JPS62171504A - 流体制御装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は流体制御装置に係り、特に、流量制御機能と保
圧機能とＩＪ　ＩＪ−フ機能を備えた流体制御装置に関
する。

〔従来技術〕

この種の流体制御装置としては、従来、第６図にて示し
たものがあり、同図に示した流体制御装置は、主弁１０
とパイロット弁２０とリリーフ弁３０を主体としている
。主弁１０は、大径孔１１ａと小径孔１１ｂを連設して
連設段部に弁座１１Ｃを形成してなり同弁座１１Ｃを間
にして小径孔側を図示しないアクチュエータに接続され
る流入路ｌｉｄとしかつ大径孔側をリザーバに接続され
る流出路ｌｉｅとしてなる弁本体１１と、同弁本体１１
の大径孔１１ａ内にＯリング、バックアップリング等の
シール部材１２を介して摺動自在に嵌挿されて背圧室Ｒ
Ｏを形成しかつ弁座１１ｃに着座したり離脱して流入路
ｌｉｄと流出路ｌｉｅ間を連通遮断するポペット弁体１
３と、背圧室ＲＯ内に組込まれてポペット弁体１３を弁
座ｌＩＣに向けて付勢するばね１４と、弁本体１１に螺
進退可能に組付けられてポペット弁体１３の弁座１１ｃ
からのリフト量を調整可能に規定するストッパねじ１５
によって構成されている。一方、バイロフト弁２０は、
背圧室ＲＯへのパイロット圧の給排を行う電磁切換弁で
あって、図示の非作動状態にてパイロット圧を背圧室Ｒ
Ｏに供給し、また作動状態にて背圧室Ｒｏからバイロフ
ト圧を排出する。また、リリーフ弁３０は、主弁１０に
対して並列的に設けられていて、流入路ｌｉｄ内油圧が
所定値に達したとき同油圧をリリーフする。

上記構成により、第６図に示した装置においては、パイ
ロット弁２０が非作動状態にあってパイロット圧が背圧
室ＲＯに供給されておれば、ポペット弁体１３がパイロ
ット圧及びばね１４の力により弁座１１ｃに着座させら
れるため、流入路１１ｄと流出路ｌｉｅ間の連通は遮断
され、流入路ｌｉｄ内油圧は保持される（保圧機能）。

この状態において、流入路ｌｉｄ内油圧が所定値に達す
ると、リリーフ弁３０が作動して流入路ｌｉｄ内の圧油
がリザーバに向けて流れ、流入路ｌｉｄ内油圧の過度な
上昇が抑制されてアクチュエータ等が保護される（リリ
ーフ機能）。

また、パイロット弁２０が作動されてパイロット圧が背
圧室ＲＯから排出されると、ポペット弁体１３が流入路
ｌｉｄから流出路１１ｅに流れようとする作動油の圧力
によりストッパねじ１５に当接するまで押し開かれるた
め、流入路ｌｉｄから流出路ｌｉｅにはストッパねじ１
５によって設定された流量の作動油が流れる（流量制御
機能）。

なお、パイロット弁２０と主弁１０間には流！ｉ量調整
弁１．３２が介装されているため、ポペット弁体１３の
開閉速度が調整される。

〔発明が解決しようとする問題点〕

ところで、上記した従来の流体制御装置においては、流
量を調整する場合、受圧面積が大きくて大きな力を受け
ているポペット弁体１３を直接ストッパねじ１５により
動かさなければならず、その操作に大きな力が必要であ
る。また、ストッパねじ１５により主弁１０のポペット
弁体１３を動かして流量を調整するものであってポペッ
ト弁体１３のわずかな移動によって流量が大きく変るた
め、ストッパねじ１５のピンチを如何に小さくしても流
量の設定（微凋整）が難しい。

また、上記した従来の流体制御装置においては、両流量
調整弁３１．３２によりポペット弁体１３の開閉速度を
調整し得るものの、ポペット弁体１３はその両側に作用
する押圧力の差によって動（ものであるため、背圧室Ｒ
Ｏに供給されるパイロット圧の変動や流入路ｌｉｄ及び
流出路ｌｉｅ内圧力の変動によってポペット弁体１３の
開閉速度が変動してしまう。

