JPS61182791A - 工業用ロボツト - Google Patents
工業用ロボツトInfo
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- JPS61182791A JPS61182791A JP2120885A JP2120885A JPS61182791A JP S61182791 A JPS61182791 A JP S61182791A JP 2120885 A JP2120885 A JP 2120885A JP 2120885 A JP2120885 A JP 2120885A JP S61182791 A JPS61182791 A JP S61182791A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、半導体製造工場・光学部品製造工場・その他
精密製品製造工場等、塵埃を極度に嫌う作業環境で使用
する工業用ロボットに関するものである。
精密製品製造工場等、塵埃を極度に嫌う作業環境で使用
する工業用ロボットに関するものである。
従来の技術
工業用ロボットには、関節部の軸受やサーボモータのブ
ラシ等、多くの塵埃発生要因がある。このようなロボッ
トは半導体製品製造工場等、空気中の塵埃を極度に嫌う
場所では、このままでは使用できず、塵埃の飛散を防ぐ
工夫が必要となる。
ラシ等、多くの塵埃発生要因がある。このようなロボッ
トは半導体製品製造工場等、空気中の塵埃を極度に嫌う
場所では、このままでは使用できず、塵埃の飛散を防ぐ
工夫が必要となる。
従来の塵埃飛散防止装置は第６図にその具体構成を示す
ように、工業用ロボット１における塵埃発生部分となる
関節部１ａに、蛇腹式のカバー２をかぶせることによっ
て、ロボット１の前記斯る場所から発生する塵埃が外部
に出るのを防いでいた。
ように、工業用ロボット１における塵埃発生部分となる
関節部１ａに、蛇腹式のカバー２をかぶせることによっ
て、ロボット１の前記斯る場所から発生する塵埃が外部
に出るのを防いでいた。
発明が解決しようとする問題点
しかし、この方法では蛇腹式のカバー２の伸縮によって
、カバ−２自体がポンプの役目を果し、カバー２とロボ
ット１のすきまから空気と共に塵埃が漏れる問題や、ロ
ボット１の関節に大きなカバー２をかぶせるため、ロボ
ット１が大型化するという問題があった。また、ロボッ
ト１の修理や保守の際にはカバー２を取りはずす必要が
あり、修理、保守がやりにくくなるという問題があった
。
、カバ−２自体がポンプの役目を果し、カバー２とロボ
ット１のすきまから空気と共に塵埃が漏れる問題や、ロ
ボット１の関節に大きなカバー２をかぶせるため、ロボ
ット１が大型化するという問題があった。また、ロボッ
ト１の修理や保守の際にはカバー２を取りはずす必要が
あり、修理、保守がやりにくくなるという問題があった
。
本発明は上記従来の欠点を解消するものであり、コンパ
クトにロボットから出る塵埃の飛散を防止するものであ
る。
クトにロボットから出る塵埃の飛散を防止するものであ
る。
問題点を解決するための手段
本発明は、多自由度の工業用ロボットを、アーム等の構
造部材と、カバーにより、前記ロボットの本体内部と外
気とを遮断するように略密閉化し、前記構造部材、及び
前記カバー等で形成された前記ロボットの本体内部空間
を通気孔や配管等により連結した複数個の内部空域と、
個々の内部空域に連通し、かつ外気に対して前記ロボッ
ト本体の内部空域に負圧を発生させるための、ロボット
本体あるいはその近傍に、配設された負圧発生装置と、
各々の内部空域内の圧力や前記内部空域からの排気流量
を調節する圧力・流量調整部とから構成されている。
造部材と、カバーにより、前記ロボットの本体内部と外
気とを遮断するように略密閉化し、前記構造部材、及び
前記カバー等で形成された前記ロボットの本体内部空間
を通気孔や配管等により連結した複数個の内部空域と、
個々の内部空域に連通し、かつ外気に対して前記ロボッ
ト本体の内部空域に負圧を発生させるための、ロボット
本体あるいはその近傍に、配設された負圧発生装置と、
各々の内部空域内の圧力や前記内部空域からの排気流量
