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JPS62182725A - Production of electrochromic display element with lead terminal - Google Patents

Production of electrochromic display element with lead terminal

Info

Publication number
JPS62182725A
JPS62182725A JP2506386A JP2506386A JPS62182725A JP S62182725 A JPS62182725 A JP S62182725A JP 2506386 A JP2506386 A JP 2506386A JP 2506386 A JP2506386 A JP 2506386A JP S62182725 A JPS62182725 A JP S62182725A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
display electrode
electrode substrate
display
transparent conductive
conductive film
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2506386A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kenichi Yokoyama
賢一 横山
Kimitaka Koseki
小関 公崇
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Maxell Ltd
Original Assignee
Hitachi Maxell Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Maxell Ltd filed Critical Hitachi Maxell Ltd
Priority to JP2506386A priority Critical patent/JPS62182725A/en
Publication of JPS62182725A publication Critical patent/JPS62182725A/en
Pending legal-status Critical Current

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  • Electrochromic Elements, Electrophoresis, Or Variable Reflection Or Absorption Elements (AREA)

Abstract

PURPOSE:To obtain a sharp display having a high coloring density by forming a metallic plating layer on the transparent conductive film in the lead terminal attaching part of a display electrode substrate without staining the content in an electrochromic display element in the stage of the parts of said element. CONSTITUTION:A protective film 8 consisting of an SiO2 film is formed by forming the transparent conductive film 1b consisting of ITO on a transparent glass substrate 1a, patterning the same to form the display electrode substrate 1 and masking 31 the peripheral edge thereof. After the mask 31 is removed, a photoresist film 32 is formed on a protective film 8 and a mask 33 consisting of a self-adhesive tape is disposed thereto; thereafter, a plating layer 5 is formed on the transparent conductive film 1b in the peripheral edge part of the display electrode substrate 1. Since plating is executed in the stage before the formation of the electrochromic material layer 7 on the display electrode substrate 1, the staining of the electrochromic material by a plating bath and resist film is obviated.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はリード端子付きエレクトロクロミック表示素子
の製造方法に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a method for manufacturing an electrochromic display element with lead terminals.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

エレクトロクロミック表示素子の表示極のエレク1−ロ
クロミノク物質に発色反応を起こさせるには、外部の駆
動用電源からエレクトロクロミック表示素子に電気を供
給する必要がある。
In order to cause a coloring reaction in the electrochromic substance of the display electrode of the electrochromic display element, it is necessary to supply electricity to the electrochromic display element from an external driving power source.

この駆動用電源とエレクトロクロミック表示素子との接
続は、一般にリード端子を表示極基板に取り付けること
によって行われている。
The driving power source and the electrochromic display element are generally connected by attaching lead terminals to the display electrode substrate.

そして、表示極基板への表示極側へのリード端子の取り
付けは、第9図に示すように、リード端子の挟持部4a
の上片4alと下片4a2の間に表示極基板1の端部を
入れ、該映t、lr部4aの上片4a1とT片4a2の
復元力によって表示極基板1の端部を挟み込むことによ
り行い、さらに導電ペースト(図示せず)を塗布してリ
ード端子4と表示極基板1との隙間を埋め、その上から
硬化型の液状用(1)@(図示せず)を塗布し、該樹脂
の硬化によりリード端子4を表示極基板1に固定するよ
うにしていた(例えば実開昭60−124090号)。
The lead terminals are attached to the display electrode side of the display electrode substrate by attaching the lead terminals to the holding portions 4a as shown in FIG.
The end of the display electrode substrate 1 is inserted between the upper piece 4al and the lower piece 4a2, and the end of the display electrode substrate 1 is sandwiched by the restoring force of the upper piece 4a1 and the T piece 4a2 of the reflection section 4a. Then, conductive paste (not shown) is applied to fill the gap between the lead terminals 4 and the display electrode substrate 1, and a hardening liquid type (1) @ (not shown) is applied on top of the conductive paste (not shown). The lead terminals 4 were fixed to the display electrode substrate 1 by curing the resin (for example, see Utility Model Application No. 124090/1983).

〔発明が解決しようとする問題点〕[Problem that the invention seeks to solve]

しかしながら、上記のようにリード端子4の挟持部4a
で直接表示極基板1の端部を挟み込む場合、リード端子
4とエレクトロクロミ、り表示素子との電気的接続は、
リード端子4の挾持部4aと表示極基板1の透明導電膜
1b、つまりITO(インジウム錫酸化物)膜、錫酸化
物膜などの金属酸化物膜との接触によって行われるため
、接触抵抗が大きく、そのためエレクトロクロミック物
質への注入電気量が少なくなり、エレクトロクロミック
物質の発色が少なくなって、鮮明な表示が得られないと
いう問題があった。
However, as described above, the holding portion 4a of the lead terminal 4
When the ends of the display electrode substrate 1 are directly sandwiched between the electrodes, the electrical connection between the lead terminals 4 and the electrochromic display element is as follows.
The contact resistance is large because contact is made between the holding part 4a of the lead terminal 4 and the transparent conductive film 1b of the display electrode substrate 1, that is, a metal oxide film such as an ITO (indium tin oxide) film or a tin oxide film. Therefore, there was a problem in that the amount of electricity injected into the electrochromic material was reduced, and the color development of the electrochromic material was reduced, making it impossible to obtain a clear display.