更に、上記した従来の流体制御装置においては、その構
成部材である主弁１０とリリーフ弁３０が大流量を制御
するものであって大型であるため、当該装置が大型とな
り、取付スペースやコスト面で問題がある。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明は上記した問題を解決するために、当該流体制御
装置を、 大径孔の両端に同一径の小径孔をそれぞれ連設してなり
一方の連設段部に弁座を形成してなる弁本体と、前記大
径孔内に嵌挿されて一側に流入路に常時連通する第１油
室を形成し前記弁座に着座した／Ｊ離脱して同弁座を開
閉するポペット弁部と同ポペット弁部の一例に連設され
て前記一方の小径孔内に延び同小径孔との間に流出路に
常時連通しかつ前記弁座を通して前記第１油室に連通ず
る第２油室を形成する連結部と同連結部に連設されて前
記一方の小径孔に摺動自在に嵌挿され同小径孔端に第３
油室を形成するピストン部を一体的に備えるとともに前
記ポペット弁部の他側に連設されて前記他方の小径孔に
摺動自在に嵌挿され同小径孔端に前記流入路側に絞りを
介して接続される第４油室を形成するとともに前記大径
孔端に第２の絞りを介して前記流入路側に連通ずる第５
油室を形成する小径部を一体的に備える弁体と、同弁体
を前記第３油室に向けて付勢するばねを具備してなる主
弁と、 前記第３油室に付与されるパイロット圧を電流付与値に
応じて比例制御する第１パイロット弁と、前記パイロッ
ト圧により作動を制御されて前記パイロット圧が設定値
未満であるとき前記第４油室と戻り路の連通を遮断しま
た前記パイロット圧が設定値以上であるとき前記第４油
室と前記戻り路を連通させる第２パイロット弁と、 前記流入路内油圧及び前記第５油室内油圧により作動を
制御されて前記第５油室内油圧が所定値に達したとき作
動して同油圧をリリーフするとともに前記第４油室内油
圧をリリーフする第３パイロット弁を備える構成とした
。

〔発明の作用〕

本発明による流体制御装置においては、第３パイロット
弁が作動しないかぎり、流入路側油圧が第１油室及び第
５油室に付与されてポペット弁部に作用する押圧力が相
殺されているため、第１油室及び第５油室に付与される
流入路側油圧の変動によって主弁の弁体が押動されるこ
とはない。一方、流出路側油圧は第２油室にて主弁の弁
体のポペット弁部とピストン部に作用してその押圧力が
相殺されているため、流出路側油圧の変動によって主弁
の弁体が押動されることはない。

また第１パイロット弁への電流付与値が設定値未満であ
って第３油室に付与されるパイロット圧が設定値未満で
ある場合、第２パイロット弁が第４油室と戻り路の連通
を遮断している。このため、主弁の弁体は流入路側から
絞りを通して第４油室に付与される油圧及びばねの作用
により第３油室内のパイロット圧に抗して押圧されてい
てポペット弁部を弁座に着座させており、流入路と流出
路の連通が遮断され、流入路側油圧が保持されている（
保圧機能）。かかる状態にて流入路側油圧が所定値に達
すると、第３パイロット弁が作動して第４油室及び第５
油室内の油圧をリリーフするため、主弁の弁体は第１油
室内油圧と第５油室内油圧との差圧と第３油室内油圧と
第４油室内油圧との差圧（主として前者の差圧）により
ばねの作用に抗して摺動する。したがって、弁体のポペ
ット弁部が弁座から離れて流入路から流出路に圧油が流
れ、流入路側油圧の過度な上昇が抑制される（リリーフ
機能）。

しかして、第１パイロット弁への電流付与値を設定値以
上として第３油室に付与されるパイロット圧を設定値以
上とすると、第２パイロット弁が作動して第４油室を戻
り路に連通させる。このため、第４油室内の油圧は減少
し、主弁の弁体は第３油室内のパイロット圧（第１パイ
ロット弁によって設定値以上の成る値に設定されている
）による押圧力とばねの作用力（詳細には、同作用力と
第４油室内に残っている油圧による押圧力の合力）がバ
ランスする位置にて保持され流入路から流出路へ流れる
流量が規定される。したがって、第１パイロット弁への
電流付与値を変えて第３油室に付与されるパイロット圧
を変えることにより、主弁の弁体の位置を調整でき、流
入路から流出路へ流れる流量を調整することができる（
流量制御機能）。

また、本発明による流体制御装置においては、第１パイ
ロット弁への電流付与値を適宜に時定数制御して第３油
室に付与されるパイロット圧の増大又は減少速度を適宜
に調整すれば、主弁の弁体の開弁速度及び閉弁速度を適
宜に調整することができる。

