JPS6150007A - 表面形状測定用トレ−サ - Google Patents
表面形状測定用トレ−サInfo
- Publication number
- JPS6150007A JPS6150007A JP59172143A JP17214384A JPS6150007A JP S6150007 A JPS6150007 A JP S6150007A JP 59172143 A JP59172143 A JP 59172143A JP 17214384 A JP17214384 A JP 17214384A JP S6150007 A JPS6150007 A JP S6150007A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- slider
- reference position
- stylus
- base
- tracer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/28—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring contours or curvatures
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/004—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring coordinates of points
- G01B7/008—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring coordinates of points using coordinate measuring machines
- G01B7/012—Contact-making feeler heads therefor
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明（ま表面形状測定用トレーサ、特にワーク表面へ
の追従性に優れた高精度の表面形状測定用トレーサ°に
関するものである。
の追従性に優れた高精度の表面形状測定用トレーサ°に
関するものである。
［従来の技術］
ワークの表面形状を連続的に追従測定１゛る接触式表面
形状測定装置が周知であり、ＣＮＣ三次元測定礪等に表
面形状測定用トレーサを装着し、このトレーサの触針を
ワークに接触させながら、このときの触針の三次元移動
座標を検出することによって、ワーク表面をトレースし
ながらその形状を知ることができ、複雑な形状のワーク
測定に極めて有用である。
形状測定装置が周知であり、ＣＮＣ三次元測定礪等に表
面形状測定用トレーサを装着し、このトレーサの触針を
ワークに接触させながら、このときの触針の三次元移動
座標を検出することによって、ワーク表面をトレースし
ながらその形状を知ることができ、複雑な形状のワーク
測定に極めて有用である。
従来において、この種のトレーサとしては例えば米国特
訂第３８６９７９９号が周知であり、三軸方向に自由に
検出ピンが移動可能であり、このピンをワークに沿って
追従させることによって所望の表面形状トレースを行う
ことがで″ぎる。この種の表面形状測定用トレーサは触
針が常時ワークに接触しており、このときの触釧の変位
ｍを測定しトレーづ自体の移動位置と前記測定された各
軸方向の胤針郡動蚤とを演算して所ソの表面座標が求め
られ、あるいは触針の変り′ｌ昂をｊ：１時一定値に保
つようにトレーサ自体の８動を制御し、これによって１
〜レ一ザ自体の移動座標から表面の座標が記録される。
訂第３８６９７９９号が周知であり、三軸方向に自由に
検出ピンが移動可能であり、このピンをワークに沿って
追従させることによって所望の表面形状トレースを行う
ことがで″ぎる。この種の表面形状測定用トレーサは触
針が常時ワークに接触しており、このときの触釧の変位
ｍを測定しトレーづ自体の移動位置と前記測定された各
軸方向の胤針郡動蚤とを演算して所ソの表面座標が求め
られ、あるいは触針の変り′ｌ昂をｊ：１時一定値に保
つようにトレーサ自体の８動を制御し、これによって１
〜レ一ザ自体の移動座標から表面の座標が記録される。
従って、いずれの場合にＪ３いても触針は所定の押圧力
でワークに接触しており、特に触針の押圧力を全方向に
わたって一定に保つように基台に対して触針が況持・さ
れなければならず、このような安定した押圧力を１９る
ためには各部における摩擦抵抗あるいはばね等のヒステ
リシス特性を著しく減少させなければならない。
でワークに接触しており、特に触針の押圧力を全方向に
わたって一定に保つように基台に対して触針が況持・さ
れなければならず、このような安定した押圧力を１９る
ためには各部における摩擦抵抗あるいはばね等のヒステ
リシス特性を著しく減少させなければならない。
首記従来装置においては、各軸方向に対して平行ばねを
用いて接触時の押圧力を確保し、また原点基準位置への
戻り力をりえているが、このような従来装置では板ばね
の固定時の位置精度のばらつき非線形特性、変形の程度
により発生°ツ°るＺ軸゛ 方向誤着等によって
トレーサの測定値に方向性が出てしまうという欠点があ
った。
用いて接触時の押圧力を確保し、また原点基準位置への
戻り力をりえているが、このような従来装置では板ばね
の固定時の位置精度のばらつき非線形特性、変形の程度
