JPS6119246U - フオトエツチング用露光装置 - Google Patents
フオトエツチング用露光装置Info
- Publication number
- JPS6119246U JPS6119246U JP10398784U JP10398784U JPS6119246U JP S6119246 U JPS6119246 U JP S6119246U JP 10398784 U JP10398784 U JP 10398784U JP 10398784 U JP10398784 U JP 10398784U JP S6119246 U JPS6119246 U JP S6119246U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- workpiece
- exposure equipment
- photoetching
- exposure
- etching
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- ing And Chemical Polishing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図り本考案の一実施例における露光装置を示す中央
縦断面図、第２図はその平面図、第３図は露光状態を示
す拡大模式断面図、第４図は複数のワークを同時露光す
るための変形例を示す断面図である。 １・・・露光襄置、２，１７・・・ワーク、２ａ，１７
ａ・・・内周叩、３・・・露光箱、６・・・光源ランプ
、１０・・・遮光板、１３・・・フォトレジスト、１５
・・・フォトマスク。
縦断面図、第２図はその平面図、第３図は露光状態を示
す拡大模式断面図、第４図は複数のワークを同時露光す
るための変形例を示す断面図である。 １・・・露光襄置、２，１７・・・ワーク、２ａ，１７
ａ・・・内周叩、３・・・露光箱、６・・・光源ランプ
、１０・・・遮光板、１３・・・フォトレジスト、１５
・・・フォトマスク。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １つのワークもしくは複数のワークを集合する一饗Ｚ叡
冨＝＝９■〃 上記ワークの内周面に設け−られたフオトレジストをフ
ォトマスクを介して露光するフォトエッチング用露光装
置であって、上記光源ランプとワーク内周面との間に形
成された間隙内に、該間隙を軸方向に複数に分断する遮
光板を配設してなることを特徴とするフォトエッチング
用露光装置。 １
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10398784U JPS6119246U (ja) | 1984-07-10 | 1984-07-10 | フオトエツチング用露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10398784U JPS6119246U (ja) | 1984-07-10 | 1984-07-10 | フオトエツチング用露光装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6119246U true JPS6119246U (ja) | 1986-02-04 |
Family
ID=30663354
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10398784U Pending JPS6119246U (ja) | 1984-07-10 | 1984-07-10 | フオトエツチング用露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6119246U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0471873U (ja) * | 1990-10-29 | 1992-06-25 |
-
1984
- 1984-07-10 JP JP10398784U patent/JPS6119246U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0471873U (ja) * | 1990-10-29 | 1992-06-25 |
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