JPS6186935A - 反応装置およびこの反応装置を用いる燃料電池発電方法 - Google Patents
反応装置およびこの反応装置を用いる燃料電池発電方法Info
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- JPS6186935A JPS6186935A JP59209561A JP20956184A JPS6186935A JP S6186935 A JPS6186935 A JP S6186935A JP 59209561 A JP59209561 A JP 59209561A JP 20956184 A JP20956184 A JP 20956184A JP S6186935 A JPS6186935 A JP S6186935A
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01M—PROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
- H01M8/00—Fuel cells; Manufacture thereof
- H01M8/06—Combination of fuel cells with means for production of reactants or for treatment of residues
- H01M8/0606—Combination of fuel cells with means for production of reactants or for treatment of residues with means for production of gaseous reactants
- H01M8/0612—Combination of fuel cells with means for production of reactants or for treatment of residues with means for production of gaseous reactants from carbon-containing material
- H01M8/0625—Combination of fuel cells with means for production of reactants or for treatment of residues with means for production of gaseous reactants from carbon-containing material in a modular combined reactor/fuel cell structure
- H01M8/0631—Reactor construction specially adapted for combination reactor/fuel cell
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
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- Hydrogen, Water And Hydrids (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、コンパクトで高性能の反応装゛１゛ｔおよび
この反応装置−＋ｆｆｉ ’ｉｒ：用いる、−１効率の
良好な１伏第３［民池発准方法に関するものである。
この反応装置−＋ｆｆｉ ’ｉｒ：用いる、−１効率の
良好な１伏第３［民池発准方法に関するものである。
従来の伎イｄ１
従来、触媒を用いた反応装置としては、ト次呪諺などの
バーナーで・燃焼した加熱ガスを熱源として用いる熱交
換型反応装置ｉＲが良く知られている。
バーナーで・燃焼した加熱ガスを熱源として用いる熱交
換型反応装置ｉＲが良く知られている。
発明が解決しようとする・１−ｉ１頭点上記従来の反応
装置は、バーナーまたは樗焼順で発生した１、裟焼加熱