により発生°ツ°るＺ軸゛ 方向誤着等によって
トレーサの測定値に方向性が出てしまうという欠点があ
った。
また、従来においても、更に他の各種の表面形状測定用
トレー１すが！２案されていたが、これらはいずれも粘
動部の摩擦損失その池によって表面の追従性が−悪く、
形状測定「、ｒにトレーりを移動づる速度に限界が外じ
てしまい、良好な形状■す定を行うことができないとい
う問題があった。
トレー１すが！２案されていたが、これらはいずれも粘
動部の摩擦損失その池によって表面の追従性が−悪く、
形状測定「、ｒにトレーりを移動づる速度に限界が外じ
てしまい、良好な形状■す定を行うことができないとい
う問題があった。
［発明が解決しようとする問題点］
本発明は上記従来の課題に鑑み為されたものであり、そ
の目的は、触針のあるゆる方向への接触に対しても一定
の安定した測定圧で測定でき、また原点基準位置への戻
り特性に優れた追従性の良い表面形状測定用トレーサを
提供することにある。
の目的は、触針のあるゆる方向への接触に対しても一定
の安定した測定圧で測定でき、また原点基準位置への戻
り特性に優れた追従性の良い表面形状測定用トレーサを
提供することにある。
［問題点を解決するための手段］
上記目的を達成するために、本発明は、基台に対してそ
れぞれ直交方向に移動自在なＸ、Ｙ、Ｚスライダを有し
、それらのスライダ群は基台に対して吊りばねにで吊下
げ支持されている。
れぞれ直交方向に移動自在なＸ、Ｙ、Ｚスライダを有し
、それらのスライダ群は基台に対して吊りばねにで吊下
げ支持されている。
前記基台は実際上基台ブロックから支持脚によって垂下
した軸受を為し、Ｚスイラダがこの軸受に上下方向移動
自在に支持され、このＺスライダに順次Ｙスライダ及び
Ｘスライダがそれぞれ直交方向に移動できるように各ス
ライダ間に設けたスライドｄ１Ｓにて係合している。そ
して、最下位置にあるＸスライダにはワークに接触する
ための触針が連結固定されている。
した軸受を為し、Ｚスイラダがこの軸受に上下方向移動
自在に支持され、このＺスライダに順次Ｙスライダ及び
Ｘスライダがそれぞれ直交方向に移動できるように各ス
ライダ間に設けたスライドｄ１Ｓにて係合している。そ
して、最下位置にあるＸスライダにはワークに接触する
ための触針が連結固定されている。
そして、前記Ｘ、Ｙスライダの原点ＪＪ ｔｌｔ位百を
定めるため、Ｘスライダにはロンド状の戻しばねの下端
が固定され、この戻しばねの上端は面記塁台に上下方向
に摺動自在に支持されている。
定めるため、Ｘスライダにはロンド状の戻しばねの下端
が固定され、この戻しばねの上端は面記塁台に上下方向
に摺動自在に支持されている。
従って、前）ホした吊りばね及び戻しばねの両省ににっ
て触針がその原点基準位置が定められることとなる。
て触針がその原点基準位置が定められることとなる。
更に、本発明においては、前記各スライダの摺動面に加
圧空気が導入され空気軸受を形成し、各スライダは浮上
状態で軸支されていることを特徴とし、これによって、
各スライダは摩擦損失のない戻り特性のにれだ移動作用
を行うことができる。
圧空気が導入され空気軸受を形成し、各スライダは浮上
状態で軸支されていることを特徴とし、これによって、
各スライダは摩擦損失のない戻り特性のにれだ移動作用
を行うことができる。
［実施例］
以下図面に基づいて本発明の好適な実施例を説明する。
基台ブロック１０は図示していないが周知のＣＮＣ三次
元測定典のプローブホルダにその上面が固定可能であり
、三次元測定機によって手動あるいは自動的にトレー勺
自体を任意の座標位置に移動することができる。
元測定典のプローブホルダにその上面が固定可能であり
、三次元測定機によって手動あるいは自動的にトレー勺
自体を任意の座標位置に移動することができる。
１１ａ記基台ブロック１０には固定脚１２．１４を介し
て基台１６が固定されており、Ｘスライダ１８、Ｙスラ
イダ２０及びＸスライダ２２を介して触１１２４を任意
の方向に移動自在に支持づ−ることかできる。
て基台１６が固定されており、Ｘスライダ１８、Ｙスラ
イダ２０及びＸスライダ２２を介して触１１２４を任意
の方向に移動自在に支持づ−ることかできる。
前記基台１６は第３図から明らかなように、角筒形状か
らなり、その内周スライド而１６ａに７スライダ１８の
角柱状の２スライド’ｋｉｔ １８ ａが上下方向（Ｚ
軸）にＩ９動自在に装着されている。
らなり、その内周スライド而１６ａに７スライダ１８の
角柱状の２スライド’ｋｉｔ １８ ａが上下方向（Ｚ
軸）にＩ９動自在に装着されている。
そして、Ｘスライダ１８は、第２図に示されるように、
Ｙスライダ２０のＹスライドＪ ２ Ｑ ａと係合する
ガイド軸１８ｂを右する。従って、Ｙスライダ２０はＸ
スライダ１８に対してＹ軸方向に自由に粘動拶動するこ
とができる。
Ｙスライダ２０のＹスライドＪ ２ Ｑ ａと係合する
ガイド軸１８ｂを右する。従って、Ｙスライダ２０はＸ
スライダ１８に対してＹ軸方向に自由に粘動拶動するこ
とができる。
更に、Ｙスライダ２０は、第１図に示されるＪ：うに、
スライド溝２０ｂを有し、このスライド１１４２０ｂｌ
こはＸスライダ２０のＸスライド中１ｌ１２２ａが）Ｓ
動自在に係合しており、この結果、Ｘスライダ２２はＹ
スライダ２０に対してＸ軸方向に自由に摺動することが
できる。
スライド溝２０ｂを有し、このスライド１１４２０ｂｌ
こはＸスライダ２０のＸスライド中１ｌ１２２ａが）Ｓ
