JPS6184563A - 流体速度測定方法及びその装置 - Google Patents
流体速度測定方法及びその装置Info
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- JPS6184563A JPS6184563A JP20778084A JP20778084A JPS6184563A JP S6184563 A JPS6184563 A JP S6184563A JP 20778084 A JP20778084 A JP 20778084A JP 20778084 A JP20778084 A JP 20778084A JP S6184563 A JPS6184563 A JP S6184563A
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- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P5/00—Measuring speed of fluids, e.g. of air stream; Measuring speed of bodies relative to fluids, e.g. of ship, of aircraft
- G01P5/10—Measuring speed of fluids, e.g. of air stream; Measuring speed of bodies relative to fluids, e.g. of ship, of aircraft by measuring thermal variables
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は事務所、工場、地下街、風洞なとの空気または
各種の液体の流速あるいは粒体や［分体の移動速度を測
定する方法とその装置に関する。
各種の液体の流速あるいは粒体や［分体の移動速度を測
定する方法とその装置に関する。
流体の流速測定装置において多く使用されているものと
して風速計があり、風速計としては熱線風速計が多（使
用されている。この熱線風速計はタングステンや白金な
どのコイルで（ル！成したセンサに電圧を印加して一定
温度に昇温させ、かつその温度を維持させるように構成
し１．風速の変化による前記コイルの電気抵抗の変化に
伴なう電圧または電流、電力の変化に基づいて風速を測
定するものである。しかし、この風速計は、コイルが切
損しやすく、取り扱いや寿命の点で問題を有し、かつ各
センサによって特性に多少のばらつきか生じるから、各
センサの特性に合せてデータを更正することが必要とな
り、多点測定の場合には各センサに対してアンプなどを
設けることが必要となる難点も生じる。また、測定精度
を上げるために抵抗値の変化範囲が小さいものをアンプ
で大きく増巾しているからアンプのコストが上昇する難
点もあり、コイル状にしたホットワイヤの支持及びにそ
れに接続したリード線の保持などに対する構造が複雑に
なるなどの難点がある。
して風速計があり、風速計としては熱線風速計が多（使
用されている。この熱線風速計はタングステンや白金な
どのコイルで（ル！成したセンサに電圧を印加して一定
温度に昇温させ、かつその温度を維持させるように構成
し１．風速の変化による前記コイルの電気抵抗の変化に
伴なう電圧または電流、電力の変化に基づいて風速を測
定するものである。しかし、この風速計は、コイルが切
損しやすく、取り扱いや寿命の点で問題を有し、かつ各
センサによって特性に多少のばらつきか生じるから、各
センサの特性に合せてデータを更正することが必要とな
り、多点測定の場合には各センサに対してアンプなどを
設けることが必要となる難点も生じる。また、測定精度
を上げるために抵抗値の変化範囲が小さいものをアンプ
で大きく増巾しているからアンプのコストが上昇する難
点もあり、コイル状にしたホットワイヤの支持及びにそ
れに接続したリード線の保持などに対する構造が複雑に
なるなどの難点がある。
本発明は、強度が大きくし、かつ取り扱いを容易にする
とともに、多点測定を１台のアンプなどで行なうことを
可能にしてコストの引下げを可能にすること、及び測定
