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JPS61266917A - Encoder - Google Patents

Encoder

Info

Publication number
JPS61266917A
JPS61266917A JP11113285A JP11113285A JPS61266917A JP S61266917 A JPS61266917 A JP S61266917A JP 11113285 A JP11113285 A JP 11113285A JP 11113285 A JP11113285 A JP 11113285A JP S61266917 A JPS61266917 A JP S61266917A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
slit plate
movable
movable slit
plate
slit
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP11113285A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Ikuo Takeda
郁夫 武田
Hiroshi Fukamizu
深水 洋
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Omron Corp
Original Assignee
Omron Tateisi Electronics Co
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Omron Tateisi Electronics Co filed Critical Omron Tateisi Electronics Co
Priority to JP11113285A priority Critical patent/JPS61266917A/en
Publication of JPS61266917A publication Critical patent/JPS61266917A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PURPOSE:To simplify the whole structure including simplification of the formation of a light transmission slit by forming the light transmission slit in a movable slit plate so that the distance from a reference movement position varies continuously in a moving direction. CONSTITUTION:The curved light transmission slit is punched in the movable slit plate 21 so that the distance from the center P of rotation as the reference movement position varies continuously in a rotating direction with some tendency. Consequently, the need for a fixed slit plate having plural fixed light transmission slits which are required before is eliminated. Further, an optical position detecting element 26 composed of successive photoelectric converting elements is used, so the number of bits required for position detection is decreased.

Description

【発明の詳細な説明】 (発明の分野) 本発明は、可動スリット板と、この可動スリット板に形
成された透光スリットと、前記可動スリット板を挟む状
態で一側に配置された光源ならびに他側に配置された光
学位置検出素子とを備えたアブソリュート型に属するエ
ンコーダ関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Field of the Invention) The present invention provides a movable slit plate, a transparent slit formed in the movable slit plate, a light source disposed on one side with the movable slit plate sandwiched therebetween, and The present invention relates to an absolute type encoder including an optical position detection element disposed on the other side.

(発明の概要) 本発明は、可動スリット板に透光スリットを形成するに
当たり、可動スリット板の移動基準位置(ロータリ型に
あっては、可動スリット板の回転軸心。リニア型にあっ
ては、ある所定の直線)からの距離が移動方向に沿って
連続的に変化する状態で形成することにより、透光スリ
ットの形成の商略化を含めた全体構造の簡素化、必要ビ
ット数の減少化、ならびに信号処理のための電気回路の
簡略化を効果的に達成することができるようにするもの
である。
(Summary of the Invention) The present invention provides a moving reference position of the movable slit plate (in the rotary type, the rotation axis of the movable slit plate; in the case of the linear type, the movement reference position of the movable slit plate; , a certain predetermined straight line), the overall structure can be simplified, including the commercialization of the formation of transparent slits, and the number of required bits can be reduced. This makes it possible to effectively achieve simplification of electrical circuits for signal processing.

(従来技術とその問題点) 従来の一般的なアブソリュート型エンコーダを第6図お
よび第7図に示す、第6図は可動スリット板の全体の平
面図、第7図はエンコーダの縦断側面および回路を含む
構成図である。
(Prior art and its problems) A conventional general absolute encoder is shown in Figs. 6 and 7. Fig. 6 is a plan view of the entire movable slit plate, and Fig. 7 is a longitudinal side view and circuit of the encoder. FIG.

この可動スリット板1は、ロータリ型のエンコーダに使
用されるものであり、金属板や合成樹脂板などの不透明
板から円形に構成され、可動スリット板1の回転軸2を
中心として多数′の円弧状の可動透光スリット3が打ち
抜きなどによって抜き型に形成されている。可動透光ス
リット3は、回転軸2を中心とする同心円上に形成され
、あるものは回転方向に沿って短く、あるものは回転方
向に沿って細長く形成されている。
This movable slit plate 1 is used in a rotary encoder, and is made of an opaque plate such as a metal plate or a synthetic resin plate in a circular shape, and has a large number of circles around the rotation axis 2 of the movable slit plate 1. An arc-shaped movable light-transmitting slit 3 is formed in a die by punching or the like. The movable light-transmitting slits 3 are formed on concentric circles centered on the rotation axis 2, and some are short along the rotation direction, while others are formed long and thin along the rotation direction.