ガスの熱を、輻射あるいは対流１云熱により１ズ応；呻
す某、′蕾に１云熱するため、゛云−１（；氏抗が大き
く熱効率が良くない。−また・ｔ、隘゛掛が低カロリー
ガスで組成の変動が激しい場合、安定、′大暁、τ困）
＞［１：であるという間”頂点があった。
装置は、バーナーまたは樗焼順で発生した１、裟焼加熱
ガスの熱を、輻射あるいは対流１云熱により１ズ応；呻
す某、′蕾に１云熱するため、゛云−１（；氏抗が大き
く熱効率が良くない。−また・ｔ、隘゛掛が低カロリー
ガスで組成の変動が激しい場合、安定、′大暁、τ困）
＞［１：であるという間”頂点があった。
本発明は一ヒ記のｌｊｊ ｋ頂点を解決するためになさ
れたもので、安定に燃焼でき、高い熱効率を発揮する触
媒反応装置およびこの反応装置１ｔを慮１：：１． ＋
、二池′、二五装置ｊ、７ｆのオフガス制用システムの
反応装置；ｔとして用いる方法のｓ’ｗ 供を目的とす
るものである。。
れたもので、安定に燃焼でき、高い熱効率を発揮する触
媒反応装置およびこの反応装置１ｔを慮１：：１． ＋
、二池′、二五装置ｊ、７ｆのオフガス制用システムの
反応装置；ｔとして用いる方法のｓ’ｗ 供を目的とす
るものである。。
間旬点を）眸、失するだめの手段
本１ｄ明の反応装ｆｉｊｔは、一方の面に光熱反Ｉ芯用
；胛謀の担持層、コーチインク１曽または充填層を形成
し、曲刃の面に吸熱反応用触１県の担持ＩＷ、コーチイ
ンク・・蕾または充填層を形成したエレメントを蹟５苦
したことを特徴としている。
；胛謀の担持層、コーチインク１曽または充填層を形成
し、曲刃の面に吸熱反応用触１県の担持ＩＷ、コーチイ
ンク・・蕾または充填層を形成したエレメントを蹟５苦
したことを特徴としている。
また本う６明の反応装置を用いる燃料直池発直方法、・
ま、一方の面に発熱１ｙ’応用触１渫の担持１・浦、コ
ーチインク〜または７℃ねｔ ！’ｒｉｌ ’に形成し
、油力の面ンこ１吸熱ｊ１．−６ 用；ｌＪ３ ’楯の
担持１・Δ、コーチインクトΔまたは充填層を形成した
エレメントを積１−シた反１芯装、４を、Ｉｓ ｆ−Ｅ
ｌ屯池のＰ料ガス改質器として用いることを！待機とし
ている。
ま、一方の面に発熱１ｙ’応用触１渫の担持１・浦、コ
ーチインク〜または７℃ねｔ ！’ｒｉｌ ’に形成し
、油力の面ンこ１吸熱ｊ１．−６ 用；ｌＪ３ ’楯の
担持１・Δ、コーチインクトΔまたは充填層を形成した
エレメントを積１−シた反１芯装、４を、Ｉｓ ｆ−Ｅ
ｌ屯池のＰ料ガス改質器として用いることを！待機とし
ている。
作用
＠熱反応用触媒ｔ・力で生成した熱が隔壁を通して１云
；−、Ｉｌされ、吸熱反応用触媒ｊΔにおける吸醜反応
の熱７１泉として、ド１［用される。
；−、Ｉｌされ、吸熱反応用触媒ｊΔにおける吸醜反応
の熱７１泉として、ド１［用される。
実施例
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。第１
図は両１ｉ１＄ ｆ楳とも担持またはコーチインク゛す
る場合を示している。すなわち隔壁ｌの一方の面に＠外
反１芯用触媒の担持層またはコーティング層２を形成し
、隔壁ｌの油力の面に吸熱反応用帥ｇの担持・・Δまた
はコーチインク１１・、填３を形成してエレメントを構
ｒ戊する。このエレメントのｆ夏数１女を一定量１浦で
表裏に交互に１頃番に債１・Δして発熱反応カス通路４
および吸ｄ）反ｊ志ガス通路５を形成するっ矢印Ａ（ｄ
発Ａト反応ガスの流れ方向、矢印Ｂは吸−ベ）反応ガス
の流れ方向を示している。担持層は多孔質担体などを予
め１’ｐ ’ｙ’：ｔ、 １に１没けておいて、これに
触媒を担持させて形成する。
図は両１ｉ１＄ ｆ楳とも担持またはコーチインク゛す
る場合を示している。すなわち隔壁ｌの一方の面に＠外
反１芯用触媒の担持層またはコーティング層２を形成し
、隔壁ｌの油力の面に吸熱反応用帥ｇの担持・・Δまた
はコーチインク１１・、填３を形成してエレメントを構
ｒ戊する。このエレメントのｆ夏数１女を一定量１浦で
表裏に交互に１頃番に債１・Δして発熱反応カス通路４
および吸ｄ）反ｊ志ガス通路５を形成するっ矢印Ａ（ｄ
