JPS62153958A - 印刷配線板の自動露光機 - Google Patents
印刷配線板の自動露光機Info
- Publication number
- JPS62153958A JPS62153958A JP60296373A JP29637385A JPS62153958A JP S62153958 A JPS62153958 A JP S62153958A JP 60296373 A JP60296373 A JP 60296373A JP 29637385 A JP29637385 A JP 29637385A JP S62153958 A JPS62153958 A JP S62153958A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- exposure
- carrier
- carry
- exposes
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/20—Exposure; Apparatus therefor
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70425—Imaging strategies, e.g. for increasing throughput or resolution, printing product fields larger than the image field or compensating lithography- or non-lithography errors, e.g. proximity correction, mix-and-match, stitching or double patterning
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、基板の両面を印刷配線する自動露光機に関
するものである。
するものである。
第２図は従来の印刷配線板の自動露光機を示すもので、
図において、１ ａ ｒ １ ｂは上下に対向配置され
た露光ランプ、２は両うンプｌａ、ｌｂＯ間に配設され
たガラス板、３はこのガラス板２上に配したパターン形
成用ワークフィルムをセットした下アクリル板、４は同
じくパターン形成用ワークフィルムをセットした上下動
可能の上アクリル板、５は上記下アクリル板３上にセッ
トした印刷配線板となる基板である。６は搬入コンベア
７に乗せて基板５をアクリル板３上にセットする搬入キ
ャリア、８は搬出コンベア９に乗せて基板５を搬出する
搬出キャリアである。
図において、１ ａ ｒ １ ｂは上下に対向配置され
た露光ランプ、２は両うンプｌａ、ｌｂＯ間に配設され
たガラス板、３はこのガラス板２上に配したパターン形
成用ワークフィルムをセットした下アクリル板、４は同
じくパターン形成用ワークフィルムをセットした上下動
可能の上アクリル板、５は上記下アクリル板３上にセッ
トした印刷配線板となる基板である。６は搬入コンベア
７に乗せて基板５をアクリル板３上にセットする搬入キ
ャリア、８は搬出コンベア９に乗せて基板５を搬出する
搬出キャリアである。
上記のように構成した自動露光機は、搬入キャリア６に
よって下アクリル板３上にセットされた基板５が露光ラ
ンプ１ａｓｌｂの発光を上下アクリル板３，４を通して
上下両面が同時ＫＭ光される。露光後は上アクリル板４
が上昇し、基板５は搬出キャリア８によって搬出される
。
よって下アクリル板３上にセットされた基板５が露光ラ
ンプ１ａｓｌｂの発光を上下アクリル板３，４を通して
上下両面が同時ＫＭ光される。露光後は上アクリル板４
が上昇し、基板５は搬出キャリア８によって搬出される
。
従来の自動露光機は以上のように構成されているため、
上アクリル板４のワークフィルムと、下アクリル板３の
ワークフィルムとの位置合わせは狭い上下の露光ランプ
１ ａ ＊ ｌ ｂの空間で行なわれるのでワークフィ
ルムのセットに手数を要していた。また、露光ランプ１
ａ ＋ １ ｂ＋露光テーブルとなるガラス板２が固
定され、かつその空間内で搬出、入キャリアが移動する
スペースを必要とするため露光ランプの配置間隔が広く
なり、したがって出力の大きなランプが必要となる。さ
らに、ワークフィルムと基板に介在する空気溜りを真空
で排除することが困難であった。
上アクリル板４のワークフィルムと、下アクリル板３の
ワークフィルムとの位置合わせは狭い上下の露光ランプ
１ ａ ＊ ｌ ｂの空間で行なわれるのでワークフィ
ルムのセットに手数を要していた。また、露光ランプ１
ａ ＋ １ ｂ＋露光テーブルとなるガラス板２が固
定され、かつその空間内で搬出、入キャリアが移動する
スペースを必要とするため露光ランプの配置間隔が広く
なり、したがって出力の大きなランプが必要となる。さ
らに、ワークフィルムと基板に介在する空気溜りを真空
で排除することが困難であった。
この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、露光機の小型化が図れると共に、露光ランプ
が低出力ですむ上、取扱いの容易な印刷配線板の自動露
光機を得ることを目的とする。
たもので、露光機の小型化が図れると共に、露光ランプ
が低出力ですむ上、取扱いの容易な印刷配線板の自動露
光機を得ることを目的とする。
この発明に係る自動露光機は、基板の下面を露光する下
面露光部と、基板の上面を露光する別のステージに配置
した上面露光部とよりなる。
面露光部と、基板の上面を露光する別のステージに配置
した上面露光部とよりなる。
この発明における自動露光機は、基板の下面を下面露光
部によりパターンを露光印刷１７にのち、基板の上面を
別のステージの上面露光部でパターンを露光印刷できる
ようにしたので、露光ランプの対向側が空間となり、パ
ターン形成用のワークフィルムのセットが容易に行なう
ことができる。
部によりパターンを露光印刷１７にのち、基板の上面を
別のステージの上面露光部でパターンを露光印刷できる
ようにしたので、露光ランプの対向側が空間となり、パ
ターン形成用のワークフィルムのセットが容易に行なう
ことができる。
以下この発明の一実施例を図について説明する。
第１図において、１０は基板の搬入キャリア、１１は昇
降手段１２により上下動可能の搬入側テーブル、１３は
下面露光部の露光ランプで、１４は露光ランプ１３の上
方に配置した露光テーブル、１５はこのテーブル１４上
にセットされた基板１６をテーブル１４に真空密着する