精度を上げ、センサの支持とそれのリード線の保持を容
易化することを目的とする。
とともに、多点測定を１台のアンプなどで行なうことを
可能にしてコストの引下げを可能にすること、及び測定
精度を上げ、センサの支持とそれのリード線の保持を容
易化することを目的とする。
本発明は、センサに電圧を印加して定温度を維持させ、
流体との接触でのセンサの温度変化によるセンサの電気
抵抗の変化に伴なう電圧または電流あるいは電力の変化
値に基づき流体の速度を測定する方法と装置において、
センサがゲルマニウムの単結晶体の小片で構成されてい
ることを特徴とする。
流体との接触でのセンサの温度変化によるセンサの電気
抵抗の変化に伴なう電圧または電流あるいは電力の変化
値に基づき流体の速度を測定する方法と装置において、
センサがゲルマニウムの単結晶体の小片で構成されてい
ることを特徴とする。
風速などの測定は、単結晶ゲルマニウムの小片からなる
センサを被測定流体中に置き、電圧を印加して定温度を
維持させ、被測定流体がセンサに接触することによるセ
ンサの温度変化に従って変わるセンサの電気抵抗の変化
に伴なって変わる電流または電圧あるいは電力の値に基
づいて被測定流体の速度を測定するものである。
センサを被測定流体中に置き、電圧を印加して定温度を
維持させ、被測定流体がセンサに接触することによるセ
ンサの温度変化に従って変わるセンサの電気抵抗の変化
に伴なって変わる電流または電圧あるいは電力の値に基
づいて被測定流体の速度を測定するものである。
本発明の測定装置の実施例を第１〜２図について説明す
ると、１はゲルマニウムの単結晶体からなる直方体状の
センサで、その長さ方向の一端に、無機材料で形成され
た棒状の支持体２かエポキシ樹脂などの接着剤層３で固
着されている。支持体２としては、電気絶縁材であると
ともに、断熱性にすぐれたものを使用する。その−例と
して、セラミックスまたはガラスなどの無機材料、又は
合成樹脂がある。４はセンサ１の長辺の一側面に、その
長さ方向の一端を残して固着した二酸化けい素などから
なる絶縁層で、この絶縁層４を有するセンサエの側面の
ほぼ全体に金などの電気抵抗が小さい金属を真空蒸着す
ることで、一端がセンサ１の長さ方向の一端に直接に固
着されたリード線５Ａを措成し、リード線５Ａを固着し
た面と反対のセンサ１の側面において、リード線５Ａの
直接に固着された端部と反対の端部に、真空蒸着による
リード線５Ｂの端部が固着されており、かつリード線５
Ａ、５Ｂは支持体２の側面に延長されている。６は平衡
増巾回路で、これにリード線５Ａ、５Ｂを接続し、セン
サ１に電圧を印加して、センサ１を一定温度に上昇させ
、かつその温度を維持させる、とともに、センサ１の電
気抵抗の変化に伴なう電流などを増巾するように構成さ
れている。
ると、１はゲルマニウムの単結晶体からなる直方体状の
センサで、その長さ方向の一端に、無機材料で形成され
た棒状の支持体２かエポキシ樹脂などの接着剤層３で固
着されている。支持体２としては、電気絶縁材であると
ともに、断熱性にすぐれたものを使用する。その−例と
して、セラミックスまたはガラスなどの無機材料、又は
合成樹脂がある。４はセンサ１の長辺の一側面に、その
長さ方向の一端を残して固着した二酸化けい素などから
なる絶縁層で、この絶縁層４を有するセンサエの側面の
ほぼ全体に金などの電気抵抗が小さい金属を真空蒸着す
ることで、一端がセンサ１の長さ方向の一端に直接に固
着されたリード線５Ａを措成し、リード線５Ａを固着し
た面と反対のセンサ１の側面において、リード線５Ａの
直接に固着された端部と反対の端部に、真空蒸着による
リード線５Ｂの端部が固着されており、かつリード線５
Ａ、５Ｂは支持体２の側面に延長されている。６は平衡
増巾回路で、これにリード線５Ａ、５Ｂを接続し、セン
サ１に電圧を印加して、センサ１を一定温度に上昇させ
、かつその温度を維持させる、とともに、センサ１の電
気抵抗の変化に伴なう電流などを増巾するように構成さ
れている。
この例の平衡増巾回路６は、センサ１に一定電圧を印加
し、センサ１の温度変化に伴なって変わるセンサ１の電
気抵抗の変化に電流量を対応させ一ζセンサ１に定温度
を維持させるように構成され、前記センサ１の電気抵抗
の変化に伴なう電流の変化を増巾するものである。平衡