そこで、表示)あ基板1のリード端子取付部の透明導電
膜lb上に金属メッキ層を設け、該金)ヱメノキ眉とリ
ード端子4とを接触させることにより、リード端子4と
表示極基板1との接触抵抗を低減することが考えられる
Therefore, by providing a metal plating layer on the transparent conductive film lb of the lead terminal attachment part of the display electrode board 1 and bringing the lead terminal 4 into contact with the lead terminal 4, the lead terminal 4 and the display electrode board 1 are connected. It is possible to reduce the contact resistance of

ところで、上記のように表示極基板1のリード端子取付
部の透明導電膜lb上に金属メッキ層を設けるにあたっ
ては、種々の方法が考えられるが、このエレクトロクロ
ミック表示素子という特定の構造を有するものに対して
、他の分野で従来から採用されている考え方にしたがっ
てメッキを実施した場合には品質面での問題発生や、あ
るいは能率面での問題発生があり、必ずしも良好な結果
が得られないという問題がある。
By the way, various methods can be considered for providing a metal plating layer on the transparent conductive film lb at the lead terminal attachment portion of the display electrode substrate 1 as described above, but there are several methods that can be used for the electrochromic display element, which has a specific structure. On the other hand, if plating is carried out according to the concept traditionally adopted in other fields, problems may occur in terms of quality or efficiency, and good results may not necessarily be obtained. There is a problem.

例えば、表示極の作製後にメッキしようとすると、エレ
クトロクロミンク物質などの素子内容物がメッキ浴によ
って損傷を受けるのを防止するために、少なくともエレ
クトロクロミック物質層にはレジスト膜を形成しなけれ
ばならず、その結果、エレクトロクロミック物質がレジ
スト膜によって部分的に汚染され、発色時に縞状の非発
色部分が現れて表示品位が低下するなどの問題がある。
For example, when plating is attempted after the display electrode is fabricated, a resist film must be formed on at least the electrochromic material layer to prevent element contents such as electrochromic material from being damaged by the plating bath. First, as a result, the electrochromic material is partially contaminated by the resist film, causing striped non-coloring areas to appear during coloring, resulting in a reduction in display quality.

また、エレクトロクロミック表示素子の組立後にその表
示極基板のリード端子取付部にメッキする場合は、エレ
クトロクロミック物質などの素子内容物を汚染しないな
ど、それなりの効果があるものの、不要な部分にまでメ
ッキされたり、汚染されるおそれがあり、そのため、前
述のような問題があるにせよ、部品段階でメッキして、
表示極基板のリード端子取付部の透明導電膜上に金泥メ
ッキ屓を形成したいという要請がある。
In addition, when plating the lead terminal attachment part of the display electrode board after assembling an electrochromic display element, although it has certain effects such as not contaminating the element contents such as electrochromic substances, plating may cover unnecessary parts. Therefore, regardless of the above-mentioned problems, plating at the component stage,
There is a request to form a gold mud plating layer on the transparent conductive film of the lead terminal mounting portion of the display electrode substrate.

〔問題点を解決するための手段〕[Means for solving problems]

本発明は、そのような事情に篤み、エレクトロクロミッ
ク表示素子の部品rSt階で、かつエレクトロクロミン
ク物質を汚Inすることなく、表示極基板のリード端子
取付部の透明導電膜上に金属メッキする方法を見出すべ
く種々研究を重ねた結果、表示極の作製段階でメッキを
行う場合には、上述の目的が容易に達成されることを見
出し、本発明を完成するにいたった。
In view of these circumstances, the present invention provides metal plating on the transparent conductive film of the lead terminal mounting portion of the display electrode substrate at the component level of the electrochromic display element and without contaminating the electrochromic material. As a result of various studies conducted to find a method to do this, it was discovered that the above-mentioned object can be easily achieved when plating is performed at the stage of manufacturing the display electrode, and the present invention has been completed.

すなわら、表示極基板の周縁部を除いて表示極基板に二
酸化ケイ素(S i 02 )などの1明導電膜保護用
の保護膜を形成し、上記保護膜上にフォトレジスト膜を
形成し、該フォトレジスト膜上をマスクで覆ったのち、
表示極基板の周縁部の少なくとも表示極側のリード端子
取付部の透明導電膜上に金属メッキし、マスク除去後、
常法に準して表示極を作製するときは、部品段階でかつ
エレクトロクロミック物質を汚損することなく、表示極
基板の少なくとも表示極側のリード端子取付部の透明導
電膜上に金属メッキ層を形成することができ、それによ
ってリード端子と表示極基板との接触抵抗の低減をはか
ることができたのである。
That is, a protective film for protecting a transparent conductive film such as silicon dioxide (S i 02 ) is formed on the display electrode substrate except for the peripheral edge of the display electrode substrate, and a photoresist film is formed on the protective film. , after covering the photoresist film with a mask,
Metal plating is applied to the transparent conductive film at least on the lead terminal mounting area on the display electrode side of the peripheral edge of the display electrode substrate, and after removing the mask,
When manufacturing a display electrode according to a conventional method, a metal plating layer is coated on the transparent conductive film at least at the lead terminal attachment part on the display electrode side of the display electrode substrate at the component stage and without contaminating the electrochromic substance. This made it possible to reduce the contact resistance between the lead terminals and the display electrode substrate.

」二元表示極ハ扱のリード端子取付部の透明導電膜−L
へのメッキは、電気メッキ、化学メッキのいずれも採用
することができる。そしてメッキ金属としては、例えば
ニッケル、錫、金、半田(鉛−錫系合金など)などが採
用される。また、リード端子の構成金属との適合性など
の関係から、透明導電膜上に例えばニッケルメッキを施
した後、さらに金ノノキを施すなど、メッキ層を2層以
上の複層構造にしてもよい。
” Transparent conductive film on the lead terminal attachment part of the dual display pole -L
Both electroplating and chemical plating can be used for plating. As the plating metal, for example, nickel, tin, gold, solder (lead-tin alloy, etc.) is used. In addition, due to compatibility with the constituent metals of the lead terminal, the plating layer may have a multilayer structure of two or more layers, for example, by applying nickel plating on the transparent conductive film and then applying gold sawdust. .