を調節する圧力・流量調整部とから構成されている。
作 用
本発明は上記した構成によって内部空域と外気との間に
ある微小すきま部に、内側が外気に対して定常的に負圧
になるような圧力こう配を発生させることにより、前記
ロボット内部からの塵埃の飛散を防ぐことができ、蛇腹
式のカバー等を用いることなしに、保守・修理が容易で
コンパクトな工業用ロボットを提供できるものである。
ある微小すきま部に、内側が外気に対して定常的に負圧
になるような圧力こう配を発生させることにより、前記
ロボット内部からの塵埃の飛散を防ぐことができ、蛇腹
式のカバー等を用いることなしに、保守・修理が容易で
コンパクトな工業用ロボットを提供できるものである。
実施例
以下本発明の一実施例を第１〜４図にもとづいて説明す
る。
る。
第１図は本発明の実施例における工業用ロボットの全体
構成図、第２図はその工業用ロボット本体部の斜視図で
ある。
構成図、第２図はその工業用ロボット本体部の斜視図で
ある。
第２図において、３は工業用ロボット本体、４は旋回関
節部、６・６はアーム曲げ関節部、７・８・９は手首関
節部である。１０は旋回関節部４を略密閉化するカバー
、１１は上腕アーム、１２は前腕アームである。１３ａ
〜１３ｄは各関節部の内部空域と負圧発生装置（後述）
とを連結する配管である。
節部、６・６はアーム曲げ関節部、７・８・９は手首関
節部である。１０は旋回関節部４を略密閉化するカバー
、１１は上腕アーム、１２は前腕アームである。１３ａ
〜１３ｄは各関節部の内部空域と負圧発生装置（後述）
とを連結する配管である。
第１図において、１４は旋回関節部４をおおうカバー１
０によって作シ出された第１内部空域、１６はアーム曲
げ関節ε内に作られた第２内部空域、１６はアーム曲げ
関節６と上腕アーム１１の内部に作られた第３内部空域
、１７は手首関節７・８・９と前腕アーム１２の内部に
作られた第４内部空域である。１８は第１内部空域内の
空気の排気流量を調整する流量調節部、１９・２ｏ・２
１は第２・第３・第４内部空域の圧力を調整する圧力調
節部である。２２ａは高低圧型負圧発生装置、２３ａは
空気清浄器、２２ｂは高流量型負圧発生装置、２３ｂは
空気清浄器である。
０によって作シ出された第１内部空域、１６はアーム曲
げ関節ε内に作られた第２内部空域、１６はアーム曲げ
関節６と上腕アーム１１の内部に作られた第３内部空域
、１７は手首関節７・８・９と前腕アーム１２の内部に
作られた第４内部空域である。１８は第１内部空域内の
空気の排気流量を調整する流量調節部、１９・２ｏ・２
１は第２・第３・第４内部空域の圧力を調整する圧力調
節部である。２２ａは高低圧型負圧発生装置、２３ａは
空気清浄器、２２ｂは高流量型負圧発生装置、２３ｂは
空気清浄器である。
第３図は本発明の実施例における塵埃飛散防止をほどこ
した工業用ロボットのアーム曲げ関節部６の内部構造図
である。２４はこの関節の固定側アーム、２５は従動側
アーム、２６は主軸であろっ２７は固定側アーム２４に
固定され、前記主軸２６を回転駆動することによシ従動
側アーム２５を駆動するサーボモータ、２８・２９は固
定側アーム２４に対して従動側アーム２５の回転を軸承
する軸受である。３０ ａ・３ｏｂは固定側アーム２４
に設けられ、軸受２８・２９の内側部分近傍からサーボ
モータ２７の設置されている固定側アーム２４の空洞部
３０ｃに通じている空気流路で、この空気流路３０ａ・
３ｏｂ及び空洞部３０ｃで内部空域３ｏを構成する。３
１＝１・３１ｂはサーボモータ２７の回転を減速する減
速機を内蔵した減速機室であり、３１ａ・３１ｄ・３１
ｅは減速機室３１ａ・３１ｂと内部空域３０との間に配
設されたオイルシール、３１ｆは減速機室３１ｂの他方
に配設されたオイルシールである。１３は固定側アーム
２４の空洞部３０ｃから空気及び塵埃を吸引するための
配管、２２は空気、及び塵埃を吸い出す負圧発生装置、
２３は負圧発生装置１２から吸い出された空気中の塵埃
を除去し、清浄な空気を放出する空気清浄器である。
した工業用ロボットのアーム曲げ関節部６の内部構造図
である。２４はこの関節の固定側アーム、２５は従動側