発Ａト反応ガスの流れ方向、矢印Ｂは吸−ベ）反応ガス
の流れ方向を示している。担持層は多孔質担体などを予
め１’ｐ ’ｙ’：ｔ、 １に１没けておいて、これに
触媒を担持させて形成する。
第２図に示すように、吸熱反応触１楳を担持；酒まだは
コーティング層３とし、発熱反応用ｒＩ！ｌｌ媒を充填
層６とする場合もある。
コーティング層３とし、発熱反応用ｒＩ！ｌｌ媒を充填
層６とする場合もある。
また第３図に示すように、発熱反応用Ｉ弛１楳を担持層
またはコーティング層２とし、吸９ト反応用１ｆｆｊ煤
を充填、響７とする場合もある。
またはコーティング層２とし、吸９ト反応用１ｆｆｊ煤
を充填、響７とする場合もある。
さらに第４図に示すように、＠熱反応用触媒および吸熱
反応用１哩′楳を充填層６．７とする場合もある。
反応用１哩′楳を充填層６．７とする場合もある。
第５図〜第８図は本発明の反応装置を、燃料雀池用メタ
ノールリフオーマ−として利用する例を示している。第
５図において、１は隔壁（プレート）、８はＨ２燃・焼
昧媒担持面、１０はメタノールリフオーミングｌ１ｌｌ
ｌ！煤担持面、１１はスペーサであるっｅｊ５図に示す
各プレートを第６図に示すように侍２Δし、第７図に示
すように本体壁１２で被覆して反応装置を形成する。矢
印Ｃで示す方向に燃１４′（匡池オフガスなどのＨ２リ
ッチガスを供給すると、Ｈ２撚焼融煤担持而８で、Ｈ２
＋ｌ／２０２−Ｈ２Ｏの発熱反応が起こり、第８図に示
すように矢印Ｇの方向に勢多動する。燃・暁徘ガヌは矢
印りの方向に排出される。一方、矢印Ｅの方向にメタノ
ールとスチームの混合ガスが供給され、メタノ−！レリ
フオーミンク触媒担持面１０で、ＣＨ３０Ｈ＋ ｌ−Ｉ
２０− ＣＯ２＋３１（２の吸パ反応が１１ｅこり、少
量のＣ○、Ｈ２Ｏを含むＨ２、ＣＯ２は矢印Ｆの方向に
排出される。
ノールリフオーマ−として利用する例を示している。第
５図において、１は隔壁（プレート）、８はＨ２燃・焼
昧媒担持面、１０はメタノールリフオーミングｌ１ｌｌ
ｌ！煤担持面、１１はスペーサであるっｅｊ５図に示す
各プレートを第６図に示すように侍２Δし、第７図に示
すように本体壁１２で被覆して反応装置を形成する。矢
印Ｃで示す方向に燃１４′（匡池オフガスなどのＨ２リ
ッチガスを供給すると、Ｈ２撚焼融煤担持而８で、Ｈ２
＋ｌ／２０２−Ｈ２Ｏの発熱反応が起こり、第８図に示
すように矢印Ｇの方向に勢多動する。燃・暁徘ガヌは矢
印りの方向に排出される。一方、矢印Ｅの方向にメタノ
ールとスチームの混合ガスが供給され、メタノ−！レリ
フオーミンク触媒担持面１０で、ＣＨ３０Ｈ＋ ｌ−Ｉ
２０− ＣＯ２＋３１（２の吸パ反応が１１ｅこり、少
量のＣ○、Ｈ２Ｏを含むＨ２、ＣＯ２は矢印Ｆの方向に
排出される。
々′Ｓ９図および第１θ図はフィン１５を設けた反応装
ｆ’ｊの例を示している。燃料電池オフガス中のｈ２リ
ッチガスを燃・暁させるためのＴ（２，ｌ然１．３°ム
触媒担持Ｉ・１噌１３とメタノールシリフォーミング融
媒担持ＩＢ’４７１４とを交互に配列し、ｒｅｄ １
Ｂで発生した熱を＠接した層１４に伝達供給し、ｉ・；
！ １４のリフオーミンク反応の熱源として利用する。
ｆ’ｊの例を示している。燃料電池オフガス中のｈ２リ
ッチガスを燃・暁させるためのＴ（２，ｌ然１．３°ム
触媒担持Ｉ・１噌１３とメタノールシリフォーミング融
媒担持ＩＢ’４７１４とを交互に配列し、ｒｅｄ １
Ｂで発生した熱を＠接した層１４に伝達供給し、ｉ・；
！ １４のリフオーミンク反応の熱源として利用する。
曲の構成は第５１図〜第８図の場合と同様である。
つぎに本発明の反応装置を燃料電池全社装置のメタノー
ルリフオーマ−として用いる場合のフローを第１１図に
示す。リフオーマ一本に１６からの改質ガス（−例とし
てＨ２７４ＶＯ１％、Ｃ○２〜′○工Ｏ・ｂ、ＣＯ２２
４■０１％）は・燃料電池本体１７へ供給されて燃料と
して（重用される。燃料電池本体１７において、水素極
ではＨ２→２Ｈ＋ ２ｅ−の反応が起こり、酸素’ｊｌ
ｉ’−テ（’ｌ： １ ／ ２ ’Ｊ２ ＋ ２ Ｈ”
＋２８−−Ｈ２０の反応が１１こる。燃料、■池本体