表示極基板の透明基1反としては、例えば透明ガラス板
、あるいはポリエステル、ポリサルフオンなどの透明プ
ラスチック坂が用いられる。また、透明導電膜の形成前
に透明ガラス板上に二酸化ケイ素のアンダーコートを施
しておいてもよい。透明導電膜としては、例えばITO
(インジウム鉗酸化物)、錫酸化物などの導電性透明金
属酸化物膜が用いられる。また、上記透明導電膜の保護
膜としては、tillえば二酸化ケイ素(S i 02
 )膜、フッ化マグネシウム(MgF2)膜などが用い
られ、フォトレジスト膜には、例えばフェノールノボラ
ック樹脂などが用いられる。
As the transparent substrate of the display electrode substrate, for example, a transparent glass plate or a transparent plastic plate made of polyester, polysulfon, etc. is used. Furthermore, an undercoat of silicon dioxide may be applied to the transparent glass plate before forming the transparent conductive film. As the transparent conductive film, for example, ITO
A conductive transparent metal oxide film such as (indium oxide) or tin oxide is used. Further, as a protective film for the transparent conductive film, silicon dioxide (S i 02
) film, magnesium fluoride (MgF2) film, etc., and for the photoresist film, for example, phenol novolac resin or the like is used.

そして、上記のようにしてリード端子取付部の透明導電
膜上に金属メッキ層を形成した表示極基板を用いてのエ
レクトロクロミンク表示素子の組立は、l来がら採用さ
れている方法によって行うことができ、エレクトロクロ
ミック表示素子組立後、リード端子を取り付けたのち、
リード端子の挟持部の下片を前記金属メッキ層に溶接ま
たはロウ付けして、リード端子を表示極基板に固定した
り、あるいは樹脂でリード端子を表示極基板に固定すれ
ば、リード端子の取付安定性が向上する。
The assembly of the electrochromic display element using the display electrode substrate in which the metal plating layer is formed on the transparent conductive film of the lead terminal attachment part as described above is carried out by the method that has been used since then. After assembling the electrochromic display element and attaching the lead terminals,
The lead terminal can be mounted by welding or brazing the lower piece of the lead terminal clamping part to the metal plating layer to fix the lead terminal to the indicator electrode board, or by fixing the lead terminal to the indicator electrode board with resin. Improved stability.

なお、表示極基板には、通常、表示極側のリード端子取
付部と同様に対向極例のリード端子取付部も設けられる
が(対向極の導電部分から表示極基板まで4電ペースト
などの導電体で電気的に接続される)、本発明において
、金属メッキ層を設ける部分を少なくとも表示極側のリ
ード端子取付部としているのは、表示極側ではリード端
子と表示極基板の接触抵抗が大きいと前述のように鮮明
な表示が得られな(なるなどの問題が発生し、それを解
消することによって顕著な効果が奏されるが、対同極側
は共通電極であり、リード端子と透明導?!!膜との接
触抵抗程度では、表示極側のようにその影響が顕著に現
れないし、また、たとえ僅かな影響が現れたとしても、
全体に発色濃度が僅かに低下するだけにすぎないからで
ある。ただし、対同極例のリード端子取付部にも金泥メ
ッキ層を設けた方がよいことはもちろんである。
Note that the display electrode board is usually provided with a lead terminal mounting part for the opposing electrode in the same way as the lead terminal mounting part for the display electrode side. In the present invention, the part provided with the metal plating layer is at least the lead terminal attachment part on the display electrode side because the contact resistance between the lead terminal and the display electrode substrate is large on the display electrode side. As mentioned above, problems such as not being able to obtain a clear display occur, and by resolving these problems a remarkable effect can be achieved. At the level of contact resistance with the conductor film, the effect will not be as noticeable as on the display electrode side, and even if the effect is slight,
This is because the overall color density is only slightly reduced. However, it goes without saying that it is better to provide a gold plating layer on the lead terminal mounting portion of the counter-polar example.

〔実施例〕〔Example〕

つぎに本発明の実施例を必要に応じて図面を参照しつつ
説明する。
Next, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings as necessary.

まず、第1図に基づいて表示極の作製を説明すると、透
明ガラスtFila上に厚さ2500人のITOの透明
導電膜1bを形成し、パターニングして表示極基板1を
作製しく第1図(a)参照)、この表示極基板1の周縁
部(この周縁部はエレクトロクロミック表示素子を組み
立てたときに、スペーサより外部となる部分であり、こ
の周縁部で透明導電膜が形成されている部分はリード端
子の取付部となる)にマスク31をし、上記周縁部を除
いて表示極基板1上に厚さ5000人の5i02膜から
なる保護膜8を形成した(第1図(b)参照)。マスク
31を除去したのら、上記保護膜8上に厚さ3μmのフ
ェノールノボラック樹脂系のフォトレジスト膜32を形
成しく第1図(C)参照)、該レジスト膜32上に粘着
テープよりなるマスク33を配設したのち、化学ニッケ
ルメッキにより、表示極基板lの周縁部の透明導電膜1
b上に厚さ1μmのニッケルのメッキ層5を形成した(
第1図(d)参照)。メッキ浴は硫酸ニッケル20g/
l、次亜りん酸ナトリウム10ピ/e、乳酸3 g /
 e 、クエン酸ナトリウム5g/β、酢酸ナトリウム
5g/lを含有したもので、p Hは5に調整されてい
る。メッキは温度50℃、メッキ時間30分で実施され
た。
First, the production of the display electrode will be explained based on FIG. a)), the peripheral edge of this display electrode substrate 1 (this peripheral edge is the part that is outside the spacer when the electrochromic display element is assembled, and the transparent conductive film is formed on this peripheral edge) A protective film 8 consisting of a 5i02 film having a thickness of 5000 mm was formed on the display electrode substrate 1 except for the periphery (see FIG. 1(b)). ). After removing the mask 31, a 3 μm thick phenol novolac resin photoresist film 32 is formed on the protective film 8 (see FIG. 1C), and a mask made of adhesive tape is placed on the resist film 32. 33, the transparent conductive film 1 on the periphery of the display electrode substrate l is coated with chemical nickel plating.
A nickel plating layer 5 with a thickness of 1 μm was formed on b (
(See Figure 1(d)). Plating bath is nickel sulfate 20g/
l, sodium hypophosphite 10 p/e, lactic acid 3 g/
e, sodium citrate 5g/β, and sodium acetate 5g/l, and the pH was adjusted to 5. Plating was carried out at a temperature of 50° C. and a plating time of 30 minutes.

