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JPS612080A - プロ−ブ装置及びプロ−ブカ−ド - Google Patents

プロ−ブ装置及びプロ−ブカ−ド

Info

Publication number
JPS612080A
JPS612080A JP12198684A JP12198684A JPS612080A JP S612080 A JPS612080 A JP S612080A JP 12198684 A JP12198684 A JP 12198684A JP 12198684 A JP12198684 A JP 12198684A JP S612080 A JPS612080 A JP S612080A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
wafer
probe card
probe
data
prober
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP12198684A
Other languages
English (en)
Inventor
Teruya Sato
光弥 佐藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Priority to JP12198684A priority Critical patent/JPS612080A/ja
Priority to US06/743,818 priority patent/US4755747A/en
Publication of JPS612080A publication Critical patent/JPS612080A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
  • Measuring Leads Or Probes (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔技術分野〕 本発明は、プローブ装置に関するものであり、特にプロ
ーブカードから動作に必要なデータを読み出す機能を有
するプローブ装置に関するものである。
〔従来技術〕
一般に半導体素子製造工程において、個々のチップに切
断する前のウェハ状態でＩＣチップの特性をテストする
ための装置としてＩＣテスタ及びプローブ装置（以下ウ
エハプローバという。）が使われている。実際のテスト
はＩＣテスタで行われるが、このＩＣテスタとウェハ上
のＩＣチップとの電気的コンタクトを行うのがウエハプ
ローバである。
ウエハプローバは、テストを行うウェハ、すなわちＩＣ
チップの大きさ等により予めプロービング用のデータを
設定しておかなければならない。
このようなデータとしては例えば次のようなデータがあ
る。
（１）ＸＹインデックスストローク嗜・・工Ｃチップの
大きさを示す。
（２）　　プローブエリア・・・有効プローブエリアの
％を示す。
（３）　　オリエンテーションフラット（ＯＦ）方向・
・・プロービング時におけるウェハのＯＦ力方向示す。
（４）　アライメントパラメータ・・・ポンディングパ
ッドに対するアライメント位置等を示す。
従来のウエハプローバにおいては前述の各種データを、
テストするウェハが変更になる毎に、具体的にはＩＣチ
ップの種類が変更になるたびに手動によりパネル等から
入力していたため、操作者にとって非常に煩しい作業が
必要であり、またテスト時間が長くなるという欠点があ
った。
又、前述の各種データを予めウエハブローバ内部のメモ
リに入れておくものもあったが、これらメモリ内のデー
タとプローブカードとの対応を取る必要があるため、こ
れらの管理が必要であった。
〔発明の目的〕
本発明は、上述従来例の欠点を除去する目的でなされた
ものでありプローブカードをウエハプローバに配置する
だけで、ウエハプローバに必要なデータを誤りなく自動
的に設定可能とする事を目的としている。
〔実施例〕
以下図面を参照して本発明の詳細な説明する。
第１図は、本発明の一実施例の概略構成図であり、プロ
ーブカードｌには、テストするウェハのチップのボンテ
ィングパッドの配置位置に対応しタフローブ針２が取り
付けられている。またプローブカード１の下面にはバー
コード３が設けられ、このバーコード８にはテストする
ウェハのＩＣチップの大きさやプローブエリア等の当該
ウエノ１個有のデータが記憶されている。
不図示のプローバ本体上には、カードエツジコネクタ４
と、プローブカード１を保持するカードホルダ５が取り
付けられ、コネクタ４はプローブカード１のプローブ針
２と不図示の工Ｃテスタとの電気的接続を行う。
図示右方において、ウェハステージ８はプローバ本体に
ＸＹＺ方向に移動可能に配置され、ウェハステージ８上
にはウエノ１チャック７を介して、テストを行うウェハ
６が載置されている。ウニノーステージ８」二には更に
ファイバセンサなどの反射型のフォートセンサ９が配置
されている。１１は、プローブカード１のバーコード８
のデータを読み取す、ウェハステージ８を駆動するコン
トローラである。
上記構成において、ウエハプローバに特定の命令を与え
ると、ウェハステージ８が移動（図ではｘ　方向の移動
）シ、ウェハステージ８上のファイバセンサ９はプロー
ブカード１の下面のバーコード３をスキャンし、プロー
ブカードｌからデータの読み出しを行う。コントローラ
１１は、このデータ読み出しによりウェハ６の各チップ
毎の移動量、移動方向の補正等を行なってウェハステー
ジ８の駆動を行う。
尚プローブカード１のバーコード８に入力するデータと
しては、テストするウェハ個有のデータの他に、プロー
ブカードの番号を入力して、配置したカードの正誤を判
別したり、また各プローブカード個有のくせ（例えばオ
ーバストローク量）を入力するようにしてもよい。
尚記憶及び読み取り手段としては、バーコード等の代り
に磁気テープ及び磁気式の検出ヘッドを用いてもよい。
〔発明の効果〕
以上説明したように、プローブカードにウエハブローバ
に必要なデータを入れておき、そしてウエハプローバの
ウェハステージ側にこれを検出する手段を設けるという
簡単な改造により、従来非常に煩雑であったテス）ＩＣ
チップの種類変更時におけるウエハプローバの各種デー
タ設定を自動化することができ、またテスト時間を短縮
することができるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の一実施例の斜視図である。 ■はプローブカード、２はプローブ針、３はバーコード
、４はカードエツジコネクタ、５はカードホルダ、６は
ウェハ、７はウェハチャック、８はウェハステージ、９
はファイバセンサ、１１はコントローラである。 第１図 手続ネ甫正書（自発） 昭和６０年７月　４日

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）プローブカードに書き込まれたデータを検出する
    手段と、前記検出されたデータによりプロービングを行
    う手段を有するプローブ装置。
  2. （２）データが書き込まれたプローブカード。
JP12198684A 1984-06-15 1984-06-15 プロ−ブ装置及びプロ−ブカ−ド Pending JPS612080A (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP12198684A JPS612080A (ja) 1984-06-15 1984-06-15 プロ−ブ装置及びプロ−ブカ−ド
US06/743,818 US4755747A (en) 1984-06-15 1985-06-12 Wafer prober and a probe card to be used therewith

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP12198684A JPS612080A (ja) 1984-06-15 1984-06-15 プロ−ブ装置及びプロ−ブカ−ド

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS612080A true JPS612080A (ja) 1986-01-08

Family

ID=14824731

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP12198684A Pending JPS612080A (ja) 1984-06-15 1984-06-15 プロ−ブ装置及びプロ−ブカ−ド

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS612080A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63110744A (ja) * 1986-10-29 1988-05-16 Tokyo Electron Ltd プロ−ブ装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63110744A (ja) * 1986-10-29 1988-05-16 Tokyo Electron Ltd プロ−ブ装置
JPH077791B2 (ja) * 1986-10-29 1995-01-30 東京エレクトロン株式会社 プロ−ブ装置

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