このようなスリットパターンを形成しであるのは、スリ
ットパターンによってBCDコードをつくり、可動スリ
ット板1についての絶対的な回転角を検出するためであ
る。
The reason for forming such a slit pattern is to create a BCD code using the slit pattern and to detect the absolute rotation angle of the movable slit plate 1.

可動スリット板lに平行に対向して固定スリット板4が
配置されており、この固定スリット板4には、可動スリ
ット板1において可動透光スリット3が形成されている
同心円の数と同数で同一ピッチの固定透光スリット5が
可動スリット板1の直径方向に沿って列状に形成されて
いる。
A fixed slit plate 4 is arranged parallel to and opposite to the movable slit plate 1, and the fixed slit plate 4 has the same number of concentric circles as the movable transparent slits 3 formed in the movable slit plate 1. Fixed pitch transparent slits 5 are formed in a row along the diameter direction of the movable slit plate 1.

固定スリット板4の列状の固定透光スリット5に対応す
る箇所において、可動スリット板1と固定スリット板4
とを挟む状態で、複数個のLぜp(発光ダイオード)な
どからなる光源6と、前記同心円と同数のフォト・トラ
ンジスタなどの複数個の受光素子7とが配置されている
The movable slit plate 1 and the fixed slit plate 4 are arranged at locations corresponding to the rows of fixed translucent slits 5 on the fixed slit plate 4.
A light source 6 consisting of a plurality of Lzep (light emitting diodes), etc., and a plurality of light receiving elements 7, such as phototransistors, of the same number as the concentric circles are arranged with the two concentric circles in between.

8は受光素子7に接続された増幅器、9は増幅器8に接
続されたコンパレータ、10は、直流電源11と可変抵
抗12からなる基準電源である。
8 is an amplifier connected to the light receiving element 7; 9 is a comparator connected to the amplifier 8; and 10 is a reference power source consisting of a DC power source 11 and a variable resistor 12.

しかしながら、このような構成を有する従来例には、次
のような問題点がある。
However, the conventional example having such a configuration has the following problems.

即ち、可動スリット板1に形成された可動透光スリット
3のパターンが著しく複雑であり、可動透光スリット3
のエツチングのための作図がきわめて煩雑であるし、可
動透光スリット3の抜き形成自体も非常に面倒であり、
コストアップの要因になっている。
That is, the pattern of the movable light-transmitting slits 3 formed on the movable slit plate 1 is extremely complicated.
The drawing for etching is extremely complicated, and the punching and forming of the movable transparent slit 3 itself is also extremely troublesome.
This is a factor in increasing costs.

さらに、複数個の固定透光スリット5を形成した固定ス
リット板4を必要としていることから、全体構造が複雑
化している。
Furthermore, since the fixed slit plate 4 in which a plurality of fixed transparent slits 5 are formed is required, the overall structure is complicated.

また、回転角検出の分解能を高くするためには、使用す
る信号ビット数を多くとる必要があり、かつ、各ビット
の信号を処理して出力信号とするためには、複雑な電気
回路を必要とするという問題があった。
In addition, in order to increase the resolution of rotation angle detection, it is necessary to use a large number of signal bits, and a complex electrical circuit is required to process each bit of signal into an output signal. There was a problem.

このことは、ロータリ型、リニア型のいかんを問わず、
また、可動スリット板lの構成材料が不透明材料である
と透明材料であるとを問わず当てはまることである。
This applies regardless of whether it is a rotary type or a linear type.
This also applies regardless of whether the movable slit plate 1 is made of an opaque material or a transparent material.

なお、コストダウンなどの目的から、可動スリット板1
を金属板や合成樹脂板などの不透明材料から構成した場
合には、光を透過させるために、可動透光スリット3を
抜き型に形成する。従って、可動透光スリット3が長い
ほど、また、長い可動透光スリット3の敗が多いほど、
可動スリット板1の機械的強度が低下し、可動スリット
板1が波打ったように変形するおそれがある。
In addition, for the purpose of cost reduction etc., the movable slit plate 1
When it is made of an opaque material such as a metal plate or a synthetic resin plate, a movable light-transmitting slit 3 is formed in a die to transmit light. Therefore, the longer the movable transparent slit 3 is, and the more the long movable transparent slit 3 is damaged,
The mechanical strength of the movable slit plate 1 may decrease, and the movable slit plate 1 may be deformed in a wavy manner.