マスク33を除去したのち、露光、現像、リンスして、
フォトレジスト 図(e)参照)したのち、フレオン(商品名)・酸素プ
ラズマによるドライエツチングにより透明導電膜上b上
の保護膜8を部分的に除去しく第1図(f)参照)、つ
いでメッキ層5を含む表示極基板1の周縁部上にマスク
34をしたのち、酸化タングステン(WO3)を茎着し
て厚さ2500 Bのエレクトロクロミック物質層7を
形成した(第1図(g)参照)、つぎに保護膜8上のレ
ジス1〜膜32およびマスク34を除去して、表示極基
板1のリード端子取付部の透明導電膜lb上にメッキI
’55を有する表示極9を作製した(第1図(h)参照
)。
After removing the mask 33, exposing, developing and rinsing,
After photoresist (see figure (e)), the protective film 8 on the transparent conductive film b is partially removed by dry etching using Freon (trade name)/oxygen plasma (see figure 1 (f)), and then plated. After applying a mask 34 to the peripheral edge of the display electrode substrate 1 including the layer 5, tungsten oxide (WO3) was attached to form an electrochromic material layer 7 having a thickness of 2500 B (see FIG. 1(g)). ), then remove the resist 1 to film 32 and mask 34 on the protective film 8, and plate I on the transparent conductive film lb at the lead terminal attachment part of the display electrode substrate 1.
A display electrode 9 having a diameter of '55 was produced (see FIG. 1(h)).

上記のような方法によれば、表示極基板lにエレクトロ
クロミ、り物質層7を形成するiiiの段階でメッキす
るので、エレクトロクロミック物質をメッキ浴やレジス
ト膜によって汚損するようなことがない。
According to the method described above, since electrochromic material is plated in step iii of forming the electrochromic material layer 7 on the display electrode substrate l, the electrochromic material is not contaminated by the plating bath or the resist film.

上記のようにして作製された表示極9を用い、當法によ
りエレクトロクロミック表示素子を組み立て、表示極基
板1のリード端子取付部にリードn1子1子4をその挾
持部4aが前記メッキ層5に接触するようにして取り付
け、さらに取付安定性を高めるために、リード端子4を
取り付けた部分に導電ペーストを塗布し、さらにその上
からエポキシ樹脂を塗布して、リード端子4を表示極基
板lに固定した。
Using the display electrode 9 produced as described above, an electrochromic display element is assembled by this method, and the lead n1 and the lead 4 are attached to the lead terminal attaching portion of the display electrode substrate 1 so that the clamping portion 4a of the lead is attached to the plated layer 5. In order to further improve the installation stability, apply conductive paste to the part where the lead terminal 4 is attached, and then apply epoxy resin on top of it, and then attach the lead terminal 4 to the display electrode board l. Fixed.

このようにして製造されたリード端子付きエレクトロク
ロミック表示素子では、リード端子4と表示極基板lと
の接触抵抗は0.3Ωであり、従来品に比べて接触抵抗
が低かった。なお、第9図に示すように表示極側のリー
ド端子4の挾持部4aの下片4a2を表示極基板1の透
明導電膜(1)〕上に直[a接触させた従来のり一ト端
付きエレクトロクロミック表示素子(つまり、表示極基
板lのリード端子取付部の透明導電膜lb上に本発明の
ような金庫メッキ層5を設けていないり−1端子付きエ
レクトロクロミック表示素子)では、リード端子、4と
表示極基板1との接触抵抗は2Ωであった。そして、こ
れら2種類のリート端子付きエレクトロクロミック表示
素子に1,0■、045秒間の電圧印加をしたところ、
本発明のものは従来品に比べて、エレクトロクロミック
物質層の発色濃度が高く、より鮮明な表示をすることが
できた。
In the electrochromic display element with lead terminals manufactured in this manner, the contact resistance between the lead terminals 4 and the display electrode substrate l was 0.3Ω, which was lower than that of conventional products. Note that, as shown in FIG. 9, the lower piece 4a2 of the clamping part 4a of the lead terminal 4 on the display electrode side is brought into direct contact with the transparent conductive film (1) of the display electrode substrate 1. In an electrochromic display element with a lead terminal (that is, an electrochromic display element with a single terminal in which the safe plating layer 5 of the present invention is not provided on the transparent conductive film lb at the lead terminal attachment part of the display electrode substrate l), The contact resistance between the terminal 4 and the display electrode substrate 1 was 2Ω. When a voltage was applied to these two types of electrochromic display elements with lead terminals for 1,0,045 seconds,
The product of the present invention had a higher coloring density of the electrochromic material layer than the conventional product, and was able to provide clearer display.

