示す。ところで、A/D変換器63
によりθd、θbば、第4図(A) (B’)に示す
ように、それぞれ線形な位相推移量θd(T)、θb
(T)に対応するため、θd (T) 、 θb(T
)CcTθd (T) =D (T−25)
θb (T) =B (T−25) ・・・・・・(
1)となり、定数り、Bを用いて線形に温度変化(T−
25)に対する位相推移量を求めることができる。In the next section, we will show this correction method and calculate the absolute position
Of the γ agency feed bank signals θd and θC1θb of the absolute rising W based on 'e4jLM positive, which calculates 0, the temperature sensor 60
, 62, the feedback signals θd, θb from the temperature T
According to the change of θd and θb cc T , indicating linear operation. By the way, the A/D converter 63
As shown in Figure 4 (A) and (B'), the linear phase shifts θd(T) and θb are obtained by
(T), θd (T), θb(T
) CcTθd (T) = D (T-25) θb (T) = B (T-25) ・・・・・・(
1), and using the constant R and B, linear temperature change (T-
25) can be obtained.
また、温度センサ61からのフィードバック信号θCは
、温度Tの変化に従って非線形に動作するため、第5図
に示すような微小温度区間に対する離散的な位相推移量
、cc (Ti)を対応させ、(1)式と同様に、
cc(T)=θc (Ti) −−(2)と置くこ
とで、位置変換器53の温度変化に対する位相推移量を
求めることができる。Furthermore, since the feedback signal θC from the temperature sensor 61 operates nonlinearly according to changes in the temperature T, a discrete phase shift amount, cc (Ti), is made to correspond to a minute temperature section as shown in FIG. Similarly to equation 1), by setting cc(T)=θc(Ti) --(2), the amount of phase shift with respect to temperature change of the position converter 53 can be determined.
以上から、(1)弐および(2)式より温度T≠25℃
のとき、0点にあたる位置データPA(θ)=εは、
ε=θd (T)+θb (T)+θc (T)=D
(T−25) +B (T−25)+θc (Ti)
・・・・・・(3)で表される。From the above, from equations (1) 2 and (2), temperature T≠25℃
When , the position data PA (θ) = ε corresponding to the 0 point is ε = θd (T) + θb (T) + θc (T) = D
(T-25) +B (T-25)+θc (Ti)
......It is represented by (3).
更に、このεに対するアブソリュート位置のオフセソ)
Iδに関しては、線形に変動するため、δ0り ε
、゛、 δ=C(D (T−25)+B (T−25
)+θc(Ti))
=Co (T 25) +Cs (T 25)+C
θc(Ti) ・・・・・・(4)(ただし、
Co−C−DSCa=C−B)となり、位置データεに
対するオフセットIδを求めることができる。Furthermore, the offset of the absolute position for this ε)
As for Iδ, it fluctuates linearly, so δ0 ε ,゛, δ=C(D (T-25)+B (T-25
)+θc(Ti)) =Co (T 25) +Cs (T 25)+C
θc(Ti) ・・・・・・(4) (However,
Co-C-DSCa=C-B), and the offset Iδ for the position data ε can be obtained.
以上のことから、このオフセット量δにより得られたア
ブソリュート位置X1を補正し、実際のアブソリュート
位ffX。を算出すると、次式のようになる。From the above, the absolute position X1 obtained by this offset amount δ is corrected to obtain the actual absolute position ffX. The calculation results in the following formula.
X o ” X l−δ
=X、−Co(T 〜 25 )
−C++ (T−25) −Cθc(Ti)・・・
・・・ (5)
即ち、比例定数Cゎ=検出器の単位温度当たりの移動量
、C8−ボールねじの単位温度当たりの移動量、C・θ
c (Ti )−位置変換器の各温度Ti 時における
移動量を予め求めておき、温度T(およびTi )をパ
ラメータとして、CPU57でオフセット量δを求め、
アブソリュート位置Xに対してこのオフセソ)Iδを補
正すれば、実際のアブソリュート位置を算出することが
できる。X o ”
... (5) That is, proportionality constant Cゎ = amount of movement per unit temperature of the detector, C8 - amount of movement per unit temperature of the ball screw, C・θ
c (Ti) - The amount of movement of the position transducer at each temperature Ti is determined in advance, and the offset amount δ is determined by the CPU 57 using the temperature T (and Ti) as a parameter.
By correcting this offset Iδ with respect to the absolute position X, the actual absolute position can be calculated.