もし、このような変形が生じると、光源6から受光素子
7に到達する光線が、可動スリット板1における所定の
可動透光スリット3ではなく、1つ隣の可動透光スリッ
ト3から入射することがあり、可動スリット板1の回転
角検出に誤動作が発生する。
If such a deformation occurs, the light beam reaching the light receiving element 7 from the light source 6 may enter not from the predetermined movable light transmitting slit 3 in the movable slit plate 1 but from the movable light transmitting slit 3 next to it. Therefore, a malfunction occurs in detecting the rotation angle of the movable slit plate 1.

可動スリット板をガラスなどの透明材料から構成する場
合には、蒸着膜のエツチングなどで非抜き型の透光スリ
ットに形成される。この場合は、可動スリット板の機械
的強度の低下はないが、コスト高につくという問題があ
る。
When the movable slit plate is made of a transparent material such as glass, it is formed into a non-cuttable light-transmitting slit by etching a deposited film or the like. In this case, there is no reduction in the mechanical strength of the movable slit plate, but there is a problem of increased cost.

(発明の目的) 本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであっ
て、可動スリット板の透光スリットの形成の簡略化を含
めた全体構造の簡素化、必要ビット数の減少化、ならび
に信号処理のための電気回路の簡略化を効果的に達成で
きるようにすることを目的とする。
(Objective of the Invention) The present invention has been made in view of the above circumstances, and aims to simplify the overall structure including simplifying the formation of transparent slits in the movable slit plate, and to reduce the number of required bits. , and to effectively achieve the simplification of electric circuits for signal processing.

(発明の構成と効果) 本発明は、このような目的を達成するために、次のよう
な構成をとる。
(Configuration and Effects of the Invention) In order to achieve the above object, the present invention has the following configuration.

即ち、本発明のエンコーダは、可動スリット板と、この
可動スリット板においてこの可動スリット板の移動基準
位置からの距離が移動方向に沿って連続的に変化する状
態で形成された透光スリットと、前記可動スリット板の
一偏に配置された光源と、前記可動スリット板の他側に
配置され光電変換素子が連続した光学位置検出素子とを
備えたものである。
That is, the encoder of the present invention includes a movable slit plate, a light-transmitting slit formed in the movable slit plate such that the distance from the movement reference position of the movable slit plate continuously changes along the moving direction; The device includes a light source disposed on one side of the movable slit plate, and an optical position detection element disposed on the other side of the movable slit plate and having continuous photoelectric conversion elements.

本発明は、ロータリ型はもちろん、リニア型も含んでい
る。mち、上記構成において、「可動スリット板の移動
基準位置」とは、ロータリ型の場合は、可動スリット板
の回転軸心であり、リニア型の場合は、ある所定の直線
である。また、「移動基準位置からの距離が移動方向に
沿って連続的に変化する状態」とは、ロータリ型の場合
は、透光スリットが湾曲形状に形成されていることを意
味し、ロータリ型の場合は、透光スリットが前記所定の
直線に対して傾斜した直線状態に形成されていることを
意味する。
The present invention includes not only the rotary type but also the linear type. In the above configuration, the "movement reference position of the movable slit plate" is the rotation axis of the movable slit plate in the case of a rotary type, and a certain predetermined straight line in the case of a linear type. In addition, "a state in which the distance from the movement reference position changes continuously along the movement direction" means that in the case of a rotary type, the transparent slit is formed in a curved shape; , means that the light-transmitting slit is formed in a straight line inclined with respect to the predetermined straight line.

本発明の上記構成による作用は、次の通りである。The effects of the above configuration of the present invention are as follows.

光源からの光は、移動基準位置からの距離がある傾向を
もって連続的に変化する透光スリットを透過する。この
透過光は、光電変換素子が連続した光学位置検出素子に
よって捕捉される。
Light from the light source passes through a light-transmitting slit whose distance from the moving reference position changes continuously with a certain tendency. This transmitted light is captured by an optical position detection element having a series of photoelectric conversion elements.

可動スリット板が移動すると、これに伴って光学位置検
出素子に対する透光スリットの相対的な位置関係が変化
する。即ち、光源からの光が透光スリットにおいて通過
する位置が透光スリットの長さ方向に沿って変化する。
When the movable slit plate moves, the relative positional relationship of the light-transmitting slit with respect to the optical position detection element changes accordingly. That is, the position through which the light from the light source passes through the light-transmitting slit changes along the length direction of the light-transmitting slit.