増巾回路６としては、センサ１に一定電流を流し、セン
サ１の温度変化に伴なって変化する電圧を増巾するもの
、または、センサ１に一定温度を維持さゼるのに要する
付加電力の変化を電流値にまたは電圧値で読み取り、そ
れを増巾するものも使用可能である。
し、センサ１の温度変化に伴なって変わるセンサ１の電
気抵抗の変化に電流量を対応させ一ζセンサ１に定温度
を維持させるように構成され、前記センサ１の電気抵抗
の変化に伴なう電流の変化を増巾するものである。平衡
増巾回路６としては、センサ１に一定電流を流し、セン
サ１の温度変化に伴なって変化する電圧を増巾するもの
、または、センサ１に一定温度を維持さゼるのに要する
付加電力の変化を電流値にまたは電圧値で読み取り、そ
れを増巾するものも使用可能である。
７は温度の変化を電圧または電流または電力の変化値と
して表わす温度センサで、これが１ＭＬ度補償回路８に
接続されている。温度センサは、気体などの温度でセン
サ１の温度か変化し、風速などが変化した如くに電流な
どの変化が生じる場合がある。この温度変化による電流
などの変化を補償するのが温度センサ７であるから、温
度センサ７は風などの流体が直接に接しないようにカバ
ーで被覆するなどして構成されている。センサ１．７の
温度変化に伴なって、変わった電流などは加算回路９と
リニアライザ１０を介して表示器１１に風速などとして
表示される。
して表わす温度センサで、これが１ＭＬ度補償回路８に
接続されている。温度センサは、気体などの温度でセン
サ１の温度か変化し、風速などが変化した如くに電流な
どの変化が生じる場合がある。この温度変化による電流
などの変化を補償するのが温度センサ７であるから、温
度センサ７は風などの流体が直接に接しないようにカバ
ーで被覆するなどして構成されている。センサ１．７の
温度変化に伴なって、変わった電流などは加算回路９と
リニアライザ１０を介して表示器１１に風速などとして
表示される。
センサ１の形状は、そのシ［れた２点にリード線５Ａ、
５Ｂを取付けて、センサ１に電圧を印加し昇温可能な任
意の形状を選択することが可能で、丸棒状または帯板状
、立方体、球体などにすることも可能である。大きさは
、直方体の場合、例えば長さが１ｍｍで短辺の１辺が３
００μｍ、立方体の場合−辺が５００μｍ程度にする。
５Ｂを取付けて、センサ１に電圧を印加し昇温可能な任
意の形状を選択することが可能で、丸棒状または帯板状
、立方体、球体などにすることも可能である。大きさは
、直方体の場合、例えば長さが１ｍｍで短辺の１辺が３
００μｍ、立方体の場合−辺が５００μｍ程度にする。
ただし、この寸法に限定することは不要である。センサ
１に対する支持体２の固着においても、第４図は示すよ
うに、センサ１の長さ方向の中間部の側面にＴ字状に固
着するなど任意である。センサ１に対するリード線５Ａ
、５Ｂの固着位置も任意で、第３図は、リード線５Ｂの
端部をセンサ１と支持体２との間に挾む状態にしてセン
サｌの端面に固着した例である。第４図のように、支持
体２をセンサ１に対して丁字形にしたときには、センサ
１の支持体２を固着した側面の両端、または、センサ１
の長さ方向の両端面などの両端にリード線５を固着する
。
１に対する支持体２の固着においても、第４図は示すよ
うに、センサ１の長さ方向の中間部の側面にＴ字状に固
着するなど任意である。センサ１に対するリード線５Ａ
、５Ｂの固着位置も任意で、第３図は、リード線５Ｂの
端部をセンサ１と支持体２との間に挾む状態にしてセン
サｌの端面に固着した例である。第４図のように、支持
体２をセンサ１に対して丁字形にしたときには、センサ
１の支持体２を固着した側面の両端、または、センサ１
の長さ方向の両端面などの両端にリード線５を固着する
。
そして、前記の例ではリード線５を金属の薄着で形成し
たが、金属の線材を使用することも可能で、例えば、セ
ンサ１の端部にゲルマニウムと金の共晶合金を作成し、
それに白金線をハンダなどで固着する。リード線５とし
て金属線を使用した場合も絶縁物を介してセンサ１に固
着して、センサ１にリード線を支持させても、分離した
状態で支持体２に取付けるなど任意である。
たが、金属の線材を使用することも可能で、例えば、セ
ンサ１の端部にゲルマニウムと金の共晶合金を作成し、
