JPS6151936A - Automatic mounting method for chip component - Google Patents
Automatic mounting method for chip componentInfo
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- JPS6151936A JPS6151936A JP17337784A JP17337784A JPS6151936A JP S6151936 A JPS6151936 A JP S6151936A JP 17337784 A JP17337784 A JP 17337784A JP 17337784 A JP17337784 A JP 17337784A JP S6151936 A JPS6151936 A JP S6151936A
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明はトレイストッカを用いたダイボンディングを
実行するだめのチップ部品の自動マウント方法に関する
。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Technical Field of the Invention] The present invention relates to an automatic mounting method for die bonding using a tray stocker.
電気回路のIC化にともない省電力に大きな効果があっ
たが、さらにICのコストダウンや高生産性を解決する
ため工場での自動化が進んでいる。The use of ICs in electrical circuits has had a great effect on power savings, but automation in factories is progressing to further reduce IC costs and improve productivity.
例えばICを回路基板の予め定めだ位置にマウンタによ
シ自動的に装着することは一般に用いられている(特開
昭55−56692 )。このマウンタについても、一
つの回路基板に多数・多品種のICをマウントすること
が近時要望されている。多品種のICを多数自動的にマ
ウントするためには、総てのICについて正しく位置認
識され、玉砕に高速でマウントされることが雪氷される
ため、なかなか実用されるに至っていない。For example, it is commonly used to automatically mount an IC on a mounter at a predetermined position on a circuit board (Japanese Patent Laid-Open No. 55-56692). Regarding this mounter, there has recently been a demand for mounting a large number and various types of ICs on one circuit board. In order to automatically mount a large number of ICs of various types, it is difficult to recognize the positions of all ICs correctly and mount them at high speed on a mount, so it has not been put to practical use.
この発明は上記点に鑑みなされたもので、多品種多数の
チップ部品を自動的に高速高精度でマウントするチップ
部品の自動マウント方法を提供するものである。The present invention has been made in view of the above points, and provides an automatic chip component mounting method that automatically mounts a large number of chip components of various types with high speed and high precision.
この発明はチップ部品を固着するだめの材料が取着(1
)されてマウント位置(2)にマガジン(3)から移送
されたセラミック印刷回路基板(載置台)にチップ部品
をダイボンディングする方法において、上記チップ部品
をトレイに予め定められた状態に配列する手段と、上記
トレイを複数個収納容器(4)内に予め定められた状態
に配列する手段と、上記収納容器の予め定められた規準
位置を手動でテーチングする手段と、この規準位置を基
に予め記憶されたチップ部品位置信号で上記収納容器(
1)に設けられる第1のトレイのチップ部品を順次ピッ
クアップ工具(5)により取り出し、さらに、次の第2
のトレイのチップ部品を順次取)出す一連のプログラム
を有する制御手段(6)と、この取シ出された各チップ
部品をマウント位置に自動的に移送する手段とを設けた
チップ部品の自動マウント方法を得るものである。In this invention, the material for fixing the chip components is attached (1
) and transferred from a magazine (3) to a mounting position (2) for die-bonding chip components onto a ceramic printed circuit board (mounting table), the method comprising: means for arranging the chip components in a predetermined state on a tray; a means for arranging a plurality of the trays in a predetermined state in the storage container (4); a means for manually teaching a predetermined reference position of the storage container; The above storage container (
The chip components in the first tray provided in 1) are taken out one by one using the pick-up tool (5), and then
automatic mounting of chip components, comprising: a control means (6) having a series of programs for sequentially taking out chip components from a tray; and means for automatically transporting each chip component taken out to a mounting position. This is how you get it.
次にこの発明方法を多品種多数の半導体ICチップのマ
ウントに適用した実施例を説明する。Next, an embodiment will be described in which the method of the present invention is applied to mounting a large number of semiconductor IC chips of various types.
多品種多数の半導体ICチップをマウントする技術の一
つはトレイストッカにラシ、その内容を第2図乃至第5
図を参照して説明する。すなわちを設ける。このトレイ
02の載置溝(2υにはIC部品@を装着する。このト
レイ(2カは第2図に示す位置で切1Mした断面図は第
3図の通υである。即ち、トレイ四の裏面は方形状にえ
ぐられた構造で凹部04)が設けられている。このよう
な構造のトレイ(ハ)は第4図に示すようなストッカ(
ハ)にマトリックスれ、方形状の基板表面には上記した
トレイ(社)の裏面に形成されている凹部(財)に摺接
して嵌合するように方形状位置決め6部(財)がマトリ
ックス状に設けられている。この各凸部(5)の少なく
とも一つのコーナにはさらに位置決め精度を向上させる
ために第5図に示すようなバネ(至)が植設されている
。One of the techniques for mounting a large number of semiconductor IC chips of various types is to mount a large number of semiconductor IC chips on a tray stocker.
This will be explained with reference to the figures. That is to say. An IC component @ is installed in the mounting groove (2υ) of this tray 02.The cross-sectional view of this tray (2) cut 1M at the position shown in Fig. 2 is the width υ in Fig. 3. The back side of the tray is hollowed out in a rectangular shape and has a recess 04).A tray (C) with such a structure can be used as a stocker (C) as shown in Fig. 4.
C), and on the surface of the rectangular substrate, six rectangular positioning parts are arranged in a matrix shape so as to slide into and fit into the recesses formed on the back surface of the tray. It is set in. A spring as shown in FIG. 5 is installed in at least one corner of each convex portion (5) to further improve positioning accuracy.
゛このバネ例は上記凸部(5)にトレイ(2′;!Jが
挿入された時、トレイ(社)の側面を押圧し、トレイ(
社)がバネ(至)近傍の側壁を規準とするように位置決
めする構造になっている。これらの各凸部(5)は同一
形状でちシ、トレイ(特に設けられるチップ部品の載置
溝Q1)は半導体ICチップの種類による外形形状に応
じて適宜選択される。従って回路基板が決定されると、
回路基板に挿入されるICの種類も決定されることにな
り、必要とする種類のICの収容されたトレイ(社)の
配置を予め決定し、その配置をメモリに記憶する。この
ように構成されたストッカ(■の位置決めは、予め2点
を入力することにより行なわれる。この2点は周知の如
く例えばストッカ(2つの対角線上の2コ一ナ部又は他
の基準位置を予め設定してテーチングすることによシ決
定されろうこのようなストッカ(ハ)を用いることによ
シ、他品イ・1(7)xc部品を高速度でマウントでき
る。゛This spring example presses the side of the tray (2';!J) when the tray (2';!J) is inserted into the convex portion (5), and
The structure is such that the position is set using the side wall near the spring (to) as a reference. Each of these convex portions (5) has the same shape, and the tray (particularly the chip component placement groove Q1 provided) is appropriately selected depending on the external shape of the type of semiconductor IC chip. Therefore, once the circuit board is determined,
The type of IC to be inserted into the circuit board is also determined, and the layout of the tray containing the required type of IC is determined in advance, and the layout is stored in memory. The positioning of the stocker (■) configured in this way is performed by inputting two points in advance.These two points are, as is well known, for example, the positioning of the stocker (two corner parts on two diagonals or other reference positions). By using such a stocker (c), which is determined by setting and teaching in advance, it is possible to mount other parts (i), (7), and (7)xc parts at high speed.
次にその具体的実施例を第6図を参照して説明する。即
ち、載置台として厚膜回路基板を用い、例えばセラミッ
ク基板上に配線パターンが形成された大きさ例えば横3
cIrL長さ5cIILのセラミック回路基板(30)
が、キャリアGD上に載置されてマガジン(3り内に多
段に積載される。このマガジン02は装着されると、下
段から1段づつ抜き取られるようにマガジン02がロー
ダ器の下方への移動駆動により制御を受ける。即ち、マ
ガジン0邊の下段に位置して一定間隔に配置されたベル
ト…)が搬送状態にドライブされており、マガジン国が
ローダ@の下方への移動駆動でキャリアOυが上記ベル
ト1.34)上に11i14置された状態になるとマガ
ジンGりの下方移動は停止し、キャリア01)はディス
ペンスヘッドGツ下方のディスペンス位置に直線的に搬
送され停止する。Next, a specific example will be described with reference to FIG. That is, a thick film circuit board is used as a mounting table, and the size of the wiring pattern formed on the ceramic substrate is, for example, 3 mm horizontally.
Ceramic circuit board with cIrL length 5cIIL (30)
is placed on the carrier GD and loaded in multiple stages within the magazine (3). When this magazine 02 is loaded, the magazine 02 is moved downward of the loader so that it is pulled out one stage at a time from the bottom stage. It is controlled by the drive (i.e., the belt located at the lower stage of the magazine 0 side and arranged at regular intervals...) is driven to the conveying state, and the magazine country is driven by the downward movement of the loader @, and the carrier Oυ is When placed 11i14 on the belt 1.34), the downward movement of the magazine G is stopped, and the carrier 01) is linearly conveyed to the dispensing position below the dispensing head G and stopped.
この位置でキャリアC31)上に載置された回路基板は
ディスペンスヘッドC3n上に搭載されたテレビカメラ
例えば白黒テレビカメラ(支))Kよう撮像され、半導
体チップ(37)を取着するだめの部分を自動的に検出
する。At this position, the circuit board placed on the carrier C31) is imaged by a television camera mounted on the dispensing head C3n, such as a black and white television camera (support) K, and the part to which the semiconductor chip (37) is attached is captured. Automatically detect.
即ち上記回路基板の半導体チップGηの取着位置の標準
パターンは手動で予めメモリ(図示せず)に記憶される
。従って、その都度到来する回路基板の半導体チップ1
.3’7:の取着位置を上記テレビカメラ(至)で撮像
し、との撮像出力を2値化した信号と上記標準パターン
と照合して位置ずれ量を算出し、この位置ずれ量から実
際の半導体チップ取着位置を認識して、この部分に半導
体チップc37)を固着するための材料例えば接着性を
有する銀ペーストを取着例えば点滴する。このような工
程を実行するためディスペンスヘット(至)はX −Y
11ttl駆動テーブル(図示せず)上に載置される
。これでディスペンス工程を終了する。この後、キャリ
アe1)ヲベルト04)によシ搬送してマウント位置で
停止する。That is, the standard pattern of the mounting position of the semiconductor chip Gη on the circuit board is manually stored in advance in a memory (not shown). Therefore, the semiconductor chip 1 of the circuit board that arrives each time
.. The mounting position of 3'7: is imaged with the above TV camera (to), and the binary image output of and is compared with the above standard pattern to calculate the amount of positional deviation, and from this amount of positional deviation the actual The semiconductor chip attachment position is recognized, and a material for fixing the semiconductor chip c37), such as silver paste having adhesive properties, is applied, for example, by dripping, to this part. To perform such a process, the dispense head (to)
11ttl drive table (not shown). This completes the dispensing process. Thereafter, the carrier e1) is transported by the belt 04) and stopped at the mounting position.
マウント位置では、マウントヘッド(至)上に搭載され
ているテレビカメラI、39により撮像し、上記半導体
チップG37)の取着位置を自動的に検知する。検知手
段は上記ディスペンス作業位置の検知と同様にパターン
認識技術で自動的に行う。この自動的に位置検出が終了
すると、マウントヘッド(至)によシ、eテーブル←Q
から取シ挙げ例えば吸着手段により取り挙げ上記位置検
出した半導体チップ<37)の取着位置に載置し、上記
ヘッド(至)に引き続き押圧力を与えて押圧し、回路基
板に半導体チップOηを取着する。このような作業を実
行するためマウントヘッド側はX−Y軸駆動テーブル(
図示せず)上に載置される。これでマウント工程を終了
する。At the mounting position, an image is taken by a television camera I, 39 mounted on the mounting head (top), and the mounting position of the semiconductor chip G37) is automatically detected. The detection means automatically detects the dispensing work position using pattern recognition technology, similar to the above-mentioned detection of the dispensing work position. When this automatic position detection is completed, the mount head (to) is moved and the e-table ←Q
The semiconductor chip Oη is picked up and placed on the mounting position of the semiconductor chip <37) whose position has been detected by picking it up, for example, by a suction means, and then applying pressing force to the head (to) to press the semiconductor chip Oη onto the circuit board. Attach. To perform such work, the mount head side is equipped with an X-Y axis drive table (
(not shown). This completes the mounting process.
このマウント工程を終了したキャリアC31]は搬送方
向を手前方向で垂直な方向に搬送してベルト6ツにより
受取シ用マガジン(49内に挿入される。この受取シ用
マガジン(4りは上段から挿入されるように、メα初一
番深い位置に設置され、1設入る毎にアンローダ(4(
イ)で駆動して上方に持ち挙げ駆動する。頂度一段目毎
の位置で停止する間欠駆動が行なわれる。このローダ、
アンローダG3αるの間欠動作は総てコンビーータの制
御によシ実行され、さらにキャリア131)の搬送につ
いても、ディスペンス位置、マウント位置での停止、夫
々の動作開始、終了、竜 そして搬送などの制御プロ
グラムも総てコンピ−タによシ制御される。After completing this mounting process, the carrier C31] is conveyed in a vertical direction with the conveyance direction toward the front and inserted into the receiving magazine (49) by six belts. The unloader (4 (
a) to lift it upward and drive it. Intermittent driving is performed in which the motor stops at every first step of the apex position. This loader
All intermittent operations of the unloader G3α are executed under the control of the conveter, and the control program also controls the conveyance of the carrier 131), such as dispensing position, stopping at the mounting position, starting and ending each operation, and conveyance. Everything is also controlled by a computer.
他方、上記θテーブル(9)に載量される半導体チップ
は次のようにして搬送される。即ち半導体チップG′7
)例えばICチップの大きさに凹部を多数予め定められ
た配列で設けられるトレイ09が多数、第4図に示すよ
うにストッカ(伺に予め定められた状態に配列される。On the other hand, the semiconductor chips loaded on the θ table (9) are transported in the following manner. That is, semiconductor chip G'7
) For example, a large number of trays 09 each having a large number of recesses arranged in a predetermined arrangement according to the size of an IC chip are arranged in a predetermined manner in a stocker as shown in FIG.
夫々のトレイ(4つ内に収容されるICは同−a類でも
よいが真なる種類でもよい。The ICs accommodated in each tray (four) may be of the same type, or may be of the true type.
また、他のトレイ(イタに収容されるICとは大きさ種
類が異なってもよいようにトレイ方式でストッ°力(、
ioが構成されている。上記ストッカ(46)には位置
検知のためにマークが付されておシ、このマークを予め
手動検知してメモリに記憶することによシストツカ(4
1メの位置ズレ量として記憶される。このズレ量の基に
X−Y方向に移動する工具例えばピックアップヘット責
47)VC,lニジ一つのトレイ(4つ内から順次IC
チップを取り出す。例えばピックアップヘッドけηによ
υ11&着してeテーブルGiO上に載置される。eテ
ーブルQllは多数吸着孔の設けられた円板であるっこ
のθテーブル(4Qは回転円板(嗜に固定され独立して
回転制御されるように設けられている。従って、ストッ
カ(/、[i)が移送されたICチップ・はOテーブル
0Qを回転駆動することによシエCチップの方向を修正
する。この修正操作後、回転円板(41Oをマウントヘ
ッド方向に回転移送する例えば1tJO度回転する。こ
の180度回転の場合にはOテーブルOnは円板0樽の
中心を通る直線上に2個設けられる。これはマウント位
置への搬送位置によって決定される。120度回転の場
合にはθテーブル(4(今は3個となる。上記ICチッ
プの方向修正手段はテレビカメラKIICよりの撮像出
力と予め記憶された標準位量情報との比較手段によって
位置ずれ軟を算出し、この位置ずれ量に基づきθテーブ
ル00の回転量を算出して修正する。In addition, the tray system is used to store the ICs (i.e.,
io is configured. The stocker (46) is marked with a mark for position detection, and by manually detecting this mark in advance and storing it in memory, the stocker (46)
It is stored as the amount of positional deviation of 1 meter. A tool that moves in the X-Y direction based on this amount of deviation, such as a pickup head (47) VC, l, one tray (IC
Take out the chip. For example, the pickup head η is attached to υ11& and placed on the e-table GiO. The e-table Qll is a circular plate with a large number of suction holes (4Q is a rotary disk (it is installed so that it can be fixed and rotated independently. Therefore, the stocker (/, [i) The direction of the transferred IC chip is corrected by rotationally driving the O table 0Q. After this correction operation, the rotating disk (41O is rotated and transferred in the direction of the mount head, for example, 1tJO In the case of this 180 degree rotation, two O tables On are provided on a straight line passing through the center of the disc 0 barrel. This is determined by the transport position to the mount position. In the case of 120 degree rotation is a θ table (4 (currently there are 3 pieces). The direction correction means for the IC chip calculates the positional deviation by comparing the image output from the television camera KIIC and the standard position information stored in advance. The amount of rotation of the θ table 00 is calculated and corrected based on this amount of positional deviation.
上記したトレイから指定のICチップをビックアップ工
具(4ηによう取り出す工程のフローチャートは第7図
の通シである。即ちスタートの開始によ5ICチツプの
番号を指定し、トレイストッカ(a9即ち登録テーブル
内に指定されたICチップの有無を確認し、有の場合、
配列されだトレイについて順次指定されたICが有るか
どうかの判定を行い、有の場合IC情報、トレー情報、
トンー内IC数、トレー原点情報を七ッl−したのち、
取)出すべきICチップポケットの行列を求める。即ち
例えば下記式によシX座標Y座標を求める。The flowchart of the process of taking out the specified IC chip from the tray mentioned above with the backup tool (4η) is as shown in Figure 7. In other words, at the start, specify the number of 5 IC chips, and then use the tray stocker (a9 Check the presence or absence of the specified IC chip in the table, and if yes,
For the arrayed trays, it is determined whether the specified IC exists or not, and if there is, the IC information, tray information,
After setting the number of ICs in the tray and the tray origin information,
3) Find the matrix of IC chip pockets to be taken out. That is, for example, the X and Y coordinates are determined using the following equations.
X
X座標=(PX+GX)×(ポケット列−1) + −
+TX+ 2ストッカー原点X座標
Y
Y座標=:(PY+GY)X(ポケット行−1)+−+
TY+2ストッカー原点Ym標
上記式において各記号は第7図(B)に示す通りである
。このようにして得られた座標をCPUに入力し、CP
Uの制御によシトレイから指定されたICチップを工具
で取シ出す。またテレビモニタso 5i1)が設置さ
れ、モニタci1はテレビカメラ(イωの撮像出力を表
示し、モニター51)はテレビカメラ(至)01の撮像
出力を切シ換えて表示する。即ちディスペンス位置の検
出時はテレビカメラG36)の撮像出力を再生シ、マウ
ント位置の検出時はテレビカメラ01の撮像出力を再生
するようにコンピュータでコントロールする。X X coordinate = (PX + GX) × (pocket row - 1) + -
+TX+ 2 stocker origin X coordinate Y Y coordinate =: (PY+GY)X (pocket row -1) +-+
TY+2 Stocker origin Ym mark In the above formula, each symbol is as shown in FIG. 7(B). Input the coordinates obtained in this way to the CPU, and
Under the control of U, the designated IC chip is taken out from the tray using a tool. A television monitor so5i1) is also installed, the monitor ci1 displays the imaging output of the television camera (iω), and the monitor 51 switches and displays the imaging output of the television camera (to)01. That is, the computer is controlled so that when the dispense position is detected, the image pickup output of the television camera G36) is reproduced, and when the mount position is detected, the image pickup output of the television camera 01 is reproduced.
このようにして、ディスペンス作業、マウント作業、が
回路基板の搬送路にて自動的に実施されるため総て自動
的に実施でき、省人化に効果がある。In this way, the dispensing work and the mounting work are automatically performed on the circuit board conveyance path, so that they can all be performed automatically, which is effective in saving labor.
以上説明したように、この発明によればストッカにトレ
イ単位で収容し、各トレイについてチップ部品の形状に
応じた構造にすることにょ)、多品覆のチップ部品につ
いて位置認識が可能となシ自動的にマウントすることを
可能にするなどの効果がある。As explained above, according to the present invention, it is possible to store chip components in trays in a stocker, and each tray has a structure corresponding to the shape of the chip components. It has effects such as enabling automatic mounting.
第1図は本発明方法の概要を例示的に示すブロック図、
第2図は第1図のチップ部品収納容器に収容されるトレ
イの斜視図、第3図は第2図の■−■断面図、第4図は
第1図のチップ部品収納容器の実施例を説明するための
斜視図、第5図は第4図の各トレイの係止構造説明図、
第6図は第1図の実施例を説明するためのマウンタの斜
視図、第7図(〜(B)は第6図のトレイから指定され
たICチップをとり出すフローチャートおよびトレイ説
明図である。
1・・・固着材料の取着、 2・・・マウント、3・
・・マガジン、 4・・・チップ部品収納82
表5・・・ピックアップ工具、 6・・・制御装置
、あ・・・ディスペンス位置、 羽・・・マウント
位置、46・・・ストッカ、45・・・トレイ、47・
・・ピックアップ工具。
代理人 弁理士 則 近 憲 佑
(ほか1名)
第1図
第 2 図
築4図
第5図
第6図
を
第 7 図
(A)FIG. 1 is a block diagram illustrating an overview of the method of the present invention;
FIG. 2 is a perspective view of a tray accommodated in the chip component storage container shown in FIG. 1, FIG. 3 is a sectional view taken along the line ■-■ in FIG. 2, and FIG. 4 is an example of the chip component storage container shown in FIG. 1. FIG. 5 is an explanatory diagram of the locking structure of each tray in FIG. 4,
6 is a perspective view of a mounter for explaining the embodiment of FIG. 1, and FIG. 7 (-(B) is a flowchart for taking out a specified IC chip from the tray of FIG. 1... Attaching the fixing material, 2... Mounting, 3...
...Magazine, 4...Chip parts storage 82
Table 5...Pickup tool, 6...Control device, A...Dispense position, Wing...Mount position, 46...Stocker, 45...Tray, 47...
...Pickup tool. Agent: Patent attorney Kensuke Chika (and 1 other person) Figure 1, Figure 2, Figure 4, Figure 5, Figure 6, Figure 7 (A)
Claims (3)
ウント位置に移送された載置台にチップ部品をボンディ
ングする方法において、上記チップ部品をトレイに予め
定められた状態に配列する手段と、上記トレイを複数個
収納容器内に予め定められた状態に配列する手段と、上
記収納容器の予め定められた規準位置を手動でティーチ
ングする手段と、この規準位置を基に予め記憶されたチ
ップ部品位置信号で上記収納容器に設けられる第1のト
レイのチップ部品を順次ピックアップ工具により取り出
し、次に第2のトレイのチップ部品を順次取り出す一連
のプログラムを有する制御手順と、この取り出された各
チップ部品をマウント位置に自動的に移送する手段とを
具備してなることを特徴とするチップ部品の自動マウン
ト方法。(1) In a method of bonding a chip component to a mounting table on which a material for fixing the chip component is attached and transferred to a mounting position, means for arranging the chip component in a predetermined state on a tray; means for arranging a plurality of the trays in a predetermined state in a storage container; means for manually teaching a predetermined reference position of the storage container; and chip components stored in advance based on the reference position. A control procedure having a series of programs for sequentially taking out chip parts on a first tray provided in the storage container using a pickup tool based on a position signal, and then taking out chip parts on a second tray in sequence, and each of the chips taken out. 1. A method for automatically mounting chip components, comprising means for automatically transferring the component to a mounting position.
の範囲第1項記載のチップ部品の自動マウント方法。(2) The automatic mounting method of a chip component according to claim 1, wherein the chip component is an LSI pellet.
ることを特徴とするチップ部品の自動マウント方法。(3) A method for automatically mounting chip components, characterized in that each tray contains components of the same type.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17337784A JPS6151936A (en) | 1984-08-22 | 1984-08-22 | Automatic mounting method for chip component |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17337784A JPS6151936A (en) | 1984-08-22 | 1984-08-22 | Automatic mounting method for chip component |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6151936A true JPS6151936A (en) | 1986-03-14 |
Family
ID=15959262
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP17337784A Pending JPS6151936A (en) | 1984-08-22 | 1984-08-22 | Automatic mounting method for chip component |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6151936A (en) |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS55108745A (en) * | 1979-12-17 | 1980-08-21 | Toshiba Corp | Die-bonding device |
JPS5763836A (en) * | 1980-10-04 | 1982-04-17 | Shinkawa Ltd | Die bonding apparatus |
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1984
- 1984-08-22 JP JP17337784A patent/JPS6151936A/en active Pending
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