その結果、光学位置検出素子に対する光の入射位置が光
学位置検出素子の長さ方向に沿って変化する。
As a result, the incident position of light onto the optical position detection element changes along the length direction of the optical position detection element.

従って、移動する可動スリット板の位置と光学位置検出
素子の受光位置との間には、1対1の対応関係が成立す
る。このため、本発明のエンコーダは、可動スリット板
の絶対的な位置を検出することができる。
Therefore, a one-to-one correspondence is established between the position of the moving movable slit plate and the light receiving position of the optical position detection element. Therefore, the encoder of the present invention can detect the absolute position of the movable slit plate.

また、光学位置検出素子が移動基準位置からの距離があ
る傾向をもって連続的に変化する状態に形成されている
ため、従来必要とした複数の固定透光スリットを形成し
た固定スリット板を不要化することもできる。
In addition, since the optical position detection element is formed in a state in which the distance from the movement reference position changes continuously with a certain tendency, the fixed slit plate with multiple fixed translucent slits that was required in the past is no longer required. You can also do that.

また、光電変換素子が連続した光学位置検出素子を用い
ているから、位置検出のために必要なビット数を減少化
できるとともに、複数のフォト・トランジスタなどの受
光素子を使用している従来例が必要とした、個々の受光
素子についての増幅器、コンパレータ、基準電源などの
回路構成を不要化でき、1つの光学位置検出素子につい
て部品を共通化することができる。
In addition, since the photoelectric conversion element uses a continuous optical position detection element, the number of bits required for position detection can be reduced, and the conventional example of using light receiving elements such as multiple phototransistors can be reduced. It is possible to eliminate the need for circuit configurations such as amplifiers, comparators, reference power supplies, etc. for each light receiving element, and it is possible to use common parts for one optical position detection element.

以上のことから、本発明によれば、透光スリットの形成
の簡略化を含めた全体構造の簡素化、必要ビット数の減
少化、ならびに信号処理のための電気回路の簡略化を達
成することができるという効果が発揮される。
From the above, according to the present invention, it is possible to simplify the overall structure including simplifying the formation of transparent slits, reduce the number of required bits, and simplify the electric circuit for signal processing. The effect of being able to do this is demonstrated.

(実施例の説明) 以下、本発明を図面に示す実施例に基づいて詳細に説明
する。第1図ないし第3図は本発明の第1実施例のエン
コーダに係り、第1図はエンコーダの斜視図、第2図は
可動スリット板の平面図、第3図は断面と回路とを示す
構成図である。
(Description of Examples) Hereinafter, the present invention will be described in detail based on examples shown in the drawings. 1 to 3 relate to an encoder according to a first embodiment of the present invention, in which FIG. 1 is a perspective view of the encoder, FIG. 2 is a plan view of a movable slit plate, and FIG. 3 is a cross-sectional view and a circuit. FIG.

可動スリット板21は、ロータリ型のエンコーダに使用
されるものであり、金属板や合成樹脂板などの不透明板
から円形に構成されている。この場合、可動スリット板
21の移動基準位置とは、可動スリット板21の回転軸
22め軸心Pである。
The movable slit plate 21 is used in a rotary encoder, and is made of an opaque plate such as a metal plate or a synthetic resin plate and has a circular shape. In this case, the movement reference position of the movable slit plate 21 is the axis P of the rotation axis 22 of the movable slit plate 21.

可動スリット板21には、移動基準位置である回転軸心
Pからの距離が回転方向に沿って、ある傾向をもって連
続的に変化した湾曲形状の透光スリット23が打ち抜き
などによって抜き型に形成されている。この透光スリッ
ト23は、360度にわたって形成されている。
In the movable slit plate 21, a curved transparent slit 23 whose distance from the rotation axis P, which is a movement reference position, changes continuously along the rotation direction with a certain tendency is formed in a die by punching or the like. ing. This light-transmitting slit 23 is formed over 360 degrees.

可動スリット板21の一側には、LEDなどの複数の発
光素子24からなる光源25が、可動スリット板21の
直径方向に沿って配置されている。
On one side of the movable slit plate 21, a light source 25 made up of a plurality of light emitting elements 24 such as LEDs is arranged along the diameter direction of the movable slit plate 21.