〔発明の効果〕

上述した作用説明から明らかなように、本発明による流
体制御装置においては、第３パイロット弁が作動しない
かぎり、主弁の弁体のポペット弁部に作用する流入路側
油圧による押圧力が相殺されるとともにポペット弁部と
ピストン部に作用する流出路側油圧による押圧力が相殺
されていて、流入路側油圧や流出路側油圧の変動に拘わ
らず、第１パイロット弁への電流付与値を決定すること
により、主弁の弁体の位置を設定できるため、その操作
が極めて容易であるばかりか、弁体の位置の設定を正確
に行うことができて、正確な流量調整を行うことができ
る。

また、本発明による流体制御装置においては、第３パイ
ロット弁が作動しないかぎり、主弁の弁体のポペット弁
部に作用する流入路側油圧による押圧力が相殺されると
ともにポペット弁部とピストン部に作用する流出路側油
圧による押圧力が相殺されていて、第２パイロット弁の
作動により第４油室が戻り路に連通している場合には、
流入路側油圧や流出路側油圧の変動によって主弁の弁体
が押動されることはないため、第１パイロット弁への電
流付与値を適宜に時定数制御して設定した主弁の弁体の
開閉速度が流入路側油圧や流出路側油圧の変動による影
響を受けず、常に安定して得られる。

更に、本発明による流体制御装置においては、大流量を
制御する単一の主弁と、小流量を制御する第１．第２及
び第３パイロット弁をその構成部材としているため、第
６図に示した従来の流体制御装置に比して小型化するこ
とができて、取付スペースの削減やコスト低減を図るこ
とができる。

〔実施例〕

以下に本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。

第１図は本発明による流体制御装置を示していて、同装
置は主弁４０．第１パイロット弁５０゜第２．パイロッ
ト弁６０及び第３パイロット弁７０によって構成されて
いる。

主弁４０は、第１図及び第２図にて示したように、第１
部材４１Ａ、第２部材４１Ｂ及び第３部材４１Ｃからな
る弁本体４１と、この弁本体４１内に上下方向へ摺動自
在に嵌挿した。弁体４２と、この弁体４２を下方へ付勢
するばね４３によって構成されている。弁本体４１は、
大径孔４１ａの上下両端に同一径の小径孔４１ｂ、４１
ｃをそれぞれ連設してなり下方の連設段部に弁座４１ｄ
を形成してなる段付内孔を有するとともに、流入路Ｐ１
が連通ずる環状溝４１ｅや流出路Ｐ２が連通ずる環状溝
４１ｆを有している。

弁体４２は、大径孔４１ａ内に摺動自在に嵌挿されて図
示しないアクチュエータに接続される流入路ＰＬに常時
連通する第１油室Ｒ１を形成し弁座４１ｄに着座したり
ｌ１ｌＩ説して流入路Ｐ１とリザーバ８０に接続される
流出路２２間を連通遮断（開閉）するポペット弁部４２
ａと、同ポペット弁部４２ａの下側に連設されて下方の
小径孔４１ｂ内に延び同小径孔４１ｂとの間に流出路Ｐ
２が常時連通し弁座４１ｄを通して第１油室Ｒ１に連通
ずる第２油室Ｒ２を形成する連結部４２ｂと、同連結部
４２ｂに連設されて下方の小径孔４１ｂに摺動自在に嵌
挿され同小径孔４１ｂ端に第３油室Ｒ３を形成するピス
トン部４２ｃを一体的に備えるとともに、ポペット弁部
４２ａの上側に上方の小径孔４１ｃに摺動自在に嵌挿さ
れ同小径孔４１Ｃ端に第４油室Ｒ４を形成するとともに
大径孔４１ａ端に第５油室Ｒ５を形成する小径筒部４２
ｄを一体的に備えている。しかして、第３油室Ｒ３は第
１パイロット弁５０に接続されるとともに第２パイロッ
ト弁６０の第１切換弁６１に接続され、第４油室Ｒ４は
流入路Ｐ１に絞り４４を介して接続されるとともに第２
パイロット弁６０の第２切換弁６２に接続され、第５油
室Ｒ５は流入路Ｐ１に第２の絞り４５を介して連通ずる
とともに第３バイロフト弁７０に接続されている。