動自在に係合しており、この結果、Ｘスライダ２２はＹ
スライダ２０に対してＸ軸方向に自由に摺動することが
できる。
前述した各スライダ１８．２０．２２は基台側に対して
吊り下げ支持されてｊ５つ、第１図にｄ’３いて、Ｚス
ライダ１８のガイド軸１８ｂの両端に突出して設けられ
たばね１卦け２６．２８にはそれぞれ吊りばね３０，３
２の下端が係止され、両吊りばね３０，３２の上端は基
台ブロック１０に固定されており、この結果、スライダ
組立体は触針２４を含む全ｌｆｆ１が吊りばね３０，３
２の引張り力と釣合う位置にて吊り下げ支持されること
となる。
吊り下げ支持されてｊ５つ、第１図にｄ’３いて、Ｚス
ライダ１８のガイド軸１８ｂの両端に突出して設けられ
たばね１卦け２６．２８にはそれぞれ吊りばね３０，３
２の下端が係止され、両吊りばね３０，３２の上端は基
台ブロック１０に固定されており、この結果、スライダ
組立体は触針２４を含む全ｌｆｆ１が吊りばね３０，３
２の引張り力と釣合う位置にて吊り下げ支持されること
となる。
前記吊りばね３０，３２はその上端が、実施例において
ばね掛け３４．３６を介してばね位置調整板３８に固定
されており、このばね調整板３８を上下方向に移動する
ことによって、前記吊りばね３０．３２によるスライダ
８工の保持位置を調整することができる。すなわら、ば
ｈＡ整（反３８はそのナラ１一部３８ａが基台ブロック
１０の上下に軸支されたねじ軸４０とねじ結合しており
、このねじｆａｌｌ ４０を回転することによって、ば
ね調整板３８の上下！１２ｉδを任意に選択することが
できる。
ばね掛け３４．３６を介してばね位置調整板３８に固定
されており、このばね調整板３８を上下方向に移動する
ことによって、前記吊りばね３０．３２によるスライダ
８工の保持位置を調整することができる。すなわら、ば
ｈＡ整（反３８はそのナラ１一部３８ａが基台ブロック
１０の上下に軸支されたねじ軸４０とねじ結合しており
、このねじｆａｌｌ ４０を回転することによって、ば
ね調整板３８の上下！１２ｉδを任意に選択することが
できる。
なＪ３、ばね調整板３８はストッパビン４２によって回
り止めされており、ねじ！ＰＩｌ１４０どともに回転す
ることはない。
り止めされており、ねじ！ＰＩｌ１４０どともに回転す
ることはない。
実施例において、前記ねじ軸４ｏを回転づ°るために、
該ねじ１ｌＩｌｈ４０には傘歯屯４４が固定されており
、これと噛み合う命歯車４６の軸４８を外部から回転す
ることによって１狗記ばね位置の調整が行われる。基台
ブロック１０の側面には作業孔１０ａが設けられてｉ１
５つ、外部からドライバ等によって前記軸４８を回転す
ることができる。
該ねじ１ｌＩｌｈ４０には傘歯屯４４が固定されており
、これと噛み合う命歯車４６の軸４８を外部から回転す
ることによって１狗記ばね位置の調整が行われる。基台
ブロック１０の側面には作業孔１０ａが設けられてｉ１
５つ、外部からドライバ等によって前記軸４８を回転す
ることができる。
以上のようにして、本発明によれば、上下刃向ずなわち
Ｘ軸方向に対してはスライダ群が吊りばね３０．３２に
よって吊り下げ支持され、その原点基準位置が定められ
るが、Ｘ、Ｙ軸平面における原点基準位置を定めるため
、本発明においては、戻しばね５０が設けられている。
Ｘ軸方向に対してはスライダ群が吊りばね３０．３２に
よって吊り下げ支持され、その原点基準位置が定められ
るが、Ｘ、Ｙ軸平面における原点基準位置を定めるため
、本発明においては、戻しばね５０が設けられている。
戻しばね５０は円形断面の線ばねからなり、その下端は
コレラ１〜チヤツク５２によってＸスライダ２２に固定
され、このコレットチャック５２は締めねじ５４を回転
することによって強固に戻しばね５０を掴み固定するこ
とができる。
コレラ１〜チヤツク５２によってＸスライダ２２に固定
され、このコレットチャック５２は締めねじ５４を回転
することによって強固に戻しばね５０を掴み固定するこ
とができる。
そして、前記戻しばね５ｏの上端は基台１６に対して上
下移動自在に支持され、実施例にＪ５いては、戻しばね
５０の上端は基台１６に直接支持されることなり、基台
１６内で上下方向に摺動する前述したＺスライド軸１８
ａに固定された軸受５６内で摺切自在に支持されている
。すなわち、戻しばね５０の上端にはスライド溝５８が
固定されており、このスライド軸５８が前記軸受５６内
でＸ軸方向に摺動自在に支持される。
下移動自在に支持され、実施例にＪ５いては、戻しばね
５０の上端は基台１６に直接支持されることなり、基台
１６内で上下方向に摺動する前述したＺスライド軸１８
ａに固定された軸受５６内で摺切自在に支持されている
。すなわち、戻しばね５０の上端にはスライド溝５８が
固定されており、このスライド軸５８が前記軸受５６内
でＸ軸方向に摺動自在に支持される。
従って、戻しばね５０の上端はそのＸＹ平面において基
準の位置をとり、一方他端はＸスライダ２２に固定され
ているので、触針２４のＸＹ平面に沿った移動に対して
全方向に戻り付勢力を与え、これにＪ：って、ＸＹ平面
の原点基準位置を定めることができる。
準の位置をとり、一方他端はＸスライダ２２に固定され
ているので、触針２４のＸＹ平面に沿った移動に対して
全方向に戻り付勢力を与え、これにＪ：って、ＸＹ平面
の原点基準位置を定めることができる。
そして、スライド軸５８は軸受５６内でＺＩＩｌｌ１１
方向に摺動できるため、ＸＹ平而面沿った移動によって
その位置が変化しても上下方向の変位が吸収される。