アーム、２６は主軸であろっ２７は固定側アーム２４に
固定され、前記主軸２６を回転駆動することによシ従動
側アーム２５を駆動するサーボモータ、２８・２９は固
定側アーム２４に対して従動側アーム２５の回転を軸承
する軸受である。３０ ａ・３ｏｂは固定側アーム２４
に設けられ、軸受２８・２９の内側部分近傍からサーボ
モータ２７の設置されている固定側アーム２４の空洞部
３０ｃに通じている空気流路で、この空気流路３０ａ・
３ｏｂ及び空洞部３０ｃで内部空域３ｏを構成する。３
１＝１・３１ｂはサーボモータ２７の回転を減速する減
速機を内蔵した減速機室であり、３１ａ・３１ｄ・３１
ｅは減速機室３１ａ・３１ｂと内部空域３０との間に配
設されたオイルシール、３１ｆは減速機室３１ｂの他方
に配設されたオイルシールである。１３は固定側アーム
２４の空洞部３０ｃから空気及び塵埃を吸引するための
配管、２２は空気、及び塵埃を吸い出す負圧発生装置、
２３は負圧発生装置１２から吸い出された空気中の塵埃
を除去し、清浄な空気を放出する空気清浄器である。
第４図は前記第２図のＡ−Ａ断面図であり、３０ ａは
前記空気流路、３０ａａは前記軸受２８の内側近傍と連
結する通気孔、３０ａｂは前記空洞部３０ｃに通じる通
気孔である。
前記空気流路、３０ａａは前記軸受２８の内側近傍と連
結する通気孔、３０ａｂは前記空洞部３０ｃに通じる通
気孔である。
以上のように構成された工業用ロボットについて、以下
その動作を説明する。
その動作を説明する。
まず、ロボットにおける塵埃は歯車のかみあい部、軸受
、オイルシール、モータのブラシ等の可動部から発生す
るが、ロボット全体から見た場合、本実施例では塵埃が
外部へ出るすきまは、軸受やカバーのすきまであり、こ
こが塵埃発生部となる。
、オイルシール、モータのブラシ等の可動部から発生す
るが、ロボット全体から見た場合、本実施例では塵埃が
外部へ出るすきまは、軸受やカバーのすきまであり、こ
こが塵埃発生部となる。
第３図の具体例では、軸受２８・２９のすきまから内部
空域３ｏの空気が外へ流れ出るので、ここが塵埃発生部
となる。従ってここからの塵埃の漏れをなくせば、ロボ
ットによる塵埃の発生は防ぐことができるわけである。
空域３ｏの空気が外へ流れ出るので、ここが塵埃発生部
となる。従ってここからの塵埃の漏れをなくせば、ロボ
ットによる塵埃の発生は防ぐことができるわけである。
しかしこの部分は可動部であるため完全な密閉は困難で
ある。そこで軸受２８・２９の内側に設けられた空気流
路３０ａ・Ｓｏｂ内の空気を他所へ吸い出せば、軸受２
８・２９付近の気圧は、外気に対して内側を低圧にでき
、結果として軸受２８・２９の外側から内側へ空気が流
れるため、塵埃のロボット外部への漏れを防ぐことがで
きる。本実施例では空気流路よ３・３０ｂと空洞部３０
ｃと連通し、前記空洞部３０ｃから配管１３を通って
負圧発生装置２２によって排気されている。本構成にす
ることにより、サーボモータ２７の温度上昇による空洞
部３０ｃの気圧上昇を防止し、常に外気に対して負圧化
できるのでロボットを構成する構造部材間の微小なすき
まから塵埃が漏れるのをも防止することができる。
ある。そこで軸受２８・２９の内側に設けられた空気流
路３０ａ・Ｓｏｂ内の空気を他所へ吸い出せば、軸受２
８・２９付近の気圧は、外気に対して内側を低圧にでき
、結果として軸受２８・２９の外側から内側へ空気が流
れるため、塵埃のロボット外部への漏れを防ぐことがで
きる。本実施例では空気流路よ３・３０ｂと空洞部３０
ｃと連通し、前記空洞部３０ｃから配管１３を通って
負圧発生装置２２によって排気されている。本構成にす
ることにより、サーボモータ２７の温度上昇による空洞
部３０ｃの気圧上昇を防止し、常に外気に対して負圧化
できるのでロボットを構成する構造部材間の微小なすき
まから塵埃が漏れるのをも防止することができる。
負圧発生装置２２によって排出された空気は空気清浄器
２３によって塵埃を取シ除いた後、放出される。
２３によって塵埃を取シ除いた後、放出される。
第２図に示すような多自由度の工業用ロボットにおいて
第１図に示すように、複数個の内部空域から構成される