バックアップシート、１７は基板１６を別のステージへ
搬送する移動キャリア、１８は上面露光部の露光ランプ
で、１９は昇降手段２０により上下動可能にした露光テ
ーブルである。２１は搬出キャリア、２２は昇降手段２
３を有する上下動可能の搬出側テーブルである。
降手段１２により上下動可能の搬入側テーブル、１３は
下面露光部の露光ランプで、１４は露光ランプ１３の上
方に配置した露光テーブル、１５はこのテーブル１４上
にセットされた基板１６をテーブル１４に真空密着する
バックアップシート、１７は基板１６を別のステージへ
搬送する移動キャリア、１８は上面露光部の露光ランプ
で、１９は昇降手段２０により上下動可能にした露光テ
ーブルである。２１は搬出キャリア、２２は昇降手段２
３を有する上下動可能の搬出側テーブルである。
次に動作について説明する。搬入側テーブル１１上に置
かれた基板は搬入キャリア１０により露光テーブル１４
上にセットされ、搬入キャリア１０は後退する。その後
、基板１６はバックアップシート１５によって露光テー
ブル１４に真空密着され、露光ランプ１３の発光を図示
しないパターン形成用のワークフィルムを通して基板１
６の下面に露光し、パターン印刷する。露光の終了後、
基板１６は移動キャリア１７により別の露光テーブル１
９上にセットされ、その後テーブル１９は上昇して図示
しないパターン形成用のワークフィルムに基板を接触さ
せ、かつテーブル１９に真空密着させて露光ランプ１８
によって基板の上面をパターン印刷する。かくして露光
後にテーブル１９を下降させ、テーブル上の基板は搬出
キャリア２１によって搬出される。
かれた基板は搬入キャリア１０により露光テーブル１４
上にセットされ、搬入キャリア１０は後退する。その後
、基板１６はバックアップシート１５によって露光テー
ブル１４に真空密着され、露光ランプ１３の発光を図示
しないパターン形成用のワークフィルムを通して基板１
６の下面に露光し、パターン印刷する。露光の終了後、
基板１６は移動キャリア１７により別の露光テーブル１
９上にセットされ、その後テーブル１９は上昇して図示
しないパターン形成用のワークフィルムに基板を接触さ
せ、かつテーブル１９に真空密着させて露光ランプ１８
によって基板の上面をパターン印刷する。かくして露光
後にテーブル１９を下降させ、テーブル上の基板は搬出
キャリア２１によって搬出される。
以上説明したようにこの発明によれば、基板の上下両面
を片面毎に別の露光ステージによって連続的に露光しパ
ターン印刷するようにしたので、各々の露光ランプの対
向側が空間となってパターン形成用のワークフィルムの
セットが容易に行なえる。また、基板の片面ずつの露光
であるが連続露光であるから従来の両面同時の露光と殆
んど変わることはない。さらに、露光テーブルと露光ラ
ンプとの距離を狭くできるので、ランプ出力は小さくて
よい上、全体が小型化できる等の効果がある０
を片面毎に別の露光ステージによって連続的に露光しパ
ターン印刷するようにしたので、各々の露光ランプの対
向側が空間となってパターン形成用のワークフィルムの
セットが容易に行なえる。また、基板の片面ずつの露光
であるが連続露光であるから従来の両面同時の露光と殆
んど変わることはない。さらに、露光テーブルと露光ラ
ンプとの距離を狭くできるので、ランプ出力は小さくて
よい上、全体が小型化できる等の効果がある０
第１図はこの発明の一実施例による自動露光機の正面図
、＃ｊ２ｆＩ！Ｊは従来の自動露光機の正面図である。 １０・・・搬入キャリア、１３．１８・・−露光ランプ
、１４．１９・・・露光テーブル、１６・・・基板、１
７・・・移動キャリア、２０・・・昇降手段、２１・・
・搬出キャリア。
、＃ｊ２ｆＩ！Ｊは従来の自動露光機の正面図である。 １０・・・搬入キャリア、１３．１８・・−露光ランプ
、１４．１９・・・露光テーブル、１６・・・基板、１
７・・・移動キャリア、２０・・・昇降手段、２１・・
・搬出キャリア。
Claims (2)
- （１）基板の両面を印刷配線する自動露光機において、
搬入キャリアによって搬送されセットされた基板の下面
を露光する下面露光部と、露光された上記基板を移動キ
ャリアによって搬送されセットされた基板の上面を露光
する上面露光部とからなることを特徴とする印刷配線板
の自動露光機。 - （２）上面露光部は露光テーブルが露光ランプに対して
上下動可能にしたことを特徴とする特許請求の範囲第１
項記載の印刷配線板の自動露光機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60296373A JPS62153958A (ja) | 1985-12-27 | 1985-12-27 | 印刷配線板の自動露光機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60296373A JPS62153958A (ja) | 1985-12-27 | 1985-12-27 | 印刷配線板の自動露光機 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62153958A true JPS62153958A (ja) | 1987-07-08 |
Family
ID=17832710
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60296373A Pending JPS62153958A (ja) | 1985-12-27 | 1985-12-27 | 印刷配線板の自動露光機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62153958A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0443106A2 (en) * | 1990-02-21 | 1991-08-28 | Ushio Denki | Exposure apparatus |
-
1985
- 1985-12-27 JP JP60296373A patent/JPS62153958A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0443106A2 (en) * | 1990-02-21 | 1991-08-28 | Ushio Denki | Exposure apparatus |
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