第１バイロフト弁５０は、供給路Ｐ３を通して導入され
た圧油を所定値に減圧する減圧弁５１と、この減圧弁５
１から絞り５２を通して第３油室Ｒ３に付与されるパイ
ロット圧を電流付与値に応じて比例制御する電流制御リ
リーフ弁５３によって構成されている。第２パイロット
、Ｉｆ−６０は、第１図及び第３図にて示したように、
第３油室Ｒ３に付与されるパイロット圧により゛作動を
制御される第１切換弁６１と、この第１切換弁６１によ
って作動を制御される第２切換弁６２によって構成され
ている。第１切換弁６１は、スプール弁体６１ａとばね
６１ｂを備えていて、第３油室Ｒ３から油室Ｒ６に通路
Ｐ５を通して付与されるパイロット圧が設定値未満であ
るとき図示のように非作動状態にあって供給路Ｐ３と第
２切換弁６２の接続を断ちまたパイロット圧が設定値以
上であるとき作動状態となって供給路Ｐ３を第２切換弁
６２に接続させる。第２切換弁６２は、突起を一体的に
有するピストン６２ａ、ポペット弁体６２ｂ及びばね６
２ｃを備えていて、第１切換弁６１によって油室Ｒ７が
供給路Ｐ３に接続されたとき作動して第４油室Ｒ４に連
通する通路Ｐ６とリザーバ８０に連通ずる戻り路Ｐ４を
連通させ、また第１切換弁６１によって油室Ｒ７が供給
路Ｐ３との接続を断たれて戻り路Ｐ４に接続されたとき
図示のように非作動となって第４油室Ｒ４に連通ずる通
路Ｐ６と戻り路Ｐ４の連通を遮断する。

第３パイロット弁７０は、流入路Ｐ１から絞り４５を通
して付与される第５油室Ｒ５内の油圧が所定値に達した
とき作動して第５油室Ｒ５内の作動油を戻り路Ｐ４に流
すリリーフ弁７１とこのリリーフ弁７１の作動に応答し
て作動する切換弁７２によって構成されている。切換弁
７２は、第１図及び第４図にて示したように、弁体７２
ａとばね７２ｂを備えていて、油室Ｒ８に通路Ｐ７を通
して付与される第５油室Ｒ５内の油圧がリリーフ弁７１
によってリリーフされていないとき図示のように非作動
状態にあって第４油室Ｒ４に連通する油室Ｒ９と戻り路
Ｐ４の接続を断ち、また油室Ｒ８に付与される油圧がリ
リーフ弁７１によってリリーフされたとき通路Ｐ８を通
して油室ＲＩＯに付与される流入路Ｐｌ内の油圧によっ
て弁体７２ａがばね７２ｂに抗して摺動して油室Ｒ９を
戻り路Ｐ４に接続させる。

上記のように構成した本実施例においては、第３パイロ
ット弁７０が作動しないかぎり、流入路Ｐｌ側油圧が第
１浦室Ｒ１及び第５油室Ｒ５に付与されてポペット弁部
４２ａに作用する押圧力が相殺されているため、第１油
室Ｒ１及び第５油室Ｒ５に付与される流入路Ｐｌ側油圧
の変動によって主弁４０の弁体４２が押動されることは
ない。

一方、流出路Ｐ２側油圧は第２油室Ｒ２にて弁体４２の
ポペット弁部４２ａとピストン部４２ｃに作用してその
押圧力が相殺されているため、流出路Ｐ２側油圧の変動
によって主弁４０の弁体４２が押動されることはない。

また第１パイロット弁５０におけるリリーフ弁５３への
電流付与値が設定値未満であって第３油室Ｒ３に付与さ
れるパイロット圧が設定値未満である場合には、図示の
ごとく、第２パイロット弁６０における第１切換弁６１
が非作動状態にあって供給路Ｐ３と第２切換弁６２の接
続を断っており、第２切換弁６２が非作動状態にあって
第４油室Ｒ４と戻り路Ｐ４の連通を遮断している。この
ため、主弁４０の弁体４２は流入路−Ｐ　１から絞り４
４を通して第４油室Ｒ４に付与される油圧及びばね４３
の作用により第３油室Ｒ３内のバイロフト圧に抗して押
圧されていて、ポペット弁部４２ａを弁座４１ｄに着座
させており、流入路Ｐ１と流出路Ｐ２の連通が遮断され
ている。したがって、主弁４０から図示しないアクチュ
エータに至る流入路Ｐ１を含む回路内の油圧が保持され
、アクチュエータはその停止状態に保持される（保圧機
能）。