１７からのオフガス（余剰力ス）（−例としてＨ２４６
ＶＯ工％、ＣＯ４ｖ’ｏ工％、Ｃ０２５０Ｖ○１％）は
空気とともにリフオーマ一本体１６に供給されＨ２原と
して利用される。１８はメタノールタンク、２０は純水
タンク、２１ばｒＪ２ボン−く、２２はメタノール・水
蒸発加櫻１２３は熱交換＋’！＆ｓ２４は起動用加熱器
、２５は制仰藩、２６ ＋−ｉ蓄″混池である。
ルリフオーマ−として用いる場合のフローを第１１図に
示す。リフオーマ一本に１６からの改質ガス（−例とし
てＨ２７４ＶＯ１％、Ｃ○２〜′○工Ｏ・ｂ、ＣＯ２２
４■０１％）は・燃料電池本体１７へ供給されて燃料と
して（重用される。燃料電池本体１７において、水素極
ではＨ２→２Ｈ＋ ２ｅ−の反応が起こり、酸素’ｊｌ
ｉ’−テ（’ｌ： １ ／ ２ ’Ｊ２ ＋ ２ Ｈ”
＋２８−−Ｈ２０の反応が１１こる。燃料、■池本体
１７からのオフガス（余剰力ス）（−例としてＨ２４６
ＶＯ工％、ＣＯ４ｖ’ｏ工％、Ｃ０２５０Ｖ○１％）は
空気とともにリフオーマ一本体１６に供給されＨ２原と
して利用される。１８はメタノールタンク、２０は純水
タンク、２１ばｒＪ２ボン−く、２２はメタノール・水
蒸発加櫻１２３は熱交換＋’！＆ｓ２４は起動用加熱器
、２５は制仰藩、２６ ＋−ｉ蓄″混池である。
つき゛に第１２図および第１３区に基づいて、反］志装
］角の温度分布を比ｌ咬する。第１２図は本究明の反応
装置の温度分布を示し、第１３図は従来の反・志裂、！
イの温度分画を示している。第１２図に示すように、発
熱反応で発生しだ熱はガス側の伝熱抵抗に比べて金属側
の伝熱抵抗が非常に小さく、しかも一方で吸熱反応が起
こっているため、熱エネルギーの移動（、ま金、′よ側
へ起こる。ＣｔニーＺｎ酬媒でツタノー／Ｌ／ ＩＪフ
オーミングヴ応を２５０’Ｃの温度で起こす場合、本発
明では、加二塾側のｌ温度が２５２°Ｃでよいが、従来
の加熱方式では第１３図に示すように、９５０°Ｃの加
熱ガスを必要とする。つまり本究明は熱交換効率の高い
省エネルギー型の反応装置とすることができる。しかも
従来のように加熱ガス流量を多量に流す必要がないだめ
コンパクト化できる。
］角の温度分布を比ｌ咬する。第１２図は本究明の反応
装置の温度分布を示し、第１３図は従来の反・志裂、！
イの温度分画を示している。第１２図に示すように、発
熱反応で発生しだ熱はガス側の伝熱抵抗に比べて金属側
の伝熱抵抗が非常に小さく、しかも一方で吸熱反応が起
こっているため、熱エネルギーの移動（、ま金、′よ側
へ起こる。ＣｔニーＺｎ酬媒でツタノー／Ｌ／ ＩＪフ
オーミングヴ応を２５０’Ｃの温度で起こす場合、本発
明では、加二塾側のｌ温度が２５２°Ｃでよいが、従来
の加熱方式では第１３図に示すように、９５０°Ｃの加
熱ガスを必要とする。つまり本究明は熱交換効率の高い
省エネルギー型の反応装置とすることができる。しかも
従来のように加熱ガス流量を多量に流す必要がないだめ
コンパクト化できる。
究明の効果
本発明は上記のように構成されているので、つぎのよう
な効果を奏する。
な効果を奏する。
（１） 従来の反応層・壇では、燃焼炉バーナーの儒
焼加熱のため低カロリーガス・燃料組成変動が激しい場
合には安定燃焼が困難であるが、本発明では触媒Δ温度
をバーナーなどで加熱外温した後、触媒１ズ応でこれら
の安定燃焼が困う推なガスも安定に燃焼でき、燃料電池
発成装置のオフガス利用システムの反応装置として有効
である。
焼加熱のため低カロリーガス・燃料組成変動が激しい場
合には安定燃焼が困難であるが、本発明では触媒Δ温度
をバーナーなどで加熱外温した後、触媒１ズ応でこれら
の安定燃焼が困う推なガスも安定に燃焼でき、燃料電池
発成装置のオフガス利用システムの反応装置として有効
である。
（２）従来の反応装置１イは置型反応器であり、融媒、
１−の厚みを薄くすることに限界があるが、本発明の反
応装置では、薄い触媒層とすることが可能であり、装置
のコンパクト化と触媒反応層の温度分布が均一化できる
ため、反応の均一化が達成できる。
１−の厚みを薄くすることに限界があるが、本発明の反
応装置では、薄い触媒層とすることが可能であり、装置
のコンパクト化と触媒反応層の温度分布が均一化できる
ため、反応の均一化が達成できる。
（３）従来の反応装置の加熱方式では、熱伝達１購は輻
射・対流伝熱が主となり、そのため伝熱効率が良くない
。一方、本発明の担持・コーティング法では、その主伝
達機構は隔壁−触媒層間の伝導伝熱となり、その熱交換
効率が良いため省エネルギー反応装置となる。
射・対流伝熱が主となり、そのため伝熱効率が良くない
。一方、本発明の担持・コーティング法では、その主伝
達機構は隔壁−触媒層間の伝導伝熱となり、その熱交換
効率が良いため省エネルギー反応装置となる。
第１１Ａ−第４図は本発明の反応装置のエレメントの一
例を示すｌ断面説明図、第５図はエレメントのｉ斗予見
図、第６１図はエレメントを＋貢層した状態を示す斜視
図、鴎７図は反応装装置の外１規図、第８図は反応装荷
を燃料電池用メタノ−７レリフオーマーとして利用する
嚇合の反応４攪構説明図、第９図はフィン付の反応装置
の一例を示す斜視図、第１０図は第９図の内部の要部を
示す断面説明図、第１１図は本発明の反応装置を燃料電
池発成装置のメタノールリフオーマ−として用いる場合
のフローシート、第１２図は本発明の、又応装置の温度
分布図、第１３図は１１ｆ末の反応装置の温度分布図で
ある。 １・・隔壁、２・・・発熱反応用触媒の担持層またはコ
ーチインブトΔ、３・・吸熱反応用触・楳の担持層まだ
・１まコーティング；・詔、４・・・発熱反応ガス通路
、５・・・吸熱反応ガス通路、６・・・発熱用融媒の充
填層、７・・・吸熱反応用触媒の充填層、８・・・Ｈ２
燃焼触媒担荷而、ｌＯ・・・メタノールシリ担持−ミン
グ触媒担持而、１１・・・スペーサ、１２・・・本体壁
、１３・・・Ｈ２燃２：４ ｆｉｌｌｌ楳担持ｔ、’弓
、１４・・・メタノールシリフォーミング１［ｉ！！’
煤担持１・Δ、１５・・フィン、１６・・・リフオーマ
一本体、１７・・・燃料混池本体、１８・・・メタノー
ルタンク、２０・・・純水タンク、２１・・・Ｎ２ボン
ベ、２２・・・メタノール・水蒸発加熱器、２３・・・
熱交換器、２４・・・起動゛用加熱器、２５・・・制御
器、２６・・・蓄電池 出 願人 川崎重工業株式会社 代 理 人 弁理士 塩 出 真 −１、′・パ：；
つ 第１図 第２図 第づ図 フインダ層 第４図
例を示すｌ断面説明図、第５図はエレメントのｉ斗予見
図、第６１図はエレメントを＋貢層した状態を示す斜視
図、鴎７図は反応装装置の外１規図、第８図は反応装荷
を燃料電池用メタノ−７レリフオーマーとして利用する
嚇合の反応４攪構説明図、第９図はフィン付の反応装置
の一例を示す斜視図、第１０図は第９図の内部の要部を
示す断面説明図、第１１図は本発明の反応装置を燃料電
池発成装置のメタノールリフオーマ−として用いる場合
のフローシート、第１２図は本発明の、又応装置の温度
分布図、第１３図は１１ｆ末の反応装置の温度分布図で
ある。 １・・隔壁、２・・・発熱反応用触媒の担持層またはコ
ーチインブトΔ、３・・吸熱反応用触・楳の担持層まだ
・１まコーティング；・詔、４・・・発熱反応ガス通路
、５・・・吸熱反応ガス通路、６・・・発熱用融媒の充
填層、７・・・吸熱反応用触媒の充填層、８・・・Ｈ２
燃焼触媒担荷而、ｌＯ・・・メタノールシリ担持−ミン
グ触媒担持而、１１・・・スペーサ、１２・・・本体壁
、１３・・・Ｈ２燃２：４ ｆｉｌｌｌ楳担持ｔ、’弓
、１４・・・メタノールシリフォーミング１［ｉ！！’
煤担持１・Δ、１５・・フィン、１６・・・リフオーマ
一本体、１７・・・燃料混池本体、１８・・・メタノー
ルタンク、２０・・・純水タンク、２１・・・Ｎ２ボン
ベ、２２・・・メタノール・水蒸発加熱器、２３・・・
熱交換器、２４・・・起動゛用加熱器、２５・・・制御
器、２６・・・蓄電池 出 願人 川崎重工業株式会社 代 理 人 弁理士 塩 出 真 −１、′・パ：；
つ 第１図 第２図 第づ図 フインダ層 第４図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 一方の面に発熱反応用触媒の担持層、コーティング
層または充填層を形成し、他方の面に吸熱反応用触媒の
担持層、コーティング層または充填層を形成したエレメ
ントを積層したことを特徴とする反応装置。 ２ エレメントにフィンを取り付けた特許請求の範囲第
１項記載の反応装置。 ３ 一方の面に発熱反応用触媒の担持層、コーティング
層または充填層を形成し、他方の面に吸熱反応用触媒の
担持層、コーティング層または充填層を形成したエレメ
ントを積層した反応装置を、燃料電池の燃料ガス改質器
として用いることを特徴とする燃料電池発電方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59209561A JPS6186935A (ja) | 1984-10-05 | 1984-10-05 | 反応装置およびこの反応装置を用いる燃料電池発電方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59209561A JPS6186935A (ja) | 1984-10-05 | 1984-10-05 | 反応装置およびこの反応装置を用いる燃料電池発電方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6186935A true JPS6186935A (ja) | 1986-05-02 |
| JPH0155896B2 JPH0155896B2 (ja) | 1989-11-28 |
Family
ID=16574862
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59209561A Granted JPS6186935A (ja) | 1984-10-05 | 1984-10-05 | 反応装置およびこの反応装置を用いる燃料電池発電方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6186935A (ja) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| US6891131B2 (en) | 2000-04-20 | 2005-05-10 | Tokyo Electron Limited | Thermal processing system |
| JP2006506225A (ja) * | 2002-11-18 | 2006-02-23 | アルファ ラヴァル コーポレイト アクチボラゲット | 反応器チャンバ用の流れ方向付けインサートおよび反応器 |
| JP2006248814A (ja) * | 2005-03-09 | 2006-09-21 | Hitachi Ltd | 水素供給装置および水素供給方法 |
| JP2006265007A (ja) * | 2005-03-22 | 2006-10-05 | Toyota Motor Corp | 燃料改質装置 |
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| JP2014188507A (ja) * | 2013-03-28 | 2014-10-06 | Jfe Steel Corp | 吸着塔およびガス分離装置 |
| JP2014188508A (ja) * | 2013-03-28 | 2014-10-06 | Jfe Steel Corp | ガス分離方法 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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Also Published As
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| JPH0155896B2 (ja) | 1989-11-28 |
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