場合も、基本的な働きは上記説明のとおりである。第１
図の実施例について具体的にその動作を説明する。本ロ
ボットは４個の内部空域をもっている。その内筒２・第
３・第４内部空域１５・１６・１７は第２図で示す例と
同様に軸受が塵埃発生部である。これら軸受はシール付
タイプを使用しておりそのすきま面積は小さい。
第１図に示すように、複数個の内部空域から構成される
場合も、基本的な働きは上記説明のとおりである。第１
図の実施例について具体的にその動作を説明する。本ロ
ボットは４個の内部空域をもっている。その内筒２・第
３・第４内部空域１５・１６・１７は第２図で示す例と
同様に軸受が塵埃発生部である。これら軸受はシール付
タイプを使用しておりそのすきま面積は小さい。
また一方ロボットが扱うワークに位置的間近いというこ
とから、高い無塵性能が要求される。そこで負圧発生装
置２２ａには高低圧型である真空ポンプを用い、圧力調
節部１９・２０・２１によって各軸受部の圧力こう配の
バランスを調整して、高い無塵化性能を具現している。
とから、高い無塵性能が要求される。そこで負圧発生装
置２２ａには高低圧型である真空ポンプを用い、圧力調
節部１９・２０・２１によって各軸受部の圧力こう配の
バランスを調整して、高い無塵化性能を具現している。
第１内部空域１４は主としてカバー１０でおおわれてお
り、カバー間のすきま面積は比較的大きい。そこで負圧
発生装置２２ｂには、排気流量の大きい排気ブロアーを
用い、流量調整部１８で排気流量を調整して塵埃の飛散
を防止している。
り、カバー間のすきま面積は比較的大きい。そこで負圧
発生装置２２ｂには、排気流量の大きい排気ブロアーを
用い、流量調整部１８で排気流量を調整して塵埃の飛散
を防止している。
発明の効果
以上の説明から明らかなように本発明によれば次のよう
な優れた効果が得られる。
な優れた効果が得られる。
１ ロボット本体内部を外気と遮断するように密閉化し
、複数の内部空域をそれぞれ、定常的に負圧化すること
により、ロボットが動作することができ、高性能無塵ロ
ボットを提供できる。
、複数の内部空域をそれぞれ、定常的に負圧化すること
により、ロボットが動作することができ、高性能無塵ロ
ボットを提供できる。
２ ロボット本体がコンパクトになり、かつ保守点検が
用意になる ３ 高圧室内での作業や減圧室内の作業に対しても、室
内気圧に対してロボット本体内部空域の圧力を負圧化す
ることＫより、比較的容易に高性能無塵ロボットを提供
できるう ４ 軸受部は特に無潤滑軸受を使用する必要がなく安価
で信頼性が高く長寿命のロボットを提供できる。
用意になる ３ 高圧室内での作業や減圧室内の作業に対しても、室
内気圧に対してロボット本体内部空域の圧力を負圧化す
ることＫより、比較的容易に高性能無塵ロボットを提供
できるう ４ 軸受部は特に無潤滑軸受を使用する必要がなく安価
で信頼性が高く長寿命のロボットを提供できる。
５ 各々の内部空域の密閉度合に応じて圧力又は流量を
きめ細かく調整ができるので負圧発生器にかかる負荷が
小さくてすみ負圧発生器を小型化できる。
きめ細かく調整ができるので負圧発生器にかかる負荷が
小さくてすみ負圧発生器を小型化できる。
６ 各々の内部空域の密閉度合が低い空域に対しては、
排気流量の多い排気ブロアー等を用いることにより低コ
ストで無塵ロボットを提供できる。
排気流量の多い排気ブロアー等を用いることにより低コ
ストで無塵ロボットを提供できる。
第１図は本発明の実施例における工業用ロボットの全体
構成図、第２図はそのロボット本体部の斜視図、第３図
はアーム曲げ関節部の内部構造図、第４図は第３図のＡ
−Ａ断面図、第５図は従来の塵埃飛散防止をほどこした
工業用ロボットを示す斜視図である。 １４・１６・１６・１７・・・・・・内部空域、１８・
１９・２０・２１・・・・・・圧力流量調整部、２２
ａ −０゜・・・高低圧型負圧発生装置、２２ｂ・・・
・・・高流量型負圧発生装置。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 はが１名ｔ４
−ｎ−＊Ｗ’Ｅｒ＆ 第 ２ 図 第３図
構成図、第２図はそのロボット本体部の斜視図、第３図
