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JPS62275087A - 結晶引上炉の湯漏れ検出装置 - Google Patents

結晶引上炉の湯漏れ検出装置

Info

Publication number
JPS62275087A
JPS62275087A JP11660086A JP11660086A JPS62275087A JP S62275087 A JPS62275087 A JP S62275087A JP 11660086 A JP11660086 A JP 11660086A JP 11660086 A JP11660086 A JP 11660086A JP S62275087 A JPS62275087 A JP S62275087A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
crucible
current value
leakage
crystal pulling
molten metal
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP11660086A
Other languages
English (en)
Inventor
Kunihiko Kitagawa
北川　邦彦
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
KYUSHU DENSHI KINZOKU KK
Original Assignee
KYUSHU DENSHI KINZOKU KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by KYUSHU DENSHI KINZOKU KK filed Critical KYUSHU DENSHI KINZOKU KK
Priority to JP11660086A priority Critical patent/JPS62275087A/ja
Publication of JPS62275087A publication Critical patent/JPS62275087A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Landscapes

  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ３、発明の詳細な説明 〈産業上の利用分野〉 本発明は単結晶等を製造する結晶引上炉の湯漏れ検出装
置に関する。
〈従来技術とその問題点〉 単結晶の製造方法として、例えば石英ルツボ内に溶かさ
れた金属溶湯を種結晶を用いて引上げ生成する方法があ
るが、この単結晶引上げに用いられる結晶引上炉におい
ては、従来その場漏れを即座に検知することができなか
った。すなわち、上記石英ルツボはピンホール等により
破損する場合があり、これにより溶湯が漏出する事故が
発生する場合があるが、従来はこの溶湯の漏出を即座に
検出することができなかったため、漏出した溶湯により
他の装置を大破させたりその他火災などの災害を招く虞
れがあった。
く目的〉 そこで本発明は上記従来技術の欠点を解消し、ルツボか
らの湯漏れがあった場合には即座にこれを検知すること
ができる結晶引上炉の湯漏れ検出装置の提供を目的とす
る。
〈問題点を解決するための手段〉 本発明の結晶引上炉の湯漏れ検出装置は、少なくとも溶
湯を内部に保持する絶縁性のルツボと、該ルツボを所定
の位置に支持する導電性の支持体と、前記溶湯に接する
種結晶を吊持つ導電性の吊持具とを有する結晶引上炉に
おける湯漏れ本食出装置であって、前記支持体と前記吊
持具との間に常時電圧を負荷し、支持体と吊持具との間
に流れる電流若しくは抵抗の変化をとらえて前記ルツボ
がらの）８湯の漏出を検出することを特徴としている。
そしてその実施態様として、検出信号によりルツボの加
熱用電源を切ると共にＶ綴器を作動させることを特徴と
している。
〈作用〉 ルツボが破損して溶湯がルツボがら漏出すると、該漏出
した溶湯により支持体と吊持具間が導電状態となる。よ
って漏出した時点で電流の急激な増加或いは抵抗の急激
な低下が起こり、湯漏れが検出できる。
〈実施例〉 第１図は本発明の実施例を示す結晶引上炉の湯漏れ検出
装置の構成図で、第２図は湯漏れ時における測定電流の
変化を示す図である。
チャンバ１内に保温筒６が設けられ、該保温筒６内に容
器上のヒータ５が配置されている。そして該ヒータ５内
に、カーボン等の導電性材で構成される保護体３によっ
て周囲を保護された石英ルツボ４が配置されている。前
記石英ルツボ４は前記保護体３を介して導電性の支持軸
２で所定の位置に配置される。該支持軸２と前記保護体
３とで前記ルツボ４の支持具を構成することになる。前
記ヒータ５は４軸１１を介してヒータ電源１２に接続さ
れる。１３はブレーカである。一方、前記石英ルツボ４
に対して種結晶８を把持する引上軸７が種結晶８の吊持
具として垂下状態に配設されている。引上軸７によって
種結晶８を溶湯９に接した状態から徐々に引上げてゆき
、単結晶１０を生成する。回転引上げが出来るよう、引
上軸７及び支持軸２はそれ自体も回転できるようにされ
ている。
石英ルツボ４からの湯漏れ検出は、検出用電源１４から
の所定電圧を常時前記支持軸２と引上軸７との間に負荷
することにより行う。支持軸２と引上軸７との間に流れ
る電流は常時電流測定器１５で検出され、その検出信号
がマイクロコンピュータ等による制御装置１６に入力さ
れる。制御装置１６に入力された電流値はあらかじめ設
定された基準電流値Ｉ０と比較され、検出された電流値
が基準電流値１０を越える場合には、警報器１７が作動
され、同時に前記ヒータ電源１２のブレーカ１３が動作
される。また前記電流測定器１５で検出された電流値は
プリンタ１８により第２図の如（記録紙に記録されてい
く。
第２図は実際のデータを示し、通常時は２０ｍＡ程度の
電流を維持しているが、ルツボ４の破損による湯漏れが
発生したときには６３０ｍＡ程度まで電流値が瞬間的に
上昇していることがわかる。よって基準電流値Ｉ０をそ
の間の適当な値に設定することにより、湯漏れ検出信号
を確実に得ることができ、警告やその他の処理を速やか
に行うことができる。なお、上記においては電流測定器
１５を用いたが、代わりに抵抗測定器を用いても同じで
ある。抵抗の変化をもって同様に湯漏れを検出すること
ができる。
く効果〉 本発明は以上の構成よりなり、ルツボ支持体と種結晶の
吊持具との間に常時電圧を負荷し、支持体と吊持具との
間に流れる電流若しくは抵抗の変化をとらえて前記ルツ
ボからの溶湯の漏出を検出するようにしているので、ル
ツボの破損等による湯漏れがあると即座にそれを検出す
ることができる。よって周辺機器の損害や火災等の災害
を確実に防ぐことが可能となる。
【図面の簡単な説明】 第１図は本発明の実施例を示す結晶引上炉の湯漏れ検出
装置の構成図、第２図は湯漏れ時における測定電流の変
化を示す出である。 １：チャンバ　　　　２：支持軸 ３：保護体　　　　　４：石英ルツボ ５：ヒータ　　　　　７：引上軸 ８：種結晶　　　　　９：溶湯 １２：ヒータ電源　　　１３：ブレーカ１４：電流測定
器　　　１６：制御装置１７：警報器

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）少なくとも溶湯を内部に保持する絶縁性のルツボ
    と、該ルツボを所定の位置に支持する導電性の支持体と
    、前記溶湯に接する種結晶を吊持つ導電性の吊持具とを
    有する結晶引上炉における湯漏れ検出装置であって、前
    記支持体と前記吊持具との間に常時電圧を負荷し、支持
    体と吊持具との間に流れる電流若しくは抵抗の変化をと
    らえて前記ルツボからの溶湯の漏出を検出することを特
    徴とする結晶引上炉の湯漏れ検出装置。
  2. （２）漏れ検出信号によりルツボの加熱用電源を切ると
    共に警報器を作動させる特許請求の範囲第１項記載の結
    晶引上炉の湯漏れ検出装置。
JP11660086A 1986-05-21 1986-05-21 結晶引上炉の湯漏れ検出装置 Pending JPS62275087A (ja)

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