方向に摺動できるため、ＸＹ平而面沿った移動によって
その位置が変化しても上下方向の変位が吸収される。
戻しばね５０のばね特性を変えるため、本実施例によれ
ば、１１ａ記コレツトチヤツク５２による戻しば勾５０
の下端掴み位置を変えることによって行うことができ、
戻しばね５０の上端が２軸方向に摺動自在に支持される
ことによって、前記コレットチャック５２による戻しば
ね５０の下端１國み位置変更を容易に行うことが可能ど
なる。
ば、１１ａ記コレツトチヤツク５２による戻しば勾５０
の下端掴み位置を変えることによって行うことができ、
戻しばね５０の上端が２軸方向に摺動自在に支持される
ことによって、前記コレットチャック５２による戻しば
ね５０の下端１國み位置変更を容易に行うことが可能ど
なる。
以上のＪ二うにして、ＸＹＺスライダ群ｔよ単一の原点
基準位置が定められ、更に各軸方向に均一の押圧力で移
動でさ・ることが理解さ杭る。
基準位置が定められ、更に各軸方向に均一の押圧力で移
動でさ・ることが理解さ杭る。
そして、１１ａ記Ｘスライダ２２には触２１２４が固定
保持され、図示していないワークに触釧２４を接触させ
ると、各軸方向に均一な押圧力で触針２４が、多りＪで
きることとなる。
保持され、図示していないワークに触釧２４を接触させ
ると、各軸方向に均一な押圧力で触針２４が、多りＪで
きることとなる。
実施例において、触針２４は触針ホルダ６０に首脱自在
に固定されており、この触針ホルダ６０は振動子６２を
介して１）な記Ｘスライダ２２に連結されており、振動
子６２は触剣ボルダＧ○ど振動子ホルダ６４との間に挟
持固定されている。そして、この電歪型振動子６２の梃
械的な微小振動によって、触針２４はワーク表面に振動
しながら接触することどなり、これによって触針２４と
ワークの表面との接触摩擦を低減ざ凶、触１１２４の追
従性を著しく改善している。
に固定されており、この触針ホルダ６０は振動子６２を
介して１）な記Ｘスライダ２２に連結されており、振動
子６２は触剣ボルダＧ○ど振動子ホルダ６４との間に挟
持固定されている。そして、この電歪型振動子６２の梃
械的な微小振動によって、触針２４はワーク表面に振動
しながら接触することどなり、これによって触針２４と
ワークの表面との接触摩擦を低減ざ凶、触１１２４の追
従性を著しく改善している。
ｏａ記各スライド軸１８，２０．２２の原点基県位置か
らの移動ｍを測定するために、各軸毎にスケールが配置
され、光学センサによって各スライダの移動量が検出さ
れる。
らの移動ｍを測定するために、各軸毎にスケールが配置
され、光学センサによって各スライダの移動量が検出さ
れる。
Ｚ軸スケール６６はＺスライダ１８から立上がり、これ
に隣接対向して前記基台１６にはＺセンサ６８が設けら
れており、両者の相対移動によって触針２４の７＠方向
の移動りを知ることができる。
に隣接対向して前記基台１６にはＺセンサ６８が設けら
れており、両者の相対移動によって触針２４の７＠方向
の移動りを知ることができる。
Ｙ軸スケール７０は、第２図に示されるようにＹスライ
ダ２０に設けられてＪ３す、これど隣接対向配置された
２スライダ１８に設けられたＹセンザ７２どの協５ｊに
よってＹ軸方向の移動量が測定される。
ダ２０に設けられてＪ３す、これど隣接対向配置された
２スライダ１８に設けられたＹセンザ７２どの協５ｊに
よってＹ軸方向の移動量が測定される。
同様に、ＸＩｒ１ｌＩスケール７４が第１図に示され、
Ｘセンザ７Ｇと協１動してＹスライダ２４に対ツるＸス
ライダ２２の移動が検出される。
Ｘセンザ７Ｇと協１動してＹスライダ２４に対ツるＸス
ライダ２２の移動が検出される。
本実施例においては、前記各軸方向に対して任意に移動
できるとともに、いずれかに選択された軸方向移動禁止
覆ることも可能であり、ソレノイドによって係止ピンを
相対移動部に押し当てて所定軸の移動を禁止している。
できるとともに、いずれかに選択された軸方向移動禁止
覆ることも可能であり、ソレノイドによって係止ピンを
相対移動部に押し当てて所定軸の移動を禁止している。
Ｚ軸の移動禁止は第２．３図に示されるＺスライダ１８
の満１８Ｇと基台１６に設けられている１７Ｉｆｆ１６
Ｃとの間で行なわれ、これら両溝１８Ｃ２１６ｃに対向
する位跨でストッパビン７８がソレノイド８０から突出
可能に設りられてＪ５す、ソレノイド８ｏを励磁するこ
とによってストッパピン７８を前記溝１８Ｇ、１６Ｃに
向かって突出さゼ、この状態でＺスライダ１８の駆動を
停止することができる。
の満１８Ｇと基台１６に設けられている１７Ｉｆｆ１６
Ｃとの間で行なわれ、これら両溝１８Ｃ２１６ｃに対向
する位跨でストッパビン７８がソレノイド８０から突出
可能に設りられてＪ５す、ソレノイド８ｏを励磁するこ
とによってストッパピン７８を前記溝１８Ｇ、１６Ｃに
向かって突出さゼ、この状態でＺスライダ１８の駆動を
停止することができる。
同様に、Ｙスライダ２０（１）停止はＲＳ ２０ ｄと
Ｚスライダ１８のｆ？２１８ ｄとにより行なわれ、前
述したと同様にソレノイド８２で駆動されるストッパビ
ン８４にてＹスライダ２０の移動が禁止される。
Ｚスライダ１８のｆ？２１８ ｄとにより行なわれ、前
述したと同様にソレノイド８２で駆動されるストッパビ
ン８４にてＹスライダ２０の移動が禁止される。
そして、Ｘスライダに対しては８４２２ ｅどＹスライ
ダ２０に設けられた１１°Ｌｌ！Ｏｅとの間で行なわれ
、このためにソレノイド８６で駆動されるスｌ−ツバピ