以上の説明中、第1図において、動力伝達系としてボー
ルねじ59を使用したが、動力伝達系としては、モータ
50からの回転によって被駆動部材を駆動させ得るもの
であれば、いずれでもよい。In the above description, the ball screw 59 is used as the power transmission system in FIG. 1, but any system may be used as the power transmission system as long as the driven member can be driven by rotation from the motor 50.
また、アブソリュート位置検出器としては、上記実施例
で述べた回転形に限定されるものではなく、直線形のア
ブソリュート位置検出器でもよい。Further, the absolute position detector is not limited to the rotary type described in the above embodiment, but may be a linear type absolute position detector.
更に、位相変調形のアブソリュート位置検出器に限らず
、振幅変調形のアブソリュ−1・位置検出器を用いても
よい。Furthermore, not only the phase modulation type absolute position detector but also an amplitude modulation type absolute 1 position detector may be used.
また、上記実施例では、アブソリュート位置X1をオフ
セット呈δで補正して、実際のアブソリュート位置X0
を算出した。しかし、本発明では、位置データPA (
θ)を(3)式で求められたεで補正して実際の位置デ
ータを求めた後、この補正後の位置データからアブソリ
ュート位置を求めるようにしても、同様な効果が期待で
きる。In addition, in the above embodiment, the absolute position X1 is corrected by the offset δ, and the actual absolute position
was calculated. However, in the present invention, the position data PA (
A similar effect can be expected by correcting θ) with ε obtained by equation (3) to obtain actual position data, and then obtaining the absolute position from the corrected position data.
また、(4)式において、温度Tを連続的に変化するも
のとしてオフセット量を求める項があった。しかし、本
発明では、全て離散的に温度T1におけるオフセット量
δiを求め、
δi= Co (Ti −25)
+ Cg (Ti−25)
+C・θC(Ti)
(ただし、i=1.2,3.・・・、N)となるオフセ
ット量をN個パラメータとして用意しておくのもよい。Furthermore, in equation (4), there was a term for calculating the offset amount assuming that the temperature T changes continuously. However, in the present invention, the offset amount δi at the temperature T1 is calculated all discretely, and δi=Co (Ti -25) + Cg (Ti-25) +C・θC(Ti) (However, i=1.2, 3 . . , N) may be prepared as N parameters.
以上の通り、本発明によれば、温度変化によって生しる
誤差を補正し、より正確なアブソリュート位置の検出が
可能な検出方法を提供することができる。As described above, according to the present invention, it is possible to provide a detection method capable of correcting errors caused by temperature changes and detecting a more accurate absolute position.
第1図は本発明の方法によりアブソリュート位置を検知
するとき温度変化Tに対する補正を実施する場合の回路
構成を説明する図、第2図は第1図の装置により温度T
=25℃として取り得る位置データおよびアブソリュー
ト位置を説明する波形図、第3図は第1図の装置により
温度T≠25℃(任意温度)として取り得る位置データ
およびアブソリュート位置から温度補正をするための波
形図、第4図は第1図の装置において検出器およびボー
ルねじの温度センサから得られる信号に対し位相推移量
を示す波形図、第5図は第1図の装置において位置変換
器の温度センサから得られる温度に対し離散的位相推移
量を示す波形図である。
50・・・駆動源としてのモータ、51・・・被駆動部
材としてのテーブル、52・・・ドライバ回路、53・
・・位置変換器、54・・・アブソリュート位置検出器
、57・・・CPU、59・・・動力伝達系としてのボ
ールねし、63・・・A/D変換器。FIG. 1 is a diagram illustrating a circuit configuration for correcting temperature change T when detecting an absolute position by the method of the present invention, and FIG.
A waveform diagram illustrating the position data and absolute position that can be taken as = 25°C, Figure 3 is for temperature correction from the position data and absolute position that can be taken as temperature T≠25°C (arbitrary temperature) using the device in Figure 1. 4 is a waveform diagram showing the amount of phase shift for the signal obtained from the detector and the temperature sensor of the ball screw in the device of FIG. 1, and FIG. 5 is a waveform diagram of the position transducer in the device of FIG. FIG. 3 is a waveform diagram showing a discrete phase shift amount with respect to temperature obtained from a temperature sensor. 50... Motor as a driving source, 51... Table as a driven member, 52... Driver circuit, 53...
...Position converter, 54...Absolute position detector, 57...CPU, 59...Ball screw as a power transmission system, 63...A/D converter.