なお、前記のようにして製造されたリード端子付きエレ
クトロクロミック表示素子の表示極側のリード端子取付
状態を第2〜3図に、全体の概略斜視図と概略平面図を
第4図と第5図に、エレクトロクロミック表示素子部分
を第6図に、表示部分の拡大平面図を第7図に、またエ
レクトロクロミック表示素子組立後の表示極基板のリー
ド端子取付部を第8図にそれぞれ模式的に示す。
The state of lead terminal attachment on the display electrode side of the electrochromic display element with lead terminals manufactured as described above is shown in Figs. 2 and 3, and the overall schematic perspective view and schematic plan view are shown in Figs. 4 and 5. The electrochromic display element part is shown in Fig. 6, the enlarged plan view of the display part is shown in Fig. 7, and the lead terminal attachment part of the display electrode substrate after the electrochromic display element is assembled is shown schematically in Fig. 8. Shown below.

これらについて、まず、第2〜3図に基づいて説明する
と、図中、1は表示極基板であり、透明ガラス板2a上
に[TO(インジウム錫酸化物)の透明導電膜ibを形
成してなり、この第2〜3図では図示していないが、エ
レクトロクロミック物質層は上記表示極基板lの透明導
電膜1b上に複数のセグメン1−の集合体で表示パター
ンを形成するように設けられ、それによって表示極が形
成されている。
First, these will be explained based on FIGS. 2 and 3. In the figures, 1 is a display electrode substrate, and a transparent conductive film ib of [TO (indium tin oxide)] is formed on a transparent glass plate 2a. Although not shown in FIGS. 2 and 3, the electrochromic material layer is provided on the transparent conductive film 1b of the display electrode substrate 1 so as to form a display pattern with an aggregate of a plurality of segments 1-. , thereby forming a display pole.

2は対向極基板で、この対同極基板2も上記表示極基板
lと同様にガラス板2a上にITOの透明導電膜2bを
形成してなり、この第2〜3図には図示していないが、
上記透明導電膜2b上に対向極物rR層が設けられ、そ
れによって対向極が形成される。そして、3はポリエス
テル製のスペーサである。
Reference numeral 2 designates a counter electrode substrate, and this counter electrode substrate 2 also has a transparent conductive film 2b of ITO formed on a glass plate 2a, similar to the display electrode substrate 1, and is not shown in FIGS. No, but
A counter polar material rR layer is provided on the transparent conductive film 2b, thereby forming a counter pole. And 3 is a spacer made of polyester.

4は表示極側のリード端子であり、5は前記のように表
示極作製段階で表示極基板1のリード端子数(=j部の
透明導電膜lb上に形成されたニッケルのメッキ層であ
る。そして、上記リード端子4は、その挟持部4aの下
片4a2が上記メッキ層5に当接するようにして、挾持
部4aを表示極基板1の端部に嵌め込んで表示極基板1
上に取り(・1け、該リードn1子4を取り付けた部分
に導電ペーストを塗布し、さらにその上からエポキシ柱
1脂を塗布して、リード端子4を表示極基板1に固定し
ている。
4 is a lead terminal on the display electrode side, and 5 is a nickel plating layer formed on the transparent conductive film lb at the part j (=the number of lead terminals on the display electrode substrate 1 at the display electrode manufacturing stage as described above). Then, the lead terminal 4 is inserted into the display electrode substrate 1 by fitting the holding portion 4a into the end portion of the display electrode substrate 1 so that the lower piece 4a2 of the holding portion 4a is in contact with the plating layer 5.
Apply conductive paste to the part where the lead terminal 4 is attached, and then apply epoxy column 1 resin from above to fix the lead terminal 4 to the display electrode substrate 1. .

上記のような表示極側のリード端子4は、第4〜5図に
示すように、表示極基板1の両側端にそって複数取り付
けられる。具体的には、1つの表示パターンを構成する
セグメントの数および表示パターンの数に応して必要な
IIIII数のリードn1子4が表示也基板lに取り付
けられる。つまり、エレクトロクロミック物質層7は、
第7図に詳示するようにセグメント化され、セグメント
78〜7gの集合体で表示パターンを構成しており、そ
れらのセグメント7a〜7gをそれぞれ独立して駆動す
るために透明導電膜1bはエツチングにより適宜切断さ
れ、それぞれ独立した導電経路15a〜15gを形成し
ている。そして、上記リード端子4はそれぞれ独立した
導電経路を構成する各透明導電15!lbに電気を供給
できるような態様で表示極基板1に取り付けられ、それ
によって、エレクトロクロミック物質の各セグメント7
8〜7gはそれぞれ独立して発色、消色できるようにな
っている。なお、第4〜5図中の6は対向極例のリード
端子であり、この対向極側のリード端子6も前記表示極
側のリード端子4と同様に、その挟持部6aを表示極基
板1の端部に嵌め込むことによって表示極基板lに取り
付けられている。ただし、この対向極のリード端子6と
それに隣接する表示極側のリード端子4とは透明導電膜
1bにエツチングにより絶縁部分1c (第5図参照)
を設け、対同極例のリード端子6と表示極側のリード端
子4とは、電気的に絶縁されるようになっている。
A plurality of lead terminals 4 on the display electrode side as described above are attached along both ends of the display electrode substrate 1, as shown in FIGS. 4 and 5. Specifically, a necessary number of leads n1 and 4 are attached to the display substrate l according to the number of segments constituting one display pattern and the number of display patterns. In other words, the electrochromic material layer 7 is
As shown in detail in FIG. 7, the display pattern is formed by an aggregate of segments 78 to 7g, and the transparent conductive film 1b is etched to drive each of the segments 7a to 7g independently. are appropriately cut to form independent conductive paths 15a to 15g. The lead terminals 4 each constitute an independent conductive path, each transparent conductor 15! each segment 7 of electrochromic material is attached to the display electrode substrate 1 in such a manner that it can supply electricity to the
8 to 7g can be colored and decolored independently. In addition, 6 in FIGS. 4 and 5 is a lead terminal of an example of a counter electrode, and similarly to the lead terminal 4 of the display electrode side, this lead terminal 6 of the counter electrode side also has its clamping portion 6a connected to the display electrode substrate 1. It is attached to the display electrode substrate l by fitting it into the end of the display electrode substrate l. However, the lead terminal 6 of the opposing electrode and the lead terminal 4 of the display electrode adjacent thereto are insulated by etching into the transparent conductive film 1b (see Fig. 5).
, and the lead terminal 6 on the opposite pole and the lead terminal 4 on the display pole side are electrically insulated.