ン８８が設けられている。
ダ２０に設けられた１１°Ｌｌ！Ｏｅとの間で行なわれ
、このためにソレノイド８６で駆動されるスｌ−ツバピ
ン８８が設けられている。
本発明にＪ３いては、前記各スライダ１８．２０゜２２
の４多動を低淳凛で行うために各スライダのスライド面
すなりち１６ａ、２０ａ、２０ｂには加圧空気が供給さ
れている。
の４多動を低淳凛で行うために各スライダのスライド面
すなりち１６ａ、２０ａ、２０ｂには加圧空気が供給さ
れている。
寸なわら、第２図において、基台ブロック１０内に設け
られた加圧空気分配器９０に【ま図示していないが外部
からコンプレッサにＪ：つて加圧空気が供給され、ここ
からダクト９２．９４を介して前記各摺動面に加圧空気
が供給され空気軸受が形成されている。
られた加圧空気分配器９０に【ま図示していないが外部
からコンプレッサにＪ：つて加圧空気が供給され、ここ
からダクト９２．９４を介して前記各摺動面に加圧空気
が供給され空気軸受が形成されている。
Ｚ軸方向のＩＳ動而面６ａに加圧空気を供給するために
、前記ダクト９２は導入孔９４から基台１６内に設けら
れた図示していない空気溝に尋かれ、摺動面１６ａの所
定の複数個所に設けられた小孔から加圧空気が吹出され
、この空気軸受によって、Ｚスライド軸１８ａは基台１
６内にＪ３いて浮上軸受されることとなる。
、前記ダクト９２は導入孔９４から基台１６内に設けら
れた図示していない空気溝に尋かれ、摺動面１６ａの所
定の複数個所に設けられた小孔から加圧空気が吹出され
、この空気軸受によって、Ｚスライド軸１８ａは基台１
６内にＪ３いて浮上軸受されることとなる。
一方、１ｉｉｌｆ記ダクト９４からの加圧空気は導入部
９８からＹスライダ２０に導かれ、このＹスライダ２０
はＹスライダＩＭ ２０ ａ及びスラ、イドＲ１′１２
０ｂを０するので、ここから図示していない空気１１°
４を通って各２１’５２０ａ、２０ｂに前述したど同（
］；ノの複数の小孔から加圧空気を送出し、この空気軸
受によって、Ｙスライダ２０及びＸスイラダ２２も同様
に浮上支持することができる。
９８からＹスライダ２０に導かれ、このＹスライダ２０
はＹスライダＩＭ ２０ ａ及びスラ、イドＲ１′１２
０ｂを０するので、ここから図示していない空気１１°
４を通って各２１’５２０ａ、２０ｂに前述したど同（
］；ノの複数の小孔から加圧空気を送出し、この空気軸
受によって、Ｙスライダ２０及びＸスイラダ２２も同様
に浮上支持することができる。
従って、本発明によれば、各スライダ間の摩擦を著しく
小さくすることができ・、その原点戻り特性を改善可能
である。
小さくすることができ・、その原点戻り特性を改善可能
である。
実施例において、前記基台ブロック１０内部には前記各
セン＋：Ｉ６８，７２．７６から１けられる電気的な信
号を順次増幅り゛るプリアンプ９８，１００，１０２が
内蔵されており、これによって電気的な特性に（至）れ
た信号を取出すことが可能どなる。
セン＋：Ｉ６８，７２．７６から１けられる電気的な信
号を順次増幅り゛るプリアンプ９８，１００，１０２が
内蔵されており、これによって電気的な特性に（至）れ
た信号を取出すことが可能どなる。
［発明の効果］
以上説明したように、本発明によれば、ＸＹＺの三軸方
向に安定した接触圧あるいは移動特性を与えまた原点基
準位置への復帰が極めて容易に行なわれ、ワーク表面へ
の追従性に優れた畠精度の表面形状測定用トレーサを提
供することができ、特にワーク表面の自動測定笠に極め
て有用なトレーサを提供可能である。
向に安定した接触圧あるいは移動特性を与えまた原点基
準位置への復帰が極めて容易に行なわれ、ワーク表面へ
の追従性に優れた畠精度の表面形状測定用トレーサを提
供することができ、特にワーク表面の自動測定笠に極め
て有用なトレーサを提供可能である。
第１図は本発明に係る表面形状測定用トレーサの好適な
実施例を示す縦断面図、 第２図は第１図のＩＩ−ＩＩ断面図、 第３図は第２図の■−■断面図である。 １０ ・・・ 基台ブロック、 １６ ・・・基台、 １８ ・・・ ２スライダ、 ２０ ・・・ Ｙスライダ、 ２２ ・・・ ×スライダ、 ２４ ・・・ 触釧、 ３０．３２ ・・・ 吊りばね、 ５０ ・・・ 戻しばね、 ６２ ・・・ 振動子、 ９２．９’４ ・・・ 加圧空気ダクト。
実施例を示す縦断面図、 第２図は第１図のＩＩ−ＩＩ断面図、 第３図は第２図の■−■断面図である。 １０ ・・・ 基台ブロック、 １６ ・・・基台、 １８ ・・・ ２スライダ、 ２０ ・・・ Ｙスライダ、 ２２ ・・・ ×スライダ、 ２４ ・・・ 触釧、 ３０．３２ ・・・ 吊りばね、 ５０ ・・・ 戻しばね、 ６２ ・・・ 振動子、 ９２．９’４ ・・・ 加圧空気ダクト。
Claims (1)
- （１）基台に対してＺスライダ、Ｙスライダ及びＸスラ
イダが順次互いに直交方向に摺動自在に支持され、前記
Ｘスライダにワークと接触する触針が連結固定され、触
針をワークの表面に沿って摺動させ、表面形状を電気的
な信号として検出する表面形状測定用トレーサにおいて
、前記スライダ群は吊りばねによって基台から吊下げ支
持され、前記触針を担持するＸスライダにはＸＹ平面に
対して基準位置戻り力を与える戻しばねの一端が固定さ
れ、前記戻しばねの他端は基台に対して軸方向に摺動自
在に支持され、前記各スライダのスライド面には加圧空
気が供給され空気軸受を構成することを特徴とする表面