かかる状態において、アクチュエータに過大な負荷が作
用して上記した流入路Ｐ１を含む油圧回路内の油圧が上
昇し第５油室Ｒ５内の油圧が第３パイロット弁７０のリ
リーフ弁７１にて設定した所定値に達すると、油路Ｐ７
内の圧油が戻り路Ｐ４に流れて切換弁７２が作動し、主
弁４０の第４油室Ｒ４内の圧油が切換弁７２を通して戻
り路Ｐ４に流れる。このため、かかる場合には、主弁４
０の弁体４２は第１油室Ｒ１内油圧と第５油室Ｒ５内油
圧との差圧と第３油室Ｒ３内油圧と第４油室Ｒ４内油圧
との差圧（主として前者の差圧）によりばね４３の作用
に抗して摺動する。したがって、弁体４２のポペット弁
部４２ａが弁座４１ｄから離れてアクチュエータからリ
ザーバ８０に圧油が流れ、主弁４０とアクチュエータ間
の油圧回路内油圧の過度な上昇が抑制されて、アクチュ
エータ等が保護される。

しかして、第１パイロット弁５０におけるリリーフ弁５
３への電流付与値を設定値以上として第３油室Ｒ３に付
与されるパイロット圧を設定値以上とすると、第２パイ
ロット弁６０における第１切換弁６１が作動して供給路
Ｐ３を第２切換弁６２に接続するため、第２切換弁６２
が作動して第４油室Ｒ４を戻り路Ｐ４に連通させる。こ
のため、第４油室Ｒ４内の油圧は減少し、主弁４０の弁
体４２は第３油室Ｒ３内のパイロット圧（第１バイロフ
ト弁５０によって設定値以上の成る値に設定されている
）による押圧力とばね４３の作用力（詳細には、同作用
力と第４油室Ｒ４内に残っている油圧による押圧力の合
力）がバランスする位置にて保持され流入路Ｐ１から流
出路Ｐ２へ流れる流量が規定される。したがって、第１
パイロット弁５０におけるリリーフ弁５３への電流付与
値を変えて第３油室Ｒ３に付与されるパイロット圧を変
えることにより、主弁４０の弁体４２の位置を調整でき
、流入路Ｐ１から流出路Ｐ２へ流れる流量を調整するこ
とができる（流量制御機能）。

また、本実施例の流体制御装置においては、第１パイロ
ット弁５０におけるリリーフ弁５３への電流付与値を適
宜に時定数制御して第３油室Ｒ３に付与されるバイロフ
ト圧の増大又は減少速度を適宜に調整すれば、主弁４０
の弁体４２の開弁速度及び閉弁速度を適宜に調整するこ
とができる。

上述した作用説明から明らかなように、本実施例の流体
制御装置においては、第３パイロット弁７０が作動しな
いかぎり、弁体４２のポペット弁部４２ａに作用する流
入路Ｐｌ側油圧による押圧力が相殺されるとともにポペ
ット弁部４２ａとピストン部４２ｃに作用する流出路Ｐ
２側油圧による押圧力が相殺されていて、流入路Ｐｌ側
油圧や流出路Ｐ　２　（ｉ１３油圧の変動に拘わらず、
第１パイロット弁５０におけるリリーフ弁５３への電流
付与値を決定することにより、主弁４０の弁体４２の位
置を設定できるため、その操作が極めて容易であるばか
りか、弁体４２の位置の設定を正確に行うことができて
、正確な流量調整を行うことができる。

また、本実施例の流体制御装置においては、第３パイロ
ット弁７０が作動しないかぎり、弁体４２のポペ７）弁
部４２ａに作用する流入路Ｐｌ側油圧による押圧力が相
殺されるとともにポペット弁部４２ａとピストン部４２
ｃに作用する流出路Ｐ２側油圧による押圧力が相殺され
ていて、第２パイロット弁６０の作動により第４油室Ｒ
４が戻り路Ｐ４に連通している場合には、流入路Ｐｌ側
油圧や流出路Ｐ２側油圧の変動によって主弁４０の弁体
４２が押動されることはないため、第１パイロット弁５
０におけるリリーフ弁５３への電流付与値を適宜に時定
数制御して設定した主弁４０の弁体４２の開閉速度が流
入路Ｐ１側油圧や流出路Ｐ２側油圧の変動による形響を
受けず、常に安定して得られる。

更に、本実施例の流体制御装置においては、大流量を制
御する単一の主弁４０と、小流量を制御する第１．第２
及び第３パイロット弁５０・６０・７０をその構成部材
としているため、第６図に示した従来の流体制御装置に
比して小型化することができて、取付スペースの削減や
コスト低減を図ることができる。