第6図は本発明のリード端子付きエレクトロクコミック
表示素子のエレクトロクロミンク表示素子部分を模式的
に示す断面図で、前記のように、表示極基板1は透明ガ
ラス板1aにITOの透明導電膜1bを形成してなり、
この表示極基板1の透明導電膜lb上にエレクトロクロ
ミック物質層7を形成することによって表示極9が形成
されている。
FIG. 6 is a cross-sectional view schematically showing the electrochromic display element part of the electrochromic display element with lead terminals of the present invention. forming a film 1b,
A display electrode 9 is formed by forming an electrochromic material layer 7 on the transparent conductive film lb of the display electrode substrate 1.

なお、図示していないが、前述したように、上記透明ガ
ラスt&la上には透明導電膜1bの形成前に5iQ2
のアンダーコートをしておいてもよい。そして、上記透
明導電1!t’lbのエレクトロクロミック物質N7が
形成されていない部分には5i02の保護膜8が形成さ
れている。なお、エレクトロクロミック物質層7は第4
図、第5図および第7図に示すように、セグメント状に
形成され、透明導電(1)’J1bはエツチングにより
適宜切断されて、エレクトロクロミンク物質の各セグメ
ント7a〜7g (第7図参照)が独立して駆動できる
ように、それぞれ独立した導電経路15a〜15gを形
成している。
Although not shown, as mentioned above, 5iQ2 was applied on the transparent glass t&la before forming the transparent conductive film 1b.
You may also apply an undercoat. And the above transparent conductive 1! A protective film 8 of 5i02 is formed in a portion of t'lb where the electrochromic substance N7 is not formed. Note that the electrochromic material layer 7 is the fourth
5 and 7, the transparent conductive material (1)'J1b is appropriately cut by etching, and each segment 7a to 7g of the electrochromic material (see FIG. 7) is formed into segments. ) are formed with independent conductive paths 15a to 15g, respectively, so that they can be driven independently.

エレクトロクロミック物質としては、通宝、酸化タング
フー7′ノ(WO3)、酸化イリジウム(Ir02)、
f%を化モリブデン(MoO2)などの遷移全屈酸化物
、プルシアンブルー、テトラチアフルバレン誘導体、ビ
オロゲン誘導体などが用いられるが、本実施例において
は前述のように酸化タングステンが用いられている。
Examples of electrochromic substances include Tsuho, Tangfu oxide 7'no (WO3), iridium oxide (Ir02),
Transition total oxides such as molybdenum (MoO2), Prussian blue, tetrathiafulvalene derivatives, and viologen derivatives are used, but in this embodiment, tungsten oxide is used as described above.

対同極基板2は透明ガラス板2aにITOの透明導電膜
2bを形成してなり、該透明導電膜2b上にタングステ
ン酸鉄(F e2  (WO4) 3 )を対同極材料
とし、これに導電助剤と結着剤とを配合してなる対向極
物質層10を形成することによって対向極llが形成さ
れている。なお、この対向極基板2は表示極基板1のよ
うな透明性を必要としないので、金属板でもよいし、ま
た透明導電膜2bに相当するような導電部分さえ設けて
あればセラミック坂やプラスチック板で基板を構成して
もよい。
The counter homopolar substrate 2 is formed by forming a transparent conductive film 2b of ITO on a transparent glass plate 2a, and iron tungstate (F e2 (WO4) 3 ) is used as a counter homopolar material on the transparent conductive film 2b. The counter electrode 11 is formed by forming a counter electrode material layer 10 made of a conductive additive and a binder. Note that this counter electrode substrate 2 does not require transparency like the display electrode substrate 1, so it may be a metal plate, or it may be a ceramic plate or a plastic plate as long as a conductive part corresponding to the transparent conductive film 2b is provided. The substrate may be composed of a plate.

12は上記表示極9のエレクトロクロミック物質層7と
対向極(1)の対向極物質[10との間に配置された背
景材で、この背景材12は二酸化チタンを分散含有させ
たイオン透過性の多孔性ポリテトラフルオロエチレンシ
ートからなるものであり、13はプロピレンカーボネー
トに過塩素酸リチウムを1.0 mol/ 1 /8解
した液状電IW質である。
Reference numeral 12 denotes a background material disposed between the electrochromic material layer 7 of the display electrode 9 and the counter electrode material [10] of the counter electrode (1). 13 is a liquid electrolytic IW material prepared by dissolving 1.0 mol/1/8 lithium perchlorate in propylene carbonate.

スペーサ3は、リング状をしており、その上面および下
面はそれぞれ表示極基板1および対向極基板2にエポキ
シ樹脂などの接着剤で固定され、表示極基板1と対向極
基板2とを絶縁すると共に、このスペーサ3と表示極基
板1と対向極基板2とで前記の電解質13、エレクトロ
クロミック物質層7、対向極物質層10、背景材12な
どの素子内容物を収容するためのセルを形成している。
The spacer 3 has a ring shape, and its upper and lower surfaces are fixed to the display electrode substrate 1 and the counter electrode substrate 2 with adhesive such as epoxy resin, respectively, to insulate the display electrode substrate 1 and the counter electrode substrate 2. At the same time, the spacer 3, the display electrode substrate 1, and the counter electrode substrate 2 form a cell for accommodating element contents such as the electrolyte 13, the electrochromic material layer 7, the counter electrode material layer 10, and the background material 12. are doing.