形状測定用トレーサ。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59172143A JPS6150007A (ja) | 1984-08-18 | 1984-08-18 | 表面形状測定用トレ−サ |
| US06/765,953 US4611403A (en) | 1984-08-18 | 1985-08-14 | Surface tracer |
| DE3529320A DE3529320C2 (de) | 1984-08-18 | 1985-08-16 | Tastvorrichtung für Oberflächen |
| DE3546889A DE3546889C2 (de) | 1984-08-18 | 1985-08-16 | Tastervorrichtung für Oberflächen |
| GB08520629A GB2163256B (en) | 1984-08-18 | 1985-08-16 | Surface tracer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59172143A JPS6150007A (ja) | 1984-08-18 | 1984-08-18 | 表面形状測定用トレ−サ |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4121994A Division JP2628523B2 (ja) | 1992-05-14 | 1992-05-14 | 表面形状測定用トレーサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6150007A true JPS6150007A (ja) | 1986-03-12 |
| JPH0347688B2 JPH0347688B2 (ja) | 1991-07-22 |
Family
ID=15936359
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59172143A Granted JPS6150007A (ja) | 1984-08-18 | 1984-08-18 | 表面形状測定用トレ−サ |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4611403A (ja) |
| JP (1) | JPS6150007A (ja) |
| DE (1) | DE3529320C2 (ja) |
| GB (1) | GB2163256B (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4899456A (en) * | 1987-08-24 | 1990-02-13 | Mitutoyo Corporation | Surface contour measuring tracer |
| JP2009536325A (ja) * | 2006-05-10 | 2009-10-08 | カール ツァイス インドゥストリーレ メステクニーク ゲーエムベーハー | 加工品の表面点に接触するための方法および装置 |
Families Citing this family (19)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| IT1206842B (it) * | 1987-01-15 | 1989-05-11 | Fidia Spa | Dispositivo tastatore particolarmente per macchina a copiare |
| US5212646A (en) * | 1987-12-19 | 1993-05-18 | Renishaw Plc | Method of using a mounting for surface-sensing stylus |
| US5152072A (en) * | 1988-02-18 | 1992-10-06 | Renishaw Plc | Surface-sensing device |
| WO1990004149A1 (en) * | 1988-10-11 | 1990-04-19 | Renishaw Plc | Measurement probe for position determining apparatus |
| DE3842151A1 (de) * | 1988-12-15 | 1990-06-21 | Zeiss Carl Fa | Tastkopf vom schaltenden typ |
| GB8908854D0 (en) * | 1989-04-19 | 1989-06-07 | Renishaw Plc | Method of and apparatus for scanning the surface of a workpiece |
| US5189806A (en) * | 1988-12-19 | 1993-03-02 | Renishaw Plc | Method of and apparatus for scanning the surface of a workpiece |
| US4907894A (en) * | 1988-12-20 | 1990-03-13 | Bnf Metals Technology Centre | Surface-temperature sensing method and apparatus |
