JPS61162360A - Ink jet recording head - Google Patents
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- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 10
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 10
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 14
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 abstract description 14
- 239000010948 rhodium Substances 0.000 abstract description 14
- MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N rhodium atom Chemical compound [Rh] MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 14
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 12
- 238000003411 electrode reaction Methods 0.000 abstract description 8
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 7
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 abstract description 7
- 239000010931 gold Substances 0.000 abstract description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 7
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 abstract description 7
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 abstract description 6
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 abstract 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 abstract 1
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 abstract 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 17
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 6
- 230000005499 meniscus Effects 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 3
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 3
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 3
- 238000001259 photo etching Methods 0.000 description 3
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 3
- 239000000376 reactant Substances 0.000 description 3
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 3
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 3
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 2
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 2
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- -1 adium Chemical compound 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000007795 chemical reaction product Substances 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1623—Manufacturing processes bonding and adhesion
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/164—Manufacturing processes thin film formation
- B41J2/1643—Manufacturing processes thin film formation thin film formation by plating
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2202/00—Embodiments of or processes related to ink-jet or thermal heads
- B41J2202/01—Embodiments of or processes related to ink-jet heads
- B41J2202/02—Air-assisted ejection
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は電気信号に応じて微少インク液滴を吐出6せ、
記録紙にインク液滴による画像?記録するインクジェッ
ト記録ヘッドに関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Field of Industrial Application The present invention ejects minute ink droplets in response to an electrical signal.
An image created by ink droplets on recording paper? The present invention relates to an inkjet recording head for recording.
従来の技術
最近、インクジェット記録ヘッドはカラープリンタやコ
ンピュータの端末機器等の分野で盛んに利用嘔れるよう
になってきた。このインクジエ・ノド記録ヘッドは例え
ば特開昭58−220768号公報に記載されている構
成が知られている。以下第3図、第4図および第5図を
参照して、従来のインクジェット記録装置およびへ、ノ
ドについて説明する。2. Description of the Related Art Recently, inkjet recording heads have come into widespread use in the fields of color printers, computer terminal equipment, and the like. The structure of this inkjet gutter recording head is known, for example, as described in Japanese Unexamined Patent Publication No. 58-220768. Hereinafter, a conventional inkjet recording apparatus and a gutter will be described with reference to FIGS. 3, 4, and 5.
第3図において、13はボディ部材である。絶縁性の空
気ノズル板2には空気吐出口1が穿孔されており、空気
ノズル板2と平行して絶縁性のインクノズル板14が配
置されており、かつ前記インクノズル板14には空気吐
出口1に対向してインク吐出口4が穿孔されている。空
気供給路8には、空気供給源3より空気流が流入し、環
状構造の空気室9におい又均一化され、前記空気ノズル
板2とインクノズル板14とにより生じる空気層了の周
辺より流入し、空気吐出口1より流出している。この空
気流は空気吐出口1の近傍で急激に変化しているため、
インク吐出口4より空気吐出口1に至る空間には急激な
圧力勾配の変化が生じている。一方、インク吐出口4に
隣接したインク室10はインク溜り11とインク供給路
eを介して連続しており、前記インク溜り11内のイン
クは空気供給源3よりの空気圧力によって、圧力調整機
構16により調整された一定圧力が印加されている。こ
れは、インクジェット記録装置の非駆動時に、インク吐
出口4の近傍の空気圧力とインク吐出口4あるいはイン
ク室10のインク圧力がほぼ等しくインク吐出口4内の
インクのメニスカスが静止して保たれるように調整する
ためである。In FIG. 3, 13 is a body member. An insulating air nozzle plate 2 is provided with air discharge ports 1, an insulating ink nozzle plate 14 is arranged parallel to the air nozzle plate 2, and the ink nozzle plate 14 is provided with air discharge ports 1. An ink discharge port 4 is bored opposite the outlet 1. Air flow flows into the air supply path 8 from the air supply source 3, is uniformized in the air chamber 9 having an annular structure, and flows in from around the air layer created by the air nozzle plate 2 and the ink nozzle plate 14. The air flows out from the air outlet 1. Since this air flow changes rapidly near the air outlet 1,
A rapid change in pressure gradient occurs in the space from the ink discharge port 4 to the air discharge port 1. On the other hand, the ink chamber 10 adjacent to the ink discharge port 4 is connected to an ink reservoir 11 via an ink supply path e, and the ink in the ink reservoir 11 is controlled by the air pressure from the air supply source 3 through a pressure adjustment mechanism. A constant pressure regulated by 16 is applied. This is because when the inkjet recording device is not driven, the air pressure near the ink ejection port 4 and the ink pressure in the ink ejection port 4 or the ink chamber 10 are approximately equal, and the meniscus of ink in the ink ejection port 4 is kept stationary. This is to make adjustments so that the
信号源6は空気吐出口1の周辺に設けられた電極12と
インク吐出口4のインク室10fC面した周辺に設けら
れた電極16に接続δれており、電極12と電極16の
間に電位差が生じさせられる。The signal source 6 is connected to an electrode 12 provided around the air outlet 1 and an electrode 16 provided around the ink chamber 10fC of the ink outlet 4, and a potential difference between the electrode 12 and the electrode 16 is established. is caused.