第7図は、表示部分を模式的に示すもので、表示極をエ
レクトロクロミック物質N7を設けた側から見た拡大平
面図であり、エレクトロクロミック物質層は7つのセグ
メント78〜7gで8の字からなる表示パターンを形成
するように設けられている。15a〜15gは上記エレ
クトロクロミック物質のセグメン)7a〜7gが発色反
応を起こすのに必要な電気を流す導電部分で、この導電
部分15a −15gは透明導電膜1bを適宜切断する
ことによって形成されたもので、この導電部分15a〜
15gの抵抗はエレクトロクロミック物質の各セグメン
ト78〜7gの面債に反比例するように調整されている
。16a〜16hは導電部分15a〜15gが短絡しな
いように設けである絶縁部で、上記透明導電膜1bをエ
ツチングにより部分的に除去することによって設けられ
たものである。なお、16i と163 はセグメント
7a、7dに電流が早く流れすぎて、他のセグメントと
の間に応答速度の差が生じるのを防止するために設けら
れた絶縁バリヤーである。そして、前述したように表示
極基板1の表示極側のリード端子取付部は、表示パター
ンを構成するエレクトロクロミックのセグメントの数、
つまり透明導電膜1bよりなる導電部分の数に応し、さ
らには表示パターン数に応じて多数(1)1i1設けら
れ、該部分にリード端子が取り付けられる。
FIG. 7 schematically shows the display part, and is an enlarged plan view of the display electrode viewed from the side where the electrochromic material N7 is provided. It is provided so as to form a display pattern consisting of. Segments 15a to 15g of the above-mentioned electrochromic substance) 7a to 7g are conductive parts through which electricity necessary to cause a coloring reaction are passed, and these conductive parts 15a to 15g were formed by appropriately cutting the transparent conductive film 1b. This conductive portion 15a~
The 15g resistance is adjusted to be inversely proportional to the surface resistance of each segment of electrochromic material, 78-7g. Insulating parts 16a to 16h are provided to prevent short-circuiting of the conductive parts 15a to 15g, and are provided by partially removing the transparent conductive film 1b by etching. Note that 16i and 163 are insulating barriers provided to prevent current from flowing too quickly in the segments 7a and 7d, resulting in a difference in response speed between the segments 7a and 7d. As described above, the lead terminal mounting portion on the display electrode side of the display electrode substrate 1 is connected to the number of electrochromic segments constituting the display pattern.
In other words, a number (1) 1i1 is provided corresponding to the number of conductive parts made of the transparent conductive film 1b, and further according to the number of display patterns, and lead terminals are attached to the parts.

第8図はエレクトロクロミック表示素子の表示極基板の
リード端子取付部を概略的に示すもので、エレクトロク
コミック表示素子を対向極側から見た平面図であり、図
中、14は表示極側のリード端子取付部で、その表面層
は前記のように透明導電膜lb上に形成されたニッケル
のメッキ層5で構成されており、この第8図からも明ら
かなように、表示極側のリード端子取付部14は、表示
パターンを構成するセグメントの数、さらには表示パタ
ーンの故に応じて、多数設けられる。そして、17は上
記リード端子取付部14間の絶縁部であり、透明導電膜
1bをエツチングにより部分的に除去することによって
形成されたものであって、前記第7図における絶縁部に
該当する。なお、18は対@極側のリード端子取付部で
ある。
FIG. 8 schematically shows the lead terminal attachment part of the display electrode substrate of the electrochromic display element, and is a plan view of the electrochromic display element viewed from the opposite pole side, and in the figure, 14 is the display pole side. The surface layer of the lead terminal attachment part is composed of the nickel plating layer 5 formed on the transparent conductive film lb as described above, and as is clear from FIG. A large number of lead terminal attaching parts 14 are provided depending on the number of segments constituting the display pattern and the size of the display pattern. Reference numeral 17 denotes an insulating part between the lead terminal attachment parts 14, which is formed by partially removing the transparent conductive film 1b by etching, and corresponds to the insulating part in FIG. 7. Note that 18 is a lead terminal mounting portion on the opposite electrode side.