Claims (5)
源の位置をアブソリュート位置検出器で検出した後、こ
のデータを位置変換器により位置データに変換し、この
位置データから被駆動部材のアブソリュート位置を算出
するアブソリュート位置の検出方法において、前記位置
変換器によって得られた位置データまたはこの位置デー
タから算出されたアブソリュート位置を、前記アブソリ
ュート位置検出器、位置変換器および動力伝達系の少な
くとも1つ以上の温度変化に応じて補正することを特徴
とするアブソリュート位置の検出方法。(1) After detecting the position of the drive source that moves the driven member via the power transmission system with an absolute position detector, this data is converted to position data by a position converter, and from this position data, the position of the drive source that moves the driven member via the power transmission system is detected. In the absolute position detection method of calculating the absolute position, position data obtained by the position converter or the absolute position calculated from this position data is detected by at least one of the absolute position detector, the position converter, and the power transmission system. An absolute position detection method characterized by making corrections according to two or more temperature changes.
によって得られた位置データからアブソリュート位置を
算出した後、そのアブソリュート位置を前記温度変化に
応じて補正することを特徴とするアブソリュート位置の
検出方法。(2) In claim 1, the absolute position is characterized in that after calculating the absolute position from the position data obtained by the position converter, the absolute position is corrected according to the temperature change. Detection method.
によって得られた位置データを前記温度変化に応じて補
正した後、その補正された値からアブソリュート位置を
算出すること特徴とするアブソリュート位置の検出方法
。(3) The absolute position according to claim 1, wherein the position data obtained by the position converter is corrected according to the temperature change, and then the absolute position is calculated from the corrected value. Detection method.
おいて、前記位置データまたはアブソリュート位置を、
前記アブソリュート位置検出器および動力伝達系の少な
くとも1つ以上の温度変化に応じて連続線形または離散
線形に補正することを特徴とするアブソリュート位置の
検出方法。(4) In any one of claims 1 to 3, the position data or absolute position is
A method for detecting an absolute position, characterized in that correction is performed continuously or discretely in response to temperature changes in at least one of the absolute position detector and the power transmission system.
おいて、前記位置データまたはアブソリュート位置を、
前記位置変換器の温度変化に応じて離散的にかつ非線形
に補正することを特徴とするアブソリュート位置の検出
方法。(5) In any one of claims 1 to 4, the position data or absolute position is
A method for detecting an absolute position, characterized in that correction is performed discretely and non-linearly in accordance with temperature changes of the position converter.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60168043A JP2547395B2 (en) | 1985-07-29 | 1985-07-29 | Absolute position detection method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60168043A JP2547395B2 (en) | 1985-07-29 | 1985-07-29 | Absolute position detection method |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6227610A true JPS6227610A (en) | 1987-02-05 |
JP2547395B2 JP2547395B2 (en) | 1996-10-23 |
Family
ID=15860760
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP60168043A Expired - Lifetime JP2547395B2 (en) | 1985-07-29 | 1985-07-29 | Absolute position detection method |
Country Status (1)
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---|---|
JP (1) | JP2547395B2 (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62278360A (en) * | 1986-05-28 | 1987-12-03 | Hitachi Seiko Ltd | Thermal displacement correcting device for ball screw |
JPH05338693A (en) * | 1992-06-03 | 1993-12-21 | Toshiharu Yagi | Information interchange system capable of delivering of object |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5566706A (en) * | 1978-06-29 | 1980-05-20 | Okuma Mach Works Ltd | Temperature compensating device for positioning in numerical control machine |
JPS55107902A (en) * | 1979-02-09 | 1980-08-19 | Ono Sokki Co Ltd | Method of temperature compensation for displacement meter |
JPS57178105A (en) * | 1981-04-25 | 1982-11-02 | Ono Sokki Co Ltd | Measuring method for pitch between distance pulses in distance measurement |
-
1985
- 1985-07-29 JP JP60168043A patent/JP2547395B2/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5566706A (en) * | 1978-06-29 | 1980-05-20 | Okuma Mach Works Ltd | Temperature compensating device for positioning in numerical control machine |
JPS55107902A (en) * | 1979-02-09 | 1980-08-19 | Ono Sokki Co Ltd | Method of temperature compensation for displacement meter |
JPS57178105A (en) * | 1981-04-25 | 1982-11-02 | Ono Sokki Co Ltd | Measuring method for pitch between distance pulses in distance measurement |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62278360A (en) * | 1986-05-28 | 1987-12-03 | Hitachi Seiko Ltd | Thermal displacement correcting device for ball screw |
JPH05338693A (en) * | 1992-06-03 | 1993-12-21 | Toshiharu Yagi | Information interchange system capable of delivering of object |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2547395B2 (en) | 1996-10-23 |
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