この電位差による静電力によってインク吐出口4に生じ
るインクのメニスカスが空気吐出口1の方向に引き伸ば
される。ざらに、インク吐出口4がら空気吐出口1に至
る空間には急激な圧力勾配の変化が生じているため、イ
ンク吐出口4に生じるインクのメニスカスは一定長さ以
上引き伸ばされると前記圧力勾配の変化により加速され
空気吐出口1より飛翔する。The meniscus of ink generated at the ink ejection port 4 is stretched in the direction of the air ejection port 1 due to the electrostatic force caused by this potential difference. Roughly speaking, since there is a sudden change in the pressure gradient in the space from the ink discharge port 4 to the air discharge port 1, if the ink meniscus generated at the ink discharge port 4 is stretched beyond a certain length, the pressure gradient will change. It is accelerated by the change and flies from the air outlet 1.
つぎに、第4図(勾、 (b)を参照して前記と同一方
式の従来の空気吐出口1およびインク吐出口4が複数組
設けられたマルチノズルインクシェフ)記録ヘッドにつ
いて説明する。第4図において、絶縁性の空気ノズル板
2には空気吐出口1−1〜1−4が等間隔に穿孔されて
おり、少lくとも空気吐出口1−1〜1−4の周辺を含
む片側表面に共通の電極12が設けられτいる。空気ノ
ズル板2に平行し、かつ電極12と反対側に絶縁性のイ
ンクノズル板14が設置されており、前記空気吐出口1
−1〜1−4に対向してインク吐出口4−1〜4−4が
穿孔されている。絶縁性のインクノズル板14とボディ
部材13とは共通のインク室1oを形成しており、イン
ク吐出口4−1〜4−4に連通ずるとともにインク供給
路6を介してインク溜りに連通している。またインク吐
出口4−1〜4−4のインク室10に面した周辺には各
々独立分離しτ電極16−1〜16−4が設けられてい
る。空気ノズル板2とボディ部材13により形成される
空気室9には空気供給路8f:介して空気流が流入し、
この空気流は空気ノズル板2と絶縁性のインクノズル板
14により形成δれる空気層7を流れ、空気吐出口1−
1〜1−4より各々急激な曲り全生じτ流出している。Next, a conventional multi-nozzle ink chef recording head having a plurality of sets of air discharge ports 1 and ink discharge ports 4 of the same type as described above will be described with reference to FIG. 4(b). In FIG. 4, air discharge ports 1-1 to 1-4 are perforated at equal intervals in the insulating air nozzle plate 2, and at least the periphery of the air discharge ports 1-1 to 1-4 is perforated. A common electrode 12 is provided on one surface including τ. An insulating ink nozzle plate 14 is installed parallel to the air nozzle plate 2 and on the opposite side from the electrode 12.