それに白金線をハンダなどで固着する。リード線５とし
て金属線を使用した場合も絶縁物を介してセンサ１に固
着して、センサ１にリード線を支持させても、分離した
状態で支持体２に取付けるなど任意である。
ゲルマニウムの比抵抗対温度の関係は第８図に例示した
ように、山型にほう物線状に折曲したものとなるが、こ
の折点の位置を変えるために、ゲルマニウムに対し不純
物を混合することも可能で、混合物として、Ｎ型ゲルマ
ニウムの場合は、アンチモン、ひ素、リンなどがあり、
Ｐ型ゲルマニウムの場合は、酸化ガリウム、ボロン、イ
ンジュームなどがある。第８図では、前記のような不純
物の量を１０′２〜１０１０１ｓａｔｏ／ｃｎｆ混入し
た場合を示シタが、混入量は更に多くも、少なくもでき
る。測定時におけるセンサ１の設定温度は、前記ゲルマ
ニウムの特性曲線において、その折点よりも高温側の傾
斜部を使用する。
ように、山型にほう物線状に折曲したものとなるが、こ
の折点の位置を変えるために、ゲルマニウムに対し不純
物を混合することも可能で、混合物として、Ｎ型ゲルマ
ニウムの場合は、アンチモン、ひ素、リンなどがあり、
Ｐ型ゲルマニウムの場合は、酸化ガリウム、ボロン、イ
ンジュームなどがある。第８図では、前記のような不純
物の量を１０′２〜１０１０１ｓａｔｏ／ｃｎｆ混入し
た場合を示シタが、混入量は更に多くも、少なくもでき
る。測定時におけるセンサ１の設定温度は、前記ゲルマ
ニウムの特性曲線において、その折点よりも高温側の傾
斜部を使用する。
この装置による、例えば風洞内の風速の測定について説
明すると、公知の装置と同様に、過当なサポート部１２
に支持体２を介して取付けたセンサ１を、そのゲルマニ
ウムの表出側を風の流動方向と相対して、第７図のよう
に風洞１３内に設直し、かつ温度センサ７を風洞１３内
にセットする。□風洞１３内にセ・ノドしたセンサ１に
対して平衡増巾回路６から一定電圧を印加し、センサ１
を所定温度に昇温させ、かつその温度を維持させる。そ
して、風洞１３内の風速が変化すると、それに応じて風
とセンサ１間に熱交換が生じ、センサ１の温度が変化し
てその電気抵抗が変わる。電気抵抗の変化に対応して変
わる電流を増巾回路６で増巾し、その値に基づいて加算
回路９、リニアライザ１０を介して表示器１１に風速を
表示する。
明すると、公知の装置と同様に、過当なサポート部１２
に支持体２を介して取付けたセンサ１を、そのゲルマニ
ウムの表出側を風の流動方向と相対して、第７図のよう
に風洞１３内に設直し、かつ温度センサ７を風洞１３内
にセットする。□風洞１３内にセ・ノドしたセンサ１に
対して平衡増巾回路６から一定電圧を印加し、センサ１
を所定温度に昇温させ、かつその温度を維持させる。そ
して、風洞１３内の風速が変化すると、それに応じて風
とセンサ１間に熱交換が生じ、センサ１の温度が変化し
てその電気抵抗が変わる。電気抵抗の変化に対応して変
わる電流を増巾回路６で増巾し、その値に基づいて加算
回路９、リニアライザ１０を介して表示器１１に風速を
表示する。
多点測定をする場合は、スキャナーを介して、各センサ
１の電流または電圧、電力の変化を増巾すればよく、１
台の増巾回路で複数のセンサ１のデータを処理すること
ができる。
１の電流または電圧、電力の変化を増巾すればよく、１
台の増巾回路で複数のセンサ１のデータを処理すること
ができる。
この装置は上記のように、単結晶のゲルマニウムをセン
サ１として使用しており、ゲルマニウムは第８図の特性
曲線から明らかなように、風速の変化に伴なう温度の変
化に対応して変わる電気抵抗が大きいから、風速の変化
を的確に測定できるとともに、精度の高い測定を行なう
ことが可能である。そして、ゲルマニウムは第８図に例
示したように、不純物の混入量によって温度は異なるが
、温度の低下に伴なって電気抵抗が低下するから、起動
時においてセンサ１を所定の温度に昇温する場合、比較
的小さな電力で足りるから、起・肋を経済的にかつ効率
よく行ないうる。センリ゛１としてゲルマニウムの直方
体などの小ノｖを使用するから、ホットワイヤに比して
、その表面積か大きくなり、測定時にセンサ１の表面る
こほこりなとか付着した場合にも、そのほこりなどによ
るセンサｌ全体に対する影響を小さくでき、はぼ（モ意