なお、実施例では化学メッキによりメッキ層を設け、ま
たメッキ金冗としてニッケルを用いたが、化学メッキに
代えて電気メッキを採用した場合でも、またニッケル以
外の金属を用いた場合にも、実施例と同様の効果が奏さ
れる。
In addition, in the example, the plating layer was provided by chemical plating and nickel was used as the plating metal, but even if electroplating is used instead of chemical plating, or if a metal other than nickel is used, the plating layer can be applied. The same effect as in the example is produced.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上説明したように、本発明によれば、エレクトロクロ
ミック表示素子の部品段階で、かつエレクトロクロミッ
ク物質などの素子内容物を汚損することなく、表示極基
板のリード端子取付部の透明導電膜上に金泥メッキ層を
形成することができ、それによってリード端子と表示極
基板との接触抵抗を低減でき、発色濃度の高い鮮明な表
示を実現することができた。
As explained above, according to the present invention, at the component stage of an electrochromic display element, without contaminating the element contents such as an electrochromic substance, the transparent conductive film of the lead terminal attachment part of the display electrode substrate is coated. It was possible to form a gold mud plating layer, thereby reducing the contact resistance between the lead terminals and the display electrode substrate, and realizing a clear display with high color density.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明において表示極基板のリード端子取付部
の透明導電膜上に金属メッキ層を有する表示極を作製す
る工程を示す図である。第2〜7図は本発明に係るリー
ド端子付きエレクトロクロミック表示素子の一例を示す
ものであり、第2図は表示極側のリード端子の取付状態
を示す部分拡大断面図、第3図は表示極側のリード端子
の取付状態を部分的に拡大して示す概略側面図、第4図
は概略斜視図、第5図は概略平面図、第6図はエレクト
ロクロミック表示素子部分の断面図、第7図は表示部分
を模式的に示す拡大平面図で、表示極をエレクトロクロ
ミック物質層を設けた側から見た図である。第8図はエ
レクトロクロミ、り表示素子の表示極基板のリード端子
取付部を概略的に示す平面図で、エレクトロクロミック
表示素子を対向極側から見た図である。第9図は従来の
リード端子付きエレクトロクロミック表示素子の表示極
側のリード端子の取付状態を示す部分拡大断面図である
。 1・・・表示極基板、 ■b・・・透明導電膜、4・・
・表示極側のリード端子、 5・・・金属メッキ層、  7・・・エレクトロクロミ
ック物質層、  8・・・保護膜、 9・・・表示極、
(1)・・・対向極、 13・・・電解質、14・・・
表示極側のリード端子取付部、32・・・フォトレジス
ト膜、 33.34・・・マスク第 1 図 (a) b (d)(g) 第2凹 第4図 第6因 第8 図 第90
FIG. 1 is a diagram showing the process of manufacturing a display electrode having a metal plating layer on a transparent conductive film of a lead terminal attaching portion of a display electrode substrate in the present invention. 2 to 7 show an example of an electrochromic display element with lead terminals according to the present invention, FIG. 2 is a partially enlarged cross-sectional view showing how the lead terminals on the display electrode side are attached, and FIG. 3 is a display FIG. 4 is a schematic perspective view, FIG. 5 is a schematic plan view, FIG. 6 is a cross-sectional view of the electrochromic display element, and FIG. FIG. 7 is an enlarged plan view schematically showing the display portion, and is a view of the display electrode viewed from the side on which the electrochromic material layer is provided. FIG. 8 is a plan view schematically showing the lead terminal mounting portion of the display electrode substrate of the electrochromic display element, and is a view of the electrochromic display element viewed from the opposite electrode side. FIG. 9 is a partially enlarged cross-sectional view showing how lead terminals on the display electrode side of a conventional electrochromic display element with lead terminals are attached. 1...Display electrode substrate, ■b...Transparent conductive film, 4...
・Lead terminal on display electrode side, 5... Metal plating layer, 7... Electrochromic material layer, 8... Protective film, 9... Display electrode,
(1)...Counter electrode, 13...Electrolyte, 14...
Display electrode side lead terminal attachment part, 32... Photoresist film, 33. 34... Mask Figure 1 (a) b (d) (g) 2nd recess Figure 4 Figure 6 Factor 8 Figure 8 90

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)表示極、対向極および電解質を備えたエレクトロ
クロミック表示素子の表示極基板にリード端子を取り付
けてなるリード端子付きエレクトロクロミック表示素子
の製造にあたり、透明基板上に透明導電膜を設け、該透
明導電膜をパターンニングして表示極基板を形成し、該
表示極基板の周縁部を除いて透明導電膜保護用の保護膜
を表示極基板に形成し、上記保護膜上にフォトレジスト
膜を形成し、該フォトレジスト膜上をマスクで覆ったの
ち、表示極基板の周縁部のリード端子取付部のうち少な
くとも表示極側のリード端子取付部の透明導電膜上に金
属メッキし、マスク除去後、露光、現像、リンスしてフ
ォトレジスト膜を部分的に除去し、ドライエッチングに
より透明導電膜上の保護膜を部分的に除去して透明導電
膜の一部を露出させ、表示極基板の周縁部をマスクした
のち、エレクトロクロミック物質層を形成し、ついでフ
ォトレジスト膜および周縁部のマスクを除去して、表示
極基板の少なくとも表示極側のリード端子取付部に金属
メッキ層を有する表示極を作製することを特徴とするリ
ード端子付きエレクトロクロミック表示素子の製造方法
(1) In manufacturing an electrochromic display element with lead terminals, which is formed by attaching lead terminals to the display electrode substrate of an electrochromic display element equipped with a display electrode, a counter electrode, and an electrolyte, a transparent conductive film is provided on a transparent substrate, and a transparent conductive film is provided on a transparent substrate. A transparent conductive film is patterned to form a display electrode substrate, a protective film for protecting the transparent conductive film is formed on the display electrode substrate except for the peripheral portion of the display electrode substrate, and a photoresist film is formed on the protective film. After forming the photoresist film and covering the photoresist film with a mask, metal plating is applied to the transparent conductive film on at least the lead terminal mounting portion on the display electrode side among the lead terminal mounting portions on the peripheral edge of the display electrode substrate, and after removing the mask. , the photoresist film is partially removed by exposure, development, and rinsing, and the protective film on the transparent conductive film is partially removed by dry etching to expose a part of the transparent conductive film, and the peripheral edge of the display electrode substrate is removed. After masking the area, an electrochromic material layer is formed, and then the photoresist film and the mask on the peripheral area are removed to form a display electrode having a metal plating layer on at least the lead terminal mounting area on the display electrode side of the display electrode substrate. 1. A method for producing an electrochromic display element with lead terminals.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7063201B2 (en) 2001-11-27 2006-06-20 Milwaukee Electric Tool Corporation Power tool and spindle lock system
JP2009053613A (en) * 2007-08-29 2009-03-12 Kuraray Co Ltd Electrochromic display element and its manufacturing method
US8292001B2 (en) 2007-11-21 2012-10-23 Black & Decker Inc. Multi-mode drill with an electronic switching arrangement

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