Ink ejection ports 4-1 to 4-4 are bored opposite to -1 to 1-4. The insulating ink nozzle plate 14 and the body member 13 form a common ink chamber 1o, which communicates with the ink discharge ports 4-1 to 4-4 and communicates with the ink reservoir via the ink supply path 6. ing. In addition, independent and separated τ electrodes 16-1 to 16-4 are provided around the ink discharge ports 4-1 to 4-4 facing the ink chamber 10, respectively. An air flow flows into the air chamber 9 formed by the air nozzle plate 2 and the body member 13 through the air supply path 8f.
This air flow flows through an air layer 7 formed by the air nozzle plate 2 and the insulating ink nozzle plate 14, and flows through the air layer 7 formed by the air nozzle plate 2 and the insulating ink nozzle plate 14,
From 1 to 1-4, a sharp bend occurs and τ flows out.
空気層7の厚δは、スペーサ板17により決められτい
る。一方インク室10内のインクには一定の圧力が印加
されており、インクジェット記録装置の非駆動時にイン
ク吐出口4−1〜4−4において各々安定してインクの
メニスカスが保たれるよう調整されている。The thickness δ of the air layer 7 is determined by the spacer plate 17. On the other hand, a constant pressure is applied to the ink in the ink chamber 10, and the pressure is adjusted so that the ink meniscus is stably maintained at each of the ink ejection ports 4-1 to 4-4 when the inkjet recording device is not driven. ing.
前記電極16−1〜16−4は各々信号源6−1〜6−
4に接続てれており、信号源6−1〜6−1に共通して
接続された電極12との間に電位差が独立して生じさせ
ることができる。電極16−1〜16−4と電極12と
の間に電位差が生じると、それによって生じる静電力と
空気流による圧力勾配の変化によってインク吐出口4−
1〜4−4よりインク液が吐出し、空気吐出口1−1〜
1−4を通って飛翔する。The electrodes 16-1 to 16-4 are connected to signal sources 6-1 to 6-, respectively.
4, and a potential difference can be independently generated between the electrode 12 and the electrode 12 commonly connected to the signal sources 6-1 to 6-1. When a potential difference occurs between the electrodes 16-1 to 16-4 and the electrode 12, the resulting electrostatic force and the change in pressure gradient caused by the air flow cause the ink ejection port 4-
Ink liquid is discharged from 1 to 4-4, and air discharge ports 1-1 to
Fly through 1-4.
つぎに第6図を参照して前記第4図の電極16について
詳しく説明する。第6図において、空気ノズル板2の片
面に共通の電極12が設置されている。そして空気吐出
口1−1〜1−4が穿孔されている。17は空気層の厚
ざを決めるためのスペーサ板である。インクノズル板1
4にインク吐出口4−1〜4−4が空気吐出口1−1〜
1−4に対向するように穿孔されている。インクノズル
板14の片面のインク吐出口4−1〜4−nの周辺に、
各々独立分離して電極16−1〜16−4が設けられて
いる。これらの電極を設けるためにインクノズル板14
には、橋渡し18−1〜18−4が設けられており、そ
の周りの空間は空気室の一部分をなしている。電極15
−1〜16−4の相互の記録時における電圧差は数10
0vとlるので、油性インクを媒体として電極反応が起
り、電極の溶は出しや反応物の析出が生じるので、その
対策として電極の表面に金、白金、ロジウム等の電気化
学的に安定な金属を用いている。(特願昭59−116
971号参照)電極16の従来の形成方法としては、次
の方法がとられている。インクノズル板14の片面に、
クロムを蒸着し蒸着されたクロムをホトエツチング技術
によるか、またはあらかじめ蒸着マスクを用いて蒸着す
ることにより下地層のクロムをパターン形成し、その後
メッキによりニッケルの中間層、ロジウムの表面層を形
成して、電極15を形成しおわる。また別の方法として
は、下地層、中間層、表面層とも蒸着により形成し、電
極15を形成する。以上のように、電極15はインクノ
ズル板14の面に直接形成されている。Next, referring to FIG. 6, the electrode 16 shown in FIG. 4 will be explained in detail. In FIG. 6, a common electrode 12 is installed on one side of the air nozzle plate 2. And air discharge ports 1-1 to 1-4 are perforated. 17 is a spacer plate for determining the thickness of the air layer. Ink nozzle plate 1
4, ink discharge ports 4-1 to 4-4 are air discharge ports 1-1 to 4-4.