の環境で風速の測定を行なうことが可能であり、かつホ
ットワイヤのように断線などの破損の３それかほとんど
なく、取扱いが容易であり、ホットワイヤに比して大き
な電流を流すことが可能であるから、ノイズによる測定
の誤差の解決が可能である。
サ１として使用しており、ゲルマニウムは第８図の特性
曲線から明らかなように、風速の変化に伴なう温度の変
化に対応して変わる電気抵抗が大きいから、風速の変化
を的確に測定できるとともに、精度の高い測定を行なう
ことが可能である。そして、ゲルマニウムは第８図に例
示したように、不純物の混入量によって温度は異なるが
、温度の低下に伴なって電気抵抗が低下するから、起動
時においてセンサ１を所定の温度に昇温する場合、比較
的小さな電力で足りるから、起・肋を経済的にかつ効率
よく行ないうる。センリ゛１としてゲルマニウムの直方
体などの小ノｖを使用するから、ホットワイヤに比して
、その表面積か大きくなり、測定時にセンサ１の表面る
こほこりなとか付着した場合にも、そのほこりなどによ
るセンサｌ全体に対する影響を小さくでき、はぼ（モ意
の環境で風速の測定を行なうことが可能であり、かつホ
ットワイヤのように断線などの破損の３それかほとんど
なく、取扱いが容易であり、ホットワイヤに比して大き
な電流を流すことが可能であるから、ノイズによる測定
の誤差の解決が可能である。
単結晶のゲルマニウムは非常に純度が高いものをうるこ
とが可能で、同一特性の素子をうろことが容易にできる
から、多点計よりの（９合、各センサのデータを同一の
平衡増巾回路で処理することが可能で、多点計測を容易
化し、かつそのコストを引下げることが可能である。
とが可能で、同一特性の素子をうろことが容易にできる
から、多点計よりの（９合、各センサのデータを同一の
平衡増巾回路で処理することが可能で、多点計測を容易
化し、かつそのコストを引下げることが可能である。
センサ１の支持においても、それがゲルマニウムの小片
で構成されており、変形しないから、第２〜４図に例示
したように、センサ１の側面に対して１仝状の支持体２
を直接に固着でき、かつ支持体２は１本でよいから、セ
ンサ１の支持を容易にかつ強固に行なうことが可能で、
空気中はもちろん液体や粒体中でも安定よく使用しうる
。そして、センサ１が棒状の場合、第２〜４図のように
、その長さ方向の端部または第４図のように長辺側面な
どに支持体２を取付ける位置を選択することが可能であ
るから、使用条件などに応じてセンサ１に対して支持体
２を固着すれば、より的確な測定ができる。例えば、第
４図のように、センサ１と支持体２とをＴ字状にすれば
、支持体２を気体などの流動方向と平行方向にして、セ
ンサ１の表面を気体などの流動方向と相対向させること
ができ、支持体２による測定に対する影響を少なくでき
る。
で構成されており、変形しないから、第２〜４図に例示
したように、センサ１の側面に対して１仝状の支持体２
を直接に固着でき、かつ支持体２は１本でよいから、セ
ンサ１の支持を容易にかつ強固に行なうことが可能で、
空気中はもちろん液体や粒体中でも安定よく使用しうる
。そして、センサ１が棒状の場合、第２〜４図のように
、その長さ方向の端部または第４図のように長辺側面な
どに支持体２を取付ける位置を選択することが可能であ
るから、使用条件などに応じてセンサ１に対して支持体
２を固着すれば、より的確な測定ができる。例えば、第
４図のように、センサ１と支持体２とをＴ字状にすれば
、支持体２を気体などの流動方向と平行方向にして、セ
ンサ１の表面を気体などの流動方向と相対向させること
ができ、支持体２による測定に対する影響を少なくでき
る。
多点測定をする場合は、第６図のように、センサ１にＴ
字状に固着した支持体２を適当なボール１４に直角方向
に固着すれば、複数す支持体２のすべてを気体の流動方
向と平行方向にすることができ、支持体２の影響をより
小さくすることか可能である。
字状に固着した支持体２を適当なボール１４に直角方向
に固着すれば、複数す支持体２のすべてを気体の流動方
向と平行方向にすることができ、支持体２の影響をより
小さくすることか可能である。
センサ１としてゲルマニウムの小片を使用した結果、そ
れに端部を取付けたリード線５の保持を、第２〜４図の