第５図は本発明の他の実施例を示していて、同図に示し
た流体制御装置においては、減圧弁５１゜絞り５２及び
リリーフ弁５３からなる第１バイロフト弁５０に代えて
電流制御減圧弁からなる第１パイロット弁５０Ａが採用
され、また第１切換弁６１及び第２切換弁６２からなる
第２パイロット弁６０に代えてパイロット圧により直接
作動されて第４油室Ｒ４と戻り路Ｐ４を連通遮断する切
換弁からなる第２パイロット弁６０Ａが採用されており
、第１パイロット弁５０Ａは上記実施例の第１パイロッ
ト弁５０と同様に第３油室Ｒ３に付与されるパイロット
圧を電流付与値に応じて比例制御し、また第２パイロッ
ト弁６０Ａは上記実施例の第２パイロット弁６０と同様
にパイロット圧により作動を制御されてパイロット圧が
設定値未満であるとき第４油室Ｒ４と戻り路Ｐ４の連通
を遮断しまたパイロット圧が設定値以上であるとき第４
油室Ｒ４と戻り路Ｐ４を連通させる。

なお、第５図に示した実施例の作用・効果は上述した第
１図〜第４図にて示した実施例の作用・効果と実質的に
同じであり、上述した説明から容易に理解されるため、
その説明は省略する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による流体制御装置の一実施例を示す全
体構成図、第２図は第１図に示した装置における主弁部
分の詳細な拡大断面図、第３図は第１図に示した装置に
おける第２パイロット弁部分の詳細な拡大断面図、第４
図は第１図に示した装置における第３パイロット弁部分
の詳細な拡大断面図、第５図は本発明の他の実施例を示
す全体構成図、第６図は従来例を示す全体構成図である
。 符号の説明 ４０・・・主弁、４■・・・弁本体、４１ａ・・・大径
孔、４１ｂ、４１Ｃ・・・小径孔、４１ｄ・・・弁座、
４２・・・弁体、４２ａ・・・ポペット弁部、４２ｂ・
・・連結部、４２Ｇ・・・ピストン部、４２ｄ・・・小
径部、４３・・・ばね、４４・・・絞り、４５・・・第
２の絞り、５０゜５０Ａ・・・第１パイロット弁、６０
．６０Δ・・・第２バイロフト弁、７０・・・第３パイ
ロット弁、Ｐｌ・・・流入路、Ｒ２・・・流出路、Ｒ３
・・・供給路、Ｒ４・・・戻り路、Ｒ１・・・第１油室
、Ｒ２・・・第２油室、Ｒ３・・・第３油室、Ｒ４・・
・第４油室、Ｒ５・・・第５油室。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 大径孔の両端に同一径の小径孔をそれぞれ連設してなり
   一方の連設段部に弁座を形成してなる弁本体と、前記大
   径孔内に嵌挿されて一側に流入路に常時連通する第１油
   室を形成し前記弁座に着座したり離脱して同弁座を開閉
   するポペット弁部と同ポペット弁部の一側に連設されて
   前記一方の小径孔内に延び同小径孔との間に流出路に常
   時連通しかつ前記弁座を通して前記第１油室に連通する
   第２油室を形成する連結部と同連結部に連設されて前記
   一方の小径孔に摺動自在に嵌挿され同小径孔端に第３油
   室を形成するピストン部を一体的に備えるとともに前記
   ポペット弁部の他側に連設されて前記他方の小径孔に摺
   動自在に嵌挿され同小径孔端に前記流入路側に絞りを介
   して接続される第４油室を形成するとともに前記大径孔
   端に第２の絞りを介して前記流入路側に連通する第５油
   室を形成する小径部を一体的に備える弁体と、同弁体を
   前記第３油室に向けて付勢するばねを具備してなる主弁
   と、 前記第３油室に付与されるパイロット圧を電流付与値に
   応じて比例制御する第１パイロット弁と、前記パイロッ
   ト圧により作動を制御されて前記パイロット圧が設定値
   未満であるとき前記第４油室と戻り路の連通を遮断しま
   た前記パイロット圧が設定値以上であるとき前記第４油
   室と前記戻り路を連通させる第２パイロット弁と、 前記流入路内油圧及び前記第５油室内油圧により作動を
   制御されて前記第５油室内油圧が所定値に達したとき作
   動して同油圧をリリーフするとともに前記第４油室内油
   圧をリリーフする第３パイロット弁を備えてなる流体制
   御装置。