JPS62247754A

JPS62247754A - 磁気結合型回転導入装置

Info

Publication number: JPS62247754A
Application number: JP8901486A
Authority: JP
Inventors: Fumiaki Hoshino; 星野　文明
Original assignee: Anelva Corp
Current assignee: Canon Anelva Corp
Priority date: 1986-04-17
Filing date: 1986-04-17
Publication date: 1987-10-28

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）この発明は、例えば、真空室のように密閉した室内に、
外部の回転力を導入する磁気結合型回転導入袋とに関す
る。

（従来の技術）第２．３図に示した従来の回転導入装置は、真空室１の
壁面所要箇所に窓孔２を形成するとともに、この窓孔２
に対応する位置に円筒状の密封容器３を設けている。そ
して、この密封容器３は上記窓孔２を介して真空室ｌと
連通ずるとともに、これら真空室１及び密封容器３のそ
れぞれを気密に維持している。

上記密封容器３の外周には磁石からなる回転体４を回転
自在にかん合しているが、この回転体４の内周には、第
３図に示すように、極性が周方向に交互に表われるよう
にした複数の磁極、例えば４つの磁極４ａ〜４ｄを設け
ている。また、この密封容器３内には回転子５を挿入し
ているが、この回転子５は上記４つの磁極に対応した十
字状部５ａに軸部５ｂを連設するとともに、この軸部５
ｂの先端を真空室ｌ内に臨ませている。そして、この真
空室１内には、例えば、ウェハー等を移送する移送機構
を設けているが、上記軸部５ｂの先端は、この移送機構
の駆動軸に連繋しているしかして、回転体４を、手動で
回転させるかあるいはモータ等の駆動力を利用して回転
させると、この回転体４と磁気結合している回転子５も
一体的に回転する。つまり、真空室１内の気密状態を保
ちながら、その中に外部の回転力を導入することができ
る。

したがって、当該真空室１内に設けた移送機構を、外部
の力を利用して駆動させることができる。

（本発明が解決しようとする問題点）上記のように移送機構を駆動しているとき、この移送機
構の負荷が、回転体４と回転子５の磁気結合力よりも大
きくなると、回転子５が停止したまま回転体４のみが中
回転してしまう。しかしながら、この従来の装置では回
転体４の中回転の有無を外部から判断する手段が−切な
かった。

そのために回転体４が中回転しても、それに気が付かず
、それを放置することが多かったが、この場合にはエネ
ルギーロスが大きくなるだけでなく、次のような問題が
発生した。

例えば、ウェハーを真空室１内の所定箇所に移送してス
パッタリングを行なう場合に、回転体４が中回転して回
転子５が回転しないと、移送機構が駆動しない。そのた
めに、当該ウェハーが一所に留まったり、あるいはそれ
が目的の場所に移送されなかったりする。ウェハーが一
所に留まったままだと、当該ウェハーが必要以上にスパ
ッタリングされ、また、ウェハーが目的の箇所に移送さ
れないと、真空室１の壁面等がスパッタリングされてし
まうので、その壁面が汚れるという問題があった。

この発明の目的は、回転体が中回転しているときに、そ
れを外部から確認できるようにして、上記した問題の発
生を未然に防止できるようにすることである。

（問題点を解決する手段）この発明は、」―記の目的を達成するために、その構成
を次のようにしている。

すなわち、真空室の所定箇所に当該真空室と連通ずる密
封容器を設け、この密封容器に回転子を挿入するととも
に、当該密封容器の外周に、回転体を回転自在にかん合
し、上記回転子あるいは回転体の少なくとも一方を磁石
で構成し、他方を磁性体で構成する一方、所要の駆動源
の駆動力によって、回転体を回転させるとともに、磁気
結合した回転体と回転子とが一体回転する構成にした磁
気結合型回転導入装置おいて、上記密封容器の外周に、
回転体とは別の従動体を回転自在にかん合するとともに
、この従動体が磁気結合した上記回転子と一体回転する
構成にしている。

（本発明の作用）この発明は、上記のように構成したので、回転体が回転
すれば、それと磁気結合している回転子も回転する。こ
のように密封容器内の回転子が回転すると、当該容器の
外周にかん合した従動体も回転するが、何らかの事情で
回転子が停止すると、従動体も停止する。

（本発明の効果）この発明は、密封容器の外周にかん合した従動体が、密
封容器内の回転子と一体になって、回転したり停止した
りするので、当該回転子の回転状況を外部から確認でき
る。したがって、回転子が中回転した場合には、それを
即座に確認でき、中回転によるいろいろな問題の発生を
未然に防止できる。

（本発明の実施例）第１図はこの発明の実施例を示したものであるが、先ず
この実施例の構成を説明する。

第１図の実施例は、その密封容器３の外周に磁石からな
る回転体４をかん合するとともに、この密封容器３内に
回転子５を挿入していること従来と同様である。

ただし、密封容器３の外周に、磁気シールド６を挟んで
従動体７を設けた点が、上記従来と相違する。

上記従動体７は、密封容器３の外周に回転自在にかん合
するとともに、回転体４と全く同様な磁石から成ってい
る。つまり、従動体７の内周には、回転体４と同様に、
極性が周方向に交互に表われるようにした４つの磁極を
設けている。そして、上記磁気シールド６は、密封容器
３の外周に固定するとともに、磁性体から成っている。

このように回転体４と従動体７との間に磁気シールド６
を設けたのは、それら回転体と従動体との磁気作用を遮
断するためである。

次に、この実施例の作用を説明する。

いま、回転体４を前記従来と同様にして回転させると、
これと磁気結合している回転子５も回転するので、真空
室１内に回転体４の回転力が導入され、その中の移送機
構を駆動させる。このとき回転子５と磁気結合している
従動体７も回転子５と一体になって回転する。

上記の状態で、例えば、移送機構の負荷が、回転体４と
回転子５との磁気結合力よりも大きくなると、回転体４
のみが回転して回転子５は停止する。このように回転ｆ
５が停止にすると、それにともなって従動体７も停止す
るので、この従動体７の回転状況を確認していれば、回
転子５が正常に回転しているかどうかを、外部から把握
することができる。また、その回転状況を把握するため
の自動化手段を別に設けてもよい。

なお、上記実施例では、回転体４及び従動体７の両者を
磁石で構成したが、それら両者を磁性体にして回転子５
のみを磁石にしてもよい。

この場合には、回転体４と従動体７とが互いに影響し合
うことがないので、磁気シールド６は、必ずしも必要と
しない。

【図面の簡単な説明】

図面第１図はこの発明の実施例を示す縦断面図、第２．
３図は従来の装置を示すもので、第２図は縦断面図、第
３図は第２図のｍ−ｍ線断面図である。１・・・真空室、３・・・密封容器、４回転体、５回転
子、７・・・従動体。

Claims

【特許請求の範囲】

真空室の所定箇所に当該真空室と連通する密封容器を設
け、この密封容器に回転子を挿入するとともに、当該密
封容器の外周に、回転体を回転自在にかん合し、上記回
転子あるいは回転体の少なくとも一方を磁石で構成し、
他方を磁性体で構成する一方、所要の駆動源の駆動力に
よって、回転体を回転させるとともに、磁気結合した回
転体と回転子とが一体回転する構成にした磁気結合型回
転導入装置おいて、上記密封容器の外周に、回転体とは
別の従動体を回転自在にかん合するとともに、この従動
体が、磁気結合した上記回転子と一体回転する構成にし
た磁気結合型回転導入装置。