ように、センサ１の表面に固着することが可能であるか
ら、リード線５の保持か容易で、リード線５を保持する
ための部材を不要にできるとともに、リード線が測定の
邪魔になるような問題も解決でき、センサ１の部分の構
造を筒易化して、指向性をな（することに寄与しうる。
れに端部を取付けたリード線５の保持を、第２〜４図の
ように、センサ１の表面に固着することが可能であるか
ら、リード線５の保持か容易で、リード線５を保持する
ための部材を不要にできるとともに、リード線が測定の
邪魔になるような問題も解決でき、センサ１の部分の構
造を筒易化して、指向性をな（することに寄与しうる。
本発明は上記のように、センサを単結晶ゲルマニウムの
小片で構成しているから、破損すどのおそれがなく取扱
いが容易であるとともに、比較的大きな電流を流すこと
ができるからノイズによる測定誤差の問題を解決するこ
とが可能である。そして、同一特性の素子をうろことが
可能であるから多点測定の場合、複数のセンサのデータ
を１台の増巾器などで処理することが可能であり、多点
測定を容易化でき、かつそのコストの引下げが可能であ
る。ゲルマニウムは、温度変化による電気抵抗の変化が
比較的大きいから、風速の変化を的確に、かつ高精度で
測定できる。また、本発明のセンサは、その表面積が比
較的大きく、はこりが、付着した場合における影響を小
さくできるから、風速については任意の環境での測定が
可能であり、その他液体、粒体及び粉体の流動速度の測
定にも使用可能である。
小片で構成しているから、破損すどのおそれがなく取扱
いが容易であるとともに、比較的大きな電流を流すこと
ができるからノイズによる測定誤差の問題を解決するこ
とが可能である。そして、同一特性の素子をうろことが
可能であるから多点測定の場合、複数のセンサのデータ
を１台の増巾器などで処理することが可能であり、多点
測定を容易化でき、かつそのコストの引下げが可能であ
る。ゲルマニウムは、温度変化による電気抵抗の変化が
比較的大きいから、風速の変化を的確に、かつ高精度で
測定できる。また、本発明のセンサは、その表面積が比
較的大きく、はこりが、付着した場合における影響を小
さくできるから、風速については任意の環境での測定が
可能であり、その他液体、粒体及び粉体の流動速度の測
定にも使用可能である。
センサを支持するための支持体は、素子に直接固着でき
、かつ素子自体が剛体であるから、１本の支持体で支持
しうるから、素子の支持が容易であり、支持体による測
定に対する影響を小さくすることが可能である。そして
、素子に固着したリード線を、絶縁物を介在させること
で素子に固着して、素子自体で保持することも可能でリ
ード線の保持が容易である、とともに、リード線が測定
に与える影響をなくすることが可能である。
、かつ素子自体が剛体であるから、１本の支持体で支持
しうるから、素子の支持が容易であり、支持体による測
定に対する影響を小さくすることが可能である。そして
、素子に固着したリード線を、絶縁物を介在させること
で素子に固着して、素子自体で保持することも可能でリ
ード線の保持が容易である、とともに、リード線が測定
に与える影響をなくすることが可能である。
図面は本発明の実施例で、第１図はブロック図第２図と
第３図、第４図はセンサのそれぞれ異なった例の拡大正
面図、第５図と第６図はセンサをポールに取付けた正面
図、第７図は風洞内の測定状態の断正面図、第８図はケ
ルマニラｌ、の比抵抗対温度の特性曲線である。 １：センサ、２：支持対、３：接着剤層、４：絶縁層、
５：リード線、６：平衡増巾回路、７：温度センサ、８
：温度補償回路、９：加算回路、１０：リニアライザ、
１１：表示器。
第３図、第４図はセンサのそれぞれ異なった例の拡大正
面図、第５図と第６図はセンサをポールに取付けた正面
図、第７図は風洞内の測定状態の断正面図、第８図はケ
ルマニラｌ、の比抵抗対温度の特性曲線である。 １：センサ、２：支持対、３：接着剤層、４：絶縁層、
５：リード線、６：平衡増巾回路、７：温度センサ、８
：温度補償回路、９：加算回路、１０：リニアライザ、
１１：表示器。
Claims (5)
- （１）単結晶ゲルマニウムの小片からなるセンサに電圧
を印加して定温度を維持させ、流体との接触でのセンサ
の温度変化によるセンサの電気抵抗の変化に伴なう電圧