It is perforated so as to face 1-4. Around the ink discharge ports 4-1 to 4-n on one side of the ink nozzle plate 14,
Electrodes 16-1 to 16-4 are provided independently and separately. Ink nozzle plate 14 is used to provide these electrodes.
Bridges 18-1 to 18-4 are provided, and the space around them forms part of the air chamber. Electrode 15
The voltage difference when recording between -1 and 16-4 is several tens
0V, an electrode reaction occurs using the oil-based ink as a medium, causing electrode dissolution and reaction product precipitation.As a countermeasure, electrochemically stable materials such as gold, platinum, and rhodium are applied to the electrode surface. It uses metal. (Special application 1986-116)
(Refer to No. 971) As a conventional method for forming the electrode 16, the following method is used. On one side of the ink nozzle plate 14,
The base layer of chromium is patterned by evaporating chromium and the deposited chromium is deposited using a photo-etching technique or by using an evaporation mask in advance, and then an intermediate layer of nickel and a surface layer of rhodium are formed by plating. , the electrode 15 is formed. Another method is to form the base layer, intermediate layer, and surface layer by vapor deposition to form the electrode 15. As described above, the electrode 15 is formed directly on the surface of the ink nozzle plate 14.
発明が解決しようとする問題点
しかし、以上のような構成では電極16における表面層
のロジウムをメッキで形成するときは、高度の技術を必
要とし、例えば下地層のクロムを蒸着したのちクロム表
面に酸化物が生じると、次のニッケルとロジウムをメッ
キするのが非常に困難となる。また蒸着のみで電極16
を形成するときは、ロジウムの材料が高価なために厚く
つけることがコスト上できない、、さらに、インクノズ
ル板14とロジウムの間にるる下地層および中間層がメ
ッキの場合は、インクノズル板14の基板とロジウムの
間のパターン端面から、蒸着の場合はパターンの股部分
のロジウムのピンホール部分から電極反応により、電極
15の溶は出しまたは析出が生じる問題がめった。Problems to be Solved by the Invention However, with the above configuration, when forming the surface layer of rhodium on the electrode 16 by plating, a sophisticated technique is required. The formation of oxides makes subsequent nickel and rhodium plating very difficult. In addition, the electrode 16 can be formed only by vapor deposition.
When forming the ink nozzle plate 14, rhodium is expensive and cannot be applied thickly due to cost considerations.Furthermore, if the base layer and intermediate layer between the ink nozzle plate 14 and the rhodium are plated, the ink nozzle plate 14 A problem has frequently arisen in which the electrode 15 is leached or deposited due to electrode reaction from the end face of the pattern between the substrate and rhodium, or in the case of vapor deposition from the pinhole portion of the rhodium at the crotch of the pattern.
さらに、電極16を形成するのに橋渡し18が必要でめ
ったが、その橋渡し18のために空気流の流れが妨げら
れて、空気層アに空気流がスムーズに送り込まれないた
めに良好な記録特性が得られないという問題がめった。Furthermore, although a bridge 18 is rarely required to form the electrode 16, the bridge 18 obstructs the air flow and prevents the air flow from being sent smoothly into the air layer A, resulting in poor recording characteristics. The problem was that I couldn't get it.
本発明は従来技術の以上のような問題を解決するもので
、電極反応が起こりにくく、かつ形成しやすく、コスト
が安価で、ざらに空気流の流れがスムーズになるような
電極を形成することを目的とするものである。The present invention solves the above-mentioned problems of the prior art, and aims to form an electrode that is less likely to cause electrode reactions, is easy to form, is inexpensive, and allows smooth air flow. The purpose is to
問題点を解決するための手段
本発明は電極板を加工することによυ所定の形状に形成
し、形成された電極板に金属をメ・ツキし、それをイン
クノズル板に接合し、接合された電極板の一部を切断し
て各々独立した電極とすることにより、上記目的を達成
するものでろる。Means for Solving the Problems The present invention involves processing an electrode plate to form it into a predetermined shape, plating the formed electrode plate with metal, and bonding it to an ink nozzle plate. The above object can be achieved by cutting off a portion of the electrode plate to form independent electrodes.
作用
本発明は上記構成により、電極板の全面に均一な厚さに
メッキできるため、電極反応による電極板の溶は出しや
反応物の析出を押δえるようにしたものである。また、
電極板はインクノズル板に接合されるので、インクノズ
ル板に橋渡しを設ける必要がないために、空気流の流れ
がスムーズになるようにしたものである。さらに、電極
板の形状を立体的に加工することにより、空気室と空気
層の間の位置に電極板を設ける必要がないために、空気
流の流れがスムーズになるようにしたものである。Function The present invention has the above-mentioned structure, so that the entire surface of the electrode plate can be plated to a uniform thickness, thereby suppressing melting of the electrode plate and precipitation of reactants due to electrode reaction. Also,
Since the electrode plate is joined to the ink nozzle plate, there is no need to provide a bridge on the ink nozzle plate, so that the airflow can flow smoothly. Furthermore, by processing the shape of the electrode plate three-dimensionally, there is no need to provide the electrode plate at a position between the air chamber and the air layer, so that the airflow can flow smoothly.
実施例
以下、図面を参照しながら本発明の第1の実施例につい
て説明する。EXAMPLE A first example of the present invention will be described below with reference to the drawings.
第2図(&) 、 (b)は本発明の第1の実施例にお
けるインクノズル板と電極の斜視図である。他の部分は
第3図乃至第5図の各部と同一であるので図示を省略す
る。第2図において、電極板2oの材料はニッケル板で
ある。ニッケル板をホトエツチング技術で加工すること
により、第2図(b)のような所定の形状に形成する。FIGS. 2(b) and 2(b) are perspective views of an ink nozzle plate and electrodes in the first embodiment of the present invention. The other parts are the same as those shown in FIGS. 3 to 5, and therefore illustration thereof is omitted. In FIG. 2, the material of the electrode plate 2o is a nickel plate. By processing the nickel plate using photoetching technology, it is formed into a predetermined shape as shown in FIG. 2(b).
所定の形状とは、インクノズル板14に穿孔されている
インク吐出口4−1〜4−4に対向して貫通孔22−1
〜22−4が配置されるように、環状部分23が各々あ
り、それらの環状部分23から取り出し線としての腕部
24が外方向に伸びており、それらの腕部24が1つの
環状の外枠部分26につながっている形状である。いい
かえると、所定の形状とは環状部分23と腕部24から
なる独立した電極19−1〜19−4が、外枠部分26
につながっている形状となっ℃いる。所定の形状に形成
された電極板2oの全面に、aジウム、白金または金等
の電気化学的に安定な金!@を数μm の厚さにメッキ
する。The predetermined shape is the through hole 22-1 facing the ink discharge ports 4-1 to 4-4 bored in the ink nozzle plate 14.
22-4 are arranged, each has an annular portion 23, and an arm portion 24 serving as a lead line extends outward from the annular portion 23, and the arm portion 24 is connected to one annular outer portion. It has a shape that is connected to the frame portion 26. In other words, the predetermined shape means that the independent electrodes 19-1 to 19-4 consisting of the annular portion 23 and the arm portions 24 are connected to the outer frame portion 26.
It has a shape that is connected to ℃. The entire surface of the electrode plate 2o formed into a predetermined shape is coated with electrochemically stable gold such as adium, platinum, or gold! Plate @ to a thickness of several μm.
このとき電極板2oの厚さは50〜100μmと厚いの
で、メッキ前の表面活性化処理は充分できるため、密着
強度の大きい膜が得られる。メーlキされた電極板2o
をインクノズル板14に接着剤により接合する。接合さ
れた電極板20の一部をここでは切断面21の場所を切
断して回シの不用になった部分である外枠部分26を除
去し、各々独立した電極19−1〜19−4を形成して
いる。At this time, since the thickness of the electrode plate 2o is as thick as 50 to 100 μm, the surface activation treatment before plating can be carried out sufficiently, so that a film with high adhesion strength can be obtained. Painted electrode plate 2o
is bonded to the ink nozzle plate 14 with an adhesive. A part of the joined electrode plate 20 is cut at the cut surface 21, and the outer frame part 26, which is the part that is no longer needed for the turntable, is removed, and independent electrodes 19-1 to 19-4 are formed. is formed.
以上のような構成において、所定の形状に形成きれた電
極板20は一体構造であるため、電極板20の一部を保
持してロジウム、白金および金等を全面に均一な厚でに
メッキすることは容易でるり、また全面にメ、フキされ
たものを接合して独立した電極19としτいるために、
ロジウム。白金および金等のピンホール部分が少ないた
めに、電・ 極板20の材料であるニッケルの電極反
応による独立した電極19の溶は出しや反応物の析出を
防止することができる。In the above configuration, since the electrode plate 20 that has been formed into a predetermined shape is an integral structure, a part of the electrode plate 20 is held and the entire surface is plated with rhodium, platinum, gold, etc. to a uniform thickness. This is easy to do, and since the entire surface is wired and bonded to form an independent electrode 19,
rhodium. Since there are few pinhole parts of platinum, gold, etc., it is possible to prevent the independent electrodes 19 from melting or to precipitate reactants due to the electrode reaction of nickel, which is the material of the electrode/electrode plate 20.
さらに、独立した電極19はインクノズル板14に接合
てれ形成されるので、インクノズル板14に橋渡しを設
ける必要がなく、その橋渡しの部分およびその周辺は空
気室9の一部をなしているので、空気室9から空気層へ
の空気流の流れ全スムーズにすることができる。Furthermore, since the independent electrodes 19 are formed by being joined to the ink nozzle plate 14, there is no need to provide a bridge on the ink nozzle plate 14, and the bridge portion and its surroundings form part of the air chamber 9. Therefore, the air flow from the air chamber 9 to the air layer can be made completely smooth.
次に本発明の第2の実施例について説明する。Next, a second embodiment of the present invention will be described.
第1図(a) 、 (b)は本発明の第2の実施例にお
ける電極とその電極が組み込まれたインクジェット記録
ヘッドの平面図と断面図である。第1図(a)において
、第2図の構成と異なる点は電極板2oに折り曲げ部2
6を設け、電極板20を折り曲げて所定の形状を立体的
な形状にした点である。電極板20をホトエツチング技
術により第2図(b)を同じ形状にしてから、折り曲げ
部26の場所を折り曲げて貫通孔22が台形の上辺にな
るような立体的である所定の形状に形成し、その後ロジ
ウム等をメッキする。そして、メッキ1れた電極板20
を第1図(b)のようにインクノズル板14に接合する
。FIGS. 1(a) and 1(b) are a plan view and a sectional view of an electrode and an inkjet recording head incorporating the electrode in a second embodiment of the present invention. In FIG. 1(a), the difference from the configuration in FIG. 2 is that there is a bent portion 2 on the electrode plate 2o.
6 is provided, and the electrode plate 20 is bent to form a predetermined shape into a three-dimensional shape. The electrode plate 20 is formed into the same shape as shown in FIG. 2(b) by photoetching, and then bent at the bent portion 26 to form a predetermined three-dimensional shape such that the through hole 22 forms the upper side of a trapezoid. After that, it is plated with rhodium etc. Then, the plated electrode plate 20
is joined to the ink nozzle plate 14 as shown in FIG. 1(b).
なお電極板20はインク室10の内壁に沿うように配設
されており、ボディ部材2了により固定されているので
、電極板20をインクノズル板14に接合しないで、隣
接させておくだけでもよい。Note that the electrode plate 20 is arranged along the inner wall of the ink chamber 10 and is fixed by the body member 2, so the electrode plate 20 can be placed adjacent to the ink nozzle plate 14 without being joined to it. good.
本明細書ではこの状態もあわせて接合と表現する。In this specification, this state is also expressed as bonding.
接合された電極板2oの切断部21の場所を切断して回
りの不用になった部分を除去し、各々独立した電極19
−1〜19−6を形成している。The joined electrode plates 2o are cut at the cut portions 21, and the unnecessary parts around them are removed to form independent electrodes 19.
-1 to 19-6 are formed.
以上のような構成において、空気室9と空気層7の間の
位置に独立した電極19−1〜19−6は設けられτい
ないので、前記第2図の構成のものよりさらに空気室9
がら空気層7への空気流の流れをスムーズにすることが
できる。空気流の流れがスムーズになると、複数の空気
吐出口1から流れ出る空気流の方向はまっすぐになるの
で、インク吐出口4から吐出されるインク液滴は、空気
流の力により空気吐出口1の内壁に当たることもなくま
っすぐに飛翔されるので、良好な記録特性を得ることが
できる。In the above configuration, since the independent electrodes 19-1 to 19-6 are not provided at positions between the air chamber 9 and the air layer 7, the air chamber 9
However, the air flow to the air layer 7 can be made smooth. When the airflow becomes smooth, the direction of the airflow flowing out from the plurality of air discharge ports 1 becomes straight, so that the ink droplets discharged from the ink discharge ports 4 are caused to flow through the air discharge ports 1 due to the force of the air flow. Since it flies straight without hitting the inner wall, good recording characteristics can be obtained.
また、独立した電極19の全面には均一な厚さにロジウ
ム等の金属がメッキされているために、前記第2図の構
成と同様に独立した電極19の電極反応による溶は出し
や反応物の析出を防止することができる。Furthermore, since the entire surface of the independent electrode 19 is plated with a metal such as rhodium to a uniform thickness, the independent electrode 19 is free from melting and reactants due to the electrode reaction, similar to the structure shown in FIG. The precipitation of can be prevented.
なお、以上の説明では電極板20の材料をニッケル板と
した場合について説明したが、電極板2oの材料はメッ
キしやすく、またメッキてれる金属と線膨張係数がほぼ
同じものであればよい。In the above description, the material of the electrode plate 20 is a nickel plate, but the material of the electrode plate 2o may be any material that is easy to plate and has approximately the same coefficient of linear expansion as the metal to be plated.
さらにメッキされる金属は、ロジウム、白金および金を
上げたが、電気化学的に安定なものであれば他の金属と
してもよい。Further, the metals to be plated include rhodium, platinum, and gold, but other metals may be used as long as they are electrochemically stable.
発明の効果
以上のように本発明は、電極板を加工することにより所
定の形状に形成し、形成された電極板に金属板をメッキ
し、それをインクノズル板に接合し、接合された電極板
の一部を切断して各々独立した電極とすることにより、
電極反応が起こりにくく、一体構造でめる電極板をメッ
キするために形成しやすくかつコストが安価で、さらに
空気流の流れがスムーズになるために良好な記録特性を
得ることができ、その効果は太きい。Effects of the Invention As described above, the present invention involves processing an electrode plate to form a predetermined shape, plating the formed electrode plate with a metal plate, joining it to an ink nozzle plate, and forming the joined electrode. By cutting a part of the plate to make each independent electrode,
Electrode reactions are less likely to occur, and since the electrode plate is plated as an integrated structure, it is easy to form and inexpensive.Furthermore, the smooth airflow allows for good recording characteristics. It's thick.
【図面の簡単な説明】
第1図e)、 (t)) H一本発明によるインクジェ
ット記録ヘッドの実施例における電極板の平面図及びイ
ンクジェット記録へ・アトの断面図、第2図(2L)
、 (b)は本発明の他の実施例におけるインクノズル
板と電極板の斜視図、第3図は従来のインクジェット記
録装置の断面図、第4図(a) 、 (b)は従来のイ
ンクジェット記録へノドの平面図および断面図、第5図
は従来のインクジェット記録ヘッドの電極付近の斜視図
である。
1・・・・空気吐出口、2・・・・・空気ノズル板、4
・・・・・・インク吐出口、7・・・・・・空気層、9
・・・・・・空気室、1o・・・・・・インク室、14
・・・・・・インクノズル板、19・・・・・・独立し
た電極、20・・・・・電極板、21・・・・・・切断
部、22・・・・・・貫通孔、24・・・・・・腕部、
26・・・・・折り曲げ部。
代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名第2
図
5図[Brief Description of the Drawings] Figure 1 e), (t)) H- A plan view of the electrode plate and a sectional view of the inkjet recording head in an embodiment of the inkjet recording head according to the present invention, Figure 2 (2L)
, (b) is a perspective view of an ink nozzle plate and an electrode plate in another embodiment of the present invention, FIG. 3 is a sectional view of a conventional inkjet recording device, and FIGS. 4(a) and (b) are a conventional inkjet recording device. A plan view and a sectional view of the recording nozzle, and FIG. 5 is a perspective view of the vicinity of electrodes of a conventional inkjet recording head. 1...Air discharge port, 2...Air nozzle plate, 4
...Ink discharge port, 7... Air layer, 9
...Air chamber, 1o...Ink chamber, 14
...Ink nozzle plate, 19 ...Independent electrode, 20 ... Electrode plate, 21 ... Cutting portion, 22 ... Through hole, 24...Arm part,
26...Bending part. Name of agent: Patent attorney Toshio Nakao and 1 other person 2nd
Figure 5
Claims (2)
を有するインクノズル板が対向して配され、先端に貫通
孔を有する腕部を少なくとも1本有する形状に加工し、
電気化学的に安定な金属をメッキした電極板を前記貫通
孔がインク吐出口と対応するように前記インクノズル板
に接合または接触させ、前記電極板の腕部を残して除去
したことを特徴とするインクジェット記録ヘッド。(1) An air nozzle plate having an air discharge port and an ink nozzle plate having an ink discharge port are disposed facing each other, and are processed into a shape having at least one arm portion having a through hole at the tip,
An electrode plate plated with an electrochemically stable metal is joined to or in contact with the ink nozzle plate so that the through hole corresponds to the ink ejection port, and the electrode plate is removed leaving arm portions of the electrode plate. Inkjet recording head.
られ、貫通孔を含む部分でインクノズル板に接合または
接触させた特許請求の範囲第1項記載のインクジェット
記録ヘッド。(2) The inkjet recording head according to claim 1, wherein the arm portion of the electrode plate is bent at a tip portion having a through hole, and the portion including the through hole is joined or contacted with the ink nozzle plate.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP351185A JPS61162360A (en) | 1985-01-11 | 1985-01-11 | Ink jet recording head |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP351185A JPS61162360A (en) | 1985-01-11 | 1985-01-11 | Ink jet recording head |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61162360A true JPS61162360A (en) | 1986-07-23 |
JPH0455112B2 JPH0455112B2 (en) | 1992-09-02 |
Family
ID=11559382
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP351185A Granted JPS61162360A (en) | 1985-01-11 | 1985-01-11 | Ink jet recording head |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61162360A (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0672459A (en) * | 1992-08-25 | 1994-03-15 | Kuwabara Yasunaga | Manufacture of container lid with oxygen absorbing liner |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5343052A (en) * | 1976-09-30 | 1978-04-18 | Nippon Electric Co | Electron beam welding machine of continuous exhaust type |
JPS59225961A (en) * | 1983-06-07 | 1984-12-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Ink jet recording head |
-
1985
- 1985-01-11 JP JP351185A patent/JPS61162360A/en active Granted
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5343052A (en) * | 1976-09-30 | 1978-04-18 | Nippon Electric Co | Electron beam welding machine of continuous exhaust type |
JPS59225961A (en) * | 1983-06-07 | 1984-12-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Ink jet recording head |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0672459A (en) * | 1992-08-25 | 1994-03-15 | Kuwabara Yasunaga | Manufacture of container lid with oxygen absorbing liner |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0455112B2 (en) | 1992-09-02 |
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