光源25に対向して可動スリット板21の他側には、光
電変換素子が連続している光学位置検出素子26が、可
動スリット板21の直径方向に沿って配置されている。
On the other side of the movable slit plate 21 facing the light source 25, an optical position detection element 26 including a continuous photoelectric conversion element is arranged along the diameter direction of the movable slit plate 21.

光源25および光学位置検出素子26は、それぞれ可動
スリット板21と平行である。
The light source 25 and the optical position detection element 26 are each parallel to the movable slit plate 21.

光学位置検出素子26としては、PSD (半導体装置
検出素子)やCOD (電荷結合デバイス)などが利用
できる。
As the optical position detection element 26, a PSD (semiconductor device detection element), a COD (charge coupled device), or the like can be used.

27は光学位置検出素子26に接続された信号処理回路
である。この信号処理回路27としては、従来例の回路
構成よりも構造の簡単なものを使用することができる。
27 is a signal processing circuit connected to the optical position detection element 26. As this signal processing circuit 27, a circuit having a simpler structure than that of the conventional example can be used.

次に、第2実施例を第4図に基づいて説明する。Next, a second embodiment will be described based on FIG. 4.

第4図はリニア型のエンコーダの斜視図である。FIG. 4 is a perspective view of a linear encoder.

第4図において、第1実施例に係る第1図に示した符号
と同一の符号は、本実施例においても、その符号が示す
部品1部分等と同様のものを指す。
In FIG. 4, the same reference numerals as those shown in FIG. 1 according to the first embodiment refer to the same parts as those indicated by the reference numerals in this embodiment.

本実施例において、第1実施例と異なっている構成は、
次の通りである。
In this embodiment, the configuration that differs from the first embodiment is as follows.
It is as follows.

可動スリット板21の移動基準位置が、可動スリット板
21に形成された透光スリット23の外側位置において
可動スリット板21の直線的移動方向に沿った直線りと
なっている。
The movement reference position of the movable slit plate 21 is a straight line along the linear movement direction of the movable slit plate 21 at a position outside the light-transmitting slit 23 formed in the movable slit plate 21.

可動スリット板21の移動方向に沿った一端縁21aが
直線である場合には、その一端縁21aが通過するライ
ンを前記移動基準位置としての直線りとしてよい、  
“ 可動透光スリット23は、移動基準位置としての直線り
に対して一定の角度で傾斜した直線状態に形成されてい
る。
When one end edge 21a along the moving direction of the movable slit plate 21 is a straight line, the line through which the one end edge 21a passes may be set as the straight line as the movement reference position.
"The movable transparent slit 23 is formed in a straight line that is inclined at a constant angle with respect to the straight line serving as the movement reference position.

その他の構成は第1実施例と同様であるので、説明を省
略する。
The rest of the configuration is the same as that of the first embodiment, so a description thereof will be omitted.

第5図の(A)、  (B)は各々他の実施例の可動ス
リット板の要部の平面図である。
FIGS. 5A and 5B are plan views of main parts of movable slit plates of other embodiments, respectively.

これらは、透光スリット23が細長いために、可動スリ
ット板21の機械的強度が低下し、可動スリット板21
が変形するのを防止するようにしたものである。
These problems are caused by the fact that the mechanical strength of the movable slit plate 21 decreases due to the elongated translucent slit 23, and the movable slit plate 21
This is to prevent deformation.

即ち、透光スリット23に、複数個の補強用架橋28を
適当ピッチで隔設しである。この補強用架橋28は可動
スリット板21と同体である。
That is, a plurality of reinforcing bridges 28 are provided in the light-transmitting slit 23 at appropriate pitches. This reinforcing bridge 28 is the same body as the movable slit plate 21.

23aは、細長い透光スリット23が補強用架橋28に
よって複数に分割されたスリット部分である。
23a is a slit portion in which the elongated light-transmitting slit 23 is divided into a plurality of parts by a reinforcing bridge 28.

補強用架橋28を設けることによって可動スリット板2
1の強度低下ひいては変形を防止し、出力信号のレベル
変動を防止することができる。
By providing the reinforcing bridge 28, the movable slit plate 2
It is possible to prevent a decrease in the intensity of the signal and hence deformation, and to prevent level fluctuations in the output signal.

なお、本発明は、次ぎのように構成したものも実施例と
して含む。
It should be noted that the present invention also includes embodiments configured as follows.

(i)可動スリット板21がガラスなどの透明材料から
構成されたもの。
(i) The movable slit plate 21 is made of a transparent material such as glass.

(ii )透光スリット23の数を2以上としたもの。(ii) The number of transparent slits 23 is two or more.

(iii )ロータリ型において透光スリット23の中
心角を360度よりも小さくしたもの。
(iii) A rotary type in which the central angle of the transparent slit 23 is smaller than 360 degrees.

(iv )光源25として、棒状のものを採用したもの
(iv) A rod-shaped light source is used as the light source 25.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図ないし第3図は本発明の第1実施例のロータリ型
のエンコーダに係り、第1図はエンコーダの斜視図、第
2図は可動スリット板の平面図、第3図は断面と回路と
を示す構成図、第4図は第2実施例に係るリニア型のエ
ンコーダの斜視図、第5図の(A)、  (B)は他の
実施例の可動スリット板の要部の平面図、第6図は従来
のアブソリュート型エンコーダの平面図、第7図はエン
コーダの縦断側面図である。 21・・・可動スリット板、23・・・透光スリット、
25・・・光源、26・・・光学位置検出素子、L・・
・直線、P・・・回転軸心
1 to 3 relate to a rotary encoder according to a first embodiment of the present invention, in which FIG. 1 is a perspective view of the encoder, FIG. 2 is a plan view of a movable slit plate, and FIG. 3 is a cross section and circuit. FIG. 4 is a perspective view of the linear encoder according to the second embodiment, and FIGS. 5A and 5B are plan views of the main parts of the movable slit plate of another embodiment. , FIG. 6 is a plan view of a conventional absolute type encoder, and FIG. 7 is a longitudinal sectional side view of the encoder. 21...Movable slit plate, 23...Translucent slit,
25... Light source, 26... Optical position detection element, L...
・Straight line, P...Rotation axis center

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)可動スリット板と、 この可動スリット板において、この可動スリット板の移
動基準位置からの距離が移動方向に沿って連続的に変化
する状態で形成された透光スリットと、 前記可動スリット板の一側に配置された光源と、前記可
動スリット板の他側に配置され、光電変換素子が連続し
た光学位置検出素子 とを備えたエンコーダ。
(1) A movable slit plate; In this movable slit plate, a transparent slit is formed such that the distance from the movement reference position of the movable slit plate changes continuously along the movement direction; and the movable slit plate. An encoder comprising: a light source disposed on one side of the movable slit plate; and an optical position detection element disposed on the other side of the movable slit plate and having continuous photoelectric conversion elements.
(2)前記可動スリット板がロータリ型であり、この可
動スリット板の移動基準位置が、この可動スリット板の
回転軸心であり、前記透光スリットが、湾曲形状に形成
されている特許請求の範囲第(1)項記載のエンコーダ
(2) The movable slit plate is of a rotary type, the movement reference position of the movable slit plate is the rotation axis of the movable slit plate, and the transparent slit is formed in a curved shape. The encoder described in range item (1).
(3)前記可動スリット板がリニア型であり、この可動
スリット板の移動基準位置が、前記透光スリットの外側
箇所において前記可動スリット板の直線的移動方向に沿
った直線であり、前記透光スリットが前記移動基準位置
である直線に対して傾斜した直線状態に形成されている
特許請求の範囲第(1)項記載のエンコーダ。
(3) The movable slit plate is of a linear type, and the movement reference position of the movable slit plate is a straight line along the linear movement direction of the movable slit plate at a location outside the light-transmitting slit, and The encoder according to claim 1, wherein the slit is formed in a straight line that is inclined with respect to the straight line that is the movement reference position.
(4)前記光学位置検出素子が前記可動スリット板と平
行に配置されている特許請求の範囲第(1)項記載のエ
ンコーダ。
(4) The encoder according to claim (1), wherein the optical position detection element is arranged parallel to the movable slit plate.
JP11113285A 1985-05-22 1985-05-22 Encoder Pending JPS61266917A (en)

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JP11113285A JPS61266917A (en) 1985-05-22 1985-05-22 Encoder

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JP11113285A JPS61266917A (en) 1985-05-22 1985-05-22 Encoder

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JPS61266917A true JPS61266917A (en) 1986-11-26

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JP11113285A Pending JPS61266917A (en) 1985-05-22 1985-05-22 Encoder

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