又は電流あるいは電力の変化値に基づいて流体の速度を
測定する流体速度測定方法。 - （２）センサに電圧を印加して定温度を維持させ、流体
との接触でのセンサの温度変化によるセンサの電気抵抗
の変化に伴なう電圧または電流あるいは電力の変化値に
基づき流体の速度を測定する装置において、センサがゲ
ルマニウムの単結晶体の小片で構成されている流体速度
測定装置。 - （３）センサが棒状に構成され、その長さ方向の一端に
棒状の支持体が固着された特許請求の範囲第２項記載の
流体速度測定装置。 - （４）センサが棒状に構成され、その長さ方向の側面中
間部に棒状支持体が固着された特許請求の範囲第１項記
載の流体速度測定装置。 - （５）センサの両端のそれぞれに一対のリード線の端部
が真空蒸着で固着された特許請求の範囲第２〜４項の内
のいずれかの流体速度測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20778084A JPS6184563A (ja) | 1984-10-02 | 1984-10-02 | 流体速度測定方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20778084A JPS6184563A (ja) | 1984-10-02 | 1984-10-02 | 流体速度測定方法及びその装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6184563A true JPS6184563A (ja) | 1986-04-30 |
| JPH0572528B2 JPH0572528B2 (ja) | 1993-10-12 |
Family
ID=16545390
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20778084A Granted JPS6184563A (ja) | 1984-10-02 | 1984-10-02 | 流体速度測定方法及びその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6184563A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011208967A (ja) * | 2010-03-29 | 2011-10-20 | Nippo Corp | 測位装置 |
| CN104950133A (zh) * | 2015-07-06 | 2015-09-30 | 浙江大学 | 微流体流速传感芯片、检测系统及检测方法 |
| US12037933B2 (en) | 2016-03-02 | 2024-07-16 | Watlow Electric Manufacturing Company | Dual-purpose heater and fluid flow measurement system |
-
1984
- 1984-10-02 JP JP20778084A patent/JPS6184563A/ja active Granted
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011208967A (ja) * | 2010-03-29 | 2011-10-20 | Nippo Corp | 測位装置 |
| CN104950133A (zh) * | 2015-07-06 | 2015-09-30 | 浙江大学 | 微流体流速传感芯片、检测系统及检测方法 |
| US12037933B2 (en) | 2016-03-02 | 2024-07-16 | Watlow Electric Manufacturing Company | Dual-purpose heater and fluid flow measurement system |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0572528B2 (ja) | 1993-10-12 |
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