はアーム曲げ関節部の内部構造図、第４図は第３図のＡ
−Ａ断面図、第５図は従来の塵埃飛散防止をほどこした
工業用ロボットを示す斜視図である。 １４・１６・１６・１７・・・・・・内部空域、１８・
１９・２０・２１・・・・・・圧力流量調整部、２２
ａ −０゜・・・高低圧型負圧発生装置、２２ｂ・・・
・・・高流量型負圧発生装置。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 はが１名ｔ４
−ｎ−＊Ｗ’Ｅｒ＆ 第 ２ 図 第３図
Claims (2)
- （１）ロボットの塵埃発生部に通じ、かつロボット本体
に形成した吸引用の空気流路や空洞部からなる複数の内
部空域と、この各々の内部空域に連通し、かつこの内部
空域をロボット本体外の外気より低圧にする負圧発生装
置と、前記内部空域と負圧発生装置の間にあって、各々
の内部空域内の圧力や前記内部空域からの排気流量を調
節する圧力・流量調整部とを備えたことを特徴とする工
業用ロボット。 - （２）ロボット本体内に構成した複数の内部空域の密閉
度合に応じて選択的に連結した高低圧型負圧発生装置と
高流量型発生装置とを有する特許請求の範囲第１項記載
の工業用ロボット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2120885A JPS61182791A (ja) | 1985-02-06 | 1985-02-06 | 工業用ロボツト |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2120885A JPS61182791A (ja) | 1985-02-06 | 1985-02-06 | 工業用ロボツト |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61182791A true JPS61182791A (ja) | 1986-08-15 |
| JPH0347999B2 JPH0347999B2 (ja) | 1991-07-23 |
Family
ID=12048570
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2120885A Granted JPS61182791A (ja) | 1985-02-06 | 1985-02-06 | 工業用ロボツト |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61182791A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5101746A (en) * | 1987-06-30 | 1992-04-07 | Mim Industries, Inc. | Work holder for sewing machines |
| JP2015013343A (ja) * | 2013-07-05 | 2015-01-22 | ファナック株式会社 | ロボット用駆動ケーブルの処理構造体及びそれを具備するロボット装置 |
-
1985
- 1985-02-06 JP JP2120885A patent/JPS61182791A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5101746A (en) * | 1987-06-30 | 1992-04-07 | Mim Industries, Inc. | Work holder for sewing machines |
| JP2015013343A (ja) * | 2013-07-05 | 2015-01-22 | ファナック株式会社 | ロボット用駆動ケーブルの処理構造体及びそれを具備するロボット装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0347999B2 (ja) | 1991-07-23 |
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