| US5209131A (en) * | 1989-11-03 | 1993-05-11 | Rank Taylor Hobson | Metrology |
| GB2238126A (en) * | 1989-11-03 | 1991-05-22 | Rank Taylor Hobson Ltd | Metrology |
| GB9001682D0 (en) * | 1990-01-25 | 1990-03-28 | Renishaw Plc | Position sensing probe |
| US5390424A (en) * | 1990-01-25 | 1995-02-21 | Renishaw Metrology Limited | Analogue probe |
| US5390423A (en) * | 1991-01-22 | 1995-02-21 | Renishaw Plc | Analogue probe |
| DE4216215A1 (de) * | 1992-05-06 | 1994-01-20 | Max Hobe | Tastfühler |
| JP3000819B2 (ja) * | 1993-03-15 | 2000-01-17 | 松下電器産業株式会社 | 三次元測定用プローブ及び形状測定方法 |
| US6640459B1 (en) * | 2001-02-15 | 2003-11-04 | Fast Forward Devices, Llc | Multidimensional contact mechanics measurement system |
| GB0201845D0 (en) * | 2002-01-26 | 2002-03-13 | Renishaw Plc | Analogue probe |
| US7538960B2 (en) * | 2006-03-14 | 2009-05-26 | Quality Vision International, Inc. | Air bearing guided zoom lens for metrological measurements |
| CN101339083B (zh) * | 2007-07-06 | 2010-09-29 | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 | 接触式测量装置 |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3798779A (en) * | 1972-07-05 | 1974-03-26 | Ferranti Packard Ltd | Probe inspection system |
| DE2242355C2 (de) * | 1972-08-29 | 1974-10-17 | Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim | Elektronischer Mehrkoordinatentaster |
| US3855901A (en) * | 1973-10-15 | 1974-12-24 | Babcock & Wilcox Co | Broaching machine |
| GB1551218A (en) * | 1975-05-13 | 1979-08-22 | Rolls Royce | Probe for use in displacement measuring apparatus |
| DE2718438A1 (de) * | 1977-04-26 | 1978-12-14 | Heinrich Prof Dr Ing Frohne | Taster zur messung raeumlicher koordinaten |
| DE3135495C2 (de) * | 1981-09-08 | 1983-11-10 | Mauser-Werke Oberndorf Gmbh, 7238 Oberndorf | Meßkopf für Meßeinrichtungen, Mehrkoordinatenmeßgeräte und Bearbeitungsmaschinen |
| DE3234471C1 (de) * | 1982-09-17 | 1983-08-25 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Mehrkoordinaten-Tastkopf |
-
1984
- 1984-08-18 JP JP59172143A patent/JPS6150007A/ja active Granted
-
1985
- 1985-08-14 US US06/765,953 patent/US4611403A/en not_active Expired - Lifetime
- 1985-08-16 DE DE3529320A patent/DE3529320C2/de not_active Expired - Fee Related
- 1985-08-16 GB GB08520629A patent/GB2163256B/en not_active Expired
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4899456A (en) * | 1987-08-24 | 1990-02-13 | Mitutoyo Corporation | Surface contour measuring tracer |
| JP2009536325A (ja) * | 2006-05-10 | 2009-10-08 | カール ツァイス インドゥストリーレ メステクニーク ゲーエムベーハー | 加工品の表面点に接触するための方法および装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE3529320A1 (de) | 1986-02-27 |
| GB2163256B (en) | 1988-06-15 |
| JPH0347688B2 (ja) | 1991-07-22 |
| GB8520629D0 (en) | 1985-09-25 |
| US4611403A (en) | 1986-09-16 |
| GB2163256A (en) | 1986-02-19 |
| DE3529320C2 (de) | 1994-02-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS6150007A (ja) | 表面形状測定用トレ−サ | |
| US5501096A (en) | Calibration method for determining and compensating differences of measuring forces in different coordinate directions in a multi-coordinate scanning system | |
| CA2331906C (en) | Method for evaluating measurement error in coordinate measuring machine and gauge for coordinate measuring machine | |
| US5111590A (en) | Measuring method of machine tool accuracy using a computer aided kinematic transducer link and its apparatus | |
| JPH08261748A (ja) | 粗さ測定用の装置を備えた座標測定装置 | |
| CN109737884A (zh) | 一种轴类零件静动态形变量在线监测装置及方法 | |
| JPS63134151A (ja) | ツール設定位置の検査装置及び検査方法 | |
| JP4050459B2 (ja) | ２つの対象物の位置を検出するための装置 | |
| US6463667B1 (en) | Machine tool precision-measuring apparatus | |
| CN109827899B (zh) | 材料表面性能试验仪 | |
| JP2628523B2 (ja) | 表面形状測定用トレーサ | |
| US6351313B1 (en) | Device for detecting the position of two bodies | |
| DE102005054819A1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Messung geometrischer und nichtgeometrischer Größen an einem Werkstück | |
| CN212482410U (zh) | 一种基于玻璃导轨的高精度三维轮廓扫描测量平台 | |
| Nikam | Coordinate Measuring Machine (CMM) | |
| US4375129A (en) | Indicating platform for machine tools | |
| KR0151993B1 (ko) | 두께 측정장치 및 이를 이용한 두께 측정방법 | |
| KR100232285B1 (ko) | 3차원 표면형상 측정장치 | |
| Kit | Coordinate measuring machines | |
| Rahman et al. | Comparative comparison of direct measurement methods in geometric accuracy testing of machine tools: A case study of CNC vertical milling machine | |
| CN211373502U (zh) | 一机两用型测量仪器 | |
| Michalski et al. | The impact of support points during the measurement of machine tool bodies on Coordinate Measuring Machines | |
| JPH0654204B2 (ja) | 球体寸法測定装置 | |
| JPS58178209A (ja) | 三次元測定機の測定方法 | |
| Brecher et al. | Geometric and Kinematic Behavior of Machine Tools |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |